TWI848428B - 表面加工裝置 - Google Patents
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Abstract
本申請公開了一種表面加工裝置,包括加工機構與驅動機構,所述加工機構包括加工組件、連接主體與第一傳動軸,所述第一傳動軸穿設於所述連接主體,且一端與所述加工組件偏轉連接,所述第一傳動軸與所述連接主體之間設有密封件。所述驅動機構包括電機,所述驅動機構與所述連接主體連接,所述電機與所述第一傳動軸的另一端傳動連接,以驅動所述第一傳動軸旋轉使所述加工組件進行偏轉。本申請提供的表面加工裝置具有加工頻率穩定,噪音小等優點。
Description
本申請涉及機械加工領域,尤其涉及一種表面加工裝置。
一般情況下,產品的外表面拋光主要使用風磨拋光機,然,該風磨拋光機打磨頻率不穩定,砂紙容易發生跳動,從而於產品的外表面上造成砂紋或者痕跡,而且該風磨拋光機工作時噪音大,維護困難。
鑒於以上內容,有必要提出一種表面加工裝置以解決上述問題。
一種表面加工裝置,包括加工機構與驅動機構,所述加工機構包括加工組件、連接主體與第一傳動軸,所述第一傳動軸穿設於所述連接主體,且一端與所述加工組件偏轉連接,所述第一傳動軸與所述連接主體之間設有密封件。所述驅動機構包括電機,所述驅動機構與所述連接主體連接,所述電機與所述第一傳動軸的另一端傳動連接,以驅動所述第一傳動軸旋轉使所述加工組件進行偏轉。
進一步地,表面加工機構包括複數個加工機構,所述驅動機構還包括與所述連接主體連接的複數個離合組件,每個所述離合組件包括可離合連接的第一連接件與第二連接件,所述第一連接件連接於所述第一傳動軸的另一端,所述第二連接件傳動連接所述電機。
進一步地,所述第一傳動軸的另一端設有限位孔,所述第一連接件包括:第一離合塊與連接銷,所述第一離合塊套設於所述第一傳動軸的另一端,所述連接銷移動地穿設所述限位孔並與所述第一離合塊連接,使得所述第一離合塊可沿所述第一傳動軸的軸向移動。所述第二連接件包括與所述第一離合塊相對設置的第二離合塊,所述第二離合塊傳動連接所述電機。
進一步地,所述第一離合塊朝向所述第二離合塊的一端設有卡接部,所述第二離合塊設有與所述卡接部可離合連接的容置部。
進一步地,所述離合組件還包括離合驅動件與離合感應器,所述離合驅動件與所述第一連接件連接,用於驅動所述第一連接件移動至預定位置以與所述第二連接件連接。所述離合感應器與所述預定位置相對應,用於感應位於所述預定位置的所述第一連接件。
進一步地,所述離合組件還包括離合箱體與第二油封,所述離合箱體容置所述第一傳動軸的另一端、所述第一連接件、所述第二連接件與所述離合驅動件,並與所述連接主體密封連接。所述第二油封設於所述離合箱體與所述第一傳動軸之間,其中,所述離合感應器嵌設於所述離合箱體,所述密封件為第一油封。
進一步地,所述離合組件還包括鎖定件與彈性件,所述鎖定件套設於所述第一傳動軸並與所述離合箱體連接,以定位所述第一傳動軸的另一端,所述鎖定件設於所述第一連接件與所述第二油封之間。所述彈性件套設於所述第一傳動軸,用於抵持所述第一連接件向第二連接件移動。
進一步地,所述驅動機構還包括與所述連接主體連接的傳動組件,所述傳動組件包括第一傳動齒輪、第二傳動軸及第二傳動齒輪。所述第一傳動齒輪與所述電機連接,所述第二傳動軸一端連接於所述第一傳動軸的另一端。所述第二傳動齒輪連接於所述第二傳動軸的另一端並與所述第一傳動齒輪嚙合。
進一步地,在設有多組加工機構時,所述傳動組件包括第一傳動齒輪、複數個第二傳動軸及複數個第二傳動齒輪,所述第一傳動齒輪與所述電機連接,所述第二傳動齒輪與所述第一傳動齒輪嚙合,將電機轉矩傳遞至每個第二傳動齒輪,每個所述第二傳動軸一端伸入所述離合組件以連接所述第二連接件,另一端連接至一個所述第二傳動齒輪。
進一步地,所述傳動組件還包括傳動箱體與潤滑脂,所述傳動箱體容置複數個所述第二傳動齒輪與所述第一傳動齒輪,並與所述離合組件密封連接,其中,複數個所述第二傳動軸的另一端伸入所述傳動箱體以連接所述第二傳動齒輪。所述潤滑脂設於所述傳動箱體內及所述第二傳動齒輪、所述第一傳動齒輪。
進一步地,所述傳動組件還包括第三油封,所述第三油封設於複數個所述第二傳動軸與所述傳動箱體之間。
進一步地,所述第一傳動齒輪與所述第二傳動齒輪為傘狀齒輪,相鄰兩個所述第二傳動軸呈預設角度排布,所述預設角度為60°-120°。
進一步地,複數個所述第二傳動齒輪呈等角度分佈且分別與所述第一傳動齒輪齒合。
進一步地,所述驅動機構還包括連接架,所述連接架容置所述電機並與所述傳動組件連接,所述連接架還用於連接機械臂。
進一步地,所述加工組件包括第一偏置轉體,所述第一偏置轉體連接所述第一傳動軸的一端,所述第一偏置轉體的軸向與所述第一傳動軸的軸向錯位以使所述加工組件作偏轉運動。
進一步地,所述加工組件還包括第一偏置座,所述第一偏置座一端連接於所述第一傳動軸的一端,另一端設有第一偏置槽,所述第一偏置轉體可轉動地設於所述第一偏置槽。
進一步地,所述加工組件還包括第一軸承、安裝架及加工件。所述第一軸承,套設於所述第一傳動軸並位於所述連接主體。所述安裝架連接所述第一偏置轉體的另一端。所述加工件設於所述安裝架背離所述第一偏置轉體的一側。
進一步地,所述加工機構包括複數個從動組件,所述從動組件圍繞所述第一傳動軸設置,所述從動組件嵌設所述連接主體並與所述加工組件偏轉連接,以配合所述第一傳動軸。
進一步地,所述從動組件包括第二偏置轉體、第二偏置座及第二軸承。所述第二偏置轉體一端連接所述安裝架,所述第二偏置座與所述第二偏置轉體的另一端樞接,所述第二軸承,嵌設於所述連接主體,偏轉連接所述第二偏置座。
進一步地,所述從動組件還包括:從動油封,設於所述第二偏置座與所述連接主體之間。
本申請提供的表面加工裝置,藉由電機驅動第一傳動軸,第一傳動軸帶動加工組件擺動,有利於提高加工組件擺動頻率的可控性,減少加工組件的跳動,同時還可減少噪音。
100:表面加工裝置
10:加工機構
11:加工組件
111:第一偏置轉體
112:安裝架
113:加工件
114:第一偏置座
115:第一偏置槽
116:第一軸承
12:第一傳動軸
121:限位孔
13:密封件
14:連接主體
141:第一密封圈
142:第二密封圈
143:第三密封圈
15:從動組件
151:第二偏置轉體
152:第二偏置座
153:第二軸承
154:從動油封
155:第二偏置槽
20:驅動機構
21:電機
22:離合組件
221:第一連接件
221a:第一離合塊
221b:連接銷
221c:通孔
221d:卡接部
222:第二連接件
222a:第二離合塊
222b:容置部
223:離合驅動件
224:離合感應器
225:離合箱體
226:第二油封
227:鎖定件
228:彈性件
23:傳動組件
231:第一傳動齒輪
232:第二傳動齒輪
233:第二傳動軸
234:傳動箱體
235:第三油封
24:連接架
25:機械臂
P:預定位置
θ:預設角度
A:第一軸向
B:第二軸向
C:第三軸向
D:第四軸向
E:第五軸向
L:預設距離
200:工件
圖1為本申請一實施例提供的表面加工裝置的整體示意圖。
圖2為圖1所示的表面加工裝置沿線II-II的剖視圖。
圖3為圖2所示的剖視圖之區域III的放大圖。
圖4為圖1所示的表面加工裝置沿線IV-IV的剖視圖。
圖5為圖4所示的剖視圖之區域V的放大圖。
圖6為本申請提供的表面加工裝置配合機械臂的工作示意圖。
下面詳細描述本申請的實施方式,所述實施方式的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。
本申請提供一種表面加工裝置,包括:加工機構,包括加工組件、連接主體與第一傳動軸,所述第一傳動軸穿設於所述連接主體,且一端與所述加工組件偏轉連接,所述第一傳動軸與所述連接主體之間設有密封件。驅動機構,包括電機,所述驅動機構與所述連接主體連接,所述電機與所述第一傳動軸的另一端傳動連接,以驅動所述第一傳動軸旋轉使所述加工組件進行偏轉運動。以下將結合附圖對本申請的一些實施方式作詳細說明。
下面藉由參考附圖描述的實施方式係示例性的,僅用於解釋本申請,而不能理解為對本申請的限制。
請參閱圖1與圖6,本發明一實施例提供一種表面加工裝置100,表面加工裝置100包括加工機構10以及驅動機構20,驅動機構20帶動加工機構10作偏轉運動,加工機構10作用於待加工工件200(參見圖6)的表面以打磨待加工工件200。本實施例中,偏轉運動指加工機構10的中心軸與第一傳動軸12的中心軸不重合,被帶動作類似圓形或橢圓形軌跡的運動,以對工件200的表面進行打磨拋光等表面加工。
請參見圖2與圖3,加工機構10包括加工組件11、第一傳動軸12、密封件13及連接主體14。連接主體14大致呈方盒狀,加工組件11設於連接主體14內,第一傳動軸12的一端與加工組件11偏轉連接以驅動加工組件11進行偏轉運動,另一端穿過連接主體14並傳動連接驅動機構20,第一傳動軸12與連接主體14之間設有密封件13,密封件13既可用於防止打磨拋光液從連接主體14內滲漏,又可防止灰塵、水氣等自外侵入連接主體14內。其中,密封件13為第一油封,驅
動機構20包括電機21,電機21可為伺服電機、步進電機、直流電機或者交流電機,優選地,電機21為防水伺服電機。
本申請提供的表面加工裝置100,藉由電機21進行驅動,電機21傳動連接於第一傳動軸12,藉由第一傳動軸12帶動加工組件11運動,有利於提高加工組件11運動頻率的可控性,有效減少加工組件的不穩定跳動與降低噪音,而且有利於實現加工監控(例如,監控電機的轉速與輸出力矩),從而便於生產調試管理,還可間接監控打磨生產時加工組件11的實際狀況,提高生產品質。
請參見圖2與圖3,在本實施例中,驅動機構20還包括離合組件22,離合組件22連接於電機21與加工機構10之間,離合組件22用於控制電機21與加工機構10是否連接,從而傳遞或者切斷電機21向加工機構10輸入的動力,在設有複數個加工機構的情況下,表面加工裝置100能夠藉由離合組件22轉換使用不同的加工機構10。
具體地,離合組件22包括第一連接件221與第二連接件222,第一連接件221與第二連接件222為可離合連接,第一連接件221連接於第一傳動軸12背離加工機構10的另一端,第二連接件222傳動連接於電機21。當第一連接件221與第二連接件222接合,電機21可藉由離合組件22輸出動力至第一傳動軸12,第一傳動軸12帶動加工組件11運動使加工組件11可正常打磨待加工工件200;當第一連接件221與第二連接件222分離,電機21與加工組件11之間的動力傳輸中斷,加工組件11停止運動及打磨待加工工件200。可理解地,如果不需要實現電機21與加工機構10之間的離合傳動,離合組件22亦可省略。
請參見圖2與圖3,在本實施例中,第一連接件221包括第一離合塊221a與連接銷221b。第一離合塊221a上設有通孔221c,第一傳動軸12的另一端插入通孔221c,並設有限位孔121,限位孔121沿第一傳動軸12的軸向方向延伸,第一離合塊221a可活動地套設於第一傳動軸12的另一端,連接銷221b沿通孔221c徑向
固定於221c裡,並穿過限位孔121,設於限位元孔121內的部分連接銷221b可於限位孔121內移動,從而將第一離合塊221a可移動地限位於第一傳動軸12的另一端。第二連接件222包括第二離合塊222a,第二離合塊222a與第一離合塊221a對應設置,第二離合塊222a傳動連接電機21,第一離合塊221a與第二離合塊222a為可離合連接。
具體地,第一離合塊221a朝向第二離合塊222a的一端設有卡接部221d,第二離合塊222a對應卡接部221d的一端設有容置部222b。當第一離合塊221a朝向第二離合塊222a移動時,卡接部221d可容置於容置部222b內,使得第一離合塊221a與第二離合塊222a接合,當第一離合塊221a背離第二離合塊222a移動時,卡接部221d可退出容置部222b,使得第一離合塊221a與第二離合塊222a分離。在本實施例中,卡接部221d為凸塊,容置部222b為與凸塊相適配的凹槽。在本申請的其他實施例中,卡接部221d可為凹槽,容置部222b可為與凹槽相適配的凸塊。
請參見圖2與圖3,在本實施例中,離合組件22還包括離合驅動件223與離合感應器224。離合驅動件223連接第一離合塊221a以驅動第一離合塊221a朝向第二離合塊222a移動至一預定位置P(圖2),預定位置P對應卡接部221d容置於容置部222b(即,第一離合塊221a與第二離合塊222a接合)。離合感應器224與預定位置P對應設置以感應第一離合塊221a,從而確保離合驅動件223將第一離合塊221a帶動至於預定位置P。在本實施例中,離合驅動件223為汽缸,離合感應器224為接近感測器。可理解地,如果不需要實現驅動與感測第一離合塊221a的功能,離合驅動件223與離合感應器224亦可省略。
請同時參見圖2與圖3,在本實施例中,離合組件22還包括離合箱體225與第二油封226,離合箱體225的一端密封連接連接主體14,第一傳動軸12的另一端、第一連接件221、第二連接件222與離合驅動件223設於離合箱體225內,離合感應器224嵌設於離合箱體225。第二油封226設於離合箱體225與第一傳動
軸12之間,防止打磨拋光液、灰塵、水汽等自外侵入離合箱體225內,增加離合組件22的封閉性以提高離合組件22運行的可靠性。可理解地,如果不需要封閉離合組件22,離合箱體225與第二油封226亦可省略。在一些實施例中,密封件13與第二油封226之間可設置穩定軸承,穩定軸承套設於第一傳動軸12,以提升傳動穩定性並降低摩擦損耗;離合箱體225與連接主體14之間還設有第一密封圈141,第一密封圈141可提升離合箱體225及連接主體14之間的密封性,防止打磨拋光液侵入造成腐蝕、鬆脫、滑動等不良影響。
請參見圖2與圖3,在本實施例中,離合組件22還包括鎖定件227與彈性件228,鎖定件227套設於第一傳動軸12並抵接於離合箱體225的內側,從而定位第一傳動軸12的另一端,鎖定件227設於第一離合塊221a與第二油封226之間,彈性件228抵持於鎖定件227與第一離合塊221a之間,從而提供第一離合塊221a朝向第二離合塊222a移動的彈性力,從而無需離合驅動件223帶動第一離合塊221a移向第二離合塊222a(此時,離合驅動件223的作用在於克服彈性力,用於推動第一離合塊221a遠離第二離合塊222a)。在本實施例中,鎖定件227為螺紋套管,彈性件228為壓縮彈簧,壓縮彈簧套設於第一傳動軸12的另一端,且壓縮彈簧的一端抵接螺紋套管,壓縮彈簧的另一端抵接第一離合塊221a。可理解地,如果不需要彈性件228推動第一離合塊221a,彈性件228與鎖定件227亦可省略。
在進一步的實施例中,當離合組件22處於斷開狀態時,卡接部221d與容置部222b的位置沿第一離合塊221a與第二離合塊222a的旋轉方向相互錯開,當需要將離合組件22連接起來時,離合驅動件223不再對抗彈性件228的彈性力,電機21緩慢旋轉至卡接部221d與容置部222b對齊時,在彈性件228的作用下,第一離合塊221a向第二離合塊222a移動,卡接部221d順利卡入容置部222b,離合感應器224感應到第一離合塊221a到達預定位置P後,電機21開始高速旋轉,並經由離合組件22帶動加工機構10開始工作。當需要將離合組件22斷開時,離合驅
動件223對抗彈性件228將第一離合塊221a推離第二離合塊222a,使卡接部221d脫離容置部222b,從而斷開第一離合塊221a與第二離合塊222a之間的連接。
請參見圖2與圖4,在本實施例中,驅動機構20還包括傳動組件23,傳動組件23連接於離合組件22與電機21之間。傳動組件23包括第一傳動齒輪231、第二傳動齒輪232及第二傳動軸233,第一傳動齒輪231連接電機21以輸出電機21的動力。在進一步的實施例中,可將第一傳動齒輪231與第二傳動齒輪232設置為錐齒輪,以實現變向動力輸出,第二傳動軸233一端伸入離合組件22以連接第二連接件222,另一端連接第二傳動齒輪232。可理解地,在本申請其他實施例中,當離合組件22省略時,第二傳動軸233可朝向連接主體14延伸並連接第一傳動軸12的另一端。
請參見圖2與圖4,在本實施例中,傳動組件23還包括傳動箱體234及潤滑脂(圖未示),第一傳動齒輪231與第二傳動齒輪232容置於傳動箱體234內,第二傳動軸233的兩端分別於傳動箱體234與離合箱體225內。潤滑脂設於傳動箱體234內,或者設於第一傳動齒輪231,或者設於第二傳動齒輪232,潤滑脂可用於減少第一傳動齒輪231與第二傳動齒輪232之間磨損。在一些實施例中,傳動箱體234與離合箱體225之間設有第二密封圈142,第二密封圈142可提升傳動箱體234與離合箱體225之間的密封性,防止打磨拋光液侵入造成腐蝕、鬆脫、滑動等不良影響。
請參見圖2與圖4,在本實施例中,傳動組件23還包括第三油封235,第三油封235設於第二傳動軸233與傳動箱體234之間,第三油封235用於封閉第二傳動軸233與傳動箱體234之間的間隙,防止水、磨削液進入傳動組件23內。可理解地,如果不需要封閉第二傳動軸233與傳動箱體234之間的間隙,第三油封235亦可省略。
請參見圖2及圖6,在本實施例中,表面加工裝置100中設有複數個加工機構,相應地,第二傳動齒輪232、第二傳動軸233、離合組件22的數量為複數個,且第二傳動齒輪232與第二傳動軸233、離合組件22與加工機構10一一對應,且第一傳動齒輪231與第二傳動齒輪232為傘狀齒輪,以實現動力傳輸變向,使第二傳動軸233能夠環繞連接至電機21的第一傳動齒輪231設置。相鄰兩個第二傳動軸233呈預設角度θ傳動,預設角度θ範圍為60°-120°。
具體地,預設角度θ為120°,三個第二傳動齒輪232呈等角度分佈且分別與第一傳動齒輪231嚙合,從而實現一個電機21帶動三個加工機構10的目的,從而可實現同時加工複數個待加工工件200,或有選擇地帶動其中一個加工機構10進行加工,均有利於提高加工效率。
請參見圖1與圖4,在本實施例中,驅動機構20還包括連接架24,連接架24為一中空的框架,電機21設於連接架24內,連接架24連接傳動箱體234,連接架24可用於連接機械臂25,機械臂25可帶動表面加工裝置100多向移動,實現可移動的多方位加工。在一些實施例中,連接架24與傳動箱體234之間設有第三密封圈143,第三密封圈143可提升傳動箱體234與連接架24之間的密封性,防止打磨拋光液侵入造成腐蝕、鬆脫、滑動等不良影響。
請參見圖3與圖5,在本實施例中,加工組件11包括第一偏置轉體111、安裝架112以及加工件113,第一偏置轉體111連接安裝架112的一端,加工件113設於安裝架112背離第一偏置轉體111的另一端。第一傳動軸12的一端樞接第一偏置轉體111,第一傳動軸12具有第一軸向A,第一偏置轉體111具有第二軸向B,第一軸向A與第二軸向B非重合錯位設置。具體地,第一軸向A與第二軸向B相距一預設距離L(例如,1.5毫米),使得第一偏置轉體111作以第一軸向A為中軸線,中心直徑為2L的旋轉運動,轉動的第一偏置轉體111帶動設有加工件113的安裝架112作類似圓形或橢圓形軌跡的運動(因安裝架112的中心線與第二軸向B
重合,故與第一軸向A偏置不重合,又稱為偏轉運動),以實現對工件200的表面進行打磨拋光等表面加工。其中,加工件113為打磨砂紙,安裝架112大致呈瓦片狀。
請參見圖2與圖3,在本實施例中,加工機構10還包括第一偏置座114,第一偏置座114設於第一傳動軸12連接加工組件11的一端,第一偏置座114朝向第一偏置轉體111的一側內凹形成有第一偏置槽115,第一傳動軸12帶動第一偏置座114轉動,第一偏置槽115具有第三軸向C,第一偏置轉體111可轉動地設於第一偏置槽115內,第三軸向C與第二軸向B重合,從而實現第一傳動軸12與第一偏置轉體111的偏轉連接。可理解地,第一偏置轉體111與第一傳動軸12還可採用萬向節等其他方式進行偏轉連接。在一些實施例中,第一傳動軸12與第一偏置座114可一體成型,第三軸向C亦可與第一軸向A重合,第二軸向B仍與第一軸向A偏置。
請參見圖4,在本實施例中,加工組件11還包括第一軸承116,第一軸承116包括外圈(圖未示)、內圈(圖未示)、複數個滾動體(圖未示)與保持架(圖未示)四部分,滾動體設於外圈與內圈之間,保持架套設於滾動體外,使得內圈可相對於外圈滾動,外圈嵌入連接主體14內,部分第一偏置座114容置於內圈,從而起到限位第一偏置座114的目的,防止第一偏置座114轉動過程中位置出現偏移。
請參見圖4與圖5,在本實施例中,加工機構10還包括複數個從動組件15,從動組件15圍繞第一傳動軸12且分別嵌設於連接主體14,從動組件15與安裝架112偏轉連接,以配合第一傳動軸12作偏轉運動用於對待加工工件200進行加工,藉由複數個從動組件15的支撐及協動以實現加工組件11對待加工工件200加工時保持穩定,接觸面不傾斜,保障表面加工效果。
具體地,從動組件15包括第二偏置轉體151、第二偏置座152及第二軸承153。第二偏置轉體151一端連接加工組件11,另一端連接第二偏置座152的一端,第二偏置座152背離第二偏置轉體151的另一端插入連接主體14並形成轉動連接,第二軸承153套設於第二偏置座152的另一端並位於連接主體14內。第二軸承153與第一軸承116的結構相似,其中,第二偏置座152具有第四軸向D,並形成有第二偏置槽155,第二偏置轉體151可旋轉地容納於第二偏置槽155中,並具有第五軸向E,第五軸向E與第四軸向D非重合錯位設置,第二偏置轉體151一端可轉動地設於第二偏置槽155內,第二偏置轉體151的另一端連接安裝架112,從而實現從動組件15與安裝架112的偏轉連接,本實施例中,藉由設置兩組從動組件15,圍繞第一傳動軸12對稱設置,實現了對安裝架112的穩固支撐連接,從而可進一步地減少安裝架112及其上加工件113產生跳動或傾斜而造成的打磨不良。
請參見圖3,在本實施例中,從動組件15還包括從動油封154,從動油封154設於第二偏置座152與連接主體14之間,從動油封154用於封閉第二偏置座152與連接主體14之間的間隙,從而防止打磨拋光液從連接主體14內滲漏,又可防止灰塵、水氣等自外侵入連接主體14內。其中,密封件13(即第一油封)、第二油封226、第三油封235及從動油封均為骨架油封。
最後應說明的為,以上實施例僅用以說明本申請的技術方案而非限制,儘管參照較佳實施例對本申請進行了詳細說明,本領域的普通技術人員應當理解,可對本申請的技術方案進行修改或等同替換,而不脫離本申請技術方案的精神和範圍。
100:表面加工裝置
10:加工機構
20:驅動機構
11:加工組件
14:連接主體
21:電機
24:連接架
112:安裝架
113:加工件
225:離合箱體
234:傳動箱體
Claims (18)
- 一種表面加工裝置,其改良在於,包括:加工機構,包括加工組件、連接主體與第一傳動軸,所述第一傳動軸穿設於所述連接主體,且一端與所述加工組件偏轉連接,所述第一傳動軸與所述連接主體之間設有密封件;驅動機構,包括電機與離合組件,所述電機與所述第一傳動軸的另一端傳動連接,以驅動所述第一傳動軸旋轉使所述加工組件進行偏轉,所述第一傳動軸的另一端設有限位孔,所述離合組件與所述連接主體連接並包括離合驅動件、鎖緊件、彈性件及可離合連接的第一連接件與第二連接件,所述第一連接件包括第一離合塊與連接銷,所述第一離合塊套設於所述第一傳動軸的另一端,所述連接銷移動地穿設所述限位孔並與所述第一離合塊連接,使得所述第一離合塊可沿所述第一傳動軸的軸向移動,所述第二連接件包括與所述第一離合塊相對設置的第二離合塊,所述第二離合塊傳動連接所述電機,所述第一離合塊朝向所述第二離合塊的一端設有卡接部,所述第二離合塊設有與所述卡接部可離合連接的容置部,所述離合驅動件與所述第一連接件連接,用於驅動所述第一連接件移動至預定位置以遠離所述第二連接件,所述鎖定件套設於所述第一傳動軸,以定位所述第一傳動軸的另一端,所述彈性件套設於所述第一傳動軸,用於抵持所述第一連接件向所述第二連接件移動,以與所述第二連接件連接。
- 如請求項1所述之表面加工裝置,其中,所述表面加工機構包括複數個所述加工機構,所述離合組件為複數個。
- 如請求項2所述之表面加工裝置,其中,所述離合組件還包括:離合感應器,與所述預定位置相對應,用於感應位於所述預定位置的所述第一連接件。
- 如請求項3所述之表面加工裝置,其中,所述離合組件還包括:離合箱體,容置所述第一傳動軸的另一端、所述第一連接件、所述第二連接件與所述離合驅動件,並與所述連接主體密封連接; 第二油封,設於所述離合箱體與所述第一傳動軸之間;其中,所述離合感應器嵌設於所述離合箱體,所述密封件為第一油封。
- 如請求項4所述之表面加工裝置,其中,所述鎖定件與所述離合箱體連接並設於所述第一連接件與所述第二油封之間。
- 如請求項1所述之表面加工裝置,其中,所述驅動機構還包括與所述連接主體連接的傳動組件,所述傳動組件包括:第一傳動齒輪,與所述電機連接;第二傳動軸,一端連接於所述第一傳動軸的另一端;第二傳動齒輪,連接於所述第二傳動軸的另一端,並與所述第一傳動齒輪嚙合。
- 如請求項2所述之表面加工裝置,其中,所述驅動機構還包括與所述離合組件連接的傳動組件,所述傳動組件包括:第一傳動齒輪,與所述電機連接;複數個第二傳動齒輪,與所述第一傳動齒輪嚙合;複數個第二傳動軸,每個所述第二傳動軸的一端伸入所述一個離合組件以連接所述第二連接件,另一端連接至一個所述第二傳動齒輪。
- 如請求項7所述之表面加工裝置,其中,所述傳動組件還包括:傳動箱體,容置複數個所述第二傳動齒輪與所述第一傳動齒輪,並與所述離合組件密封連接,其中,複數個所述第二傳動軸的另一端伸入所述傳動箱體以連接所述第二傳動齒輪;潤滑脂,設於所述傳動箱體內及所述第二傳動齒輪、所述第一傳動齒輪。
- 如請求項8所述之表面加工裝置,其中,所述傳動組件還包括:第三油封,設於複數個所述第二傳動軸與所述傳動箱體之間。
- 如請求項7所述之表面加工裝置,其中,所述第一傳動齒輪與所述第二傳動齒輪為傘狀齒輪,相鄰兩個所述第二傳動軸呈預設角度排布,所述預設角度為60°-120°。
- 如請求項7所述之表面加工裝置,其中,複數個所述第二傳動齒輪呈等角度分佈且分別與所述第一傳動齒輪齒合。
- 如請求項7所述之表面加工裝置,其中,所述驅動機構還包括:連接架,容置所述電機並與所述傳動組件連接,所述連接架還用於連接機械臂。
- 如請求項2所述之表面加工裝置,其中,所述加工組件包括:第一偏置轉體,連接所述第一傳動軸的一端,所述第一偏置轉體的軸向與所述第一傳動軸的軸向錯位以使所述加工組件作偏轉運動。
- 如請求項13所述之表面加工裝置,其中,所述加工組件還包括:第一偏置座,一端連接於所述第一傳動軸的一端,另一端設有第一偏置槽,所述第一偏置轉體可轉動地設於所述第一偏置槽。
- 如請求項13所述之表面加工裝置,其中,所述加工組件還包括:第一軸承,套設於所述第一傳動軸並位於所述連接主體;安裝架,連接所述第一偏置轉體的另一端;加工件,設於所述安裝架背離所述第一偏置轉體的一側。
- 如請求項15所述之表面加工裝置,其中,所述加工機構包括:複數個從動組件,圍繞所述第一傳動軸設置,所述從動組件嵌設所述連接主體並與所述加工組件偏轉連接,以配合所述第一傳動軸。
- 如請求項16所述之表面加工裝置,其中,所述從動組件包括:第二偏置轉體,一端連接所述安裝架,第二偏置座,與所述第二偏置轉體的另一端樞接,第二軸承,嵌設於所述連接主體,偏轉連接所述第二偏置座。
- 如請求項17所述之表面加工裝置,其中,所述從動組件還包括:從動油封,設於所述第二偏置座與所述連接主體之間。
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US20030060134A1 (en) | 2000-10-26 | 2003-03-27 | Applied Materials, Inc. | Platen with peripheral frame for supporting a web of polishing material in a chemical mechanical planarization system |
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US20030060134A1 (en) | 2000-10-26 | 2003-03-27 | Applied Materials, Inc. | Platen with peripheral frame for supporting a web of polishing material in a chemical mechanical planarization system |
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