TWI839846B - 可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法及檢測系統 - Google Patents

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Abstract

一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，主要是以一光源斜向照射於該透明膜上瑕疵所在位置，且以一攝影機對該瑕疵取像，其中，該攝影機係位於該光線由該透明膜表面未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸上，藉以對由該透明膜表面反射的光線取像，進而得到一待判斷影像。以一電腦執行一判斷邏輯來對該待判斷影像進行判斷，該判斷邏輯的內容係為：在該待判斷影像中有黑暗區域者，即判定該瑕疵是位於膜表，在該待判斷影像中不具有黑暗區域者，則判定該瑕疵是位於膜背。

Description

可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法及檢測系統
本發明係與透明膜的瑕疵檢測技術有關，特別是指一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法及檢測系統。
中華民國早期公開202018279號發明專利，揭露了一種基於多個散射信號之嵌入式粒子深度分級技術，此案技術主要是利用照明源斜向照射於半導體裝置(例如3D記憶體堆疊)的缺陷，利用兩個不同的照明束調節組件中的透鏡或偏振器等類似元件來進行光源的調整，進而使缺陷產生散射或折射，再以兩個不同的偵測器來取像，以判斷出該缺陷的缺陷深度。
前述案件的圖1B及圖1C顯示出其光源係為斜向照射，而取像則可以斜向取像或由上往下垂直取像，因此，其重點在於該缺陷所散射或折射之後的光的取得，而其目的則是判斷出該缺陷的缺陷深度。
前述案件的技術主要是用來偵測半導體裝置的缺陷以判斷其深度，由前述案件的圖1C可以看出，這兩組偵測器與這兩組照明束調節組件乃是藉由一個反射鏡(或為半反射鏡)來在同一個光軸來對樣品取像。因此，前述案件在取像時必須以兩組偵測器與兩組照明束調節組件的分別搭配，才能完成判斷缺陷深度的結果。
對於透明膜而言，例如光罩，判斷其上的缺陷或瑕疵是在膜表或膜背是很重要的，因為，若瑕疵是在膜表，則代表這個瑕疵可以在對這個表面進行清潔時進行移除，但若瑕疵是在膜背，那麼這就是另一面的清潔問題。因此，判斷瑕疵位於膜表或膜背的位置，對於透明膜而言，是一個很重要的需求。
由於透明膜表面會有反射光線的效果，因此前述案件的偵測技術在使用於透明膜表面時，其偵測器除了會偵測到缺陷的反射及散射光之外，還會偵測到透明膜表面的反射光，這樣一來，就會造成影像的模糊，進而難以判斷該缺陷的深度，因此反而會有偵測結果不佳的問題。因此，對於位在透明膜的膜表缺陷而言，是有偵測結果不佳的問題，而針對位於膜背的缺陷而言，則更有可能因為透明膜表面的反射光更多而造成取得的影像更為模糊，可以理解是更難以判斷該缺陷是否位於膜背。
本發明之主要目的即在於提出一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法及檢測系統，其可有效的判斷出瑕疵是位於透明膜的膜表還是膜背。
本發明之再一目的即在於提出一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法及檢測系統，其較先前技術使用更為簡單的結構，就足以有效的判斷出透明膜的瑕疵位於膜表或膜背。
為了達成上述目的，本發明提出一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，包含有下列步驟：A)備置：準備一透明膜，該透明膜具有一待檢測面，該透明膜具有至少一瑕疵，且該至少一瑕疵位於該透明膜 上的座標位置係為已知，但該至少一瑕疵是位於膜表或膜背則為未知，以及準備一光源，使該光源照射於該待檢測面的照射方向與該待檢測面相夾一照射角度，該照射角度係小於45度；B)照射及取像：以該光源依前述的該至少一瑕疵所在的座標位置對該待檢測面照射光線，且以一攝影機對該至少一瑕疵進行取像，其中，該攝影機係位於該光線由該待檢測面未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸上，用以對由該透明膜的該待檢測面及背面所反射的光線取像，進而得到至少一待判斷影像，而前述之照射角度，乃係基於該透明膜之表面反射率來調整該照射角度，進而使該攝影機所取得的影像中，有70%以上的光線是由該透明膜反射；以及C)檢測判斷：以一電腦執行一判斷邏輯來對該至少一待判斷影像進行判斷，該判斷邏輯的內容係為：在該至少一待判斷影像中有黑暗區域者，即判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜表且具有預定厚度，在該至少一待判斷影像中不具有黑暗區域者，則判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜背。
藉由上述步驟，本發明可藉由簡單的結構，就足以有效的判斷出瑕疵是位於透明膜的膜表還是膜背。
此外，本發明還提出一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統，可用來執行前述步驟，該可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統，包含有：一移動檢測台，用以置放一透明膜，該透明膜具有一待檢測面，且該透明膜具有至少一瑕疵，該至少一瑕疵位於該透明膜上的座標位置係已儲存於一電腦，該移動檢測台係可受該電腦控制而帶動該透明膜於X方向及Y方向移動；一光源，其發光照射於該待檢測面的照射方向與該待檢測面相夾一照射角度，該照射角度係小於45度，該光源係用以在前述移動檢測台 將該透明膜移動到使前述的該至少一瑕疵所在的座標位置對準該光源的照射位置時，發出光線對該至少一瑕疵進行照射；以及一攝影機，對該至少一瑕疵進行取像，其中，該攝影機係位於該光源所發射的光線由該待檢測面未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸上，用以對由該透明膜的該待檢測面及背面所反射的光線取像，進而得到至少一待判斷影像，而前述之照射角度，乃係基於該透明膜之表面反射率來調整該照射角度，進而使該攝影機所取得的影像中，有70%以上的光線是由該透明膜反射；其中，該電腦係執行一判斷邏輯來判斷該至少一待判斷影像，該判斷邏輯的內容係為：在該至少一待判斷影像中有黑暗區域者，該電腦即判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜表且具有預定厚度；在該至少一待判斷影像中不具有黑暗區域者，則判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜背。
本發明藉由上述之系統，即可達到利用簡單的結構，就足以有效的判斷出瑕疵是位於透明膜的膜表還是膜背的效果。
10:可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統
11:透明膜
12:待檢測面
13:背面
14:瑕疵
21:光源
26:側光源
31:攝影機
32:待判斷影像
36:側攝影機
37:待判斷側影像
41:電腦
42:判斷邏輯
91:移動檢測台
A,A’:光軸
DA,DA’:黑暗區域
θ:照射角度
圖1係本發明第一較佳實施例之流程圖。
圖2係本發明第一較佳實施例之透明膜示意圖。
圖3係本發明第一較佳實施例之架構示意圖。
圖4係本發明第一較佳實施例之檢測狀態示意圖。
圖5係本發明第一較佳實施例之方塊示意圖。
圖6係本發明第一較佳實施例之動作示意圖，顯示瑕疵位於膜表的檢測狀態。
圖7係依圖6檢測時所取得的待判斷影像示意圖。
圖8係本發明第一較佳實施例之另一動作示意圖，顯示瑕疵位於膜背的檢測狀態。
圖9係依圖8檢測時所取得的待判斷影像示意圖。
圖10係本發明第二較佳實施例之架構示意圖。
圖11係本發明第二較佳實施例之待判斷影像示意圖。
圖12係本發明第二較佳實施例之待判斷側影像示意圖。
圖13係本發明第二較佳實施例之另一種瑕疵位於膜表的示意圖。
圖14係對圖13之瑕疵取像後之待判斷影像示意圖。
圖15係對圖13之瑕疵取像後之待判斷側影像示意圖。
圖16係本發明第二較佳實施例之瑕疵為污漬而位於膜背的示意圖。
圖17係對圖16之瑕疵取像後之待判斷影像示意圖。
圖18係對圖16之瑕疵取像後之待判斷側影像示意圖。
為了詳細說明本發明之技術特點所在，茲舉以下之較佳實施例並配合圖式說明如後，其中：如圖1至圖9所示，本發明第一較佳實施例提出一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，包含有下列步驟：A)備置：準備一透明膜11，例如光罩，該透明膜11具有一待檢測面12，該透明膜11具有複數瑕疵14，這些瑕疵14可能是位於該透明膜11的該待檢 測面12的表面，以下簡稱膜表，而可能是粉塵或油污，也可能是位於該透明膜11的該待檢測面12的下方，以下稱膜背，例如黑點、氣泡或不明顆粒。該複數瑕疵14位於該透明膜11上的座標位置係為已知，實務上可以在進行檢測之前就先以自動光學檢測(AOI)技術找出各該瑕疵14的座標位置並予以記錄起來。然而，在此階段雖已知各該瑕疵14的座標位置，但其位於該透明膜11的膜表或膜背則是未知的。在此步驟A)中，還準備一光源21，使該光源21照射於該待檢測面12的照射方向與該待檢測面12相夾一照射角度θ，於本實施例中該照射角度θ係以30度為例，且基於該透明膜11之表面反射率來調整該照射角度θ而使該光線得以有部分的光線在該透明膜11的該待檢測面12反射，以及也會有部分的光線穿透該待檢測面12而於該透明膜11的背面13反射。而在實務上，該光源21也可以採用適當的光源21，例如S偏振光，以利用其更容易由該透明膜11表面反射的特性。實務上可以視光源21的種類來調整照射角度θ，對於更容易反射的光線，其照射角度θ是可以大於30度的，即使在45度也是可以的。
B)照射及取像：以該光源21逐一的依各該瑕疵14所在的座標位置對該待檢測面12照射光線，且以一攝影機31逐一的對各該瑕疵14進行取像，其中，在逐一照射及取像的過程中，該攝影機31係保持位於該光線由該待檢測面12未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸A上，用以對由該透明膜11的該待檢測面12及背面13所反射的光線取像，進得到對應於各該瑕疵14的複數待判斷影像32，而前述之照射角度θ，乃係基於該透明膜11之表面反射率來調整該照射角度θ，因此，對於該待檢測面12或該透明膜11的背面13而言，所調整的該照射角度θ，只要能使得該攝影機31所取得的影像中，有70%以上的光線是由該透明膜11反射即可。
C)檢測判斷：以一電腦41執行一判斷邏輯42來分別對各該待判斷影像32進行判斷，該判斷邏輯42的內容係為：在各該待判斷影像32中存在有黑暗區域DA者，即判定這個待判斷影像32所對應的瑕疵14是位於該透明膜11的膜表且具有預定厚度，在各該待判斷影像32中不具有黑暗區域DA者，則判定這個待判斷影像32所對應的瑕疵14是位於膜背。在實際實施時，該電腦41也可以是工業電腦或其他類似的運算處理系統，並不以家用電腦為限制。
在前述的步驟C)中，由圖6可以看出，若是該瑕疵14是位於膜表而有預定厚度，那麼該光源21所照射的光線就會有部分被該瑕疵14擋住而不會由該透明膜11表面或背面13反射至該攝影機31，再加上有70%以上由該透明膜11所反射的光線進入該攝影機31成像，因此，如圖7所示，該攝影機31所取得的該待判斷影像32中就會具有黑暗區域DA，而由圖6中可看出，由於該瑕疵14位於膜表而具有預定厚度，而且光線是斜向照射，因此被該瑕疵14所擋住的光線所涵蓋的區域就長於該瑕疵14的長度，因此，就會在該瑕疵14所對應的該待判斷影像32中的黑暗區域DA顯現出更長的狀況，這也是在照射方向上造成了該黑暗區域DA拉長的狀況。簡單的說，就是如果該瑕疵14是一個圓形物體，則所形成的黑暗區域DA就比例而言會呈現出長比寬更長的結果出來，至於長度會拉長多少，則取決於該光源21的照射角度θ以及該瑕疵14的高度，以圖7中所示者來看，長是寬的三倍多。由此可知，該黑暗區域DA其形狀的長寬比例必然比該瑕疵14本身的原比例在長度上要來得長。再由圖8中可以看出，若是該瑕疵14位於膜背，則代表在該透明膜11表面的這個位置沒有任何凸起物可以阻擋光線，該光源21所照射的光線就會不受任何阻擋而由該透明膜11表面反射至該攝影機31，因此，如圖9所 示，該攝影機31所取得的該待檢測影像32中就不會具有黑暗區域DA。也因此，可以有效的判斷出該瑕疵14是位於膜表還是膜背。
藉由上述步驟，本發明可以有效的判斷出瑕疵14是位於透明膜11的膜表還是膜背。此外，本發明使用較先前技術使用更為簡單的結構，不需要使用半反射鏡，也不需要使用兩組攝影機31設置在同光軸的結構，就能有效的判斷出透明膜11的瑕疵14位於膜表或膜背。
如圖3至圖5所示，要執行上述步驟，可使用下述的：可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統10來執行，該可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統10主要由一移動檢測台91、一光源21以及一攝影機31所組成，其中：該移動檢測台91，用以置放一透明膜11，該透明膜11具有一待檢測面12，且該透明膜11具有複數瑕疵14，該複數瑕疵14位於該透明膜11上的座標位置係已儲存於該電腦41，該移動檢測台91係可受該電腦41控制而帶動該透明膜11於X方向及Y方向移動，藉以讓各該瑕疵14分別位於該光源21的照明位置，來進行檢測。
該光源21，其發光照射於該待檢測面12的照射方向與該待檢測面12相夾一照射角度θ，該照射角度θ係以30度為例，且該光線在照射於該待檢測面12後，係有部分的光線在該待檢測面12反射，以及也會有部分的光線穿透該待檢測面12而於該透明膜11的背面13反射。該光源21係用以在前述移動檢測台91將該透明膜11分別移動到使各該瑕疵14所在的座標位置對準該光源21的照射位置時，由該電腦41控制而發出光線對各該瑕疵14進行照射。
該攝影機31，配合各該光源21來對各該瑕疵14進行取像，其中，該攝影機31係位於該光源21所發射的光線由該待檢測面12未受到阻礙地反射後應該照射的光軸A上，用以由該電腦41控制來對由該透明膜11的該待檢測面12及背面13所反射的光線取像，進而得到複數待判斷影像32。
其中，該電腦41係執行前述的判斷邏輯42來判斷各該待判斷影像32，而該判斷邏輯42的內容係如前述步驟C)所載。
前述的各個元件可以設置在一個機台(圖中未示)上，而將元件設置於機台上的技術乃是所屬技術領域中具有通常知識者所能直接理解，因此容不對此進行詳述及圖式表示。
前述的可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統10，即可用來執行前述方法，而用來判斷瑕疵是位於膜表或膜背。
如圖10至圖18所示，本發明第二較佳實施例提出一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，其技術內容主要概同於前揭第一實施例，不同之處在於：在步驟A)中，除了第一實施例原有的該光源21之外，還更包含了一側光源26，其照射於該待檢測面12的角度係定義為側照射角度，而該側照射角度在實務上係設定為與該光源21的照射角度θ實質相同，因此在圖式中僅以該照射角度θ表示。此外，以該待檢測面12做為水平面而由上向下的視角而言，該光源21的照射方向與該側光源26的照射方向不相平行而相夾一預定角度，在本第二實施例中，這個預定角度係為90度，即垂直。
在步驟B)中，如圖10所示，除了第一實施例原有的該攝影機31之外，還更包含了一側攝影機36，該側攝影機36係位於該側光源26所發射的光線由 該待檢測面12及背面(圖中未示)未受阻礙地反射後所應該照射的光軸A’上，用以對由該待檢測面12所反射的光線取像，進而取得複數待判斷側影像37。
在步驟C)中，則以該電腦41執行該判斷邏輯42，在本第二實施例中，該判斷邏輯42的內容除了第一實施例之內容外，還包括以對該複數待判斷影像32進行判斷的方式來對該複數待判斷側影像37進行判斷，此外，該判斷邏輯42的內容還包括：若是對應於同一個該瑕疵14的該待判斷影像32中具有黑暗區域DA且該待判斷側影像37中也具有黑暗區域DA’，並且該黑暗區域DA與該黑暗區域DA’的長寬比例不同時，即判斷該瑕疵14位於膜表且具有預定厚度；而若是對應於同一個該瑕疵14的該待判斷影像32中具有黑暗區域DA且該待判斷側影像37中也具有黑暗區域DA’，但該黑暗區域DA與該黑暗區域DA’的長寬比例相同時，則判斷該瑕疵14位於膜背。這裡之所以會有這樣的判斷條件，主要是為了進一步的判斷特殊的瑕疵狀態，此種特殊的瑕疵狀態可能是類似油墨的污漬而存在於該透明膜11的膜背，而在取像上可能還是會被拍攝到局部黑暗而被誤認為是黑暗區域DA，詳細狀況說明如下。
由圖11及圖12可以看出，若該瑕疵14呈如圖6所示之球形而在膜表且具有預定厚度，則該待判斷影像32中的黑暗區域DA及該待判斷側影像37中的黑暗區域DA’都會呈現出長為寬的兩倍以上的狀態。然而，在取像的影像中雖然呈現出長為寬的兩倍以上的狀態，但由於該攝影機31與該側攝影機36的取像角度相垂直，因此，該黑暗區域DA的長寬比在該黑暗區域DA’而言就等於是寬長比，因此雖然在影像中看起來是類似的，但這裡必須當成是該黑暗區域DA與該黑暗區域DA’的長寬比例不同。
如圖13所示，若該瑕疵14呈現長形而在膜表且具有預定厚度時，則所攝得的該待判斷影像32中的黑暗區域DA及該待判斷側影像37中的黑暗區域DA’就會如圖14及圖15所示，更明顯的呈現出長寬比例不同的狀態。
再如圖16所示，若該瑕疵呈現長形而在膜背且是厚度極薄的污漬時，則所攝得的該待判斷影像32中的黑暗區域DA及該待判斷側影像37中的黑暗區域DA’就會如圖17及圖18所示，呈現出長寬比例都相同的狀態。
由前述的步驟說明可知，對於單一個瑕疵14而言，本第二實施例所提供的技術可以在不同的方向上對該瑕疵14進行檢測，進而正確無誤的判斷出該瑕疵14是位於該透明膜11的膜表或膜背。與前述第一實施例不同的是，前述第一實施例乃是基本的判斷出一般的具有厚度的瑕疵(例如粉塵)位於膜表或膜背，但對於污漬就可能會有誤判的可能性，然而，在本第二實施例中則是連污漬這類的瑕疵都能準確的判斷出其位於膜表或膜背。
至於用來執行本第二實施例前述步驟的系統，則除了第一實施例所揭露的該移動檢測台91、該光源21、該攝影機31以及該電腦41之外，還具有一側光源26以及一側攝影機36，至於其空間組合關係則已說明於本第二實施例的前述步驟及圖式中，於此不再贅述。
本第二實施例的其餘技術特徵及所可以達成的功效均概同於前揭第一實施例，容不再予贅述。
10:可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統 11:透明膜 12:待檢測面 14:瑕疵 21:光源 31:攝影機 41:電腦 91:移動檢測台 A:光軸

Claims (12)

  1. 一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，包含有下列步驟：A)備置：準備一透明膜，該透明膜具有一待檢測面，該透明膜具有至少一瑕疵，且該至少一瑕疵位於該透明膜上的座標位置係為已知，但該至少一瑕疵是位於膜表或膜背則為未知，以及準備一光源，使該光源照射於該待檢測面的照射方向與該待檢測面相夾一照射角度，該照射角度係小於45度；B)照射及取像：以該光源依前述的該至少一瑕疵所在的座標位置對該待檢測面照射光線，且以一攝影機對該至少一瑕疵進行取像，其中，該攝影機係位於該光線由該待檢測面未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸上，用以對由該透明膜的該待檢測面及背面所反射的光線取像，進而得到至少一待判斷影像，而前述之照射角度，乃係基於該透明膜之表面反射率來調整該照射角度，進而使該攝影機所取得的影像中，有70%以上的光線是由該透明膜反射；以及C)檢測判斷：以一電腦執行一判斷邏輯來對該至少一待判斷影像進行判斷，該判斷邏輯的內容係為：在該至少一待判斷影像中有黑暗區域者，即判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜表且具有預定厚度，在該至少一待判斷影像中不具有黑暗區域者，則判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜背。
  2. 依據請求項1所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，其中：在步驟A)中，該至少一瑕疵在數量上係為複數，亦即，為複數瑕疵；在步驟B)中，係分別對各該瑕疵進行照射及取像，而得到對應於各 該瑕疵的複數待判斷影像；在步驟C)中，係以該電腦來分別對各該待判斷影像進行判斷。
  3. 依據請求項1所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，其中：在步驟A)中，該照射角度係為30度，該攝影機所取得的光線係有90%由該透明膜反射。
  4. 依據請求項1所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，其中：在步驟A)中，更包含有一側光源，其照射於該待檢測面的角度係定義為側照射角度，該側照射角度與該光源的照射角度實質相同，此外，以該待檢測面做為水平面而由上向下的視角而言，該光源的照射方向與該側光源的照射方向不相平行而相夾一預定角度；在步驟B)中，更包含有一側攝影機，而該側攝影機係位於該側光源所發射的光線由該待檢測面未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸上，用以對由該透明膜的該待檢測面及背面所反射的光線取像，進而取得至少一待判斷側影像；在步驟C)中，再以該電腦執行該判斷邏輯來對該至少一待判斷側影像進行判斷，在該至少一待判斷側影像中有黑暗區域，且該待判斷側影像之黑暗區域的長寬比例與該待判斷影像中的黑暗區域不同者，即判定該至少一待判斷側影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜表且具有預定厚度；在該至少一待判斷側影像中不具有黑暗區域者，則判定該至少一待判斷側影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜背；在該至少一待判斷側影像中有黑暗區域，且該待判斷側影像之黑暗區域的長寬比例與該待判斷影像中的黑暗區域相同者，即判定該至少一待判斷側影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜背。
  5. 依據請求項4所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，其中：在步驟A)中，該至少一瑕疵在數量上係為複數，亦即， 為複數瑕疵；在步驟B)中，係分別對各該瑕疵進行照射及取像，而得到對應於各該瑕疵的複數待判斷影像以及複數待判斷側影像；在步驟C)中，係以該電腦來分別對各該待判斷影像及各該待判斷側影像進行判斷。
  6. 依據請求項4所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，其中：在步驟A)中，該照射角度及該側照射角度係為30度，該攝影機所取得的該光源所發射的光線及該側光源所發射的光線係有90%由該透明膜反射。
  7. 依據請求項4所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測方法，其中：以該待檢測面做為水平面而由上向下的視角而言，該光源的照射方向與該側光源的照射方向相垂直。
  8. 一種可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統，包含有：一移動檢測台，用以置放一透明膜，該透明膜具有一待檢測面，且該透明膜具有至少一瑕疵，該至少一瑕疵位於該透明膜上的座標位置係已儲存於一電腦，該移動檢測台係可受該電腦控制而帶動該透明膜於X方向及Y方向移動；一光源，其發光照射於該待檢測面的照射方向與該待檢測面相夾一照射角度，該照射角度係小於45度，該光源係用以在前述移動檢測台將該透明膜移動到使前述的該至少一瑕疵所在的座標位置對準該光源的照射位置時，發出光線對該至少一瑕疵進行照射；以及一攝影機，對該至少一瑕疵進行取像，其中，該攝影機係位於該光源所發射的光線由該待檢測面未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸上，用以對由該透明膜的該待檢測面及背面所反射的光線取像，進而得到至少一待判斷影像，而前 述之照射角度，乃係基於該透明膜之表面反射率來調整該照射角度，進而使該攝影機所取得的影像中，有70%以上的光線是由該透明膜反射；其中，該電腦係執行一判斷邏輯來判斷該至少一待判斷影像，該判斷邏輯的內容係為：在該至少一待判斷影像中有黑暗區域者，該電腦即判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜表且具有預定厚度；在該至少一待判斷影像中不具有黑暗區域者，則判定該至少一待判斷影像所對應的該至少一瑕疵是位於膜背。
  9. 依據請求項8所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統，其中：該照射角度係為30度，該光線係有90%的光線在該待檢測面反射。
  10. 依據請求項8所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統，其中：更包含有一側光源以及一側攝影機，該側光源照射於該待檢測面的角度係定義為側照射角度，該側照射角度與該光源的照射角度實質相同，此外，以該待檢測面做為水平面而由上向下的視角而言，該光源的照射方向與該側光源的照射方向不相平行而相夾一預定角度；該側攝影機係位於該側光源所發射的光線由該待檢測面未受到阻礙地反射後所應該照射的光軸上，用以對由該透明膜的該待檢測面及背面所反射的光線取像，進而取得至少一待判斷側影像；該電腦係執行該判斷邏輯來對該至少一待判斷側影像進行判斷。
  11. 依據請求項10所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統，其中：該照射角度及該側照射角度係為30度，該攝影機所取得的該光源所發射的光線及該側光源所發射的光線係有90%由該透明膜反射。
  12. 依據請求項10所述之可用來判斷透明膜表面的瑕疵位於膜表或膜背的檢測系統，其中：以該待檢測面做為水平面而由上向下的視角而言，該光源的照射方向與該側光源的照射方向相垂直。
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