TWI831284B - 浸潤冷卻系統 - Google Patents

Abstract

一種浸潤冷卻系統包含冷卻槽、浸潤單元、多個壓電單元以及壓電驅動器。冷卻槽具有容置部。浸潤單元位於容置部內，且浸潤單元包含冷卻板。多個壓電單元間形成至少一通道，且該至少一通道連通冷卻板。壓電驅動器係用以驅動壓電單元分別產生一變形。

Description

浸潤冷卻系統

一種浸潤冷卻系統，尤指一種具有壓電單元的浸潤冷卻系統。

浸潤冷卻系統（Immersion cooling system）通常是指將電子元件浸沒於熱傳流體中，而能使該電子元件所產生的高溫熱能直接傳遞至該熱傳流體，以使該電子元件的溫度下降。因此，該電子元件能夠維持在適當的工作溫度範圍，以達到所預期的工作效能與使用壽命。

在該電子元件的高溫傳遞至熱傳流體的過程中，將使得低沸點的熱傳流體沸騰而汽化，而會在該電子元件與熱傳流體的接觸面及其周圍快速產生大量的氣泡。此些大量的氣泡即會廣泛地散佈於該熱傳流體中。

有鑑於此，一些實施例提出一種浸潤冷卻系統，其包含冷卻槽、浸潤單元、多個壓電單元以及壓電驅動器。冷卻槽具有容置部。浸潤單元位於容置部內，且浸潤單元包含冷卻板。多個壓電單元間形成至少一通道，且該通道連通冷卻板。壓電驅動器係用以驅動壓電單元分別產生一變形。

依據一些實施例，壓電單元之變形具有一變形方向，且相鄰的二壓電單元之變形方向相反。

依據一些實施例，壓電單元具有多個通道，且多個通道係沿著遠離冷卻板之方向呈漸擴狀或漸縮狀。依據另一些實施例，多個通道係沿著鉛垂向上的方向呈漸擴狀。

依據一些實施例，壓電單元之鉛垂高度實質相同，且壓電單元之鉛垂高度不低於冷卻板之鉛垂高度。

依據一些實施例，壓電單元包含壓電框架及作用區，該作用區位於壓電框架接近冷卻板之位置。

依據一些實施例，浸潤冷卻系統另包含熱傳流體，該熱傳流體容置於容置部並至少淹沒冷卻板；且浸潤單元另包含本體框架及電子裝置，該電子裝置設置於本體框架，該電子裝置包含發熱元件，冷卻板接觸該發熱元件。

依據一些實施例，冷卻板係面向熱傳流體之液面。依據另一些實施例，冷卻板的主表面與鉛垂線實質平行。

依據一些實施例，浸潤冷卻系統另包含多個冷卻槽及與冷卻槽分別對應的浸潤單元、多個壓電單元以及壓電驅動器。

綜上，一些實施例提供一種具有壓電單元的浸潤冷卻系統，壓電單元接近冷卻板設置，且壓電單元之間形成可產生變形的通道。在一些實施例中，當冷卻板淹沒於熱傳流體且處於工作狀態時，大量產生於熱傳流體的氣泡將通過該些通道，該些氣泡因受通道變形的擠壓而改變（甚至加速）氣泡的流動。因此，一些實施例的壓電單元可避免氣泡停留在原處或流動至熱傳流體中的其他位置。此外，透過改善氣泡停留或流動的情況，亦可同時移除產生於冷卻板之表面或其周圍的汙染物，進而避免該些汙染物積累於冷卻板之表面或其周圍而影響冷卻板的冷卻效率。

請同時參考圖1A及圖2，圖1A繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10之結構示意圖，圖2繪示如圖1A之局部區域A之立體及工作狀態示意圖。浸潤冷卻系統10包含冷卻槽20、浸潤單元30、多個壓電單元（piezoelectric unit）40a, 40b, 40c及壓電驅動器42。冷卻槽20具有容置部200。浸潤單元30位於容置部200內，且浸潤單元30包含冷卻板（boiler plate）302。壓電單元40a, 40b, 40c為含有可被施加電位差而產生機械形變的介電質材料之元件，例如壓電隔膜（piezoelectric diaphragm）。上述介電質之材料例如為但不限於可被極化的極性聚合物，例如塑膠、橡膠、陶瓷或其組合；具體地，上述介電質之材料例如為但不限於鈦酸鋇（barium titanate, BTO）、鈦酸鉛（lead titanate）、鋯鈦酸鉛（lead zirconate titanate, PZT）或聚偏二氟乙烯（polyvinylidene fluoride, PVDF）。在圖2之局部區域A中，於靠近冷卻板302的一側，壓電單元40a, 40c及壓電單元40b, 40c之間將該側分隔出通道T, T’而形成通道T, T’（見於圖5A，容後詳述），且通道T, T’分別連通冷卻板302（亦即通道T, T’的一側邊即為冷卻板302）。壓電驅動器42連接壓電單元40a, 40b，以驅動壓電單元40a, 40b使之分別因產生上述壓電效應而變形。藉此，因壓電單元40a, 40b使可撓曲的通道T, T’產生變形，進而可使通道T, T’被作為具有驅動及擾動功能的導引流道（容後詳述）。

請參考圖1B，圖1B繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10應用於機櫃式伺服系統之局部立體示意圖。圖1B僅繪示在圖1A中用以容納浸潤單元30之下半部機櫃22之局部結構（為便於理解，圖式已將下半部機櫃22的前側擋板移除）。前述浸潤冷卻系統10可以應用於單一浸潤單元30或多個浸潤單元30。單一浸潤單元30例如為但不限於單一機架式伺服單元。浸潤冷卻系統10亦可應用於多個浸潤單元30之實施例中，該浸潤冷卻系統10是但不限於一機櫃式伺服系統，如圖1B所示。機櫃式伺服系統包含一機櫃22，該機櫃22容納多個浸潤單元30，每一浸潤單元30為一機架式伺服單元且具有一厚度S。每一機架式伺服單元具有彼此相同或不同的厚度S，例如該厚度S可以是48.26公分（cm，即19英吋）。每一機架式伺服單元的厚度S（如圖1B）亦可以依伺服器之規格有不同的尺寸，例如該厚度S可以是4.445 cm的倍數，例如為但不限於1U（即4.445 cm）、2U（即2 *4.445 cm；8.89 cm）、3U（即3 *4.445 cm；13.335 cm）或4U（即4 *4.445 cm；17.78 cm）。藉此，該冷卻槽20可因應各種規格需求而設置為具有不同厚度S的系統級裝置（例如伺服器）或系統組裝級裝置（例如伺服器組裝）。

以下以浸潤單元30為機架式伺服單元之實施例進行說明。每一浸潤單元30包含本體框架300及電子裝置304。本體框架300用以固定電子裝置304。電子裝置304例如為但不限於印刷電路板（即PCB）、主機板及伺服器等裝置。本體框架300之尺寸例如即為可符合前述1U、2U、3U或4U之尺寸。電子裝置304包含一發熱元件306（見於圖4，容後詳述），冷卻板302接觸發熱元件306。發熱元件306例如為但不限於晶片，晶片例如為但不限於中央處理器（即CPU）、或顯示晶片（即圖形處理器，GPU）。當電子裝置304運作時，發熱元件306所產生之熱量將傳導至冷卻板302。在一些實施例中，請見於圖1B，每一浸潤單元30另包含本體把手32，該本體把手32位於本體框架300之遠離該本體框架300之底端的一側，藉以透過該本體把手32，將機架式的浸潤單元30例如自機櫃22或冷卻槽20中取出，或更方便地將浸潤單元30容置於例如機櫃22或冷卻槽20中。為更清楚說明各實施態樣，本文在圖1B以外的圖式即省略而未以墨線繪示本體把手32。

請參考圖2，於運作時，容置部200（見於圖1A）可容置熱傳流體50，且熱傳流體50至少淹沒冷卻板302，因此，容置部200包含氣相空間V及液相空間L。亦即，液相空間L即為熱傳流體50於容置部200中所佔的空間。當冷卻板302與熱傳流體50物理接觸時，冷卻板302之熱量將可傳導至熱傳流體50。熱傳流體50為不導電之液體且其沸點可低於或略等於冷卻板302的工作溫度，因此熱傳流體50將因吸收該熱量而快速達到臨界沸點並汽化，進而產生大量的氣泡500。接著，氣泡500透過壓電單元40a, 40c所形成的通道T（見於圖5A，容後詳述），並依其浮力或受通道T的擠壓而往液面流動。因此，這些氣泡500從冷卻板302的周圍，大致上沿著第一方向D1（如圖2中的+Z軸方向）流動而逸散到氣相空間V。藉此，浸潤冷卻系統10可避免大量的氣泡500依附或堆積於冷卻板302的周圍，進而避免因影響冷卻板302與液相的熱傳流體50接觸的機會而影響整體的冷卻效能。

在一些實施例中，冷卻板302具有一主表面，該主表面為接觸熱傳流體50的表面，且該主表面與一鉛垂線（例如圖2中與Z軸平行的方向或第一方向D1）實質平行。藉此，冷卻板302可延伸設置在沿著實質垂直於熱傳流體50之液面的方向（例如圖2中的Z軸方向）上或沿著實質垂直於熱傳流體50之液面的平面（例如圖2中的XZ平面）上，浸潤單元30內部空間可因而被更充分地利用。甚至，在有限的浸潤單元30內部空間中，更多的浸潤單元30可同時被設置在沿著實質垂直於熱傳流體50之液面的方向（例如圖2中的Z軸方向）上或沿著實質垂直於熱傳流體50之液面的平面（例如圖2中的XZ平面）上，多個浸潤單元30及其對應的多個冷卻板302可更有效而同步地被冷卻。

在一些實施例中，浸潤冷卻系統10另包含冷凝裝置70，冷凝裝置70包含冷凝器700、冷凝泵浦706及熱交換器708。冷凝器700位於熱傳流體50之液面的上方。請參考圖1A，冷凝器700係位於容置部200的氣相空間V中。冷凝泵浦706透過第一冷凝管702與第二冷凝管704將熱交換液體於熱交換器708與冷凝器700之間循環。該熱交換液體例如為但不限於水。當浸潤冷卻系統10運作時，逸散至氣相空間V的氣相的熱傳流體50將接觸冷凝器700的表面。由於冷凝器700之表面溫度低於氣相的熱傳流體50之溫度，因此氣相的熱傳流體50將與冷凝器700進行熱交換。氣相的熱傳流體50經降溫後，將冷凝為液相的熱傳流體50，並回滴至位於液相空間L的熱傳流體50中。冷凝器700吸收了氣相的熱傳流體50之熱量後，該熱量將被其內的熱交換流體帶至熱交換器708，該熱交換流體在熱交換器708降溫後，再度回流至冷凝器700。

請同時參考圖2及圖4，圖4繪示如圖2之浸潤冷卻系統10中單一浸潤單元30於第二視角（YZ平面）的工作狀態示意圖。在圖4，電子裝置304固定於本體框架300，電子裝置304的發熱元件306與冷卻板302接觸。在一些實施例中，浸潤單元30另包含框座308，框座308固定冷卻板302並維持冷卻板302常態地與發熱元件306接觸。框座308可以固定於電子裝置304、本體框架300或其組合。在一些實施例中，框座308之材料例如為但不限於電木、金屬、塑膠或其組合。

請參考圖2，在一些實施例中，浸潤冷卻系統10包含多個壓電單元40a, 40b, 40c及壓電固定件408, 408’，各壓電固定件408, 408’之二端分別橫跨冷卻板302之二側（例如連接冷卻板302之二側的框座308上），且多個壓電單元40a, 40b, 40c分別連接壓電固定件408, 408’，並在相鄰的壓電單元40a, 40c（或相鄰的壓電單元40b, 40c）之間形成與冷卻板302相連通的通道T（或通道T’）（見於圖5A，容後詳述）。在一些實施例中，壓電固定件408, 408’之材料例如為但不限於電木、金屬、塑膠或其組合。藉此，於運作時，因各壓電單元40a, 40b, 40c連接壓電固定件408, 408’，而使得通道T, T’仍能實質維持於運作前的位置，以避免影響冷卻板302的冷卻效能。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c係透過閂鎖或螺栓的方式固定於框座308上。

請同時參考圖2及圖3，圖3繪示如圖2之浸潤冷卻系統10中單一浸潤單元30於第一視角（XZ平面）的工作狀態示意圖。在一些實施例中，各壓電單元40a, 40b, 40c係透過二成對的壓電接線405, 405’連接壓電驅動器42（見於圖1A），藉以透過壓電驅動器42驅動各壓電單元40a, 40b, 40c，並使各壓電單元40a, 40c, 40b及其間的通道T, T’產生對應的變形。

在圖2及圖3，一些實施例的壓電單元40a, 40c可獨立地包含壓電框架404及二成對的作用區400, 400’。各壓電框架404接近冷卻板302設置，以使各壓電單元40a, 40c接近冷卻板302設置；例如，各壓電框架404可設置於壓電固定件408, 408’上。各壓電框架404分別包含介電層402，且各成對的作用區400, 400’分別對應地位於壓電框架404之介電層402的相對兩側，以使作用區400、介電層402及作用區400’形成夾層結構的雙層壓電單元（bimorph）。各成對的壓電接線405, 405’分別連接位於介電層402之相對兩側的作用區400, 400’，並透過壓電驅動器42及壓電接線405, 405’使作用區400, 400’之間產生電位差，進而使介電層402內的分子產生極化而變形。在一些實施例中，作用區400, 400’之材料分別可為但不限於金屬或合金，例如銅、銀。在一些實施例中，上述介電層402之材料例如為但不限於塑膠、橡膠、陶瓷或其組合，例如為但不限於鈦酸鋇（BTO）、鈦酸鉛、鋯鈦酸鉛（PZT）或聚偏二氟乙烯（PVDF）。在一些實施例中，作用區400, 400’為具有一外徑的圓形作用區，各該外徑例如為但不限於20 mm至30 mm中之任意數值。在一些實施例中，作用區400, 400’為具有一曲率半徑的圓形或非圓形作用區，各該曲率半徑例如為但不限於10 mm至15 mm中之任意數值。

在圖2及圖3，一些實施例的壓電單元40b包含壓電框架404及作用區400。壓電框架404接近冷卻板302設置，以使壓電單元40b接近冷卻板302設置；例如，壓電框架404可設置於壓電固定件408, 408’上。壓電框架404分別包含介電層402，且作用區400位於壓電框架404之介電層402的一側，以使作用區400及介電層402形成單層壓電單元（unimorph）。各成對的壓電接線405, 405’分別連接介電層402及作用區400，並透過壓電驅動器42及壓電接線405, 405’使介電層402及作用區400之間產生電位差，進而使介電層402內的分子產生極化而變形。在一些實施例中，作用區400之材料可為但不限於金屬或合金，例如銅、銀。在一些實施例中，上述介電層402之材料例如為但不限於塑膠/橡膠、陶瓷或其組合，例如為但不限於鈦酸鋇（BTO）、鈦酸鉛、鋯鈦酸鉛（PZT）或聚偏二氟乙烯（PVDF）。

在一些實施例中，各壓電單元40a, 40b, 40c可各自獨立地為單層壓電單元或雙層壓電單元，而形成具有多種不同壓電單元組合的浸潤冷卻系統10。藉此，透過更多不同的壓電單元組合及對應多種不同的電位差，一些實施例能提供具有更多不同變形組合的通道T，進而更有效地控制氣泡500的流動，以移除該些依附或堆積於冷卻板302的周圍的氣泡500。

請同時參考圖4及圖5A，圖5A繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第一實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖5A僅繪示壓電單元40a, 40b, 40c、冷卻板302、通道T, T’及其標示）。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c之間具有多個通道T, T’（見於圖5A）。在圖5A，相鄰的壓電單元40a, 40c之間具有通道寬度S1的通道T，相鄰的壓電單元40c, 40b之間具有通道寬度S1’的通道T’，其中通道寬度S1, S1’可為彼此實質相等或不相等，且壓電單元40a, 40b, 40c均沿著遠離冷卻板302之方向而彼此平行設置。藉此，該些氣泡500將沿著該些通道T, T’遠離冷卻板302。

請同時參考圖4及圖5B，圖5B繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第二實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖5B即省略而未再以符號壓電單元40a, 40b, 40c、冷卻板302以及通道T, T’標示）。在圖5B，一些實施例的壓電單元40a, 40b, 40c均沿著同一方向（例如圖5B中的左側）傾斜但彼此平行地設置。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c之靠近冷卻板302的一側分別與該冷卻板302間隔一第一距離S3, S3’, S3’’，該些第一距離S3, S3’, S3’’可為彼此實質相等或不相等（容後詳述）。藉此，一些實施例能可控地導引該些氣泡500往特定方向或特定位置流動。

請同時參考圖4、圖5C及圖5D，圖5C及圖5D分別繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第三及第四實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖5C及圖5D即省略而未再以符號壓電單元40a, 40b, 40c、冷卻板302以及通道T, T’標示）。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c（或通道T, T’）沿著遠離冷卻板302之方向呈漸擴狀或漸縮狀。在圖5C及圖5D，該些壓電單元40a, 40b, 40c之整體於壓電單元40a, 40b, 40c之靠近及遠離冷卻板302的一側，分別具有一整體寬度S2, S2’。其中，該些整體寬度S2, S2’可為彼此實質相等或不相等。例如，在圖5C，該整體寬度S2’大於該整體寬度S2，因而使得該些壓電單元40a, 40b, 40c（或通道T, T’）沿著遠離冷卻板302之方向呈漸擴狀。藉此，該些氣泡500將沿著呈漸擴狀的通道T, T’更有效地被導引而遠離冷卻板302。又例如，在圖5D，該整體寬度S2’小於該整體寬度S2，因而使得該些壓電單元40a, 40b, 40c（或通道T, T’）沿著遠離冷卻板302之方向呈漸縮狀。藉此，該些氣泡500將避免沿著呈漸縮狀的通道T, T’流動而更集中地往特定方向流動，進而能可控地導引該些氣泡500往特定方向流動。

請同時參考圖4及圖5E，圖5E繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第五實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖5E即省略而未再以符號壓電單元40a, 40b, 40c、冷卻板302以及通道T, T’標示）。在一些實施例中，冷卻板302具有一板寬W1（例如圖3中的X軸方向上的寬度），其中該整體寬度S2, S2’可分別獨立地大於、小於或實質等於該板寬W1。例如，在圖5E，該些整體寬度S2, S2’均大於該板寬W1。藉此，不僅冷卻板302周圍的氣泡500，甚至是框座308及其周圍的氣泡500，均可有效地被導引而遠離冷卻板302的周圍。

請同時參考圖4、圖6A至圖6C，圖6A至圖6C分別繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第一至第三實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖6A僅繪示壓電單元40b、冷卻板302及其標示；且本文在圖6B及圖6C即省略而未再以符號壓電單元40b及冷卻板302標示）。在一些實施例中，冷卻板302具有一板長L1（例如圖3中的Z軸方向上的長度），該些壓電單元40a, 40b, 40c之整體於壓電單元40a, 40b, 40c之靠近及遠離冷卻板302的一側，分別具有一整體長度L1’, L1’’。其中，該整體長度L1’, L1’’可分別獨立地大於、小於或實質等於該板長L1；亦即，該整體長度L1’, L1’’可為彼此實質相等或不相等。

在圖6A，一些實施例的冷卻板302之板長L1及壓電單元40a, 40b, 40c之整體長度L1’, L1’’均實質相等。藉此，一些實施例的冷卻板302周圍的氣泡500均可有效地被導引而遠離冷卻板302的周圍。在圖6B，一些實施例的冷卻板302之板長L1與壓電單元40a, 40b, 40c之整體長度L1’, L1’’不相等，但整體長度L1’, L1’’彼此相等。在圖6C，一些實施例的冷卻板302之板長L1與壓電單元40a, 40b, 40c之整體長度L1’, L1’’不相等，且整體長度L1’, L1’’亦不相等。例如，在圖6C，整體長度L1’小於整體長度L1’’，而形成類似一梯形的壓電單元40b。藉此，一些實施例僅特定地導引冷卻板302之頂端附近的氣泡500（甚至是稍微遠離冷卻板302的氣泡500），進而能將有限的能源用於大量氣泡500所流經處。因此，一些實施例將得以達到僅利用有限的能源，即能具有一定水準的冷卻板302之冷卻效能。

請同時參考圖4、圖6D至圖6E，圖6D至圖6E分別繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第四及第五實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖6D及圖6E即省略而未再以符號壓電單元40b及冷卻板302標示）。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c之鉛垂高度（例如圖3中的Z軸方向上的高度）實質相同（亦可見於圖2及圖3）。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c之鉛垂高度不低於冷卻板302之鉛垂高度。在圖6D及圖6E，壓電單元40a, 40b, 40c之靠近及遠離冷卻板302的一側之頂端，分別與冷卻板302之頂端距離一第二距離S4, S4’。其中，該第二距離S4, S4’可分別獨立地大於、小於或實質等於0；亦即，壓電單元40a, 40b, 40c之靠近或遠離冷卻板302的一側之頂端（鉛垂高度）可分別獨立地低於、高於或實質等於冷卻板302之頂端（鉛垂高度）。

在圖6D，一些實施例的第二距離S4, S4’均大於0且彼此相等。在圖6E，一些實施例的第二距離S4, S4’均大於0，且第二距離S4’大於第二距離S4而使得壓電單元40a, 40b, 40c係以一梯形高於該冷卻板302之頂端。藉此，一些實施例僅特定地導引位於冷卻板302之頂端附近的氣泡500（甚至是稍微遠離冷卻板302的氣泡500），進而能將有限的能源用於大量氣泡500所流經處。因此，一些實施例將得以達到僅利用有限的能源，即能具有一定水準的冷卻板302之冷卻效能。

請參考圖4、圖7A及圖7B，圖7A及圖7B分別繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第六及第七實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖7A僅繪示壓電單元40b、冷卻板302及其標示；且本文在圖7B即省略而未再以符號壓電單元40b及冷卻板302標示）。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c之靠近冷卻板302的一側與該冷卻板302之間分別間隔一第一距離S3, S3’’, S3’（圖7A中僅以S3’’繪示，對應標示亦可見於圖5B）。在一些實施例中，壓電單元40a, 40b, 40c分別包含壓電框架404及作用區400。在一些實施例中，作用區400之形狀例如為但不限於圓形、橢圓形、多邊形或任意形狀，在本文中僅以圓形的作用區400繪示並進行示例性的說明，而非用以限制本發明僅限於該些特定實施態樣。以壓電單元40b為例，作用區400之中心C與壓電框架404之靠近冷卻板302的一側之間的距離為第三距離S5，作用區400之中心C與壓電框架404之頂端之間的距離為第四距離S6，作用區400之中心C與冷卻板302之間的距離為第五距離S7（例如圖7A中的第一距離S3’’及第三距離S5的總和）。在一些實施例中，第五距離S7例如為但不限於20 mm至40 mm中之任意數值。在一些實施例中，各壓電單元40a, 40b, 40c各自的第三距離S5與第四距離S6可實質相等或不相等；亦即，各壓電單元40a, 40b, 40c彼此之間的第一距離S3, S3’’, S3’、第三距離S5、第四距離S6及第五距離S7可分別獨立地實質相等或不相等。

在圖7A，一些實施例的第三距離S5及第四距離S6實質相等，因此其作用區400實質上位於壓電框架404的中央位置。在圖7B，一些實施例的第三距離S5大於第四距離S6，因此其作用區400實質上位於壓電框架404之偏上位置。藉此，透過不同的作用區400之設置位置，一些實施例可僅特定地導引某些特定位置的氣泡500，以更有效地利用能源並達到一定水準的冷卻板302之冷卻效能。

請參考圖7C及圖7D，圖7C及圖7D分別繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第八及第九實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖7C及圖7D即省略而未再以符號壓電單元40b及冷卻板302標示）。在圖7C，一些實施例的壓電框架404係靠近冷卻板302之頂端設置，且作用區400係靠近冷卻板302設置。藉此，一些實施例僅特定地導引位於冷卻板302之頂端且靠近冷卻板302的氣泡500，進而僅有限的能源用於大量氣泡500所流經處，以達到僅利用有限的能源，即能具有一定水準的冷卻板302之冷卻效能。相較於圖7C，在圖7D，一些實施例在同一平面（例如圖3中的YZ平面）上同時設置有多個壓電單元40b, 40b’。這些壓電單元40b, 40b’之第一距離S3’’、第三距離S5、第四距離S6及第五距離S7可參照如前述定義，在此不再詳述。而在圖7D，壓電單元40b靠近冷卻板302之頂端設置，壓電單元40b’靠近冷卻板302之底端設置，且壓電單元40b的第五距離S7大於壓電單元40b’的第五距離S7。藉此，一些實施例可特定地於同一平面（例如YZ平面）上導引某些特定位置及流動路線的氣泡500，以更有效地利用能源並達到一定水準的冷卻板302之冷卻效能。

請參考圖4、圖8A及圖8B，圖8A及圖8B分別繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第一及第二實施例的示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖8A僅繪示壓電單元40a, 40b, 40c、冷卻板302及其標示；且本文在圖8B即省略而未再以符號壓電單元40a, 40b, 40c及冷卻板302標示）。在圖8A及圖8B，壓電單元40a, 40b, 40c之整體於靠近冷卻板302之底端及頂端的一側，分別具有一整體寬度S2’’, S2’。其中，該整體寬度S2’’, S2’可分別獨立地大於、小於或實質等於該板寬W1（見於圖5E）；亦即，該整體寬度S2’’, S2’可為彼此實質相等或不相等。在圖8A，該整體寬度S2’’, S2’與該板寬W1實質相等。在圖8B，靠近冷卻板302之頂端的該整體寬度S2’大於靠近冷卻板302之底端的該整體寬度S2’’，因此壓電單元40a, 40b, 40c（該些通道T, T’）沿著鉛垂向上的方向（例如圖8B中向上的方向，或例如圖3中的Z軸方向）呈漸擴狀。藉此，該些氣泡500將沿著呈漸擴狀的通道T, T’更有效地被導引而遠離冷卻板302。

請參考圖4、圖8C及圖8D，圖8C及圖8D分別繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第三及第四實施例的動作示意圖，圖8C及圖8D繪示位於壓電單元40a, 40b, 40c的中心在XZ平面上的剖面示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖8C及圖8D即省略而未再以符號壓電單元40a, 40b, 40c及冷卻板302標示）。各壓電單元40a, 40b, 40c被驅動時會產生變形。壓電驅動器42可以驅動各壓電單元40a, 40b, 40c各別在一軸向上產生往復變形。在圖8C之實施例，各壓電單元40a, 40b, 40c實質平行排列，其變形的軸向實質相同（例如圖8C的水平方向，即X軸方向）。在一些實施例中，壓電驅動器42驅動各壓電單元40a, 40b, 40c均同步朝一方向（+X軸方向）變形（如圖8C所示）、接著均同步朝另一方向（-X軸方向）變形（如圖8D所示），後續即反復上述方式驅動。其中，該方向與該另一方向均對應該軸向且方向相反。如此，壓電單元40a, 40b, 40c即可在通道T, T’產生擾動，而有助於氣泡500離開冷卻板302。

請參考圖4、圖8E及圖8F，圖8E及圖8F分別繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第五及第六實施例的動作示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖8E及圖8F即省略而未再以符號壓電單元40a, 40b, 40c及冷卻板302標示）。在一些實施例中，壓電驅動器42以非同步變形之方式驅動各壓電單元40a, 40b, 40c。例如，在第一時間點，壓電驅動器42驅動第一及第二壓電單元40a, 40b同步朝一方向（+X軸方向）變形而第三壓電單元40c朝另一方向（-X軸方向）變形，如圖8E所示。在下一時間點，壓電驅動器42驅動第一及第二壓電單元40a, 40b同步朝另一方向（-X軸方向）變形而第三壓電單元40c朝一方向（+X軸方向）變形，如圖8F所示；接著，反復上述方式驅動。其中，該方向與該另一方向均對應該軸向且方向相反。如此，壓電單元40a, 40b, 40c會在各通道T, T’分別產生內縮及外擴的效果，使通道T, T’之體積隨著時間變化而反復縮小與變大，強化擾動熱傳流體50之效果並使氣泡500更快離開冷卻板302表面。

在一些實施例中，非同步變形之驅動方式可以是使第一、第二及第三壓電單元40a, 40b, 40c依序朝一方向變形，再依序朝另一方向變形；或各壓電單元40a, 40b, 40c朝特定方向變形的時間點採隨機方式驅動。如此，皆可增加擾動熱傳流體50並使氣泡500更快離開冷卻板302表面。

請參考圖8G，圖8G繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第七實施例的動作示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖8G即省略而未再以符號冷卻板302標示）。其係以相鄰的壓電單元（例如第一及第四壓電單元40a, 40d；或例如第二及第三壓電單元40b, 40c）採同步、變形方向相反之方式被驅動，其效果與圖8E及圖8F類似，在此不再詳述。

請繼續參考圖8G，以圖8G為例，各壓電單元40a, 40b, 40c, 40d之變形分別具有一變形方向d2, d1, d1’, d2’。各該變形的壓電單元40a, 40b, 40c, 40d大致成一弦，該變形方向d2, d1, d1’, d2’是指通過該弦之中點且遠離該壓電單元40a, 40b, 40c, 40d之方向。在一些實施例中，相鄰的二壓電單元40a, 40d（或相鄰的二壓電單元40b, 40c）被驅動時，在同一時間點，該相鄰的二壓電單元40a, 40d之變形方向d2, d2’（或變形方向d1, d1’；或變形方向d1’, d2’）彼此相反。藉此，如圖8G所示，相鄰的二壓電單元40c, 40d具有通道寬度較窄的通道T’’，以使其中的氣泡500能快速逸散並遠離冷卻板302。而相鄰的二壓電單元40b, 40c（或相鄰的二壓電單元40a, 40d）具有通道寬度較寬的通道T’, T，以使大量的氣泡500能快速流入並匯集於通道T’, T。在一些實施例中，再輔以壓電驅動器42，透過不同的驅動頻率（例如但不限於2.4±0.5 kHz）週期性地或間歇性地施加電位差於壓電單元40a, 40b, 40c, 40d，可使壓電單元40a, 40b, 40c, 40d產生如圖8A變形至圖8G、再由圖8G恢復至圖8A的往復變形循環。藉此，一些實施例可週期性地或間歇性地使更大量的氣泡500快速遠離冷卻板302。

請繼續參考圖8C、圖8D及圖8G。在圖8C及圖8D，壓電單元40a, 40b, 40c包含位於兩側之側壓電單元（例如前述的第一及第二壓電單元40a, 40b）及位於中央的至少一中壓電單元（例如前述的第三壓電單元40c）。側壓電單元40a, 40b及中壓電單元40c分別具有實質相同或不同的變形量h2, h1, h1’，該變形量h2, h1, h1’是指各該變形之最遠離該弦的一點與該弦之間的距離。例如，在圖8C，一些實施例的側壓電單元40b及中壓電單元40c之變形量h1, h1’小於側壓電單元40a之變形量h2。又例如，在圖8D，一些實施例的中壓電單元40c之變形量h1’大於側壓電單元40a, 40b之變形量h2, h1。在圖8G，兩側之側壓電單元（例如前述的第一及第二壓電單元40a, 40b）之間包含至少一中壓電單元（例如前述的第三及第四壓電單元40c, 40d）且彼此相鄰的壓電單元40b, 40c（或相鄰的壓電單元40c, 40d，或相鄰的壓電單元40d, 40a）之變形方向d1, d1’（或變形方向d1’, d2’，或變形方向d2’, d2）彼此相反；側壓電單元（例如前述的第一及第二壓電單元40a, 40b）及二中壓電單元（例如前述的第三及第四壓電單元40c, 40d）亦可分別具有實質相同或不同的變形量h2, h1, h1’, h2’。藉此，透過調整各壓電單元40a, 40b, 40c, 40d之變形量h2, h1, h1’, h2’及其變形量的組合，一些實施例可達到多種往復變形的組合及其對應不同控制氣泡500的效果。

請參考圖9，圖9繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10中單一浸潤單元30之局部區域A於第二視角（YZ平面）之工作狀態示意圖。在一些實施例中，浸潤單元30另包含擾動單元44，且擾動單元44接近壓電單元40a, 40b, 40c設置。藉此，透過擾動單元44的設置，一些實施例可增加通道T, T’中之氣泡500的流動速度。在圖9，一些實施例的擾動單元44係位於接近壓電單元40b但遠離該熱傳流體50之液面的位置。在一些實施例中，該擾動單元44與壓電單元40a, 40b, 40c之底端之間的距離為擾動距離G，例如為但不限於10 mm至20 mm中之任意數值。擾動單元44包含旋擾元件440及旋擾驅動器442，且旋擾驅動器442驅動旋擾元件440以朝壓電單元40b之方向（即第三方向D3）產生擾動。在圖9，該第三方向D3實質平行於整體氣泡500朝熱傳流體50之液面流動的方向（即第一方向D1）。在一些實施例中，旋擾元件440可為風扇或其他具有扇葉的擾動元件，該旋擾元件440透過旋擾接線443電性連接旋擾驅動器442，以使旋擾元件440受旋擾驅動器442驅動而產生第二方向D2（可為逆時針或順時針）上的旋轉。藉此，一些實施例可透過旋轉擾動的方式增加通道T, T’中之氣泡500的流動速度。

請參考圖10，圖10繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10中單一浸潤單元30之局部區域A於第二視角（YZ平面）之工作狀態示意圖。在圖10，一些實施例的擾動單元44係位於接近壓電單元40b但遠離該熱傳流體50之液面的位置。在一些實施例中，該擾動單元44與壓電單元40a, 40b, 40c之底端之間的距離為擾動距離G，例如為但不限於10 mm至20 mm中之任意數值。擾動單元44包含噴流元件444及噴流驅動器446，且噴流驅動器446驅動噴流元件444以朝壓電單元40b之方向（即第三方向D3）產生擾動。在圖10，該第三方向D3實質平行於整體氣泡500朝熱傳流體50之液面流動的方向（即第一方向D1）。在一些實施例中，噴流元件444為可產生噴流（或稱射流或噴射流，jet flow）的擾動元件（例如在圖10，噴流元件444為具有噴嘴（nozzle）445的擾動元件），該噴流元件444透過噴流接線447電性連接噴流驅動器446，以使噴流元件444受噴流驅動器446驅動而自噴嘴445產生第三方向D3上的擾動。藉此，一些實施例可透過噴流擾動的方式增加通道T, T’中之氣泡500的流動速度。

請參考圖11，圖11繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10中多個浸潤單元30, 30’, 30’’的工作狀態示意圖。在圖11，一些實施例的浸潤冷卻系統10包含多個機櫃22（或冷卻槽20）及與各機櫃22（或冷卻槽20）分別對應的浸潤單元30, 30’, 30’’、多個壓電單元40a, 40b, 40c（未另標示）及壓電驅動器42（未另標示）。上述浸潤單元30, 30’, 30’’及其元件可分別對應於前述的浸潤單元30及其元件，故在此不再詳述。藉此，一些實施例可在有限的冷卻空間中快速冷卻更多的待冷卻元件及裝置，而不致因大量產生的氣泡500而影響待冷卻元件與熱傳流體50之間的熱傳效率。因此，一些實施例可提高該有限冷卻空間的使用率，並更密集地佈局該些待冷卻元件及裝置，進而提升整體元件及裝置的工作效能（例如提升其整體的功率密度）。

請參考圖11及圖12，圖12繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10中多個浸潤單元30, 30’, 30’’的工作狀態示意圖。在圖11及圖12，一些實施例的多個浸潤單元30, 30’, 30’’可共用同一個擾動單元44。例如，該擾動單元44為具有多個噴嘴445的噴流元件444，且各噴嘴445（未另標示，可見於圖10）分別對應各浸潤單元30, 30’, 30’’設置。各噴嘴445受該噴流驅動器446驅動而朝壓電單元40b之方向（即第三方向D3）產生擾動。藉此，一些實施例可同時增加多個浸潤單元30, 30’, 30’’中氣泡500移除的速度，進而同時提升其待冷卻元件與熱傳流體50之間的熱傳效率。在一些實施例中，浸潤冷卻系統10另包含泵浦裝置60。在圖11及圖12，泵浦裝置60具有噴流泵浦600、第一管路604及第二管路602，第一管路604之一端位於該熱傳流體50之液面下，噴流泵浦600分別連接第一管路604之另一端及第二管路602之一端，第二管路602之另一端連接噴流元件444，以透過該噴流泵浦600的驅動而自第一管路604吸取熱傳流體50、通過第二管路602並自噴流元件444產生受加速之熱傳流體50。其中，噴流泵浦600位於浸潤冷卻系統10之冷卻槽20內（例如圖11）或位於冷卻槽20外（例如圖12）。藉此，一些實施例可透過吸取遠離待冷卻元件而溫度稍低的熱傳流體50，並將該熱傳流體50作為驅動各浸潤單元30, 30’, 30’’中之氣泡500流動的驅動力，以更有效地提升各待冷卻元件與熱傳流體50之間的熱傳效率。

在一些實施例中，浸潤冷卻系統10包含多個浸潤單元30, 30’，且此些浸潤單元30, 30’可透過如圖11、圖12或其任意組合的設置方式進行更多不同的組裝設置。在此雖未再另外繪示對應的圖式，但該些實施例均應涵蓋於本發明之實施例範圍中。因此，浸潤冷卻系統10可提高該有限冷卻空間的使用率，並更密集地佈局該些待冷卻元件及裝置，進而提升整體元件及裝置的工作效能（例如提升其整體的功率密度）。

請參考圖13A及圖13B，圖13A及圖13B分別繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10中單一浸潤單元30於第一視角（XZ平面）之工作狀態示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖13A及圖13B均未再另標示浸潤冷卻系統10及浸潤單元30，其他元件可對應於前述元件，故在此未再另標示）。在圖13A及圖13B，一些實施例的冷卻板302係實質固定於本體框架300’且冷卻板302具有一主表面。該主表面為接觸熱傳流體50的表面，且該主表面係面向熱傳流體50之液面而實質平行於該液面。因此，一些實施例的氣泡500離開冷卻板302之方向與氣泡500朝該氣相空間V移動之方向大致上相同。藉此，冷卻板302可延伸設置在沿著實質平行於液面的方向（例如圖13A中的X軸方向）上或沿著實質平行於液面的平面（例如XY平面）上，進而可更充分地利用浸潤單元30之內部空間，以更有效而同步地冷卻多個冷卻板302。

在圖13A中，一些實施例的浸潤單元30包含接近壓電單元40b設置的擾動單元44（例如擾動單元44係設置於框座308上）。該擾動單元44與壓電單元40b之間的距離例如為但不限於10 mm至20 mm中之任意數值。一些實施例的擾動單元44包含旋擾元件440及旋擾驅動器442，旋擾驅動器442驅動旋擾元件440以朝壓電單元40b之方向（即第三方向D3）產生擾動。在圖13A，該第三方向D3實質平行於液面的方向。在一些實施例中，旋擾元件440可為風扇或其他具有扇葉的擾動元件，該旋擾元件440透過旋擾接線443電性連接旋擾驅動器442，以使旋擾元件440受旋擾驅動器442驅動而產生第二方向D2（可為逆時針或順時針）上的旋轉。藉此，一些實施例可透過旋轉擾動的方式增加通道T, T’中之氣泡500的流動速度。

在圖13B，一些實施例的浸潤單元30包含位於壓電單元40b之相對兩側而接近壓電單元40b設置的二擾動單元44, 44’。該些擾動單元44, 44’分別與壓電單元40b之間的距離例如為但不限於10 mm至20 mm中之任意數值。一些實施例的二擾動單元44, 44’分別包含旋擾元件440, 440’及分別與其對應的旋擾驅動器442, 442’。各旋擾元件440, 440’可分別為風扇或其他具有扇葉的擾動元件，以使旋擾元件440, 440’分別受旋擾驅動器442, 442’驅動而產生第三方向D3, D3’上的擾動。其中，第三方向D3, D3’可為彼此相同或不同的方向。例如，在圖13B，第三方向D3, D3’為實質平行於液面且彼此相反的方向，藉以將氣泡500集中於特定位置而避免該些氣泡500逸散至其他位置，進而可使氣泡500於特定位置逸散至氣相空間V中。

請參考圖14A及圖14B，圖14A及圖14B分別繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統10中單一浸潤單元30於第一視角（XZ平面）之工作狀態示意圖（為更清楚說明各實施態樣，本文在圖14A及圖14B均未再另標示浸潤冷卻系統10及浸潤單元30，其他元件可對應於前述元件，故在此未再另標示）。在圖14A，一些實施例的浸潤單元30包含接近壓電單元40b設置的擾動單元44（例如擾動單元44係設置於框座308上）。擾動單元44包含噴流元件444及噴流驅動器446，噴流驅動器446驅動噴流元件444以朝壓電單元40b之方向（即第三方向D3）產生擾動。在圖14A，該第三方向D3實質平行於液面的方向。在一些實施例中，噴流元件444為可產生噴流的擾動元件（例如在圖14A，噴流元件444為具有噴嘴445的擾動元件），該噴流元件444透過噴流接線447電性連接噴流驅動器446，以使噴流元件444受噴流驅動器446驅動而自噴嘴445產生第三方向D3上的擾動。藉此，一些實施例可透過噴流擾動的方式增加通道T, T’中之氣泡500的流動速度。

在圖14B，一些實施例的浸潤單元30包含位於壓電單元40b之相對兩側而接近壓電單元40b設置的二擾動單元44, 44’。二擾動單元44, 44’分別包含噴流元件444, 444’及與其分別對應的噴流驅動器446, 446’。各噴流元件444, 444’可為分別具有噴嘴445, 445’的擾動元件，以透過噴流接線447, 447’電性連接噴流驅動器446, 446’而使噴流元件444, 444’分別受噴流驅動器446, 446’驅動，並自噴嘴445, 445’產生第三方向D3, D3’上的擾動。其中，第三方向D3, D3’可為彼此相同或不同的方向。例如，在圖14B，第三方向D3, D3’為實質平行於液面且彼此相反的方向，藉以將氣泡500集中於特定位置而避免該些氣泡500逸散至其他位置，進而可使氣泡500於特定位置逸散至氣相空間V中。

在一些實施例中，一些實施例的浸潤單元30包含位於壓電單元40b之相對兩側或彼此相鄰而接近壓電單元40b設置的二個或二個以上的擾動單元44, 44’。各擾動單元44, 44’可分別獨立地為旋擾元件440（包含旋擾驅動器442）或噴流元件444（包含噴流驅動器446）。藉此，一些實施例可透過更多不同擾動單元44, 44’的組合及設置方式，將氣泡500集中於特定位置而避免該些氣泡500逸散至其他位置，進而可使氣泡500於特定位置逸散至氣相空間V中。

在浸潤單元30為單一機架式伺服單元之實施例中，仍請參考圖1A，浸潤單元30的本體框架300為一封閉式框架，並於該封閉式框架內形成冷卻槽20（而未另形成機櫃22）。壓電單元40a, 40b之間形成至少一通道T（見於圖5A），且該至少一通道T分別連通冷卻板302。壓電驅動器42連接壓電單元40a, 40b，以驅動壓電單元40a, 40b分別產生變形。浸潤單元30的發熱元件306接觸冷卻板302。當浸潤單元30的電子裝置304運作時，接觸冷卻板302之液相的熱傳流體50因吸熱而汽化，大量汽化的氣泡500經壓電單元40a, 40b及可變形的通道T而導引至氣相空間V中的冷凝器700後液化。因此，藉由壓電單元40a, 40b及可變形的通道T之導引，一些實施例可使氣相的熱傳流體50可更快離開冷卻板302，並使整體冷卻效能提升。此處所述的各元件（另包含例如框座308、冷凝裝置70、第一冷凝管702、第二冷凝管704、冷凝泵浦706及熱交換器708）及其對應的實施態樣均可對應於前述元件及其實施態樣，故在此不再詳述。

綜合以上，在一些實施例中，冷卻板的周圍設置有壓電單元，於工作過程中所產生的熱傳流體之氣泡可通過由壓電單元所形成的通道。由於該通道因壓電單元受有電位差而可產生變形，通過該些通道中的氣泡因而能有效地受到擾動並逸散到氣相空間。藉此，將可避免大量產生的氣泡附著在冷卻板之表面或其周圍，甚至是隨機流動至其他位置，因而能更有效地移除冷卻板的熱量。此外，透過改善氣泡停留或流動的情況，亦可同時移除產生於冷卻板之表面或其周圍的汙染物，進而避免該些汙染物積累於冷卻板之表面或其周圍而影響冷卻板的冷卻效率。因此，一些實施例之浸潤冷卻系統可不致影響熱傳流體的原有熱傳效率、冷卻板及其附加元件的原有工作效能，甚至能使冷卻板及其附加元件達到更佳的工作效能與使用壽命。

雖然本發明以前述之實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。

10:浸潤冷卻系統 20:冷卻槽 200:容置部 22:機櫃 30, 30’, 30’’:浸潤單元 300, 300’:本體框架 302:冷卻板 304:電子裝置 306:發熱元件 308:框座 32:本體把手 40a:壓電單元（第一壓電單元；側壓電單元） 40b:壓電單元（第二壓電單元；側壓電單元） 40b’:壓電單元（第二壓電單元；側壓電單元） 40c:壓電單元（第三壓電單元；中壓電單元） 40d:壓電單元（第四壓電單元；中壓電單元） 400, 400’:作用區 402:介電層 404:壓電框架 405, 405’:壓電接線 408, 408’:壓電固定件 42:壓電驅動器 44, 44’:擾動單元 440, 440’:旋擾元件 442, 442’:旋擾驅動器 443, 443’:旋擾接線 444, 444’:噴流元件 445, 445’:噴嘴 446, 446’:噴流驅動器 447, 447’:噴流接線 50:熱傳流體 500:氣泡 60:泵浦裝置 600:噴流泵浦 602:第二管路 604:第一管路 70:冷凝裝置 700:冷凝器 702:第一冷凝管 704:第二冷凝管 706:冷凝泵浦 708:熱交換器 A:局部區域 B:局部區域 C:中心 D1:第一方向 D2:第二方向 D3, D3’:第三方向 G:擾動距離 L:液相空間 L1:板長 L1’, L1’’:整體長度 S:厚度 S1, S1’:通道寬度 S2, S2’, S2’’:整體寬度 S3, S3’, S3’’:第一距離 S4, S4’: 第二距離 S5:第三距離 S6:第四距離 S7:第五距離 T, T’, T’’:通道 V:氣相空間 W1:板寬 X:座標X方向 Y:座標Y方向 Z:座標Z方向 d1, d1’, d2, d2’:變形方向 h1, h1’, h2, h2’:變形量

圖1A繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統之結構示意圖。 圖1B繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統應用於機櫃式伺服系統之局部立體示意圖。 圖2繪示如圖1A之局部區域A之立體及工作狀態示意圖。 圖3繪示如圖2之浸潤冷卻系統中單一浸潤單元於第一視角（XZ平面）的工作狀態示意圖。 圖4繪示如圖2之浸潤冷卻系統中單一浸潤單元於第二視角（YZ平面）的工作狀態示意圖。 圖5A繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第一實施例的示意圖。 圖5B繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第二實施例的示意圖。 圖5C繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第三實施例的示意圖。 圖5D繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第四實施例的示意圖。 圖5E繪示如圖4之局部區域B於第三視角（XY平面）之第五實施例的示意圖。 圖6A繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第一實施例的示意圖。 圖6B繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第二實施例的示意圖。 圖6C繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第三實施例的示意圖。 圖6D繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第四實施例的示意圖。 圖6E繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第五實施例的示意圖。 圖7A繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第六實施例的示意圖。 圖7B繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第七實施例的示意圖。 圖7C繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第八實施例的示意圖。 圖7D繪示如圖4之局部區域B於第二視角（YZ平面）之第九實施例的示意圖。 圖8A繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第一實施例的示意圖。 圖8B繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第二實施例的示意圖。 圖8C繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第三實施例的動作示意圖。 圖8D繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第四實施例的動作示意圖。 圖8E繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第五實施例的動作示意圖。 圖8F繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第六實施例的動作示意圖。 圖8G繪示如圖4之局部區域B於第一視角（XZ平面）之第七實施例的動作示意圖。 圖9繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中單一浸潤單元之局部區域A於第二視角（YZ平面）之工作狀態示意圖。 圖10繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中單一浸潤單元之局部區域A於第二視角（YZ平面）之工作狀態示意圖。 圖11繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中多個浸潤單元的工作狀態示意圖。 圖12繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中多個浸潤單元的工作狀態示意圖。 圖13A繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中單一浸潤單元於第一視角（XZ平面）之工作狀態示意圖。 圖13B繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中單一浸潤單元於第一視角（XZ平面）之工作狀態示意圖。 圖14A繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中單一浸潤單元於第一視角（XZ平面）之工作狀態示意圖。 圖14B繪示依據一些實施例，浸潤冷卻系統中單一浸潤單元於第一視角（XZ平面）之工作狀態示意圖。

10:浸潤冷卻系統 20:冷卻槽 200:容置部 22:機櫃 30:浸潤單元 300:本體框架 302:冷卻板 304:電子裝置 308:框座 40a, 40b, 40c:壓電單元 400:作用區 402:介電層 405, 405’:壓電接線 42:壓電驅動器 50:熱傳流體 70:冷凝裝置 700:冷凝器 702:第一冷凝管 704:第二冷凝管 706:冷凝泵浦 708:熱交換器 A:局部區域 L:液相空間 V:氣相空間 X:座標X方向 Z:座標Z方向

Claims (21)

1. 一種浸潤冷卻系統，包含：一冷卻槽，具有一容置部，組配以容置一熱傳流體；一浸潤單元，位於該容置部內，該浸潤單元包含：一冷卻板，其中該熱傳流體至少淹沒該冷卻板；一本體框架；及一電子裝置，設置於該本體框架，該電子裝置包含一發熱元件，該冷卻板接觸該發熱元件；多個壓電單元，該些壓電單元間形成至少一通道，該通道連通該冷卻板；一壓電驅動器，用以驅動該些壓電單元分別產生一變形；及一冷凝裝置，位於該熱傳流體之一液面的上方。
2. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，每一該壓電單元之該變形具有一變形方向，相鄰的二該壓電單元之該二變形方向相反。
3. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，該些壓電單元具有多個該通道，該些通道沿著遠離該冷卻板之方向呈漸擴狀。
4. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，該些壓電單元具有多個該通道，該些通道沿著遠離該冷卻板之方向呈漸縮狀。
5. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，該些壓電單元具有多個該通道，該些通道沿著鉛垂向上的方向呈漸擴狀。
6. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，該些壓電單元具有一整體寬度，該整體寬度大於或等於該冷卻板之一板寬。
7. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，該些壓電單元之一鉛垂高度實質相同且該些壓電單元之該鉛垂高度不低於該冷卻板之一鉛垂高度。
8. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，每一該壓電單元之該變形具有一變形量，該些壓電單元包含位於兩側之多個側壓電單元及位於中央的至少一中壓電單元，該中壓電單元之該變形量大於該些側壓電單元之該些變形量。
9. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，每一該壓電單元包含一壓電框架及一作用區，該作用區位於該壓電框架接近該冷卻板之位置。
10. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中，每一該壓電單元包含一壓電框架及二成對的作用區，該成對的作用區分別對應地位於該壓電框架之相對兩側，且該成對的作用區位於該壓電框架接近該冷卻板之位置。
11. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，另包含一擾動單元，該擾動單元包含一旋擾元件、一旋擾驅動器、一噴流元件及一噴流驅動器，該旋擾元件及該噴流元件分別接近該些壓電單元設置，其中該旋擾驅動器驅動該旋擾元件以朝該些壓電單元之方向產生一擾動，該噴流驅動器驅動該噴流元件以朝該些壓電單元之方向產生另一擾動。
12. 如請求項11所述的浸潤冷卻系統，其中該旋擾元件及該噴流元件係彼此鄰近設置。
13. 如請求項11所述的浸潤冷卻系統，其中該旋擾元件及該噴流元件分別位於該些壓電單元之相對兩側。
14. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中該冷卻板係面向該熱傳流體之該液面。
15. 如請求項1所述的浸潤冷卻系統，其中該冷卻板的一主表面與一鉛垂線實質平行。
16. 一種如請求項1所述的浸潤冷卻系統，另包含一擾動單元，該擾動單元接近該些壓電單元設置，其中該擾動單元包含一旋擾元件及一旋擾驅動器，該旋擾驅動器驅動該旋擾元件以朝該些壓電單元之方向產生一擾動。
17. 一種如請求項1所述的浸潤冷卻系統，另包含一擾動單元，該擾動單元接近該些壓電單元設置，其中該擾動單元包含一噴流元件及一噴流驅動器，該噴流驅動器驅動該噴流元件以朝該些壓電單元之方向產生一擾動。
18. 如請求項17所述的浸潤冷卻系統，另包含一泵浦裝置，該泵浦裝置具有一第一管路及一第二管路，該第一管路之一端位於該熱傳流體之該液面下，該第二管路連接該噴流元件，以自該第一管路吸取該熱傳流體，通過該第二管路並自該噴流元件產生受加速之該熱傳流體。
19. 一種浸潤冷卻系統，包含： 一冷卻槽，具有一容置部，組配以容置一熱傳流體；一浸潤單元，位於該容置部內，該浸潤單元包含：一冷卻板，其中該熱傳流體至少淹沒該冷卻板；一本體框架；及一電子裝置，設置於該本體框架，該電子裝置包含一發熱元件，該冷卻板接觸該發熱元件；多個壓電單元，該些壓電單元間形成至少一通道，該通道連通該冷卻板及該容置部；一壓電驅動器，用以驅動該些壓電單元分別產生一變形；及一冷凝裝置，位於該熱傳流體之一液面的上方。
20. 如請求項1、16、17及19中任一項所述的浸潤冷卻系統，其中該浸潤單元另包含一框座，該框座位於該容置部內，且該冷卻板位於該框座。
21. 如請求項1、16、17及19中任一項所述的浸潤冷卻系統，另包含多個該冷卻槽及與每一該冷卻槽分別對應的該浸潤單元、多個該壓電單元及該壓電驅動器。

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