TWI819536B - 具有管型內電極之電流體動力泵頭組合 - Google Patents

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Abstract

本發明是有關於一種電流體動力泵頭組合，更詳細而言是有關於一種對黏性溶液施加電位差並藉由噴嘴分配黏性溶液的具有管型內電極之電-流體動力（Electro Hydro Dynamic，EHD）泵頭組合。本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有可使EHD泵容易對分配黏性溶液的條件進行調整從而提高分配品質的效果。本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有可穩定地保持分配黏性溶液的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的分配品質的效果。

Description

具有管型內電極之電流體動力泵頭組合
本發明是有關於一種電流體動力泵頭組合，更詳細而言是有關於一種對黏性溶液施加電位差並藉由噴嘴分配黏性溶液的具有管型內電極之電-流體動力(Electro Hydro Dynamic，EHD)泵頭組合。
以高速定量對黏性溶液進行分配的泵廣泛用於包括半導體製程等的各種技術領域中。
如上所述，分配黏性溶液的泵使用螺旋(Auger)泵、氣壓泵、壓電(piezo)泵、噴墨(inkjet)泵等各種形態與結構的泵。
為了更加精巧地調整黏性溶液的分配容量且將微細線寬的圖案分配至材料，亦存在使用電流體動力(Electro Hydro Dynamic，EHD)泵的情況。
電流體動力泵為利用由對儲存於儲存部的黏性溶液施加高電壓產生的電場帶來的能量、藉由噴嘴噴出黏性溶液的泵。
如上所述的電流體動力泵可以微細容量噴出黏性溶液， 但存在分配特性因溶液的黏性或周邊環境、電極的形狀等重要原因而受到很大影響的缺點。
因此，為了有效地用於半導體製程等各種領域，需要以下結構的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合：亦可容易分配較高黏度的黏性溶液，且可較容易地控制黏性溶液的噴出形狀、圖案、流量等，同時可保持穩定的分配特性。
本發明是為了解決如上所述的問題點而提出，目的在於提供一種具有分配黏性溶液的性能優異且亦可穩定地保持分配特性、且容易調整分配特性的結構的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合。
用於解決如上所述的目的的本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的特徵在於包括：儲存部，儲存黏性溶液；絕緣噴嘴，為絕緣材質，連接至所述儲存部並以在長度方向上延伸的方式形成，以噴出所述黏性溶液；內電極，配置於將儲存於所述儲存部的所述黏性溶液傳遞至所述絕緣噴嘴的路徑上；以及外電極，以包圍所述絕緣噴嘴的至少一部分的方式形成且以向上下延伸的方式形成。
本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有可使EHD泵容易對分配黏性溶液的條件進行調整，從而提高分配品質的效果。
本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有可穩定地保持分配黏性溶液的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的分配品質的效果。
110:儲存部
210:上部主體
211:組裝延伸部
213:部分流道
215:環形槽
230:下部主體
231:組裝槽
233:絕緣蓋
250:固定部件
310:內電極
330:絕緣噴嘴
350:外電極
360:外電極
361:外電極元件
410:氣體流道
IV-IV:線
圖1是根據本發明的一實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的立體圖。
圖2及圖3是如圖1所示的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的正面圖。
圖4及圖5分別是如圖1所示的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的IV-IV線剖面圖與局部放大圖。
圖6是針對如圖1所示的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的一部分的正面圖。
圖7是將如圖1所示的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的一部分放大的剖面圖。
圖8是用於說明將如圖1所示的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合安裝至分配器來使用的狀態的圖。
圖9示出關於如圖1所示的電流體動力泵頭組合的外電極的另一結構。
以下，參照附圖，對根據本發明的一實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合進行說明。
本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合用於將黏性溶液塗佈至配置於基底上的材料。在接地的基底上配置有材料的狀態下，若對黏性溶液施加電壓，則因基底與黏性溶液之間的電位差而使黏性溶液藉由噴嘴噴出至材料上。
圖1是根據本發明的一實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的立體圖，圖2及圖3是如圖1所示的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的正面圖，圖4及圖5分別是如圖1所示的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的IV-IV線剖面圖與局部放大圖。
參照圖1至圖5，根據本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合包括儲存部(110)、內電極(310)、絕緣噴嘴(330)以及外電極(350)而形成。
儲存部(110)為儲存用於藉由絕緣噴嘴(330)噴出的黏性溶液的構成。儲存部(110)可以可儲存黏性溶液的各種形態構成。亦可使用藉由如管(tube)般的管道對儲存於另外的容器中的黏性溶液進行傳遞的形態的儲存部。在本實施例中，如圖1至圖5所示，以使用由圓筒形盒(cartridge)形態的容器結構形成的儲存部(110)的情況為例進行說明。可在如上所述般的儲存部(110)連接可對儲存於內部的黏性溶液施加壓力的氣壓調節器(regulator)來使用。
如圖4及圖5所示，在儲存部(110)的下端設置有內電極(310)。內電極(310)由導電材質形成，以使得可對儲存於儲存部(110)的黏性溶液施加電壓。本實施例的內電極(310)以沿長度方向內徑與厚度固定地形成的金屬管道形態形成。藉由如上所述的結構，內電極(310)可對儲存於儲存部(110)的黏性溶液施加電壓，同時將黏性溶液傳遞至絕緣噴嘴(330)。
如圖4、圖5及圖7所示，絕緣噴嘴(330)以在長度方向上延伸的方式形成。絕緣噴嘴(330)以至少一部分越向下側內徑越減小的方式形成的情況為佳。於本實施例的情況，如圖7所示，絕緣噴嘴(330)的上部以沿長度方向內徑固定的方式形成，且下部以越向下側內徑越減小的管道形態形成。
絕緣噴嘴(330)由如玻璃般的絕緣材質形成。於本實施例的情況，絕緣噴嘴(330)藉由對玻璃材質的管道進行拉製加工的方法製作。如上所述的絕緣噴嘴(330)與內電極(310)同樣地組裝至儲存部(110)的下端。
於本實施例的情況，如圖7所示，絕緣噴嘴(330)以內電極(310)插入至內部的狀態組裝至儲存部(110)。較佳為絕緣噴嘴(330)以與螺母形態的合成樹脂材質結構物結合的狀態藉由螺合方式組裝至儲存部(110)。此時，以向儲存部(110)的下端突出的方式設置的內電極(310)插入至絕緣噴嘴(330)的狀態將絕緣噴嘴(330)連接至儲存部(110)。藉由如上所述的結構，內電極(310)可對黏性溶液施加電壓，同時直接對絕緣噴嘴(330) 供應黏性溶液。於本實施例的情況，如圖7所示，內電極(310)以僅插入至絕緣噴嘴(330)的內徑固定地形成的上部的方式形成。藉由如上所述的結構，內電極(310)可將黏性溶液傳遞至與絕緣噴嘴(330)的出口(outlet)非常近的位置並對該黏性溶液施加電壓。
絕緣噴嘴(330)的內徑與內電極(310)的外徑之間的間隔盡可能窄的情況為佳。若使絕緣噴嘴(330)的內徑與內電極(310)的外徑之間的間隔變窄，則可減小傳遞至絕緣噴嘴(330)的壓力損失與電磁力的損失並藉由絕緣噴嘴(330)有效地噴出黏性溶液。
較佳為絕緣噴嘴(330)的內徑與內電極(310)的外徑之間的間隔為0.05mm至0.1mm的情況為佳。若絕緣噴嘴(330)的內徑與內電極(310)的外徑之間的間隔小於0.05mm，則難以對絕緣噴嘴(330)與內電極(310)進行組裝，於絕緣噴嘴(330)的內徑與內電極(310)的外徑之間的間隔大於0.1mm的情況下，黏性溶液可能流至絕緣噴嘴(330)與內電極(310)之間，或者在絕緣噴嘴(330)的內壁與內電極(310)的外壁之間形成氣泡，或者該氣泡藉由絕緣噴嘴(330)與黏性溶液一同排出。
絕緣噴嘴(330)、內電極(310)與儲存部(110)組裝至上部主體(210)。上部主體(210)為結合儲存部(110)、內電極(310)與絕緣噴嘴(330)的組合並支撐的構成。如上所述的上部主體(210)與下部主體(230)組裝使用。
如圖4及圖5所示，下部主體(230)具有以向上下延伸的方式形成的組裝槽(231)。上部主體(210)具有以與組裝槽(231)對應的形狀形成的組裝延伸部(211)。藉由上部主體(210)的組裝延伸部(211)插入至下部主體(230)的組裝槽(231)的方法來將上部主體(210)與下部主體(230)彼此進行組裝。
在下部主體(230)固定有外電極(350)。即，外電極(350)設置並支撐在下部主體(230)。本實施例的外電極(350)以向上下延伸的管道形態形成。於本發明的情況，以由沿上下方向內徑與厚度固定地形成的結構形成的外電極(350)為例進行說明，但外電極(350)的結構與形狀可進行各種變形。例如，亦可形成為外電極的內徑沿上下方向增加或減小的管道形態的結構。另外，如圖9所示，亦可使用由沿圓周方向以固定角度間隔排列且在長度方向上延伸的結構的多個外電極元件(361)形成的外電極(360)。
若組裝延伸部(211)插入至組裝槽(231)以將上部主體(210)與下部主體(230)彼此組裝，則外電極(350)以不接觸狀態包圍絕緣噴嘴(330)的至少一部分的外周。於本實施例的情況，如圖5所示，絕緣噴嘴(330)的末端部分呈插入至外電極(350)的狀態。此時，呈插入至絕緣噴嘴(330)的內部的狀態的內電極(310)亦呈插入至外電極(350)的內部的狀態。
在如上所述的狀態下，上部主體(210)以可相對於下部主體(230)升降的方式設置。於本實施例的情況，上部主體(210) 以可沿設置於下部主體(230)的導引軌道相對於下部主體(230)向上下升降的方式設置。本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合以如下方式構成：在手動調整上部主體(210)的高度後，使用另外的固定部件(250)對上部主體(210)的高度進行固定。視情況，亦可以以下方式構成具有管型內電極之電流體動力泵頭組合：設置可藉由控制訊號調整上部主體(210)的高度的如線性馬達般的形態的升降部件，從而使上部主體(210)相對於下部主體(230)自動升降。若藉由如上所述的升降部件調整上部主體(210)的高度，最終絕緣噴嘴(330)相對於外電極(350)的高度得到調整。
本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有連接在絕緣噴嘴(330)與外電極(350)之間的氣體流道(410)。如上所述的氣體流道(410)連接在絕緣噴嘴(330)與外電極(350)之間，以在絕緣噴嘴(330)與外電極(350)之間傳遞正壓氣體或負壓氣體。
如上所述的氣體流道(410)在絕緣噴嘴(330)與外電極(350)之間經由下部主體(230)的內部連接至外部氣壓裝置。於本實施例的情況，氣體流道(410)經由上部主體(210)的組裝延伸部(211)與下部主體(230)的組裝槽(231)之間的路徑。
組裝槽(231)形成為圓筒形，且組裝延伸部(211)以外徑與組裝槽(231)完全相配的圓柱形態形成。在組裝延伸部(211)的外表面形成沿圓周方向以相同間隔(90度間隔)向上下 延伸的槽形態的部分流道(213)。在部分流道(213)的上端部形成並連接有沿組裝延伸部(211)的外徑以環形態形成的環形槽(215)。氣體流道(410)沿藉由如上所述的部分流道(213)與環形槽(215)形成的路徑連接在組裝延伸部(211)與組裝槽(231)之間。氣體流道(410)以自環形槽(215)向下部主體(230)的側方向相連的方式延伸。氣體流道(410)藉由如上所述的路徑連接至外部氣壓裝置。
若使外部氣壓裝置產生正壓，則將壓縮氣體分散至外電極(350)與絕緣噴嘴(330)之間。反之，若使外部氣壓裝置產生負壓，則降低外電極(350)與絕緣噴嘴(330)之間的壓力，並藉由氣體流道(410)吸入絕緣噴嘴(330)周圍的空氣。
另一方面，所述絕緣噴嘴(330)相對於外電極(350)的相對位置藉由將上部主體(210)的組裝延伸部(211)插入至下部主體(230)的組裝槽(231)自動對準。若以使組裝延伸部(211)與組裝槽(231)之間的公差非常小的方式進行加工，則在組裝延伸部(211)插入至組裝槽(231)後，絕緣噴嘴(330)的水平方向位移固定。因此，若組裝延伸部(211)插入至組裝槽(231)且被組裝槽(231)導引同時進行滑動，則絕緣噴嘴(330)容易進入至外電極(350)的內部。利用如上所述的方法可防止絕緣噴嘴(330)的損壞。由於絕緣噴嘴(330)由非常脆的玻璃材質形成得非常細且長，因此即使受到小的衝擊亦容易損壞。如上所述，因組裝槽(231)與組裝延伸部(211)的形狀與結構，絕 緣噴嘴(330)容易進入至外電極(350)的內部。在將絕緣噴嘴(330)相對於外電極(350)的水平方向位置對準的狀態下，若將上部主體(210)與下部主體(230)進行組裝，則防止絕緣噴嘴(330)的損壞且使絕緣噴嘴(330)容易進入至外電極(350)的內部。
為此，絕緣噴嘴(330)向上部主體(210)的下側突出的長度較組裝槽(231)的深度短的情況為佳。若如上所述般構成，則於絕緣噴嘴(330)與組裝槽(231)的底部接觸之前，組裝延伸部(211)開始插入至組裝槽(231)。組裝延伸部(211)藉由組裝槽(231)進行位置對準的同時亦自動對準絕緣噴嘴(330)的位置。
如上所說明，由於組裝槽(231)與組裝延伸部(211)之間以公差非常小的方式形成，因此除氣體流道(410)之外的剩餘部分的組裝槽(231)與組裝延伸部(211)之間是氣密的。視需要亦可在組裝延伸部(211)或組裝槽(231)設置如O形環等密封部件，從而更加切實地將組裝槽(231)與組裝延伸部(211)之間進行氣體密封。
另一方面，在下部主體(230)設置有絕緣材質的絕緣蓋(233)。絕緣蓋(233)形成有以沿上下貫通的方式形成的電極孔。絕緣蓋(233)以可於電極孔的內部配置外電極(350)的狀態結合至下部主體(230)。絕緣蓋(233)起到將外電極(350)固定至下部主體(230)的作用與保護作業人員免受施加至外電極(350) 的高電壓的影響的作用。
以下，對如上所述構成的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的操作進行說明。
首先，對根據本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的組裝順序進行說明。
參照圖1、圖2及圖4，將外電極(350)組裝至下部主體(230)。如上所說明，利用絕緣蓋(233)將外電極(350)固定至下部主體(230)的下部。此時，外電極(350)經由絕緣蓋(233)的電極孔暴露於下側。
外電極(350)藉由下部主體(230)電性連接至電源供應裝置。電源供應裝置以在控制部設定的電壓對外電極(350)施加直流電壓。
接著，參照圖1、圖2及圖7，於儲存部(110)組裝內電極(310)與絕緣噴嘴(330)。儲存於儲存部(110)的黏性溶液呈可藉由內電極(310)排出至外部的狀態。另外，如圖7所示，對儲存部(110)組裝絕緣噴嘴(330)，以使得內電極(310)呈插入至絕緣噴嘴(330)的內徑固定地形成的部分的狀態。若呈如上所述般的狀態，則儲存於儲存部(110)的黏性溶液可藉由內電極(310)直接傳遞至絕緣噴嘴(330)。在儲存部(110)連接氣壓調節器。氣壓調節器可以在控制部中設定的壓力對儲存於儲存部(110)的黏性溶液施加壓力。
在如上所述的狀態下，如圖1及圖2所示，將儲存部 (110)、內電極(310)與絕緣噴嘴(330)的組合安裝至上部主體(210)。如圖1及圖2所示，在使上部主體(210)為相對於下部主體(230)上升的狀態下，將儲存部(110)及其周邊構成安裝至上部主體(210)。如上所述，在上部主體(210)為上升的狀態下，內電極(310)與絕緣噴嘴(330)可不卡合在下部主體(230)且容易安裝至上部主體(210)。
內電極(310)藉由上部主體(210)連接至電源供應裝置。電源供應裝置對內電極(310)施加在控制部中設定的直流電壓。
在使上部主體(210)向下側滑動時，如圖3及圖5所示，組裝延伸部(211)插入至組裝槽(231)，且將上部主體(210)與下部主體(230)彼此組裝。此時，絕緣噴嘴(330)亦插入至外電極(350)的內部。如上所述的過程亦可手動執行，亦可藉由根據控制部的訊號進行作動的升降部件執行。上部主體(210)與下部主體(230)之間的相對位置可根據作業條件或黏性溶液的特性等各種參數來調整。
如上所說明，若絕緣噴嘴(330)向上部主體(210)的下側突出的長度較組裝槽(231)的深度短地形成，則具有可降低組裝槽(231)的損壞危險的優點。由於在絕緣噴嘴(330)與組裝槽(231)的底部接觸或進入至外電極(350)的內部之前，組裝延伸部(211)開始插入至組裝槽(231)，因此在組裝延伸部(211)的位置藉由組裝槽(231)對準的同時亦自動對準絕緣噴嘴(330) 的位置。因此，絕緣噴嘴(330)在準確的位置處進入至外電極(350)的內部。另外，在絕緣噴嘴(330)進入的過程中，絕緣噴嘴(330)不與外電極(350)接觸。
完成上部主體(210)與下部主體(230)的組裝時，如圖6所示，絕緣噴嘴(330)的末端部分向外電極(350)的下部暴露出。視情況對上部主體(210)的高度進行調整，從而亦可在絕緣噴嘴(330)的末端部分不向外電極(350)的下部暴露出的狀態下實施分配作業。
按照如上所述般的順序進行組裝使用的本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合可以如圖8所示般的狀態使用。如圖8所示，本實施例的電流體動力泵在與照相機、感測器等其他構成一起設置於支撐面板的狀態下設置於另外的移送裝置來使用。藉由移送裝置向垂直方向與水平方向移送且利用各種方法對配置於底部的材料分配黏性溶液。
如上所述，若將材料配置於接地的基底(底部)，且利用電源供應裝置對內電極(310)與外電極(350)施加直流電壓，則藉由由內電極(310)及外電極(350)產生的針對基底的電位差將絕緣噴嘴(330)內部的黏性溶液朝向下側噴出。於本實施例的情況，對內電極(310)施加固定的直流電壓，對外電極(350)施加各種圖案與頻率的脈衝電壓，從而藉由絕緣噴嘴(330)噴出黏性溶液。視情況亦可相反地利用對外電極(350)施加固定的直流電壓、對內電極(310)施加特定頻率的脈衝電壓的方法構成具 有管型內電極之電流體動力泵頭組合。
如圖7所示，由於內電極(310)進入至絕緣噴嘴(330)的內部，因此可更有效地施加直流電壓以噴出黏性溶液。藉由如上所述的結構可提高黏性溶液的分配性能。另外，由於本實施例的內電極(310)以管道形態形成，因此形成電位差的同時執行將黏性溶液供應至絕緣噴嘴(330)的功能，從而可進一步提高分配性能。
因如上所述的內電極(310)與絕緣噴嘴(330)之間的結構，可使將儲存於儲存部(110)的黏性溶液供應至絕緣噴嘴(330)的部分與自絕緣噴嘴(330)噴出黏性溶液的部分之間的距離變得非常近。藉由此種結構，可顯著降低在分配過程中產生氣泡的可能性。另外，由於因如上所述的結構在與絕緣噴嘴(330)的噴出口非常近的位置處利用內電極(310)對黏性溶液施加電壓，因此使得本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有優異的分配性能。另外，如上所述的結構具有非常容易直接控制分配特性的優點。
另外，由於外電極(350)亦可在與內電極(310)及絕緣噴嘴(330)非常近的位置處施加直流電壓，因此本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有更優異的分配性能。特別是，本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合的外電極(350)以管道形態形成，從而形成包圍絕緣噴嘴(330)的外周且向上下延伸的空間。在如上所述的狀態下，由於對外電極 (350)施加直流電壓，因此本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合可減少由外部環境或噪音的干涉帶來的影響。結果，本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有更穩定地分配黏性溶液的性能。
另外，於內電極(310)與外電極(350)二者以圓筒形形成的情況下，藉由進一步增大在內電極(310)與外電極(350)之間產生電位差的面積與空間，從而使得本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有可對黏性溶液更有效地傳遞電磁力的結構。
接著，對氣體流道(410)的作用進行說明。連接至外部氣壓泵的氣體流道(410)利用形成於組裝延伸部(211)的環形槽(215)與部分流道(213)連至上部主體(210)及下部主體(230)的下部。在部分流道(213)的下端部，氣體流道(410)再次以放射狀沿半徑方向延伸，且連至外電極(350)的內側空間為止。結果，氣體流道(410)的末端部分連接至外電極(350)與絕緣噴嘴(330)之間的空間。根據外部氣壓泵的作動，氣體流道(410)向外電極(350)與絕緣噴嘴(330)之間供應正壓氣體或負壓氣體。
通常而言，分配黏性溶液的泵在開始作業的步驟中去除內部氣泡或在執行校正(calibration)的過程中執行吹掃(purge)作業的情形是普遍的。在執行如上所述般的吹掃作業時，若藉由氣體流道(410)產生正壓，則起到有助於藉由絕緣噴嘴(330) 噴出黏性溶液的作用。另外，若不僅在開始吹掃作業的情況下、而且在針對產品的分配作業的情況下，亦藉由氣體流道(410)在絕緣噴嘴(330)的周圍產生固定壓力的氣體流動，產生可縮短形成用於噴出的穩定的彎液面(meniscus)的時間的效果。
若對藉由氣體流道(410)傳遞的氣體壓力的大小或氣體的流量進行調整，則亦可使本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合以噴霧形態分配黏性溶液的方式作動，而並非以液滴(droplet)單位噴出黏性溶液。
另一方面，亦可使具有管型內電極之電流體動力泵頭組合作動，以藉由氣體流道(410)傳遞負壓以在絕緣噴嘴(330)的周圍形成真空。若在執行如上所述般的吹掃作業期間在氣體流道(410)中產生負壓，則藉由絕緣噴嘴(330)吹掃的黏性溶液被抽吸(suction)並藉由氣體流道(410)排出至外部。即，藉由在對具有管型內電極之電流體動力泵頭組合進行校正或進行作業準備的步驟中使黏性溶液不向絕緣噴嘴(330)的下側下落，且藉由氣體流道(410)排出至外部，從而可防止由黏性溶液引起的作業空間的污染。另外，如上所述，即使在以噴霧形態分配黏性溶液的情況下，亦可在不對材料分配黏性溶液期間對氣體流道(410)施加負壓，以藉由氣體流道(410)抽吸黏性溶液的微細粒子並排出至外部。
由於本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合以外電極(350)以不接觸狀態包圍絕緣噴嘴(330)的方式配置， 因此具有容易將氣體流道(410)連接至絕緣噴嘴(330)與外電極(350)之間的結構上的優點。由於藉由如上所述般的結構可使氣體流道(410)接近距絕緣噴嘴(330)非常近的位置，因此具有可提高由氣體流道(410)所傳遞的正壓或負壓的氣體壓力帶來的作用效果的優點。
另一方面，如本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合般的分配泵將噴嘴的高度保持為設定的值是非常重要的。於本發明的情況，可使用如下所述的方法來對外電極(350)及絕緣噴嘴(330)的高度進行校正(calibration)及控制。
如圖1、圖2及圖4所示，在使上部主體(210)為相對於下部主體(230)上升的狀態下，使如圖7般的整體結構物下降來對外電極(350)的高度進行測定。於使用線性可變位移感測器(Linear Variable Displacement Transducer，LVDT)的情況下，使外電極(350)下降至外電極(350)與LVDT感測器接觸時為止，從而把握外電極(350)的基準高度。藉由上部主體(210)與下部主體(230)之間的相對位移，可容易地對內電極(310)或絕緣噴嘴(330)相對於外電極(350)的相對位移進行測定或調整。因此，若利用如上所述般的方法直接測定外電極(350)的高度，且利用間接的方法測定內電極(310)或絕緣噴嘴(330)的高度，則既可防止內電極(310)或絕緣噴嘴(330)損壞，亦可準確地掌握並調整主要構成的高度。利用如上所述般的方法可容易調整與主要構成的高度相關的因素，從而控制黏性溶液的分配特性。
另一方面，如上所述，本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合為可將容器形態的儲存部(110)與內電極(310)及絕緣噴嘴(330)作為一組安裝至上部主體(210)的結構，因此具有使用上的便利與性能上的優異性。先前，經常使用將黏性溶液儲存於如小玻璃瓶(vial)般的容器並藉由管將黏性溶液傳遞至噴嘴的結構，但於本發明的情況，使用將容器形態的儲存部(110)與內電極(310)及絕緣噴嘴(330)直接短距離連接的結構。因此，可將連接至儲存部(110)的調節器壓力的損失最小化同時傳遞至內電極(310)。另外，由於不使用中間連接管，因此本實施例的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合具有可將結構簡單化且亦可使大小構成得小的優點。
如上所述般的本發明的結構可保持如上所述般的優點且進行各種變形。在上文中，說明了儲存部(110)與內電極(310)及絕緣噴嘴(330)以組裝為一組的狀態安裝至上部主體(210)的情形，但如上所述般的結構可視需要進行變形。例如，亦可以如下方式構成：在內電極(310)與絕緣噴嘴(330)組裝於上部主體(210)的狀態下，可以可裝卸的方式將儲存部(110)結合至上部主體(210)，從而與內電極(310)及絕緣噴嘴(330)結合。
以上，以較佳的例子為例對本發明進行了說明，但本發明的範圍並非限定於上文中說明並示出的形態。
例如，內電極(310)、絕緣噴嘴(330)及外電極(350) 的結構除圓筒形的結構之外，可分別變形為其他各種結構，且外徑及內徑的大小亦可視需要進行各種變形。另外，如圖9所示，外電極(360)亦可以如下方式進行變形：藉由在圓周方向上排列的多個外電極元件(361)構成具有與圓筒形相似的結構的外電極(360)。內電極(310)的結構亦可變形為如上所述般的結構來使用。
另外，與在上文中參照圖式說明的結構不同，亦可以可相對於另一者對內電極與絕緣噴嘴中的任一者進行高度調整的方式構成本發明的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合。如上所述，藉由對內電極與絕緣噴嘴之間的高度進行調整，從而可對黏性溶液的分配特性進行調整。
另外，在上文中說明了內電極(310)插入至絕緣噴嘴(330)的內部的情形，但視情況亦可以內電極不插入至絕緣噴嘴的形態構成具有管型內電極之電流體動力泵頭組合。視情況亦可使用並非管道形態的內電極。
另外，對內電極(310)與絕緣噴嘴(330)直接連接至容器形態的儲存部(110)的情形進行了說明並示出，但亦可構成使容器形態的儲存部藉由如管般的中間結構物與內電極及絕緣噴嘴連接的結構的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合。
另外，在上文中以上部主體(210)以可相對於下部主體(230)升降的方式設置的結構為例進行了說明，但亦可變更為下部主體以可相對於上部主體升降的方式設置的結構。於此情況， 升降部件使下部主體相對於上部主體進行升降。
另外，上部主體與下部主體的組裝結構亦可不是相互滑動的方式，而多樣地變形為相互螺合的結構、扣合的結構等。亦可構成不是彼此分離成上部主體與下部主體的結構，而是具有形成為一體的主體部的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合。
另外，在上文中以具有氣體流道(410)的結構的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合為例進行了說明，但氣體流道的結構可進行各種變形，且亦可構成不具有氣體流道的結構的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合。除在上文中說明的環形槽(215)與部分流道(213)的結構之外，氣體流道的結構亦可變形為其他各種形態。
110:儲存部
210:上部主體
211:組裝延伸部
213:部分流道
215:環形槽
230:下部主體
231:組裝槽
233:絕緣蓋
250:固定部件
330:絕緣噴嘴
350:外電極
IV-IV:線

Claims (14)

  1. 一種具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，包括：儲存部，儲存黏性溶液；絕緣噴嘴，為絕緣材質，連接至所述儲存部並以在長度方向上延伸的方式形成，以噴出所述黏性溶液；內電極，組裝於所述儲存部且配置於將儲存於所述儲存部的所述黏性溶液傳遞至所述絕緣噴嘴的路徑上，且以管道形態形成以能夠將儲存於所述儲存部的所述黏性溶液傳遞至所述絕緣噴嘴；以及外電極，配置於所述絕緣噴嘴的外側。
  2. 如請求項1所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述內電極至少一部分配置於所述絕緣噴嘴的內部。
  3. 如請求項2所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述絕緣噴嘴以至少一部分越向下側內徑越減小的方式形成。
  4. 如請求項3所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述內電極以沿長度方向內徑固定的圓筒形形成。
  5. 如請求項4所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中 所述絕緣噴嘴的上部以沿長度方向內徑固定的方式形成，且下部以越向下側內徑越減小的方式形成。
  6. 如請求項5所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述內電極以以下方式配置：僅插入至所述絕緣噴嘴中在長度方向上內徑固定地形成的上部。
  7. 如請求項4所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述絕緣噴嘴的內徑與內電極的外徑之間的間隔為0.05mm至0.1mm。
  8. 如請求項1至請求項7中任一項所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述絕緣噴嘴由玻璃材質形成。
  9. 如請求項1至請求項7中任一項所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述儲存部以容器形態形成，所述內電極設置於所述儲存部。
  10. 如請求項1至請求項7中任一項所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述內電極與所述絕緣噴嘴分別結合至所述儲存部進行設置。
  11. 如請求項1至請求項7中任一項所述的具有管型 內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述外電極以管道形態形成。
  12. 如請求項11所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述外電極以沿長度方向具有固定的內徑的方式形成。
  13. 如請求項11所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述外電極以沿長度方向內徑逐漸減小的方式形成。
  14. 如請求項1至請求項7中任一項所述的具有管型內電極之電流體動力泵頭組合，其中所述外電極包括多個外電極元件，所述多個外電極元件以所述絕緣噴嘴為中心沿圓周方向排列。
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