KR102078965B1 - 전기수력학 방식의 분사 노즐 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전기수력학 방식의 분사 노즐에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐은 분사되는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서, 노즐관이 형성되는 노즐부, 상기 용액의 저장 공간을 형성하며, 상부는 외부의 용액 공급 장치로부터 상기 저장 공간으로 상기 용액이 유입되는 유입구가 형성되고, 하부는 상기 노즐관으로 용액을 공급하는 공급구가 형성되는 노즐바디부 및 상기 저장 공간 내에서 탄성 지지되어 상기 유입구를 개폐하는 개폐부를 포함하며, 상기 용액 공급 장치로부터 상기 노즐바디부로 공급되는 용액의 압력에 따라서 상기 개폐부는 탄성 이동하여 상기 유입구를 개폐하는 것을 특징으로 한다.

Description

전기수력학 방식의 분사 노즐{JETTING NOZZLE BY ELECTROHYDRODYNAMIC METHOD}
본 발명은 전기수력학 방식의 분사 노즐에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 노즐을 통해 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 관한 것이다.
액적을 제팅하는 방법으로 열기포 방식, 압전(piezoelectric) 방식 및 전기수력학(electrohydrodynamic, EHD) 방식 등이 널리 사용되어 왔다. 그 중에서 전기수력학 방식은 노즐에 있는 전극과 기판 사이의 전위차에 의한 정전기력을 이용하여 잉크를 토출시키는 방법으로, 미세 선폭을 구현할 수가 있어서 정밀 토출을 위한 기술 분야에 널리 사용되어 왔다.
기존의 전기수력학을 이용한 제팅 기술들은 노즐 내부에 전극을 배치하고 전압을 인가시키는 방법으로 노즐 내 용액으로 전하를 공급하여 하전시키고 정전기력을 발생시켜 액적을 토출시켰다.
이때, 노즐의 내부에 밸브를 형성하여, 노즐 외부에 위치하는 펌프를 포함하는 용액 공급 장치로부터 노즐 내부로 용액의 유입을 허용하거나 차단하도록 한다. 만약 노즐 내부에 상기와 같은 밸브가 장착되지 않으면 제팅이 종료되었을 때 노즐 외부의 펌프로부터 용액의 공급을 중지시키더라도 내부의 잔압에 의해 노즐을 통해 용액이 일부 토출되는 문제가 발생한다.
종래에 상기 밸브는 솔레노이드 밸브 또는 피에조 밸브 등으로 구성되었는데, 이는 전기소자로 구성된 밸브이다. 전기수력학 방식의 제팅은 정전기력의 힘으로 토출시키는 것이기 때문에 상기 밸브에 전기가 흘러서 밸브가 손상되는 문제가 발생할 수 있다.
대한민국공개특허 제10-2012-0139436호
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 솔레노이드 밸브와 같이 전기소자로 구성되지 않고 용액의 공급 힘과 탄성력, 또는 주입되는 기체 또는 주입되는 액체의 압력과 탄성력을 이용하여 노즐 내 용액의 유입을 허용 또는 차단시키도록 하여 노즐 내에 흐르는 전류에 의해 관련 부품이 손상되지 않는 전기수력학 방식의 분사 노즐을 제공함에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 분사되는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서, 노즐관이 형성되는 노즐부; 상기 용액의 저장 공간을 형성하며, 상부는 외부의 용액 공급 장치로부터 상기 저장 공간으로 상기 용액이 유입되는 유입구가 형성되고, 하부는 상기 노즐관으로 용액을 공급하는 공급구가 형성되는 노즐바디부; 상기 저장 공간 내에서 상기 유입구를 개폐하는 개폐부; 및 상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성부를 포함하며, 상기 용액 공급 장치로부터 상기 노즐바디부로 공급되는 용액의 압력에 따라서 상기 개폐부는 탄성 이동하여 상기 유입구를 개폐하는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 의해 달성될 수가 있다.
여기서, 상기 개폐부는 볼 타입으로 형성될 수 있다.
여기서, 상기 개폐부는 원통형의 피스톤 타입으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 분사되는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서, 노즐관이 형성되는 노즐부; 상기 용액의 저장 공간을 형성하며, 상부는 외부의 용액 공급 장치로부터 상기 저장 공간으로 상기 용액이 유입되는 유입구가 형성되고, 하부는 상기 노즐관으로 용액을 공급하는 공급구가 형성되는 노즐바디부; 및 상기 저장 공간 내에서 상기 유입구를 개폐하며 탄성체로 형성되는 개폐부; 상기 용액 공급 장치로부터 상기 노즐바디부로 공급되는 용액의 압력에 따라서 상기 개폐부는 탄성 변형하여 상기 유입구를 개폐하는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 의해 달성될 수가 있다.
여기서, 상기 개폐부는 볼 타입으로 형성될 수 있다.
여기서, 상기 개폐부는 원통형의 피스톤 타입으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 분사되는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서, 노즐관이 형성되는 노즐부; 상기 용액의 저장 공간을 형성하며, 외부의 용액 공급 장치로부터 상기 저장 공간으로 상기 용액이 유입되는 유입구가 형성되고, 하부는 상기 노즐관으로 용액을 공급하는 공급구가 형성되는 노즐바디부; 탄성 지지되어 상기 상기 공급구를 개폐하는 개폐부; 기체 또는 액체의 압력에 의해 상기 개폐부를 상하 이동시키도록 하는 압력 제어부; 및 상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성부를 포함하는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 의해 달성될 수가 있다.
여기서, 상기 저장 공간의 상부에 상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성 지지공간을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 개폐부는 상기 탄성 지지공간 및 상기 저장 공간 사이를 관통하여 지나가고 하단은 이동에 따라서 상기 공급구를 개폐하는 플런저부; 및 상기 플런저부의 상단에서 상기 탄성 지지공간을 상부와 하부로 분리시키며 상부와 하부의 공간 사이를 밀폐시키는 분리부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 탄성 지지공간의 상단 내측면과 상기 분리부 사이에 배치되어 상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 압력 제어부는 상기 분리부에 의해 분리되는 하부 공간에 공급되는 기체 또는 액체에 의한 압력을 제어하여 상기 개폐부를 이동시킬 수 있다.
여기서, 상기 탄성부는 상기 탄성 지지공간의 하단 내측면과 상기 분리부 사이에 배치되어 상기 개폐부를 탄성 지지할 수 있다.
여기서, 상기 압력 제어부는 상기 분리부에 분리되는 상부 공간에 공급되는 기체 또는 액체에 의한 압력을 제어하여 상기 개폐부를 이동시킬 수 있다.
여기서, 상기 분사 노즐 내의 용액과 절연체로 분리되어 접촉하지 않는 메인 전극; 및 상기 메인 전극에 전압을 인가하는 전압제어기를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 메인 전극은 절연체로 코팅되어 상기 분사 노즐의 내부에 내삽될 수 있다.
여기서, 전도성 재질로 상기 분사 노즐의 내측벽면에 코팅되고, 전기적 연결이 되지 않거나 상기 메인 전극과 다른 전압이 인가되거나 접지되는 유도보조 전극을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 분사 노즐은 절연체로 형성되고, 상기 분사 노즐의 외벽 또는 상기 분사 노즐의 외측에 이격된 위치에 상기 메인 전극이 형성될 수 있다.
여기서, 전도성 재질로 상기 분사 노즐 내부에 내삽되고, 전기적 연결이 되지 않거나 상기 메인 전극과 다른 전압이 인가되거나 접지되는 유도보조 전극을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 분사 노즐은 전도성 재질로 형성되어 바디를 형성하는 메인 전극부 및 상기 메인 전극부를 절연체로 코팅하는 절연부로 형성되며, 상기 전압제어기는 상기 메인 전극부에 전압을 인가할 수 있다.
여기서, 전도성 재질로 상기 분사 노즐 내부에 내삽되고, 전기적 연결이 되지 않거나 상기 메인 전극부와 다른 전압이 인가되거나 접지되는 유도보조 전극을 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 전기수력학 방식의 분사 노즐에 따르면 전기 소자로 구성되는 솔레노이드 밸브 등을 장착시키지 않고도 노즐 내 용액의 유입을 허용 또는 차단시키도록 하여 노즐 내에 흐르는 전류에 의해 노즐이 손상되지 않는다는 장점이 있다.
또한, 기체의 압력을 제어하여 개폐부를 능동적으로 이동시켜 용액의 노즐 내부로의 공급을 즉각적으로 차단시킬 수 있다는 장점도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐의 단면도이다.
도 2는 도 1에서 용액 공급 장치로부터 공급되는 용액의 압력에 의해 개폐부가 하강하여 분사 노즐 내부로 용액이 유입되는 상태를 도시하는 도면이다.
도 3은 도 1에서 전기수력학 방식 분사 구조의 변형례이다.
도 4는 도 1에서 개폐부 형태의 변형례이다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐의 단면도이다.
도 6은 도 5에서 압력 제어부에 의해 분사 노즐 내부로 주입되는 기체의 압력을 제어하여 개폐부를 상승시켜 공급구를 개방하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 7은 도 5에서 전기수력학 방식 분사 구조의 변형례이다.
도 8은 도 4의 분사 노즐 구조의 변형례를 도시한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기수력학 방식 분사 구조를 설명하는 도면이다.
도 10은 도 9의 변형례이다.
도 11은 도 9의 또 다른 변형례이다.
실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 전기수력학 방식의 분사 노즐을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐의 단면도이고, 도 2는 도 1에서 용액 공급 장치로부터 공급되는 용액의 압력에 의해 개폐부가 하강하여 분사 노즐 내부로 용액이 유입되는 상태를 도시하는 도면이고, 도 3은 도 1에서 전기수력학 방식 분사 구조의 변형례이고, 도 4는 도 1에서 개폐부 형태의 변형례이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐(100)은 노즐부(110), 노즐바디부(120), 개폐부(130), 및 탄성부(140)를 포함하여 구성될 수가 있다.
노즐부(110)는 관경이 일정하도록 길게 연장되며 하부는 관경이 점차적으로 줄어들도록 형성되는 노즐관(112)으로 형성되며 노즐관(112)의 하단에는 외부로 용액을 토출시키는 노즐공(114)이 형성된다. 상기 노즐관(110)은 상하단 관경이 일정하도록 형성될 수도 있다.
상기 노즐관(112)의 상단은 노즐바디부(120)에 형성되는 챔버인 저장 공간(122)과 연결되어 용액을 공급 받는다.
노즐바디부(120)는 내부에 제팅되는 용액이 임시로 저장되는 챔버인 저장 공간(122)이 형성되고, 하단부에는 노즐부(110)가 장착된다. 따라서, 노즐바디부(120)에는 노즐부(110)가 삽입될 수 있도록 홀이 형성될 수가 있다. 본 실시예에서는 노즐바디부(120)와 노즐부(110)가 별개 구성으로 분리 장착되는 것으로 설명하고 있으나, 일체로 형성될 수도 있다.
노즐바디부(120)의 상부에는 외부의 용액 공급 장치(180)로부터 상기 저장 공간(122) 내로 용액이 유입되는 경로인 유입구(124)가 형성된다. 또한, 저장 공간(122)의 하부에는 노즐바디부(120)에 장착된 노즐관(112) 내부로 용액을 공급하는 공급구(126)가 형성된다.
이때, 용액 공급 장치(180)는 용액을 저장하는 탱크, 상기 탱크와 상기 유입구(124) 사이를 연결시키는 배관, 탱크에 저장된 용액을 유입구(124)를 향하여 압출하는 펌프 등으로 구성될 수가 있다. 따라서, 분사 노즐(100) 외부의 탱크에 저장된 용액을 용액 공급 장치(180)에 의해 분사 노즐(100) 내부로 지속적으로 공급하며 용액을 토출시킬 수가 있다. 제팅을 완료한 후에는 펌프의 동작을 중단시켜 분사 노즐(100) 내부로의 용액 공급을 중단시키게 된다.
또한, 노즐바디부(120)의 하단부에는 전극(150)이 형성된다. 상기 전극(150)은 분사 노즐(100) 내에 위치하는 용액에 노출되도록 형성하여 전압제어기로부터 전극(150)에 인가되는 고전압에 의해 용액을 하전시키며, 이와 동시에 전극(150)과 분사 노즐(100) 외부 사이에 발생하는 정전기력의 힘으로 하전된 용액을 노즐부(110)를 통해 토출시킨다. 본 실시예에서는 전극(150)이 노즐바디부(120)의 하단부에 형성되어 있으나, 전극(150)의 위치는 노즐바디부(120) 내에서 다양하게 변형될 수가 있다. 나아가, 노즐부(110)에 형성될 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는 상기 전극(150)이 분사 노즐(100) 내에 위치하는 용액에 노출되도록 형성되어 있으나, 도 3에 도시되어 있는 것과 같이 다르게 구성될 수도 있다.
도 3에 도시되어 있는 것과 같이 도 1의 전극(150)에 대응되며 전압제어기로부터 전압이 인가되는 메인 전극(150)은 분사 노즐(100)의 외측면에 형성될 수가 있다. 도면에서는 노즐 바디부(120)의 외측면에 메인 전극(150)이 형성되어 있는 것을 도시하나, 노즐부(110)의 외측면에 형성될 수도 있다.
이때, 분사 노즐(100)은 절연체로 형성되어 분사 노즐(100) 내부의 용액과 메인 전극(150) 사이는 절연체로 분리될 수가 있다. 이때, 전압제어기에 의해 메인 전극(150)에 교류 전압을 인가시키면 커패시티에 전압이 인가될 때 변위 전류가 발생하는 것과 같은 원리도 분사 노즐(100) 내부의 용액에 유도 전하를 발생시킬 수가 있다. 따라서, 상기 유도 전하에 의한 전기장의 힘으로 용액을 토출시킬 수가 있다. 이때, 절연층으로 형성되는 분사 노즐(100)에 의해 분사 노즐(100) 내부의 용액과 메인 전극(150)은 접촉하지 않고 분리될 수가 있으므로, 메인 전극(150)에 고전압이 인가될 때 산화환원 반응을 방지할 수가 있고, 산화환원 반응에 따른 발열, 용액의 변성, 버블 발생, 노즐부의 막힘 등의 문제를 해결할 수가 있다.
이때, 분사 노즐(100) 내에 유도보조 전극(152)을 더 포함할 수가 있다. 보다 자세히는, 상기 유도보조 전극(152)은 전도성 재질로 분사 노즐(100)의 내부에 형성될 수가 있다. 또는, 분사 노즐(100) 내에 용액이 위치하는 내측면을 전도성 재질로 형성할 수도 있다. 이때, 유도보조 전극(152)은 별도로 전기적으로 연결이 되지 않거나 메인 전극(150)과 다른 전압을 인가하거나 접지된다.
이와 같이 분사 노즐(100) 내부에 메인 전극(150)과 별도로 유도보조 전극(152)을 형성하는 경우 메인 전극(150)에 교류 전압이 인가되어 용액 내에 유도 전류가 발생할 때 유도 전기장을 더욱 강화시킬 수가 있어서 제팅 특성을 향상시킬 수가 있다.
이때, 유도보조 전극(152)의 표면도 절연체로 코팅되어 분사 노즐(100) 내 용액과 직접적인 접촉을 방지하도록 할 수가 있다.
또한, 메인 전극(150)에 전압제어기로부터 직류전압을 인가하는 경우에도 액면에 유도전하를 형성하게 하여 유도전기력으로 용액을 토출시킬 수가 있다.
개폐부(130)는 저장 공간(122) 내에서 탄성 지지되며, 용액 공급 장치(180)로부터 노즐바디부(120)로 공급되는 용액의 압력에 의해 탄성 이동하여 유입구(124)를 개폐한다. 개폐부(130)는 도 1에 도시되어 있는 것과 같이 볼 타입으로 형성될 수가 있다.
탄성부(140)는 개폐부(130)를 탄성 지지하는 것으로 스프링으로 형성될 수 있다. 이때, 스프링의 일단은 저장 공간(122)의 하단면에 지지되고, 타단을 볼 타입의 개폐부(130)를 탄성지지하도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 개폐부(130)는 도 4에 도시되어 있는 것과 같이 원통형의 피스톤 타입으로 형성될 수도 있다. 개폐부(130)의 하단면에는 스프링의 위치를 가이드하는 가이드부(132)가 돌출 형성될 수가 있다.
이때, 용액 공급 장치(180)의 펌프의 동작을 중단시키면 도 1에 도시되어 있는 것과 같이 탄성부(140)의 탄성력으로 개폐부(130)가 상승하여 유입구(124)를 차단하게 된다. 반대로, 용액 공급 장치(180)의 펌프를 동작시키면 도 2에 도시되어 있는 것과 같이 펌프에 의한 용액의 압력에 의해 개폐부(130)는 밀려서 아래로 이동하게 되어 유입구(124)를 개방하게 된다. 이때 탄성부(140)인 스프링에는 탄성력이 저장된다.
도시되어 있지 않으나, 본 실시예에서는 개폐부(130)의 하부를 탄성부(140)가 지지하며 탄성부(140)의 탄성 변형에 의해 개폐부(130)가 상하 이동하도록 구성되어 있으나, 개폐부(130)의 하부가 지지된 상태에서 개폐부(130) 자체를 탄성 재질로 형성하여 용액 공급 장치(180)의 펌프에 의한 용액의 압력으로 개폐부(130)가 탄성 변형하여 유입구(124)를 개폐하도록 구성할 수도 있다.
따라서, 본 실시예에서는 전자소자로 구성되는 솔레노이드 밸브 등을 분사 노즐(100) 내부에 장착하지 않고도, 용액 공급 장치(180)로부터 분사 노즐(100) 내부로의 용액 공급을 허용하거나 차단시킬 수가 있다. 따라서, 제팅이 완료된 후에 용액 공급 장치(180)의 펌프의 동작을 중지시키면 탄성부(140)에 저장된 탄성력에 의해 개폐부(130)가 상승하여 유입구(124)를 즉각적으로 차단시켜 잔압에 의해 용액이 토출되는 것을 방지할 수가 있다.
또한, 펌프의 동작에 따른 분사 노즐(100) 내의 용액 공급의 제어와 함께 전압제어기로부터 인가되는 전압 펄스를 공조하여 제어할 수가 있다.
이하, 도 5 내지 도 8을 참조로 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐을 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐의 단면도이고, 도 6은 도 5에서 압력 제어부에 의해 분사 노즐 내부로 주입되는 기체의 압력을 제어하여 개폐부를 상승시켜 공급구를 개방하는 상태를 도시하는 도면이고, 도 7은 도 5에서 전기수력학 방식 분사 구조의 변형례이고, 도 8은 도 4의 분사 노즐 구조의 변형례를 도시한다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐(200)은 노즐부(210), 노즐바디부(220), 개폐부(230), 압력 제어부(270) 및 탄성부(240)를 포함하여 구성될 수가 있다.
전술한 실시예에서와 마찬가지로, 노즐부(210)는 관경이 일정하도록 길게 연장되며 하부는 관경이 점차적으로 줄어들도록 형성되는 노즐관(212)으로 형성되며 노즐관(212)의 하단에는 외부로 용액을 토출시키는 노즐공(214)이 형성된다. 상기 노즐관(210)은 상하단 관경이 일정하도록 형성될 수도 있다.
상기 노즐관(212)의 상단은 노즐바디부(220)에 형성되는 챔버인 저장 공간(222)과 연결되어 용액을 공급 받는다.
노즐바디부(220)는 내부에 용액이 임시로 저장되는 챔버인 저장 공간(222)이 형성되고, 하단부에는 전술한 실시예와 마찬가지로 노즐부(210)가 장착된다. 본 실시예에서도 노즐바디부(220)와 노즐부(210)가 별개 구성으로 분리 장착되는 것으로 설명하고 있으나, 일체로 형성될 수도 있다.
노즐바디부(220)의 측면에는 외부의 용액 공급 장치(280)로부터 상기 저장 공간(222) 내로 용액이 유입되는 경로인 유입구(224)가 형성된다. 또한, 저장 공간(222)의 하부에는 노즐관(212) 내부로 용액을 공급하는 공급구(226)가 형성된다. 따라서, 용액 공급 장치(280)에 의해 분사 노즐(200) 외부에 배치되는 탱크에 저장된 용액을 분사 노즐(200) 내부로 지속적으로 공급하며 용액을 토출시킬 수가 있다. 제팅이 완료한 후에는 펌프의 동작을 중단시켜 분사 노즐(200) 내부로의 용액 공급을 중단시키게 된다.
노즐바디부(220)의 하단부에는 전기수력학적인 방법으로 용액을 토출시키기 위한 전극(250)이 배치될 수가 있다. 전술한 실시예에서와 마찬가지로, 상기 전극(250)은 분사 노즐(200) 내에 위치하는 용액에 노출되도록 형성될 수가 있다. 또한, 도 3을 참조로 전술한 실시예에서와 마찬가지로 도 7에 도시되어 있는 것과 같이 절연체로 형성되는 분사 노즐(200) 외부에 메인 전극(250)을 형성하여, 메인 전극(250)에 인가되는 교류 또는 직류의 전압에 의해 유도되는 전기력으로 용액을 토출시킬 수도 있다. 본 실시예에서도 분사 노즐(200) 내부에 유도보조 전극(252)을 배치하여 메인 전극(250)에 교류 전압이 인가될 때 유도 전기장을 더욱 강화시켜 제팅 특성을 향상시킬 수가 있다.
또한, 저장 공간(222)의 상부에는 탄성 지지공간(228)이 형성된다. 이때, 탄성 지지공간(228)과 저장 공간(222)을 관통하여 개폐부(230)가 형성되고, 개폐부(230)는 상하 이동을 할 수가 있다.
개폐부(230)는 탄성 지지공간(228) 및 저장 공간(222) 사이를 관통하여 지나가고 상하 이동에 의해 하부에 위치하는 공급구(226)를 개폐하는 길다란 봉 형태의 플런저부(231) 및 플런저부(231)의 상단에서 탄성 지지공간(228)을 상부와 하부로 분리시키며 상부 공간(228-1)과 하부 공간(228-2) 사이를 밀폐시키는 분리부(232)를 포함하여 구성될 수가 있다. 분리부(232)에 의해 탄성 지지공간(228)을 상부 공간(228-1)과 하부 공간(228-2) 사이를 밀폐하도록 분리시키기 때문에 하부 공간(228-2)에 기체가 유입되더라도 상부 공간(228-1)으로 이송되지 않는다.
또한, 상기 분리부(232)에 의해 분리되는 상부 공간(228-1)에는 개폐부(230)를 탄성 지지하는 탄성부(240)가 형성될 수가 있다. 탄성부(240)는 스프링으로 형성될 수가 있는데, 탄성 지지공간(228)의 상단 내측면과 개폐부(230)를 구성하는 분리부(232)의 상단면 사이에 배치되어 개폐부(230)를 탄성 지지하게 된다. 이때, 탄성 지지공간(228)의 상단 내측면에는 스프링의 위치를 가이드하는 가이드부(242)가 내부로 돌출 형성될 수가 있다.
따라서, 상기 탄성부(240)의 탄성력에 의해 개폐부(230)는 하강하여 플런저부(231)의 하단부가 공급구(226)를 막아 노즐부(210) 내부로 용액이 공급되는 것을 차단하게 된다.
압력 제어부(270)는 탄성 지지공간(228)의 하부 공간(228-2)의 일측에 형성된 기체 유입구(225)를 통해 하부 공간(228-2) 내부로 기체를 주입시킨다. 전술한 바와 같이 분리부(232)에 의해 상부 공간(228-1)과 하부 공간(228-2) 사이는 밀폐되므로, 도 6에 도시되어 있는 것과 같이 하부 공간(228-2) 내부로 주입되는 기체의 압력에 의해 개폐부(230)를 상승 이동시킬 수가 있다.
따라서, 제팅이 이루지는 동안에는 용액 공급 장치(280)로부터 저장 공간(222) 내부로 지속적으로 용액을 공급 받고, 나아가 압력 제어부(270)로부터 탄성 지지공간(228)의 하부 공간(228-2) 내부로 기체를 공급 받아 기체의 압력으로 개폐부(230)를 상승시켜 개폐부(230)에 의해 닫혀 있던 공급구(226)를 개방시킨다. 이때, 탄성부(240)에는 탄성력이 저장된다. 반대로 제팅이 종료되면 용액 공급 장치(280)의 펌프의 동작을 중단시키고, 압력 제어부(270)는 탄성 지지공간(228)의 하부 공간(228-2) 내부로의 기체 공급을 중단시켜 기체의 압력에 의해 상승한 개폐부(230)가 탄성부(240)의 탄성력에 의해 하강하여 즉각적으로 플런저부(231)의 하단부가 공급구(226)를 차단시키게 된다.
본 실시예에서는 압력 제어부(270)로부터 탄성 지지공간(228)의 하부 공간(228-2) 내부로 기체 공급을 제어하여 기체의 압력으로 개폐부(230)를 상승시키는 것을 설명하고 있으나, 기체가 아닌 액체를 공급시켜 공급되는 액체의 압력으로 개폐부(230)를 상승시킬 수도 있다.
도 8은 도 5의 변형례를 도시하는데, 전술한 실시예와 비교하여 탄성부(240)가 탄성 지지공간(228)의 하단 내측면과 분리부(232) 사이에 배치되어 개폐부(230)를 탄성지지하며, 압력 제어부(270)는 분리부(232)에 의해 분리되는 상부 공간(228-2)의 일측에 형성된 기체 유입구(225)를 통해 기체를 주입시켜 기체의 압력에 의해 개폐부(230)를 상하 이동시키게 된다.
따라서, 본 실시예에서는 제팅 과정에서는 압력 제어부(270)에 의해 상부 공간(270)으로의 기체 공급을 중단하여 탄성에 의해 개폐부(230)가 상승 이동하도록 하여 공급구(226)를 개방하도록 하고, 제팅이 종료되면 압력 제어부(270)가 상부 공간(228-2)으로 기체를 공급하여 기체의 압력으로 개폐부(230)를 아래로 이동하도록 하여 공급구(226)를 차단시키게 된다. 이때, 탄성부(240)에는 탄성력이 저장된다.
따라서, 본 실시예에서도 분사 노즐(200) 내부에 전자소자로 구성되는 솔레노이드 밸브 등을 장착하지 않고도, 용액 공급 장치(280)로부터 노즐관(210) 내부로의 용액 공급을 허용하거나 차단시킬 수가 있다. 따라서, 제팅이 완료된 후에 용액 공급 장치(280)의 펌프의 동작을 중지시키고 압력 제어부(270)의 능동적 제어에 의해 개폐부(230)를 즉각적으로 하강시켜 공급구(226)를 막아서 잔압에 의해 용액이 토출되는 것을 방지할 수가 있다.
이하의 설명에서는 본 발명에 따른 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서 전기수력학 방식의 분사 구조를 설명하기로 한다. 도 3 및 도 7을 참조로, 용액과 전극을 절연층으로 분리시키고 메인 전극(150, 250)에 전압이 인가될 때 유도되는 전기력으로 용액을 토출시키는 구조의 일 예를 설명하였으나, 이와 관련하여 보다 자세히 설명하기로 한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기수력학 방식 분사 구조를 설명하는 도면이고, 도 10은 도 9의 변형례이고, 도 11은 도 9의 또 다른 변형례이다.
도 9 내지 도 11의 도면은 도 1 내지 도 8의 도면에서 노즐부(110, 220)의 하단부에 대응하는 위치를 확대하여 도시한 것인데, 이는 본 발명에 따른 전기수력학 방식의 분사 구조를 설명하기 위한 것으로 이하 설명하는 구성 요소들이 반드시 이 위치에 한정되어 형성되는 것은 아니다.
노즐부(310)은 내부로 용액을 공급받아 유도되는 정전기력의 힘으로 기판(S)을 향하여 용액을 토출시킨다.
메인 전극(312)은 노즐부(310) 내부의 중심에 삽입되어 전압제어기로부터 직류 또는 교류 전압을 인가 받는다. 메인 전극(312)은 도시되어 있는 것과 같이 니들(needle) 형태로 형성될 수가 있다.
이때, 본 실시예에서는 메인 전극(312)의 외부를 절연체로 코팅하여 절연층(313)을 형성한다. 이에 따라, 메인 전극(312)과 노즐부(310) 내부의 용액 사이는 직접 접촉하지 않고 절연층(313)에 의해 분리된다. 절연층(313)에 의해 노즐부(312) 내의 용액과 메인 전극(312)은 분리될 수가 있으므로, 메인 전극(312)에 고전압이 인가될 때 용액과 메인 전극(312) 사이에 발생하는 산화환원 반응을 방지할 수가 있고, 산화환원 반응에 따른 발열, 용액의 변성, 버블 발생, 노즐부(310)의 막힘 등의 문제를 해결할 수가 있다.
전압제어기는 노즐부(310) 내에 위치하는 메인 전극(312)에 직류 또는 교류 전압을 인가한다. 이때, 전압제어기에 의해 인가되는 전압의 파형은 정현파(sinusoidal), 삼각파, 사각파 등 다양한 파형일 수가 있다.
이때, 절연층(313)으로 분리되는 용액 메인 전극(312) 사이에 교류 전압이 인가되면 커패시티에 전압이 인가될 때 변위 전류가 발생하는 것과 같은 원리로 용액에 유도 전하를 발생시킬 수가 있다.
이때, 노즐부(310) 내에 유도보조 전극(315)을 더 포함할 수가 있다. 보다 자세히는, 상기 유도보조 전극(315)은 전도성 재질로 노즐부(310)의 내측면을 코팅시키는 방법으로 형성될 수가 있다. 또는, 노즐부(310) 자체를 전도성 재질로 형성할 수도 있다. 이때, 유도보조 전극(315)은 별도로 전기적으로 연결이 되지 않거나 메인 전극(312)과 다른 전압을 인가하거나 접지된다.
이와 같이 노즐부(310) 내부에 메인 전극(312)과 별도로 유도보조 전극(315)을 형성하는 경우 메인 전극(312)에 교류 전압이 인가되어 용액 내에 유도 전류가 발생할 때 유도 전기장을 더욱 강화시킬 수가 있어서 제팅 특성을 향상시킬 수가 있다.
이때, 유도보조 전극(315)의 표면도 절연체로 코팅되어 노즐부(310) 내 용액과 직접적인 접촉을 방지하도록 할 수가 있다.
또한, 메인 전극(312)에 전압제어기로부터 직류전압을 인가하는 경우에도 액면에 유도전하를 형성하게 하여 유도전기력으로 용액을 토출시킬 수가 있다.
도 10은 도 9의 변형례를 도시하고 있는데, 이하의 설명에서는 도 9를 참조로 전술한 실시예와 비교하여 차이점을 중심으로 설명하기로 한다. 참고로, 본 실시예는 도 3 및 도 7를 참조로 전술한 실시예와 유사 구조를 설명한다.
본 실시예에서의 메인 전극(322)은 노즐부(310)의 외측면에 형성되거나, 노즐부(310)의 외측에 소정 거리 이격된 위치에 배치되어 전압제어기로부터 직류 또는 교류 전압을 인가 받는다. 이때, 노즐부(310)의 외측면에 전기 전도성 물질을 코팅시키는 방법으로 메인 전극(322)을 형성시킬 수가 있다.
따라서, 본 실시예에서는 노즐부(310)을 절연체로 형성하고 노즐부(310)의 외측에 메인 전극(322)을 형성함에 따라서, 전술할 도 9의 실시예에서와 같이 노즐부(310) 내의 용액과 메인 전극(322) 사이는 절연체로 형성되는 노즐부(310)에 의해 분리가 된다. 이때, 메인 전극(322)에 전압제어기로부터 교류 전압을 인가시키면 노즐부(310) 내부의 용액에 유도 전류가 흐르게 되어 유도되는 전기장의 힘으로 용액을 토출시킬 수가 있다. 또는, 메인 전극(322)에 전압제어기로부터 직류 전압을 인가시키면 노즐부(310)의 끝의 용액 액면에 유도 전하가 형성되어 유도되는 전기력으로 용액을 토출시킬 수가 있다.
이때, 본 실시예에서도 전술한 실시예에서와 마찬가지로 노즐부(310) 내부에 유도보조 전극(325)이 형성될 수가 있다. 도시되어 있는 것과 같이, 유도보조 전극(325)은 전도성 재질로 형성되어 노즐부(310) 내부에 니들의 형태로 내삽되고, 별도로 전기적으로 연결되지 않거나 메인 전극(322)과 다른 전압을 인가하거나 접지되는 형태로 형성될 수가 있다. 또는, 전도성 재질로 형성되어 노즐부(310) 내부에 튜브의 형태로 내삽되고, 별도로 전기적으로 연결되지 않거나 메인 전극(322)과 다른 전압을 인가하거나 접지되는 형태로 형성될 수가 있다. 또는, 전도성 재질로 형성되어 노즐부(310) 내부에 평판의 형태로 내삽되고, 별도로 전기적으로 연결되지 않거나 메인 전극(322)과 다른 전압을 인가하거나 접지되는 형태로 형성될 수가 있다.
상기 유도보조 전극(325)은 전술한 실시 예에서와 마찬가지로 메인 전극(322)에 교류 전압을 인가시켜 유도 전류를 발생시킬 때 유도 전기장을 강화시켜 제팅 특성을 더욱 향상시키도록 한다. 본 실시예에서도 유도보조 전극(325)의 외부는 절연체로 코팅될 수가 있다.
도 11은 도 9의 또 다른 변형례를 도시하고 있는데, 이하의 설명에서도 도 9 및 도 10을 참조로 전술한 실시예와 비교하여 차이점을 중심으로 설명하기로 한다.
본 실시예에서 노즐부는 메인 전극부(331) 및 절연부(332)로 구성된다. 메인 전극부(331)는 전도성 재질로 형성되어 노즐부의 바디를 형성한다. 절연부(332)는 메인 전극부(331)의 외측면을 절연체로 코팅하여 형성된다. 이때, 절연부(332)는 노즐부의 내경을 형성하는 측면에만 형성될 수도 있으나, 도시되어 있는 것과 같이 노즐부의 바디를 형성하는 메인 전극부(331) 외측면 전체에 형성될 수도 있다.
따라서, 본 실시예에서 전도성 재질로 노즐부의 바디를 형성하는 메인 전극부(331)는 전술한 실시예에서의 메인 전극(312, 322)의 역할을 할 수가 있다. 메인 전극부(331)의 외측면에 형성되는 절연부(332)에 의해 노즐부 내의 용액과 메인 전극부(331) 사이는 직접 접촉하지 않고 분리가 된다. 따라서, 메인 전극부(331)에 전압제어기로부터 교류 전압을 인가시키면 노즐부 내부의 용액에 전술한 바와 같이 유도 전류가 흐르게 되어 유도되는 전기장의 힘으로 용액을 토출시킬 수가 있다. 또한, 메인 전극부(331)에 전압제어기로부터 직류전압을 인가하는 경우에도 용액의 액면에 유도전하를 형성하게 하여 유도전기력으로 용액을 토출시킬 수가 있다.
유도보조 전극(335)은 도 10의 실시예에서와 동일한 형태로 형성될 수가 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100: 분사 노즐 110: 노즐부
112: 노즐관 114: 노즐공
120: 노즐바디부 122: 저장 공간
124: 유입구 126: 공급구
130: 개폐부 132: 가이드부
140: 탄성부 150: 전극, 메인 전극
152: 유도보조 전극 180: 용액 공급 장치
200: 분사 노즐 210: 노즐부
212: 노즐관 214: 노즐공
220: 노즐바디부 222: 저장 공간
224: 유입구 225: 기체 유입구
226: 공급구 228: 탄성 지지공간
230: 개폐부 231: 플런저부
232: 분리부 240: 탄성부
242: 가이드부 250: 전극, 메인 전극
252: 유도보조 전극 280: 용액 공급 장치
310: 노즐부 312: 메인 전극
313: 절연층 315: 유도 보조전극
322: 메인 전극 325: 유도 보조전극
331: 메인 전극부 332: 절연부
335: 유도 보조전극 350: 전극
S: 기판

Claims (18)

  1. 분사되는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서,
    노즐관이 형성되는 노즐부;
    상기 용액의 저장 공간을 형성하며, 상부는 외부의 용액 공급 장치로부터 상기 저장 공간으로 상기 용액이 유입되는 유입구가 형성되고, 하부는 상기 노즐관으로 용액을 공급하는 공급구가 형성되는 노즐바디부;
    상기 저장 공간 내에서 상기 유입구를 개폐하는 개폐부; 및
    상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성부를 포함하며,
    상기 용액 공급 장치로부터 상기 노즐바디부로 공급되는 용액의 압력에 따라서 상기 개폐부는 탄성 이동하여 상기 유입구를 개폐하고,
    상기 분사 노즐 내의 용액과 절연체로 분리되어 접촉하지 않는 메인 전극;
    상기 메인 전극에 전압을 인가하는 전압제어기; 및
    전도성 재질로 상기 메인 전극과 이격되어 상기 분사 노즐 내부에 상기 용액이 이동하는 경로 상에 배치되고 전기적 연결이 되지 않거나 상기 메인 전극과 다른 전압이 인가되거나 접지되는 유도보조 전극을 더 포함하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  2. 분사되는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서,
    노즐관이 형성되는 노즐부;
    상기 용액의 저장 공간을 형성하며, 상부는 외부의 용액 공급 장치로부터 상기 저장 공간으로 상기 용액이 유입되는 유입구가 형성되고, 하부는 상기 노즐관으로 용액을 공급하는 공급구가 형성되는 노즐바디부; 및
    상기 저장 공간 내에서 상기 유입구를 개폐하며 탄성체로 형성되는 개폐부;
    상기 용액 공급 장치로부터 상기 노즐바디부로 공급되는 용액의 압력에 따라서 상기 개폐부는 탄성 변형하여 상기 유입구를 개폐하고,
    상기 분사 노즐 내의 용액과 절연체로 분리되어 접촉하지 않는 메인 전극;
    상기 메인 전극에 전압을 인가하는 전압제어기; 및
    전도성 재질로 상기 메인 전극과 이격되어 상기 분사 노즐 내부에 상기 용액이 이동하는 경로 상에 배치되고 전기적 연결이 되지 않거나 상기 메인 전극과 다른 전압이 인가되거나 접지되는 유도보조 전극을 더 포함하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 개폐부는 볼 타입으로 형성되는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 개폐부는 원통형의 피스톤 타입으로 형성되는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  5. 분사되는 용액을 하전시켜 전기장의 힘으로 토출시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐에 있어서,
    노즐관이 형성되는 노즐부;
    상기 용액의 저장 공간을 형성하며, 외부의 용액 공급 장치로부터 상기 저장 공간으로 상기 용액이 유입되는 유입구가 형성되고, 하부는 상기 노즐관으로 용액을 공급하는 공급구가 형성되는 노즐바디부;
    탄성 지지되어 상기 공급구를 개폐하는 개폐부;
    기체 또는 액체의 압력에 의해 상기 개폐부를 상하 이동시키도록 하는 압력 제어부; 및
    상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성부를 포함하고,
    상기 분사 노즐 내의 용액과 절연체로 분리되어 접촉하지 않는 메인 전극;
    상기 메인 전극에 전압을 인가하는 전압제어기; 및
    전도성 재질로 상기 메인 전극과 이격되어 상기 분사 노즐 내부에 상기 용액이 이동하는 경로 상에 배치되고 전기적 연결이 되지 않거나 상기 메인 전극과 다른 전압이 인가되거나 접지되는 유도보조 전극을 더 포함하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 저장 공간의 상부에 상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성 지지공간을 더 포함하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 개폐부는
    상기 탄성 지지공간 및 상기 저장 공간 사이를 관통하여 지나가고 하단은 이동에 따라서 상기 공급구를 개폐하는 플런저부; 및
    상기 플런저부의 상단에서 상기 탄성 지지공간을 상부와 하부로 분리시키며 상부와 하부의 공간 사이를 밀폐시키는 분리부를 포함하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 탄성 지지공간의 상단 내측면과 상기 분리부 사이에 배치되어 상기 개폐부를 탄성 지지하는 탄성부를 더 포함하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 압력 제어부는 상기 분리부에 의해 분리되는 하부 공간에 공급되는 기체 또는 액체에 의한 압력을 제어하여 상기 개폐부를 이동시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 탄성부는 상기 탄성 지지공간의 하단 내측면과 상기 분리부 사이에 배치되어 상기 개폐부를 탄성 지지하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 압력 제어부는 상기 분리부에 분리되는 상부 공간에 공급되는 기체 또는 액체에 의한 압력을 제어하여 상기 개폐부를 이동시키는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  12. 삭제
  13. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인 전극은 절연체로 코팅되어 상기 분사 노즐의 내부에 내삽되는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 유도보조 전극은 상기 분사 노즐의 내측벽면에 코팅되는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  15. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 분사 노즐은 절연체로 형성되고,
    상기 분사 노즐의 외벽 또는 상기 분사 노즐의 외측에 이격된 위치에 상기 메인 전극이 형성되는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 유도보조 전극은 상기 분사 노즐 내부에 내삽되는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  17. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 분사 노즐은 전도성 재질로 형성되어 바디를 형성하는 메인 전극부 및 상기 메인 전극부를 절연체로 코팅하는 절연부로 형성되며, 상기 전압제어기는 상기 메인 전극부에 전압을 인가하는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 유도보조 전극은 상기 분사 노즐 내부에 내삽되는 전기수력학 방식의 분사 노즐.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR920010764B1 (ko) * 1985-12-05 1992-12-17 유우겐가이샤 아르.아이덴시 고오교오 디스펜서용 액흘림 방지노즐
KR20050112044A (ko) * 2004-05-24 2005-11-29 박종수 나노구조체 제조용 밸브형 정전분무장치
US20090229517A1 (en) * 2006-09-27 2009-09-17 Yu Tung Investment Holdings Limited Powder spray coating discharge assembly
KR20120139436A (ko) 2011-06-17 2012-12-27 엔젯 주식회사 액적 토출 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR920010764B1 (ko) * 1985-12-05 1992-12-17 유우겐가이샤 아르.아이덴시 고오교오 디스펜서용 액흘림 방지노즐
KR20050112044A (ko) * 2004-05-24 2005-11-29 박종수 나노구조체 제조용 밸브형 정전분무장치
US20090229517A1 (en) * 2006-09-27 2009-09-17 Yu Tung Investment Holdings Limited Powder spray coating discharge assembly
KR20120139436A (ko) 2011-06-17 2012-12-27 엔젯 주식회사 액적 토출 장치

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