TWI819097B

TWI819097B - 廢氣淨化裝置

Info

Publication number: TWI819097B
Application number: TW108133955A
Authority: TW
Inventors: 王玉偉
Original assignee: 美商伊利諾工具工程公司
Priority date: 2018-10-17
Filing date: 2019-09-20
Publication date: 2023-10-21
Also published as: WO2020081274A1; CN111054175A; TW202015791A; CN111054175B

Abstract

本案揭示一種廢氣淨化裝置，用於淨化回流焊爐爐膛中的廢氣中的污染物，包括：殼體，殼體具有冷卻容腔；冷卻裝置，冷卻裝置設置在冷卻容腔內；其中冷卻裝置包括橫向排列的數個冷卻板，冷卻板具有用於容納冷卻媒體的空腔，每一個冷卻板與相鄰的冷卻板間隔開以形成豎向氣體通道，並且與所述殼體形成底部橫向氣體通道或頂部橫向氣體通道，底部橫向氣體通道和頂部橫向氣體通道在數個冷卻板的排列方向上交替地設置；其中底部橫向氣體通道和頂部橫向氣體通道與豎向氣體通道流體連通，以形成彎曲的氣體冷卻通道，並且廢氣入口與所述氣體冷卻通道連通。廢氣進入氣體冷卻通道後，與冷卻板熱交換，使得其中的污染物能夠冷凝成液體被分離。

Description

廢氣淨化裝置

本案涉及回流焊爐的廢氣處理系統，尤其涉及一種用於對回流焊爐爐膛中的廢氣進行淨化的廢氣淨化裝置。

在印刷電路板的製作程序中，通常使用被稱為「回流焊接」的製程，將電子元件安裝到電路板上。在典型的回流焊接製程中，焊膏（例如錫膏）被沉積到電路板上選定的區域，並且一或多個電子元件的導線被插入所沉積的焊膏中。然後電路板通過回流焊爐，在回流焊爐中，焊膏在加熱區域中回流（即，加熱至熔化或回流溫度），然後在冷卻區域中冷卻，以將電子元件的導線電氣且機械地連接至電路板。這裡所使用的術語「電路板」包括任何類型的電子元件的基板元件，例如包括晶片基板。在回流焊爐中，通常以空氣或基本上惰性的氣體（例如氮氣）作為工作氣體，針對不同製程要求的電路板使用不同的工作氣體。在回流焊爐的爐膛中充滿工作氣體，電路板在通過傳送裝置傳送通過爐膛時在工作氣體中執行焊接。

在回流焊爐中，焊膏不僅包括焊料，還包括促使焊料變濕並提供良好的焊接接縫的助焊劑。諸如溶劑和催化劑之類的其它添加劑也可以包括在內。在將焊膏沉積在電路板上之後，將電路板在傳送器上傳送通過回流焊爐的多個加熱區域。加熱區域中的熱使得焊膏熔化，主要包括助焊劑在內的揮發性有機化合物（稱為「VOC」）汽化而形成蒸汽，從而形成「污染物」。這些污染物在回流焊爐中累積會導致一些問題。例如，如果污染物到達冷卻區域，它們將凝結在電路板上而污染電路板，從而使得必須進行後續的清洗步驟。污染物也會在回流焊爐的冷卻器的表面上凝結，從而阻塞氣孔。另外，凝結物也可能滴在後續的電路板上，從而可能破壞電路板上的元件或使得必須對污染的電路板進行後續清洗步驟。

需要將回流焊爐爐膛中的含有污染物的廢氣排出爐膛，以保持回流焊爐爐膛中的工作氣氛的潔淨，從而防止污染物進入回流焊爐冷卻區，在回流焊爐中造成上述問題。

當回流焊爐以基本上惰性的氣體（例如氮氣）作為工作氣體時，由於基本上惰性的氣體（例如氮氣）價格高昂，因此通常希望從回流焊爐排出的廢氣經過廢氣淨化系統處理乾淨後再被輸送回到回流焊爐中重複利用。當回流焊爐以空氣作為工作氣體時，從回流焊爐排出的廢氣經過廢氣淨化系統處理乾淨後可以直接排放到大氣中，也可以再被輸送回到回流焊爐中重複利用。

一種處理方案是，將廢氣在冷卻裝置中降溫至約80℃以下，以使廢氣中的污染物由氣體形態被冷凝為液體或者固體形態，然後除去液體或固體形態的污染物。但是通過降溫而形成的液體或固體形態的污染物不僅容易附著在冷卻裝置的內壁上，難以清理，使得維護週期短、維護成本高，並且還會附著在冷卻裝置的熱交換部件（如換熱板或換熱管）上，影響熱交換效率。

另一方面，在現有技術的廢氣淨化系統中，清洗廢氣淨化系統的連接管道以及各部分裝置需要人工清洗，因此十分不便。

經過觀察和研究，申請人發現，廢氣淨化系統中附著在冷卻裝置內壁上和熱交換部件上的難以清理的污染物主要為固體形態的松香。這是因為污染物中的松香以及其它助焊劑在從高溫冷卻至約80℃時會直接由氣體形態凝固為固體形態，粘附在冷卻裝置內壁上和熱交換部件上，使得廢氣淨化系統的維護週期過短的同時，還影響熱交換效率。

為瞭解決上述至少一個問題，本案的至少一個目的是提供一種廢氣淨化裝置，該廢氣淨化裝置用於淨化回流焊爐的爐膛中的廢氣，能夠使得松香不容易附著在廢氣淨化裝置中的冷卻裝置的內壁，從而延長維護週期，同時，廢氣淨化裝置還便於維護清洗。

為了實現上述目的，本案的第一方面提供了一種廢氣淨化裝置，用於淨化回流焊爐爐膛中的廢氣，所述廢氣淨化裝置包括：殼體，所述殼體上設有廢氣入口，所述殼體具有頂部和底部，且所述殼體具有冷卻容腔；和冷卻裝置，所述冷卻裝置設置在所述冷卻容腔內；其中所述冷卻裝置包括橫向排列的數個冷卻板，所述數個冷卻板中的每一個冷卻板具有用於容納冷卻媒體的空腔，所述數個冷卻板中的每一個冷卻板豎向放置，且與相鄰的冷卻板間隔開以形成豎向氣體通道；其中所述數個冷卻板中的至少一部分冷卻板被設置為：其中的每一個冷卻板與所述殼體的所述底部形成底部橫向氣體通道或與所述殼體的所述頂部形成頂部橫向氣體通道，並且其中所述底部橫向氣體通道和所述頂部橫向氣體通道在所述數個冷卻板的排列方向上交替地設置；其中所述底部橫向氣體通道和所述頂部橫向氣體通道與所述豎向氣體通道流體連通，以形成彎曲的氣體冷卻通道，並且其中所述廢氣入口與所述氣體冷卻通道連通。

根據上述第一方面，所述廢氣淨化裝置還包括：液體收集裝置，所述液體收集裝置連接在所述殼體的所述底部，所述液體收集裝置與所述冷卻容腔流體連通。

根據上述第一方面，所述冷卻裝置包括第一級冷卻裝置和第二級冷卻裝置，所述數個冷卻板包括至少一個第一級冷卻裝置冷卻板和至少一個第二級冷卻裝置冷卻板，所述第一級冷卻裝置冷卻板的橫向寬度小於所述第二級冷卻裝置冷卻板的橫向寬度。

根據上述第一方面，所述殼體上設有淨氣出口；所述殼體還具有過濾容腔，所述過濾容腔中設有過濾部件，所述過濾容腔與所述氣體冷卻通道流體連通；及所述淨氣出口與所述過濾容腔連通，以使得氣體能夠流經所述過濾部件，從所述淨氣出口排出。

根據上述第一方面，所述殼體中設有連接通道，所述連接通道具有自清潔氣體入口和自清潔氣體出口，其中所述自清潔氣體出口與所述過濾容腔流體連通，所述自清潔氣體入口與所述冷卻容腔流體連通。

根據上述第一方面，所述廢氣淨化裝置還包括設置在所述殼體中的圍板；其中所述連接通道由所述殼體與所述圍板共同形成。

根據上述第一方面，所述殼體還具有後部，所述圍板包括橫板和豎板，所述橫板抵接在所述殼體的所述後部，所述豎板抵接在所述殼體的所述頂部，以使得所述圍板與所述殼體共同形成所述連接通道。

根據上述第一方面，所述廢氣淨化裝置還包括分隔板，所述分隔板設置在所述冷卻容腔與所述過濾容腔之間，用於分隔所述冷卻容腔與所述過濾容腔；其中所述分隔板具有上部開口和下部開口，所述下部開口位於所述過濾部件下方，用於連通所述冷卻容腔與所述過濾容腔，所述上部開口位於所述過濾部件上方，用於連通所述過濾容腔與所述連接通道。

根據上述第一方面，所述上部開口處設有可調節擋板，以打開或關閉所述上部開口，或者調節上部開口的開口大小。

根據上述第一方面，所述廢氣淨化裝置還包括設置在所述底部上的至少兩個密封板；其中所述至少兩個密封板分別抵靠在形成所述底部橫向氣體通道的所述冷卻板的下部的左右兩側，以擋住形成所述底部橫向氣體通道的所述冷卻板與所述底部之間的間隙。

根據上述第一方面，所述冷卻板的所述空腔中設有至少一個均流板，所述均流板設置在所述冷卻媒體的流動路徑上，所述均流板上均勻設置數個通孔，以使得所述冷卻媒體能夠在流動程序中穿過所述通孔。

根據上述第一方面，所述冷卻裝置上設有至少一組冷卻媒體入口和冷卻媒體氣體出口；其中所述每組冷卻媒體入口和冷卻媒體氣體出口與所述空腔中的至少一個流體連通，所述冷卻媒體入口設置在相應的冷卻媒體氣體出口下方，使得冷卻媒體能夠從冷卻媒體入口輸入，經過所述空腔後從相應的冷卻媒體氣體出口輸出；其中至少一個所述冷卻媒體氣體出口處設有消聲器。

根據上述第一方面，所述廢氣淨化裝置還包括風機，所述風機與所述過濾容腔相連，其中所述風機具有進風側和出風側，所述進風側與所述過濾容腔流體連通，所述出風側與所述淨氣出口和所述上部開口流體連通。

根據上述第一方面，所述過濾部件為鋼珠過濾網。

根據上述第一方面，所述第一級冷卻裝置冷卻板的所述空腔中容納的冷卻媒體為壓縮空氣，所述第二級冷卻裝置冷卻板的所述空腔中容納的冷卻媒體為空氣。

以下將結合附圖對本案的構思、具體結構及產生的技術效果作進一步說明，以充分地瞭解本案的目的、特徵和效果。

下面將參考構成本說明書一部分的附圖對本案的各種具體實施方式進行描述。應該理解的是，雖然在本案中使用表示方向的術語，諸如「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、「右」、「頂」、「底」、「側」等描述本案的各種示例結構部分和元件，但是在此使用這些術語只是為了方便說明的目的，是基於附圖中顯示的示例方位而決定的。由於本案所揭示的實施例可以按照不同的方向設置，所以這些表示方向的術語只是作為說明而不應視作為限制。

本領域技藝人士需要知曉的是，本實施例中所描述的的廢氣或氣體是指大部分為氣態的成分，其中也可能包含一部分霧狀或者顆粒狀的成分。

圖1A圖示根據本案的一個實施例的廢氣淨化系統的簡化的結構方塊圖，用於示出廢氣淨化系統100的各個部分的連接關係。如圖1A所示，廢氣淨化系統100設置在回流焊爐爐膛118外部，並連接至回流焊爐的爐膛118。當回流焊爐使用基本上惰性的氣體（例如氮氣）作為工作氣體時，廢氣淨化系統100接收從回流焊爐的爐膛118排出的廢氣，並將淨化後的氣體輸送回到爐膛118中。當回流焊爐使用空氣作為工作氣體時，廢氣淨化系統100接收從回流焊爐的爐膛118排出的廢氣，淨化後的氣體可以輸送回到爐膛118中，也可以不輸送回到爐膛118中，而是排放到爐膛118的外部。在圖1A中，廢氣淨化系統100將淨化後的氣體輸送回到爐膛118中。

如圖1A所示，廢氣淨化系統100包括第一級冷卻單元110、第二級冷卻單元120和過濾單元130，它們依次連接，並與爐膛118相連接，以對爐膛118中排出的廢氣進行淨化。廢氣淨化系統100還可以將淨化後的氣體輸送回爐膛118中。並且，廢氣淨化系統100還能夠對第一級冷卻單元110、第二級冷卻單元120和過濾單元130及其之間的連接通道進行自清潔。

具體而言，第一級冷卻單元110具有廢氣入口111.1、自清潔氣體入口114、氣體出口111.2和第一廢液出口141.1。第二級冷卻單元120具有氣體入口121.1、氣體出口121.2和廢液出口141.2。過濾單元130具有氣體入口131.1、自清潔氣體出口134、淨氣出口131.2和廢液出口141.3。

第一級冷卻單元110的廢氣入口111.1通過閥部件117.1可控地與爐膛118的高溫區流體連通。第一級冷卻單元110的氣體出口111.2通過連接通道125.1與第二級冷卻單元120的氣體入口121.1流體連通。第二級冷卻單元120的氣體出口121.2通過連接通道125.2與過濾單元130的氣體入口131.1流體連通，過濾單元130的淨氣出口131.2通過閥部件117.2可控地與爐膛118的低溫區流體連通。由此，爐膛118中排出的廢氣能夠依次經過第一級冷卻單元110、第二級冷卻單元120和過濾單元130淨化後再返回爐膛118中。

此外，過濾單元130的自清潔氣體出口134通過連接通道135與第一級冷卻單元110的氣體入口114連接，連接通道135上設有通道開關部件117.5，以將過濾單元130的自清潔氣體出口134與第一級冷卻單元110的氣體入口114可控地流體連通。由此，從過濾單元130的自清潔氣體出口134排出的氣體能夠進入第一級冷卻單元110中，並能夠依次流經第一級冷卻單元110和第二級冷卻單元120，再回到過濾單元130中，以形成廢氣淨化系統100內部的自清潔氣體循環。

根據本案的一個實施例，第一級冷卻單元110上也可以不設置與廢氣入口111.1分開的自清潔氣體入口114，而是用同一個入口作為廢氣入口和自清潔氣體入口。同樣的，過濾單元130上也可以不設置與淨氣出口131.2分開的自清潔氣體出口134，而是用同一個出口作為自清潔氣體出口134和淨氣出口131.2。

廢氣淨化系統100還包括設置在第一級冷卻單元110上的補氣口112和設置在過濾單元130上的排氣口132，以及用於檢測過濾單元130中氣體濃度的氣體濃度檢測部件。作為一個示例，氣體濃度檢測部件為氧氣濃度檢測部件155，通過檢測氧氣濃度，以得到工作氣體的濃度。其中氧氣濃度檢測部件155設置在排氣口132附近。補氣口112通過閥部件117.3可控地打開和關閉，排氣口132通過閥部件117.4可控地打開和關閉。當回流焊爐使用基本上惰性的氣體（例如氮氣）作為工作氣體時，可以通過補氣口112向廢氣淨化系統100中補充工作氣體（即基本上惰性的氣體（如氮氣）），排氣口132用於補氣口112工作時與補氣口112協同工作。通過設置補氣口112和排氣口132能夠將廢氣淨化系統100中的工作氣體的濃度調整為與爐膛118中的工作氣體濃度相匹配。補氣口112可以通過閥部件117.3可控的與工作氣體（即基本上惰性的氣體（如氮氣））源流體連通，排氣口132通過閥部件117.4可控地與大氣流體連通。

過濾單元130中設置有過濾部件136。其中過濾單元130的氣體入口131.1設置在過濾部件136的上游側，自清潔氣體出口134和淨氣出口131.2設置在過濾部件136的下游側。需要說明的是，這裡的「上游」和「下游」是相對於廢氣淨化系統100中的氣體流動方向而言的。過濾部件136可以為鋼珠過濾網或者紙過濾網等。

過濾單元130中還設有加熱部件133，加熱部件133位於過濾部件136的下方，用於對過濾部件136進行加熱。

廢氣淨化系統100還包括風扇124，用於驅動廢氣淨化系統100中的氣體流動。在圖1A所示的實施例中，風扇124設置在過濾單元130中。更具體而言，風扇124設置在過濾部件136上方，風扇124的進風側與過濾單元130內的容腔流體連通，風扇124的出風側與過濾單元130的淨氣出口131.2、自清潔氣體出口134和排氣口132流體連通。在其他實施例中，也可以採用其他的流體動力裝置（例如鼓風機、泵等）來替代圖1A所示的實施例中的風扇124，只要能夠驅動廢氣淨化系統100內的氣體按照預期的路徑流動即可。

廢氣淨化系統100還包括收集單元140，第一級冷卻單元110的廢液出口141.1、第二級冷卻單元120的廢液出口141.2和過濾單元130的廢液出口141.3均與收集單元140連通，以使得從第一級冷卻單元110、第二級冷卻單元120以及過濾單元130中排出的液體均能夠流入收集單元140。收集單元140的入口處設置有閥部件117.6，當需要更換收集單元140或者將收集單元140中的液體倒出時，關閉閥部件117.6可以將收集單元140與第一級冷卻單元110、第二級冷卻單元120以及過濾單元130斷開。

廢氣淨化系統100還包括分別設置為檢測第一級冷卻單元110和第二級冷卻單元120中的溫度的溫度檢測部件151,152。

需要說明的是，在圖1所示的實施例中，廢氣淨化系統100中包括兩級冷卻單元，兩級冷卻單元之間通過連接通道125.1流體連通。在其他實施例中，廢氣淨化系統中也可以只包括第一級冷卻單元110或第二級冷卻單元120。

廢氣淨化系統100具有工作狀態和維護狀態。在工作狀態中，廢氣淨化系統100對回流焊爐爐膛118中排出的氣體進行淨化。在維護狀態中，廢氣淨化系統100不再接收回流焊爐爐膛118中排出的氣體，而是對廢氣淨化系統100內部進行自清潔。通過控制各個閥部件117.1, 117.2, 117.3, 117.4, 117.5, 117.6的打開和關閉，能夠將廢氣淨化系統100在工作狀態和維護狀態這兩個狀態之間進行切換。下面以使用基本上惰性的氣體（例如氮氣）作為工作氣體的回流焊爐為例，說明本案的廢氣淨化系統100的兩種工作狀態中氣體的流動路徑。

圖1B圖示圖1A中的廢氣淨化系統100處於工作狀態時，氣體的流動路徑。如圖1B所示，當廢氣淨化系統100處於工作狀態時，閥部件117.1, 117.2, 117.6打開，閥部件117.3和閥部件117.4關閉，通道開關部件117.5可關閉，或者至少部分地打開。回流焊爐爐膛118中的包含有污染物的廢氣（溫度大致為170℃）從爐膛118的高溫區排出後，先經過第一級冷卻單元110冷卻至第一溫度，例如110~130℃。在此溫度下，第一級冷卻單元110中的廢氣污染物中的松香等有機物從氣態凝結為液態並可以從第一級冷卻單元110的廢液出口141.1排入收集單元140中，剩餘的部分廢氣再輸送至第二級冷卻單元120進一步進行冷卻。進入第二級冷卻單元120中的氣體在第二級冷卻單元120中被冷卻至第二溫度，例如60~80℃，以使得廢氣中的其他污染物有機物（例如低凝點的酸類或酯類或醚類有機物）從氣態凝結為液態，並通過第二級冷卻單元120的廢液出口141.2排入收集單元140中，剩餘的部分廢氣輸送至過濾單元130進行過濾淨化。進入過濾單元130中的廢氣被過濾後，其中的顆粒狀以及霧狀有機物被除去，因此能得到清潔的淨氣。最後將淨氣輸送回到回流焊爐爐膛118的低溫區，完成對廢氣的淨化。

在廢氣淨化系統100處於工作狀態時，如果閥部件117.5關閉，則經過過濾單元130過濾後的淨氣不能通過連接通道135回到第一級冷卻單元110中。如果通道開關部件117.5打開或部分地打開，則經過過濾單元130過濾後的淨氣的一部分能夠通過連接通道135回到第一級冷卻單元110中，由此，可以利用過濾單元130中溫度較低的清潔淨氣冷卻第一級冷卻單元110中的氣體，以節省第一級冷卻單元110中用於熱交換的冷卻媒體。

圖1C圖示廢氣淨化系統100處於維護狀態時，氣體的流動方向。如圖1C所示，當廢氣淨化系統100處於維護狀態時，閥部件117.1，117.2，117.3，117.4斷開，閥部件117.6和通道開關部件117.5打開。此時，通過過濾單元130中的加熱部件133對過濾單元130中的氣體加熱，能夠升高過濾單元130內部的溫度，例如升高至150℃~170℃左右。在此溫度下，過濾部件136上附著的固體污染物中的一部分轉化為液態，一部分轉化為氣態，液體能夠通過過濾單元130的廢液出口141.3排出，而氣體以較高溫度經過連接通道135再輸送至第一級冷卻單元110和第二級冷卻單元120中。第一級冷卻單元110和第二級冷卻單元120中的氣體以如上述廢氣淨化程序的那樣經過連接通道125.1,125.2再流動回到過濾單元130中，使第一級冷卻單元110和第二級冷卻單元120內的各個部件上，以及連接通道125.1和冷卻通道125.2內壁上附著的固體形態的污染物有機物重新被加熱為液態或氣態，並使液體通過第一級冷卻單元110的廢液出口141.1和第二級冷卻單元120的廢液出口141.2排出，氣體輸送回過濾單元130中，完成自清潔的氣體循環。

在如圖1C所示的自清潔的氣體循環程序中，由於閥部件117.1，117.2被斷開，因此該自清潔的氣體循環程序能夠在不影響回流焊爐工作的情況下進行。也就是說，即使回流焊爐處於工作程序中，廢氣淨化系統100也能處於維護狀態，對其內部進行自清潔。

對於使用基本上惰性的氣體（例如氮氣）作為工作氣體的回流焊爐爐膛118中工作氣體需要保持一定的濃度範圍，以滿足製程需求。回流焊爐通常設有調節爐膛118中工作氣體濃度的單元（例如補充工作氣體的單元）。當廢氣淨化系統100處於工作狀態時，回流焊爐的爐膛118中的氣體持續地被廢氣淨化系統100淨化並重新送回到回流焊爐的爐膛118中，因此處於工作狀態的廢氣淨化系統100中的工作氣體的濃度與回流焊爐的爐膛118中的工作氣體的濃度單元相近。但是當將廢氣淨化系統100從回流焊爐的爐膛118斷開進行自清潔維護後，廢氣淨化系統100中的工作氣體的濃度通常會小於爐膛118中的工作氣體的濃度。因此，根據本案，在廢氣淨化系統100的維護狀態完成後（包括自清潔的氣體循環的維護程序或者其他清潔方式的維護程序），在將廢氣淨化系統100重新與回流焊爐的爐膛118連通之前，可以向廢氣淨化系統100中補充一定量的工作氣體，以使得廢氣淨化系統100中的工作氣體達到與回流焊爐中的工作氣體相同或相近的濃度。為此，通過補氣口112向廢氣淨化系統100中補充工作氣體，並且同時通過排氣口132排出廢氣淨化系統100中的氣體，直至通過氣體濃度檢測部件155判斷出廢氣淨化系統100中的保護氣體濃度達到回流焊爐中保護氣體的濃度。

當廢氣淨化系統100用於使用空氣作為工作氣體的回流焊爐時，廢氣淨化系統100淨化後的氣體可以輸送回到爐膛118中，也可以不輸送回到爐膛118中，而是直接排放到大氣中。如果廢氣淨化系統100淨化後的氣體直接排放到大氣中，那麼圖1B所示的過濾單元130的淨氣出口131.2通過閥部件117.2可控地與大氣流體連通，而不是連接至爐膛118。

根據本案，廢氣淨化系統100中的第一級冷卻單元110和第二級冷卻單元120可以採用已知的任何類型的熱交換裝置。

根據本案，廢氣淨化系統100的第一級冷卻單元110，第二級冷卻單元120和過濾單元130可以集成在一起，使得整個廢氣淨化系統100形成一個箱式的廢氣淨化裝置，以便於與回流焊爐配合使用。

以下介紹廢氣淨化裝置的兩種具體結構示例，其中圖2A-圖6圖示根據本案的一個種實施例的廢氣淨化裝置200的具體結構，圖7A-圖11示出根據本案的另一個實施例的廢氣淨化裝置700的具體結構。

圖2A-圖2C為廢氣淨化裝置200的整體結構示意圖，其中圖2A為廢氣淨化裝置200的立體結構圖，圖2B為圖2A的正視圖，圖2C為圖2A的俯視圖。如圖2A-2C所示，廢氣淨化裝置200包括殼體201，殼體201大致為內部具有容腔的箱形，其包括頂部202、底部203、左部204、右部205、前部206和後部207。其中殼體201的頂部202、底部203、左部204、右部205和後部207例如通過焊接的方式連接在一起形成箱體容腔，前部206通過例如卡扣等方式可拆卸地連接頂部202和底部203上，以封閉箱體容腔。其中在圖2B中圖示頂部202、底部203、左部204、右部205和前部206，圖2C中圖示後部207。

如圖2A-2C所示，廢氣淨化裝置200還包括設置在殼體201上的廢氣入口211.1和淨氣出口231.2。廢氣入口211.1上設有連接管道251.1，連接管道251.1上設有閥部件217.1。閥部件217.1可以打開和關閉。廢氣入口211.1通過連接管道251.1與回流焊爐爐膛高溫區（圖中未示出）連接。淨氣出口231.2上設有連接管道251.2，連接管道251.2上設有閥部件217.2。閥部件217.2可以打開和關閉。淨氣出口231.2通過連接管道251.2與回流焊爐爐膛低溫區（圖中未示出）連接。爐膛中排出的廢氣能夠從廢氣入口211.1進入廢氣淨化裝置200，經過廢氣淨化裝置200淨化為淨氣後，再從淨氣出口231.2排至回流焊爐爐膛低溫區。

從如圖2B所示的廢氣淨化裝置200的前部看過去，廢氣入口211.1設置在殼體201的右部205靠後處，淨氣出口231.2設置在殼體201的後部207靠左處，由此使得廢氣在廢氣淨化裝置200中的流動方向大致為從右向左流動。

殼體201的前部206包括第一前板206.1和第二前板206.2。其中第一前板206.1用於從前側方向殼體201內部的一部分容腔（參見圖3中的過濾容腔342），第二前板206.2用於從前側方向密封殼體201內部的另一部分容腔（參見圖3中的冷卻容腔341）。其中第二前板206.2上設有數個開口271，用於將冷卻裝置通過第二前板206.2上的開口271插入冷卻容腔341中（這將結合圖3詳細介紹）。

廢氣淨化裝置200還包括收集裝置，收集裝置連接在殼體201的底部203。在如圖所示的示例中，收集裝置包括兩個收集瓶240.1和240.2，它們各自通過一個閥部件217.6與殼體201的底部203相連，以使得凝成液體的污染物能夠可控地排入收集瓶240.1和240.2中。底部203包括沿從後向前的方向逐漸向下傾斜的底板，收集瓶240.1和240.2連接在底板的前側（參見圖4）。收集瓶240.1用於與殼體201內部的過濾容腔342（參見圖3）連通，收集瓶240.2用於與殼體201內部的冷卻容腔341（參見圖3）連通。通過設置傾斜的底板，可以使得凝成液體的污染物更容易流入收集裝置中。

廢氣淨化裝置200還包括排氣口232和補氣口212（見圖2C）。作為一個示例，補氣口212設置在殼體201的頂部202上靠近廢氣入口211.1的附近。排氣口232設置淨氣出口231.2處連接管道251.1上，並位於淨氣出口231.2和閥部件217.1之間的位置處。淨氣出口231.2處的連接管道251.1的底部設有氧氣濃度檢測裝置455（參見圖4），氧氣濃度檢測裝置455用於檢測淨氣出口231.2處排出的氣體中的氧氣濃度。從而，向廢氣淨化裝置200中補充的保護氣體的流動方向大致上也是從右向左流動，以使整個廢氣淨化裝置200中的工作氣體的濃度都能得到提高。排氣口232和補氣口212上分別設有閥部件，通過閥部件來控制排氣口232和補氣口212的開啟或關閉，例如通過電磁閥控制。本領域技藝人士應當知曉的是，為了維持廢氣淨化裝置200中的氣體壓力在一定範圍內，排氣口232和補氣口212上的閥部件應當同時開啟或者同時關閉。當然，排氣口232和補氣口212也可以設置在其他位置，只要能夠使得氣體可控地通過補氣口212輸入廢氣淨化裝置200中，並且可控地通過排氣口232排出廢氣淨化裝置200即可。廢氣淨化裝置200還包括風機224。風機224的驅動部件設置在殼體201的頂部202的左側，風機224的葉輪設置在殼體201內的過濾容腔342內（參見圖5）。風機224的葉輪具有進風側和出風側，其中進風側與過濾容腔342流體連通，出風側與淨氣出口231.2流體連通。

廢氣淨化裝置200還包括溫度檢測器213.1、213.2、213.3、213.4、213.5和213.6。其中溫度檢測器213.1和213.2分別設置在廢氣入口211.1和淨氣出口231.2處，溫度檢測器213.3、213.4和213.5連接在殼體201的後部207上並且伸入廢氣淨化裝置200的冷卻容腔341（參見圖5）內。溫度檢測器213.6連接在殼體201的左部204並且伸入廢氣淨化裝置200的過濾容腔342（參見圖5）內。作為一個示例，溫度檢測器213.1、213.2、213.3、213.4、213.5和213.6為熱電偶。在其他示例中，廢氣淨化裝置200也可以僅包括一部分溫度檢測器或者設置其他類型的溫度檢測器。

廢氣淨化裝置200還包括數個加熱棒222。加熱棒222也連接在殼體201的左部204並且伸入廢氣淨化裝置200的過濾容腔342（參見圖5）內，以在廢氣淨化裝置200的自清潔程序中對過濾容腔342中的過濾部件336（參見圖5）加熱。在其他示例中也可以用其他加熱裝置來替代加熱棒222。當然，在無需進行自清潔的廢氣淨化裝置中也可以不包括加熱棒222。

圖3為廢氣淨化裝置200的爆炸結構圖，用於示出廢氣淨化裝置200的內部結構和部件。如圖3所示，殼體201的內部包括分隔板437（分隔板437的具體結構參見圖4），分隔板437將殼體201內部的容腔分隔成冷卻容腔341和過濾容腔342，冷卻容腔341位於過濾容腔342的右側。並且分隔板437上具有上部開口432和下部開口431(參見圖4)，上部開口432和下部開口431能夠連通冷卻容腔341和過濾容腔342。冷卻容腔341與廢氣入口211.1連通，過濾容腔342與淨氣出口231.2連通。冷卻容腔341中提供有冷卻裝置，冷卻裝置用於降低冷卻容腔341中的氣體的溫度。冷卻裝置包括第一級冷卻裝置310和第二級冷卻裝置320，第一級冷卻裝置310位於第二級冷卻裝置320的右側。氣體從廢氣入口211.1進入冷卻容腔341後，從右向左依次流經第一級冷卻裝置310和第二級冷卻裝置320。過濾容腔342中提供有過濾部件336，過濾部件336橫向安裝在過濾容腔342中，使得氣體進入過濾容腔342後能夠由下至上地流經過濾部件336，以從過濾部件336上方的淨氣出口231.2流出過濾容腔342。

冷卻容腔341中還設有圍板327，圍板327設置在冷卻裝置的頂部靠後側的位置，圍板327與殼體201共同形成自清潔氣體流過的連接通道的一部分，這將在後文詳細敘述。

廢氣從回流焊爐爐膛的高溫區排出後，從廢氣入口211.1進入廢氣淨化裝置200內，其中廢氣中的松香等污染物經過冷卻容腔341被第一級冷卻裝置310和第二級冷卻裝置320從氣態凝結為液態並排入收集瓶240.2中，廢氣中剩餘的氣體經過下部開口431再流入過濾容腔342中，在過濾容腔342內被過濾部件336過濾為清潔的淨氣，最後將淨氣從淨氣出口231.2排至回流焊爐爐膛的低溫區。

需要說明的是，冷卻容腔341也可以設置在過濾容腔342的左側，但是此時需要使廢氣入口211.1位於殼體的左部204使其保持與冷卻容腔341的連通，淨氣出口231.2位於殼體的右部205使其保持與過濾容腔342的連通。

仍然如圖3所示，第一級冷卻裝置310包括數個冷卻板315，第二級冷卻裝置320包括數個冷卻板317。每個冷卻板315，317內部可以容納冷卻媒體。冷卻板315，317中的冷卻媒體通過冷卻板315，317的外周側壁與廢氣進行熱交換，使廢氣的溫度降低。殼體的第二前板206.2的數個開口271中每個開口的大小設置為與相應的一個冷卻板315或317的大小相匹配，使得每個冷卻板315或317在插入相應的開口271中後，能夠將相應的開口271封住。每個冷卻板315或317的位於殼體201外部的端板上設有冷卻媒體入口355或357和冷卻媒體出口365或367，通過冷卻媒體入口355或357可以向相應的冷卻板315或317中加入冷卻媒體，通過冷卻媒體出口365或367可以將相應的冷卻板315或317中的冷卻媒體排出。冷卻媒體入口355或357和冷卻媒體出口365或367可以被封住。

在圖3所示的實施例中，第一級冷卻裝置310的數個冷卻板315中的冷卻媒體為壓縮氣體，第二級冷卻裝置320的數個冷卻板317中的冷卻媒體為空氣。第一級冷卻裝置310的數個冷卻板315的冷卻媒體出口365處設有消聲器208（參見圖2A），以減小壓縮氣體流動時帶來的噪音。第二級冷卻裝置320的數個冷卻板317的冷卻媒體入口357處還設有過濾網，並連接有氣體管道318和抽風機319，以使空氣能夠以一定的速度從冷卻媒體入口357輸入，並且從冷卻媒體出口367輸出。當然，本領域技藝人士也可以根據實際的工作環境選擇其他類型的冷卻媒體，例如冷卻水等。

圖4為沿圖2B中A-A線的剖視圖，用於示出分隔板437的具體結構。如圖4所示，殼體201的內部的分隔板437連接在殼體201的頂部202和底部203之間，用於分隔冷卻容腔341與過濾容腔342。分隔板437上設有上部開口432和下部開口431，其中上部開口432在殼體內的位置設置得比過濾部件336（圖4中未示出）高，下部開口431在殼體內的位置設置得比過濾部件336（圖4中未示出）低。其中上部開口432與風機224的葉輪580的出風側584流體連通（見圖5）。

圍板327的截面為L形，包括相互連接的橫板425和豎板426，其中橫板425抵接或大致抵接在所述殼體201的後部207，豎板426抵接在殼體201的頂部202，以使得圍板327與殼體201共同形成連接通道635（參見圖6）。連接通道635與分隔板437的上部開口432對準並連通，以使得過濾容腔342中的氣體能夠通過分隔板437的上部開口432進入連接通道635中。

由此，冷卻容腔341中的氣體能夠通過下部開口431流入過濾容腔342中，在過濾容腔342中由下至上地流動，以被過濾部件336過濾為淨氣。並且，過濾容腔342中過濾後的一部分淨氣能夠通過淨氣出口231.2排至回流焊爐中，另一部分淨氣通過上部開口432流經連接通道635再流回至冷卻容腔341中。

圖5為沿圖2C中的B-B線的剖視圖，用於示出第一級冷卻裝置310、第二級冷卻裝置320以及過濾部件336的具體結構，並說明廢氣淨化程序中氣體的流動路徑。如圖5所示，第一級冷卻裝置310包括四個冷卻板315，第二級冷卻裝置320包括兩個冷卻板317。

四個冷卻板315沿殼體201的橫向排列（即在左右方向上排列）。每個冷卻板315具有空腔546.1，空腔546.1與殼體201上的冷卻媒體入口355和冷卻媒體出口365連通，使得壓縮空氣作為冷卻媒體能夠流入和流出冷卻板315的空腔546.1。兩個冷卻板317也沿橫向排列（即在左右方向上排列），每個冷卻板317具有空腔546.2，空腔546.2與殼體201上的冷卻媒體入口357和冷卻媒體出口367連通，使得空氣作為冷卻媒體能夠流入和流出冷卻板317的空腔546.2。每個冷卻板315和317為可導熱的材料製成，例如金屬製成，以使得冷卻板315和317周圍的氣體能夠與冷卻板315和317內容納的冷卻媒體進行熱交換。通過調節冷卻媒體流入或流出冷卻板315和317的速度，能夠將第一級冷卻裝置310和第二級冷卻裝置320中的氣體冷卻至一定溫度範圍內。

每個冷卻板315,317豎向放置（即在垂直於殼體頂部202和底部203的方向上放置），每兩個相鄰的冷卻板之間形成豎向氣體通道548。每個冷卻板315,317具有左右兩個側壁，冷卻容腔341中的廢氣流經豎向氣體通道548時，廢氣通過冷卻板315,317的左右側壁與空腔546.1和空腔546.2內的冷卻媒體進行熱交換，使廢氣的溫度降低。隨著廢氣的降低，廢氣中的一部分污染物能夠凝結成液體並沿著冷卻板315,317的左右側壁向下流動至殼體的底部203。需要說明的是，對於最左側的冷卻板來說，該冷卻板除了與其右側的相鄰冷卻板之間形成豎向氣體通道548以外，還與左側的分隔板437之間形成豎向氣體通道548。同樣的，對於最右側的冷卻板來說，該冷卻板除了與其左側的相鄰冷卻板之間形成豎向氣體通道548以外，還與殼體右部205之間形成豎向氣體通道548。

並且，每個冷卻板315,317還與殼體底部203之間形成底部橫向氣體通道549.2或與殼體頂部202之間形成頂部橫向氣體通道549.1。其中每個頂部橫向氣體通道549.1和底部橫向氣體通道549.2與至少一個豎向氣體通道548連通，以形成廢氣流動的氣體通道550。作為一個示例，頂部橫向氣體通道549.1和底部橫向氣體通道549.2在冷卻板315,317的排列方向上交替地設置，以形成如圖5中示出的彎曲的氣體通道550。其中廢氣入口211.1與最右側的豎向氣體通道548連通，分隔板的下部開口431與最左側的豎向氣體通道548連通，使得廢氣能夠從最右側的豎向氣體通道548流入氣體通道550中，並從最左側的豎向氣體通道548流出氣體通道550。在其它實施例中，頂部橫向氣體通道、底部橫向通道與豎向氣體通道也可以設置為其它的排列方式以形成其它的氣體通道，只需保證廢氣能夠在氣體通道中流動並且流經每塊冷卻板即可。

作為本領域技藝人士應當知曉的是，在本實施例中，為了形成彎曲的氣體通道550，每個冷卻板315,317只形成底部橫向氣體通道549.2或者頂部橫向氣體通道549.1中的一個。當冷卻板315,317與殼體底部203之間形成底部橫向氣體通道549.2時，冷卻板315,317需要與殼體頂部202抵接或以其他方式擋住二者之間的間隙，使得流體不能夠從冷卻板315,317與殼體頂部202之間流過。同樣的，當冷卻板與殼體頂部202之間形成頂部橫向氣體通道549.2時，冷卻板315,317需要與殼體底部203抵接或以其他方式擋住二者之間的間隙，使得流體不能夠從冷卻板315,317與殼體底部203之間流過。

在圖5所示的實施例中，有三個冷卻板315,317與殼體頂部202之間形成頂部橫向氣體通道549.1。在這三個冷卻板315,317與殼體底部203靠近的位置處分別設有一組連接在殼體底部203上的密封板554。每組密封板554包括兩個密封板554，它們分別抵靠在相應的冷卻板315,317下部的左右兩側，以擋住冷卻板315,317與殼體底部203之間的間隙，使得流體不能夠從冷卻板315,317與殼體底部203之間流過。通過設置密封板554，即使當殼體底部203為圖4所示的傾斜形狀，也能夠阻擋流體從冷卻板315,317與殼體底部203之間流過。當然，本領域技藝人士也可以不設置密封板554，而直接設計冷卻板的形狀，使得冷卻板與殼體底部203的形狀配合。

如圖5所示，溫度檢測器213.3用於檢測第一級冷卻裝置310的氣體入口處的氣體溫度，溫度檢測器213.4用於檢測第一級冷卻裝置310的氣體出口處的氣體溫度，溫度檢測器213.5用於檢測第二級冷卻裝置320的氣體出口處的氣體溫度，溫度檢測器213.6用於檢測過濾裝置中的氣體溫度。這些溫度檢測器能夠即時檢測廢氣淨化裝置200中的氣體溫度，並根據該溫度情況調節冷卻媒體的流量。當檢測的氣體溫度過高，或者調節冷卻媒體的流量對氣體溫度影響不太明顯時，可能需要對廢氣淨化裝置200進行自清潔。

過濾部件336設置在過濾容腔342的中部，將過濾容腔342分為上下兩個子容腔，其中下部的子容腔與分隔板的下部開口431連通，風機224的葉輪580設置在上部的子容腔中，以使得風機224的葉輪580的進風側582與上部的子容腔流體連通。風機224的葉輪580的出風側584與淨氣出口231.2以及分隔板的上部開口432流體連通。葉輪580轉動時，能夠使得氣體在冷卻容腔341以及過濾容腔342內沿圖5所示的箭頭方向流動。作為一個示例，過濾部件336為鋼珠過濾網，一方面有利於導熱，另一方面可以清洗以重複使用、節省成本。

需要說明的是，在冷卻容腔保持一定尺寸的情況下，第一級冷卻裝置310的冷卻板315的橫向寬度在容納足夠的冷卻媒體的情況下，應盡可能小，以使得廢氣流經第一級冷卻裝置310時被凝結成液體的松香能夠較少的積累在冷卻板315的頂部。因此，第一級冷卻裝置310中包括橫向寬度較小，但是數量較多的冷卻板315，而第二級冷卻裝置320中包括橫向寬度較大，但是數量較少的冷卻板317。在圖5所示的實施例中，第一級冷卻裝置310的冷卻板315的橫向寬度為的第二級冷卻裝置320的冷卻板317的橫向寬度的三分之一。在其他的實施例中，也可以設置其他數量的冷卻板315，317，冷卻板315和317的橫向寬度也可以是其他的比例，只要能夠確保冷卻板315，317內容納冷卻媒體足以將廢氣冷卻至所需的溫度即可。

圖6為圖5中的廢氣淨化裝置200內的冷卻裝置的立體結構示意圖，用於示出冷卻板、分隔板437和圍板327的具體結構和位置關係，以說明自清潔氣體循環程序的流動路徑。為了顯示冷卻板315,317的內部結構，在圖6中去掉了冷卻板315,317的端板(即在圖3中示出的設有冷卻媒體入口和出口的端板)。如圖6所示，廢氣淨化裝置200內的分隔板437、冷卻板317和冷卻板315大致上平行地豎向放置，並且相互間隔以形成如前述的氣體通道550。

其中圍板327設置在冷卻板317和冷卻板315的後側以及上方，沿左右方向延伸。作為一種設置方式的示例，一部分冷卻板，例如與殼體底部203之間形成底部橫向氣體通道549.2的那部分冷卻板，其頂部後側設置臺階形狀的支承部。該臺階形狀的支承部用於容納L形狀的圍板327。該設置方式可以使得廢氣淨化裝置200的結構更加緊湊。本領域技藝人士應當知曉的是，圍板327也可以不為L形形狀或者冷卻板上不設置支承部等，只需保證冷卻板、圍板327以及殼體能夠按照需要的那樣密封以形成氣體通道550即可。

通過上述設置，圍板327能夠和殼體201形成連接通道635，連接通道635的兩端具有自清潔氣體出口634和自清潔氣體入口614，其中自清潔氣體出口634與分隔板437的上部開口432連通，自清潔氣體入口614與在第一級冷卻裝置310處與冷卻容腔341流體連通。作為一個示例，自清潔氣體入口614位於廢氣入口211.1附近。

作為一個示例，分隔板437的上部開口432的大小可以調節，從而使過濾容腔342中的氣體能夠可控地流入連接通道635。在本案的實施例中，在分隔板437上可活動地連接有可調節擋板638，可調節擋板638能夠前後移動，以覆蓋上部開口432或者打開上部開口432，也可以調節上部開口432的開口大小。可調節擋板638上設有導向槽661，分隔板437上設置有導向銷662插入導向槽661中，實現可調節擋板638與分隔板437之間的可活動的連接。

由此，在廢氣淨化裝置200處於維護狀態時，過濾容腔342中氣體能夠經過上部開口432流入連接通道635，並經過連接通道635流至第一級冷卻裝置310處。

仍然如圖6所示，冷卻板315內部的空腔546.1中包括均流板656.1，同樣的，冷卻板317內部的空腔546.2中包括均流板656.2，每個均流板上設有若干通孔。作為一個示例，均流板656.1上均勻設置若干圓形孔658.1，均流板656.2上設有若干長條形孔658.2。均流板656.1和656.2分別設置在空腔546.1和546.2中的冷卻媒體的流動路徑上，以使得冷卻媒體能夠穿過通孔，並且均勻穩定地流動。對於冷卻板317，空氣從冷卻媒體入口357流入冷卻板的空腔546.2中，由下至上的穿過均流板656.2，然後從冷卻媒體出口367流出，通過冷卻板317的側壁與廢氣進行熱交換。對於冷卻板315，壓縮氣體從冷卻媒體入口355流入冷卻板315的空腔546.1中，由下至上的穿過均流板656.1，然後從冷卻媒體出口365流出，通過冷卻板315的側壁與廢氣進行熱交換。

廢氣在廢氣淨化裝置200中大致的淨化程序如下：包含有污染物的廢氣（溫度大致為170℃）從回流焊爐爐膛的高溫區排出後，從廢氣入口211.1進入氣體通道550中。廢氣在流經第一級冷卻裝置310中的冷卻板315時，通過調節壓縮空氣流入和流出冷卻板315的流量，使得廢氣被冷卻至大約為110~130℃（第一級冷卻裝置310出口處的氣體溫度，由溫度檢測裝置213.4測得），在此溫度下，廢氣中的松香及其他助焊劑等有機物從氣態凝結為液態，並能夠被排至收集瓶240.2中。剩餘部分的廢氣流經第二級冷卻裝置320中的冷卻板317，通過調節空氣流入和流出冷卻板317的流量，使得剩餘部分的廢氣被冷卻至大約為60~80℃（第二級冷卻裝置320出口處的氣體溫度，由溫度檢測裝置213.5測得），在此溫度下，廢氣中的其他污染物有機物，例如低凝點的酸類或酯類或醚類有機物，從氣態凝結為液態，並能夠被排至收集瓶240.2中。剩餘部分的廢氣經過分隔板437的下部開口431流入過濾容腔342中，然後由下至上地流經過濾部件336，被過濾部件336過濾以除去其中的顆粒狀以及霧狀的有機物，以得到清潔的淨氣。最後，大部分清潔的淨氣從淨氣出口231.2排出至回流焊爐爐膛的低溫區，完成對廢氣的淨化程序，小部分的淨氣能夠經過上部開口432和連接通道635流回至第一級冷卻裝置310中與廢氣混合並且降低廢氣的溫度。調節上部開口432的開口大小可以改變經過上部開口432和連接通道635流回至第一級冷卻裝置310中的淨氣的量。當然，也可以完全關閉上部開口432，阻止淨氣能夠經過上部開口432和連接通道635流回至第一級冷卻裝置310中。

廢氣淨化裝置200的自清潔程序如下：通過閥部件217.1和217.2關閉廢氣入口211.1和淨氣出口231.2，利用加熱器222對過濾容腔342中的氣體進行加熱，直至過濾容腔342內的溫度上升至約150℃~170℃(由溫度檢測裝置213.6測得)，以使得附著在過濾部件336上的固體污染物一部分轉化為液態，一部分轉化為氣態，其中液態污染物流至殼體底部203。高溫氣態污染物在風機224的作用下，由下至上地流至分隔板的上部開口432，然後流經連接通道635後被輸送回第一級冷卻裝置310和第二級冷卻裝置320，並使廢氣淨化裝置200中的殼體內壁、冷卻裝置外壁、圍板327以及過濾部件336等各部件表面附著的固體形態的污染物重新被加熱為液態，以得到清潔。其中殼體底部203的液體污染物被收集裝置240.1和240.2收集。

該自清潔程序完成後，通過補氣口212向廢氣淨化裝置200中補充諸如氮氣等工作氣體，並從排氣口232中排出廢氣淨化裝置200中的氣體。檢測廢氣淨化裝置200中的氧氣濃度達到要求後，再將廢氣淨化裝置200與回流焊爐的爐膛連通。

圖7A-圖11圖示根據本案的另一種實施例的廢氣淨化裝置700的結構，其中廢氣淨化裝置700與廢氣淨化裝置200的區別主要在於冷卻裝置的具體結構不同。

圖7A-圖7C為廢氣淨化裝置700的整體結構示意圖，其中圖7A為廢氣淨化裝置700的立體結構圖，圖7B為圖7A的正視圖，圖7C為圖7A的俯視圖。如圖7A-7C所示，廢氣淨化裝置700包括殼體701，殼體701具有與廢氣淨化裝置200的殼體201相似的結構，包括頂部702、底部703、左部704、右部705、前部706和後部707，在此不重複贅述。

廢氣淨化裝置700的淨氣出口731.2設置在殼體701的後部707靠左處。與廢氣淨化裝置200的廢氣入口211.1不同的是，廢氣淨化裝置700的廢氣入口711.1設置在殼體701的後部707上，並且廢氣入口711.1設置在殼體701的後部707靠右處。相應的，補氣口712也設置殼體701的頂部702靠後側，廢氣入口711.1的附近。而排氣口732和氧氣濃度檢測裝置955（參見圖9）的位置保持不變。

殼體701的前部706包括第一前板706.1和第二前板706.2。其中第二前板706.2上也設有數個開口771，用於將冷卻裝置插入第二冷卻容腔862中。廢氣淨化裝置700還包括連接在殼體底部703收集瓶740.1和740.2，以及連接在殼體頂部702的風機724。

圖8為廢氣淨化裝置700的爆炸結構圖，用於示出廢氣淨化裝置700的內部的冷卻容腔841和過濾容腔842，以說明氣體在廢氣淨化裝置700內的流動方向。如圖8所示，殼體701的內部包括分隔板937（分隔板937的結構與分隔板437相同，具體參見圖9），分隔板937將殼體701內部分隔成冷卻容腔841和過濾容腔842，冷卻容腔841和過濾容腔842通過分隔板937的下部開口931（參見圖9）連通。其中冷卻容腔841包括第一冷卻容腔861和第二冷卻容腔862，第一冷卻容腔861中設有第一級冷卻裝置810，第二冷卻容腔862中設有第二級冷卻裝置820，氣體從廢氣入口711.1進入冷卻容腔841後，從右向左依次流經第一級冷卻裝置810和第二級冷卻裝置820。過濾容腔842中包括過濾部件836，氣體進入過濾容腔842後，由下至上地流經過濾部件836，能夠從淨氣出口731.2流出過濾容腔842。其中第二級冷卻裝置820的結構與廢氣淨化裝置200中的第二級冷卻裝置320的結構相同，在此不再贅述。第二級冷卻裝置820的上部靠後側設有L形的圍板827，與圖2A-6中所示的廢氣淨化裝置200中的圍板327不同的是，圍板827僅設置在第二級冷卻裝置820處。

仍然如圖8所示，第一級冷卻裝置810包括冷卻片863和冷卻管865，每個冷卻管865內部可以容納冷卻媒體，冷卻管865中的冷卻媒體通過冷卻片863與廢氣進行熱交換。第二級冷卻裝置820中包括數個冷卻板817，冷卻板817的大小與第二前板706.2上的開口771匹配。其中從殼體的前部可以看到，第一級冷卻裝置810設有冷卻媒體入口855和冷卻媒體出口815，第二級冷卻裝置820上設有冷卻媒體入口857和冷卻媒體出口816。需要注意的是，兩組冷卻媒體入口855和冷卻媒體出口815不為並排佈置，其中一組冷卻媒體入口855和冷卻媒體出口815相距較近，而另一組冷卻媒體入口855和冷卻媒體出口815相距較遠（參見圖7B）。其中在如圖8所示的實施例中，第一級冷卻裝置810的冷卻管865中的冷卻媒體為壓縮氣體，第二級冷卻裝置820的數個冷卻板817中的冷卻媒體為空氣。第一級冷卻裝置810的每個冷卻媒體出口815處也設有消聲器708。

圖9為沿圖7B中的A-A線的剖視圖，用於示出分隔板937的具體結構。分隔板937與圖2A-6中所示的廢氣淨化裝置200中分隔板437結構相似，也具有上部開口932和下部開口931。並且圍板827包括橫板925和豎板926，它們與殼體701共同形成連接通道1135（參見圖11）。其中上部開口932也與風機724的葉輪1080的出風側1084（參見圖10）流體連通。

圖10A和圖10B用於示出第一級冷卻裝置810、第二級冷卻裝置820以及過濾部件836的具體結構，以說明廢氣淨化程序中氣體的流動路徑。其中圖10A為沿圖7C中的B-B線的剖視圖，圖10B為沿圖10A中的C-C線的剖視圖，並且為了更清楚的顯示第一冷卻裝置810的具體結構，在圖10B中僅圖示第一冷卻裝置810，去掉了其他的部件。

如圖10A和圖10B所示，第一級冷卻裝置810包括四層冷卻片863和四層冷卻管865，四層冷卻管865中容納有冷卻媒體。其中冷卻管865與冷卻片863連接在一起，通過冷卻片863與廢氣進行熱交換，使廢氣溫度降低。

其中四層冷卻片863沿縱向排列（即在上下方向上排列），每層冷卻片863橫向放置（即沿左右方向放置），相鄰的兩層冷卻片863之間具有一定的間距。冷卻管865具有空腔1046.1。冷卻片863為可導熱的材料製成，例如金屬製成，以使得第一冷卻容腔861中的廢氣能夠通過冷卻片863的傳熱，與冷卻管865的空腔1046.1中的冷卻媒體進行熱交換。

每層冷卻片863大致為U形形狀，其具有通槽1064和側槽1072（也可參見圖11），其中通槽1064設置在冷卻片863的底部1066，並且沿左右方向延伸。廢氣穿過冷卻片863底部的通槽1064，由上至下形成縱向氣體流1068。需要說明的是，由於廢氣入口711.1設置在殼體後側，因此廢氣在流動的程序中，除了由上至下流動的以外，也會從後向前流動。側槽1072設置在冷卻片863的兩個側壁1067上，通槽1064的兩端分別與一對側槽1072連通。冷卻管865穿過一對側槽1072以支撐冷卻片863，使得冷卻片863可拆卸地與冷卻管865連接。

每層冷卻片上設有數個通槽1064，至少一部分相鄰的兩層冷卻片863中的通槽1064錯開佈置，以使得廢氣不是從上至下沿直線穿過各層冷卻片863，而是沿彎曲的路徑穿過各層冷卻片，從而能夠更好的與冷卻管865和冷卻片863進行熱交換。在如圖10A和10B所示出的示例中，第一層和第二層冷卻片863的通槽1064錯開佈置，並且第三層和第四層冷卻片863的通槽1064錯開佈置。

冷卻管865和側槽1072的個數與數個通槽1064相應地設置。並且每一層的冷卻管865與殼體701上的冷卻媒體入口855和冷卻媒體出口815連通，以使得作為冷卻媒體的壓縮空氣能夠流入冷卻管865中，並從冷卻管865中流出。作為一個示例，每一層的冷卻管865通過輸入總管1081及/或輸出總管1085（也可參見圖11）匯合在一起後，再將輸入總管1081和輸出總管1085與殼體701上的冷卻媒體入口855和冷卻媒體出口815連接。輸入總管1081和輸出總管1085為沿前後方向延伸的管，其一端封閉，另一端與冷卻媒體入口855或冷卻媒體出口815連接。

作為一個示例，第一層和第四層的相應的冷卻管連接在一起，形成右側開口的U形冷卻管，其中第一層的U形冷卻管管口與輸出總管1085連接，第四層的U形冷卻管管口與輸入總管1081連接。相似的，第二層和第三層的冷卻管連接在一起，形成左側開口的U形冷卻管，其中第二層的U形冷卻管管口與輸出總管1085連接，第三層的U形冷卻管管口與輸入總管1081連接。由此，在殼體701上設置僅設置兩組冷卻媒體入口855和冷卻媒體出口815即可。在其它實施例中，也可以在每層的冷卻管兩端各自設置單獨的輸入總管和輸出總管以連接到殼體701，此時需要在殼體上設置四組冷卻媒體入口和冷卻媒體出口。

在本案如圖所示的示例中，第一層和第四層冷卻管865中包括六根冷卻管，而第二層和第三層中包括五根冷卻管。

由此，冷卻管865能夠通過冷卻片863擴大與縱向氣體流1068進行熱交換的面積，使得廢氣形成的縱向氣體流1068的溫度降低，廢氣中的一部分污染物能夠冷凝成液體並經過通槽1064上至下地流動至殼體底部703。

第二級冷卻裝置820包括兩塊冷卻板817，每塊冷卻板817與圖5中的冷卻板317具有相同的結構，以形成豎向氣體通道1048。冷卻板817具有用於容納冷卻媒體（例如空氣）的空腔1046.2，空腔1046.2與殼體701上的空氣入口716.1和空氣出口716.2連通，使得空氣作為冷卻媒體能夠流入和流出冷卻板817。其中右側的冷卻板817與殼體底部703之間形成底部橫向氣體通道1049.2，左側的冷卻板817與殼體頂部702之間形成頂部橫向氣體通道1049.1。頂部橫向氣體通道1049.1和底部橫向氣體通道1049.2與豎向氣體通道1048流體連通，以形成彎曲的氣體冷卻通道1050。並且底部橫向氣體通道1049.2與第一級冷卻裝置810連通，以使得第一冷卻容腔861中的縱向氣體流1068從上之下地經過第一級冷卻裝置810後，能夠進入氣體冷卻通道1050中。

回到圖10A中，同樣的，過濾部件836設置在過濾容腔842中部，將過濾容腔842分為上下兩個子容腔，其中下部的子容腔與分隔板下部開口931連通，上部的子容腔與淨氣出口731.2以及分隔板上部開口932連通。風機724的葉輪1080設置在上部的子容腔中，以使得風機724的葉輪1080的進風側1082與上部的子容腔流體連通。風機724的葉輪1080的出風側1084與淨氣出口731.2以及分隔板的上部開口932流體連通。葉輪1080轉動時，能夠使得氣體在冷卻容腔841以及過濾容腔842內沿圖10A所示的箭頭方向流動。作為一個示例，過濾部件836也為鋼珠過濾網。

需要說明的是，本實施例中的第一級冷卻裝置810也可以為本領域技藝人士所知的任何翅片式換熱器成品件，以節省成本。

圖11為本案廢氣淨化裝置700內的冷卻裝置的立體結構示意圖，用於示出第一級冷卻裝置810、第二級冷卻裝置820、分隔板937和圍板827的具體結構和位置關係。與廢氣淨化裝置200相似的是，第二級冷卻裝置820中的右側的冷卻板817的頂部後側設置用於容納圍板827的臺階形狀的卡槽。其中圍板827能夠和殼體701形成連接通道1135，連接通道1135具有自清潔氣體出口1134和自清潔氣體入口1114，其中自清潔氣體出口1134與分隔板937的上部開口932連通，自清潔氣體入口1114與廢氣入口711.1連通。在本實施例中，由於廢氣入口711.1的位置與第二級冷卻裝置820相距較近，圍板827僅需設置在第二級冷卻裝置820後側即可使得，連接通道1135的自清潔氣體入口1114與廢氣入口711.1連通。

同樣的，分隔板937上也連接有可調節擋板1138，以調節上部開口932的開口大小。這樣設置能夠使過濾容腔342上部的子容腔中的一部分氣體從淨氣出口731.2處排至回流焊爐中，另一部分氣體經過上部開口932流入連接通道1135，並經過連接通道1135流至廢氣入口711.1附近。

冷卻板817內部的空腔1046.2中包括均流板1156，每個均流板上設有若干長條形孔1158。

廢氣在廢氣淨化裝置700中大致的淨化程序如下：包含有污染物的廢氣（溫度大致為170℃）從回流焊爐爐膛的高溫區排出後，從廢氣入口711.1進入第一冷卻容腔861中。廢氣先從上至下並且從後向前的流經第一級冷卻裝置810，通過調節壓縮空氣流入和流出冷卻管865的速度，使得廢氣被冷卻至出口處的氣體溫度大約為110~130℃，在此溫度下，廢氣中的松香等有機物從氣態凝結為液態，並從上至下穿過通槽1064流至殼體底部703。剩餘部分的廢氣從右至左地流經第二級冷卻裝置820中的冷卻板817，通過調節空氣流入和流出冷卻板817的速度，使得剩餘部分的廢氣被冷卻至出口處的氣體溫度大約為60~80℃，在此溫度下，廢氣中的其他污染物有機物，例如低凝點的酸類或酯類或醚類有機物，從氣態凝結為液態，並順著冷卻板817的側壁流至殼體底部703。剩餘部分的廢氣經過分隔板937的下部開口931流入過濾容腔842中，然後由下至上地流經過濾部件836，被過濾部件836過濾以除去其中的顆粒狀以及霧狀的有機物，以得到清潔的淨氣。最後，大部分清潔的淨氣從淨氣出口731.2排出至回流焊爐爐膛的低溫區，完成對廢氣的淨化程序，剩餘的小部分的淨氣經過上部開口932和連接通道1135流回至第一級冷卻裝置810中與廢氣混合並且降低廢氣的溫度。調節上部開口932的開口大小可以改變經過上部開口932和連接通道1135流回至第一級冷卻裝置810中的淨氣的量。當然，也可以完全關閉上部開口932，阻止淨氣能夠經過上部開口932和連接通道1135流回至第一級冷卻裝置810中。其中殼體底部703的液體污染物被收集裝置740.2收集。

廢氣淨化裝置700的自清潔程序與廢氣淨化裝置200類似，不再贅述。

本案兩個實施例中廢氣淨化裝置200和廢氣淨化裝置700的主要區別在於第一級冷卻裝置不同。其中廢氣淨化裝置200的第一級冷卻裝置310中的冷卻板315具有更小的橫向面積，因此使得較少的污染物積累在熱交換部件（冷卻板315）上，因此能夠具有更長的保養間隔時間。而廢氣淨化裝置700的第一級冷卻裝置810為市售的成品件，能夠具有更低的成本。

儘管參考附圖中出示的具體實施方式將對本案進行描述，但是應當理解，在不背離本案教導的精神和範圍和背景下，本案的廢氣淨化系統和廢氣淨化裝置可以有許多變化形式。本領域技術一般技藝人士還將意識到有不同的方式來改變本案所揭示的實施例中的設置，均落入本案和請求項的精神和範圍內。

100:廢氣淨化系統 110:第一級冷卻單元 111.1:廢氣入口 111.2:氣體出口 112:補氣口 114:自清潔氣體入口 117.1:閥部件 117.2:閥部件 117.3:閥部件 117.4:閥部件 117.5:通道開關部件 117.6:閥部件 118:回流焊爐爐膛 120:第二級冷卻單元 121.1:氣體入口 121.2:氣體出口 124:風扇 125.1:連接通道 125.2:連接通道 130:過濾單元 131.1:氣體入口 131.2:淨氣出口 132:排氣口 133:加熱部件 134:自清潔氣體出口 135:連接通道 136:過濾部件 140:收集單元 141.1:第一廢液出口 141.2:廢液出口 141.3:廢液出口 151:溫度檢測部件 152:溫度檢測部件

155:氧氣濃度檢測部件

200:廢氣淨化裝置

201:殼體

202:頂部

203:底部

204:左部

205:右部

206:前部

206.1:第一前板

206.2:第二前板

207:後部

208:消聲器

211.1:廢氣入口

213.1:溫度檢測器

213.2:溫度檢測器

213.3:溫度檢測器

213.4:溫度檢測器

213.5:溫度檢測器

213.6:溫度檢測器

212:補氣口

217.1:閥部件

217.2:閥部件

217.6:閥部件

222:加熱棒

224:風機 231.2:淨氣出口 232:排氣口 240.1:收集裝置 240.2:收集裝置 251.1:連接管道 251.2:連接管道 271:開口 310:第一級冷卻裝置 315:冷卻板 317:冷卻板 318:氣體管道 319:抽風機 320:第二級冷卻裝置 327:圍板 336:過濾部件 341:冷卻容腔 342:過濾容腔 355:冷卻媒體入口 357:冷卻媒體入口 365:冷卻媒體出口 367:冷卻媒體出口 425:橫板 426:豎板 431:下部開口 432:上部開口 437:分隔板 455:氧氣濃度檢測裝置 546.1:空腔 546.2:空腔 548:豎向氣體通道 549.1:頂部橫向氣體通道 549.2:底部橫向氣體通道 550:氣體通道 554:密封板 580:葉輪 582:進風側 584:出風側 614:自清潔氣體入口 634:自清潔氣體出口 635:連接通道 638:可調節擋板 656.1:均流板 656.2:均流板 658.1:圓形孔 658.2:長條形孔 661:導向槽 662:導向銷 700:廢氣淨化裝置 701:殼體 702:頂部 703:底部 704:左部 705:右部 706:前部 706.1:第一前板 706.2:第二前板 707:後部 708:消聲器 711.1:廢氣入口 731.2:淨氣出口 732:排氣口 740.1:收集瓶 740.2:收集瓶 771:開口 810:第一級冷卻裝置 815:冷卻媒體出口 816:冷卻媒體出口 817:冷卻板 820:第二級冷卻裝置 827:圍板 836:過濾部件 841:冷卻容腔 842:過濾容腔 855:冷卻媒體入口 857:冷卻媒體入口 861:第一冷卻容腔 862:第二冷卻容腔 863:冷卻片 865:冷卻管 925:橫板 926:豎板 931:下部開口 932:上部開口 937:分隔板 955:氧氣濃度檢測裝置 1046.1:空腔 1046.2:空腔 1049.1:頂部橫向氣體通道 1049.2:底部橫向氣體通道 1050:氣體冷卻通道 1064:通槽 1066:底部 1067:側壁 1068:縱向氣體流 1072:側槽 1080:葉輪 1081:輸入總管 1082:進風側 1084:出風側 1085:輸出總管 1114:自清潔氣體入口 1134:自清潔氣體出口 1135:連接通道 1138:可調節擋板 1156:均流板 1158:長條形孔

圖1A為根據本案的一個實施例的廢氣淨化系統的簡化的結構方塊圖；

圖1B為示出圖1A中的廢氣淨化系統處於工作狀態時的氣體流動路徑的方塊圖；

圖1C為示出圖1A中的廢氣淨化系統處於維護狀態時的氣體流動路徑的方塊圖；

圖2A為根據本案的一個實施例的廢氣淨化裝置的立體結構示意圖；

圖2B為圖2A所示的廢氣淨化裝置的正視圖；

圖2C為圖2A所示的廢氣淨化裝置的俯視圖；

圖3為圖2A所示的廢氣淨化裝置的爆炸結構圖；

圖4為沿圖2B的A-A線的剖視圖；

圖5為沿圖2C的B-B線的剖視圖；

圖6為圖2A所示的廢氣淨化裝置中的冷卻裝置的立體結構示意圖；

圖7A為根據本案的另一個實施例的廢氣淨化裝置的立體結構示意圖；

圖7B為圖7A所示的廢氣淨化裝置的的正視圖；

圖7C為圖7A所示的廢氣淨化裝置的的俯視圖；

圖8為圖7A所示的廢氣淨化裝置的爆炸結構圖；

圖9為沿圖7B 的A-A線的剖視圖；

圖10A為沿圖7C的B-B線的剖視圖；

圖10B為沿圖10A的C-C線的剖視圖；

圖11為圖7A所示的廢氣淨化裝置中的冷卻裝置的立體結構示意圖。

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200:廢氣淨化裝置

201:殼體

208:消聲器

211.1:廢氣入口

213.1:溫度檢測器

213.2:溫度檢測器

213.6:溫度檢測器

222:加熱棒

231.2:淨氣出口

251.1:連接管道

251.2:連接管道

Claims

一種廢氣淨化裝置，用於淨化回流焊爐爐膛中的廢氣，其中：所述廢氣淨化裝置(200)包括：殼體(201)，所述殼體(201)上設有廢氣入口(211.1)，所述殼體具有頂部(202)和底部(203)，且所述殼體(201)具有冷卻容腔(341)；和冷卻裝置(310,320)，所述冷卻裝置(310,320)設置在所述冷卻容腔(341)內；其中所述冷卻裝置(310,320)包括橫向排列的數個冷卻板(315,317)，所述數個冷卻板(315,317)中的每一個冷卻板(315,317)具有用於容納冷卻媒體的空腔(546.1,546.2)，所述數個冷卻板(315,317)中的每一個冷卻板(315,317)豎向放置，且與相鄰的冷卻板間隔開以形成豎向氣體通道(548)；其中所述數個冷卻板(315,317)中的至少一部分冷卻板(315,317)被設置為：其中的每一個冷卻板(315,317)與所述殼體(201)的所述底部(203)形成底部橫向氣體通道(549.2)或與所述殼體(201)的所述頂部(202)形成頂部橫向氣體通道(549.1)，並且其中所述底部橫向氣體通道(549.2)和所述頂部橫向氣體通道(549.1)在所述數個冷卻板 (315,317)的排列方向上交替地設置；其中所述底部橫向氣體通道(549.2)和所述頂部橫向氣體通道(549.1)與所述豎向氣體通道(548)流體連通，以形成彎曲的氣體冷卻通道(550)，並且其中所述廢氣入口(211.1)與所述氣體冷卻通道(550)連通；所述冷卻裝置(310,320)包括第一級冷卻裝置(310)和第二級冷卻裝置(320)，所述數個冷卻板(315,317)包括至少一個第一級冷卻裝置冷卻板(315)和至少一個第二級冷卻裝置冷卻板(317)，所述第一級冷卻裝置冷卻板(315)的橫向寬度小於所述第二級冷卻裝置冷卻板(317)的橫向寬度。
根據請求項1之廢氣淨化裝置，其中：所述廢氣淨化裝置(200)還包括：液體收集裝置(240.2)，所述液體收集裝置(240.2)連接在所述殼體的所述底部(203)，所述液體收集裝置(240.2)與所述冷卻容腔(341)流體連通。
根據請求項1之廢氣淨化裝置，其中：所述殼體(201)上設有淨氣出口(231.2)；所述殼體(201)還具有過濾容腔(342)，所述過濾容腔(342)中設有過濾部件(336)，所述過濾容腔(342)與所述氣體冷卻通道(550)流體連通；及所述淨氣出口(231.2)與所述過濾容腔(342)連通，以使得氣體能夠流經所述過濾部件(336)，從所述淨氣出口(231.2)排出。
根據請求項3之廢氣淨化裝置，其中：所述殼體(201)中設有連接通道(635)，所述連接通道(635)具有自清潔氣體入口(614)和自清潔氣體出口(634)，其中所述自清潔氣體出口(634)與所述過濾容腔(342)流體連通，所述自清潔氣體入口(614)與所述冷卻容腔(341)流體連通。
根據請求項4之廢氣淨化裝置，其中：所述廢氣淨化裝置(200)還包括設置在所述殼體(201)中的圍板(327)；其中所述連接通道(635)由所述殼體(201)與所述圍板(327)共同形成。
根據請求項5之廢氣淨化裝置，其中：所述殼體(201)還具有後部(207)，所述圍板(327)包括橫板(425)和豎板(426)，所述橫板(425)抵接在所述殼體(201)的所述後部(207)，所述豎板(426)抵接在所述殼體(201)的所述頂部(202)，以使得所述圍板(327)與所述殼體(201)共同形成所述連接通道(635)。
根據請求項4之廢氣淨化裝置，其中：所述廢氣淨化裝置(200)還包括分隔板(437)，所述分隔板(437)設置在所述冷卻容腔(341)與所述過濾容腔(342)之間，用於分隔所述冷卻容腔(341)與所述過濾容腔(342)；其中所述分隔板(437)具有上部開口(432)和下部開口(431)，所述下部開口(431)位於所述過濾部件(336)下方，用於連通所述冷卻容腔(341)與所述過濾容腔(342)，所述上部開口(432)位於所述過濾部件(336)上方，用於連通所述過濾容腔(342)與所述連接通道(635)。
根據請求項7之廢氣淨化裝置，其中：所述上部開口(432)處設有可調節擋板(638)，以打開或關閉所述上部開口(432)，或者調節上部開口(432)的開口大小。
根據請求項1之廢氣淨化裝置，其中：所述廢氣淨化裝置(200)還包括設置在所述底部(203)上的至少兩個密封板(554)；其中所述至少兩個密封板(554)分別抵靠在形成所述底部橫向氣體通道(549.2)的所述冷卻板(343,344)的下部的左右兩側，以擋住形成所述底部橫向氣體通道(549.2)的所述冷卻板(343,344)與所述底部(203)之間的間隙。
根據請求項1之廢氣淨化裝置，其中：所述冷卻板(343,344)的所述空腔(546.1,546.2)中設有至少一個均流板(656.1,656.2)，所述均流板(656.1,656.2)設置在所述冷卻媒體的流動路徑上，所述均流板(656.1,656.2)上均勻設置數個通孔(658.1,658.2)，以使得所述冷卻媒體能夠在流動程序中穿過所述通孔(658.1,658.2)。
根據請求項1之廢氣淨化裝置，其中：所述冷卻裝置(310,320)上設有至少一組冷卻媒體入口(215.1)和冷卻媒體氣體出口(215.2)；其中所述每組冷卻媒體入口(215.1)和冷卻媒體氣體出口(215.2)與所述空腔(546.1,546.2)中的至少一個流體連通，所述冷卻媒體入口(215.1)設置在相應的冷卻媒體氣體出口(215.2)下方，使得冷卻媒體能夠從冷卻媒體入口(215.1)輸入，經過所述空腔(546.1,546.2)後從相應的冷卻媒體氣體出口(215.2)輸出；其中至少一個所述冷卻媒體氣體出口(215.2)處設有消聲器(208)。
根據請求項7之廢氣淨化裝置，其中：所述廢氣淨化裝置(200)還包括風機(224)，所述風機(224)與所述過濾容腔(342)相連，其中所述風機(224)具有進風側(582)和出風側(584)，所述進風側(582)與所述過濾容腔(342)流體連通，所述出風側(584)與所述淨氣出口(231.2)和所述上部開口(432)流體連通。
根據請求項3之廢氣淨化裝置，其中：所述過濾部件(336)為鋼珠過濾網。
根據請求項1之廢氣淨化裝置，其中：所述第一級冷卻裝置冷卻板(315)的所述空腔(546.1)中容納的冷卻媒體為壓縮空氣，所述第二級冷卻裝置冷卻板(317)的所述空腔(546.2)中容納的冷卻媒體為空氣。