TWI812568B

TWI812568B - 測試裝置

Info

Publication number: TWI812568B
Application number: TW111150710A
Authority: TW
Inventors: 卓金星; 王錦燕
Original assignee: 卓金星; 王錦燕
Priority date: 2022-12-29
Filing date: 2022-12-29
Publication date: 2023-08-11

Abstract

本發明關於一種測試裝置，其包括：一機台；一對位機構，設於該機台，包括一平台，該平台可選擇性地沿一X軸方向移動及一Y軸方向移動，該平台設有一承載面，該承載面供放置一待測單元，該X軸方向橫向於該Y軸方向；一頂推機構，設於該對位機構，包括一頂推部及一驅動單元，該頂推部及該平台其中一者可被該驅動單元致動而相對於一初始位置及一頂推位置之間移動；及一測試單元，設於該機台，供檢測該待測單元；其中當該頂推部及該平台其中一者位於該頂推位置時，該頂推部突出該承載面以供頂推該待測單元遠離該承載面。

Description

測試裝置

本發明有關於一種測試裝置。

一般在晶圓的生產程序中，會進行晶圓的檢測，以測試該晶圓是否有缺陷或為不良品。常見的測試有如晶圓是否有刮傷、曝光不完全、破損、裂痕等瑕疵。然而，習知技術的測試裝置，其包括一呈C形的置放部及一測試單元，該置放部設有一鏤空部，該置放部供晶圓置放於上，並以該測試單元測試該晶圓。

然而，習知技術之測試裝置之C形的置放部，係供機械手臂從晶圓的下方通過鏤空部以支撐於該晶圓上，以將該晶圓帶離及置放於該置放部上；導致晶圓只能被定位於一定點而造成測試的範圍受限且無法精準對位，再者該置放部與該晶圓的接觸面積小，容易造成晶圓相對該置放部滑動。

因此，有必要提供一種新穎且具有進步性之測試裝置，以解決上述之問題。

本發明之主要目的在於提供一種測試裝置，其提供選擇地帶動一測試單元朝多個方向移動及轉動，及可自動抬升該待測單元。

為達成上述目的，本發明提供一種測試裝置，包括：一機台；一對位機構，其設於該機台，該對位機構包括一平台，該平台可選擇性地沿一X軸方向移動及一Y軸方向移動，該平台設有一承載面，該承載面供放置一待測單元，該X軸方向橫向於該Y軸方向；一頂推機構，其設於該對位機構，該頂推機構包括一頂推部及一驅動單元，該頂推部及該平台其中一者可被該驅動單元致動而相對於一初始位置及一頂推位置之間移動；及一測試單元，其設於該機台，該測試單元供檢測該待測單元；其中，當該頂推部及該平台其中一者位於該初始位置時，該頂推部不突出該承載面；當該頂推部及該平台其中一者位於該頂推位置時，該頂推部突出該承載面以供頂推該待測單元遠離該承載面。

1:測試裝置

2,3:待測單元

10:機台

20:對位機構

21:平台

22:承載面

23:第一貫孔

24:第二貫孔

30:頂推機構

31:頂推部

32:驅動單元

33:第一頂推單元

34:第二頂推單元

35:基體

36:容置槽

37:臂部

40:測試單元

50:XYθ對位平台

51:θ角轉台

52:凸台

53:X軸移動平台

54:Y軸移動平台

55:容室

56:致動馬達

A:中心軸線

L1:X軸方向

L2:Y軸方向

L3:θ角方向

L4:Z軸方向

圖1為本發明一較佳實施例之立體圖。

圖2為本發明一較佳實施例之分解圖。

圖3為本發明一較佳實施例之局部分解圖。

圖4為本發明一較佳實施例之剖面圖。

圖5及圖6為本發明一較佳實施例之抬升一待測單元之作動圖。

圖7及圖8為本發明一較佳實施例之抬升另一待測單元之作動圖。

以下僅以實施例說明本發明可能之實施態樣，然並非用以限制本發明所欲保護之範疇，文中所提之名詞前冠以的「一」或「至少一」並非對數量進行限制，依據需求亦可為「複數」個，此數量上之變化亦為所欲保護之範圍，合先敘明。

請參考圖1至8，其顯示本發明之一較佳實施例，本發明之測試裝置1包括一機台10、一對位機構20、一頂推機構30及一測試單元40。

該對位機構20設於該機台10，該對位機構20包括一平台21，該平台21可選擇性地沿一X軸方向L1移動、一Y軸方向L2移動及一θ角方向L3轉動，該平台21設有一承載面22，該承載面22供放置一待測單元2、3，該X軸方向L1橫向於該Y軸方向L2；該頂推機構30設於該對位機構20，該頂推機構30包括一頂推部31及一驅動單元32，該頂推部31及該平台21其中一者可被該驅動單元32致動而相對於一初始位置及一頂推位置之間移動，於本實施例中係該頂推部31被該驅動單元32致動；該測試單元40設於該機台10，該測試單元40供檢測該待測單元2、3(如晶圓)；其中，當該頂推部31及該平台21其中一者位於該初始位置時(於本實施例中，該頂推部31位於該初始位置)，該頂推部31不突出該承載面22(如圖5、圖7)；當該頂推部31及該平台21其中一者位於該頂推位置時(於本實施例中，該頂推部31位於該頂推位置)，該頂推部31突出該承載面22以供頂推該待測單元2、3遠離該承載面22(如圖6、圖8)。藉此，可供選擇地帶動該待測單元2、3朝多個方向移動及轉動以相對該測試單元40移動及轉動，以提升精準對位、測試的範圍廣及自動抬升該待測單元2、3，如於該測試單元40檢查完該待測單元2、3後抬升，以利於輸送機構將該待測單元2、3帶離該對位機構20。

該測試單元40可包括攝影單元，以對該待測單元2、3取進行光學檢測，但不限於此，亦可為其他測試單元。

該頂推部31包括複數第一頂推單元33及複數第二頂推單元34，該複數第一頂推單元33及該複數第二頂推單元34具有相異尺寸；於本實施例中，該頂推部31及該平台21可沿一Z軸方向L4相對移動，該Z軸方向L4橫向於該X軸方向L1及該Y軸方向L2，各該第一頂推單元33於該Z軸方向L4延伸之一長度尺寸大於各該第二頂推單元34於該Z軸方向L4延伸之一長度尺寸；較佳地，該頂推部31定義一中心軸線A，該中心軸線A沿該Z軸方向L4延伸，各該第一頂推單元33較各該第二頂推單元34徑向遠離該中心軸線A；再者，該平台21設有複數第一貫孔23及複數第二貫孔24，該複數第一頂推單元33可活動地穿設該複數第一貫孔23，該複數第二頂推單元34可活動地穿設該複數第二貫孔24，各該第一貫孔23及各該第二貫孔24於徑向上間隔設置，該複數第一貫孔23及該複數第二貫孔24分別繞該中心軸線A設置。因此，可提供抬升不同尺寸的該待測單元2、3，且不會損壞該待測單元2、3。

該驅動單元32驅動該複數第一頂推單元33及該複數第二頂推單元34同時相對該平台21移動。該驅動單元32可為一液壓缸、一氣壓缸或線性馬達等，但不限於此。據此，以簡單的結構同時驅動該複數第一頂推單元33及該複數第二頂推單元34。

請參考圖5及圖6，係小尺寸之該待測單元3的使用狀態。當該頂推部31位於該頂推位置且該複數第二頂推單元34推頂抬升該待測單元3過程中，透過該複數第一頂推單元33位於該複數第二頂推單元34於徑向上之外側，因此於抬升過程中該複數第一頂推單元33不會干涉(接觸)該待測單元3。

請參考圖7及圖8，係大尺寸之該待測單元2的使用狀態。當該頂推部31位於該頂推位置且該複數第一頂推單元33抬升該待測單元2過程中，藉由於該複數第二頂推單元34與該複數第一頂推單元33之間的高低落差，令該複數第二頂推單元34能與該待測單元2保持間距而不會相干涉(接觸)。

進一步說明，藉由該複數第一頂推單元33及該複數第二頂推單元34於徑向上的位置不同以及高低落差，故在兩者同步升降的狀態下，可適用於多個尺寸的該待測單元2、3且不會於抬升過程中損壞不同尺寸的該待測單元2、3。

該平台21設置於該對位機構20之一θ角轉台51，該θ角轉台51之頂端設有複數間隔設置之凸台52，該平台21置放於該複數凸台52上。於本實施例中，該頂推部31另包括一基體35，該複數凸台52共構一容置槽36，該複數第一頂推單元33及該複數第二頂推單元34分別設於該基體35，該頂推部31可移動地設於該容置槽36，該頂推部31及該平台21可沿該Z軸方向L4相對移動；其中各該凸台52於該Z軸方向L4上之一高度尺寸大於該基體35於該Z軸方向L4上之一高度尺寸；令該平台21能被穩定支撐，且該基體35具足夠的空間相對該平台21升降(靠近或遠離該平台21)。再者，該基體35包括複數臂部37，該複數臂部37相互連接且周向間隔設置，該複數第一頂推單元33及該複數第二頂推單元34分別設於該複數臂部37，各該臂部37設於二該凸台52之間。較佳地，該複數臂部37呈放射狀延伸；各該凸台52呈楔形狀；該基體35與該複數凸台52呈間隔設置；藉由該複數臂部37能穩定地支撐及抬升該待測單元2、3，且該基體35能順暢地相對該複數凸台52於該Z軸方向L4移動。

於本實施例中，該θ角方向L3係繞該Z軸方向L4延伸。

具體地說，各該臂部37徑向凸出該θ角轉台51；該對位機構20另包括一XYθ對位平台50，該XYθ對位平台50包括一X軸移動平台53、一Y軸移動平台54及該θ角轉台51，該X軸移動平台53可沿該X軸方向L1移動，該Y軸移動平台54可沿該Y軸方向L2移動，該Y軸移動平台54及該θ角轉台51共構一容室55，該驅動單元32設於該容室55內；該對位機構20另包括一致動馬達56，該致動馬達56驅動該θ角轉台51沿該θ角方向L3轉動；藉由該XYθ對位平台50可驅動該平台21及該沿該X軸方向L1、該Y軸方向L2移動及該θ角方向L3轉動，且該對位機構20可被同時帶動沿該X軸方向L1、該Y軸方向L2移動或/及該θ角方向L3轉動。