TWI808764B - 機動式天車自動化搬運軌道 - Google Patents

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Abstract

一種機動式天車自動化搬運軌道，包括小批量烘烤的複數台小烤箱，小烤箱得接續設置於一半導體製程設備的旁側，每一半導體製程設備得進行一項晶片的製程，而製程結束後，小批量的晶片即可送進小烤箱進行烘烤；小烤箱之一側得以數快拆結構固定一龍門框架，數龍門框架間得以數快拆結構組設有天車軌道，天車軌道上得設複數天車載送晶片至各製程，而一系列流程與複數個另一系列流程間並可藉由換軌裝置進行連接轉換，據此龍門框架與小烤箱可機動的依需求隨時改變位置，並可配合快拆結構迅速拆裝天車軌道，得快速完成全新系列流程者。

Description

機動式天車自動化搬運軌道
本發明係屬自動化搬運軌道之技術領域，尤指其技術上提供一種機動式天車自動化搬運軌道，其小烤箱一側組設一龍門框架，得機動依製程快速建構天車軌道者。
按，習知晶片加工製程均採用大烤箱，半導體製程設備加工完成的晶片需先放置在倉儲內暫置，待儲存到大烤箱可處理的量後，才移至大烤箱進行烘烤，如此做法其大烤箱需要等待很久才能烘烤，大烤箱應用上較不靈活，而其烘烤的時間也會比較久。另，習知天車軌道有懸吊至天花板的方式，有利用龍門固定至地面上的方式，其設置位置都是固定式的，無法依據製程需求機動調整天車軌道位置，例如習知申請案號第107111313號自動化運送佈局系統發明專利，就是一種懸吊式的天車軌道，由其申請專利範圍第1項所揭示：「…至少一軌道組件，其懸設於所述區域；至少一軌道組件，其懸設於所述區域；至少一位移組件，其能活動地連接於至少一所述軌道組件；至少一取放組件，其能活動地連接於至少一所述位移組件…」。可知其將至少一軌道組件，懸設於一特定區域，並藉由至少一位移組件及至少一取放組件結合前述軌道組件，進行自動化運送作業，因此當遇到機器設備要換廠房或是需調整製程等情事，懸吊式的天車軌道將難以伴隨機器設備進行遷移，實有加以改良的必要。
是以，針對上述習知天車自動化搬運軌道所存在之問題點，如何開發一種更具理想實用性之創新結構，實消費者所殷切企盼，亦係相關業者須努力研發突破之目標及方向。
有鑑於此，發明人本於多年從事相關產品之製造開發與設計經驗，針對上述之目標，詳加設計與審慎評估後，終得一確具實用性之本發明。
本發明之主要目的在於提供一種機動式天車自動化搬運軌道，其小烤箱一側組設一龍門框架，每一半導體製程設備旁側得設小烤箱，得小批量烘烤，而小烤箱之龍門框架間得快速舖設天車軌道完成製程建構；當製程改變時，可快速遷移小烤箱至新製程定點，小烤箱之龍門框架間又得以快速舖設天車軌道完成新製程的建構者。
為達上述目的，本發明提供一種機動式天車自動化搬運軌道，係包含有：小批量烘烤的複數台小烤箱，小烤箱得接續設置於一半導體製程設備的旁側，每一半導體製程設備得進行一項晶片的製程，而製程結束後，小批量的晶片即可送進小烤箱進行烘烤；小烤箱之一側得以數快拆結構固定一龍門框架，數龍門框架間得以數快拆結構組設有天車軌道，天車軌道上得設複數天車載送晶片至各製程，其間軌道如果沒有小烤箱的配合時，亦可採用落地型龍門框架輔助，而一系列流程與複數個另一系列流程間並可藉由換軌裝置進行連接轉換，據此龍門框架與小烤箱可機動的依需求隨時改變位置，並可配合快拆結構迅速拆裝天車軌道，得快速完成又一種晶片加工的全新系列流程者。
對照先前技術之功效：本發明之機動式天車自動化搬運軌道，藉由小烤箱進行晶片烘烤作業，由於小烤箱運用上比較靈活，當半導體製程設備製作完成後即可小批量送至小烤箱進行烘烤，且天車軌道下方設有複數小烤箱，小烤箱可依烘烤量進行排設，有效提升晶片烘烤效率；將龍門框架與小烤箱固定成一體，並配合製程排列複數小烤箱，如此只要將天車軌道固定於龍門框架 ，即可完成天車軌道佈設，當要換廠房或是調整製程，則只要將天車軌道拆下，小烤箱與龍門框架即可輕鬆遷移至新的定點，再將天車軌道裝回龍門框架，即可達到輕鬆換廠房或是調整製程，另，亦可以將晶片機、小烤箱、龍門框架及部分天車軌道組合為一單元進行遷移，設備或製程調整相當靈活；小烤箱與龍門框架、龍門框架的本體、龍門框架與天車軌道間均可利用快拆結構進行快速組裝或快速拆解者。
有關本發明所採用之技術、手段及其功效，茲舉一較佳實施例並配合圖式詳細說明於後，相信本發明上述之目的、構造及特徵，當可由之得一深入而具體的瞭解。
本發明係提供一種機動式天車自動化搬運軌道之設計者。
為使　貴審查委員對本發明之目的、特徵及功效能夠有更進一步之瞭解與認識，茲配合實施方式及圖式詳述如後：
參閱第1、5至8圖所示，本發明提供一種機動式天車自動化搬運軌道，係包含有：
小批量烘烤的複數台小烤箱10，當小批量的晶片加工完成後，即可送進前述小烤箱10進行烘烤；其特徵在於：
前述小烤箱10之一側得以數快拆結構30固定一龍門框架20，所有前述龍門框架20間得以前述數快拆結構30組設有一天車軌道40，前述天車軌道40上得移動設置複數天車50，藉由前述天車50載送前述晶片至各製程，當需要變更製程或移動位置時，只需拆卸前述天車軌道40，使前述小烤箱10移至新位置，將前述天車軌道40再裝回前述小烤箱10上之前述龍門框架20即可。
參閱第5、6圖所示，所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述小烤箱10得接續設置於一半導體製程設備60的旁側，每一前述半導體製程設備60得進行一項前述晶片的製程，前述半導體製程設備60係為一晶片機或一點膠機等製程設備。
參閱第2圖所示，所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述天車軌道40得連接成一個或多個晶片製作流水線(A1)。
參閱第3、4圖所示，所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述天車軌道40得連接成一個或多個晶片製程循環(B1、B2、B3)，前述晶片製程循環(B1、B2、B3)間並得藉由一個以上的換軌裝置70轉換前述天車50的移動路徑，使得前述天車50移到前述天車軌道40或一製程間連接軌道80上。
參閱第3、4圖所示，所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述一個或多個晶片製程循環(B1、B2、B3)除了得以使用與前述小烤箱10結合前述龍門框架20，亦得配合使用一個以上的落地型龍門框架90者。
參閱第7、8圖所示，所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述快拆結構30得包含設有一定位套筒31、一定位套筒孔32、一螺絲33及一螺帽34，前述定位套筒31上設一貫通孔311，前述貫通孔311得供前述螺絲33一端穿過，前述螺絲33一端得鎖於前述螺帽34固定。
參閱第5至8圖所示，所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述龍門框架20得包含數桿體21，其一前述桿體21上得設有前述定位套筒孔32，將前述定位套筒31置入前述定位套筒孔32，而另一前述桿體21上得埋入前述螺帽34，再藉由前述螺絲33一端穿過前述貫通孔311及前述定位套筒孔32而鎖緊於前述螺帽34，進而得以固定兩前述桿體21。
由其上述可知，本發明之機動式天車自動化搬運軌道，確為業界首見而符合發明專利之新穎性要件者，而其全面性之創新設計，符合發明專利之進步性要件，而其小烤箱一側組設一龍門框架，每一半導體製程設備旁側得設小烤箱，得小批量烘烤，而小烤箱之龍門框架間得快速舖設天車軌道完成製程建構；製程改變時，可快速拆移小烤箱至新製程定點，小烤箱之龍門框架間又得以快速舖設天車軌道完成新製程的建構，符合較佳之產業利用性者。
前文係針對本發明之較佳實施例為本發明之技術特徵進行具體之說明；惟，熟悉此項技術之人士當可在不脫離本發明之精神與原則下對本發明進行變更與修改，而該等變更與修改，皆應涵蓋於如下申請專利範圍所界定之範疇中。
綜上所述，本發明係提供一種機動式天車自動化搬運軌道，其確已達到本發明之所有目的，另其組合結構之空間型態未見於同類產品，亦未曾公開於申請前，已符合專利法之規定，爰依法提出申請。
10:小烤箱 20:龍門框架 21:桿體 30:快拆結構 31:定位套筒 311:貫通孔 32:定位套筒孔 33:螺絲 34:螺帽 40:天車軌道 50:天車 60:半導體製程設備 70:換軌裝置 80:製程間連接軌道 90:落地型龍門框架 A1:晶片製作流水線 B1:晶片製程循環 B2:晶片製程循環 B3:晶片製程循環
［第1圖］係為本發明其一實施例之小烤箱與天車軌道搭配立體示意圖。 ［第2圖］係為本發明其一實施例之多個小烤箱及半導體製程設備與多條天車軌道搭配俯視平面示意圖。 ［第3圖］係為本發明其一實施例之其一製程天車軌道俯視平面示意圖。 ［第4圖］係為本發明另一實施例之多種製程天車軌道俯視平面示意圖。 ［第5圖］係為本發明其一實例之一小烤箱搭配一半導體製程設備之右側方向立體示意圖。 ［第6圖］係為本發明其一實例之一小烤箱搭配一半導體製程設備之左側方向立體示意圖。 ［第7圖］係為本發明其一實施例之龍門框架鎖設快拆結構之部分立體分解示意圖。 ［第8圖］係為本發明其一實施例之龍門框架鎖設快拆結構之部分立體示意圖。
10:小烤箱
20:龍門框架
33:螺絲
40:天車軌道

Claims (8)

  1. 一種機動式天車自動化搬運軌道，包括： 小批量烘烤的複數台小烤箱，當小批量的晶片加工完成後，即可送進前述小烤箱進行烘烤；其特徵在於： 前述小烤箱之一側得以固定一龍門框架，所有前述龍門框架間得以數快拆結構組設有一天車軌道，前述天車軌道上得移動設置複數天車，藉由前述天車載送前述晶片至各製程。
  2. 如請求項1所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述小烤箱得接續設置於一半導體製程設備的旁側，每一前述半導體製程設備得進行一項前述晶片的製程。
  3. 如請求項1所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述天車軌道得連接成一個或多個晶片製作流水線。
  4. 如請求項1所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述天車軌道得連接成一個或多個晶片製程循環，前述晶片製程循環間並得藉由一個以上的換軌裝置轉換前述天車的移動路徑，使得前述天車移到前述天車軌道或一製程間連接軌道上。
  5. 如請求項4所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述一個或多個晶片製程循環更可以搭配與前述小烤箱結合的前述龍門框架，使用一個以上的落地型龍門框架者。
  6. 如請求項1所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述快拆結構得包含設有一定位套筒、一定位套筒孔、一螺絲及一螺帽，前述定位套筒上設一貫通孔，前述貫通孔得供前述螺絲一端穿過，前述螺絲一端得鎖於前述螺帽固定。
  7. 如請求項6所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述龍門框架得包含數桿體，其一前述桿體上得設有前述定位套筒孔，將前述定位套筒置入前述定位套筒孔，而另一前述桿體上得埋入前述螺帽，再藉由前述螺絲一端穿過前述貫通孔及前述定位套筒孔而鎖緊於前述螺帽，進而得以固定兩前述桿體。
  8. 如請求項2所述之機動式天車自動化搬運軌道，其中前述半導體製程設備係為一晶片機或一點膠機。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200307638A (en) * 2002-06-06 2003-12-16 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
TW201627580A (zh) * 2015-01-20 2016-08-01 Cheng-Chung Hsu 傢俱快拆結構
CN111631235A (zh) * 2020-06-11 2020-09-08 华天科技（昆山）电子有限公司 一种新型全自动化烤箱
CN215438215U (zh) * 2021-04-27 2022-01-07 太仓华庆汽车配件有限公司 龙门线烤箱防卡死提升驱动链条装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200307638A (en) * 2002-06-06 2003-12-16 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
TW201627580A (zh) * 2015-01-20 2016-08-01 Cheng-Chung Hsu 傢俱快拆結構
CN111631235A (zh) * 2020-06-11 2020-09-08 华天科技（昆山）电子有限公司 一种新型全自动化烤箱
CN215438215U (zh) * 2021-04-27 2022-01-07 太仓华庆汽车配件有限公司 龙门线烤箱防卡死提升驱动链条装置

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