TWI798704B - 多平臺雙面移載裝置及處理系統 - Google Patents

Abstract

本創作系提供一種多平臺雙面移載裝置及處理系統，移載裝置包括移載平臺組及機械手組，移載平臺組對應依次排布的第一工位、第二工位及第三工位設置，移載平臺組包括對應第一工位的入料平臺、對應第二工位的作業平臺組及對應第三工位的出料平臺，作業平臺組包括交替運動至第二工位的第一作業平臺及第二作業平臺，作業平臺組用以放置第一待處理面朝上的工件及第二待處理面朝上的工件，機械手組包括至少兩個機械手，機械手組用以工件的翻轉及工件在複數工位之間的移動。本創作的移載裝置簡化了雙面處理流程，提高了雙面處理效率。

Description

多平臺雙面移載裝置及處理系統

本創作系有關加工設備領域，尤其涉及一種多平臺雙面移載裝置及處理系統。

目前，在很多領域都涉及工件的雙面處理，例如，在PCB(Printed Circuit Board)生產工藝的曝光工序中，需要在PCB板的雙面進行曝光處理，以形成具有雙面印刷線路的電路板。

先前技術中，為了實現PCB板的雙面曝光，需要藉移載裝置來進行PCB工件兩面之間的翻轉及PCB工件在複數工位之間的輸送，而先前的移載裝置普遍存在效率低下、設備複雜等問題。

本創作之目的在於提供一種多平臺雙面移載裝置及處理系統，其可以有效提高效率，且可簡化設備。

為實現前述創作目的之一，本創作一實施方式提供一種多平臺雙面移載裝置，用以處理工件，所述工件包括相對設置的第一待處理面及第二待處理面，所述移載裝置包括移載平臺組及機械手組，所述移載平臺組對應依次排布的第一工位、第二工位及第三工位設置，所述移載平臺 組包括對應第一工位的入料平臺、對應第二工位的作業平臺組及對應第三工位的出料平臺，所述作業平臺組包括交替運動至所述第二工位的第一作業平臺及第二作業平臺，所述入料平臺用以輸入工件，所述作業平臺組用以放置第一待處理面朝上的工件及第二待處理面朝上的工件，所述出料平臺用以輸出工件，所述機械手組包括至少兩個機械手，所述機械手組用以工件的翻轉及工件在複數工位之間的移動。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺由下而上運動至所述第二工位。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺均在第一平面及第二平面內迴圈運動，所述第一平面與所述第二平面上下疊置。

作為本創作一實施方式之進一步改進，任一機械手的最大位移量為兩個相鄰工位。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述機械手組包括翻轉機械手或所述機械手組同時包括翻轉機械手及平移機械手，當所述機械手組包括翻轉機械手時，所述翻轉機械手用以將工件翻轉一預定角度，且所述翻轉機械手用以將工件在複數工位之間移動，當所述機械手組同時包括翻轉機械手及平移機械手時，所述翻轉機械手至少用以將工件翻轉一預定角度，所述平移機械手用以將工件在複數工位之間移動。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述機械手組包括第一機械手及第二機械手，所述第一機械手為翻轉機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並翻轉而暴露出 所述第二待處理面，所述第二機械手靠近所述第一機械手並固定所述第二待處理面，而後所述第二機械手將工件置於所述第二工位處的作業平臺組，且所述第二待處理面朝上。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述第二機械手為翻轉機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並翻轉至垂直於所述第二工位，所述第二機械手翻轉至垂直於所述第二工位並靠近所述第一機械手而固定所述第二待處理面。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述第二機械手為平移機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並翻轉180°而使得所述第二待處理面朝上，所述第二機械手移動至所述第一機械手的上方並固定所述第二待處理面。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述機械手組包括第一機械手及第二機械手，所述第一機械手為平移機械手，所述第二機械手為翻轉機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並上移而使得所述第二待處理面朝下，所述第二機械手移動至所述第一機械手的下方並固定所述第二待處理面，而後所述第二機械手翻轉180°而將工件置於所述第二工位處的作業平臺組，且所述第二待處理面朝上。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述第一機械手在所述第一工位及所述第二工位之間移動，所述第二機械手在所述第二工位及所述第三工位之間移動。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述機械手組還包括 第一平移機械手及第二平移機械手，所述第一平移機械手在所述第一工位及所述第二工位之間移動，所述第二平移機械手在所述第二工位及所述第三工位之間移動。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述翻轉機械手包括一個翻轉吸附面或相對設置的兩個翻轉吸附面，所述平移機械手包括一個平移吸附面，所述翻轉吸附面及所述平移吸附面用以吸附工件。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述第一工位、所述第二工位及所述第三工位依次呈直線分佈。

為實現前述創作目的之一，本創作一實施方式提供一種多平臺雙面處理系統，包括如上所述的多平臺雙面移載裝置及處理裝置，所述處理裝置對應所述第二工位設置，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺在所述第二工位及所述處理裝置之間迴圈運動而實現所述第一待處理面及所述第二待處理面的處理。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述處理系統為曝光系統、光學檢測系統或噴印系統。

作為本創作一實施方式之進一步改進，所述處理系統為曝光系統，所述處理裝置包括曝光機鏡頭及位於所述曝光機鏡頭下方的曝光工位，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺在所述第二工位及所述曝光工位之間迴圈運動。

與先前技術相比，本創作具有如下功效：本創作的移載裝置藉機械手去實現工件的翻轉及移動，簡化了雙面處理流程，提高了雙面處理效率，且移載裝置的結構簡單。

以下結合圖式及實施方式對本創作進一步說明。

10:移載平臺組

100:移載裝置

11:入料平臺

12:作業平臺組

121:第一作業平臺

122:第二作業平臺

13:出料平臺

20:機械手組

200:處理裝置

201:曝光工位

300:曝光系統

G1:第一工位

G2:第二工位

G3:第三工位

H:機械手

H1:翻轉機械手

H1’:翻轉吸附面

H11:第一機械手

H12:第二機械手

H2:平移機械手

H2’:平移吸附面

H21:第一平移機械手

H22:第二平移機械手

S:工件

Sa:第一待處理面

Sb:第二待處理面

P1:第一平面

P2:第二平面

圖1係本創作一實施方式的移載裝置立體圖。

圖2係本創作一實施方式的移載裝置俯視透視圖。

圖3a-圖3p係本創作第一具體實施例的步驟示意圖。

圖4a-圖4r係本創作第二具體實施例的步驟示意圖。

圖5a-圖5r係本創作第三具體實施例的步驟示意圖。

圖6a-圖6s係本創作第四具體實施例的步驟示意圖。

圖7係本創作一實施方式的處理系統俯視透視圖。

圖8係本創作一實施方式的處理系統的框架示意圖。

圖9係本創作第四具體實施例的曝光系統的處理流程。

以下將結合圖示所示的具體實施方式對本創作進行詳細描述。但該等實施方式並不限制本創作，本領域的普通技術人員根據該等實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本創作的保護範圍內。

在本創作的各個圖示中，為了便於圖示，結構或部分的某些尺寸會相對於其它結構或部分誇大，是故，僅用以圖示本創作的主題的基本結構。

另，本文使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空間相對位置的術語是出於便於說明的目的來描 述如圖示中所示之一個單元或特徵相對於另一個單元或特徵的關係。空間相對位置的術語可以旨在包括設備在使用或工作中除了圖中所示方位以外的不同方位。例如，如果將圖中的設備翻轉，則被描述為位於其他單元或特徵“下方”或“之下”的單元將位於其他單元或特徵“上方”。是故，示例性術語“下方”可以囊括上方和下方這兩種方位。設備可以以其他方式被定向(旋轉90°或其他朝向)，並相應地解釋本文使用的與空間相關的描述語。

結合圖1及圖2，為本創作一實施方式的多平臺雙面移載裝置100的示意圖。

本實施方式的移載裝置100用以處理工件S，工件S包括相對設置的第一待處理面Sa及第二待處理面Sb。

這裡，移載裝置100用以實現工件S在複數工位之間的移動、翻轉等操作，以實現工件S的雙面處理。

移載裝置100包括移載平臺組10及機械手組20。

移載平臺組10對應依次排布的第一工位G1、第二工位G2及第三工位G3設置。

這裡，第一工位G1、第二工位G2及第三工位G3依次呈直線分佈，且第一工位G1、第二工位G2及第三工位G3用以承載移載平臺組10，當然，在其他實施方式中，第一工位G1、第二工位G2及第三工位G3也可以呈其他排布方式，另，也可為其他數量的工位，可根據實際情況而定。

移載平臺組10包括對應第一工位G1的入料平臺11、 對應第二工位G2的作業平臺組12及對應第三工位G3的出料平臺13。

入料平臺11用以輸入工件S。

這裡，入料平臺11可連接傳輸帶、輸送滾輪等設備而實現工件S的輸入。

作業平臺組12包括交替運動至第二工位G2的第一作業平臺121及第二作業平臺122，作業平臺組12用以放置第一待處理面Sa朝上的工件S及第二待處理面Sb朝上的工件S。

在一示例中，第一作業平臺121及第二作業平臺122由下而上運動至第二工位G2，換句話說，第一作業平臺121及第二作業平臺122均在第一平面P1及第二平面P2內迴圈運動，第一平面P1與第二平面P2上下疊置。

具體的，第二工位G2位於第一平面P1內，第一平面P1實質為夾設於第一工位G1及第三工位G3之間的狹長平面，第二平面P2與第一平面P1相互對應，且第二平面P2位於第一平面P1的下方，當移載平臺組10處於初始狀態(或者是關閉狀態)時，第一作業平臺121位於第二工位G2，第二作業平臺122位於第二平面P2，且第二作業平臺122位於第一作業平臺121的正下方，而後當移載平臺組10工作時，第一作業平臺121於第一平面P1內遠離第二工位G2運動，第二作業平臺122由下而上運動至第二工位G2，而後第一作業平臺121進入第二平面P2並運動至第二工位G2下方，以此類推，第一作業平臺121及第二作業平臺122交替運動至第二工位G2。

另，當第一作業平臺121位於第二工位G2時，第一作業平臺121用以承載待處理的工件S或者是處理完成的工件S，工件S可以是第一待處理面Sa朝上或第二待處理面Sb朝上，同樣的，當第二作業平臺122位於第二工位G2時，第二作業平臺122用以承載待處理的工件S或者是處理完成的工件S，工件S可以是第一待處理面Sa朝上或第二待處理面Sb朝上，換句話說，第一作業平臺121及第二作業平臺122作用相同，且兩者共用第二工位G2，一方面，第一作業平臺121及第二作業平臺122於上下疊置的第一平面P1、第二平面P2內運動可減小移載裝置100的橫向尺寸，另一方面，兩個作業平臺可大大提高工件S的處理效率。

可以理解的，作業平臺組12也可包括其他數量的作業平臺，或者，複數作業平臺也可沿其他路徑分別運動至第二工位G2，可根據實際情況而定。

出料工位13用以輸出工件S。

這裡，出料工位13可連接傳輸帶、輸送滾輪等設備而實現工件S的輸出。

機械手組20包括至少兩個機械手H，機械手組20用以工件S的翻轉及工件S在複數工位之間的移動。

這裡，翻轉操作主要用以輔助工件S的第一待處理面Sa及第二待處理面Sb之間的轉換，移動操作主要用以實現工件S在複數工位之間的移動，但不以此為限，例如翻轉的同時也可以實現移動，而且，翻轉及移動操作可以藉複數機械手H之間的配合實現。

本實施方式的移載裝置100藉機械手H去實現工件S的翻轉及移動，相較于先前技術中藉滾輪翻轉機構或其他機構實現工件翻轉的方式，本實施方式簡化了雙面處理流程，提高了雙面處理效率，且移載裝置100的結構簡單。

更重要的是，本實施方式的第二工位G2處的平臺(對應第一作業平臺121及第二作業平臺122)是交替進入第二工位G2處的，可減小移載裝置100的橫向尺寸。

在本實施方式中，任一機械手H的最大位移量P為兩個相鄰工位。

這裡，“任一機械手H的最大位移量P為兩個相鄰工位”是指任一機械手H在一個工位處移動和/或翻轉，或者，任一機械手H在相鄰的兩個工位之間移動和/或翻轉，也就是說，任一機械手H的活動區域最多是相鄰的兩個工位。

本實施方式的任一機械手H的最大位移量P為兩個相鄰工位，即任一機械手H的活動區域是有限的，可以有效縮短機械手H的行進距離及操作時間，進而進一步提高雙面處理效率。

在本實施方式中，機械手組20包括翻轉機械手H1，或者，機械手組20同時包括翻轉機械手H1及平移機械手H2。

這裡，翻轉機械手H1定義為可實現工件S角度變化的機械手，翻轉機械手H1用以輔助工件S的第一待處理面Sa及第二待處理面Sb之間的轉換，平移機械手H2定義為可實現工件S在複數工位之間移動的機械手，另，任一機械手H還可以藉升降操作而實 現工件S的抓取、放下等。

需要說明的是，翻轉機械手H1可以僅具備翻轉功能，或者同時具備翻轉及移動的功能，平移機械手H2僅具備移動功能。

當機械手組20包括翻轉機械手H1時，翻轉機械手H1用以將工件S翻轉一預定角度α，且翻轉機械手H1用以將工件S在複數工位之間移動。

也就是說，此時的翻轉機械手H1同時具備了翻轉及移動的功能。

當機械手組20同時包括翻轉機械手H1及平移機械手H2時，翻轉機械手H1至少用以將工件S翻轉一預定角度α，平移機械手H2用以將工件S在複數工位之間移動。

也就是說，此時的翻轉機械手H1可以僅具備翻轉功能，或者同時具備翻轉及移動的功能，平移機械手H2僅具備移動功能。

可以看到，在本創作限定的複數實施方式中，機械手組20可以有多種組合方式，例如，僅藉翻轉機械手H1便可實現工件S的雙面處理，或者，通藉轉機械手H1及平移機械手H2的配合實現工件S的雙面處理，具體可根據實際情況靈活選擇，可匹配各種不同類型的應用環境或各種不同尺寸的應用空間。

可以理解的是，翻轉機械手H1是必須存在的，因為需要藉翻轉機械手H1來進行第一待處理面Sa及第二待處理面Sb之 間的切換，平移操作可以藉平移機械手H2或翻轉機械手H1來實現。

另，需要說明的是，這裡涉及的機械手的組合方式與工位的數量、排布方式有關，當工位數量、排布方式變化時，機械手的組合方式也會隨之發生變化，例如，前述提及的兩種機械手組合方式可以混合使用。

在本實施方式中，當翻轉機械手H1固定工件S之後，翻轉機械手H1翻轉工件S的預定角度α的範圍為90~180°，較佳的，預定角度α為90°或180°。

在本實施方式中，翻轉機械手H1包括一個翻轉吸附面H1’或相對設置的兩個翻轉吸附面H1’，平移機械手H2包括一個平移吸附面H2’，翻轉吸附面H1’及平移吸附面H2’用以吸附工件S。

這裡，當翻轉機械手H1包括相對設置的兩個翻轉吸附面H1’時，可以有效提高翻轉機械手H1的工作效率。

翻轉吸附面H1’及平移吸附面H2’可以是吸盤吸附結構，藉真空吸附方式實現對工件S的吸附固定，但不以此為限。

另，翻轉機械手H1可以藉驅動裝置實現翻轉、升降或平移，平移機械手H2可以藉驅動裝置實現升降、平移，驅動裝置例如可為驅動氣缸等，驅動裝置的具體結構可以參考先前技術中的驅動裝置，在此不再贅述。

下面，就本創作的複數具體實施例做詳細說明。

結合圖3a至圖3m，在第一具體實施例中，機械手組 20包括第一機械手H11及第二機械手H12，第一機械手H11為翻轉機械手，第二機械手H12也為翻轉機械手，當第一待處理面Sa處理完成後，第一機械手H11固定第一待處理面Sa並翻轉而暴露出第二待處理面Sb，第二機械手H12靠近第一機械手H11並固定第二待處理面Sb，而後第二機械手H12將工件S置於第二工位G2處的作業平臺組12，且第二待處理面Sb朝上。

具體的，當第一待處理面Sa處理完成後，第一機械手H11固定第一待處理面Sa並翻轉至垂直於第二工位G2，第二機械手H12翻轉至垂直於第二工位G2並靠近第一機械手H11而固定第二待處理面Sb。

這裡，第一機械手H11還用以將工件S由入料平臺11移動至作業平臺組12，第二機械手H12還用以將工件S由作業平臺組12平移至出料工位13。

結合圖3a至圖3p，為第一具體實施例的移載裝置100具體步驟示意圖。

載裝置100包括位於第一工位G1的入料平臺11、位於第二工位G2的作業平臺組12、位於第三工位G3的出料平臺13、第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12，第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12分別包括一個翻轉吸附面H1’，工件S包括相對設置的第一待處理面Sa及第二待處理面Sb。

這裡，為了便於區別，將工件S的第一待處理面Sa和第二待處理面Sb圖示成不同的面，即第一待處理面Sa為曲面，第 二待處理面Sb為平面，實際操作中，第一待處理面Sa和第二待處理面Sb的形狀不限。

參圖3a，當處於初始狀態時，第一翻轉機械手H11位於入料平臺11的上方，第二翻轉機械手H12位於出料平臺13的上方，作業平臺組12的第一作業平臺121位於第二工位G2，第二作業平臺122位於第一作業平臺121的下方；

參圖3b，第一工件S1輸送至入料平臺11，且第一工件S1的第一待處理面Sa朝上；

參圖3c，第一翻轉機械手H11下降吸附第一工件S1的第一待處理面Sa，而後第一翻轉機械手H11帶動第一工件S1上升並平移至第一作業平臺121的上方，且第二工件S2輸送至入料平臺11；

這裡，第二工件S2也可在其他時間段內輸送至入料平臺11，下面的描述也相同，後續不再贅述。

參圖3d，第一翻轉機械手H11帶動第一工件S1下降並使得第一工件S1置於第一作業平臺121上，且第一待處理面Sa朝上；

參圖3e，當第一工件S1置於第一作業平臺121上後，第一作業平臺121帶動第一工件S1運動至其他裝置，其他裝置會對第一工件S1的第一待處理面Sa進行處理，且當第一作業平臺121離開第二工位G2之後，第二作業平臺122運動至第二工位G2，第一翻轉機械手H11運動至入料平臺11的上方；

參圖3f及圖3g，第一翻轉機械手H11下降吸附第二工件S2的第一待處理面Sa，而後第一翻轉機械手H11帶動第二工件S2上升並移動至第二作業平臺122的上方，第一翻轉機械手H11帶動第二工件S2下降並使得第二工件S2置於第二作業平臺122上，且第一待處理面Sa朝上，第三工件S3輸送至入料平臺11，第一作業平臺121帶動第一待處理面Sa處理完成的第一工件S1運動至第二作業平臺122的下方；

參圖3h，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二工位G2而進行第二工件S2的第一待處理面Sa的處理，且當第二作業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121運動至第二工位G2；

參圖3i，第一翻轉機械手H11吸附第一工件S1的第一待處理面Sa並將第一工件S1朝向出料平臺13的方向翻轉90°，即此時第一翻轉機械手H11逆時針翻轉90°，第二翻轉機械手H12靠近第一翻轉機械手H11並吸附第一工件S1的第二待處理面Sb，第一翻轉機械手H11取消對第一工件S1的吸附，此時便完成了第一工件S1由第一翻轉機械手H11至第二翻轉機械手H12的交付，第二作業平臺122帶動第一待處理面Sa處理完成的第二工件S2運動至第一作業平臺121的下方；

這裡，需要說明的是，此時可以藉增大吸附力來避免第一工件S1從第一翻轉機械手H11或第二翻轉機械手H12處脫落，但不以此為限。

參圖3j，第二翻轉機械手H12吸附第一工件S1的第二待處理面Sb並向第一作業平臺121方向翻轉90°，即此時第二翻轉機械手H12逆時針翻轉90°，第一工件S1的第一待處理面Sa面向第一作業平臺121，第二翻轉機械手H12帶動第一工件S1下降並使得第一工件S1置於第一作業平臺121上，且第二待處理面Sb朝上；

參圖3k，第一作業平臺121帶動第一工件S1離開第二工位G2而進行第一工件S1的第二待處理面Sb的處理，且當第一作業平臺121離開第二工位G2之後，第二作業平臺122運動至第二工位G2；

參圖3l，第一翻轉機械手H11吸附第二工件S2的第一待處理面Sa並將第二工件S2朝向出料平臺13的方向翻轉90°，即此時第一翻轉機械手H11逆時針翻轉90°，第二翻轉機械手H12靠近第一翻轉機械手H11並吸附第二工件S2的第二待處理面Sb，第一翻轉機械手H11取消對第二工件S2的吸附，此時便完成了第二工件S2由第一翻轉機械手H11至第二翻轉機械手H12的交付，第一作業平臺121帶動第二待處理面Sb處理完成的第一工件S1運動至第二作業平臺122的下方；

參圖3m，第二翻轉機械手H12吸附第二工件S2的第二待處理面Sb並向第二作業平臺122方向翻轉90°，即此時第二翻轉機械手H12逆時針翻轉90°，第二工件S2的第一待處理面Sa面向第二作業平臺122，第二翻轉機械手H12帶動第二工件S2下降並使得第二工件S2置於第二作業平臺122上，且第二待處理面Sb朝上；

參圖3n，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二工位G2而進行第二工件S2的第二待處理面Sb的處理，且當第二作業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121運動至第二工位G2，第一翻轉機械手H11下降吸附第三工件S3的第一待處理面Sa；

參圖3o及圖3p，第二翻轉機械手H12下降吸附處理完成的第一工件S1並移動至出料平臺13的上方，而後第二翻轉機械手H12下降而將第一工件S1置於出料平臺13，此時，便完成了第一工件S1的雙面處理，第一翻轉機械手H11帶動第三工件S3移動至第一作業平臺121的上方，而後第一翻轉機械手H11下降而將第三工件S3置於第一作業平臺121，第二作業平臺122帶動第二待處理面Sb處理完成的第二工件S2運動至第一作業平臺121的下方，第四工件S4輸送至入料平臺11。

需要說明的是，本實施方式的第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12的操作時序、工件S的流入、流出時序等都可以根據實際情況而定，時序的控制可藉時序控制器實現，在有效控制整個流程可順利走完的前提下可藉控制各個時序的順序有效縮減操作時間，從而有效提高效率。

另，本實施例中的第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12均為單面吸附面，在其他實施例中，第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12也可具有雙面吸附面。

結合圖4a至圖4q，為本創作第二具體實施例的移載 裝置100的示意圖，為了便於說明，類似的部件採用了類似或相同的編號。

在本實施例中，機械手組20包括第一機械手H11及第二機械手H21，第一機械手H11為翻轉機械手，第二機械手H21為平移機械手，當第一待處理面Sa處理完成後，第一機械手H11固定第一待處理面Sa並翻轉而暴露出第二待處理面Sb，第二機械手H21靠近第一機械手H11並固定第二待處理面Sb，而後第二機械手H21將工件S置於第二工位G2處的作業平臺組12，且第二待處理面Sb朝上。

具體的，當第一待處理面Sa處理完成後，第一機械手H11固定第一待處理面Sa並翻轉180°而使得第二待處理面Sb朝上，第二機械手H21移動至第一機械手H11的上方並固定第二待處理面Sb。

這裡，第一機械手H11還用以將工件S由入料平臺11移動至作業平臺組12，第二機械手H21還用以將工件S由作業平臺組12平移至出料工位13。

結合圖4a至圖4r，為第二具體實施例的移載裝置100具體步驟示意圖。

移載裝置100包括位於第一工位G1的入料平臺11、位於第二工位G2的作業平臺組12、位於第三工位G3的出料平臺13、第一翻轉機械手H11及第一平移機械手H21，第一翻轉機械手H11包括一個翻轉吸附面H1’，第一平移機械手H21包括一個平移吸附 面H2’，工件S包括相對設置的第一待處理面Sa及第二待處理面Sb。

這裡，為了便於區別，將工件S的第一待處理面Sa和第二待處理面Sb圖示成不同的面，即第一待處理面Sa為曲面，第二待處理面Sb為平面，實際操作中，第一待處理面Sa和第二待處理面Sb的形狀不限。

參圖4a，當處於初始狀態時，第一翻轉機械手H11位於入料平臺11的上方，第一平移機械手H21位於出料平臺13的上方，作業平臺組12的第一作業平臺121位於第二工位G2，第二作業平臺122位於第一作業平臺121的下方；

參圖4b，第一工件S1輸送至入料平臺11，且第一工件S1的第一待處理面Sa朝上；

參圖4c，第一翻轉機械手H11下降吸附第一工件S1的第一待處理面Sa，而後第一翻轉機械手H11帶動第一工件S1上升並平移至第一作業平臺121的上方，且第二工件S2輸送至入料平臺11；

參圖4d，第一翻轉機械手H11帶動第一工件S1下降並使得第一工件S1置於第一作業平臺121上，且第一待處理面Sa朝上；

參圖4e，當第一工件S1置於第一作業平臺121上後，第一作業平臺121帶動第一工件S1運動至其他裝置，其他裝置會對第一工件S1的第一待處理面Sa進行處理，且當第一作業平臺121離 開第二工位G2之後，第二作業平臺122運動至第二工位G2，第一翻轉機械手H11運動至入料平臺11的上方；

參圖4f及圖4g，第一翻轉機械手H11下降吸附第二工件S2的第一待處理面Sa，而後第一翻轉機械手H11帶動第二工件S2上升並移動至第二作業平臺122的上方，第一翻轉機械手H11帶動第二工件S2下降並使得第二工件S2置於第二作業平臺122上，且第一待處理面Sa朝上，第三工件S3輸送至入料平臺11，第一作業平臺121帶動第一待處理面Sa處理完成的第一工件S1運動至第二作業平臺122的下方；

參圖4h，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二工位G2而進行第二工件S2的第一待處理面Sa的處理，且當第二作業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121運動至第二工位G2；

參圖4i，第一翻轉機械手H11吸附第一工件S1的第一待處理面Sa並將第一工件S1翻轉180°，第一工件S1的第二待處理面Sb朝上，第一平移機械手H21移動至第一翻轉機械手H11的上方並吸附第一工件S1的第二待處理面Sb，第一翻轉機械手H11取消對第一工件S1的吸附，此時便完成了第一工件S1由第一翻轉機械手H11至第一平移機械手H21的交付，第二作業平臺122帶動第一待處理面Sa處理完成的第二工件S2運動至第一作業平臺121的下方；

參圖4j及圖4k，第一平移機械手H21帶動第一工件S1下降並使得第一工件S1置於第一作業平臺121上，且第二待處理面 Sb朝上，第一平移機械手H21移動至出料平臺13的上方，第三工件S3輸送至入料平臺11；

參圖4l，第一作業平臺121帶動第一工件S1離開第二工位G2而進行第一工件S1的第二待處理面Sb的處理，且當第一作業平臺121離開第二工位G2之後，第二作業平臺122運動至第二工位G2；

參圖4m，第一翻轉機械手H11吸附第二工件S2的第一待處理面Sa並將第二工件S2翻轉180°，第一平移機械手H21移動至第一翻轉機械手H11的上方並吸附第二工件S2的第二待處理面Sb，第一翻轉機械手H11取消對第二工件S2的吸附，此時便完成了第二工件S2由第一翻轉機械手H11至第一平移機械手H21的交付，第一作業平臺121帶動第二待處理面Sb處理完成的第一工件S1運動至第二作業平臺122的下方；

參圖4n及圖4o，第一平移機械手H21帶動第二工件S2下降並使得第二工件S2置於第二作業平臺122上，且第二待處理面Sb朝上；

參圖4p，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二工位G2而進行第二工件S2的第二待處理面Sb的處理，且當第二作業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121運動至第二工位G2，第一翻轉機械手H11下降吸附第三工件S3的第一待處理面Sa；

參圖4q及圖4r，第一平移機械手H21下降吸附處理完 成的第一工件S1並移動至出料平臺13的上方，而後第一平移機械手H21下降而將第一工件S1置於出料平臺13，此時，便完成了第一工件S1的雙面處理，第一翻轉機械手H11帶動第三工件S3移動至第一作業平臺121的上方，而後第一翻轉機械手H11下降而將第三工件S3置於第一作業平臺121，第二作業平臺122帶動第二待處理面Sb處理完成的第二工件S2運動至第一作業平臺121的下方，第四工件S4輸送至入料平臺11。

需要說明的是，本實施方式的第一翻轉機械手H11及第一平移機械手H21的操作時序、工件S的流入、流出時序等都可以根據實際情況而定，時序的控制可藉時序控制器實現，在有效控制整個流程可順利走完的前提下可藉控制各個時序的順序有效縮減操作時間，從而有效提高效率。

另，本實施例中的第一翻轉機械手H11為單面吸附面，在其他實施例中，第一翻轉機械手H11也可具有雙面吸附面。

結合圖5a至圖5r，為本創作第三具體實施例的移載裝置100的示意圖，為了便於說明，類似的部件採用了類似或相同的編號。

在本實施例中，機械手組20包括第一機械手H21及第二機械手H11，第一機械手H21為平移機械手，第二機械手H11為翻轉機械手，當第一待處理面Sa處理完成後，第一機械手H21固定第一待處理面Sa並上移而使得第二待處理面Sb朝下，第二機械手H11移動至第一機械手H21的下方並固定第二待處理面Sb，而後第二機 械手H11翻轉180°而將工件S置於第二工位G2處的作業平臺組12，且第二待處理面Sb朝上。

這裡，第一機械手H21還用以將工件S由入料平臺11移動至作業平臺組12，第二機械手H11還用以將工件S由作業平臺組12平移至出料工位13。

結合圖5a至圖5r，為第三具體實施例的移載裝置100具體步驟示意圖。

移載裝置100包括位於第一工位G1的入料平臺11、位於第二工位G2的作業平臺組12、位於第三工位G3的出料平臺13、第一平移機械手H21及第一翻轉機械手H11，第一平移機械手H21包括一個平移吸附面H2’，第一翻轉機械手H11包括一個翻轉吸附面H1’，工件S包括相對設置的第一待處理面Sa及第二待處理面Sb。

這裡，為了便於區別，將工件S的第一待處理面Sa和第二待處理面Sb圖示成不同的面，即第一待處理面Sa為曲面，第二待處理面Sb為平面，實際操作中，第一待處理面Sa和第二待處理面Sb的形狀不限。

參圖5a，當處於初始狀態時，第一平移機械手H21位於入料平臺11的上方，第一翻轉機械手H11位於出料平臺13的上方，作業平臺組12的第一作業平臺121位於第二工位G2，第二作業平臺122位於第一作業平臺121的下方；

參圖5b，第一工件S1輸送至入料平臺11，且第一工 件S1的第一待處理面Sa朝上；

參圖5c，第一平移機械手H21下降吸附第一工件S1的第一待處理面Sa，而後第一平移機械手H21帶動第一工件S1上升並平移至第一作業平臺121的上方，且第二工件S2輸送至入料平臺11；

參圖5d，第一平移機械手H21帶動第一工件S1下降並使得第一工件S1置於第一作業平臺121上，且第一待處理面Sa朝上；

參圖5e，當第一工件S1置於第一作業平臺121上後，第一作業平臺121帶動第一工件S1運動至其他裝置，其他裝置會對第一工件S1的第一待處理面Sa進行處理，且當第一作業平臺121離開第二工位G2之後，第二作業平臺122運動至第二工位G2，第一平移機械手H21運動至入料平臺11的上方；

參圖5f及圖5g，第一平移機械手H21下降吸附第二工件S2的第一待處理面Sa，而後第一平移機械手H21帶動第二工件S2上升並移動至第二作業平臺122的上方，第一平移機械手H21帶動第二工件S2下降並使得第二工件S2置於第二作業平臺122上，且第一待處理面Sa朝上，第三工件S3輸送至入料平臺11，第一作業平臺121帶動第一待處理面Sa處理完成的第一工件S1運動至第二作業平臺122的下方；

參圖5h，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二工位G2而進行第二工件S2的第一待處理面Sa的處理，且當第二作 業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121運動至第二工位G2；

參圖5i，第一平移機械手H21吸附第一工件S1的第一待處理面Sa並上升，第一工件S1的第二待處理面Sb朝下，第一翻轉機械手H11翻轉，而後移動至第一平移機械手H21的下方並吸附第一工件S1的第二待處理面Sb，第一平移機械手H21取消對第一工件S1的吸附，此時便完成了第一工件S1由第一平移機械手H21至第一翻轉機械手H11的交付，第二作業平臺122帶動第一待處理面Sa處理完成的第二工件S2運動至第一作業平臺121的下方；

參圖5j及圖5k，第一翻轉機械手H11帶動第一工件S1翻轉180°，而後第一翻轉機械手H11帶動第一工件S1下降並使得第一工件S1置於第一作業平臺121上，且第二待處理面Sb朝上，第一翻轉機械手H11移動至出料平臺13的上方，第三工件S3輸送至入料平臺11；

參圖5l，第一作業平臺121帶動第一工件S1離開第二工位G2而進行第一工件S1的第二待處理面Sb的處理，且當第一作業平臺121離開第二工位G2之後，第二作業平臺122運動至第二工位G2；

參圖5m，第一平移機械手H21吸附第二工件S2的第一待處理面Sa並上升，第二工件S2的第二待處理面Sb朝下，第一翻轉機械手H11翻轉，而後移動至第一平移機械手H21的下方並吸附第二工件S2的第二待處理面Sb，第一平移機械手H21取消對第二工 件S2的吸附，此時便完成了第二工件S2由第一平移機械手H21至第一翻轉機械手H11的交付，第一作業平臺121帶動第二待處理面Sb處理完成的第一工件S1運動至第二作業平臺122的下方；

參圖5n及圖5o，第一翻轉機械手H11帶動第二工件S2翻轉180°，而後第一翻轉機械手H11帶動第二工件S2下降並使得第二工件S2置於第二作業平臺122上，且第二待處理面Sb朝上，第一平移機械手H21下降吸附第三工件S3的第一待處理面Sa；

參圖5p，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二工位G2而進行第二工件S2的第二待處理面Sb的處理，且當第二作業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121運動至第二工位G2；

參圖5q及圖5r，第一翻轉機械手H11下降吸附處理完成的第一工件S1並移動至出料平臺13的上方，而後第一翻轉機械手H11下降而將第一工件S1置於出料平臺13，此時，便完成了第一工件S1的雙面處理，第一平移機械手H21帶動第三工件S3移動至第一作業平臺121的上方，而後第一平移機械手H21下降而將第三工件S3置於第一作業平臺121，第二作業平臺122帶動第二待處理面Sb處理完成的第二工件S2運動至第一作業平臺121的下方，第四工件S4輸送至入料平臺11。

需要說明的是，本實施方式的第一平移機械手H21及第一翻轉機械手H11的操作時序、工件S的流入、流出時序等都可以根據實際情況而定，時序的控制可藉時序控制器實現，在有 效控制整個流程可順利走完的前提下可藉控制各個時序的順序有效縮減操作時間，從而有效提高效率。

另，本實施例中的第一翻轉機械手H11為單面吸附面，在其他實施例中，第一翻轉機械手H11也可具有雙面吸附面。

結合圖6a至圖6s，為本創作第四具體實施例的移載裝置100的示意圖，為了便於說明，類似的部件採用了類似或相同的編號。

在本實施例中，機械手組20包括第一機械手H11及第二機械手H12，第一機械手H11為第一翻轉機械手H11，第二機械手H12為第二翻轉機械手H12，當第一待處理面Sa處理完成後，第一翻轉機械手H11固定第一待處理面Sa並翻轉而暴露出第二待處理面Sb，第二翻轉機械手H12靠近第一翻轉機械手H11並固定第二待處理面Sb，而後第二翻轉機械手H12將工件S置於第二工位G2處的作業平臺組12，且第二待處理面Sb朝上。

具體的，當第一待處理面Sa處理完成後，第一翻轉機械手H11固定第一待處理面Sa並翻轉至垂直於第二工位G2，第二翻轉機械手H12翻轉至垂直於第二工位G2並靠近第一翻轉機械手H11而固定第二待處理面Sb。

這裡，機械手組20還包括第一平移機械手H21及第二平移機械手H22，第一平移機械手H21在第一工位G1及第二工位G2之間移動，第二平移機械手H22在第二工位G2及第三工位G3之間移動。

結合圖6a至圖6p，為第四具體實施例的移載裝置100具體步驟示意圖。

移載裝置100包括位於第一工位G1的入料平臺11、位於第二工位G2的作業平臺組12、位於第三工位G3的出料平臺13、第一翻轉機械手H11、第二翻轉機械手H12、第一平移機械手H21及第二平移機械手H22，第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12分別包括一個翻轉吸附面H1’，第一平移機械手H21及第二平移機械手H22分別包括一個平移吸附面H2’，工件S包括相對設置的第一待處理面Sa及第二待處理面Sb。

這裡，為了便於區別，將工件S的第一待處理面Sa和第二待處理面Sb圖示成不同的面，即第一待處理面Sa為曲面，第二待處理面Sb為平面，實際操作中，第一待處理面Sa和第二待處理面Sb的形狀不限。

參圖6a，當處於初始狀態時，第一平移機械手H21及第一翻轉機械手H11位於入料平臺11的上方，第二平移機械手H22及第二翻轉機械手H12位於出料平臺13的上方，作業平臺組12的第一作業平臺121位於第二工位G2，第二作業平臺122位於第一作業平臺121的下方；

這裡，第一翻轉機械手H11大致位於入料平臺11及第一作業平臺121的中間位置，且第一翻轉機械手H11垂直於入料平臺11，第一翻轉機械手H11的旋轉軸位於下方位置，第二翻轉機械手H12大致位於出料平臺13及第一作業平臺121的中間位置，且第 二翻轉機械手H12垂直於出料平臺13，第二翻轉機械手H12的旋轉軸位於中間位置。

參圖6b，第一工件S1輸送至入料平臺11，且第一工件S1的第一待處理面Sa朝上；

參圖6c，第一平移機械手H21下降吸附第一工件S1的第一待處理面Sa，而後第一平移機械手H21帶動第一工件S1上升並平移至第一作業平臺121的上方，且第二工件S2輸送至入料平臺11；

參圖6d，第一平移機械手H21帶動第一工件S1下降並使得第一工件S1置於第一作業平臺121上，且第一待處理面Sa朝上；

參圖6e及圖6f，當第一工件S1置於第一作業平臺121上後，第一作業平臺121帶動第一工件S1運動至其他裝置，其他裝置會對第一工件S1的第一待處理面Sa進行處理，且當第一作業平臺121離開第二工位G2之後，第二作業平臺122運動至第二工位G2，第一平移機械手H21運動至入料平臺11的上方，且第一平移機械手H21下降吸附第二工件S2的第一待處理面Sa，第一平移機械手H21帶動第二工件S2上升並移動至第二作業平臺122的上方，第一平移機械手H21帶動第二工件S2下降並使得第二工件S2置於第二作業平臺122上，且第一待處理面Sa朝上，第三工件S3輸送至入料平臺11；

參圖6g，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二 工位G2而進行第二工件S2的第一待處理面Sa的處理，且當第二作業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121運動至第二工位G2，第一平移機械手H21移動至入料平臺11的上方並下降吸附第三工件S3的第一待處理面Sa；

參圖6h，第一翻轉機械手H11吸附第一工件S1的第一待處理面Sa並將第一工件S1朝向出料平臺13的方向翻轉90°，即此時第一翻轉機械手H11逆時針翻轉90°，第二翻轉機械手H12靠近第一翻轉機械手H11並吸附第一工件S1的第二待處理面Sb，第一翻轉機械手H11取消對第一工件S1的吸附，此時便完成了第一工件S1由第一翻轉機械手H11至第二翻轉機械手H12的交付，第一平移機械手H21帶動第三工件S3平移至第一作業平臺121的上方，而後第一平移機械手H21下降而將第三工件S3置於第一作業平臺121，且第一待處理面Sa朝上；

參圖6i，第一作業平臺121帶動第三工件S3離開第二工位G2，第二作用平臺122帶動第一待處理面Sa處理完成的第二工件S2運動至第一作業平臺121的下方，第二翻轉機械手H12帶動第一工件S1朝靠近出料工位13的方向運動，第一平移機械手H21運動至入料平臺11的上方並吸附第四工件S4，第五工件S5傳輸至入料平臺11；

參圖6j，第一翻轉機械手H11吸附第二工件S2的第一待處理面Sa並將第二工件S2朝向出料平臺13的方向翻轉90°，即此時第一翻轉機械手H11逆時針翻轉90°，第二翻轉機械手H12帶動第 一工件S1朝向第二作業平臺122方向翻轉90°，而後第二翻轉機械手H12下降而將第一工件S1置於第二作業平臺122，第一工件S1的第二待處理面Sb朝上，第一作業平臺121帶動第一待處理面Sa處理完成的第三工件S3運動至第二作業平臺122的下方；

參圖6k及圖6l，第二作業平臺122帶動第一工件S1離開第二工位G2，第一作業平臺121上升至第二工位G2，第二翻轉機械手H12靠近第一翻轉機械手H11並吸附第二工件S2的第二待處理面Sb，第一翻轉機械手H11取消對第二工件S2的吸附，此時便完成了第二工件S2由第一翻轉機械手H11至第二翻轉機械手H12的交付，而後第二翻轉機械手H12帶動第二工件S2朝靠近出料工位13的方向運動；

參圖6m及圖6n，第一翻轉機械手H11吸附第三工件S3的第一待處理面Sa並將第三工件S3朝向出料平臺13的方向翻轉90°，即此時第一翻轉機械手H11逆時針翻轉90°，第一平移機械手H21帶動第四工件S4移動至第一作業平臺121的上方，而後第一平移機械手H21帶動第四工件S4下降而將第四工件S4置於第一作業平臺121，第二作業平臺122帶動第二待處理面Sb處理完成的第一工件S1運動至第一作業平臺121的下方；

參圖6o，第一作業平臺121帶動第四工件S4離開第二工位G2，第二作業平臺122帶動第一工件S1上升至第二工位G2，第二平移機械手H22移動至第二作業平臺122的上方並吸附第一工件S1，而後第二平移機械手H22帶動第一工件S1移動至出料平臺13， 此時，完成了第一工件S1的雙面處理，第二翻轉機械手H12朝向第二作業平臺122方向翻轉90°，並下降而將第二工件S2置於第二作業平臺122，第二工件S2的第二待處理面Sb朝上，第一作業平臺121帶動第一待處裡面Sa處理完成的第四工件S4運動至第二作業平臺122的下方，第一平移機械手H21吸附第五工件S5的第一待處理面Sa，第六工件S6傳輸至入料平臺11；

參圖6p，第二作業平臺122帶動第二工件S2離開第二工位G2，第一作業平臺121帶動第四工件S4上升至第二工位G2，第二翻轉機械手H12靠近第一翻轉機械手H11並吸附第三工件S3的第二待處理面Sb，第一翻轉機械手H11取消對第三工件S3的吸附，此時便完成了第三工件S3由第一翻轉機械手H11至第二翻轉機械手H12的交付；

參圖6q及圖6r，第二翻轉機械手H12帶動第三工件S3朝靠近出料工位13的方向運動，第一翻轉機械手H11吸附第四工件S4的第一待處理面Sa並將第四工件S4朝向出料平臺13的方向翻轉90°，即此時第一翻轉機械手H11逆時針翻轉90°，第一平移機械手H21帶動第五工件S5移動至第一作業平臺121的上方，而後第一平移機械手H21下降而將第五工件S5置於第一作業平臺121；

參圖6s，第一作業平臺121帶動第五工件S5離開第二工位G2，第二作業平臺122帶動第二工件S2上升至第二工位G2，第二平移機械手H22移動至第二作業平臺122的上方並吸附第二工件S2，而後第二平移機械手H22帶動第二工件S2移動至出料平臺13， 此時完成了第二工件S2的雙面處理，第二翻轉機械手H12朝向第二作業平臺122方向翻轉90°，並下降而將第三工件S3置於第二作業平臺122，第三工件S3的第二待處理面Sb朝上，第一作業平臺121帶動第一待處裡面Sa處理完成的第五工件S5運動至第二作業平臺122的下方，第一平移機械手H21吸附第六工件S6的第一待處理面Sa，第七工件S7傳輸至入料平臺11。

需要說明的是，本實施方式的第一翻轉機械手H11、第二翻轉機械手H12、第一平移機械手H21及第二平移機械手H22的操作時序、工件S的流入、流出時序等都可以根據實際情況而定，時序的控制可藉時序控制器實現，在有效控制整個流程可順利走完的前提下可藉控制各個時序的順序有效縮減操作時間，從而有效提高效率。

另，本實施例中的第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12均為單面吸附面，在其他實施例中，第一翻轉機械手H11及第二翻轉機械手H12也可具有雙面吸附面。

可以理解的是，本實施例結合了第一平移機械手H21及第二平移機械手H22來實現工件S在入料平臺11與作業平臺組12之間以及作業平臺組12與出料平臺13之間的移動，可大大提高效率，當然，在其他實施例中，也可以僅結合一個平移機械手，即此時的機械手組20包括兩個翻轉機械手及一個平移機械手。

另，第一至第三實施例中的機械手組20也可結合一個或兩個平移機械手來提高效率。

綜上所述，本創作提供了移載裝置100的四種具體實施例，可以理解的，本創作的移載裝置100並不僅限於前述四種具體實施例，另，四種具體實施例也可組合形成新的實施例。

結合圖7及圖8，本創作一實施方式還提供一種多平臺雙面處理系統300。

多平臺雙面處理系統300包括多平臺雙面移載裝置100及處理裝置200，處理裝置200對應第二工位G2設置，處理裝置200用以處理第一待處理面Sa及第二待處理面Sb，第一作業平臺121及第二作業平臺122在第二工位G2及處理裝置200之間迴圈運動而實現第一待處理面Sa及第二待處理面Sb的處理。

在本實施方式中，處理系統300可為曝光系統(Laser direct imaging，LDI)、光學檢測系統(Automated Optical Inspection，AOI)或噴印系統(Inkjet)，當然，也可以是其他需要進行雙面處理的系統。

工件S可為PCB板或其他需要雙面處理的工件。

本實施方式的處理系統300以曝光系統300為例，曝光系統300用以對PCB板的正面和背面進行曝光處理，此時，正面即為第一待處理面Sa，背面即為第二待處理面Sb。

處理裝置200包括曝光機鏡頭及位於曝光機鏡頭下方的曝光工位201，曝光工位201與第二工位G2位於同一平面，第一作業平臺121及第二作業平臺122在第二工位G2及曝光工位201之間迴圈運動，以第一作業平臺121為例，第一作業平臺121由第二 工位G2運動至曝光工位201進行曝光處理，而後第一作業平臺121下降並運動至第二工位G2的下方，待第二作業平臺122離開第二工位G2之後，第一作業平臺121上升至第二工位G2。

下面，參圖9，以曝光系統300為例，結合前述第四具體實施例的說明詳細解釋本創作的曝光系統300的工作效率問題。

第四實施例中的機械手組20包括第一翻轉機械手H11、第二翻轉機械手H12、第一平移機械手H21及第二平移機械手H22。

參圖9，橫坐標為時間，縱坐標對應各個機械手的操作過程及工件S雙面的曝光過程，在對應時間段內，處於高位代表在該時間段內進行了相關操作。

具體的，A1-A5對應第一平移機械手H21的操作過程，在本實施例中，初始狀態時，第一平移機械手H21已經吸附工件S，故此時省略了A1操作，A1實質表示第一平移機械手H21下降吸附工件S後上升(參考13-13.5s的時間段)；A2表示在第0-0.5s時間段內第一平移機械手H21帶動工件S平移至第一等待工位12的上方；A3表示在第0.5-1s時間段內第一平移機械手H21下降並將工件S置於作業平臺組12；A4表示在第1-1.5s時間段內第一平移機械手H21上升；A5表示在第1.5-2.5s時間段內第一平移機械手H21平移至入料平臺11的上方。

L1表示第一作業平臺121的操作過程，在1-11s的時間 段內，第一作業平臺121傳輸至曝光工位201依次進行對位曝光操作(大約7s)、第一作業平臺121在曝光工位201處下降(大約0.5s)、第一作業平臺121回到第二工位G2處(大約2s)、第一作業平臺121與第二作業平臺122交換並上升至第二工位G2(大約0.5s)。

B1-B4對應第一翻轉機械手H11的操作過程，B1表示在第11-11.5s時間段內第一翻轉機械手H11翻轉下降並吸取工件S；B2表示在第11.5-12.5s時間段內第一翻轉機械手H11吸附住工件；B3表示在第12.5-13s時間段內第一翻轉機械手H11帶動工件S翻轉90°並上升；B4表示在第13-14.5時間段內第一翻轉機械手H11與第二翻轉機械手H12之間到達工件交付位置。

C1-C5對應第二翻轉機械手H12的操作過程，C1表示在第13-14.5時間段內第一翻轉機械手H11與第二翻轉機械手H12之間到達工件交付位置；C2表示在第14.5-16s時間段內工件S交付至第二翻轉機械手H12；C3表示在第16-21s時間段內第二翻轉機械手H12處於等待位置；C4表示在第21-22s時間段內第二翻轉機械手H12將公交S交付至第二作業平臺122；C4表示在第22-23.5s時間段內返回至等待位置。

L2表示第二作業平臺122的操作過程，在22-32s的時間段內，第二作業平臺122傳輸至曝光工位201依次進行對位曝光操作(大約7s)、第二作業平臺122在曝光工位201處下降(大約0.5s)、第二作業平臺122回到第二工位G2處(大約2s)、第二作業平臺122與第一作業平臺121交換並上升至第二工位G2(大約0.5s)。

D1-D5對應第二平移機械手H22的操作過程，D1表示在第32-32.5s時間段內第二平移機械手H22移動至第二作業平臺122的上方；D2表示在第32.5-33.5s時間段內第二平移機械手H22下降吸附工件S；D3表示在第33.5-34s時間段內第二平移機械手H22上升；D4表示在第34-35s時間段內第二平移機械手H22帶動工件S交付至出料平臺13；D5表示在第35-35.5s時間段內第二平移機械手H22上升而恢復原位。

可以理解的，為了避免機械手之間相互干擾，也可對時序進行了一些調整。

可以看到，以相鄰兩個工件S輸出的時間間隔作為一工件S的處理週期T，第一工件S1的輸出時刻為第35.5s，第二工件S2的輸出時刻為第49.5s，那麼，此時的處理週期T即為14s，遠遠低於先前技術的處理週期。

在本實施例中，一方面，由於每個機械手H最多僅在兩個工位之間移動，藉配合可有效優化各個機械手的操作時序，從而盡可能多地降低處理週期T，另一方面，在曝光處理時間段內，第一翻轉機械手H11與第二翻轉機械手H12之間進行工件S的交付，且第一作業平臺121與第二作業平臺122交替移動至第二工位G2，如此，可有效利用曝光處理時間，從而進一步降低處理週期T。

綜上所述，本創作的移載裝置100藉機械手H去實現工件S的翻轉及移動，相較于先前技術中藉滾輪翻轉機構或其他機構實現工件翻轉的方式，本實施方式簡化了雙面處理流程，提高 了雙面處理效率，且移載裝置100的結構簡單。

本創作之任一機械手H的最大位移量P為兩個相鄰工位，即任一機械手H的活動區域是有限的，可以有效縮短機械手H的行進距離及操作時間，進而進一步提高雙面處理效率。

應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但並非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施方式中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。

上文所列出之一系列的詳細說明僅僅是針對本創作的可行性實施方式的具體說明，它們並非用以限制本創作的保護範圍，凡未脫離本創作技藝精神所作的等效實施方式或變更均應包含在本創作的保護範圍之內。

100:移載裝置

11:入料平臺

12:作業平臺組

121:第一作業平臺

122:第二作業平臺

13:出料平臺

G1:第一工位

G2:第二工位

G3:第三工位

H1’:翻轉吸附面

H11:第一機械手

H12:第二機械手

H2’:平移吸附面

H21:第一平移機械手

H22:第二平移機械手

Claims (14)

1. 一種多平臺雙面移載裝置，用以處理工件，所述工件包括相對設置的第一待處理面及第二待處理面，包括，移載平臺組及機械手組，所述移載平臺組對應依次排布的第一工位、第二工位及第三工位設置，所述移載平臺組包括對應第一工位的入料平臺、對應第二工位的作業平臺組及對應第三工位的出料平臺，所述作業平臺組包括交替運動至所述第二工位的第一作業平臺及第二作業平臺，所述入料平臺用以輸入工件，所述作業平臺組用以放置第一待處理面朝上的工件及第二待處理面朝上的工件，所述出料平臺用以輸出工件，所述機械手組包括至少兩個機械手，所述機械手組用以工件的翻轉及工件在複數工位之間的移動，其中，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺由下而上運動至所述第二工位，所述機械手組包括翻轉機械手或所述機械手組同時包括翻轉機械手及平移機械手，當所述機械手組包括翻轉機械手時，所述翻轉機械手用以將工件翻轉一預定角度，且所述翻轉機械手用以將工件在複數工位之間移動，當所述機械手組同時包括翻轉機械手及平移機械手時，所述翻轉機械手至少用以將工件翻轉一預定角度，所述平移機械手用以將工件在複數工位之間移動。
2. 如請求項1所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺均在第一平面及第二平面內迴圈運動，所述第一平面與所述第二平面上下疊置。
3. 如請求項1所述之多平臺雙面移載裝置，其中，任一機械手的最大位移量為兩個相鄰工位。
4. 如請求項1所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述機械手組包括第一機械手及第二機械手，所述第一機械手為翻轉機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並翻轉而暴露出所述第二待處理面，所述第二機械手靠近所述第一機械手並固定所述第二待處理面，而後所述第二機械手將工件置於所述第二工位處的作業平臺組，且所述第二待處理面朝上。
5. 如請求項4所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述第二機械手為翻轉機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並翻轉至垂直於所述第二工位，所述第二機械手翻轉至 垂直於所述第二工位並靠近所述第一機械手而固定所述第二待處理面。
6. 如請求項4所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述第二機械手為平移機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並翻轉180°而使得所述第二待處理面朝上，所述第二機械手移動至所述第一機械手的上方並固定所述第二待處理面。
7. 如請求項1所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述機械手組包括第一機械手及第二機械手，所述第一機械手為平移機械手，所述第二機械手為翻轉機械手，當所述第一待處理面處理完成後，所述第一機械手固定所述第一待處理面並上移而使得所述第二待處理面朝下，所述第二機械手移動至所述第一機械手的下方並固定所述第二待處理面，而後所述第二機械手翻轉180°而將工件置於所述第二工位處的作業平臺組，且所述第二待處理面朝上。
8. 如請求項4至7任意一項所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述第一機械手在所述第一工位及所述第二工位之間移動，所述第二機械手在所述第二工位及所述第三工位之間移動。
9. 如請求項4至7任意一項所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述機械手組還包括第一平移機械手及第二平移機械手，所述第一平移機械手在所述第一工位及所述第二工位之間移動，所述第二平移機械手在所述第二工位及所述第三工位之間移動。
10. 如請求項1所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述翻轉機械手包括一個翻轉吸附面或相對設置的兩個翻轉吸附面，所述平移機械手包括一個平移吸附面，所述翻轉吸附面及所述平移吸附面用以吸附工件。
11. 如請求項1所述之多平臺雙面移載裝置，其中，所述第一工位、所述第二工位及所述第三工位依次呈直線分佈。
12. 一種多平臺雙面處理系統，包括如請求項1所述之多平臺雙面移載裝置及處理裝置，所述處理裝置對應所述第二工位設置，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺在所述第二工位及所述處理裝置之間迴圈運動而實現所述第一待處理面及所述第二待處理面的處理。
13. 如請求項12所述之多平臺雙面處理系統，其中，所述處理系統為曝光系統、光學檢測系統或噴印系統。
14. 如請求項12所述之多平臺雙面處理系統，其中，所述處理系統為曝光系統，所述處理裝置包括曝光機鏡頭及位於所述曝光機鏡頭下方的曝光工位，所述第一作業平臺及所述第二作業平臺在所述第二工位及所述曝光工位之間迴圈運動。

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