TWI789913B - 利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾波器 - Google Patents

利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾波器 Download PDF

Info

Publication number
TWI789913B
TWI789913B TW110134701A TW110134701A TWI789913B TW I789913 B TWI789913 B TW I789913B TW 110134701 A TW110134701 A TW 110134701A TW 110134701 A TW110134701 A TW 110134701A TW I789913 B TWI789913 B TW I789913B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
conductive
bus bar
electrodes
bar
strip
Prior art date
Application number
TW110134701A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202315312A (zh
Inventor
蕭智中
黃寶得
Original Assignee
台灣嘉碩科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 台灣嘉碩科技股份有限公司 filed Critical 台灣嘉碩科技股份有限公司
Priority to TW110134701A priority Critical patent/TWI789913B/zh
Priority to US17/945,707 priority patent/US20230078097A1/en
Application granted granted Critical
Publication of TWI789913B publication Critical patent/TWI789913B/zh
Publication of TW202315312A publication Critical patent/TW202315312A/zh

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14538—Formation
    • H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02929—Means for compensation or elimination of undesirable effects of ageing changes of characteristics, e.g. electro-acousto-migration

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

一種表面聲波諧振器包含一指叉轉換器。該指叉轉換器包含一導電格柵和複數實際電極。該導電格柵包含在該導電格柵的第一側上的一匯流條、複數啞電極、和在該導電格柵的第二側上的一導電條。該匯流條具有一訊號傳輸端。該複數啞電極直接延伸自該匯流條。該導電條相對於該匯流條。各該複數實際電極係延伸自該導電條。該導電條能夠是一反射條。

Description

利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾 波器
本揭露是關於一諧振器和一濾波器，且特別是關於利用的一有效反射結構的一表面聲波諧振器和一表面聲波濾波器。
表面聲波技術在無線電電子和射頻中具有許多不同應用。使用該表面聲波技術的一表面聲波諧振器能夠被應用到一訊號濾波操作。請參閱圖1，其為在先前技術中一表面聲波諧振器100的一示意圖。該表面聲波諧振器100設置於一壓電基板110上，並包含一指叉轉換器(Interdigital transducer)120、一反射器130和相對於該反射器130的一反射器140。
請參閱圖2，其為在圖1中該表面聲波諧振器100的一訊號功率示意圖。如圖2所示，該表面聲波諧振器100用於一表面聲波濾波器，並具有一下截止頻率FC1、一上截止頻率FC2、和在該下截止頻率FC1與該上截止頻率FC2之間的一諧振頻率範圍RH1。該表面聲波濾波器具有一代表性操作頻率2442MHz。該表面聲波諧振器100的一輸出功率在該諧振頻率範圍RH1中具有一相對大的功 率變化。為了降低該相對大的功率變化，有需求對現有的表面聲波諧振器進行改善。
美國第US7,671,705 B2號公告專利揭露一表面聲波濾波器和諧振器，該表面聲波濾波器和諧振器使用具有一電性開放端的一分支電極。
本揭露的一目的在於提供一種包含一指叉轉換器的一表面聲波諧振器，該指叉轉換器具有一導電格柵以改善該表面聲波諧振器在一諧振頻率範圍中的輸出功率穩定性。
本揭露的一實施例在於提供一種表面聲波諧振器。該表面聲波諧振器包含一指叉轉換器。該指叉轉換器設置於一壓電基板上，並包含一第一導電格柵和第一複數實際電極。該第一導電格柵包含在該第一導電格柵的第一側上的一第一匯流條、直接延伸自該第一匯流條的第一複數啞電極、在該第一導電格柵的第二側上的一第一導電條、和設置於該第一匯流條和該第一導電條之間的第一複數內條。該第一匯流條具有一第一訊號傳輸端。該第一導電條相對於該第一匯流條。各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
本揭露的另一實施例在於提供一種表面聲波諧振器。該表面聲波諧振器包含一指叉轉換器。該指叉轉換器設置於一壓電基板上，並包含一第一導電格柵和第一複數實際電極。該第一導電格柵包含在該第一導電格柵的第一側上的一第一匯流條、直接延伸自該第一匯流條的 第一複數啞電極、在該第一導電格柵的第二側上的一第一導電條、和設置於該第一匯流條和該第一導電條之間的一第一內條。該第一匯流條具有一第一訊號傳輸端。該第一導電條相對於該第一匯流條。各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
本揭露的另一實施例在於提供一種表面聲波諧振器。該表面聲波諧振器包含一指叉轉換器。該指叉轉換器包含一第一導電格柵和第一複數實際電極。該第一導電格柵包含在該第一導電格柵的第一側上的一第一匯流條、直接延伸自該第一匯流條的第一複數啞電極、和在該第一導電格柵的第二側上的一第一導電條。該第一匯流條具有一第一訊號傳輸端。該第一導電條相對於該第一匯流條。各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
本揭露的另一實施例在於提供一種表面聲波濾波器。該表面聲波濾波器包含一指叉轉換器。該指叉轉換器設置於一壓電基板上，並包含一第一導電格柵和第一複數實際電極。該第一導電格柵包含在該第一導電格柵的第一側上的一第一匯流條、直接延伸自該第一匯流條的第一複數啞電極、在該第一導電格柵的第二側上的一第一導電條、和設置於該第一匯流條和該第一導電條之間的第一複數內條。該第一匯流條具有一第一訊號傳輸端。該第一導電條相對於該第一匯流條。各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
100、301、302、303:表面聲波諧振器
200、201:表面聲波濾波器
110:壓電基板
120:指叉轉換器
130、140:反射器
210:串聯諧振器
21A、21B、22A、22B:訊號傳輸端
220:分流諧振器
272:第一埠
274:第二埠
280:接地端
306:特定諧振器
320:壓電基板
400:指叉轉換器
451、452、471、472:實際電極
500:第一導電格柵
502、702:第一側
504、704:第二側
520:第一匯流條
52A、52B、54A、54B、56A、56B、56C、56D、56E、56F、72A、72B、74A、74B、76A、76B、76C、76D、76E、76F:條終端段
527:第一訊號傳輸端
540:第一導電條
561:內條、第一內條
562:內條、第二內條
567:第一內條
610、611、612、619、810、811、812、819:啞電極
631、632、651、652、671、672、831、832、851、852、871、872:導電連接段
630、650、670:第一特定連接段
639、659、679:第三特定連接段
640、649、660、669、680、689:封閉空隙
700:第二導電格柵
720:第二匯流條
727:第二訊號傳輸端
740:第二導電條
761、762:內條
767:第二內條
830、850、870:第五特定連接段
839、859、879:第六特定連接段
840、849、860、869、880、889:開放空隙
900、910、920、930、940:訊號處理系統
90A、90B、91A、91B、92A、92B、93A:實施結構
C11、C12、C21、C22、C31、C32:濾波特性曲線
DG1:第一間隔距離
DG2:第二間隔距離
DG3:第三間隔距離
DG4:第四間隔距離
DH1、DH2:間隔距離
FC1:下截止頻率
FC2:上截止頻率
FR1:特定諧振頻率
LE1:電極長度
N1:數目
RH1:諧振頻率範圍
WB1:條寬度
λ:周期性電極距離
本揭露得藉由下列圖式之詳細說明，俾得更 深入之瞭解：
圖1：在先前技術中一表面聲波諧振器的一示意圖。
圖2：為在圖1中該表面聲波諧振器的一訊號功率示意圖。
圖3：為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統的一示意圖。
圖4：為在圖3中該訊號處理系統的一實施結構的一示意圖。
圖5：為在圖3中該訊號處理系統的一實施結構的一示意圖。
圖6：為在圖3中一指叉轉換器的一部分結構的一示意圖。
圖7：為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統的一示意圖。
圖8：為在圖7中該訊號處理系統的一實施結構的一示意圖。
圖9：為在圖7中該訊號處理系統的一實施結構的一示意圖。
圖10：為在圖7中一指叉轉換器的一部分結構的一示意圖。
圖11：為於一第一特定情況中在圖1、圖3和圖7中該些表面聲波諧振器的訊號功率示意圖。
圖12：為於一第二特定情況中在圖1、圖3和圖7中該些表面聲波諧振器的訊號功率示意圖。
圖13：為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統 的一示意圖。
圖14：為在圖13中該訊號處理系統的一實施結構的一示意圖。
圖15：為在圖13中該訊號處理系統的一實施結構的一示意圖。
圖16：為在圖13中一指叉轉換器的一部分結構的一示意圖
圖17：為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統的一示意圖。
圖18：為在圖17中該訊號處理系統的一實施結構的一示意圖。
圖19：為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統的一示意圖。
請參閱圖3，其為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統900的一示意圖。如圖3所示，該訊號處理系統900包含一表面聲波諧振器301。該表面聲波諧振器301包含一指叉轉換器400。該指叉轉換器400包含一第一導電格柵500和第一複數實際電極451、452、…。該第一導電格柵500包含在該第一導電格柵500的第一側502上的一第一匯流條520、直接延伸自該第一匯流條520的第一複數啞電極611、612、…、以及在該第一導電格柵500的第二側504上的一第一導電條540。該第一匯流條520具有一第一訊號傳輸端527。該第一導電條540相對於該第一匯流條520，或相對於該第一匯流條520而被設置在該第二 側504上。各該第一複數實際電極451、452、…係延伸自該第一導電條540。
請參閱圖4、圖5和圖6。圖4為在圖3中該訊號處理系統900的一實施結構90A的一示意圖。圖5為在圖3中該訊號處理系統900的一實施結構90B的一示意圖。圖6為在圖3中該指叉轉換器400的一部分結構的一示意圖。如圖4和圖5所示，該實施結構90A和該實施結構90B的每一結構包含該表面聲波諧振器301。
在一些實施例中，該第一導電條540與該第一匯流條520實質上平行。該第一導電格柵500進一步包含第一複數導電連接段631、632、…。該第一複數導電連接段631、632、…設置於該第一匯流條520和該第一導電條540之間，與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊，並與該第一複數啞電極611、612、…交叉配置。
該指叉轉換器400設置於一壓電基板320上，並進一步包含一第二導電格柵700和第二複數實際電極471、472、…。該第二導電格柵700相對於該第一導電格柵500，並包含在該第二導電格柵700的第一側702上的一第二匯流條720、直接延伸自該第二匯流條720的第二複數啞電極811、812、…、以及在該第二導電格柵700的第二側704上的一第二導電條740。該第二匯流條720具有一第二訊號傳輸端727。該第二導電條740相對於該第二匯流條720，或相對於該第二匯流條720而被設置在第二側704上。例如，該第一和該第二導電條540和740分別是二反射條。該第二側504相對於該第一側502。該第二側704相 對於該第一側702。該第一和該第二導電條540和740能夠分別作為二有效反射結構以使該表面聲波諧振器301在一諧振頻率範圍中具有一所欲輸出功率穩定性。
該第二複數實際電極471、472、…分別延伸自該第二導電條740，並與該第一複數實際電極451、452、…交叉配置。該第二導電條740與該第二匯流條720實質上平行。該第一複數啞電極611、612、…與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊。該第二複數啞電極811、812、…與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊。
在一些實施例中，該表面聲波諧振器301具有一特定諧振頻率FR1。該第二導電格柵700進一步包含第二複數導電連接段831、832、…。該第二複數導電連接段831、832、…設置於該第二匯流條720和該第二導電條740之間，與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊，並與該第二複數啞電極811、812、…交叉配置。該第一複數實際電極451、452、…具有一周期性電極距離λ。
該第一複數啞電極611、612、…和該第一導電條540之間具有一第一間隔距離DG1，該第一間隔距 離DG1是在從
Figure 110134701-A0101-12-0007-1
到
Figure 110134701-A0101-12-0007-2
的範圍之內。該第一導電條540和 該第二複數實際電極471、472、…之間具有一第二間隔距 離DG2，該第二間隔距離DG2是在從
Figure 110134701-A0101-12-0007-3
到
Figure 110134701-A0101-12-0007-4
的範圍之 內。該特定諧振頻率FR1是在從30MHz到6GHz的範圍之內。該第一複數啞電極611、612、…皆具有一電極長度LE1， 該電極長度LE1是在從0.1λ到5λ的範圍之內。
在一些實施例中，該第二複數啞電極811、812、…和該第二導電條740之間具有該第一間隔距離DG1。該第二導電條740和該第一複數實際電極451、452、…之間具有該第二間隔距離DG2。該第一複數實際電極451、452、…是第一複數電極指。該第二複數實際電極471、472、…是第二複數電極指。該第一複數實際電極451、452、…和該第二複數實際電極471、472、…彼此相互交叉而形成複數指叉電極指。
該表面聲波諧振器301具有一表面聲波傳播方向。該第一導電條540具有一條寬度WB1和一第一縱 軸方向。該條寬度WB1是在從
Figure 110134701-A0101-12-0008-5
到
Figure 110134701-A0101-12-0008-6
的範圍之內。該第 一縱主軸方向實質上平行於該表面聲波傳播方向。該第二導電條740具有該條寬度WB1和一第二縱軸方向。該第二縱軸方向實質上平行於該表面聲波傳播方向。
例如，該第一複數實際電極451、452、…在一第一延伸方向延伸自該第一導電條540。該第一延伸方向實質上垂直於該表面聲波傳播方向。該第二複數實際電極471、472、…在一第二延伸方向延伸自該第二導電條740。該第二延伸方向實質上垂直於該表面聲波傳播方向。該指叉轉換器400在該表面聲波傳播方向具有一第一外側和相對於該第一外側的一第二外側。該表面聲波諧振器301進一步包含在該第一外側上的一反射器130和在該第二外 側上的一反射器140。例如，該反射器140相對於該反射器130，並與該反射器130匹配。
該實際電極451和該實際電極471之間具有 一間隔距離DH1。該間隔距離DH1是在從
Figure 110134701-A0101-12-0009-7
到
Figure 110134701-A0101-12-0009-8
的範圍 之內。該實際電極471和該實際電極452之間具有一間隔 距離DH2。該間隔距離DH2是在從
Figure 110134701-A0101-12-0009-12
到
Figure 110134701-A0101-12-0009-11
的範圍之內。 例如，該間隔距離DH2實質上相同於該間隔距離DH1。該第二間隔距離DG2實質上相同於該第一間隔距離DG1。該間隔距離DH1實質上相同於該第一間隔距離DG1。
在圖1中，複數啞電極和複數實際電極之間 具有一特定間隔距離。該特定間隔距離適合小於
Figure 110134701-A0101-12-0009-13
。由於 製程的限制。該特定間隔距離被設定以等於0.4μm；因此導致產品特性無法最佳化。例如，該第一複數實際電極451、452、…基於一第一交叉重疊長度而被配置。該第二複數實際電極471、472、…基於一第二交叉重疊長度而被配置。該第二交叉重疊長度被配置以相同於該第一交叉重疊長度以使數據傳遞最佳化。該表面聲波諧振器301用於在該表面聲波傳播方向形成一表面聲波。該表面聲波具有一傳播速度、一波頻率和一波長。該傳播速度等於該波頻率和該波長的一乘積。例如，該周期性電極距離λ等於該波 長。
在一些實施例中，該第一匯流條520包含一條終端段52A和相對於該條終端段52A的一條終端段52B。該第一導電條540包含一條終端段54A和相對於該條終端段54A的一條終端段54B。該第一複數啞電極611、612、…包含直接延伸自該條終端段52A的一啞電極610、和直接延伸自該條終端段52B的一啞電極619。該第一複數導電連接段631、632、…包含一第一特定連接段630和相鄰於該第一特定連接段630的一第二特定連接段。該第一特定連接段630和該第二特定連接段皆電連接至該條終端段52A，並皆電連接至該條終端段54A。該條終端段52A、該啞電極610、該第一特定連接段630、該第二特定連接段和該條終端段54A的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段52A和該條終端段54A之間形成一封閉空隙640。
該第一複數導電連接段631、632、…進一步包含一第三特定連接段639和相鄰於該第三特定連接段639的一第四特定連接段。該第三特定連接段639和該第四特定連接段皆電連接至該條終端段52B，並皆電連接至該條終端段54B。該條終端段52B、該啞電極619、該第三特定連接段639、該第四特定連接段和該條終端段54B的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段52B和該條終端段54B之間形成一封閉空隙649。例如，該封閉空隙640和該封閉空隙649分別是二U形空隙。
在一些實施例中，該第二匯流條720包含一條終端段72A和相對於該條終端段72A的一條終端段72B。該第二導電條740包含一條終端段74A和相對於該條終端段74A的一條終端段74B。該第二複數啞電極811、812、…包含直接延伸自該條終端段72A的一啞電極810、和直接延伸自該條終端段72B的一啞電極819。該第二複數導電連接段831、832、…包含一第五特定連接段830。該第五特定連接段830電連接至該條終端段72A和該條終端段74A。該條終端段72A、該啞電極810、該第五特定連接段830和該條終端段74A的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段72A和該條終端段74A之間形成一開放空隙840。
該第二複數導電連接段831、832、…進一步包含一第六特定連接段839。該第六特定連接段839電連接至該條終端段72B和該條終端段74B。該條終端段72B、該啞電極819、該第六特定連接段839和該條終端段74B的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段72B和該條終端段74B之間形成一開放空隙849。例如，該開放空隙840和該開放空隙849分別是二L形空隙。例如，該第一導電格柵500和第一複數實際電極451、452、…為一體成形，並具有相同材質。該第二導電格柵700和該第二複數實際電極471、472、…為一體成形，並具有相同材質。
請參閱圖7，其為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統910的一示意圖。如圖7所示，該訊號 處理系統910包含一表面聲波諧振器302。該表面聲波諧振器302包含一指叉轉換器400。該指叉轉換器400設置於一壓電基板320上，並包含一第一導電格柵500和第一複數實際電極451、452、…。
該第一導電格柵500包含在該第一導電格柵500的第一側502上的一第一匯流條520、直接延伸自該第一匯流條520的第一複數啞電極611、612、…、在該第一導電格柵500的第二側504上的一第一導電條540、以及設置於該第一匯流條520和該第一導電條540之間的一第一內條567。該第一匯流條520具有一第一訊號傳輸端527。該第一導電條540相對於該第一匯流條520，或相對於該第一匯流條520而被設置在該第二側504上。各該第一複數實際電極451、452、…係延伸自該第一導電條540。
請參閱圖8、圖9和圖10。圖8為在圖7中該訊號處理系統910的一實施結構91A的一示意圖。圖9為在圖7中該訊號處理系統910的一實施結構91B的一示意圖。圖10為在圖7中該指叉轉換器400的一部分結構的一示意圖。如圖8和圖9所示，該實施結構91A和該實施結構91B的每一結構包含該表面聲波諧振器302。
在一些實施例中，該第一內條567和該第一導電條540分別和該第一匯流條520實質上平行。該第一導電格柵500進一步包含第一複數導電連接段631、632、…。該第一複數導電連接段631、632、…設置於該第一匯流條520和該第一內條567之間，與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊，並與該第一複數啞電極611、 612、…交叉配置。
該指叉轉換器400進一步包含一第二導電格柵700和第二複數實際電極471、472、…。該第二導電格柵700相對於該第一導電格柵500，並包含在該第二導電格柵700的第一側702上的一第二匯流條720、直接延伸自該第二匯流條720的第二複數啞電極811、812、…、在該第二導電格柵700的第二側704上的一第二導電條740、以及設置於該第二匯流條720和該第二導電條740之間的一第二內條767。該第二匯流條720具有一第二訊號傳輸端727。該第二導電條740相對於該第二匯流條720，或相對於該第二匯流條720而被設置在該第二側704上。例如，該第一導電條540、該第二導電條740、該第一內條567和該第二內條767分別是複數反射條。例如，該第一導電格柵500和該第二導電格柵700分別包含一第一有效反射結構和一第二有效反射結構。該第一有效反射結構包含該第一導電條540和該第一內條567，並用於使該表面聲波諧振器302在一諧振頻率範圍中具有一所欲輸出功率穩定性。該第二有效反射結構包含該第二導電條740和該第二內條767，並用於使該表面聲波諧振器302在該諧振頻率範圍中具有一所欲輸出功率穩定性。
該第二複數實際電極471、472、…延伸自該第二導電條740，並與該第一複數實際電極451、452、…交叉配置。該第二內條767和該第二導電條740分別和第二匯流條720實質上平行。該第一複數啞電極611、612、…與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊。該第二複 數啞電極811、812、…與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊。
在一些實施例中，該第二導電格柵700進一步包含第二複數導電連接段831、832、…。該第二複數導電連接段831、832、…設置於該第二匯流條720和該第二內條767之間，與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊，並與該第二複數啞電極811、812、…交叉配置。該第一複數實際電極451、452、…具有一周期性電極距離λ。該第一複數啞電極611、612、…和該第一內條567之間具 有一第一間隔距離DG1，該第一間隔距離DG1是在從
Figure 110134701-A0101-12-0014-14
到
Figure 110134701-A0101-12-0014-17
的範圍之內。該第一導電條540和該第二複數實際電極 471、472、…之間具有一第二間隔距離DG2，該第二間隔 距離DG2是在從
Figure 110134701-A0101-12-0014-15
到
Figure 110134701-A0101-12-0014-16
的範圍之內。例如，該第一內條 567和該第二內條767分別是二導電內條。
該表面聲波諧振器302具有一特定諧振頻率FR1。該特定諧振頻率FR1是在從30MHz到6GHz的範圍之內。該第一複數啞電極611、612、…皆具有一電極長度LE1，該電極長度LE1是在從0.1λ到5λ的範圍之內。該第一導電條540和該第一內條567皆具有一條寬度WB1，該 條寬度WB1是在從
Figure 110134701-A0101-12-0014-18
到
Figure 110134701-A0101-12-0014-19
的範圍之內。該第一導電條540 和該第一內條567之間具有一第三間隔距離DG3，該第三 間隔距離DG3是在從
Figure 110134701-A0101-12-0015-20
到
Figure 110134701-A0101-12-0015-21
的範圍之內。
在一些實施例中，該第二複數啞電極811、812、…和該第二內條767之間具有該第一間隔距離DG1。該第二導電條740和該第一複數實際電極451、452、…之間具有該第二間隔距離DG2。該第二導電條740和該第二內條767皆具有該條寬度WB1。該第二導電條740和該第二內條767之間具有該第三間隔距離DG3。該第一複數實際電極451、452、…和該第二複數實際電極471、472、…彼此相互交叉而形成複數指叉電極指。
該表面聲波諧振器302具有一表面聲波傳播方向。該第一導電條540具有一第一縱軸方向。該第一縱主軸方向實質上平行於該表面聲波傳播方向。該第二導電條740具有一第二縱軸方向。該第二縱軸方向實質上平行於該表面聲波傳播方向。該第一內條567和該第二內條767分別具有一第三縱軸方向和一第四縱軸方向。該第三縱軸方向和該第四縱軸方向皆實質上平行於該表面聲波傳播方向。
在一些實施例中，該第一複數實際電極451、452、…在一第一延伸方向延伸自該第一導電條540。該第一延伸方向實質上垂直於該表面聲波傳播方向。該第二複數實際電極471、472、…在一第二延伸方向延伸自該第二導電條740。該第二延伸方向實質上垂直於該表面聲波傳播方向。該指叉轉換器400在該表面聲波傳播方向具有 一第一外側和相對於該第一外側的一第二外側。該表面聲波諧振器302進一步包含在該第一外側上的一反射器130和在該第二外側上的一反射器140。例如，該反射器140相對於該反射器130，並與該反射器130匹配。
該第一複數啞電極611、612、…在一第三延伸方向直接延伸自該第一匯流條520。該第二複數啞電極811、812、…在一第四延伸方向直接延伸自該第二匯流條720。該第三延伸方向和該第四延伸方向皆實質上垂直於該表面聲波傳播方向。例如，該第一複數實際電極451、452、…基於一第一交叉重疊長度而被配置。該第二複數實際電極471、472、…基於一第二交叉重疊長度而被配置。該第二交叉重疊長度被配置以相同於該第一交叉重疊長度以使數據傳遞最佳化。
該第一導電格柵500進一步包含複數導電連接段651、652、…。該複數導電連接段651、652、…設置於該第一導電條540和該第一內條567之間，並與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊。該第二導電格柵700進一步包含複數導電連接段851、852、…。該複數導電連接段851、852、…設置於該第二導電條740和該第二內條767之間，並與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊。
在一些實施例中，該第一匯流條520包含一條終端段52A和相對於該條終端段52A的一條終端段52B。該第一內條567包含一條終端段56A和相對於該條終端段56A的一條終端段56B。該第一複數啞電極611、612、… 包含直接延伸自該條終端段52A的一啞電極610、和直接延伸自該條終端段52B的一啞電極619。該第一複數導電連接段631、632、…包含一第一特定連接段630和相鄰於該第一特定連接段630的一第二特定連接段。該第一特定連接段630和該第二特定連接段皆電連接至該條終端段52A，並皆電連接至該條終端段56A。該條終端段52A、該啞電極610、該第一特定連接段630、該第二特定連接段和該條終端段56A的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段52A和該條終端段56A之間形成一封閉空隙640。
該第一複數導電連接段631、632、…進一步包含一第三特定連接段639和相鄰於該第三特定連接段639的一第四特定連接段。該第三特定連接段639和該第四特定連接段皆電連接至該條終端段52B，並皆電連接至該條終端段56B。該條終端段52B、該啞電極619、該第三特定連接段639、該第四特定連接段和該條終端段56B的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段52B和該條終端段56B之間形成一封閉空隙649。例如，該封閉空隙640和該封閉空隙649分別是二U形空隙。
在一些實施例中，該第二匯流條720包含一條終端段72A和相對於該條終端段72A的一條終端段72B。該第二內條767包含一條終端段76A和相對於該條終端段76A的一條終端段76B。該第二複數啞電極811、812、…包含直接延伸自該條終端段72A的一啞電極810、和直接延伸自該條終端段72B的一啞電極819。該第二複數導電 連接段831、832、…包含一第五特定連接段830。該第五特定連接段電連接至該條終端段72A和該條終端段76A。該條終端段72A、該啞電極810、該第五特定連接段830和該條終端段76A的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段72A和該條終端段76A之間形成一開放空隙840。
該第二複數導電連接段831、832、…進一步包含一第六特定連接段839。該第六特定連接段839電連接至該條終端段72B和該條終端段76B。該條終端段72B、該啞電極819、該第六特定連接段839和該條終端段76B的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段72B和該條終端段76B之間形成一開放空隙849。例如，該開放空隙840和該開放空隙849分別是二L形空隙。例如，該第一導電格柵500和第一複數實際電極451、452、…為一體成形，並具有相同材質。該第二導電格柵700和該第二複數實際電極471、472、…為一體成形，並具有相同材質。
在一些實施例中，該第一導電條540包含一條終端段54A和相對於該條終端段54A的一條終端段54B。該複數導電連接段651、652、…包含一第一特定連接段650和相鄰於該第一特定連接段650的一第二特定連接段。該第一特定連接段650和該第二特定連接段皆電連接至該條終端段54A，並皆電連接至該條終端段56A。該條終端段54A、該第一特定連接段650、該第二特定連接段和該條終端段56A的至少其中之一用於使該第一導電格柵 500在該條終端段54A和該條終端段56A之間形成一封閉空隙660。
該複數導電連接段651、652、…進一步包含一第三特定連接段659和相鄰於該第三特定連接段659的一第四特定連接段。該第三特定連接段659和該第四特定連接段皆電連接至該條終端段54B，並皆電連接至該條終端段56B。該條終端段54B、該第三特定連接段659、該第四特定連接段和該條終端段56B的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段54B和該條終端段56B之間形成一封閉空隙669。
在一些實施例中，該第二導電條740包含一條終端段74A和相對於該條終端段74A的一條終端段74B。該複數導電連接段851、852、…包含一第五特定連接段850。該第五特定連接段850電連接至該條終端段74A和該條終端段76A。該條終端段74A、該第五特定連接段850和該條終端段76A的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段74A和該條終端段76A之間形成一開放空隙860。
該複數導電連接段851、852、…進一步包含一第六特定連接段859。該第六特定連接段859電連接至該條終端段74B和該條終端段76B。該條終端段74B、該第六特定連接段859和該條終端段76B的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段74B和該條終端段76B之間形成一開放空隙869。
請參閱圖11。圖11為於一第一特定情況中 在圖1、圖3和圖7中該些表面聲波諧振器100、301和302的訊號功率示意圖。圖11繪示一濾波特性曲線C11、一濾波特性曲線C21和一濾波特性曲線C31。該濾波特性曲線C11用於表示在圖1中該表面聲波諧振器100的一帶通濾波特性。該濾波特性曲線C21用於表示在圖3中該表面聲波諧振器301的一帶通濾波特性。該濾波特性曲線C31用於表示在圖7中該表面聲波諧振器302的一帶通濾波特性。
如圖11所示，根據該濾波特性曲線C11，該表面聲波諧振器100的一插入損失等於3.0dB，且該表面聲波諧振器100的一通帶漣波等於1.2dB。根據該濾波特性曲線C21，該表面聲波諧振器301的一插入損失等於2.5dB，且該表面聲波諧振器301的一通帶漣波等於0.8dB。根據該濾波特性曲線C31，該表面聲波諧振器302的一插入損失等於2.2dB，且該表面聲波諧振器302的一通帶漣波等於0.3dB。根據該些濾波特性曲線C11、C21和C31。該表面聲波諧振器301和該表面聲波諧振器302的任一諧振器用於得到一高品質因素值(Q值)和一低插入損失，並用於優化帶通振幅。
請參閱圖12。圖12為於一第二特定情況中在圖1、圖3和圖7中該些表面聲波諧振器100、301和302的訊號功率示意圖。圖12繪示一濾波特性曲線C12、一濾波特性曲線C22和一濾波特性曲線C32。該濾波特性曲線C12用於表示在圖1中該表面聲波諧振器100的一帶通濾波特性。該濾波特性曲線C22用於表示在圖3中該表面聲波諧振器301的一帶通濾波特性。該濾波特性曲線C32用 於表示在圖7中該表面聲波諧振器302的一帶通濾波特性。
如圖12所示，根據該濾波特性曲線C12，該表面聲波諧振器100的一插入損失等於0.65dB，且該表面聲波諧振器100的一通帶漣波等於0.13dB。根據該濾波特性曲線C22，該表面聲波諧振器301的一插入損失等於0.53dB，且該表面聲波諧振器301的一通帶漣波等於0.038dB。根據該濾波特性曲線C32，該表面聲波諧振器302的一插入損失等於0.5dB，且該表面聲波諧振器302的一通帶漣波等於0.03dB。根據該些濾波特性曲線C12、C22和C32。該表面聲波諧振器301和該表面聲波諧振器302的任一諧振器用於得到一高品質因素值(Q值)和一低插入損失，並用於優化帶通振幅。
請參閱圖13，其為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統920的一示意圖。如圖13所示，該訊號處理系統920包含一表面聲波諧振器303。該表面聲波諧振器303包含一指叉轉換器400。該指叉轉換器400設置於一壓電基板320上，並包含一第一導電格柵500和第一複數實際電極451、452、…。
該第一導電格柵500包含在該第一導電格柵500的第一側502上的一第一匯流條520、直接延伸自該第一匯流條520的第一複數啞電極611、612、…、在該第一導電格柵500的第二側504上的一第一導電條540；以及設置於該第一匯流條520和該第一導電條540之間的第一複數內條561、562、…(或561和562)。該第一匯流條520具有一第一訊號傳輸端527。該第一導電條540相對於該第 一匯流條520，或相對於該第一匯流條520而設置於該第二側504上。各該第一複數實際電極451、452、…係延伸自該第一導電條540。
請參閱圖14、圖15和圖16。圖14為在圖13中該訊號處理系統920的一實施結構92A的一示意圖。圖15為在圖13中該訊號處理系統920的一實施結構92B的一示意圖。圖16為在圖13中該指叉轉換器400的一部分結構的一示意圖。如圖14和圖15所示，該實施結構92A和該實施結構92B的每一結構包含該表面聲波諧振器303。
在一些實施例中，該第一導電條540和該第一複數內條561、562、…分別和該第一匯流條520實質上平行。該第一導電格柵500進一步包含第一複數導電連接段631、632、…。該第一複數導電連接段631、632、…設置於該第一匯流條520和該第一複數內條561、562、…之間，與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊，並與該第一複數啞電極611、612、…交叉配置。
該指叉轉換器400進一步包含一第二導電格柵700和第二複數實際電極471、472、…。該第二導電格柵700相對於該第一導電格柵500，並包含在該第二導電格柵700的第一側702上的一第二匯流條720、直接延伸自該第二匯流條720的第二複數啞電極811、812、…、在該第二導電格柵700的第二側704上的一第二導電條740；以及設置於該第二匯流條720和該第二導電條740之間的第二複數內條761、762、…(或761和762)。該第二匯流條720具有一第二訊號傳輸端727。該第二導電條740相對於 該第二匯流條720，或相對於該第二匯流條720而設置於該第二側704上。
該第二複數實際電極471、472、…延伸自該第二導電條740，並與該第一複數實際電極451、452、…交叉配置。該第二導電條740和該第二複數內條761、762、…分別和該第二匯流條720實質上平行。該第一複數啞電極611、612、…與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊。該第二複數啞電極811、812、…與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊。
例如，該第一導電格柵500和該第二導電格柵700分別包含一第一有效反射結構和一第二有效反射結構。該第一有效反射結構包含該第一導電條540和該第一複數內條561、562、…，並用於使該表面聲波諧振器303在一諧振頻率範圍中具有一所欲輸出功率穩定性。該第二有效反射結構包含該第二導電條740和該第二複數內條761、762、…，並用於使該表面聲波諧振器303在該諧振頻率範圍中具有一所欲輸出功率穩定性。
在一些實施例中，該第二導電格柵700進一步包含第二複數導電連接段831、832、…。該第二複數導電連接段831、832、…設置於該第二匯流條720和該第二複數內條761、762、…之間，與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊，並與該第二複數啞電極811、812、…交叉配置。該第一複數實際電極451、452、…具有一周期性電極距離λ。該第一複數啞電極611、612、…和該第一複數 內條561、562、…之間具有一第一間隔距離DG1，該第一 間隔距離DG1是在從
Figure 110134701-A0101-12-0024-22
到
Figure 110134701-A0101-12-0024-23
的範圍之內。該第一導電條 540和該第二複數實際電極471、472、…之間具有一第二 間隔距離DG2，該第二間隔距離DG2是在從
Figure 110134701-A0101-12-0024-24
到
Figure 110134701-A0101-12-0024-25
的範 圍之內。例如，該第一複數內條561、562、…分別是複數導電內條。該第一複數內條561、562、…的數目N1大於或等於2。
該表面聲波諧振器303具有一特定諧振頻率FR1。該特定諧振頻率FR1是在從30MHz到6GHz的範圍之內。該第一複數啞電極611、612、…皆具有一電極長度LE1，該電極長度LE1是在從0.1λ到5λ的範圍之內。該第一導電條540和該第一複數內條561、562、…皆具有一條 寬度WB1，該條寬度WB1是在從
Figure 110134701-A0101-12-0024-26
到
Figure 110134701-A0101-12-0024-27
的範圍之內。該 第一導電條540和該第一複數內條561、562、…之間具有 一第三間隔距離DG3，該第三間隔距離DG3是在從
Figure 110134701-A0101-12-0024-28
到
Figure 110134701-A0101-12-0024-29
的範圍之內。該第一複數內條561、562、…包含一第一 內條561和相鄰於該第一內條561的一第二內條562。該第一內條561和該第二內條562之間具有一第四間隔距離 DG4，該第四間隔距離DG4是在從
Figure 110134701-A0101-12-0024-30
到
Figure 110134701-A0101-12-0024-31
的範圍之內。
在一些實施例中，該第二複數啞電極811、812、…和該第二複數內條761、762、…之間具有該第一間隔距離DG1。該第二導電條740和該第一複數實際電極451、452、…之間具有該第二間隔距離DG2。該第二導電條740和該第二複數內條761、762、…皆具有該條寬度WB1。該第二導電條740和該第二複數內條761、762、…之間具有該第三間隔距離DG3。該第二複數內條761、762、…包含一內條761和相鄰於該內條761的一內條762。該內條761和該內條762之間具有該第四間隔距離DG4。例如，該第二複數內條761、762、…分別是複數導電內條。該第二複數內條761、762、…的數目N1大於或等於2。
該表面聲波諧振器303具有一表面聲波傳播方向。該第一導電條540具有一第一縱軸方向。該第一縱主軸方向實質上平行於該表面聲波傳播方向。該第二導電條740具有一第二縱軸方向。該第二縱軸方向實質上平行於該表面聲波傳播方向。該第一內條561、該第二內條562、該內條761和該內條762分別具有一第三縱軸方向、一第四縱軸方向、一第五縱軸方向和一第六縱軸方向。該第三縱軸方向、該第四縱軸方向、該第五縱軸方向和該第六縱軸方向皆實質上平行於該表面聲波傳播方向。
在一些實施例中，該指叉轉換器400在該表面聲波傳播方向具有一第一外側和相對於該第一外側的一第二外側。該表面聲波諧振器303進一步包含在該第一外側上的一反射器130和在該第二外側上的一反射器140。例如，該反射器140相對於該反射器130，並與該反射器130 匹配。例如，該第一複數實際電極451、452、…基於一第一交叉重疊長度而被配置。該第二複數實際電極471、472、…基於一第二交叉重疊長度而被配置。該第二交叉重疊長度被配置以相同於該第一交叉重疊長度以使數據傳遞最佳化。
該第一導電格柵500進一步包含複數導電連接段651、652、…。該複數導電連接段651、652、…設置於該第一導電條540和該第一複數內條561、562、…之間，並與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊。該第二導電格柵700進一步包含複數導電連接段851、852、…。該複數導電連接段851、852、…設置於該第二導電條740和該第二複數內條761、762、…之間，並與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊。
該第一導電格柵500進一步包含複數導電連接段671、672、…。該複數導電連接段671、672、…設置於該第一內條561和該第二內條562之間，並與該第一複數實際電極451、452、…分別對齊。該第二導電格柵700進一步包含複數導電連接段871、872、…。該複數導電連接段871、872、…設置於該內條761和該內條762之間，並與該第二複數實際電極471、472、…分別對齊。
在一些實施例中，該第一匯流條520包含一條終端段52A和相對於該條終端段52A的一條終端段52B。該第一內條561包含一條終端段56C和相對於該條終端段56C的一條終端段56D。該第一複數啞電極611、612、…包含直接延伸自該條終端段52A的一啞電極610、和直接 延伸自該條終端段52B的一啞電極619。該第一複數導電連接段631、632、…包含一第一特定連接段630和相鄰於該第一特定連接段630的一第二特定連接段。該第一特定連接段630和該第二特定連接段皆電連接至該條終端段52A，並皆電連接至該條終端段56C。該條終端段52A、該啞電極610、該第一特定連接段630、該第二特定連接段和該條終端段56C的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段52A和該條終端段56C之間形成一封閉空隙640。
該第一複數導電連接段631、632、…進一步包含一第三特定連接段639和相鄰於該第三特定連接段639的一第四特定連接段。該第三特定連接段639和該第四特定連接段皆電連接至該條終端段52B，並皆電連接至該條終端段56D。該條終端段52B、該啞電極619、該第三特定連接段639、該第四特定連接段和該條終端段56D的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段52B和該條終端段56D之間形成一封閉空隙649。例如，該封閉空隙640和該封閉空隙649分別是二U形空隙。
在一些實施例中，該第二匯流條720包含一條終端段72A和相對於該條終端段72A的一條終端段72B。該內條761包含一條終端段76C和相對於該條終端段76C的一條終端段76D。該第二複數啞電極811、812、…包含直接延伸自該條終端段72A的一啞電極810、和直接延伸自該條終端段72B的一啞電極819。該第二複數導電連接段831、832、…包含一第五特定連接段830。該第五 特定連接段電連接至該條終端段72A和該條終端段76C。該條終端段72A、該啞電極810、該第五特定連接段830和該條終端段76C的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段72A和該條終端段76C之間形成一開放空隙840。
該第二複數導電連接段831、832、…進一步包含一第六特定連接段839。該第六特定連接段839電連接至該條終端段72B和該條終端段76D。該條終端段72B、該啞電極819、該第六特定連接段839和該條終端段76D的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段72B和該條終端段76D之間形成一開放空隙849。例如，該開放空隙840和該開放空隙849分別是二L形空隙。例如，該第一導電格柵500和第一複數實際電極451、452、…為一體成形，並具有相同材質。該第二導電格柵700和該第二複數實際電極471、472、…為一體成形，並具有相同材質。
在一些實施例中，該第一導電條540包含一條終端段54A和相對於該條終端段54A的一條終端段54B。該第二內條562包含一條終端段56E和相對於該條終端段56E的一條終端段56F。該複數導電連接段651、652、…包含一第一特定連接段650和相鄰於該第一特定連接段650的一第二特定連接段。該第一特定連接段650和該第二特定連接段皆電連接至該條終端段54A，並皆電連接至該條終端段56E。該條終端段54A、該第一特定連接段650、該第二特定連接段和該條終端段56E的至少其中之一用於 使該第一導電格柵500在該條終端段54A和該條終端段56E之間形成一封閉空隙660。
該複數導電連接段651、652、…進一步包含一第三特定連接段659和相鄰於該第三特定連接段659的一第四特定連接段。該第三特定連接段659和該第四特定連接段皆電連接至該條終端段54B，並皆電連接至該條終端段56F。該條終端段54B、該第三特定連接段659、該第四特定連接段和該條終端段56F的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段54B和該條終端段56F之間形成一封閉空隙669。
在一些實施例中，該第二導電條740包含一條終端段74A和相對於該條終端段74A的一條終端段74B。該內條762包含一條終端段76E和相對於該條終端段76E的一條終端段76F。該複數導電連接段851、852、…包含一第五特定連接段850。該第五特定連接段850電連接至該條終端段74A和該條終端段76E。該條終端段74A、該第五特定連接段850和該條終端段76E的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段74A和該條終端段76E之間形成一開放空隙860。
該複數導電連接段851、852、…進一步包含一第六特定連接段859。該第六特定連接段859電連接至該條終端段74B和該條終端段76F。該條終端段74B、該第六特定連接段859和該條終端段76F的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段74B和該條終端段76F之間形成一開放空隙869。
在一些實施例中，該複數導電連接段671、672、…包含一第一特定連接段670和相鄰於該第一特定連接段670的一第二特定連接段。該第一特定連接段670和該第二特定連接段皆電連接至該條終端段56C，並皆電連接至該條終端段56E。該條終端段56C、該第一特定連接段670、該第二特定連接段和該條終端段56E的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段56C和該條終端段56E之間形成一封閉空隙680。
該複數導電連接段671、672、…進一步包含一第三特定連接段679和相鄰於該第三特定連接段679的一第四特定連接段。該第三特定連接段679和該第四特定連接段皆電連接至該條終端段56D，並皆電連接至該條終端段56F。該條終端段56D、該第三特定連接段679、該第四特定連接段和該條終端段56F的至少其中之一用於使該第一導電格柵500在該條終端段56D和該條終端段56F之間形成一封閉空隙689。
在一些實施例中，該複數導電連接段871、872、…包含一第五特定連接段870。該第五特定連接段870電連接至該條終端段76C和該條終端段76E。該條終端段76C、該第五特定連接段870和該條終端段76E的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段76C和該條終端段76E之間形成一開放空隙880。
該複數導電連接段871、872、…進一步包含一第六特定連接段879。該第六特定連接段879電連接至該條終端段76D和該條終端段76F。該條終端段76D、該第 六特定連接段879和該條終端段76F的至少其中之一用於使該第二導電格柵700在該條終端段76D和該條終端段76F之間形成一開放空隙889。
請參閱圖17，其為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統930的一示意圖。如圖17所示，該訊號處理系統930包含一表面聲波濾波器201。該表面聲波濾波器201包含一指叉轉換器400。該指叉轉換器400包含一第一導電格柵500和第一複數實際電極451、452、…。該第一導電格柵500包含在該第一導電格柵500的第一側502上的一第一匯流條520、直接延伸自該第一匯流條520的第一複數啞電極611、612、…、以及在該第一導電格柵500的第二側504上的一第一導電條540。該第一匯流條520具有一第一訊號傳輸端527。該第一導電條540相對於該第一匯流條520，或相對於該第一匯流條520而被設置在該第二側504上。各該第一複數實際電極451、452、…係延伸自該第一導電條540。
請參閱圖18，其為在圖17中該訊號處理系統930的一實施結構93A的一示意圖。在一些實施例中，該表面聲波濾波器201包含一特定諧振器306。該特定諧振器306等於該表面聲波諧振器301、該表面聲波諧振器302和該表面聲波諧振器303的其中之一，並包含該指叉轉換器400。該第一導電條540與該第一匯流條520實質上平行。該第一導電格柵500進一步包含第一複數導電連接段631、632、…。該第一複數導電連接段631、632、…設置於該第一匯流條520和該第一導電條540之間，與該第一 複數實際電極451、452、…分別對齊，並與該第一複數啞電極611、612、…交叉配置。
該指叉轉換器400設置於一壓電基板320上，並進一步包含一第二導電格柵700和第二複數實際電極471、472、…。該第二導電格柵700相對於該第一導電格柵500，並包含在該第二導電格柵700的第一側702上的一第二匯流條720、直接延伸自該第二匯流條720的第二複數啞電極811、812、…、以及在該第二導電格柵700的第二側704上的一第二導電條740。該第二匯流條720具有一第二訊號傳輸端727。該第二導電條740相對於該第二匯流條720，或相對於該第二匯流條720而被設置在第二側704上。例如，該第一和該第二導電條540和740分別是二反射條。該第二側504相對於該第一側502。該第二側704相對於該第一側702。該第一和該第二導電條540和740分別作為二有效反射結構以使該表面聲波濾波器201在一特定濾波頻率範圍中具有一所欲輸出功率穩定性。
請參閱圖19，其為在本揭露各式各樣實施例中一訊號處理系統940的一示意圖。如圖19所示，該訊號處理系統940包含一表面聲波濾波器200。該表面聲波濾波器200具有一第一埠272、一第二埠274和一接地端280，並包含一串聯諧振器210和耦合於該串聯諧振器210的一分流諧振器220。例如，該表面聲波濾波器200是該表面聲波濾波器201。
該串聯諧振器210具有一訊號傳輸端21A和相對於該訊號傳輸端21A的一訊號傳輸端21B，並以串 聯耦合於該第一埠272和該第二埠274之間。例如，該訊號傳輸端21A電連接於該第一埠272。該訊號傳輸端21B電連接於該第二埠274。該分流諧振器220具有一訊號傳輸端22A和相對於該訊號傳輸端22A的一訊號傳輸端22B，並耦合於該第一埠272和該接地端280之間。例如，該訊號傳輸端22A電連接於該訊號傳輸端21A。該訊號傳輸端22B電連接於該接地端280。該第一埠272和該第二埠274分別是輸入埠和輸出埠。
在一些實施例中，該串聯諧振器210相同於該些表面聲波諧振器301、302和303的任一諧振器。在該串聯諧振器210相同於該些表面聲波諧振器301、302和303的任一諧振器的條件下，該訊號傳輸端21A和該訊號傳輸端21B分別相同於該第一訊號傳輸端527和該第二訊號傳輸端727。例如，該分流諧振器220相同於該些表面聲波諧振器301、302和303的任一諧振器。在該分流諧振器220相同於該些表面聲波諧振器301、302和303的任一諧振器的條件下，該訊號傳輸端21A和該訊號傳輸端21B分別相同於該第一訊號傳輸端527和該第二訊號傳輸端727。
在一些實施例中，如圖14所示，該第一複數內條561、562、…是設置在該第一複數啞電極611、612、…和該第一導電條540之間。該第一複數內條561、562、…的數目N1可以依據應用需求而被增加或減少。該些表面聲波諧振器301、302和303的任一諧振器可以包含於該表面聲波濾波器200中。例如，該表面聲波濾波器200是一梯形表面聲波濾波器，並設置於該壓電基板320上。該些表 面聲波諧振器301、302和303的任一諧振器具有一特定結構。該特定結構用於得到一高品質因素Q值和一低插入損失，並用於優化帶通振幅。
提出於此之本揭露多數變形例與其他實施例，將對於熟習本項技藝者理解到具有呈現於上述說明與相關圖式之教導的益處。因此，吾人應理解到本揭露並非受限於所揭露之特定實施例，而變形例與其他實施例意圖是包含在以下的申請專利範圍之範疇之內。
301:表面聲波諧振器
400:指叉轉換器
451、452:實際電極
500:第一導電格柵
502:第一側
504:第二側
520:第一匯流條
527:第一訊號傳輸端
540:第一導電條
611、612:啞電極
900:訊號處理系統

Claims (13)

  1. 一種表面聲波諧振器，包含一指叉轉換器，其中該指叉轉換器設置於一壓電基板上，並包含：一第一導電格柵，包含：在其第一側上，具有一第一訊號傳輸端的一第一匯流條；直接延伸自該第一匯流條的第一複數啞電極；在其第二側上，相對於該第一匯流條的一第一導電條；設置於該第一匯流條和該第一導電條之間的第一複數內條；以及第一複數導電連接段，電連接至該第一匯流條和該第一複數內條，於該第一匯流條和該第一複數內條之間直接延伸，並與該第一複數啞電極交叉配置；以及第一複數實際電極，各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
  2. 如請求項1所述的表面聲波諧振器，其中：該第一導電條和該第一複數內條分別和該第一匯流條實質上平行；該第一導電格柵進一步包含第一複數導電連接段；該第一複數導電連接段與該第一複數實際電極分別對齊；該指叉轉換器進一步包含：一第二導電格柵，相對於該第一導電格柵，並包含： 在該第二導電格柵的第一側上，具有一第二訊號傳輸端的一第二匯流條；直接延伸自該第二匯流條的第二複數啞電極；在該第二導電格柵的第二側上，相對於該第二匯流條的一第二導電條；以及設置於該第二匯流條和該第二導電條之間的第二複數內條；以及第二複數實際電極，延伸自該第二導電條，並與該第一複數實際電極交叉配置；該第二導電條和該第二複數內條分別和該第二匯流條實質上平行；該第一複數啞電極與該第二複數實際電極分別對齊；以及該第二複數啞電極與該第一複數實際電極分別對齊。
  3. 如請求項2所述的表面聲波諧振器，其中：該第二導電格柵進一步包含第二複數導電連接段；該第二複數導電連接段設置於該第二匯流條和該第二複數內條之間，與該第二複數實際電極分別對齊，並與該第二複數啞電極交叉配置；該第一複數實際電極具有一周期性電極距離λ；該第一複數啞電極和該第一複數內條之間具有一第一間隔距離，該第一間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0040-1
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0040-2
    的範圍之內；以及該第一導電條和該第二複數實際電極之間具有一第二 間隔距離，該第二間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0041-9
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0041-10
    的範圍之內。
  4. 如請求項3所述的表面聲波諧振器，具有一特定諧振頻率，其中：該特定諧振頻率是在從30MHz到6GHz的範圍之內；該第一複數啞電極皆具有一電極長度，該電極長度是在從0.1λ到5λ的範圍之內；該第一導電條和該第一複數內條皆具有一條寬度，該條寬度是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0041-7
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0041-8
    的範圍之內；該第一導電條和該第一複數內條之間具有一第三間隔距離，該第三間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0041-5
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0041-6
    的範圍之內；該第一複數內條包含一第一內條和相鄰於該第一內條的一第二內條；以及該第一內條和該第二內條之間具有一第四間隔距離，該第四間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0041-3
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0041-4
    的範圍之內。
  5. 一種表面聲波諧振器，包含一指叉轉換器，其中該指叉轉換器設置於一壓電基板上，並包含：一第一導電格柵，包含：在其第一側上，具有一第一訊號傳輸端的一第一匯流條；直接延伸自該第一匯流條的第一複數啞電極；在其第二側上，相對於該第一匯流條的一第一導電條；設置於該第一匯流條和該第一導電條之間的一第一內條；以及 第一複數導電連接段，電連接至該第一匯流條和該第一內條，於該第一匯流條和該第一內條之間直接延伸，並與該第一複數啞電極交叉配置；以及第一複數實際電極，各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
  6. 如請求項5所述的表面聲波諧振器，其中：該第一內條和該第一導電條分別和該第一匯流條實質上平行；該第一導電格柵進一步包含第一複數導電連接段；該第一複數導電連接段與該第一複數實際電極分別對齊；該指叉轉換器進一步包含：一第二導電格柵，相對於該第一導電格柵，並包含：在該第二導電格柵的第一側上，具有一第二訊號傳輸端的一第二匯流條；直接延伸自該第二匯流條的第二複數啞電極；在該第二導電格柵的第二側上，相對於該第二匯流條的一第二導電條；以及設置於該第二匯流條和該第二導電條之間的一第二內條，其中該第一導電條、該第二導電條、該第一內條和該第二內條分別是複數反射條；以及第二複數實際電極，延伸自該第二導電條，並與該第一複數實際電極交叉配置； 該第二內條和該第二導電條分別和第二匯流條實質上平行；該第一複數啞電極與該第二複數實際電極分別對齊；以及該第二複數啞電極與該第一複數實際電極分別對齊。
  7. 如請求項6所述的表面聲波諧振器，其中：該第二導電格柵進一步包含第二複數導電連接段；該第二複數導電連接段設置於該第二匯流條和該第二內條之間，與該第二複數實際電極分別對齊，並與該第二複數啞電極交叉配置；該第一複數實際電極具有一周期性電極距離λ；該第一複數啞電極和該第一內條之間具有一第一間隔距離，該第一間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0043-11
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0043-12
    的範圍之內；以及該第一導電條和該第二複數實際電極之間具有一第二間隔距離，該第二間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0043-13
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0043-14
    的範圍之內。
  8. 如請求項7所述的表面聲波諧振器，具有一特定諧振頻率，其中：該特定諧振頻率是在從30MHz到6GHz的範圍之內；該第一複數啞電極皆具有一電極長度，該電極長度是在從0.1λ到5λ的範圍之內；該第一導電條和該第一內條皆具有一條寬度，該條寬度是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0043-15
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0043-16
    的範圍之內；以及該第一導電條和該第一內條之間具有一第三間隔距離，該第三間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0043-17
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0043-18
    的範圍之內。
  9. 一種表面聲波諧振器，包含一指叉轉換器，其中該指叉 轉換器包含：一第一導電格柵，包含：在其第一側上，具有一第一訊號傳輸端的一第一匯流條；直接延伸自該第一匯流條的第一複數啞電極；在其第二側上，相對於該第一匯流條的一第一導電條；以及第一複數導電連接段，電連接至該第一匯流條和該第一導電條，於該第一匯流條和該第一導電條之間直接延伸，並與該第一複數啞電極交叉配置；以及第一複數實際電極，各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
  10. 如請求項9所述的表面聲波諧振器，其中：該第一導電條與該第一匯流條實質上平行；該第一導電格柵進一步包含第一複數導電連接段；該第一複數導電連接段與該第一複數實際電極分別對齊；該指叉轉換器設置於一壓電基板上，並進一步包含：一第二導電格柵，相對於該第一導電格柵，並包含：在該第二導電格柵的第一側上，具有一第二訊號傳輸端的一第二匯流條；直接延伸自該第二匯流條的第二複數啞電極；以及在該第二導電格柵的第二側上，相對於該第 二匯流條的一第二導電條，其中該第一和該第二導電條分別是二反射條；以及第二複數實際電極，分別延伸自該第二導電條，並與該第一複數實際電極交叉配置；該第二導電條與該第二匯流條實質上平行；該第一複數啞電極與該第二複數實際電極分別對齊；以及該第二複數啞電極與該第一複數實際電極分別對齊。
  11. 如請求項10所述的表面聲波諧振器，具有一特定諧振頻率，其中：該第二導電格柵進一步包含第二複數導電連接段；該第二複數導電連接段設置於該第二匯流條和該第二導電條之間，與該第二複數實際電極分別對齊，並與該第二複數啞電極交叉配置；該第一複數實際電極具有一周期性電極距離λ；該第一複數啞電極和該第一導電條之間具有一第一間隔距離，該第一間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0045-19
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0045-20
    的範圍之內；該第一導電條和該第二複數實際電極之間具有一第二間隔距離，該第二間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0045-21
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0045-22
    的範圍之內；該特定諧振頻率是在從30MHz到6GHz的範圍之內；以及該第一複數啞電極皆具有一電極長度，該電極長度是在從0.1λ到5λ的範圍之內。
  12. 一種表面聲波濾波器，包含一表面聲波諧振器，該表面聲波諧振器包含一指叉轉換器，其中該指叉轉換器包含： 一第一導電格柵，包含：在其第一側上，具有一第一訊號傳輸端的一第一匯流條；直接延伸自該第一匯流條的第一複數啞電極；在其第二側上，相對於該第一匯流條的一第一導電條；以及第一複數導電連接段，電連接至該第一匯流條和該第一導電條，於該第一匯流條和該第一導電條之間直接延伸，並與該第一複數啞電極交叉配置；以及第一複數實際電極，各該第一複數實際電極係延伸自該第一導電條。
  13. 如請求項12所述的表面聲波濾波器，具有一特定諧振頻率，其中：該第一導電條與該第一匯流條實質上平行；該第一導電格柵進一步包含第一複數導電連接段；該第一複數導電連接段與該第一複數實際電極分別對齊；該指叉轉換器設置於一壓電基板上，並進一步包含：一第二導電格柵，相對於該第一導電格柵，並包含：在該第二導電格柵的第一側上，具有一第二訊號傳輸端的一第二匯流條；直接延伸自該第二匯流條的第二複數啞電極；以及在該第二導電格柵的第二側上，相對於該第 二匯流條的一第二導電條，其中該第一和該第二導電條分別是二反射條；以及第二複數實際電極，分別延伸自該第二導電條，並與該第一複數實際電極交叉配置；該第二導電條與該第二匯流條實質上平行；該第一複數啞電極與該第二複數實際電極分別對齊；該第二複數啞電極與該第一複數實際電極分別對齊；該第二導電格柵進一步包含第二複數導電連接段；該第二複數導電連接段設置於該第二匯流條和該第二導電條之間，與該第二複數實際電極分別對齊，並與該第二複數啞電極交叉配置；該第一複數實際電極具有一周期性電極距離λ；該第一複數啞電極和該第一導電條之間具有一第一間隔距離，該第一間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0047-25
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0047-26
    的範圍之內；該第一導電條和該第二複數實際電極之間具有一第二間隔距離，該第二間隔距離是在從
    Figure 110134701-A0305-02-0047-23
    到
    Figure 110134701-A0305-02-0047-24
    的範圍之內；該特定諧振頻率是在從30MHz到6GHz的範圍之內；以及該第一複數啞電極皆具有一電極長度，該電極長度是在從0.1λ到5λ的範圍之內。
TW110134701A 2021-09-16 2021-09-16 利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾波器 TWI789913B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW110134701A TWI789913B (zh) 2021-09-16 2021-09-16 利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾波器
US17/945,707 US20230078097A1 (en) 2021-09-16 2022-09-15 Surface-acoustic-wave resonator and filter utilizing effective reflecting structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW110134701A TWI789913B (zh) 2021-09-16 2021-09-16 利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾波器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI789913B true TWI789913B (zh) 2023-01-11
TW202315312A TW202315312A (zh) 2023-04-01

Family

ID=85479081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW110134701A TWI789913B (zh) 2021-09-16 2021-09-16 利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾波器

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20230078097A1 (zh)
TW (1) TWI789913B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116938183A (zh) * 2023-09-13 2023-10-24 锐石创芯(深圳)科技股份有限公司 弹性滤波装置、多工器及射频前端模组

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116938189B (zh) * 2023-09-15 2023-12-22 锐石创芯(深圳)科技股份有限公司 谐振器、滤波器、多工器和射频前端模组

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW202021271A (zh) * 2018-11-16 2020-06-01 日商日本電波工業股份有限公司 聲表面波器件
TW202044756A (zh) * 2018-11-06 2020-12-01 美商天工方案公司 在叉指換能器上具有高導熱層的聲波裝置
US20210126624A1 (en) * 2019-10-23 2021-04-29 Skyworks Solutions, Inc. Surface acoustic wave resonator with suppressed transverse modes using selective dielectric removal
US11095266B2 (en) * 2016-10-07 2021-08-17 Qorvo Us, Inc. Slanted apodization for acoustic wave devices

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11095266B2 (en) * 2016-10-07 2021-08-17 Qorvo Us, Inc. Slanted apodization for acoustic wave devices
TW202044756A (zh) * 2018-11-06 2020-12-01 美商天工方案公司 在叉指換能器上具有高導熱層的聲波裝置
TW202021271A (zh) * 2018-11-16 2020-06-01 日商日本電波工業股份有限公司 聲表面波器件
US20210126624A1 (en) * 2019-10-23 2021-04-29 Skyworks Solutions, Inc. Surface acoustic wave resonator with suppressed transverse modes using selective dielectric removal

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116938183A (zh) * 2023-09-13 2023-10-24 锐石创芯(深圳)科技股份有限公司 弹性滤波装置、多工器及射频前端模组
CN116938183B (zh) * 2023-09-13 2024-01-09 锐石创芯(深圳)科技股份有限公司 弹性滤波装置、多工器及射频前端模组

Also Published As

Publication number Publication date
US20230078097A1 (en) 2023-03-16
TW202315312A (zh) 2023-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0652637B1 (en) Surface acoustic wave filter
TWI789913B (zh) 利用有效反射結構的表面聲波諧振器及濾波器
JP6332101B2 (ja) 弾性表面波フィルタ
EP1168614A2 (en) Longitudinally coupled resonator type surface accoustic wave filter
KR100716085B1 (ko) 탄성 표면파 장치
US20240162884A1 (en) Electro acoustic resonator with suppressed transversal gap mode excitation and reduced transversal modes
KR100874828B1 (ko) 탄성 표면파 필터 장치
EP1037385B1 (en) Surface acoustic wave filter, duplexer, and communications device
WO2021002321A1 (ja) 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ
JPH05267990A (ja) 縦結合二重モ−ドｓａｗフィルタ
JP2001217680A (ja) 縦結合弾性表面波フィルタ
US20140354373A1 (en) Acoustic wave device and antenna duplexer including same
CN113746449B (zh) 一种弹性波宽带滤波器
JP3915322B2 (ja) 弾性表面波フィルタ
JP2002064358A (ja) 複合弾性表面波フィルタ
US6762534B2 (en) Transversally coupled resonator filter
JP3425394B2 (ja) 弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ
US7880561B2 (en) Surface acoustic wave filter device and duplexer
CN212543743U (zh) 一种基于saw-baw技术组合应用的声波滤波器
JP2002111444A (ja) 複合弾性表面波フィルタ
JP2927107B2 (ja) 横結合２重モード弾性表面波フィルタ
CN115955212B (zh) 一种扩大带宽的saw滤波器
JPH077370A (ja) 多段接続弾性表面波多重モードフィルタ
US20240072763A1 (en) Acoustic wave device and method of manufacturing acoustic wave device
JP2008085885A (ja) 複合弾性表面波装置