TWI781137B - 襯墊、研磨系統及從襯墊的下表面去除研磨殘屑的方法 - Google Patents

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Abstract

所提出的解決方案揭露了中介墊、襯墊和研磨件的導管配置。本導管配置中介墊、襯墊和研磨件。本導管配置能夠將空氣可控地傳送到中介墊、襯墊和研磨件的表面上以及從中抽出空氣和碎屑。所提出的解決方案是適用於研磨系統的中介墊。所提出的解決方案是包括中介墊的研磨系統。所提出的解決方案適用於研磨設備的襯墊。所提出的解決方案包括襯墊的研磨系統。所提出的解決方案適用於研磨系統的研磨件。所提出的解決方案包括研磨件的研磨系統。所提出的解決方案進一步涉及使用研磨系統來提取研磨殘屑的方法。

Description

襯墊、研磨系統及從襯墊的下表面去除研磨殘屑的方法
發明領域
待提出的解決方案涉及在以研磨設備研磨工件的期間抽出殘屑。
本解決方案涉及適用於研磨系統的中介墊。本解決方案涉及包括中介墊的研磨系統。本解決方案涉及適用於研磨設備的襯墊。本解決方案涉及包括襯墊的研磨系統。本解決方案涉及適用於研磨系統的研磨件。本解決方案涉及包括研磨件的研磨系統。本解決方案進一步涉及使用研磨系統來抽出研磨殘屑的方法。
發明背景
研磨是在眾多的情境中進行的，如汽車修理和油漆工作、建築的建造和修理、以及傢俱製造和修理之類的。在所有這些情況下，研磨產生的殘屑應該從要研磨過程中有效率且可控制地提取出，因為剩餘的殘屑對研磨的效率和結果產生負面影響，且如果擴散，則構成健康危害和妨擾。在一些研磨的應用中，透過使用在研磨物品和研磨設備的 襯墊之間的中介墊可以改善使用者控制、成本效率和/或成果表面的品質。
發明概要
所提出的解決方案是適用於研磨系統的中介墊。所提出的解決方案是包括中介墊的研磨系統。所提出的解決方案是適用於研磨設備的襯墊。所提出的解決方案是包括襯墊的研磨系統。所提出的解決方案是適用於研磨系統的研磨件。所提出的解決方案是包括研磨件的研磨系統。所提出的解決方案進一步涉及使用研磨系統來抽出研磨殘屑的方法。
所提出的解決方案揭露了中介墊、襯墊和研磨件的導管配置。這樣的中介墊、襯墊和研磨件適用於研磨系統，其包括能產生吸入壓力或能附著到吸入壓力來源的研磨設備，其目的為用吸入壓力將研磨殘屑從研磨過程中取出。
當上述導管配置是在一個中介墊上實施，該等導管配置可改善將研磨殘屑從中介墊和研磨件的輸出。
這樣的中介墊可適用於研磨系統，其包括用於提供吸入壓力的研磨設備。這樣的中介墊可包括上表面層，其包括適用於附著上表面層至研磨設備襯墊的附著件，該中介墊可包括下表面層，其包括適用於附著下表面層至研磨件的附著件，該中介墊可包括可選地一或多個單層或多層疊的中介層，其位在上表面層和下表面層之間並 附著至上表面層和下表面層，該中介墊可包括面向研磨件的下表面、面向襯墊的上表面、外側壁、至少一個中間導管，其以一個孔終結在下表面上且適於從下表面輸送走空氣和研磨殘屑，以及至少一個周邊導管，其從外側壁延伸並以一個孔終結在下表面上且適於將傳入的空氣輸送到下表面並且被中介墊的完整部分與中間導管相隔開。
當上述導管配置是在一個襯墊上實施，該等導管配置可適用於從襯墊和研磨件抽出研磨殘屑，以及若研磨系統包括中介墊，從中介墊抽出研磨殘屑。
這樣的襯墊可適用於研磨系統，其包括用於提供吸入壓力的研磨設備。這樣的襯墊可包括主體，其包括適用於附著主體至研磨設備的附著件，該襯墊可包括可附著至主體上的下表面層，其包括適用於附著下表面層至研磨件的附著件，該襯墊可包括面向研磨件的下表面，該襯墊可包括外側壁、至少一個中間導管，其以一個孔終結在下表面上且適於從下表面輸送走空氣和研磨殘屑，以及至少一個周邊導管，其從外側壁延伸並以一個孔終結在下表面上且適於將傳入的空氣輸送到下表面並且被襯墊的完整部分與中間導管相隔開。
當上述導管配置是在一個研磨件上實施，該等導管配置可適用於從研磨件和被研磨的工件之間的介面抽出研磨殘屑，和/或從研磨件和襯墊或中介墊的介面抽出研磨殘屑。
這樣的研磨件可適用於研磨系統，其包括用 於提供吸入壓力的研磨設備。這樣的研磨件可包括上表面層，其包括適用於附著上表面層至研磨設備襯墊或中介墊的附著件，該研磨件可包括面向襯墊或中介墊的上表面，該研磨件可包括帶下表面的下表面層，該下表面層包括研磨材料，使得該下表面可被用來研磨工件，該研磨件可包括可選地單層或多層疊的中介層，其可以另外是多孔的和/或包含多層，該研磨件可包括外側壁、至少一個周邊導管，其從外側壁延伸至下表面並且被研磨件的完整部分與任何其它可能的導管相隔開。有利地，下表面層可包括具有小開口的開放式網眼，該網眼被研磨顆粒塗覆。
所公開的用於抽出研磨碎屑的導管裝置和相關方法提供了如下優點：當接上提供吸入壓力的研磨設備時，能有利地引導在中介墊、襯墊和/或研磨件的表面上的空氣和殘屑流，使得表面被均勻地沖刷。這種有利的空氣引導包括可控制地將進入的空氣也引入到所述表面的中間區域，從而實現包括其中間區域的所述表面的均勻沖刷。根據本發明揭露的導管配置，周邊導管在不將空氣和/或碎屑傳送到系統中的另一部件中的任何導管中的意義上來說是盲管，且可迫使空氣和/或碎屑在到達最附近的連接有吸入壓力的抽取導管之前，越過所述表面。
這種強迫空氣和/或殘骸越過上述表面的情況，可實現比使用已知的襯墊、中介墊和研磨件更能均勻沖刷上述表面。亦即，當使用已知的襯墊、中介墊和研磨件時，所述表面的中間區域的沖刷會比中央區域和周邊區 域的沖刷較不完全。
這樣的均勻沖刷所述表面有利於消除或減少殘留在所述表面上的研磨殘屑。這是有益的，因為研磨過程中殘留的殘屑，亦即殘留在研磨件和中介墊或襯墊之間的介面和/或在研磨件和被研磨的工件之間的介面，可能會對研磨效率和所產生的表面質量產生不利影響，甚至會堵塞研磨件。此外，在研磨件和所附著研磨系統部件(即中介墊或襯墊)之間夾有的任何殘屑，可能會逐漸損壞附著件直至最終失效。例如，石膏灰泥粉塵可能會逐漸研磨襯墊或中介墊上黏扣帶(hook-and-loop fastening)系統的鉤子，以至於必須更換襯墊或中介墊。這種更換增加了研磨的成本，在更換期間中斷了工作，並且需要保存更換的庫存。此外，研磨件、中介墊和/或襯墊上累積的殘屑增加了積累有殘屑的系統部件的重量，導致不平衡的研磨系統，及折衷的用戶控制、研磨效率和表面質量。
本發明揭露的中介墊可用來做為研磨系統的一部分，該研磨系統包括研磨設備、襯墊和所揭露的中介墊。為了研磨一工件，所公開的中介墊可以附著到研磨件上，該研磨件優選為多孔的，並且最優選為包括具有小開口的開放式網眼的研磨網，所述網眼被磨料顆粒塗佈。襯墊和/或研磨件可以是不包括本發明公開的導管配置的類型。
本發明揭露的襯墊可用來做為研磨系統的一部分，該研磨系統包括研磨設備和所揭露的襯墊。為了 研磨一工件，所公開的襯墊可以附著到研磨件上，該研磨件優選為多孔的，並且最優選為包括具有小開口的開放式網眼的研磨網，所述網眼被磨料顆粒塗佈。研磨件可以是不包括本發明公開的導管配置的類型。
本發明揭露的研磨件可用來做為研磨系統的一部分，該研磨系統包括研磨設備和襯墊，以及可選的中介墊。為了研磨一工件，所公開的研磨件可以附著到襯墊上，或該研磨件可附著到一附著至襯墊的中介墊上。襯墊和/或中介墊可以是不包括本發明公開的導管配置的類型。
一包括所公開中介墊、所公開襯墊或所公開研磨件的研磨系統，可用於汽車修理和油漆工作、建築物的建造修理以及家具的製造修理等。
S X ，S Y ，S Z :正交方向
1:研磨設備
2:導管
3:吸入壓力來源
4:殘屑收集容器
10:襯墊
11 a、 110 a、 210 a、 410 a:中央導管
11 b、 110 b、 210 b、 410 b:中間導管
12、120、220、310、420:外側壁
20、100:中介墊
110 c、 210 c、 410 c:周邊導管
130、430:上表面層
140:中介層
150、240、450:下表面層
160、250、460:下表面
170、260、470:上表面
200:襯墊
230:主體
300、400:研磨件
440:中間層
附圖僅圖示了所提出的解決方案的示例實施例，而不被視為限制其使用的範圍。這些附圖並沒有特別的尺度。此外，附圖中的任何導管都只是示意性地示出，因此導管的精確形狀和輪廓可以在遵守其所示的一般原理下改變。
圖1 圖示了研磨設備1，配有襯墊10、中介墊20、100和研磨件300、400。
圖2 圖示了具導管2的研磨設備1的橫截面圖，該設備1配有襯墊10、中介墊100和研磨件300。
圖3 圖示了中介墊100的示範實施例。
圖4 圖示了附著至襯墊10和研磨件300的中介墊100的層結構。
圖5a到5f圖示了中介墊100中不同示例類型的導管110 a-c，以中介墊的局部橫截面描繪，其連接至襯墊10和研磨件300。
圖6 圖示了研磨設備1，配有襯墊200和研磨件300。
圖7 示出了襯墊200的示範實施例的底部視圖及橫截面視圖。
圖8 圖示了連接至研磨件300的襯墊200的層結構。
圖9a到9e圖示了附著至研磨件300的襯墊200中不同示例類型的導管210 a-c。
圖10a 圖示了依據示範實施例，中介墊100和襯墊200下表面上空氣流動的方向。
圖10b 圖示了依據傳統已知解決方案，中介墊20或襯墊10下表面上空氣流動的方向。
圖11a到11f圖示了依據示範實施例，在中介墊和/或襯墊和/或研磨件中不同示例的導管配置的底視圖。
圖12圖示了具導管2的研磨設備1的橫截面圖，該設備1配有襯墊200和研磨件300。
圖13a 圖示了研磨件400的示範實施例的底視圖。
圖13b 圖示了研磨件400的示範實施例的底視圖。
圖13c 圖示了研磨件400的示範實施例的底視圖。
圖14圖示了附著至襯墊10或中介墊20的研磨件400的層結構。
圖15a到15d圖示了研磨件400中不同示例類型的導管導管410 a-c，以研磨件的局部橫截面描繪，其連接至襯墊10或中介墊20。
圖16圖示了具導管2的研磨設備1的橫截面圖，該設備1配有襯墊10和研磨件400。
圖17a到17e圖示了依據示範實施例的不具中央導管也不具中間導管的研磨件中，不同示例的周邊導管配置。
圖18圖示了研磨設備1，配有襯墊10和研磨件400。
較佳實施例之詳細說明
在所有研磨中，無論是研磨離散的工件還是更大的表面如牆壁或天花板，都會產生研磨殘屑。此殘屑包括從被研磨的表面磨下的材料以及從研磨件如砂紙或砂磨網脫落的磨料顆粒。為了研磨的生產力，需要從研磨表面磨下大量研磨材料並且因此會有大量且恆定量的研磨碎屑。
碎屑的抽出和運送通常用基於吸力的系統來實現，使得在襯墊和研磨件上存在孔，通過該等孔將研磨碎屑從研磨過程中吸走。然而，對於均勻多孔的研磨件如研磨網，其特徵在於在研磨件的整個表面上分佈有大量的孔，如果附著區域保持不均勻沖刷，則碎屑可能積聚在襯墊或中介墊上。如圖10 b所示，增加更多的抽吸孔不會導致均勻的沖刷，其沒有將進入的空氣受控地引導通過位於下表面上的導管和/或終止於下表面上的孔到待沖刷的表面上，如圖10 a所示。
下文將描述一種解決方案，以新穎的、能實施在襯墊、中介墊和研磨件的導管配置，使得均勻抽出研磨殘屑能夠實現。導管配置可以依襯墊、中間墊和研磨物品的特定實施例而不同，但它們具有相同的導向原理，特別是關於可控地將進入的空氣引入所指產品的中間區域。
中介墊
圖3中示出了根據一個實施例的中介墊100。當用做為研磨工件的研磨系統的一部分時，中介墊100可具有數個有利地引導空氣流的導管110 a-110 c。如圖10 a所示，這種所欲的空氣流均勻地沖刷中介墊100的表面以抽出研磨碎片，使得在中介墊100的表面上保留極少的研磨殘屑，從而產生了有益效果，即中介墊100的壽命增加並且研磨過程不受系統中累積的碎屑損害。已知，當空氣流從中介墊100的表面流出時，空氣流捕獲研磨殘屑並將捕獲的研磨殘屑從中介墊100的表面輸送走。
圖4中示出了根據一個實施例的中介墊100的結構，其附著在襯墊10和研磨件300之間。
根據圖4所示的實施例，中介墊100可以包括上表面層130，下表面層150和中介層140。在另一個實施例中，中介墊100可以包括上表面層130和下表面層150，並且不包括中介層。在又一個實施例中，中介墊100可以包括上表面層130，下表面層150和中介層140，使得中介層140包括兩個或更多個層疊，所述層疊可以例如是不同材料。
中介墊100具有包圍上表面層130，下表面層150和中介層140(如果有的話)的外側壁120。在圖4所示的實施例中，外側壁120具有壁表面，該壁表面可以處於基本垂直於上表面層130和下表面層150的平面上。在其他實施例中，外側壁120可以是傾斜的，使得中介墊100的周邊在下表面160處比在上表面170處更大，反之亦然。
上表面層130可以包括用於將中介墊100附接到襯墊的附著件，且下表面層150可以包括用於將中介墊100附接到研磨件的附著件。這樣的附著件可以實現機械或黏合劑附接。優選地，這樣的附接能夠移除和重新附接。根據一個優選實施例，附著件可以包括黏扣帶，並具有便於再次附接的能力。在此優選實施例中，中介墊100的上表面層130可以包括黏扣帶的鉤，並且襯墊10的下表面層可以包括黏扣帶的環，反之亦然，和/或中介墊100的下表面層150可以包括黏扣帶的鉤，並且研磨件300的上表面層可以包括黏扣帶的環，反之亦然。
在另一個實施例中，附著件可以是基於壓敏黏合劑，即PSA。在這樣的實施例中，中介墊100的上表面層130可以包括壓敏黏合劑並且襯墊10的下表面層可以包括適合於壓敏黏合的平坦表面，或者反之亦然，和/或下部表面層中介墊100的下表面層150可以包括壓敏黏合劑，且研磨件300的上表面層可以包括適合於壓敏黏合的平坦表面，反之亦然。
在圖4中所示的具體實施方式包括中介層 140，並且在包括具多個層的中介層140的這樣的實施方式中，可以根據應用選擇中介層140的厚度和材料。涉及中介層140的特點的設計選擇的例子可包括吸收機械振動、吸收聲音、重量、可回收性、成本、可製造性、可塑性以及對中介墊100的其他層的可附接性。這樣的選擇可能會影響研磨系統的可控性以及研磨表面的質量。
在包括中介層140且在圖4中示出的具體實施例中，中介層140可以包括的材料的示例包括軟質材料，例如泡沫聚丙烯、泡沫聚乙烯、泡沫丙烯腈丁二烯苯乙烯、泡沫聚氨酯、泡沫聚醯胺、泡沫乙烯乙酸乙烯酯或類似材料，和硬質材料，例如聚丙烯、聚乙烯、丙烯腈丁二烯苯乙烯、聚氨酯、聚醯胺、鋁或類似材料。
中介墊100包括中央區域、周邊區域和中間區域，中央區域指的是中介墊100在其中心處和其附近的部分，周邊區域指的是中介墊100在其外側壁120處和其附近的部分，中間區域指的是中介墊100的位於中央和周邊區域之間的部分。中央區域，周邊區域和中間區域在S X ，S Y 平面上定義。
根據圖3所示的圓形中介墊100實施例，中央區域可以從中介墊100的中心朝其外側壁120徑向延伸至不超過中介墊100半徑5%、或10%、或15%、或20%、或25%、或30%、或35%的距離，且周邊區域可從中介墊100的外側壁120向其中心徑向延伸到中介墊100.半徑的至少10%、或15%、或20%、或25%、或30%或35%的 距離。
根據圖3所示的特定實施例，中央區域可以從中介墊100的中心朝其外側壁120徑向延伸至中介墊100半徑20%的距離，且周邊區域可從中介墊100的外側壁120向其中心徑向延伸到中介墊100.半徑的20%的距離。
在S X ，S Y 平面上具有不同形狀的中介墊100(例如中介墊100是矩形或三角形)的其他實施例中，可以類似地，通過將半徑的概念替換成中介墊100的中心與外側壁120上的任何給定點(例如相對於中介墊100的中心的最近點)之間的距離，來定義中央區域、中間區域和周邊區域。
中介墊100可以包括多個導管110 a-110 c，其可以在下表面160上的孔終止。這樣的導管可以包括位於或至少源自中央區域的一或多個中央導管110 a，位於中間區域中的一或多個中間導管110 b，和/或源自周邊區域並延伸到中間區域的一或多個周邊110 c。這樣的導管110 a-110 c可以被中介墊100的完整部分圍繞，使得沒有導管110 a-110 c延伸到另一個導管110 a-110 c中。中央導管110 a和一或多個周邊導管110 c可以不連接到吸入壓力源，例如不連接到一或多個中間導管110 b。
中介墊的完整部分是指不含一或多個導管110 a-110 c的中介墊100的一部分，因此阻止空氣流動，以致比起通過中介墊100的完整部分，空氣將基本上更自由地沿著導管110 a-110 c流動。導管110 a-110 c通過中介墊 100的完整部分彼此分開的目的，是為了能夠通過導管110 a-110 c控制空氣的輸送，使得可以利用未接有吸入壓力的導管的空氣流動過中介墊100的表面到接有吸入壓力的導管，來引起表面沖刷。如果空氣流從一個導管110 a-110 c直接洩漏到另一個導管中，則這種受控的空氣傳輸將受到干擾。
由於一或多個周邊導管110 c可延伸到中介墊100的中間區域中，所以一或多個周邊導管110 c可延伸到一個距離處，該距離大於外側壁120上周邊導管110 c的起點與中介墊100中心之間的距離的10%、或15%、或20%、或25%或30，與前文關於周邊區域範圍的描述內容相一致。
將適於連接到研磨系統中吸入壓力的中間導管110 b與不適於連接到研磨系統中吸入壓力的導管110 a，110 c相隔開所帶來的技術效果是，能夠控制空氣從環境壓力流動到低壓(即吸入壓力)，以便在中介墊100的整個表面上引起均勻的空氣流動。在圖3所示的實施例中，中間導管110 b可以適於連接到研磨系統中的吸入壓力，並且中央導管110 a和周邊導管110 c可以不適於連接到吸入壓力。
周邊導管110 c可以穿過中介墊100的外側壁120。周邊導管110 c可以是細長的，使得周邊導管110 c可以從中介墊100的周邊區域延伸到其中間區域，使得最靠近中介墊100中心的周邊導管110 c端部，比起距離中介墊 100中心最遠的中間導管110 b，更接近中介墊100的中心。周邊導管110 c可以同向或朝向中央導管110 a和/或中央區域延伸。
如圖1和圖2所示，如果適當地用做為研磨系統的一部分，中央導管110 a和周邊導管110 c可以用於將進入的空氣引入到中介墊100的下表面160上，並且中間導管110 b可用於將空氣和殘屑從所述表面輸送走。
圖3示出了具體實施例的導管110 a-110 c的構造。在這個實施例中，有至少一個位於中央區域的中央導管110 a；多個位於中間區域中的中間導管110 b，使得中間導管110 b沿著與中介墊100的中心同心的三個同心圓佈置，每個同心圓具有數個中間導管110 b，例如8個中間導管110 b，優選地具有相等的間距；以及數個周邊導管110 c，例如8個周邊導管110 c，優選具有相等的間距，該周邊導管110 c穿過中介墊100的外側壁120。中央導管110 a和/或中間導管110 b在中介墊100的下表面160上可以是圓形的。
周邊導管110 c可以是細長的，使得周邊導管110 c朝向中介墊100的中心延伸並進入其中間區域，使得周邊導管110 c的端部朝向中介墊100的中心延伸至大於中介墊100的半徑的一半處。
圖11 a至圖11 f示出了不同導管構造的例子，其可以用於中介墊100的其他實施例中，或可以採用特定的導管幾何形狀到設導管110 a-110 c的中介墊100 中。根據圖11 a所示的示例配置，可以存在多個具有曲率的細長周邊導管。根據圖11 b所示的例子，可以存在多個具有分支的細長周邊導管。根據圖11 c所示的示例，可以存在不止一種類型的細長周邊管道，使得可以存在多個分支周邊管道和多個非分支周邊管道。根據圖11 d中所示的示例，可以存在分支中央導管，並且可以存在多個細長周邊導管，使得細長周邊導管中的其中一些從中介墊100的周邊區域以一個非朝向中介墊100中心的方向延伸到其中間區域。根據圖11 e所示的例子，可以存在多個具有分支的細長中間導管。根據圖11 f所示的例子，可以存在多個具有角度的細長周邊導管。儘管圖11 a至圖11 f示出了圓形中介墊100上的不同導管配置的示例，但是所示出的幾何原理也可以在不同形狀的中介墊100上實施，例如矩形或三角形。
在圖3所示的具體實施例中，導管110 a-110 c可以在S Z 軸上延伸穿過中介墊100的整個厚度。也就是說，在該實施例中，導管110 a-110 c可以從中介墊100的上表面170延伸到其下表面160。
在基於圖3和圖4所示者的實施例中，導管110 a-110 c可從中介墊100的上表面170延伸穿過其上表面層130、中介層140和下表面層150，並且最終到達中介墊100的下表面160。在該實施例中，中央導管110 a和中間導管110 b是5 a中所示的類型，即延伸穿過中介墊100整個厚度的孔，並且周邊導管110 c是圖5 f中所示的類型，即 延伸穿過中介墊100的整個厚度並且如圖3和圖11 a至11 f所示的狹縫。
圖5 b、5 c、5 d和5 e示出了可用於基於圖4中所示的層結構的中介墊100的其他實施例中的導管類型，即包括中介層140的這類實施例。在具有或不具有中間層140的中介墊100的實施例中可採用圖5 a和圖5 f中所示的導管類型。
圖5 b示出了周邊導管110 c的實例，該周邊導管源自並穿過中介墊100的外側壁120並且在S X 、S Y 平面上拉伸，該周邊導管在中介墊100下表面160上具有相同拉伸長的孔，並且在S Z 軸上延伸穿過下表面層150，部分地穿過中介層140而不進入上表面層130。該導管類型例如是中介墊100的下表面160上的凹槽，該凹槽朝向研磨件300打開。優選地，凹槽在外側壁120處具有開口端以及至少一個相對的封閉端。該導管類型可以被修改為使得它在S Z 軸上完全延伸穿過中介層140而不是部分地延伸，在這種情況下，該導管類型可以用於不包括中介層140的中介墊100的實施例中。
圖5 d示出了周邊導管110 c和/或中央導管110 a的示例，該等導管源自並穿過中介墊100的外側壁120，在中介層140內行進並且可以被配置為在所欲位置穿刺下表面160，包括中介墊100的中心。這可以實現在選擇中介墊100的下表面160上輸送空氣的位置上的自由，包括有利地使用中介墊100與襯墊10和/或不具有中央空氣導 管的研磨設備。用作周邊導管110 c的這種導管類型包括例如在下表面160上的凹槽，該凹槽朝向研磨件300打開。在這種情況下，周邊導管110 c優選地包括具有至少兩個封閉端的凹槽和在外側壁120上的孔口。換言之，在該優選情況下，周邊導管110 c在下表面160上具有細長的孔。該導管類型可以被修改，使其在S Z 軸上完全延伸穿過中介層140而不是部分地延伸。
圖5 c和5 e示出中央導管110 a和/或中間導管中間導管110 b，其具有在上表面層130和下表面層150中在S X ，S Y 平面上橫向偏移的孔口。這使得能夠有利地在中介墊100的下表面160上配置導管，其不同於上表面170上和襯墊10中的導管配置。該導管類型可以被修改，使其在S Z 軸上完全延伸穿過中介層140而不是部分地延伸。
在中介墊100中，每組導管，即中央導管110 a、中間導管110 b和/或周邊導管110 c可採用如上所述的不同類型的導管。此外，每個所述一組導管可以在該組內使用不同類型的導管，使得在一組導管內可以使用多於一個如上所述並在圖5 a至圖5 f中示出的導管類型。
在中介墊100中，每組導管，即中央導管110 a、中間導管110 b和/或周邊導管110 c可以使用不同於另一組導管的導管類型。
根據圖3和圖4所示的具體實施例的中介墊100，即包括中介層140和從上表面170延伸到下表面160的導管110 a-110 c的實施例，可以例如通過沖孔成型 (punching)來製造。這種沖孔成型可以用合適的沖頭和模具，和包括上表面層130、中介層140和下表面層150的片材來進行。這些層可以在沖孔成型之前黏附地彼此附接。或者，這些層可以分開沖孔成型並且在沖孔成型之後例如黏合地彼此附接。
不具有中介層140但根據圖3和4所示的所述特定實施例的中介墊100可類似地通過沖孔成來製造。這種沖孔成型可以用合適的沖頭和模具，和包括上表面層130和下表面層150的片材來進行。這些層可以在沖孔成型之前黏附地彼此附接。或者，這些層可以分開沖孔成型並且在沖孔成型之後例如黏合地彼此附接。
包括圖5 b、5 c、5 d和/或5 e中所示類型的導管的中介墊100的實施例的製造可以例如通過加成製造(例如利用三維印刷)中間層140、從合適的材料片中沖孔成型出上表面層130和下表面層150，並最終將所有層140、130和150彼此黏附在一起。
如上所述的中介墊100可以用於包括研磨設備1和襯墊10和中介墊100的研磨系統中，如圖1實施例所示。如上所述，中介墊100可以是包括中介層140的類型，或者也可以是不包括中介層140的類型，也如上所述。在用這種研磨系統研磨一工件期間，研磨件300可附接至中介墊100。研磨件300較好是多孔的，最好是包含開放式網眼的研磨網，該網眼塗有磨粒並包括多個開口。在研磨過程中，研磨設備1可以旋轉和/或擺動襯墊10。這種旋轉和 /或擺動可以由研磨設備1的電源(例如電動或氣動馬達)引起。
研磨件300、襯墊10和中介墊100可以在S X 、S Y 平面上具有任何形狀，例如矩形、三角形，或者如果是旋轉的則優選為圓形。有利地，襯墊10、中介墊100和研磨件300基本上具有相同的形狀。襯墊10和研磨件300可以例如是常規的已知類型，或者它們可以結合本發明公開的用於襯墊200和研磨件400的解決方案的原理。
在圖2中以橫截面圖示了研磨系統的實施例，其中中介墊100是根據圖3中所示的具體實施例。在這個研磨系統實施例中，中介墊10的中間導管110 a和110 b分別與襯墊10的中間導管11 a和 11 b對齊。此外，襯墊10的中間導管11 b與研磨設備1的導管2對齊。研磨設備1的導管2可連接到或適於連接到可包括殘屑收集容器4的吸入壓力來源3。
一般應該理解的是，對於要對準的導管，導管不一定必須在幾何上完美地對準，使得例如它們的孔將彼此完美匹配而沒有任何幾何偏移或面積差異，或者導管將需要密封耦合到彼此。相反地，當導管構成功能性空氣和/或碎屑的輸送路徑時，亦即可將空氣和/或碎屑從一個導管輸送到另一導管時，即應理解為對準。
研磨系統的操作過程中，襯墊10的中央導管11 a可以將進入的空氣通過中介墊100的中央導管110 a傳送到中介墊100的下表面160上。在S X ，S Y 平面上從中介 墊100的中間區域延伸到其周邊區域並穿過其外側壁120的周邊導管110 c(在圖2中的截面中不可見)可以在因襯墊10上沒有與周邊導管110 c對齊的對應孔或導管的意義上來說是盲管。因此，周邊導管110 c不與吸入壓力連接。
根據圖2所示的實施例，在研磨期間，可以從中介墊100的下表面160，即從中介墊100和容納其附接元件的研磨件300之間的空間抽吸研磨碎屑，壓力通過中介墊100的中間導管110 b，然後通過襯墊10的中間導管11 b進入研磨設備1的導管2。所提取的研磨殘屑可被傳送到殘屑收集容器4中。被吸入壓力吸至中介墊100的下表面160上的替換空氣可以源自中介墊100的中央導管110 a、周邊導管110 c和外側壁120。由於周邊導管110 c可以如上所述是盲管，通過這些導管的進入空氣可能在到達最靠近吸入壓力連接的中間導管110 b之前被迫越過中介墊100的下表面160，由此提供大體上延伸到中介墊100的中間區域中的表面沖刷。圖10 a示出了根據該實施例的中介墊100的下表面160上的空氣流動。
此外，如果研磨件300是多孔的，例如包括開放式網眼的研磨網，該網眼上塗覆有磨粒並且包括多個開口，則在研磨期間，研磨殘屑可以從研磨件300移動到中介墊100的下表面160上，並且研磨件300的下表面可以以與中介墊100的下表面160類似的方式被沖刷。
在中介墊100的其他實施例中，例如根據圖11 a至圖11 f所示的示例，導管110 a-110 c可以以不同的配 置在S X ，S Y 平面上。額外的導管配置可以例如通過組合圖11 a至11 f中所示的導管類型來設計。不同的這種配置可以被設計來管理不同應用中的進入和離開空氣流，包括不同形狀的襯墊10、中介墊100和研磨件300，使得中介墊100的下表面160可以被空氣均勻地沖刷，以均勻地抽出中介墊100整個表面上的研磨殘屑，如根據圖10a中的一個實施例所示。
在中介墊100的另外其他實施例中，一或多個中央導管110 a可以連接到吸入壓力並且由此用作空氣和殘屑抽出導管，而不是將進入的空氣輸送到中介墊100的下表面160上。在這樣的實施例中，根據上面已經描述的內容，一或多個中央導管110 a因此可以起類似於中間導管110 b的作用。如上所述，這些實施例可以另行遵守上述解決方案的原理。因此，在這樣的實施例中，進入的空氣可以通過中介墊100的周邊導管110 c及外側壁120上起始，並且在到達最近的吸入壓力連接的中央或中間導管110 b，110 a之前被迫越過中介墊100的下表面160，由此提供基本上延伸到中介墊100的中間和中央區域的表面沖刷。
襯墊
圖7中示出了根據一個實施例的襯墊200。當用做為研磨工件的研磨系統的一部分時，襯墊200可具有數個有利地引導空氣流和殘屑的導管210 a-210 c。這種所欲的空氣流和殘屑均勻地沖刷襯墊200的表面，使得在襯 墊200的表面上保留極少的研磨殘屑，從而產生了有益效果，即襯墊200的壽命增加並且研磨過程不受系統中累積的碎屑損害。已知，當空氣流從襯墊200的表面流出時，空氣流捕獲研磨殘屑並將捕獲的研磨殘屑從襯墊200的表面輸送走。
圖8中示出了根據一個實施例的襯墊200的結構，其附著至研磨件300。
根據圖8所示的實施例，襯墊200可以包括主體230，下表面層240和下表面250。在另一個實施例中，襯墊200可以包括下表面層240和主體230，該主體230可以包括兩層或更多層疊，所述層疊可以例如是不同材料。
襯墊200具有包圍主體230和下表面層240的外側壁220。在圖8所示的具體實施例中，外側壁220具有壁表面，該壁表面處於基本垂直於主體230和下表面層240的平面上。在其他實施例中，外側壁220可以是傾斜的，使得襯墊220的周邊在下表面250處比在主體220上部處更大，或反之亦然。
下表面層240可以包括附著件以將襯墊200附接到研磨件300上。這樣的附著件可以實現機械或黏合劑附接。優選地，這樣的附接能夠移除和重新附接。根據一個優選實施例，附著件可以包括黏扣帶，並具有便於再次附接的能力。在該優選實施例中，襯墊200的下表面層240可以包括鉤，並且研磨件300的上表面可以包括環，或反之亦然。
在另一個實施例中，附著件可以是基於壓敏黏合劑，即PSA。在這樣的實施例中，研磨件300的上表面可以包括壓敏黏合劑，並且襯墊200的下表面層240可以包括適合於壓敏黏合的均勻表面，或反之亦然。
襯墊的主體230可以包括附著件以將襯墊200附接到研磨設備1上。這樣的附著件可以實現機械附接並且可以有利地實現移除和再附接。這樣的附著件可以包括已知的例如一個或多個螺栓、一個或多個螺母和/或一個或多個螺釘，其中研磨設備1具有用於連接到主體230的附著件的合適元件。
在圖8所示的具體實施例中，襯墊200除了包括下表面層240外，還包括主體230，可根據應用進行選擇主體230的厚度和材料。這同樣適用於其中主體230包括多個層的襯墊200的實施例。
涉及主體230的特點的設計選擇的例子可包括吸收機械振動、吸收聲音、重量、可回收性、成本、可製造性、可塑性以及對下表面層240的可附接性。這樣的選擇可能會影響研磨系統的可控性以及研磨表面的質量。
在圖8所示的具體實施例中，主體230可以包括的材料的示例包括軟質材料，例如泡沫聚丙烯、泡沫聚乙烯、泡沫丙烯腈丁二烯苯乙烯、泡沫聚氨酯、泡沫聚醯胺、泡沫乙烯乙酸乙烯酯或類似材料，和硬質材料，例如聚丙烯、聚乙烯、丙烯腈丁二烯苯乙烯、聚氨酯、聚醯胺、鋁或類似材料。
襯墊200包括中央區域、周邊區域和中間區域，中央區域指的是襯墊200在其中心處和其附近的部分，周邊區域指的是襯墊200在其外側壁220處和其附近的部分，中間區域指的是襯墊200的位於中央和周邊區域之間的部分。中央區域，周邊區域和中間區域在S X ，S Y 平面上定義。
根據圖7所示的圓形襯墊200實施例，中央區域可以從襯墊200的中心朝其外側壁220徑向延伸至不超過襯墊200半徑5%、或10%、或15%、或20%、或25%、或30%、或35%的距離，且周邊區域可從襯墊200的外側壁220向其中心徑向延伸到襯墊200.半徑的至少10%、或15%、或20%、或25%、或30%或35%的距離。
根據圖7所示的特定實施例，中央區域可以從襯墊200的中心朝其外側壁220徑向延伸至襯墊200半徑20%的距離，且周邊區域可從襯墊200的外側壁220向其中心徑向延伸到襯墊200.半徑的20%的距離。
在S X ，S Y 平面上具有不同形狀的襯墊200(例如襯墊200是矩形或三角形)的其他實施例中，可以類似地，通過將半徑的概念替換成襯墊200的中心與外側壁220上的任何給定點(例如相對於襯墊200的中心的最近點)之間的距離，來定義中央區域、中間區域和周邊區域。
襯墊200可以包括多個導管210 a-210 c，其可以在下表面250上的孔終止。這樣的導管可以包括位於或至少源自中央區域的至少一個中央導管210 a，位於中間區 域中的一或多個中間導管210 b，和/或源自周邊區域並延伸到中間區域的一或多個周邊導管210 c。這樣的導管210 a-210 c可以被襯墊200的完整部分圍繞，使得沒有導管210 a-210 c延伸到另一個導管210 a-210 c中。中央導管210 a和一或多個周邊導管210 c可以不連接到吸入壓力源，例如不連接到一或多個中間導管210 b。
襯墊的完整部分是指不含一或多個導管210 a-210 c的襯墊200的一部分，因此阻止空氣流動，以致比起通過襯墊200的完整部分，空氣將基本上更自由地沿著導管210 a-210 c流動。導管210 a-210 c通過襯墊200的完整部分彼此分開的目的，是為了能夠通過導管210 a-210 c控制空氣的輸送，使得可以利用未接有吸入壓力的導管的空氣流動過襯墊200的下表面250到接有吸入壓力的導管，來引起表面沖刷。如果空氣流從一個導管210 a-210 c直接洩漏到另一個導管中，則這種受控的空氣傳輸將受到干擾。
由於一或多個周邊導管210 c可延伸到襯墊200的中間區域中，所以一或多個周邊導管210 c可延伸到一個距離處，該距離大於外側壁220上周邊導管210 c的起點與襯墊200中心之間的距離的10%、或15%、或20%、或25%或30，與前文關於周邊區域範圍的描述內容相一致。
將適於連接到研磨系統中吸入壓力的中間導管210 b與不適於連接到研磨系統中吸入壓力的導管 210 a，210 c相隔開所帶來的技術效果是，能夠控制空氣從環境壓力流動到低壓(即吸入壓力)，以便在襯墊200的整個表面上引起均勻的空氣流動。在圖7所示的實施例中，中間導管210 b可以適於連接到研磨系統中的吸入壓力，並且中央導管210 a和周邊導管210 c可以不適於連接到吸入壓力。
周邊導管210 c可以穿過襯墊200的外側壁220。周邊導管210 c可以是細長的，使得周邊導管210 c可以從襯墊200的周邊區域延伸到其中間區域，使得最靠近襯墊200中心的周邊導管210 c端部，比起距離襯墊200中心最遠的中間導管210 b，更接近襯墊200的中心。周邊導管210 c可以同向或朝向中央導管210 a和/或中央區域延伸。
如圖6和圖12所示，如果適當地用做為研磨系統的一部分，中央導管210 a和周邊導管210 c可以用於將進入的空氣引入到襯墊200的下表面250上，並且中間導管210 b可用於將空氣和殘屑從所述表面輸送走。
圖7示出了具體實施例的導管210 a-210 c的構造。在這個實施例中，有至少一個位於中央區域的中央導管210 a；多個位於中間區域中的中間導管210 b，使得中間導管210 b沿著與襯墊200的中心同心的三個同心圓佈置，每個同心圓具有數個中間導管210 b，例如8個中間導管210 b，優選地具有相等的間距；以及數個周邊導管210 c，例如8個周邊導管210 c，優選具有相等的間距，該周邊導管210 c穿過襯墊200的外側壁220。中央導管210 a 和/或中間導管210b在襯墊200的下表面250上可以是圓形的。
周邊導管210 c可以是細長的，使得周邊導管210 c朝向襯墊200的中心延伸並進入其中間區域，使得周邊導管210 c的端部朝向襯墊200的中心延伸至大於襯墊200的半徑的一半處。
圖11 a至圖11 f示出了不同導管構造的例子，其可以用於襯墊200的其他實施例中，或可以採用特定的導管幾何形狀到設導管210 a-210 c的襯墊200中。根據圖11 a所示的示例配置，可以存在多個具有曲率的細長周邊導管。根據圖11 b所示的例子，可以存在多個具有分支的細長周邊導管。根據圖11 c所示的示例，可以存在不止一種類型的細長周邊管道，使得可以存在多個分支周邊管道和多個非分支周邊管道。根據圖11 d中所示的示例，可以存在分支中央導管，並且可以存在多個細長周邊導管，使得細長周邊導管中的其中一些從襯墊200的周邊區域以一個非朝向襯墊200中心的方向延伸到其中間區域。根據圖11 e所示的例子，可以存在多個具有分支的細長中間導管。根據圖11 f所示的例子，可以存在多個具有角度的細長周邊導管。儘管圖11 a至圖11 f示出了圓形襯墊200上的不同導管配置的示例，但是所示出的幾何原理也可以在不同形狀的襯墊200上實施，例如矩形或三角形。
在圖7所示的具體實施例中，中央導管210 a和中間導管210 b可以在S Z 軸上延伸穿過襯墊200的整個厚 度。也就是說，在該實施例中，中央導管210 a和中間導管210 b可以從襯墊200的上表面260延伸到其下表面250。在相同的具體實施例中，周邊導管210 c可以在S Z 軸上延伸穿過襯墊200的下表面層240並且部分但不是完全穿過主體230。也就是說，在該實施例中，周邊導管210 c可以在下表面250和外側壁220上具有孔，但不在上表面260上。
根據該特定實施例，中央導管210 a和/或中間導管210 b可以是圖9 a中所示的導管類型，即延伸穿過襯墊200的整個厚度的孔，並且周邊導管可以是如圖9 b所示的，即在襯墊200的下表面250上的凹槽，該凹槽朝向研磨件300打開，如圖7所示。優選地，如圖7所示，凹槽在外側壁220處具有開口端以及至少一個相對的封閉端。
如圖7的橫截面A-A所示，延伸穿過襯墊200的整個厚度的中間導管210 b可以是分支的，使得中間導管210 b在上表面260上的孔口數量比在下表面250上少，或反之亦然。
圖9 d示出了中央導管210 a的示例，其源自並穿過襯墊200的外側壁220，在主體230內行進並且可以被配置為在所欲位置穿刺下表面層240和下表面250，包括襯墊200的中心。該導管類型可以用做為下表面250上具有伸長孔的周邊導管210 c，伸長指的是該孔的長度比表面的寬度大至少10%或25%或100%或200%。在這種情況下，周邊導管210 c包括在下表面250上的凹槽，其具有兩個封閉端和在外側壁220上的孔口，該凹槽朝向研磨件300打 開。換句話說，在這種情況下，周邊導管210 c類似於如圖9 b和圖7所示的凹槽，不同之處在於，凹槽本身在外側壁220處不打開。
圖9 c和9 e示出中央導管210 a和中間導管中間導管210 b，其具有在主體230和下表面層240中在S X ，S Y 平面上橫向偏移的孔口。這使得能夠有利地在襯墊200的下表面240上配置導管，其不同於研磨設備1上的導管配置。圖7中的橫截面A-A圖示了此例的中間導管210 b。
圖9 c、9d和9 e示出了可用於基於圖8中所示的層結構的襯墊200的其他實施例中的導管類型。在主體230包括兩個或更多個層的實施例中可以採用如圖9 a至9 e所示的相同的導管類型原理。
在襯墊200中，每組導管，即中央導管210 a、中間導管210 b和/或周邊導管210 c可採用如上所述的不同類型的導管。此外，每個所述一組導管可以在該組內使用不同類型的導管，使得在一組導管內可以使用多於一個如上所述並在圖9 a至圖9 e中示出的導管類型。
根據圖7和圖8中所示的具體實施例的襯墊200，即具有圖9 a所示類型的中央導管210 a和中間導管210 b以及圖9 b所示類型的周邊導管210 c的實施例，可以例如通過以下方法製造：用合適的塑料(諸如聚丙烯)模製主體230，將中央導管210 a和中間導管210 b鑽入主體230中，將周邊導管230 c研磨到主體230中，從合適的材料如黏扣帶面料沖孔成型出具中央導管210 a、中間導管210 b 和周邊導管210 c孔口的下表面層240，並且將主體230和下表面層240黏附在一起。
包括圖9 c、9 d和/或9 e中所示類型的導管的襯墊200可以通過以下方法製造：例如通過加成製造，例如利用適用於三維印刷的材料如尼龍、聚醯胺或ABS來三維印刷包括導管210的主體230，從合適的材料片如黏扣帶面料中沖孔成型出上具中央導管210 a、中間導管210 b和周邊導管210 c孔口的下表面層240，並且將主體230和下表面層240黏附在一起。
如上所述的襯墊200可以用於包括研磨設備1和襯墊200的研磨系統中，如圖6實施例所示。在用這種研磨系統研磨一工件期間，研磨件300可附接至襯墊200。研磨件300較好是多孔的，最好是包含開放式網眼的研磨網，該網眼塗有磨粒並包括多個開口。在研磨過程中，研磨設備1可以旋轉和/或擺動襯墊10。這種旋轉和/或擺動可以由研磨設備1的電源(例如電動或氣動馬達)引起。
研磨件300和襯墊200可以在S X 、S Y 平面上具有任何形狀，例如矩形、三角形，或者如果是旋轉的則優選為圓形。有利地，襯墊200和研磨件300基本上具有相同的形狀。研磨件300可以例如是常規的已知類型，或者可以結合本發明公開的用於研磨件400的解決方案的原理。如果研磨件300包括中央導管、中間導管和/或周邊導管，則根據上述空氣輸送原理，全部或部分的這些管道可以與襯墊的中央、中間和/或周邊導管210 a-210 c對齊。
一般應該理解的是，對於要對準的導管，導管不一定必須在幾何上完美地對準，使得例如它們的孔將彼此完美匹配而沒有任何幾何偏移或面積差異，或者導管將需要密封耦合到彼此。相反地，當導管構成功能性空氣和/或碎屑的輸送路徑時，亦即可將空氣和/或碎屑從一個導管輸送到另一導管時，即應理解為對準。
研磨系統的一個實施例在圖12中以截面圖示出，其中襯墊200包括圖9 a中描繪的中央導管210 a和多個導管類型的中間導管210 b，並且進一步包括多個圖9 b中描繪的導管類型的外圍導管周邊導管210 c(在圖12的橫截面中不可見)。在此實施例中，襯墊200的中間導管210 b與可以通過研磨設備1的導管2連接至吸入壓力。研磨設備1的導管2可連接到或適於連接到可包括殘屑收集容器4的吸入壓力來源3。
在根據該實施例的研磨系統的操作期間，襯墊200的中央導管210 a可以將進入的空氣傳送到襯墊200的下表面250上。在S X ，S Y 平面上從襯墊200的中間區域延伸到其周邊區域並穿過其外側壁220的周邊導管210 c(在圖12中的截面中不可見)，如圖7實施例所示，可以在以下的意義上來說是盲管，即周邊導管210 c不與中間導管210 b、中央導管210 a或研磨設備1中的導管2連接，使得任何通過周邊導管210 c的空氣都能夠進入中間導管210 b、中央導管210 a或研磨設備1中的導管2，而不是先行經襯墊200的下表面250的一部分。
在該實施例中，在研磨過程中，可以從襯墊200的下表面250，也就是從襯墊200和容納其附著件的研磨件300之間的空間，以吸入壓力通過襯墊200的中間導管210 b進入研磨設備1的導管2，來抽出研磨殘屑。所提取的研磨殘屑可被傳送到殘屑收集容器4中。被吸入壓力吸至襯墊200的下表面250上的替換空氣可以源自襯墊200的中央導管210 a、周邊導管210 c和外側壁220。因此，周邊導管210 c不與吸入壓力連接。由於周邊導管210 c可以如上所述是盲管，通過這些導管的進入空氣可能在到達最靠近吸入壓力連接的中間導管210 b之前被迫越過襯墊200的下表面250，由此提供大體上延伸到襯墊200的中間區域中的表面沖刷。圖10 a示出了根據該實施例的襯墊200的下表面250上的空氣流動。
此外，如果研磨件300是多孔的，例如包括開放式網眼的研磨網，該網眼上塗覆有磨粒並且包括多個開口，則在研磨期間，研磨殘屑可以從研磨件300移動到襯墊200的下表面250上，並且研磨件300的下表面可以以與襯墊200的下表面250類似的方式被沖刷。
在襯墊200的其他實施例中，例如根據圖11 a至圖11 f所示的示例，導管210 a-210 c可以以不同的配置在S X ，S Y 平面上。額外的導管配置可以例如通過組合圖11 a至11 f中所示的導管類型來設計。不同的這種配置可以被設計來管理不同應用中的進入和離開空氣流，包括不同形狀的襯墊200和研磨件300，使得襯墊200的下表面250可以 被空氣均勻地沖刷，以均勻地抽出襯墊200整個表面上的研磨殘屑，如根據圖10 a中的一個實施例所示。
在襯墊200的另外其他實施例中，一或多個中央導管210 a可以連接到吸入壓力並且由此用作空氣和殘屑抽出導管，而不是將進入的空氣輸送到襯墊200的下表面250上。在這樣的實施例中，根據上面已經描述的內容，一或多個中央導管210 a因此可以起類似於中間導管210 b的作用。如上所述，這些實施例可以另行遵守上述解決方案的原理。因此，在這樣的實施例中，進入的空氣可以通過襯墊200的周邊導管210 c及外側壁220上起始，並且在到達最近的吸入壓力連接的中央或中間導管210 b，210 a之前被迫越過襯墊200的下表面250，由此提供基本上延伸到襯墊200的中間和中央區域的表面沖刷。
研磨件
圖13 a中示出了根據一個實施例的研磨件400。圖13 b中示出了根據另一個實施例的研磨件400。圖13 c中示出了根據又另一個實施例的研磨件400。
當用做為研磨工件的研磨系統的一部分時，研磨件400可具有數個有利地引導空氣流的導管410 a-410 c。這種所欲的空氣流均勻地沖刷研磨件400的一或多個表面並均勻地抽出殘屑，使得在研磨件400的一或多個表面上保留極少的研磨殘屑，從而產生了有益效果，即研磨件400的壽命增加並且研磨過程不受系統中和/或在被研磨的工件的表面上累積的碎屑損害。已知，當空氣 流從研磨件400的表面流出時，空氣流捕獲研磨殘屑並將捕獲的研磨殘屑從研磨件400的表面輸送走。
圖14中示出了根據一個實施例的研磨件400的結構，其附著至襯墊10或中介墊20。中間墊20適於附接至襯墊10。襯墊10和/或中介墊20可以是傳統已知類型，因而不包括本解決方案公開的導管配置。例如，襯墊10可以包括多個中間導管，例如圓形，以及中央導管，例如圓形，但沒有周邊導管。相應地，例如，中介墊20可以包括多個中間導管，例如圓形，以及中央導管，例如圓形，但沒有周邊導管。
根據圖14所示的實施例，研磨件400可以包括上表面層430，中介層440和下表面層450。在另一個實施例中，研磨件400可以包括上表面層430和下表面層450，並且不包括中介層。在又一個實施例中，研磨件400可以包括上表面層430，下表面層450和中介層440，使得中介層440包括兩個或更多個層疊，所述層疊可以例如是不同材料。所有這些結構實施例都可以應用於圖13 a-13 c所示的研磨件400的實施例中。
研磨件400具有包圍上表面層430，下表面層450和中介層440(如果有的話)的外側壁420。在圖14所示的實施例中，外側壁420具有壁表面，該壁表面可以處於基本垂直於上表面層430和下表面層450的平面上。在其他實施例中，外側壁420可以是傾斜的，使得研磨件400的周邊在下表面460處比在上表面470處更大，或反之亦 然。
上表面層430可以包括用於將研磨件400附接到襯墊10或中介墊20的附著件。這樣的附著件可以實現機械或黏合劑附接。優選地，這樣的附接能夠移除和重新附接。根據一個優選實施例，附著件可以包括黏扣帶，並具有便於再次附接的能力。在該優選實施例中，研磨件400的上表面層430可以包括鉤，並且襯墊10或中介墊20的下表面層可以包括環，或反之亦然。
在另一個實施例中，附著件可以是基於壓敏黏合劑，即PSA。在這樣的實施例中，研磨件400的上表面層430可以包括壓敏黏合劑，並且襯墊10或中介墊20的下表面層可以包括適合於壓敏黏合的均勻表面，或反之亦然。
在圖14中所示的實施方式包括中介層440，並且在包括具多個層的中介層440的這樣的實施方式中，可以根據應用選擇中介層440的厚度和材料。涉及中介層440的特點的設計選擇的例子可包括吸收機械振動、吸收聲音、重量、可回收性、成本、可製造性、可塑性以及對研磨件400的其他層的可附接性。這樣的選擇可能會影響研磨系統的可控性以及研磨表面的質量。
在包括中介層440且在圖14中示出的實施例中，中介層440可以包括的材料的示例包括軟質材料，例如泡沫聚丙烯、泡沫聚乙烯、泡沫丙烯腈丁二烯苯乙烯、泡沫聚氨酯、泡沫聚醯胺、泡沫乙烯乙酸乙烯酯或類似材 料，和硬質材料，例如聚丙烯、聚乙烯、丙烯腈丁二烯苯乙烯、聚氨酯、聚醯胺、鋁或類似材料。
下表面層450可以包括含有磨料顆粒的研磨材料，使得下表面460可以用於研磨一工件。
根據優選實施例，下表面層450可以包括開放網眼，該網眼可以塗覆有包含研磨顆粒的研磨材料，並且該網眼可以包括多個開口。在這樣的優選實施例中，中介層440可以是可以允許空氣和研磨殘屑穿過中介層440的多孔材料。在這樣的優選實施例的變化例中，研磨件400不包括中介層440，在該情況下，下表面層450可以附著到上表面層430。這樣一種優選的結構實施例，其中結構下表面層450包括塗覆有含磨料顆粒的研磨材料並且包括多孔中介層440(包括所述其不含中介層440的變化例)的開放網格，可以有利地結合圖13 b所示的研磨件400的實施例。如果有的話，開放網眼的多個小開口以及中介層440中的孔隙涉及的益處是，因為它們可以帶來通常由中間導管410 b帶來的空氣和殘屑抽取功能和/或通常由中央導管410 a帶來的空氣輸送功能，該等導管在圖13 a的實施例中示出。
根據另一個實施例，下表面層450可以包括鄰接樹脂的磨粒。在這樣的實施例中，表面層450可以進一步包括例如紙、紙板、聚合物膜或織物的背襯材料，而與樹脂鄰接的磨粒附著到該背襯材料上。這樣的結構實施例可以有利地與圖13 a中所示的研磨件400的實施例結 合，因為與樹脂相鄰的磨料顆粒的非多孔性，特別是在無孔背襯材料上，通常會產生如下需要，即通常由中間導管410 b帶來的空氣和殘屑抽取功能和/或通常由中央導管410 a帶來的空氣輸送功能，該等導管在圖13 a的實施例中示出。
研磨件400包括中央區域、周邊區域和中間區域，中央區域指的是研磨件400在其中心處和其附近的部分，周邊區域指的是研磨件400在其外側壁420處和其附近的部分，中間區域指的是研磨件400的位於中央和周邊區域之間的部分。中央區域，周邊區域和中間區域在S X ，S Y 平面上定義。
根據圖13 a-13 c所示的研磨件400實施例，中央區域可以從研磨件400的中心朝其外側壁420徑向延伸至不超過研磨件400半徑5%、或10%、或15%、或20%、或25%、或30%、或35%的距離，且周邊區域可從研磨件400的外側壁420向其中心徑向延伸到研磨件400.半徑的至少10%、或15%、或20%、或25%、或30%或35%的距離。
根據圖13 a-13 c所示的特定實施例，中央區域可以從研磨件400的中心朝其外側壁420徑向延伸至研磨件400半徑20%的距離，且周邊區域可從研磨件400的外側壁420向其中心徑向延伸到研磨件400.半徑的20%的距離。
在S X ，S Y 平面上具有不同形狀的研磨件400 (例如研磨件400是矩形或三角形)的其他實施例中，可以類似地，通過將半徑的概念替換成研磨件400的中心與外側壁420上的任何給定點(例如相對於研磨件400的中心的最近點)之間的距離，來定義中央區域、中間區域和周邊區域。
研磨件400可以包括多個導管410 a-410 c，其可以在下表面460上的孔終止。導管410 a-410 c非指多孔材料內的任何微小開口，例如在一些實施例中研磨件400的下表面層450中的開放式網眼或其他地方，或者在一些實施例中，研磨件400的中介層440或上表面層430中的多孔材料。
這樣的導管可以包括位於或至少源自中央區域的一或多個中央導管410 a，位於中間區域中的一或多個中間導管410 b，和/或源自周邊區域並延伸到中間區域的一或多個周邊410 c。這樣的導管410 a-410 c可以被研磨件400的完整部分圍繞，使得沒有導管410 a-410 c延伸到另一個導管410 a-410 c中。一或多個中央導管410 a和一或多個周邊導管410 c可以不連接到吸入壓力源，例如不連接到一或多個中間導管410 b。
研磨件400的完整部分是指不含一或多個導管410 a-410 c的研磨件400的一部分，因此阻止空氣流動，以致比起通過研磨件400的完整部分，空氣將基本上更自由地沿著導管410 a-410 c流動。導管410 a-410 c通過研磨件400的完整部分彼此分開的目的，是為了能夠通過導管 410 a-410 c控制空氣的輸送，使得可以利用未接有吸入壓力的導管的空氣流動過研磨件400的表面到接有吸入壓力的導管，來引起表面沖刷。如果空氣流從一個導管410 a-410 c直接洩漏到另一個導管中，則這種受控的空氣傳輸將受到干擾。
由於一或多個周邊導管410 c可延伸到研磨件400的中間區域中，所以一或多個周邊導管410 c可延伸到一個距離處，該距離大於外側壁420上周邊導管410 c的起點與研磨件400中心之間的距離的10%、或15%、或20%、或25%或30，與前文關於周邊區域範圍的描述內容相一致。
將適於連接到研磨系統中吸入壓力的中間導管410 b與不適於連接到研磨系統中吸入壓力的導管410 a，410 c相隔開所帶來的技術效果是，能夠控制空氣從環境壓力流動到低壓(即吸入壓力)，以便在研磨表面460的整個表面上引起均勻的空氣流動。在圖13 a所示的實施例中，中間導管410 b可以適於連接到研磨系統中的吸入壓力，並且中央導管410 a和周邊導管410 c可以不適於連接到吸入壓力。
周邊導管410 c可以穿過研磨件400的外側壁420。周邊導管410 c可以是細長的，使得周邊導管410 c可以從研磨件400的周邊區域延伸到其中間區域。
在包括一個或多個中間導管410 b和一個或多個周邊導管410 c並且可以另外包括一個或多個中央導 管410 a的研磨件400的實施例中，周邊導管410 c可以是細長的，使得最靠近研磨件400中心的周邊導管410 c的端部，比起距離研磨件400中心最遠的中間導管410 b，更接近研磨件400的中心。周邊導管410 c可以同向或朝向中央導管410 a和/或中央區域延伸。
圖13 b示出研磨件400的一個實施例，其包括多個細長周邊導管410 c並且不具有中央導管也沒有中間導管。在該實施例中，這樣的導管構造可以有利地與研磨件400的結構相結合，據此研磨件400可以包括類似於上述示例的上表面層430，該示例可以包括允許重新附接的附著件，如前所述的基於黏扣帶的附接；類似於上述實施例的下表面層450，其可以包括開放網眼，該網眼可以塗覆有研磨顆粒並且包括多個小開口；以及可以允許空氣和研磨殘屑穿過中介層440的多孔材料的中介層440。在這樣的具體優選實施例的變化例中，研磨件400可以不包括類似如前所述示例的中介層440，在該情況下，下表面層450可以附著到上表面層430。
在圖13 b的具體實施例中，存在多個周邊導管410 c，例如8個周邊導管410 c，優選具有相等的間距，該等周邊導管410 c穿過研磨件400的外側壁420。周邊導管410 c可以是細長的，使得周邊導管410 c朝向研磨件400的中心延伸並進入其中間區域，使得周邊導管410 c的端部朝向研磨件400的中心延伸至大於研磨件400的半徑的一半處。
圖13 a示出研磨件400的一個實施例，其包括多個細長周邊導管410 c、中央導管410 a以及多個中間導管410 b。中央導管410 a和中間導管410 b可以是圓形的。在一具體實施例中，這樣的導管構造可以有利地與研磨件400的結構相結合，據此研磨件400可以包括類似於上述示例的上表面層430，該示例可以包括允許重新附接的附著件，如前所述的基於黏扣帶的附接；以及中介層440；以及下表面層450，其可以包括與樹脂鄰接的磨粒，且該下表面層450可以進一步包括例如紙、紙板、聚合物膜或織物的背襯材料，而與樹脂鄰接的磨粒附著到該背襯材料上。
在圖13 a的具體實施例中，有至少一個位於中央區域的中央導管410 a；多個位於中間區域中的中間導管410 b，使得中間導管410 b沿著與研磨件400的中心同心的三個同心圓佈置，每個同心圓具有數個中間導管400 b，例如8個中間導管400 b，優選地具有相等的間距；以及數個周邊導管410 c，例如8個周邊導管410 c，優選具有相等的間距，該等周邊導管410 c穿過研磨件400的外側壁420，且周邊導管410 c可以是細長的，使得周邊導管410 c朝向研磨件400的中心延伸並進入其中間區域，使得周邊導管410 c的端部朝向研磨件400的中心延伸至大於研磨件400的半徑的一半處。
圖13 c示出了作為圖13 a中所示的實施例的變型的研磨件400的實施例。造成變化的差異在於，在圖圖13 a所示的實施例中，周邊導管410 c可以是沿著S Z 軸延 伸穿過研磨件400的整個厚度的狹縫，而在圖13 c中所示的實施例中，周邊導管410 c可以是不延伸穿過研磨件400的整個厚度的凹槽，而例如延伸穿過或部分穿過下表面層450。
如果適當地用作研磨系統的一部分，如根據示例的圖18和圖16所示，則周邊導管410 c可用於將進入的空氣引入研磨件400的下表面460和/或上表面470。
在包括一個或多個中央導管410 a的實施例中，一個或多個中央導管410 a可以用於將進入的空氣引入研磨件400的下表面460和/或上表面470。相應地，在包括一個或多個中間導管410 b的實施例中，中間導管410 b可用於將空氣和殘屑從所述一個或多個表面傳送走。
在沒有中央導管410 a和中間導管410 b的實施例中，且其中下表面層450可含開放網眼(該網眼可以塗覆有磨粒並且包括多個小開口)，空氣和殘屑可以通過螺紋之間的孔(即小開口)從下表面460輸送走，且空氣和殘屑可以通過襯墊10或中介墊20上的導管從上表面470輸送走。
圖11 a至圖11 f示出了可用於包括多個周邊導管410 c、中央導管410 a和多個中間導管410 b的研磨件400的這種實施例中的不同導管構造的示例，或可以採用特定的導管幾何形狀到設410 a-410 c的研磨件400中。根據圖11 a所示的示例配置，可以存在多個具有曲率的細長周邊導管。根據圖11 b所示的例子，可以存在多個具有分支 的細長周邊導管。根據圖11 c所示的示例，可以存在不止一種類型的細長周邊管道，使得可以存在多個分支周邊管道和多個非分支周邊管道。根據圖11 d中所示的示例，可以存在分支中央導管，並且可以存在多個細長周邊導管，使得細長周邊導管中的其中一些從研磨件400的周邊區域以一個非朝向研磨件400中心的方向延伸到其中間區域。根據圖11 e所示的例子，可以存在多個具有分支的細長中間導管。根據圖11 f所示的例子，可以存在多個具有角度的細長周邊導管。儘管圖11 a至圖11 f示出了圓形研磨件400上的不同導管配置的示例，但是所示出的幾何原理也可以在不同形狀的研磨件400上實施，例如矩形或三角形。
圖17 a至17 e示出了研磨件400的不同導管構造的示例，其包括與上述的周邊導管410 c類似的多個周邊導管，並且沒有中央導管和中間導管。根據圖17 a所示的示例，可以存在多個具有曲率的細長周邊導管。根據圖17 b所示的例子，可以存在多個具有分支的細長周邊導管。根據圖17 c所示的示例，可以存在不止一種類型的細長周邊管道，使得可以存在多個分支周邊管道和多個非分支周邊管道。根據圖17 d中所示的示例，可以存在多個細長周邊導管，使得細長周邊導管中的其中一些從研磨件400的周邊區域以一個非朝向研磨件400中心的方向延伸到其中間區域。根據圖17 e所示的例子，可以存在多個具有角度的細長周邊導管。儘管圖17 a至圖17 e示出了圓形研磨件400上的不同導管配置的示例，但是所示出的幾何原理也可以 在不同形狀的研磨件400上實施，例如矩形或三角形。
在圖13 a和圖13 b所示的具體實施例中，導管410 a-410 c可以在S Z 軸上延伸穿過研磨件400的整個厚度。也就是說，在這些實施例中，導管410 a-410 c可以從研磨墊400的上表面470延伸到其下表面460。因此，在上述特定優選實施例中，導管410 a-410 c可以在S Z 軸上延伸穿過研磨件400的整個厚度。
在根據圖13 a的實施例中，其中導管410 a-410 c在S Z 軸上延伸穿過研磨件400的整個厚度，並且其中研磨件400包括中介層440、中央導管410 a和中間導管410 b，可以是圖15 a中橫截面中所示的類型，即延伸穿過研磨件400的整個厚度的孔，並且周邊導管410 c可以是圖15 c中的橫截面所示的類型。
在根據圖13 b的實施例中，其中導管410 a-410 c在S Z 軸上延伸穿過研磨件400的整個厚度，並且其中研磨件400包括中介層440，周邊導管410 c可以是圖15 c的橫截面所示的類型。周邊導管410 c的這種導管類型例如是延伸穿過研磨件400的整個厚度的狹縫。優選地，狹縫在外側壁420處具有開口端以及至少一個相對的封閉端。
圖15 b示出根據實施例的周邊導管410 c，其中周邊導管410 c在S Z 軸上延伸穿過下表面層450和中介層440但不穿過上表面層430。周邊導管410 c這種導管類型是例如在研磨件400的下表面460上的凹槽，該凹槽朝向工件 打開。優選地，凹槽在外側壁420處具有開口端以及至少一個相對的封閉端。
圖15 d示出根據實施例的周邊導管410 c，其中周邊導管410 c在S Z 軸上延伸穿過下表面層450，但不穿過上表面層430也不穿過中介層440。周邊導管410 c這種導管類型是例如在研磨件400的下表面460上的凹槽，該凹槽朝向工件打開。優選地，凹槽在外側壁420處具有開口端以及至少一個相對的封閉端。在示範實施例中，這樣的凹槽可以通過在構成凹槽的區域中的下表面460上不存在磨粒而形成。因此，在這樣的實施例中，與包括磨粒的圍繞凹槽的下表面460上的區域相比，不包含磨粒的凹槽在下表面460上是凹陷的。
圖15 a、圖15 c和圖15 d的導管類型的原理也可以用於不具中間層440的研磨件400實施例中，即，其中下表面層450附著到上表面層430。
根據圖13 a和圖13 b中所示研磨件400的實施例，即包括延伸穿過研磨件400的整個厚度(即從上表面470到下表面460)的導管410 a-410 c的實施例，可以例如通過沖孔成型來製造。
包括圖15 d所示類型的一或多個周邊導管410 c的研磨件400可以通過以下所述製造：首先製造沒有這些外圍導管410 c的研磨件400，例如通過如上所述的沖孔成型，然後製造這些周邊導管410 c，例如通過鑄印，或通過除了在周邊導管410 c的區域之外，加成印刷到下表面 460上。
對於根據圖13 a和圖13 b並且包括如圖14中所示的中介層440的研磨件400的具體實施例，這種沖孔成型可以用合適的沖頭和模具，和包括上表面層430、中介層440和下表面層450的片材來進行。這些層可以在沖孔成型之前黏附地彼此附接。或者，這些層可以分開沖孔成型並且在沖孔成型之後例如黏合地彼此附接。
在不包括中介層440但除此之外與所述具體實施例的研磨件400一致的示例中，可以用合適的沖頭和模具和包括上表面層430和下表面層450的片材來進行這種沖孔成型。這些層可以在沖孔成型之前黏附地彼此附接。或者，這些層可以分開沖孔成型並且在沖孔成型之後例如黏合地彼此附接。
這種基於沖孔成型的製造可以適用於上述磨研磨件400的特定優選實施例。
如上所述的研磨400可以用於包括研磨設備1和襯墊10和研磨400的研磨系統中，如圖18實施例所示。在研磨一工件期間，研磨設備1可旋轉和/或擺動襯墊10，從而也旋轉和/或擺動研磨件400。這種旋轉和/或擺動可以由研磨設備1的電源(例如電動或氣動馬達)引起。
根據另一實施例，如上所述的研磨件400可以用於包括研磨設備1、襯墊10、中介墊20和研磨件400的研磨系統中。在研磨一工件期間，研磨設備1可旋轉和/或擺動襯墊10，從而也旋轉和/或擺動中介墊20以及研磨 件400。這種旋轉和/或擺動可以由研磨設備1的電源(例如電動或氣動馬達)引起。
研磨件400、襯墊10和中介墊20，若有，可以在S X 、S Y 平面上具有任何形狀，例如矩形、三角形，或者如果是旋轉的則優選為圓形。有利的是，研磨件400和襯墊10以及中介墊20(如果有的話)基本上具有相同的形狀。襯墊10和中介墊20可以例如是常規的已知類型，或者它們可以結合本發明公開的用於襯墊200和中介墊100的解決方案的原理。
在圖16中以橫截面圖示了研磨系統的實施例，其中研磨件400是根據圖13中所示的具體實施例。在這個實施例中，研磨件400的中央和中間導管410 a和410 b分別與襯墊10的中央和中間導管11 a和 11 b對齊。此外，襯墊10的中間導管11 b與研磨設備1的導管2連接。研磨設備1的導管2可連接到或適於連接到可包括殘屑收集容器4的吸入壓力來源3。
一般應該理解的是，對於要對準的導管，導管不一定必須在幾何上完美地對準，使得例如它們的孔將彼此完美匹配而沒有任何幾何偏移或面積差異，或者導管將需要密封耦合到彼此。相反地，當導管構成功能性空氣和/或碎屑的輸送路徑時，亦即可將空氣和/或碎屑從一個導管輸送到另一導管時，即應理解為對準。
研磨系統的操作過程中，與圖10 a所示的相一致，襯墊10的中央導管11 a可以將進入的空氣通過研磨 件400的中央導管410 a傳送到研磨墊400的下表面460上。在研磨件400和襯墊10之間的附著件為黏扣帶類型的實施例中，在研磨系統的操作期間，襯墊10的中央導管11 a可額外地將進入的空氣輸送通過研磨件400的中央導管410 a進入研磨件400和襯墊10之間的界面，該界面容納用於將研磨件400附接至襯墊10的附著件。如圖13 a-13 c所示，在S X ，S Y 平面上從研磨件400的中間區域延伸到其周邊區域並穿過其外側壁420的延伸的周邊導管410 c(在圖16中的截面中不可見)可以在因襯墊10上沒有與周邊導管410 c對齊的對應孔或導管的意義上來說是盲管。
在研磨系統的該實施例中，在研磨過程中，研磨碎屑可以從研磨件400的下表面460以吸入壓力抽出，其中吸入壓力通過研磨件400的中間導管410 b，然後通過研襯墊10的中間導管11 b進入研磨設備1的導管2中。所提取的研磨殘屑可被傳送到殘屑收集容器4中。在研磨件400和襯墊10之間的附著件為黏扣帶類型的實施例中，可以從研磨件400和襯墊10之間的界面類似地提取碎屑，所述界面容納該等附著件。
被吸入壓力吸至研磨件400的下表面460上的替換空氣可以源自研磨件400的中央導管410 a、周邊導管410 c和外側壁420。因此，周邊導管410 c不與吸入壓力連接。由於周邊導管410 c可以如上所述是盲管，通過這些導管的進入空氣可能在到達最靠近吸入壓力連接的中間導管410 b之前被迫越過研磨件400的下表面460，由此提供 大體上延伸到研磨件400的中間區域中的表面沖刷。圖10 a示出了根據該實施例的研磨件400的下表面460上的空氣流動。
在包括中央導管410 a、多個中間導管410 b和多個周邊導管410 c的研磨件400的其他實施例中，導管410 a-410 c可以以不同的配置在S X ，S Y 平面上，例如根據圖11 a至11 f所示的示例。額外的導管配置可以例如通過組合圖11 a至11 f中所示的導管類型來設計。不同的這種配置可以被設計來管理不同應用中的進入和離開空氣流，包括不同形狀的襯墊10和研磨件400，使得研磨件400的下表面460以及研磨件400和襯墊10之間的介面可以被空氣均勻地沖刷，以均勻地抽出研磨件400整個表面上的研磨殘屑，如根據圖10 a中的一個實施例所示。
在研磨件400的其他實施例中，其中該研磨件包括多個周邊導管410 c但不包括中央導管410 a也不包括中間導管410 b，且其中下表面層450可包括塗覆有研磨顆粒的開放式網眼，且其中中介層440(如果有的話)可以是多孔材料，例如上文所述的優選具體實施例，研磨件400可以不包括與襯墊10的中央和/或中間導管11 a和11 b對準的導管，而襯墊10的中間導管11 b與研磨裝置的導管2對齊。
在這些實施例中，在研磨系統的操作期間，襯墊10的中央導管11 a可將進入的空氣通過研磨件400的下表面層450中的開放式網眼中的小開口並通過多孔中介 層440的孔(若有)到研磨件400的下表面460上。在研磨件400和襯墊10之間的附著件額外地為黏扣帶類型的實施例中，在研磨系統的操作期間，襯墊10的中央導管11 a可額外地將進入的空氣輸送進入研磨件400和襯墊10之間的界面，該界面容納用於將研磨件400附接至襯墊10的附著件。如圖13 b所示，在S X ,S Y 平面上從研磨件400的中間區域延伸到其周邊區域並穿過其外側壁420的延伸的周邊導管410 c可以在因襯墊10上沒有對應孔或導管的意義上來說是盲管。
在這樣的研磨系統實施例中，在研磨過程中，研磨碎屑可以從研磨件400的下表面460以吸入壓力抽出，其中吸入壓力通過研磨件400的下表面層450中的開放式網眼中的小開口並通過多孔中介層440的孔(若有)，然後通過研襯墊10的中間導管11 b進入導管2中。所提取的研磨殘屑可被傳送到殘屑收集容器4中。在研磨件400和襯墊10之間的附著件額外地為黏扣帶類型的實施例中，可以通過中間導管11 b從研磨件400和襯墊10之間的界面提取碎屑，所述界面容納該等附著件。
在這樣的實施例中，被吸入壓力吸至研磨件400的下表面460上的替換空氣可以源自研磨件400的中央導管410 a、周邊導管410 c和外側壁420。因此，周邊導管410 c不與吸入壓力連接。由於周邊導管410 c可以是盲管，通過這些導管的進入空氣可能在進入多個小開口之前被迫越過研磨件400的下表面460的一部分，由此提供大體上延 伸到研磨件400的中間區域中的表面沖刷。此外，由於周邊導管410 c可以是盲管，通過這些導管的進入空氣可能在進入襯墊10的中間導管11 b之前被迫越過研磨件400的上表面470的一部分，由此提供研磨件400和襯墊10之間介面的沖刷，其大體上延伸到研磨件400和襯墊10的中間區域。
在包括多個多個周邊導管410 c但沒有中央導管410 a也沒有中間導管410 b的研磨件400的其他實施例中，導管410 c可以以不同的配置在S X ，S Y 平面上，例如根據圖17 a至17 e所示的示例。額外的導管配置可以例如通過組合圖17 a至17 e中所示的導管類型來設計。不同的這種配置可以被設計來管理不同應用中的進入和離開空氣流，包括不同形狀的襯墊10和研磨件400，使得研磨件400的下表面460以及研磨件400和襯墊10之間的介面可以被空氣均勻地沖刷，以均勻地抽出研磨件400整個表面上的研磨殘屑。
在另外可以包括附接在襯墊10和研磨件400之間的中介墊20的研磨系統的實施例中，研磨系統運行過程中空氣和殘屑的流動可遵循與上述相同的原理，因為在這樣的實施例中，中介墊20可以包括一或多個中央導管和/或一或多個中間導管，其可以對應於並且能夠與襯墊10的一或多個中央導管11 a以及中間導管11 b對準。換句話說，在這樣的實施例中，中介墊20上的導管圖案可以基本上匹配襯墊10上的導管圖案。
在包括一個或多個中央導管410 a的研磨件 墊400的實施例中，一些系統實施例中的一個或多個中央導管410 a可以連接到吸入壓力並且因此可用為抽取空氣和碎屑的導管，而不是輸送進入的空氣到研磨件400的上表面470和下表面460上。如上所述，這些實施例可以另行遵守上述解決方案的原理。因此，在這樣的實施例中，進入的空氣可以通過研磨件400的周邊導管410 c及外側壁420上起始，並且在到達最近的吸入壓力連接的導管之前被迫越過研磨件400的上表面470和下表面460，由此提供基本上延伸到研磨件400的中間和中央區域的表面沖刷。
以下描述實施本發明的示例。
示例1：一種中介墊，適用於研磨系統，其包括用於提供吸入壓力的研磨設備，該中介墊包括：具有上表面的上表面層，其包括適用於附著上表面層至研磨設備的襯墊的附著件；具有下表面的下表面層，其包括適用於附著下表面層至研磨件的附著件；位在上表面層和下表面層之間的中介層，該中介層附著至上表面層和下表面層且包括單層或多層疊；外側壁，其包圍上表面層、下表面層和中介層；至少一個中間導管，其適於從下表面輸送走空氣和研磨殘屑，該至少一個中間導管以一個孔終結在下表面上；以及至少一個周邊導管，其適於將進入的空氣輸送到下表面，該至少一個周邊導管從外側壁延伸並以一個孔終結在 下表面上，並且被中介墊的完整部分與該至少一個中間導管隔開。
示例2：如示例1的中介墊，其中中介墊進一步包括至少一個中央導管，該至少一個中央導管：以一個孔終結在下表面上，且適於將進入的空氣輸送到下表面或從下表面輸送走空氣和研磨殘屑；且被中介墊的完整部分與該至少一個中間導管及該至少一個周邊導管隔開。
示例3：如示例1或2的中介墊，其中上表面層及/或下表面層上的附著件能再次附著。
示例4：如示例3的中介墊，其中上表面層上的附著件是基於黏扣帶，或機械緊固件，或壓敏黏合。
示例5：如示例3或4的中介墊，其中下表面層上的附著件是基於黏扣帶，或機械緊固件，或壓敏黏合。
示例6：如示例1至5中任一者的中介墊，其中該至少一個中央導管及/或中間導管是延伸通過中介墊的上表面層，中介層和下表面層的孔。
示例7：如示例1至6中任一者的中介墊，其中該至少一個周邊導管是下表面上的凹槽或狹縫，該凹槽或狹縫在外側壁有開口端。
示例8：如示例1至7中任一者的中介墊，其中周邊導管中的至少一個朝向中介墊的中心延伸經過中間導管中的至少一個，或延伸至一個距離處，該距離大於在外側壁的周邊導管的起點與中介墊的中心之間的距離的 10%。
示例9：如示例1至8中任一者的中介墊，其中該中介墊具有一個圓形的形狀。
示例10：如示例9的中介墊，其中該中介墊進一步包括多個中間導管，其沿著至少一個與中介墊的中心同心的同心圓排列。
示例11：如示例1至10中任一者的中介墊，其中中間導管中的至少一個或周邊導管中的至少一個在中介墊的下表面上具有長孔。
示例12：如示例1至11中任一者的中介墊，其中該中介層包括軟質材料，例如泡沫聚丙烯、泡沫聚乙烯、泡沫丙烯腈丁二烯苯乙烯、泡沫聚氨酯、泡沫聚醯胺、泡沫乙烯乙酸乙烯酯或類似材料；或是硬質材料，例如聚丙烯、聚乙烯、丙烯腈丁二烯苯乙烯、聚氨酯、聚醯胺、鋁或類似材料。
示例13：一種中介墊，適用於研磨系統，其包括用於提供吸入壓力的研磨設備，該中介墊包括：具有上表面的上表面層，其包括適用於附著上表面層至研磨設備的襯墊的附著件；具有下表面的下表面層，其包括適用於附著下表面層至研磨物件的附著件；外側壁，其包圍上表面層和下表面層；至少一個中間導管，其適於從下表面輸送走空氣和研 磨殘屑，該至少一個中間導管以一個孔終結在下表面上；以及至少一個周邊導管，其適於將進入的空氣輸送到下表面，該至少一個周邊導管從外側壁延伸並以一個孔終結在下表面上，並且被中介墊的完整部分與該至少一個中間導管隔開。
示例14：如示例13的中介墊，其中中介墊進一步包括至少一個中央導管，該至少一個中央導管：以一個孔終結在下表面上，且適於將進入的空氣輸送到下表面或適於從下表面輸送走空氣和研磨殘屑；且被中介墊的完整部分與該至少一個中間導管及該至少一個周邊導管隔開。
示例15：如示例13或14的中介墊，其中上表面層及/或下表面層上的附著件能再次附著。
示例16：如示例15的中介墊，其中上表面層上的附著件是基於黏扣帶，或機械緊固件，或壓敏黏合。
示例17：如示例15或16的中介墊，其中下表面層上的附著件是基於黏扣帶，或機械緊固件，或壓敏黏合。
示例18：如示例14至17中任一者的中介墊，其中該至少一個中央導管及/或中間導管是延伸通過中介墊的上表面層和下表面層的孔。
示例19：如示例13至18中任一者的中介墊，其中該至少一個周邊導管是下表面上的凹槽或狹縫，該凹 槽或狹縫在外側壁有開口端。
示例20：如示例13至19中任一者的中介墊，其中至少一個周邊導管朝向中介墊的中心延伸經過中間導管中的至少一個，或延伸至一個距離處，該距離大於在外側壁的周邊導管的起點與中介墊的中心之間的距離的10%。
示例21：如示例13至20中任一者的中介墊，其中該中介墊具有一個圓形的形狀。
示例22：如示例21的中介墊，其中有多個中間導管沿著至少一個與中介墊的中心同心的同心圓排列。
示例23：如示例13至22中任一者的中介墊，其中中間導管中的至少一個在中介墊的下表面上具有長孔。
示例24：一種研磨系統，包括：如示例1至12，或13至23中任一者的中介墊；適於提供吸入的研磨設備；及可附著至研磨設備的襯墊，該襯墊包括至少一個用於輸送吸入壓力並且能夠與中介墊的中間導管中的至少一個對準的中間導管，以吸入空氣和研磨殘屑。
示例25：一種使用如示例24的研磨系統來從中介墊的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送通過襯墊的中間導管進入中介墊的中間導管；進入的空氣由於吸入壓力而流動到中介墊的下表面 上，該空氣流通過一個或多個中央導管，若有，且通過周邊導管，及中介墊的外側壁上；以及所述進入的空氣在被吸入壓力拉進中介墊的中間導管內以前，流過中介墊的下表面和研磨件之間的中介墊的完整部分。
示例26：一種使用如示例24的研磨系統來從中介墊的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送通過襯墊的一個或多個中央導管進入中介墊的一個或多個中央導管，若有，且通過襯墊的中間導管進入中介墊的中間導管；進入的空氣由於吸入壓力而流動到中介墊的下表面上，該空氣流通過周邊導管，並流過中介墊的外側壁；以及所述進入的空氣在被吸入壓力拉進一個或多個中央導管，若有，及被拉進中介墊的中間導管內以前，流過中介墊的下表面和研磨件之間的中介墊的完整部分。
示例27：一種研磨件，適用於研磨系統，其包括用於提供吸入壓力的研磨設備，該研磨件包括：具有上表面的上表面層，其包括附著件，其適用於附著上表面層至研磨設備的襯墊或至中介墊，該中介墊可附著至研磨設備的襯墊；具有下表面的下表面層，該下表面層包括研磨材料，使得該下表面可被用來研磨工件；外側壁，其包圍上表面層和下表面層；以及 至少一個周邊導管，其適於將進入的空氣輸送到下表面，該至少一個周邊導管從外側壁延伸到下表面。
示例28：如示例27的研磨件，其中該至少一個周邊導管是狹縫或凹槽，其在外側壁有開口端。
示例29：如示例27或28的研磨件，其中該至少一個周邊導管是凹槽，該凹槽：是由研磨件的下表面上構成凹槽區域中不存在研磨顆粒處形成的，且在外側壁具有開口端。
示例30：如示例27至29中任一者的研磨件，其中至少一個周邊導管朝向研磨件的中心延伸至一個距離處，該距離大於在外側壁的周邊導管的起點與研磨件的中心之間的距離的25%。
示例31：如示例27至30中任一者的研磨件，該研磨件進一步包括：至少一個中間導管，其適於從下表面輸送走空氣和研磨殘屑，該至少一個中間導管從上表面延伸到下表面，並且被研磨件的完整部分與該至少一個周邊導管隔開。
示例32：如示例27至31中任一者的研磨件，該研磨件進一步包括至少一個中央導管，其適於將空氣輸送至下表面或從下表面輸送走空氣和研磨殘屑，該至少一個中央導管從上表面延伸到下表面且被研磨件的完整部分與至少一個中間導管隔開，若有，且該至少一個中央導管被研磨件的完整部分與至少一個周邊導管隔開。
示例33：如示例31或32的研磨件，其中該至少一個中間導管及/或該至少一個中央導管是從研磨件上表面延伸到下表面的孔。
示例34：如示例27至33中任一者的研磨件，其中周邊導管中的至少一個朝向研磨件的中心延伸至一個距離處，該距離大於在外側壁的至少一個周邊導管的起點與研磨件的中心之間的距離的10%。
示例35：如示例27至34中任一者的研磨件，其中該研磨件具有一個圓形的形狀。
示例36：如示例35的研磨件，其中該研磨件進一步包括多個中間導管，其沿著至少一個與研磨件的中心同心的同心圓排列。
示例37：如示例31至36中任一者的研磨件，其中中間導管中的至少一個，若有，在研磨件的下表面上具有長孔。
示例38：如示例27至37中任一者的研磨件，其中該下表面層包括具有小開口的開放式網眼，該網眼被研磨顆粒塗覆。
示例39：如示例27至38中任一者的研磨件，其中上表面層上的附著件能再次附著。
示例40：如示例27至39中任一者的研磨件，其中該研磨件進一步包括中介層，其位在上表面層和下表面層之間並附著至上表面層和下表面層。
示例41：一種研磨系統，包括： 如示例27至40中任一者的研磨件；可附著至研磨件上的襯墊，該襯墊包括至少一個用來輸送吸入壓力的中間導管，該至少一個中間導管延伸至襯墊和研磨件的上表面之間的介面；以及研磨設備，該研磨設備適用於提供吸入壓力並可附著至襯墊，且包括至少一個導管，其可連接至襯墊的中間導管中的至少一個，以吸入空氣和研磨殘屑。
示例42：一種使用如示例41的研磨系統來從研磨件和襯墊之間的介面去除研磨殘屑及從研磨件的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送至襯墊的中間導管；進入的空氣由於吸入壓力而通過周邊導管及研磨件的外側壁流動到研磨件的上表面和下表面上；以及所述進入的空氣在進入襯墊的中間導管內以前，流過研磨件的完整部分。
示例43：一種研磨系統，包括：如示例27至40中任一者的研磨件；可附著至研磨件上的中介墊，該中介墊包括至少一個用來輸送吸入壓力的中間導管，該至少一個中間導管延伸至中介墊和研磨件的上表面之間的介面；以及可附著至中介墊上的襯墊，該襯墊包括至少一個用來輸送吸入壓力的中間導管，該至少一個中間導管能夠與中介墊的中間導管中的至少一個對準；以及 適用於提供吸入壓力的研磨設備，該研磨設備可附著至襯墊且包括至少一個導管，該導管可連接至襯墊的中間導管中的至少一個，以吸入空氣和研磨殘屑。
示例44：一種使用如示例43的研磨系統來從研磨件和中介墊之間的介面去除研磨殘屑及從研磨件的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送至襯墊的中間導管及至中介墊的中間導管；進入的空氣由於吸入壓力而通過周邊導管及研磨件的外側壁流動到研磨件的上表面和下表面上；以及所述進入的空氣在進入中介墊的中間導管及襯墊的中間導管內以前，流過研磨件的完整部分。
示例45：一種研磨系統，包括：如示例31至40中任一者的研磨件；可附著至研磨件上的襯墊，該襯墊包括至少一個用來輸送吸入壓力的中間導管，該至少一個中間導管能夠與研磨件的中間導管中的至少一個對準；以及適用於提供吸入壓力的研磨設備，該研磨設備可附著至襯墊，且包括至少一個導管，該導管可與襯墊的中間導管中的至少一個對準，以吸入空氣和研磨殘屑。
示例46：一種使用如示例45的研磨系統來從研磨件和襯墊之間的介面去除研磨殘屑及從研磨件的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送至襯墊的中間導 管和至研磨件的中間導管；進入的空氣由於吸入壓力而通過周邊導管及研磨件的外側壁流動到研磨件的上表面和下表面上；以及所述進入的空氣在進入研磨件的中間導管及襯墊的中間導管內以前，流過研磨件的完整部分。
示例47：一種使用如示例45的研磨系統來從研磨件和襯墊之間的介面去除研磨殘屑及從研磨件的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送至襯墊的中間導管和中央導管並至研磨件的中間導管和中央導管；進入的空氣由於吸入壓力而通過周邊導管及研磨件的外側壁流動到研磨件的上表面和下表面上；以及所述進入的空氣在進入研磨件的中間導管和中央導管及襯墊的中間導管和中央導管內以前，流過研磨件的完整部分。
示例48：一種研磨系統，包括：如示例31至40中任一者的研磨件；可附著至研磨件上的中介墊，該中介墊包括至少一個用來輸送吸入壓力的中間導管，該至少一個中間導管能夠與研磨件的中間導管中的至少一個對準；可附著至中介墊的襯墊，該襯墊包括至少一個中間導管，其能夠與中介墊的中間導管中的至少一個對準；及適用於提供吸入壓力的研磨設備，該研磨設備可附著至襯墊，且包括至少一個導管，其可連接至襯墊的中間導 管中的至少一個，以吸入空氣和研磨殘屑。
示例49：一種使用如示例48的研磨系統來從研磨件和中介墊之間的介面去除研磨殘屑及從研磨件的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送至襯墊的中間導管，並至中介墊的中間導管，且至研磨件的中間導管；進入的空氣由於吸入壓力而通過周邊導管及研磨件的外側壁流動到研磨件的上表面和下表面上；以及所述進入的空氣在進入襯墊的中間導管以前，進入中介墊的中間導管以前，及進入研磨件的中間導管以前，流過研磨件的完整部分。
示例50：一種使用如示例48的研磨系統來從研磨件和中介墊之間的介面去除研磨殘屑及從研磨件的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將研磨設備的導管內的吸入壓力輸送至襯墊的中間導管和中央導管，並至中介墊的中間導管和中央導管，且至研磨件的中間導管和中央導管；進入的空氣由於吸入壓力而通過周邊導管及研磨件的外側壁流動到研磨件的上表面和下表面上；以及所述進入的空氣在進入研磨件的中間導管和中央導管以前，進入中介墊的中間導管和中央導管以前，及進入襯墊的中間導管和中央導管以前，流過研磨件的完整部分。
所公開的解決方案不限於上面解釋的示例和實施例，並且這些示例和實施例不應被解釋為限制。這 些示例和實施例也可以以有用的組合應用。本解決方案在由本說明書支持的所附申請專利範圍中定義。
S X ，S Y ，S Z :正交方向
100:中介墊
110 a:中央導管
110 b:中間導管
110 c:周邊導管
120:外側壁

Claims (12)

  1. 一種襯墊，其使用於一種適於提供吸入壓力的研磨設備，該襯墊包括：一主體，其包括適於附著該主體至該研磨設備的數個附著件；具有一下表面的一下表面層，該下表面層附著至該主體上且包括適用於附著該下表面層至一研磨件的數個附著件；一外側壁，其包圍該主體和該下表面層；至少一個中間導管，其適於與該吸入壓力連結用以從該下表面輸送走空氣和研磨殘屑，該至少一個中間導管具有在該下表面上的一孔；以及至少一個周邊導管，其適於將進入的空氣輸送到該下表面，該至少一個周邊導管從該外側壁延伸，並且被該襯墊的一完整部分與該至少一個中間導管隔開；其中該至少一個周邊導管係為位在該下表面上的一凹槽，該凹槽具有在該外側壁的一開口端，其中該至少一個周邊導管不適於與該吸入壓力連結，以便使用該至少一個周邊導管來引導進入的空氣通過該至少一個周邊導管而到該下表面上。
  2. 如請求項1的襯墊，其中該襯墊進一步包括至少一個中央導管，該至少一個中央導管：以一個孔終結在該下表面上，且適於將進入的空氣輸送到該下表面或從該下表面輸送走空氣和研磨殘屑；且 被該襯墊的完整部分與該至少一個中間導管及該至少一個周邊導管隔開。
  3. 如請求項1的襯墊，其中該主體及/或該下表面層上的該等附著件能再次附著。
  4. 如請求項1的襯墊，其中該至少一個中央導管及/或至少一個中間導管是延伸通過該襯墊的該主體和該下表面層的數個孔。
  5. 如請求項1的襯墊，其中該至少一個周邊導管包括在該下表面上具至少兩個封閉端的一凹槽以及在該外側壁上的一孔。
  6. 如請求項1的襯墊，其中該至少一個周邊導管朝向該襯墊的中心延伸經過該等中間導管中的至少一個，或延伸至一個距離處，該距離大於在該外側壁的該至少一個周邊導管的起點與該襯墊的中心之間的距離的25%。
  7. 如請求項1的襯墊，其中該襯墊具有一個圓形的形狀。
  8. 如請求項7的襯墊，其中該襯墊進一步包括多個中間導管，其沿著至少一個與該襯墊的中心同心的同心圓排列。
  9. 如請求項1的襯墊，其中該等中間導管中的至少一個在該襯墊的該下表面上具有一長孔。
  10. 一種研磨系統，包括：如請求項1的襯墊； 可附著至該襯墊的一研磨設備，該研磨設備適於提供吸入壓力且包括至少一個導管能夠與該襯墊的該等中間導管中的至少一個連接，以吸入空氣和研磨殘屑。
  11. 一種使用如請求項10的研磨系統來從襯墊的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將該研磨設備的該等導管內的吸入壓力輸送至該襯墊的該等中間導管中；進入的空氣由於該吸入壓力而流動到該襯墊的該下表面上，該空氣流通過一個或多個中央導管，若有，並通過該等周邊導管，並流過該襯墊的該外側壁；以及所述進入的空氣在被該吸入壓力拉進該襯墊的該等中間導管內以前，流過該襯墊的該下表面和該研磨件之間的該襯墊的完整部分。
  12. 一種使用如請求項10的研磨系統來從襯墊的下表面去除研磨殘屑的方法，該方法包括：將該研磨設備的導管內的吸入壓力輸送至該襯墊的一個或多個中央導管，若有，及輸送至該襯墊的該等中間導管；進入的空氣由於該吸入壓力而通過該等周邊導管及該襯墊的該外側壁流動到該襯墊的該下表面上；以及所述進入的空氣在被該吸入壓力拉進襯墊的一個或多個中央導管，若有，及該襯墊的該等中間導管以前，流過該襯墊的該下表面和該研磨件之間的該襯墊的完整部分。
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