TWI776315B

TWI776315B - 輸送軌架及使用該輸送軌架的載盤覆蓋方法、裝置

Info

Publication number: TWI776315B
Application number: TW109144145A
Authority: TW
Inventors: 紀証耀; 林漢聲
Original assignee: 萬潤科技股份有限公司
Priority date: 2020-12-14
Filing date: 2020-12-14
Publication date: 2022-09-01
Also published as: TW202222664A

Abstract

本發明提供一種包括相隔間距平行設置於一平台上的二側架，分別各設置於該二側架一側的二皮帶，該二皮帶可受驅動同步位移並形成一軌道；該輸送軌架設有可受驅動作上、下位移的第一定位件；該軌道提供一供置放支撐的第一高度，該第一定位件提供一供置放支撐的第二高度，其中，該第二高度高於第一高度的輸送軌架，及使用該輸送軌架的載盤覆蓋方法、裝置；藉此以確保被搬送物覆設蓋體時的穩定性。

Description

輸送軌架及使用該輸送軌架的載盤覆蓋方法、裝置

本發明係有關於一種輸送軌架及使用該輸送軌架的載盤覆蓋方法、裝置，尤指一種可供在一搬送流路中進行覆蓋操作的輸送軌架及使用該輸送軌架的載盤覆蓋方法、裝置。

隨著科技的蓬勃發展，濺鍍(Sputtering)技術在許多產業中扮演著不可或缺的角色，舉凡電子產品的按鍵、光學鏡片、導光板、電路板或晶片等物件，皆需對物件的表面進行濺鍍處理，以在物件的表面形成薄膜；然而在對物件進行濺鍍之前，依照物件大小、形狀及需濺鍍部位狀況需進行不同之前置作業，如：對不需濺鍍之表面進行遮蔽…等。

此種對不需濺鍍之表面進行遮蔽的前置處理，若以自動化的方式來進行，必須針對不須濺鍍的待濺鍍物件部位以覆蓋物來對不需濺鍍之表面進行遮蔽，然而待濺鍍物件通常作矩陣排列被以一載盤承載，在進行以覆蓋物來對不需濺鍍之表面進行遮蔽時，常因覆蓋物置放的施力不均或過重所造成的震動，導致待濺鍍物件在載盤中的排列定位被影響移位，使未來所執行的濺鍍製程無法獲得良好的品質。

爰此，本發明之目的，在於提供一種可提供對被搬送物進行覆設蓋體需求的輸送軌架。

本發明的另一目的，在於提供一種使用如所述輸送軌架的載盤覆蓋方法。

本發明的又一目的，在於提供一種使用如所述載盤覆蓋方法的載盤覆蓋裝置。

依據本發明之目的之輸送軌架，包括：相隔間距平行設置於一平台上的二側架，分別各設置於該二側架一側的二皮帶，該二皮帶可受驅動同步位移並形成一軌道；該輸送軌架設有可受驅動作上、下位移的第一定位件；該軌道提供一供置放支撐的第一高度，該第一定位件提供一供置放支撐的第二高度，其中，該第二高度高於第一高度。

依據本發明的另一目的之載盤覆蓋方法，使用如所述輸送軌架，包括：使包括一載盤構成的一被搬送物被經由該輸送軌架之該軌道所提供的搬送流路進行搬送，該載盤並被置放支撐在該第一高度；使一蓋體被置於該第一定位件的該第二高度上；使該第一定位件下降讓其所支撐的該蓋體置於該被搬送物上。

依據本發明又一目的之載盤覆蓋裝置，包括：可用以執行如所述載盤覆蓋方法的裝置，該裝置包括：一儲蓋機構、及一移載機構；其中，該儲蓋機構包括供複數個蓋體疊置的儲蓋架；該移載機構設有一提取座往復位移於該儲蓋機構與該輸送軌架間，以提取蓋體覆於該輸送軌架上的該被搬送物上。

本發明實施例之輸送軌架及使用該輸送軌架的載盤覆蓋方法、裝置，藉由該輸送軌架以該軌道提供一供被搬送物置放支撐的第一高度，並以可受驅動作上、下位移的該第一定位件提供該蓋體置放支撐的第二高度，使該第一定位件下降讓其所支撐的該蓋體置於該被搬送物上，使蓋體落下時，係在該第一定位件的精準導引下垂直落置，該蓋體落置除無該移載機構的該提取座施力，且蓋體本身重量亦被支撐減少下執行，使造成震動導致待濺鍍物件在載盤中的排列定位被影響移位的因素降低，未來所執行的濺鍍製程可以獲得良好的品質。

A:被搬送物

A1:底膜

A2:框體

A21:短邊

A22:定位孔

A3:待濺鍍物件

A31:待濺鍍表面

A32:不作濺鍍部位

A4:載盤

A41:承載面

A42:邊框

A421:短邊

A4211:第一定位部

A4212:第二定位部

A422:長邊

A4221:第三定位部

A4222:嵌扣部

A4223:置架

A43:銷體

B:輸送軌架

B1:平台

B2:側架

B21:皮帶

B211:皮帶輪

B212:上皮帶

B2121:上表面

B22:驅動件

B23:軌道

B231:移動座

B232:樞桿

B24:托座

B25:上表面

B3:第一定件

B31:驅動件

B4:第二定位件

B41:導引部

B5:第三定位件

B6:滾輪

B7:嵌扣件

B71:側擋部

B72:上擋部

B8:止擋件

C:儲蓋機構

C1:滑軌

C2:儲蓋架

C21:容置空間

C22:托頂機構

D:移載機構

D1:龍門座架

D11:支柱

D12:橫樑

D13:移載架

D14:驅動件

D15:吸附件

D16:提取座

圖1係本發明實施例中被搬送物之立體分解示意圖。

圖2係本發明實施例中該輸送軌架之立體示意圖。

圖3係本發明實施例中該第二圖之正面示意圖。

圖4係本發明實施例中該第二圖之右側示意圖。

圖5係本發明實施例中該載盤覆蓋裝置示意圖。

圖6係本發明實施例中該被搬送物在該輸送軌架上與該蓋體之立體分解示意圖。

圖7係本發明實施例中該該蓋體置放至該輸送軌架上之被搬送物的示意圖。

請參閱圖1所示，本發明輸送軌架實施例可用以輸送例如圖中所示的被搬送物A，該被搬送物A係使可撓性的矩形薄片狀之一底膜A1上表面周圍環繞圍設有一硬質的矩形之框體A2，該框體A2內的該底膜A1上表面具有黏性，使複數個待濺鍍物件A3以矩陣排列置於該框體A2內的該底膜A1上表面被黏附，並使載有該複數個待濺鍍物件A3的該底膜A1置於矩形的一載盤A4上形成一被搬送物A；其中，該待濺鍍物件A3可以包括一待濺鍍表面A31以及一不作濺鍍部位A32，或僅有該待濺鍍表面A31；該框體A2在該矩形周緣的短邊A21上設有定位孔A22，該載盤A4包括一平整的承載面A41及位於該承載面A41周緣並凸於該承載面A41表面高度的矩形之邊框A42，在鄰靠該邊框A42的該承載面A41表面設有凸起的銷體A43，所述該底膜A1置於該載盤A4之該承載面A41表面時，該框體A2的定位孔A22 恰置套於該銷體A43，使該底膜A1獲得定位；該載盤A4的該邊框A42包括二短邊A421及二長邊A422，其中，該短邊A421設有一側設開口朝外之鏤空槽狀的第一定位部A4211及鏤空孔狀的第二定位部A4212，該長邊A422設有一側設開口朝外之鏤空槽狀的第三定位部A4221、凹設的嵌扣部A4222及朝下垂設一段低於該承載面A41底部表面的置架A4223。

請參閱圖1、2，本發明實施例中該輸送軌架B設有相隔間距平行位於一平台B1上的二個側架B2，二個該側架B2各於一側設置一條皮帶B21，二條該皮帶B21可受驅動件B22驅動而同步位移並形成一軌道B23；該輸送軌架B設有可受驅動件B31驅動作上、下位移的第一定位件B3，該第一定位件B3設有複數個(在本實施例中為二個)，分兩部份以X軸向前、後相隔間距的方式分別設於該軌道B23之二條該皮帶B21相向內側的近前端處及近後端處，該前、後相隔間距小於該被搬送物A前、後長度，同一端的該第一定位件B3以Y軸向左、右相隔間距的方式分別設於該軌道B23之二條該皮帶B21相向內側，該左、右相隔間距小於該被搬送物A左、右寬度，該第一定位件B3並可穿經該載盤A4開口朝外之鏤空槽狀的該第一定位部A4211；該軌道B23中更設有複數個第二定位件B4(在本實施例中為二個)，該第二定位件B4以Y軸向左、右相隔間距的方式分別設於該軌道B23之二條該皮帶B21相向內側，並位於Y軸向設置的二個該第一定位件B3間，每一個該第二定位件B4上端設有錐狀的導引部B41，可穿經該載盤A4鏤空孔狀的該第二定位部A4212；位於二條該皮帶B21相向的二外側更設有沿X軸向直線間隔排列的複數個第三定位件B5(在本實施例中為二個)，該第三定位件B5可穿經該載盤A4開口朝外之鏤空槽狀的該第三定位部A4221；二條該皮帶B21所提供的該軌道B23提供一供置放支撐的第一高度，該第一定位件B3提供一供置放支撐的第二高度，其中，該第二高度高於第一高度，該第三定位件B5與該第一定位件B3同樣提供該第二高度；該皮帶B21在Y軸向位於該第一定位件B3與該第三定位B5件間，並為該二個該側架B2各相向的外側。

該輸送軌架B的二個側架B2上之二條該皮帶B21外，分別各設有一列沿X軸向直線間隔排列的複數個滾輪B6，在Y軸向的二個側架B2上相對應的二列滾輪B6間形成一個限制寬度的滾動區間；該輸送軌架B的二個側架B2上之二條該皮帶B21外，分別各設有可受驅動作Y軸向位移的二嵌扣件B7，每一嵌扣件B7各包括一立設的側擋部B71及一橫設的上擋部B72，其中，該上擋部B72可嵌入於該載盤A4之凹設的該嵌扣部A4222上；該輸送軌架B的該軌道B23中之該第一定位件B3對應搬送流路方向的前側，設有一可受驅動作上下位移的止擋件B8。

請參閱圖2、3、4，該輸送軌架B的二個側架B2上之二條該皮帶B21，任一該皮帶B21兩端各受一皮帶輪B211所牽引，兩個皮帶輪B211間位於上方的上皮帶B212則受該側架B2上X軸向直條狀的一托座B24所托撐，使該上皮帶B212的上表面B2121略高於該側架B2的上表面B25；該第一定位件B3、第二定位件B4與該第三定位件B5共同設於該軌道B23中的一移動座B231上，其中，該第二定位件B4高於該第一定位件B3與該第三定位件B5所提供的該第二高度，而使該導引部B41凸出於該第一定位件B3、該第三定位件B5的頂部之上方；該移動座B231下方受複數個樞桿B232所支撐，並受一氣壓缸所構成的該驅動件B31所驅動，而使該第一定位件B3、第二定位件B4與該第三定位件B5共同同步上下位移。

請參閱圖1、5、6，本發明實施例之該輸送軌架B可使用於圖中所示的一載盤覆蓋裝置中，用以搬送圖1中所示被搬送物A，該載盤覆蓋裝置設有如圖2所示的該輸送軌架B，及一儲蓋機構C、一移載機構D；其中，該儲蓋機構C，設於該輸送軌架B之該軌道B23所提供的被搬送物A輸送的搬送流路外，包括可在一組滑軌C1上作Y軸向位移的儲蓋架C2，該儲蓋架C2提供複數個蓋體A5可疊置其間的容置空間C21，該蓋體A5設有可遮蔽該待濺鍍物件A3上不作濺鍍部位A32的遮蔽部A51，及二個分別各對應該輸送軌架B中二個該第二定位件B4上端錐狀的導引部B41之樞孔A52；該容置空間C21下方設有可托頂容置其中該蓋體A5作上下位移的托頂機構C22；該移載機構D，設有以二支柱D11跨於該輸送軌架B之該軌道B23所提供的該被搬送物A輸送的該搬送流路兩側的龍門座架D1，該龍門座架D1的一Y軸向橫樑D12上設有一移載架D13，該移載架D13受一Y軸向驅動件D14及一Z軸向驅動件D141所驅動，可以該移載架D13下方的設有複數個吸附件D15的一提取座D16往復位移於該儲蓋機構C與該輸送軌架B間，以提取蓋體A5覆於該輸送軌架B上的該被搬送物A上。

請配合參閱圖1、6、7，包括該載盤A4構成的該被搬送物A被經由該輸送軌架B之該軌道B23所提供的搬送流路進行搬送時，該載盤A4以該承載面A41下方的一底側面A411被置放支撐在該皮帶B21所形成的該軌道B23所提供的該第一高度，其中，該載盤A4朝下延伸的二個該置架A4223則分別位於二個該皮帶B21所形成的該軌道B23外側；在該被搬送物A被搬送時，循二列滾輪B6間形成的該滾動區間藉前方抵達該止擋件B8而停止，並藉該嵌扣件B7的上擋部B72嵌入於該載盤A4之凹設的該嵌扣部A4222上及側擋部B71壓抵該載盤A4的該長邊A422側，而定位在該輸送軌架B之該軌道B23預設定位；此時該移動座B231受該驅動件B31所驅動，而使該第一定位件B3、第二定位件B4與該第三定位件B5共同同步向上位移，使該第一定位件B3穿經該載盤A4開口朝外之鏤空槽狀的該第一定位部A4211、第二定位件B4穿經該載盤A4鏤空孔狀的該第二定位部A4212、該第三定位件B5穿經該載盤A4開口朝外之鏤空槽狀的該第三定位部A4221。

請配合參閱圖5、6、7，該蓋體A5被該移載機構D的該提取座D16自該儲蓋機構D2提取後，係使該蓋體A5在該樞孔A52對應樞套在該第二定位件B4上端錐狀的導引部B41下，置於該輸送軌架B的該第一定位件B3與該第三定位件B5所提供的該第二高度上，然後再使該移動座B231受該驅動件B31所驅動，而使該第一定位件B3、第二定位件B4與該第三定位件B5共同同步向下位移，讓第一定位件B3與該第三定位件B5所支撐的該蓋體A5覆蓋置於該被搬送物A的該載盤A4上。

本發明實施例輸送軌架及使用該輸送軌架的載盤覆蓋方法、裝置，由於該輸送軌架B以該軌道提供一供被搬送物A置放支撐的第一高度，並以可受驅動作上、下位移的該第一定位件B3提供該蓋體A5置放支撐的第二高度，使該第一定位件B3下降讓其所支撐的該蓋體A5置於該被搬送物A上，使蓋體A5落下時，係在該第一定位件B3的精準導引下垂直落置，該蓋體A5落置除無該移載機構D的該提取座D16施力，且蓋體A5本身重量亦被支撐減少下執行，使造成震動導致待濺鍍物件A3在載盤A4中的排列定位被影響移位的因素降低，未來所執行的濺鍍製程可以獲得良好的品質。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。