TWI766728B

TWI766728B - 研磨裝置

Info

Publication number: TWI766728B
Application number: TW110121809A
Authority: TW
Inventors: 黃寶鋒; 林君安
Original assignee: 均豪精密工業股份有限公司
Priority date: 2021-06-16
Filing date: 2021-06-16
Publication date: 2022-06-01
Also published as: TW202300278A

Abstract

本發明公開一種研磨裝置，所述研磨裝置具有一研磨單元和一基座單元，所述研磨單元具有一研磨盤、旋轉主軸和馬達；基座單元具有一連接座、第一角度調整單元、第二角度調整單元和滑動座，研磨單元設置於連接座上，第一角度調整單元和第二角度調整單元設置於連接座和滑動座之間，第一角度調整單元具有平行於第一水平軸向的第一樞軸，第二角度調整單元具有平行於第二水平軸向的第二樞軸，而使得研磨單元能夠以第一樞軸和第二樞軸為中心而調整研磨盤的傾斜角度，進而達到控制晶圓研磨面的平面度的目的。

Description

研磨裝置

本發明涉及一種研磨裝置，特別是涉及一種使用於晶圓研削加工的研磨裝置。

現有的晶圓研磨機，通常具有一轉盤，轉盤上設置有多個晶圓夾盤，透過所述轉盤帶動多個所述晶圓夾盤旋轉，而使得多個所述晶圓夾盤轉動到一載入位置、多個加工位置、和一卸載位置。晶圓研磨機的機台在每一個加工位置分別設置一研磨裝置，透過多個不同位置的研磨裝置對各個不同加工位置上的晶圓進行不同的研磨工序。

現有的晶圓研磨機使用的研磨裝置具有一圓盤狀的研磨盤，透過研磨盤底面的砂輪或研磨墊對晶圓進行研磨。並且透過調整研磨盤和晶圓研磨面的相對傾斜角度，來控制晶圓研磨面的平面度。

然而現有的晶圓研磨機使用的研磨盤和晶圓相對傾斜角度的調整機構複雜，並且不易控制晶圓研磨面的平面度。

此外，現有的晶圓研磨裝置通常採用將馬達轉子和旋轉主軸結合的內藏式馬達結構，其不僅結構複雜，並且有冷卻散熱不易的缺點。

故，如何通過結構設計的改良克服上述的缺陷，已成為該項事業所欲解決的重要課題之一。

本發明所要解決的技術問題在於，針對現有晶圓研磨裝置的角度調整機構和主軸馬達的不足提供一種研磨裝置。

為了解決上述的技術問題，本發明所採用的其中一技術方案是提供一種研磨裝置，用以設置於一晶圓加工機的機台上，所述晶圓加工機具有一轉盤，所述轉盤具有多個晶圓夾盤，所述轉盤能夠旋轉地帶動多個所述晶圓夾盤位移到多個加工位置，所述研磨裝置設置於所述機台上鄰近於所述轉盤外側且對應於多個所述加工位置的其中之一的位置，且能夠透過所述研磨裝置對所述加工位置上的所述晶圓夾盤上的晶圓進行研磨；所述晶圓加工機能夠定義出一迴轉平面，以及垂直於所述迴轉平面的一垂直軸向，和平行於所述迴轉平面且彼此相互垂直的第一水平軸向和第二水平軸向；所述研磨裝置包括：一研磨單元，所述研磨單元具有一研磨盤、一旋轉主軸、和馬達；其中所述旋轉主軸和所述馬達連接於所述研磨盤的上方，所述研磨盤能夠沿著所述垂直軸向接觸所述晶圓，而對所述晶圓進行研磨；及一基座單元，所述基座單元包括：一滑動座，所述滑動座以能夠沿著所述垂直軸向往復位移方式設置於鄰近所述轉盤外側的位置；一連接座，所述研磨單元設置於所述連接座上；以及一第一角度調整單元和第二角度調整單元，所述連接座透過所述第一角度調整單元和所述第二角度調整單元連接所述滑動座；所述第一角度調整單元具有平行於所述第一水平軸向的第一樞軸，所述第二角度調整單元具有平行於所述第二水平軸向的第二樞軸，而使得所述研磨單元能夠以所述第一樞軸和所述第二樞軸的中心而調整和所述垂直軸向的相對傾斜角度。

本發明的其中一有益效果在於，本發明的所述研磨裝置的所述研磨單元是設置於所述基座單元上，所述基座單元具有所述第一角度調整單元和所述第二角度調整單元，所述第一角度調整單元具有平行於所述第一水平軸向的第一樞軸，所述第二角度調整單元具有平行於所述第二水平軸向的第二樞軸，而使得所述研磨單元能夠以所述第一樞軸和所述第二樞軸的旋轉軸心為中心而調整所述研磨盤的傾斜角度，進而達到控制所述晶圓研磨面的平面度的目的。本發明上述技術方案具有能夠簡化晶圓研磨裝置研磨角度調整機構的構造，且能夠容易地控制研磨面的平面度的特點。

為使能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本發明加以限制。

1:晶圓加工機

2:研磨裝置

10:機台

20:轉盤

30:晶圓夾盤

40:晶圓

100:研磨單元

110:研磨盤

111:研削構件

120:旋轉主軸

121:第一連接軸

1211:防漏墊圈

122:氣壓軸承

123:第二連接軸

124:軸套

125:流體接頭

126:中央流道

1261:上流道

1262:連通孔

1263:密封環

1264:下流道

1265:流體出口

130:馬達

131:驅動軸

140:連軸裝置

141:第一連接構件

1411:第一凸塊

142:第二連接構件

1421:第二凸塊

143:彈性連接構件

1431:彈性間隔部

200:基座單元

210:連接座

211:承載構件

220:第一角度調整單元

221:第一調整座

2211:第一樞軸孔

2212:第一限位槽

2213:第一限位銷

222:第一樞軸

2221:中心軸線

223:第一調整機構

2231:第一步進馬達

2232:第一螺桿

2233:第一滑塊

2234:第一滑軌

2235:第一連桿

2236:第一連接架

2237:第一樞接座

230:第二角度調整單元

231:第二調整座

2311:銜接板

232:第二樞軸

2321:中心軸線

233:第二調整機構

2331:第二步進馬達

2332:第二螺桿

2333:第二滑塊

2334:第二滑軌

2335:第二連桿

2336:第二連接架

2337:第二固定座

240:滑動座

241:連接板

2411:第二樞軸孔

2412:第二限位槽

2413:第二限位銷

242:滑塊

243:垂直滑軌

C1:第一旋轉軸心

C2:第二旋轉軸心

C3:第三旋轉軸心

C4:弧線中心

L:接觸弧線

Z:垂直軸向

Y:第一水平軸向

X:第二水平軸向

圖1為具有本發明研磨裝置的晶圓加工機的立體示意圖。

圖2為本發明研磨裝置的局部立體剖面示意圖。

圖3為圖2的局部放大剖面示意圖。

圖4為本發明實施例的研磨單元的立體分解示意圖。

圖5為本發明實施例的基座單元的立體分解示意圖。

圖6為本發明實施例的第一角度調整單元的動作示意圖。

圖7為本發明實施例的第二角度調整單元的動作示意圖。

圖8為本發明實施例的研磨單元的研磨盤傾斜角度調整方式的動作示意圖。

以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關“研磨裝置”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不背離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

參閱圖1至圖8所示，本發明第一實施例提供一種研磨裝置2，用以設置於一晶圓加工機1使用以研磨晶圓40。其中所述晶圓加工機1具有一機台10，以及設置於所述機台10上的一轉盤20，所述轉盤20能夠定義一旋轉平面，且所述轉盤20的中心定位於一第一旋轉軸心C1上。所述轉盤20具有多個晶圓夾盤30，所述轉盤能夠以所述第一旋轉軸心C1為中心旋轉，而帶動多個所述晶圓夾盤30位移到多個加工位置。

本發明的所述研磨裝置2設置於所述機台10上鄰近於所述轉盤20外側，且對應於多個所述加工位置的其中之一的位置。透過所述轉盤20能夠帶動多個所述晶圓夾盤30以所述第一旋轉軸心C1為中心而公轉，使得其中一所述晶圓夾盤30位移到對應於所述研磨裝置2的所述加工位置，且在所述加工位置上，所述晶圓夾盤30能夠以每一個所述晶圓夾盤30本身的第二旋轉軸心C2為中心產生自轉動作，而使得所述晶圓夾盤30上的所述晶圓40和所述研磨裝置2相對旋轉，且透過所述研磨裝置2能夠對所述晶圓夾盤30上的晶圓40進行研磨加工。

為便於說明起見，能夠定義出和所述轉盤20的所述旋轉平面相垂直的垂直軸向Z，和平行於所述迴轉平面且彼此相互垂直的第一水平軸向Y和第二水平軸向X。所述轉盤20的所述第一旋轉軸心C1和所述晶圓夾盤30的所述第二旋轉軸心C2平行於所述垂直軸向Z。

特別說明，本發明圖1所示實施例中，所述晶圓加工機1僅繪示具有單獨一個所述研磨裝置2，然而本發明不限於此。舉例來說，所述晶圓加工機1設置的研磨裝置2的數量可以為多個，並且多個所述研磨裝置2分別設置在對應於所述轉盤20的多個加工位置的位置，而使得多個所述研磨裝置2能夠分別對不同的所述加工位置上的所述晶圓40進行加工。

如圖2及圖3所示，本發明的所述研磨裝置2包括：一研磨單元100，和一基座單元200。所述研磨單元100透過所述基座單元200設置於所述機台10上。

其中，所述研磨單元100包括：一研磨盤110、旋轉主軸120、馬達130、和一連軸裝置140。所述研磨單元100能夠定義出一第三旋轉軸心C3，所述研磨盤110、所述旋轉主軸120和所述馬達130共同地排列設置所述第三旋轉軸心C3上。

所述研磨盤110呈圓盤體，所述研磨盤110的底側面具有研削構件111，所述研削構件111能夠隨著所述研磨盤110共同地以所述第三旋轉軸心C3為中心而旋轉。特別說明，本實施例中，所述研削構件111為研磨砂輪，然而本發明不限於此，舉例來說，所述研削構件111也可以為化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization,CMP)的研磨墊，也可以為晶圓拋光的拋光研磨墊。

所述研磨盤110的上端連接一旋轉主軸120，且透過所述旋轉主軸120連接所述馬達130，而使得所述研磨盤110能夠受到所述馬達130驅動而旋轉。

如圖1至圖4所示，本實施例中，所述旋轉主軸120包括：一第一連接軸121、一第二連接軸123、一連軸裝置140、和一氣壓軸承122。其中所述第一連接軸121透過所述氣壓軸承122連接於所述研磨盤110的上端，所述第二連接軸123連接於所述馬達130的一驅動軸131的下端，所述連軸裝置140連接於所述第二連接軸123和所述第一連接軸121之間，而使得所述第二連接軸123和所述第一連接軸121能夠連接在一起。

此外，如圖3所示，本實施例中，所述第二連接軸123的底端形成一直徑較小的圓柱體，且插入於所述第一連接軸121上端的一圓孔中，並且所述第二連接軸123底部圓柱體的直徑配置為略小於所述第一連接軸121上端內孔的直徑，且在所述第一連接軸121上端圓孔的內側壁和所述第二連接軸123底部圓柱體的外側壁之間設置一防漏墊圈1211，以使得流體無法從所述第一連接軸121和所述第二連接軸123接縫處洩漏，且使得所述第一連接軸121和所述第二連接軸123之間沒有剛性的連結。

如圖4所示，其中，所述連軸裝置140包括：第一連接構件141、第二連接構件142、和彈性連接構件143。其中所述第一連接構件141設置於所述第一連接軸121的上端，所述第二連接構件142設置於所述第二連接軸123的下端，所述第一連接構件141朝向所述第一連接構件141的一側具有以等角度間隔排列的多個第一凸塊1411，所述第二連接構件142朝向所述第一連接構件141的一側具有和多個所述第一凸塊1411相對的第二凸塊1421。多個所述第一凸塊1411和多個所述第二凸塊1421配置為具有相同的間隔角度，並且任兩個相鄰的所述第一凸塊1411之間的間隙寬度大於任一個所述第二凸塊1421的寬度，任兩個相鄰的所述第二凸塊1421之間的間隙大於任一個所述第一凸塊1411的寬度，因而使得多個所述第一凸塊1411和多個所述第二凸塊1421能夠以相互交錯插置的方式銜接在一起，並且使得任一個彼此相鄰的所述第一凸塊1411所述第二凸塊1421之間保有間隙。

所述彈性連接構件143設置於所述第一連接構件141和所述第二連接構件142之間。本實施例中，所述彈性連接構件143是由彈性的吸震材料一體成型製成，所述彈性連接構件143概略呈環形，且所述彈性連接構件143具有以等角度間隔且以放射線狀排列設置的多個彈性間隔部1431，多個所述彈性間隔部1431的數量配合多個所述第一凸塊1411和多個所述第二凸塊1421之間的間隙數量，且能夠容置在多個所述第一凸塊1411和多個所述第二凸塊1421之間的間隙中，因而使得每一個所述第一凸塊1411和相鄰的所述第二凸塊1421之間的間隙中均設置有所述彈性間隔部1431，因此使得多個所述第一凸塊1411和多個所述第二凸塊1421彼此間不會直接接觸，而是透過所述彈性連接構件143的彈性間隔部1431間接地傳動。

所述連軸裝置140透過上述配置方式，使得所述第一連接構件141和所述第二連接構件142之間不會直接接觸，而是透過所述彈性連接構件143間接地傳動。由於所述彈性連接構件143是由彈性吸震材質製成，因此能夠吸收震動，且避免影響到所述氣壓軸承122的精密度。

如圖2及圖3所示，本發明的所述旋轉主軸120的中心還具有一中央流道126，用以將研磨的冷卻液或切削液輸送到所述研磨盤110。本實施例中，所述中央流道126包括有設置於所述第二連接軸123中心的上流道1261、設置於所述第一連接軸121中心的下流道1264。所述上流道1261和所述下流道1264相互連接，而共同構成所述中央流道126。

本實施例中，所述上流道1261的上端連接一連通孔1262，所述連通孔1262沿著所述第二連接軸123的徑向貫穿設置於所述第二連接軸123，所述連通孔1262連接所述上流道1261，並且所述連通孔1262的兩端貫穿到所述第二連接軸123的外側壁。所述第二連接軸123的外側還套設一軸套124，所述軸套124設置有一流體接頭125，使得流體能夠進入到所述軸套124的內側。所述軸套124的內側壁還設置有兩個密封環1263，兩所述密封環1263分別配置在位於所述流體接頭125的入口和所述連通孔1262的開口的上方與下方的位置。透過兩所述密封環1263，使得從所述流體接頭125進入到所述軸套124內側的流體被限制在兩所述密封環1263之間的空間內而不會外洩，進而使得流體能夠經由所述連通孔1262進入到所述上流道1261中。

所述下流道1264的底端設置一流體出口1265，所述流體出口1265連通所述研磨盤110內部的液體流道，因此使得所述中央流道126內的流體能夠流動到所述研磨盤110，以供應所述研磨盤110進行研削時所需要的流體。透過上述配置，所述研磨盤110研磨所述晶圓40所需的流體(如：冷卻水、清潔液、或研削液)能夠經由所述流體接頭125、所述連通孔1262、所述中央流道126、和所述流體出口1265傳送到所述研磨盤110。本發明所述研磨單元100透過上述配置方式，使得所述研磨單元100的所述馬達130能夠採用外置於所述旋轉主軸120的方式配置，因而能夠簡化研磨單元100的傳動結構並降低成本。

如圖1、圖2及圖5所示，所述研磨單元100是透過所述基座單元200設置在所述晶圓加工機1的所述機台10上。所述基座單元包括：一連接座210、第一角度調整單元220、第二角度調整單元230、和一滑動座240。其中所述連接座210具有用以供設置所述研磨單元100的一承載構件211，所述研磨單元100是以所述第三旋轉軸心C3平行於所述垂直軸向的方式設置於所述連接座210上。所述第一角度調整單元220和所述第二角度調整單元230設置於所述連接座210和所述滑動座240之間，而使得所述連接座210和所述滑動座240之間能夠調整相對角度。

所述滑動座240為大致上呈矩形的板體，所述滑動座240的前側面的兩側具有相互平行的兩連接板241，且所述滑動座240的背面透過兩滑塊242和兩垂直滑軌243設置於所述機台10上。兩所述垂直滑軌243配置為平行於所述垂直軸向Z，因此能夠引導所述滑動座240沿著所述垂直軸向Z往復位移。

所述第一角度調整單元220和所述第二角度調整單元230設置於所述連接座210和所述滑動座240之間。其中所述第一角度調整單元220具有第一調整座221、第一樞軸222、和第一調整機構223。其中所述第一調整座221為設置於所述連接座210後側，所述第一調整座221為大致上平行於所述第二水平軸向X的板體，所述第一調整座221的一側設置有第一樞軸孔2211，所述第一樞軸222穿設於所述第一樞軸孔2211中，且固定於所述第二角度調整單元230的一第二調整座231。所述第一樞軸222的中心軸線2221大致上平行於所述第一水平軸向Y，因此使得所述第一調整座221能夠以所述第一樞軸222的中心軸線2221為中心而擺動。並且所述第一調整座221相對於所述第一樞軸孔2211的一側設置有一第一限位槽2212，以及第一限位銷2213，所述第一限位銷2213插入於所述第一限位槽2212中，且固定於所述第二調整座231上，而能夠限定所述第一調整座221的擺動角度。

所述第一調整機構223設置於所述第一調整座221和所述第二調整座231之間，用以控制所述第一調整座221的擺動角度。本實施例中，所述第一調整機構223包括：第一步進馬達2231、第一螺桿2232、第一滑塊2233、第一滑軌2234、第一連桿2235、第一連接架2236、第一樞接座2237。其中，所述第一螺桿2232連接所述第一步進馬達2231，透過所述第一步進馬達2231能夠驅動所述第一螺桿2232旋轉。所述第一滑塊 2233連接於所述第一螺桿2232的末端，並且所述第一滑塊2233設置於所述第一滑軌2234上。所述第一滑軌2234平行於所述第一螺桿2232的中心軸線，因此使得所述第一滑塊2233能夠被所述第一螺桿2232驅動，而沿著所述第一滑軌2234往復位移。

本實施例中，所述第一滑軌座2236能夠設置於所述第一調整座221，或者是設置在所述第二調整座231的其中之一，所述第一滑軌2234固定於所述第一滑軌座2236上，因而使得所述第一滑軌2234透過所述第一滑軌座2236連接所述第一調整座221或所述第二調整座231。所述第一連桿2235的其中一端樞接於所述第一滑塊2233，並且所述第一連桿2235的另一端則是樞接於所述第一樞接座2237上。所述第一樞接座2237是和所述第一滑軌座2236相對地設置於所述第一調整座221和所述第二調整座231兩者的其中另一。

如圖6所示，所述第一滑塊2233受到所述第一螺桿2232驅動而直線位移時，能夠帶動所述第一連桿2235以其固定於所述第一樞接座2237的軸心為中心擺動。由於所述第一連桿2235的兩端分別樞接於所述第一滑軌座2236和所述第一樞接座2237，因此當所述第一連桿2235擺動時，能夠帶動所述第一滑軌座2236和所述第一樞接座2237之間的間距產生變化。並且，所述第一樞接座2237、所述第一滑塊2233、和所述第一連桿2235設置於所述第一調整座221相對於所述第一樞軸222的一側，因此當所述第一連桿2235受到所述第一螺桿2232驅動而擺動時，能夠帶動所述第一調整座221產生以所述第一樞軸222為中心的搖擺動做，因而使得所述第一調整座221相對於所述垂直軸向Z的角度改變。

特別說明，所述第一調整機構223當中，所述第一螺桿2232採用精密的滾珠螺桿，並且所述第一步進馬達2231能夠精確地控制所述第一螺桿2232的旋轉角度，因此透過所述第一步進馬達2231、所述第一螺桿2232和所述第一滑塊2233驅動所述第一連桿2235擺動，能夠精確地控制所述第一調整座221的擺動角度。

如圖5和圖7所示，其中所述第二角度調整單元230連接於所述第一調整座221和所述滑動座240之間。所述第二角度調整單元230包括：第二調整座231、第二樞軸232、和第二調整機構233。其中所述第二調整座231為設置於所述第一調整座221後側，所述第二調整座231相對於所述第一調整座221的一側面具有兩個銜接板2311，兩所述銜接板2311大致上和所述滑動座240的兩所述連接板241相互平行，且兩所述銜接板2311能夠設置於兩所述連接板241的內側。

兩所述第二樞軸232是以平行於所述第二水平軸向X的方向穿設於兩所述連接板241和所述銜接板2311，而使得兩所述銜接板2311和兩所述連接板241能夠透過兩所述第二樞軸232連接在一起。兩所述第二樞軸232是穿過設置於兩所述連接板241上的兩個第二樞軸孔2411，且固定於兩所述銜接板2311上，因此使得所述第二調整座231能夠以兩所述第二樞軸232的中心軸線2321為中心而擺動。並且兩所述連接板241還分別設置一第二限位槽2412，且透過兩個第二限位銷2413插入兩所述第二限位槽2412，並固定於兩所述銜接板2311上，藉以限制所述第二調整座231的擺動角度。

所述第二調整機構233包括：一第二步進馬達2331、第二螺桿2332、第二滑塊2333、第二滑軌2334、第二滑軌座2336、和第二固定座2336。本實施例中，所述第二調整機構233的所述第二步進馬達2331、第二螺桿2332、和所述第二滑軌2334的中心軸線大致上平行於所述垂直軸向Z。其中所述第二螺桿2332連接所述第二步進馬達2331，所述第二滑塊 2333設置於所述第二滑軌2334上且連接所述第二螺桿2332。所述第二滑軌2334設置於所述第二滑軌座2336上，且所述第二滑軌座2336設置於所述滑動座240上。所述第二固定座2336設置於所述第二滑塊2333相對於所述第二滑軌座2336的一側，且連接於所述第一調整座221。所述第二連桿2335的兩端分別樞接於所述第二滑塊2333和所述第二固定座2336上。

所述第二調整機構233的動作原理和所述第一調整機構223的動作原理相似，因此本說明書不重複介紹。透過所述第二調整機構233，能夠驅動所述第二調整座231產生以所述第二樞軸232的中心軸線2321為中心的擺動，而達到調整所述第二調整座231和所述滑動座240的相對傾斜角度的目的。

如圖8所示，所述研磨單元100進行研削程序時，所述研磨盤110底部的所述研削構件111能夠以所述第三旋轉軸心C3旋轉，並透過所述滑動座240的位移控制所述研削構件111接觸所述晶圓夾盤30上的所述晶圓40。所述研磨盤110接觸所述晶圓40的同時，所述晶圓夾盤30同時地帶動所述晶圓40以所述第二旋轉軸心C2旋轉，而使得所述研磨盤110底部的所述研削構件111能夠完整地研磨所述晶圓40的全部表面。

如圖8所示，由於所述研削構件111呈環形，因此所述研削構件111和所述晶圓40表面接觸位置形成一接觸弧線L，因此當所述研磨盤110和所述晶圓40相對傾斜角度改變時，所述接觸弧線L能夠以一弧線中心C4為分界而擺動，而使得所述研削構件111在所述接觸弧線L上不同位置處的研削構件111的研磨深度便會產生變化。更詳細地說，如圖8所示，本發明的所述基座單元200能夠以所述第一樞軸222的中心軸線2221和所述第二樞軸232的所述中心軸線2321為中心而調整所述研磨單元100的傾斜角度。為便於說明起見，將所述研磨單元100以所述第一樞軸222的中心軸線2221擺動的動作定義為前傾和後傾，而以所述第二樞軸232的所述中心軸線2321為中心擺動的動作定義為左傾和右傾。當所述研磨盤110前傾或後傾時，所述研削構件111在所述接觸弧線L的前緣位置的高度會產生變化，而當所述研磨盤110左傾或右傾時，所述研削構件111在所述接觸弧線L的左右側位置的高度會產生變化。

因此，所述研磨裝置2透過所述基座單元200的所述第一角度調整單元220和所述第二角度調整單元230能夠微調控制所述研磨盤110相對於所述晶圓40的傾斜角度，而達到控制所述晶圓40的研磨平面的平面度的目的。

[實施例的有益效果]

本發明的其中一有益效果在於，本發明所提供的研磨裝置的所述研磨單元是設置於所述基座單元上，所述基座單元具有所述第一角度調整單元和所述第二角度調整單元，所述第一角度調整單元具有平行於所述第一水平軸向的第一樞軸，所述第二角度調整單元具有平行於所述第二水平軸向的第二樞軸，而使得所述研磨單元能夠以所述第一樞軸和所述第二樞軸的旋轉軸心為中心而調整所述研磨盤的傾斜角度，進而達到控制所述晶圓研磨面的平面度的目的。本發明上述技術方案具有能夠簡化晶圓研磨裝置研磨角度調整機構的構造，且能夠容易地控制研磨面的平面度的特點。

更詳細地說，本發明的所述第一角度調整機構和所述第二角度調整機構是透過步進馬達驅動精密的螺桿，再透過螺桿帶動滑塊以及連桿，透過連桿擺動時，連桿兩端點的間距改變，而帶動所述第一調整座和所述第二調整座以所述第一樞軸和所述第二樞軸為中心擺動，因此能夠精確地調整所述第一調整座和所述第二調整座的傾斜角度，而具有構造簡單，且精密度高的特點。

此外，本發明的所述研磨單元是透過連軸裝置連接所述馬達和所述旋轉主軸，因此使得馬達能夠外置於旋轉主軸的外側，而且透過所述連軸裝置減少馬達傳動所述旋轉主軸的震動，因而具有簡化研磨裝置的構造，且提高研磨精密度的特點。並且所述研磨主軸具有用以輸送流體的中央流道，而能夠簡化研削流體的輸送結構，並提高研削流體輸送效率。

以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的申請專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的申請專利範圍內。