TWI738179B - 薄形散熱裝置及其製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明係有關於一種薄形散熱裝置及其製造方法，本發明之裝置主要包括具有封閉腔體之中空本體、以及充填於封閉腔體內之工作流體。其中，封閉腔體包括第一流體通道、及第二流體通道，而該二流體通道沿著中空本體之長度方向延伸，並於中空本體之寬度方向上併排配置且彼此連通，且該二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm。據此，本發明提供一種全新型態的毛細結構，大幅縮小整體厚度，提升傳熱功率，又可有效降低成本，且可靠度高、使用壽命長；另外本發明所提供之製造方法製程相當簡單、良率高，且製造成本相當低廉，適合大量生產。

Description

薄形散熱裝置及其製造方法
本發明係關於一種薄形散熱裝置及其製造方法，尤指一種適用於可攜式電子裝置之薄形散熱裝置及其製造方法。
隨著可攜式電子裝置的運算能力不斷地提升，對於散熱的需求也顯的日益重要。再加上，可攜式電子裝置的體積不斷地朝向輕薄短小的趨勢，這無疑是限制了散熱裝置之配置空間。
在現有技術中已開發有針對可攜式電子裝置的散熱元件，例如美國專利公告第US9565786號『薄片狀散熱管及具備薄片狀散熱管之電子設備(Sheet-like heat pipe,and electronic device provided with same)』。然而，如上開先前技術中所載，傳統熱管的內部仍然避免不了必須設置毛細結構來供冷凝後的工作流體回流，而常見的毛細結構包括網目、纖維體、燒結粉末體、或微溝槽等。
再者，熱管中的毛細結構不僅增加了製造成本，且製造工序也相當複雜，例如為了固定網目、纖維體、或燒結粉末體等毛細結構，必須加熱黏著或燒結，而衍生退火工序，進而改變了材料特性，影響到可靠度。另一方面，如果採用維 溝槽者，又必須進行蝕刻。
此外，熱管中的毛細結構也必須具備相當體積，才可供足夠的工作流體作汽液循環。如此一來，導致熱管的整體厚度受限，無法再降低厚度，且間接地影響到電子裝置的厚度。
另一方面，傳統採用溝槽形式的熱管，因為溝槽的開口都與外壁垂直，故溝槽的寬度或深度必然受限於管壁厚度，不可能太深，導致溝槽內的含水量受限。然而，熱管的傳熱功率又完全仰賴溝槽內的含水量多寡，如此將導致傳熱功率受限，無法再有效提升。而且，傳統溝槽形式的熱管因其本身結構的關係，也無法朝薄形化發展。
整體而言，上述原因正是熱管無法普及應用於現有的可攜式電子裝置之主因，亦為目前產業界所迫切解決之問題。
本發明之主要目的係在提供一種薄形散熱裝置，提供一種全新型態的毛細結構，大幅縮小整體厚度，提升傳熱功率，又可有效降低成本，且可靠度高、使用壽命長。
本發明之另一目的係在提供一種薄形散熱裝置之製造方法，其製程相當簡單、良率高，且製造成本相當低廉，適合大量生產。
為達成上述目的，本發明一種薄形散熱裝置，主要包括一中空本體、以及一工作流體；中空本體內部設置有一封閉腔體，而工作流體充填於中空本體之封閉腔體內。其中，封閉腔體包括至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道， 而第一流體通道和第二流體通道係沿著中空本體之長度方向延伸且彼此連通，第一流體通道和該第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm，第一流體通道和第二流體通道在中空本體之寬度方向上併排配置。
承上，本發明之薄形散熱裝置藉由開口高度小於等於0.1mm之第一流體通道的設置，取代習知熱管以網目、纖維體、或燒結粉末體之毛細結構，而構成新型態的毛細構造，可讓冷凝後的工作流體流通。另一方面，第一流體通道和第二流體通道在中空本體之寬度方向上併排配置，藉此降低厚度，可讓裝置變的更薄。據此，本發明薄形散熱裝置之構造相當簡單、可靠，成本相當低廉，且散熱效率亦佳。
較佳的是，第二流體通道之高度為大於0.1mm，而第一流體通道之寬度是高度之至少二倍，較佳為至少三倍，更佳為五倍以上，藉此第一流體通道可以提供足夠的毛細作用空間，以供足量的冷凝液回流。換言之，因為本發明之第一流體通道之寬度是跟裝置的寬度方向平行，故在不增加厚度的前提之下，第一流體通道之寬度可任意調配或延伸，即工作流體之含量可視實際需求增減，來提高導熱功率。
而且，在本發明的其他實施態樣中，本發明薄形散熱裝置之封閉腔體之剖面也可呈T形，而第二流體通道之相對應二側可各配置一第一流體通道，藉以又可增加冷凝後的工作流體之回流空間和含量，以更提升散熱效率。
為達成上述目的，本發明一種薄形散熱裝置主要包括一中空本體、以及一工作流體；中空本體內部設置有一封閉腔體，而工作流體充填於中空本體之封閉腔體內。其中，封 閉腔體包括複數導熱通道，每一導熱通道包括至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道；而第一流體通道和第二流體通道係沿著中空本體之長度方向延伸並彼此連通，且第一流體通道和第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm，又第一流體通道和第二流體通道在中空本體之寬度方向上併排配置。
據此，本發明之薄形散熱裝置亦可為具備多導熱通道之散熱板，其可提供大面積之傳熱和散熱，而厚度卻又可維持於相當薄。而且，封閉腔體更可包括一第一匯流部、及一第二匯流部，而複數導熱通道之二端可分別連通至第一匯流部、及第二匯流部，故第一匯流部、及第二匯流部可提供汽、液狀態之工作流體匯流，而可達成整個散熱裝置均溫之功效。
為達成前述目的，本發明一種薄形散熱裝置之製造方法，包括以下步驟：(A)提供一端具有通孔的一中空本體、一上模、及一下模：(B)將中空本體置於上模與下模之間；(C)壓合上模與下模；(D)分離上模與下模；以及(E)注入一工作流體，並對中空本體進行脫氣後，封閉通孔而形成一封閉腔體。其中，封閉腔體包括至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道；第一流體通道和第二流體通道係沿著中空本體之長度方向延伸並彼此連通，第一流體通道和第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm。
據此，本發明所提供之上述製造方法相當簡單，只需透過沖模之機械加工方式即可，無需經過蝕刻或燒結，更無需額外工序來形成習知毛細結構，且只需要一個步驟即可一次成形第一、及第二流體通道，實為一極富創新和巧思之製造 方法。
又，上述之製造方法之步驟(A)中，可更提供一內置模具；而在步驟(B)中，內置模具可透過通孔穿設於中空本體；且在步驟(D)中，移除內置模具；其中。第二流體通道係內置模具所形成之區域。換言之，本發明所提供的上述方法中，也可另外透過一內置模具來成形第二流體通道；惟本發明並不以此為限，在無內置模具的情況下，亦可實施本發明之方法，而達成本發明之目的。
為達成前述目的，本發明一種薄形散熱裝置之另一製造方法，包括以下步驟：(A)提供一中空本體、一上模、及一下模：而中空本體內部設置有一封閉腔體，並充填有工作流體；(B)將中空本體置於上模與下模之間；(C)壓合上模與下模；以及(D)分離上模與下模，並使封閉腔體形成至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道，第一流體通道和第二流體通道係沿著中空本體之長度方向延伸並彼此連通，第一流體通道和第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm。
換言之，本發明所提供之上述製造方法更為簡便，只需要把已經充填工作流體、脫氣並封閉後之散熱裝置(例如熱管)直接置入模具中，再加壓沖模後就可直接形成；其中，本發明所提供之此一方法係直接以工作流體來取代前列之製造方法中所提出的內置模具，因工作流體具有強大的支撐力，特別是受熱蒸發而體積膨脹之後。
再者，於本發明所提供的上述製造方法中，上模、及下模中至少一者具有至少一凸部、及至少一槽部，而凸部係用於形成第一流體通道，槽部則係用於形成第二流體通 道。另外，於步驟(A)中，上模、及下模係預先加熱至一特定溫度，並傳導而加熱散熱裝置來使工作流體蒸發，以使其產生蒸汽來形成支撐力。
為達成前述目的，本發明一種薄形散熱裝置之又一製造方法，包括以下步驟：(A)提供一第一基板、及一第二基板：第一基板、及第二基板中至少一者之表面上佈設有複數長凸部；(B)接合第一基板、及第二基板，且第一基板、及第二基板之二相對應面間構成一容腔；以及(C)對容腔注入一工作流體並脫氣後，封閉該容腔而形成一封閉腔體；其中，第一基板、及第二基板之二相對應面與複數長凸部界定出複數導熱通道，每一導熱通道包括至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道；第一流體通道和第二流體通道係彼此連通，第一流體通道和第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm。
據此，本發明所提供之上述製造方法更適用於製造板狀之薄形散熱裝置，上開方法中主要利用二基板接合並構成容腔，且複數長凸部在容腔中分隔出複數導熱通道，並在每一個導熱通道中同時形成第一流體通道和第二流體通道。特別一提的是，前述0.1mm的高度只是約略值，略高於0.1mm或略低於0.1mm應視為合理的均等範圍。
較佳者，本發明上述製造方法中，複數長凸部可透過沖模、化學蝕刻、放電加工、或其他等效之加工成形方法成形，例如3D列印、PVD、CVD、或甚至銑削等機械加工。此外，每一長凸部可包括一凸台、及一凸肋，凸肋可疊設於凸台上，凸肋可用於與第二基板接合，且第二基板與凸台間構成第一流體通道。又，第二基板之表面上可更包括複數間隔凸 塊；而複數間隔凸塊可用於與複數長凸部接合並間隔出複數導熱通道。
1‧‧‧薄形散熱裝置
2‧‧‧中空本體
3‧‧‧內置模具
20‧‧‧封閉腔體
21‧‧‧第一流體通道
22‧‧‧第二流體通道
23‧‧‧端部
24‧‧‧內凹部
41‧‧‧上模
42‧‧‧下模
43‧‧‧凸部
44‧‧‧槽部
50‧‧‧容腔
51‧‧‧第一基板
52‧‧‧第二基板
53‧‧‧導熱通道
201‧‧‧中空本體內部之側端緣
202‧‧‧中空本體內部之上端緣
241‧‧‧內凹部之側端緣
242‧‧‧內凹部之上端緣
511‧‧‧長凸部
512‧‧‧凸台
513‧‧‧凸肋
521‧‧‧凸塊
Fw‧‧‧工作流體
h1,h2‧‧‧高度
W1,W2‧‧‧寬度
圖1係本發明薄形散熱裝置一較佳實施例之立體圖。
圖2係本發明薄形散熱裝置一較佳實施例之剖面圖。
圖3A至圖3B係本發明之製造方法的第一實施例中各步驟示意圖。
圖4A至圖4B係本發明之製造方法的第二實施例中各步驟示意圖。
圖5係本發明之製造方法的第三實施例之剖面示意圖。
圖6係本發明之製造方法的第四實施例之剖面示意圖。
圖7係本發明之製造方法的第五實施例所製成之局部剖面立體圖。
圖8A係本發明薄形散熱裝置另一較佳實施例之剖面圖。
圖8B係本發明薄形散熱裝置再一較佳實施例之剖面圖。
圖8C係本發明薄形散熱裝置又一較佳實施例之剖面圖。
本發明薄形散熱裝置及其製造方法在本實施例中被詳細描述之前，要特別注意的是，以下的說明中，類似的元件將以相同的元件符號來表示。再者，本發明之圖式僅作為示意說明，其未必按比例繪製，且所有細節也未必全部呈現於圖式中。
請先參閱圖1、及圖2，圖1係本發明薄形散熱裝置一較佳實施例之立體圖，圖2係本發明薄形散熱裝置一較佳實 施例之剖面圖。如圖中所示，本實施例之薄形散熱裝置1主要包括一中空本體2、及一工作流體Fw，中空本體2內部設置有一封閉腔體20，而封閉腔體20內充填該工作流體Fw。
再者，封閉腔體20之剖面係呈T形，其包括二第一流體通道21、及一第二流體通道22，第一流體通道21和第二流體通道22都沿著中空本體2之長度方向(如圖中所示之Y軸向)延伸且彼此連通，而第一流體通道21與第二流體通道22係在中空本體2之寬度方向(如圖中所示之X軸向)上併排配置，且二第一流體通道21係配置於第二流體通道22之相對應二側。
另外，在本實施例中，散熱裝置整體的高度(厚度)為0.4mm，每一壁厚均為0.1mm，而第一流體通道21之高度h1也是0.1mm，且第一流體通道21和該第二流體通道22間構成連通之端面210的高度同樣為0.1mm，又第二流體通道22之高度h2(如圖中所示之Z軸向)則為0.2mm。然而，根據實際的驗證結果，當通道的開口(端面210)高度小於0.1mm時就可產生毛細作用，即第一流體通道21充當了液體流通用之毛細結構，而可省去習知以網目、纖維體、或燒結粉末體等毛細結構。當然，第一流體通道21隨著高度h1的降低，毛細現象則更為明顯，而在本發明的其他實施例中採用了高度h1為0.05mm的第一流體通道21，此體現了相當優異的汽液循環作用。
又更進一步說明，為達成絕佳的汽液循環效率，第一流體通道21、及第二流體通道22之寬度(X軸向)可以任意調配。在本實施例中，第二流體通道22之寬度W2設計為3mm，二側的第一流體通道21的寬度W1均為0.5mm，而整體長度為100mm。根據這樣的設計，對於3~4W之發熱體將具 有絕佳的熱傳遞和散熱效果，當然根據不同的需求可以改變上述規格數據或並排佈設複數個薄形散熱裝置1。
接著說明本發明薄形散熱裝置1之製造方法，以下將提供六種不同製造方法。請先參閱圖3A至圖3B，其係本發明之製造方法的第一實施例中各步驟示意圖。首先，準備一端具有通孔的一中空本體2、一內置模具3、一上模41、及一下模42；其中，於此階段之中空本體2乃係一端通孔、一端封閉之盲管。再者，將中空本體2置於上模41與下模42之間，而內置模具3透過通孔穿設於中空本體2內，即如圖3A所示。
接著，如圖3B所示，施力壓合上模41與下模42，即沖模加工使中空本體2隨上模41與下模42塑形，而形成第一流體通道21、及第二流體通道22；其中，第二流體通道22係內置模具3所形成之區域。接下來，分離上模41與下模42，並移除內置模具3。最後，注入一工作流體Fw，並對中空本體2進行脫氣，例如以加熱或真空吸引或者是該等組合等的手段進行脫氣後，再以鉚接或焊接等手段封閉通孔而形成一封閉腔體20。
需要特別說明的是，本實施例之內置模具3並非為必要構件，亦可省略該模具；即直接透過上模41與下模42之設計，同時成形第一流體通道21和第二流體通道22也是可行的。
另外，關於第二實施例之製造方法請參閱圖4A、及圖4B，圖4A至圖4B係本發明之製造方法的第二實施例中各步驟示意圖。本實施例是直接採用已經抽真空並充填工作流體Fw而封閉通孔之中空本體2來沖模成形，而且省去內置模具 3。進一步說明，上模41、及下模42先經過預先加熱至一特定溫度，故當上模41、及下模42接觸中空本體2時，上模41、及下模42將透過中空本體2加熱工作流體Fw，使其汽化形成蒸汽而膨脹。
據此，如圖4B所示，當施力壓合上模41與下模42時，工作流體Fw之蒸汽將構成相當良好的支撐，而撐開中空本體2使其隨著模具塑形。其中，本實施例之下模42具有二凸部43、及一槽部44，二凸部43分設於槽部44之相對應二側；然而，凸部43係用於形成第一流體通道21，而槽部44則用於形成第二流體通道22。
事實上，本發明不僅可運用於如上述實施例中所提長條形的薄形散熱裝置，本發明亦可運用於薄板型的散熱裝置。以下三個實施例即可用於製造薄板型的散熱裝置。
請參閱圖5，圖5係本發明之製造方法的第三實施例之剖面示意圖。首先，提供一第一基板51、及一第二基板52：而第一基板51已預先沖模加工形成複數長凸部511。其中，每一長凸部511包括一凸台512、及一凸肋513，而凸肋513係疊設於凸台512上，即構成一階梯狀。
接著，接合第一基板51、及第二基板52，而凸肋513便係用於與第二基板52接合。然而，二者接合後，第一基板51、及第二基板52之二相對應面間構成一容腔50。接著，對容腔50注入一工作流體並脫氣後，又封閉容腔50而形成一封閉腔體20，便完成製造工序。
然而，如圖5中所示，凸肋513不僅係用於與第二基板52接合而已，同時也分隔並界定出複數導熱通道53。更 重要的是，凸肋513之側表面、凸台512外表面、以及第二基板52之部分表面共同定義出該第一流體通道21。
據此，本實施例之優勢相當明顯，只要透過對一基板一次沖壓成形複數長凸部511，再接合另一平面基板，並灌注工作流體、脫氣、及密封後，即可完成本發明之平板型態的薄形散熱裝置。
請再參閱圖6，圖6係本發明之製造方法的第四實施例之剖面示意圖。本實施例與上述第三實施例之差異僅在於，本實施例之第一基板51之表面上沖模形成複數長凸部511，而在第二基板52之表面上同樣沖模形成複數間隔凸塊521。然而，當第一基板51和第二基板52相互接合時，複數間隔凸塊521分別接合複數長凸部511。換句話說，本實施例之長凸部511等同於第三實施例之凸台512，而本實施例之間隔凸塊521則等同於第三實施例之凸肋513，亦即本實施例只是將第三實施例之長凸部511分成二部成形。
請再參閱圖7，圖7係本發明之製造方法的第五實施例所製成之局部剖面立體圖。本實施例與第三實施例結構特徵大部分雷同，僅是製造方法不同，本實施例採用蝕刻製成，即對第一基板51進行蝕刻以形成長凸部511。此外，本發明的製造方法不僅可利用上述實施例中所提及的沖模加工、或蝕刻製程，亦可利用其他機械加工的方式，例如利用工具機之車銑加工或放電加工，抑或利用其他如3D列印、PVD、CVD等沈積製程。
同時，請再參閱圖7，圖中所顯示本實施例之板型的薄形散熱裝置1中，封閉腔體20包括四條導熱通道53，而 每一條導熱通道53的剖面形狀請參考圖2。然而，封閉腔體20的兩側端部又包括一第一匯流部24、及一第二匯流部25，該四條導熱通道53之二端分別連通至第一匯流部24、及第二匯流部25。藉此，第一匯流部24、及第二匯流部25可匯流該四條導熱通道53中所流通之汽態或液態的工作流體，而可達成整個薄形散熱裝置1均溫之功效。
請再一併參閱圖8A、圖8B、及圖8C，圖8A係本發明薄形散熱裝置另一較佳實施例之剖面圖，圖8B係本發明薄形散熱裝置再一較佳實施例之剖面圖，圖8C係本發明薄形散熱裝置又一較佳實施例之剖面圖。如圖中所示，圖8A、8B、8C分別提供三種本發明之薄形散熱裝置之實施例，圖8A所示之實施例的剖面呈現梯形構造，圖8B所示之實施例的剖面之左右二側呈現漸縮之尖端狀，而此二實施例之第一流體通道21則均位於二側尖端處。
關於圖8C中所示實施例，在中空本體2二側分別具有一朝本體內部凹入之內凹部24，其用於形成第一流體通道21。進一步說明，該內凹部24之側端緣241距離該中空本體2內部之側端緣201有一約0.1mm之寬度W1，且該內凹部24之上端緣242距離該中空本體2內部之上端緣202有一約0.1mm之高度h1，據此而形成一L形的第一流體通道21。特別說明，雖然上述實施例中，寬度W1設定為0.1mm，不過本發明並不以此為限，可依實際需求變動，如大於或小於0.1mm。承上所述，圖8A、8B、8C之實施例的優點在於，均容易成型、製造，即利用前述之沖模加工即可輕易成型。
上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發 明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。
1‧‧‧薄形散熱裝置
2‧‧‧中空本體
20‧‧‧封閉腔體
21‧‧‧第一流體通道
22‧‧‧第二流體通道
210‧‧‧端面
Fw‧‧‧工作流體
h1,h2‧‧‧高度
W1,W2‧‧‧寬度

Claims (19)

  1. 一種薄形散熱裝置，包括：一中空本體，其內部設置有一封閉腔體；以及一工作流體，其充填於該中空本體之該封閉腔體；其中，該封閉腔體包括至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道，該第一流體通道和該第二流體通道係沿著該中空本體之長度方向延伸並彼此連通，該第一流體通道和該第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm，該第一流體通道和該第二流體通道在該中空本體之寬度方向上併排配置；其中，該第一流體通道、及該第二流體通道係利用一模具來沖壓該中空本體所形成，該模具包括至少一凸部、及至少一槽部，該至少一凸部係用於形成該至少一第一流體通道，該至少一槽部係用於形成該至少一第二流體通道。
  2. 如請求項1之薄形散熱裝置，其中，該第二流體通道之高度為大於0.1mm，該第一流體通道之寬度是高度之至少二倍。
  3. 如請求項1之薄形散熱裝置，其中，該封閉腔體之剖面係呈T形，該第二流體通道之相對應二側各配置該第一流體通道。
  4. 一種薄形散熱裝置，包括：一中空本體，其內部設置有一封閉腔體；以及一工作流體，其充填於該中空本體之該封閉腔體；其中，該封閉腔體包括複數導熱通道，每一導熱通道包括至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道；該至少一第一流體通道和該至少一第二流體通道係沿著該中空本體之長度方 向延伸並彼此連通，該至少一第一流體通道和該至少一第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm，該至少一第一流體通道和該至少一第二流體通道在該中空本體之寬度方向上併排配置；該複數導熱通道係利用一模具而沖壓該中空本體所形成，該模具包括複數凸部、及複數槽部，該複數凸部係用於形成該至少一第一流體通道，該複數槽部係用於形成該至少一第二流體通道。
  5. 如請求項4之薄形散熱裝置，其中，該封閉腔體更包括一第一匯流部、及一第二匯流部，該複數導熱通道之二端分別連通至該第一匯流部、及該第二匯流部。
  6. 如請求項4之薄形散熱裝置，其中，該第二流體通道之高度為大於0.1mm，該第一流體通道之寬度是高度之至少二倍。
  7. 如請求項4之薄形散熱裝置，其中，其中，每一導熱通道之剖面係呈T形，該第二流體通道之相對應二側各配置該第一流體通道。
  8. 一種薄形散熱裝置之製造方法，包括以下步驟：(A)提供一端具有通孔的一中空本體、一上模、一下模、及一內置模具；(B)將該中空本體置於該上模與該下模之間，該內置模具透過該通孔穿設於該中空本體；(C)壓合該上模與該下模；(D)分離該上模與該下模，並移除該內置模具；以及(E)注入一工作流體，並對該中空本體進行脫氣後，封閉該通孔而形成一封閉腔體；該封閉腔體包括至少一第一流體通 道、及至少一第二流體通道；該第一流體通道和該第二流體通道係沿著該中空本體之長度方向延伸並彼此連通，該第一流體通道和該第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm。
  9. 如請求項8之薄形散熱裝置之製造方法，其中，該第二流體通道係該內置模具所形成之區域。
  10. 如請求項8之薄形散熱裝置之製造方法，其中，該第一流體通道和該第二流體通道係在該中空本體之寬度方向上併排配置。
  11. 如請求項8之薄形散熱裝置之製造方法，其中，該第二流體通道之高度為大於0.1mm，該第一流體通道之寬度是高度之至少二倍。
  12. 一種薄形散熱裝置之製造方法，包括以下步驟：(A)提供一中空本體、一上模、及一下模：該中空本體內部設置有一封閉腔體，並充填有工作流體；該上模、及該下模中至少一者具有至少一凸部、及至少一槽部；(B)將該中空本體置於該上模與該下模之間；(C)壓合該上模與該下模；以及(D)分離該上模與該下模，並使該封閉腔體形成至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道；其中，該第一流體通道和該第二流體通道係沿著該中空本體之長度方向延伸並彼此連通，該至少一凸部係用於形成該第一流體通道，該至少一槽部係用於形成該至少一第二流體通道，該第一流體通道和該第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm。
  13. 如請求項12之薄形散熱裝置之製造方法，其中，於該步驟(A)中，該上模、及該下模係預先加熱至一特定溫度。
  14. 如請求項12之薄形散熱裝置之製造方法，其中，該第一流體通道和該第二流體通道係在該中空本體之寬度方向上併排配置。
  15. 如請求項12之薄形散熱裝置之製造方法，其中，該第二流體通道之高度為大於0.1mm，該第一流體通道之寬度是高度之至少二倍。
  16. 一種薄形散熱裝置之製造方法，包括以下步驟：(A)提供一第一基板、及一第二基板：該第一基板之表面上佈設有複數長凸部，該複數長凸部係透過沖模成形於該第一基板之表面上；(B)接合該第一基板、及該第二基板，且該第一基板、及該第二基板之二相對應面間構成一容腔；以及(C)對該容腔注入一工作流體並脫氣後，封閉該容腔而形成一封閉腔體；其中，該第一基板、及該第二基板之二相對應面與該複數長凸部界定出複數導熱通道，每一導熱通道包括至少一第一流體通道、及至少一第二流體通道；該第一基板、及該第二基板之二相對應面間構成該第二流體通道，該第二基板與該第一基板之該等長凸部間構成該第一流體通道；該第一流體通道和該第二流體通道係彼此連通，該第一流體通道和該第二流體通道間構成連通之端面的高度小於等於0.1mm。
  17. 如請求項16之薄形散熱裝置之製造方法，其中，該第二流體通道之高度為大於0.1mm，該第一流體通道之寬度是高度之至少二倍。
  18. 如請求項16之薄形散熱裝置之製造方法，其中，每一長凸部包括一凸台、及一凸肋，該凸肋係疊設於該凸台上，該凸肋係用於與該第二基板接合，且該第二基板與該凸台間構成該第一流體通道。
  19. 如請求項16之薄形散熱裝置之製造方法，其中，該第二基板之表面上更包括複數間隔凸塊；該複數間隔凸塊係用於與該複數長凸部接合並間隔出該複數導熱通道。
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