TWI737207B

TWI737207B - 半導體檢測模組

Info

Publication number: TWI737207B
Application number: TW109107026A
Authority: TW
Inventors: 朱俊龍; 鄭景鴻; 吳志文; 溫國政; 陳守傑; 鄭宇翔
Original assignee: 鏵友益科技股份有限公司
Priority date: 2020-03-04
Filing date: 2020-03-04
Publication date: 2021-08-21
Also published as: TW202134655A

Abstract

一種半導體檢測模組，適用於配合二彼此相鄰間隔而界定出一間隔空間的製程站點，及一設置於該等製程站點之間並用以輸送半導體工件的運輸機構。該半導體檢測模組包含一可拆卸地設置於該等製程站點的其中之一的載架單元、一安裝於該載架單元並往該間隔空間延伸的拍攝單元，及一安裝於該載架單元且與該拍攝單元相鄰間隔的光源單元。可妥善利用該等製程站點之間的既有空間模組化地安裝，在藉由該光源單元提供光源的情況下，以該拍攝單元拍攝該運輸機構所輸送之半導體工件而獲得檢測資訊。

Description

半導體檢測模組

本發明是有關於一種半導體檢測設備，特別是指一種可模組化安裝的半導體檢測模組。

半導體產業是當今相當重要、占比也高的產業類別，為了提高製程品質，在產線中每一個環節的檢測流程則扮演關鍵性的角色，若能確保每一個製程步驟轉換間的成品狀態，有利於盡早過濾不良品，進而提高良率，同時也有助於製程參數調校、方法改善等等相關作業。

然而，目前半導體產業的技術發展飛快，額外產生的檢測需求可能陸續增加，在許多廠商之既有產線早已建構而難以更動的情況下，若要針對新製程而增加檢測站點，就算不重建產線而重新規劃，在產線之相鄰站點間距離有限的情況下，也勢必需要進行相當大規模的改造，對於廠商的成本負擔相當大，因而也影響了進一步提升技術層次的意願。

因此，本發明之目的，即在提供一種能在既有產線中模組化安裝，以在相鄰站點之間完成檢測作業的半導體檢測模組。

於是，本發明半導體檢測模組，適用於配合二彼此相鄰間隔而界定出一間隔空間的製程站點，及一設置於該等製程站點之間並用以輸送半導體工件的運輸機構。該半導體檢測模組包含一可拆卸地設置於該等製程站點的其中之一的載架單元、一安裝於該載架單元並往該間隔空間延伸的拍攝單元，及一安裝於該載架單元且與該拍攝單元相鄰間隔的光源單元。

該拍攝單元用於拍攝該運輸機構所輸送之半導體工件而獲得檢測資訊，而該光源單元用於在該拍攝單元拍攝所述半導體工件時提供光源。

本發明之功效在於：可模組化地安裝於該等製程站點之間既有的該間隔空間，藉由該拍攝單元與該光源單元的相互配合，提供既有產線中原本未設置的額外檢測功能，藉此降低優化產線時的成本花費。

參閱圖1與圖2，本發明半導體檢測模組的一實施例，適用於配合二彼此沿一間隔方向D相鄰間隔而界定出一間隔空間90的製程站點9，及一設置於該等製程站點9之間並用以輸送半導體工件的運輸機構8。本實施例可選擇安裝於該等製程站點9的其中之一，並適用於安裝在該運輸機構8相對上方。本實施例包含一適用於連接於該製程站點9且沿一橫向垂直該間隔方向D之延伸方向E延伸的輔助單元5、一沿該延伸方向E調整位置而定位於該輔助單元5的載架單元1、一安裝於該載架單元1並往該間隔空間90延伸的拍攝單元2，及一安裝於該載架單元1並與該拍攝單元2縱向相鄰間隔，且位置介於該運輸機構8與該拍攝單元2之間的光源單元3。

該輔助單元5具體而言為一沿該延伸方向E延伸的軌道，可利用該製程站點9的既有空間，安裝於既有的外殼或者壁面上。該載架單元1包括一可調整位置地定位於該輔助單元5的定位件11、一可相對移動地連接於該定位件11且用以供該拍攝單元2安裝的承載架12，及一可相對該承載架12移動地連接於該承載架12上，且用以供該光源單元3安裝的支撐架13。具體而言，在該定位件12固定位置後，該承載架12能透過一調整螺絲129來調整相對於該定位件12的縱向位置，而完成調整後可藉由設置於側方的多個定位螺絲128來固定調整後的相對位置。接著配合參閱圖3，同樣地，該支撐架13也是採用相同的移動與定位機制，得以藉由一調整螺絲139來調整相對於該承載架12的縱向位置，再利用多個定位螺絲138來達成定位的目的。然而要強調的是，藉由所述調整螺絲129、139和所述定位螺絲128、138達成調整、定位的方式，僅是其中一種可實行的具體方案，實際實施時，亦能採用其他等效機構來取代，達成相同之調整縱向位置及固定相對位置的目的。

重新參閱圖1，由於該等製程站點9之間原先並未考量到後續擴增檢測設備的可能性，除了該間隔空間90可能相對較為狹窄，該運輸機構8在該等製程站點9間輸送半導體工件的路徑自然也未考量。然而，利用該運輸機構8勢必為了在該等製程站點9間有效率地運輸的因素，該運輸機構8大多會選擇沿該間隔方向D的最短距離，也就是說，該運輸機構8沿該延伸方向E並不會有太大範圍的移動。據此，只要先對應該運輸機構8的運輸路徑而調整該定位件11在該輔助單元5上的位置，即可使本實施例對應該運輸機構8的運輸路徑。

參與圖4並配合圖2，因應較為多元檢測需求，該承載架12具有一圍繞界定出一內空間120的框架部121、一固定於該框架部121且位於該內空間120中的基台部122、一連接於該基台部122且能相對於該基台部122線性移動的移台部123，及一供該拍攝單元2設置且能相對於該移台部123旋轉的旋台部124。再定義一縱向垂直該間隔方向D的縱軸方向Z，藉由該移台部123可相對於該基台部122沿平行該間隔方向D的方向來回移動，以及該旋台部124可相對於該移台部123以平行該縱軸方向Z的一轉軸R旋轉的特性，架設於該旋台部124上的該拍攝單元2即可有更多元的調整自由度，因應既有的安裝環境，以及拍攝角度、位置的相關需求。

重新參閱圖1與圖2，該拍攝單元2具體而言可選用CCD(Charge-coupled Device)影像感應器，藉此感應光線而產生一影像資訊，但並不以此為限。所產生的該影像資訊傳輸至其他處理設備時，即可執行影像分析，以比對、計算的方式取得所欲檢測的相關資訊。另外，由於該間隔空間90相對較為狹窄，使相對較為占據空間的該載架單元1預先安裝於可能有較大空間的製程站點9中，再使該拍攝單元2朝向該間隔空間90延伸，在應用有限空間的情況下，對應該運輸機構8的移動路徑，以拍攝該運輸機構8所輸送之半導體工件而獲得檢測資訊。

參閱圖3，該光源單元3包括一可沿一橫向垂直於該間隔方向D之延伸方向E移動地連接於該載架單元1的調整架31，及一設置於該調整架31上的發光件32。該光源單元3除了能藉由該調整架31而橫向調整以外，藉由該支撐架13可相對於該承載架12縱向調整的特性，該光源單元3可依據需求調整與該拍攝單元2之間的縱向距離，以在適當的距離提供適當的光場，使該拍攝單元2得以在相對較佳的光源環境下確實拍攝。

參閱圖5並配合圖1與圖2，使用本實施例執行檢測時，只要先對應該運輸機構8的位置而在該輔助單元5上調整該載架單元1的安裝位置，即可使本實施例對應該運輸機構8。此時，由於該拍攝單元2是由所述製程站點9向外延伸，因而只需要利用相對窄小的該間隔空間90，即能在該光源單元3調校好適當照射位置的情況下，在該運輸機構8於該等製程站點9之間運輸半導體工件的過程中，達成拍攝所述半導體工件而執行檢測的目的。

值得特別說明的是，本實施例所能達成的檢測類型，亦不因「模組化安裝」而有所受限，在半導體製程中諸如微粒、裂痕、晶邊等等的缺陷檢查，或者是曝光、塗佈、蝕刻之誤差的檢測，甚至是應力集中區的分析，都可以採用本實施例確實完成。

綜上所述，本發明半導體檢測模組，能利用所述製程站點9之中的空間以及該間隔空間90而模組化地安裝，不需大幅修改甚至重建產線，即可針對新增的檢測需求額外配置，藉此使產線擴充檢測的項目，大幅降低產線優化的成本花費。因此，確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

1:載架單元 11:定位件 12:承載架 120:內空間 121:框架部 122:基台部 123:移台部 124:旋台部 128:定位螺絲 129:調整螺絲 13:支撐架 138:定位螺絲 139:調整螺絲 2:拍攝單元 3:光源單元 31:調整架 32:發光件 5:輔助單元 8:運輸機構 9:製程站點 90:間隔空間 D:間隔方向 E:延伸方向 Z:縱軸方向 R:轉軸

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是一立體圖，說明本發明半導體檢測模組的一實施例；圖2是一角度與圖1不同的立體圖，說明該實施例的一載架單元、一拍攝單元，及一光源單元；圖3是一局部放大的立體圖，說明該載架單元的一承載架；圖4是一局部放大的立體圖，配合圖2說明該光源單元相對於該拍攝單元的位置調整；及圖5是一示意圖，說明該實施例配合一運輸機構檢測半導體工件的情況。

1:載架單元

11:定位件

12:承載架

3:光源單元

5:輔助單元

8:運輸機構

9:製程站點

90:間隔空間

D:間隔方向

E:延伸方向

Z:縱軸方向

Claims

一種半導體檢測模組，適用於配合二彼此沿一間隔方向相鄰間隔而界定出一間隔空間的製程站點，及一設置於該等製程站點之間並用以輸送半導體工件的運輸機構，該半導體檢測模組包含：一載架單元，可拆卸地設置於該等製程站點的其中之一，並包括一定位件、一可相對移動地連接於該定位件的承載架，及一可相對該承載架移動地連接於該承載架上的支撐架；一拍攝單元，安裝於該載架單元之該承載架並往該間隔空間延伸，用於拍攝該運輸機構所輸送之半導體工件而獲得檢測資訊；及一光源單元，安裝於該載架單元之該支撐架且與該拍攝單元相鄰間隔，用於在該拍攝單元拍攝所述半導體工件時提供光源。
如請求項1所述的半導體檢測模組，適用於安裝在該運輸機構相對上方，其中，該光源單元介於該運輸機構與該拍攝單元之間。
如請求項1所述的半導體檢測模組，其中，該載架單元的該承載架具有一圍繞界定出一內空間的框架部、一固定於該框架部且位於該內空間中的基台部、一連接於該基台部且能相對於該基台部線性移動的移台部，及一供該拍攝單元設置且能相對於該移台部旋轉的旋台部。
如請求項3所述的半導體檢測模組，其中，該移台部可相對於該基台部沿平行該間隔方向的方向來回移動。
如請求項4所述的半導體檢測模組，定義一縱向垂直該間隔方向的縱軸方向，其中，該旋台部是相對於該移台部以平行該縱軸方向的一轉軸旋轉。
如請求項1所述的半導體檢測模組，還包含一適用於連接於該等製程站點其中之一，且沿一橫向垂直於該間隔方向之延伸方向延伸的輔助單元，該輔助單元供該載架單元可沿該延伸方向移動地定位。
如請求項1所述的半導體檢測模組，其中，該光源單元包括一可沿一橫向垂直於該間隔方向之延伸方向移動地連接於該載架單元的調整架，及一設置於該調整架上的發光件。