TWI732636B - 雷射穩源系統與雷射光源模組 - Google Patents
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Abstract
一種雷射穩源系統，用以使一雷射光源所發出的一雷射光束維持穩定。雷射穩源系統包括一光束操控元件、一第一分光器、一第一光偵測器、一第二分光器及一第二光偵測器。光束操控元件用以對雷射光束的方向與位置作4個自由度以上的操控。第一分光器用以將來自光束操控元件的雷射光束分成一第一部分光束與一第二部分光束。第一光偵測器配置於第一部分光束的傳遞路徑上。第二分光器用以將第二部分光束分成一第三部分光束與一第四部分光束。第二光偵測器配置於第三部分光束的傳遞路徑上。一種雷射光源模組亦被提出。
Description
本發明是有關於一種光學系統與光源模組，且特別是有關於一種雷射穩源系統與雷射光源模組。
隨著科技進步，雷射光源被廣泛應用於各種不同的領域，其相關產業可生產高品質與高精密之高單價產品。許多研究顯示，雷射光源之精度與穩定度不僅受外在環境溫度、震動所影響，也會受本身之結構、熱源及輸入源等影響，故克服上述之問題以提升雷射光源的品質，則能進一步提升雷射儀器之精度以及價值。
目前市售雷射穩源系統由兩個二自由度擺動之快速控制反射鏡（fast steering mirror, FSM）以及兩個感測器所組成。兩個感測器用來量測雷射光源並將資料傳遞到控制器，透過演算法來解析雷射幾何誤差。接著，控制器會驅動兩個二自由度擺動之快速控制反射鏡來補償雷射光源四個自由度的誤差。此外，市售的快速控制反射鏡包括兩個自由度的致動器，可以使裝載在快速控制反射鏡上的平面鏡繞著兩個互相垂直的軸旋轉，來反射及控制雷射光束的方向。
然而，現有市售的快速控制反射鏡僅能使雷射光束產生兩個自由度的偏擺，而無法使雷射光束產生平移。此外，現有市售之快速控制反射鏡雷射穩源系統的零件過多，不適合安裝於狹小的空間內。再者，現有市售之快速控制反射鏡雷射穩源系統的光程過長，會導致雷射光束的角度誤差被放大。
本發明提供一種雷射穩源系統，可以使雷射光束產生偏擺與平移，易於安裝於狹小的空間內，且可具有較短的光程長度，進而有效降低雷射光束的角度誤差。
本發明提供一種雷射光源模組，可以使雷射光束產生偏擺與平移，易於安裝於狹小的空間內，且可具有較短的光程長度，進而有效降低雷射光束的角度誤差。
本發明的一實施例提出一種雷射穩源系統，用以使一雷射光源所發出的一雷射光束維持穩定。雷射穩源系統包括一光束操控元件、一第一分光器、一第一光偵測器、一第二分光器及一第二光偵測器。光束操控元件配置於雷射光束的路徑上，且用以對雷射光束的方向與位置作4個自由度以上的操控。第一分光器配置於來自光束操控元件的雷射光束的路徑上，且用以將雷射光束分成一第一部分光束與一第二部分光束。第一光偵測器配置於第一部分光束的傳遞路徑上。第二分光器配置於第二部分光束的傳遞路徑上，且用以將第二部分光束分成一第三部分光束與一第四部分光束。第二光偵測器配置於第三部分光束的傳遞路徑上。
本發明的一實施例提出一種雷射光源模組，包括一雷射光源、一光束操控元件、一第一分光器、一第一光偵測器、一第二分光器及一第二光偵測器。雷射光源用以發出一雷射光束。光束操控元件配置於雷射光束的路徑上，且用以對雷射光束的方向與位置作4個自由度以上的操控。第一分光器配置於來自光束操控元件的雷射光束的路徑上，且用以將雷射光束分成一第一部分光束與一第二部分光束。第一光偵測器配置於第一部分光束的傳遞路徑上。第二分光器配置於第二部分光束的傳遞路徑上，且用以將第二部分光束分成一第三部分光束與一第四部分光束。第二光偵測器配置於第三部分光束的傳遞路徑上。
在本發明的實施例的雷射穩源系統與雷射光源模組中，由於採用了對雷射光束的方向與位置作4個自由度以上的操控的光束操控元件，因此可以使雷射光束產生偏擺與平移，易於安裝於狹小的空間內，且可具有較短的光程長度，進而有效降低雷射光束的角度誤差。
圖1為本發明的一實施例的雷射光源模組的光路示意圖，而圖2為圖1中的光束操控元件中的稜鏡的光路示意圖。請參照圖1與圖2，本實施例的雷射光源模組100包括一雷射光源110、一光束操控元件200、一第一分光器120、一第一光偵測器130、一第二分光器140及一第二光偵測器150。雷射光源110用以發出一雷射光束112。雷射光源110可以是各種形式的雷射光源，例如固態雷射光源、液態雷射光源或氣體雷射光源。
光束操控元件200配置於雷射光束112的路徑上，且用以對雷射光束112的方向與位置作4個自由度以上的操控。舉例而言，光束操控元件200可對雷射光束112作兩個軸向的轉向與兩個軸向的平移等4個自由度的操控。
第一分光器120配置於來自光束操控元件200的雷射光束112的路徑上，且用以將雷射光束112分成一第一部分光束114與一第二部分光束116。第一光偵測器130配置於第一部分光束114的傳遞路徑上。第二分光器140配置於第二部分光束116的傳遞路徑上，且用以將第二部分光束116分成一第三部分光束118與一第四部分光束119。第二光偵測器150配置於第三部分光束118的傳遞路徑上。在本實施例中，第一分光器120與第二分光器140例如為分光稜鏡。然而，在其他實施例中，第一分光器120與第二分光器140也可以是分光鏡。
在本實施例中，第一光偵測器130與第二光偵測器150皆為影像感測器，例如是互補式金屬氧化物半導體（complementary metal oxide semiconductor, CMOS）影像感測器或電荷耦合元件（charge coupled device, CCD）。此外，在本實施例中，雷射光源模組110更包括一控制器160，電性連接至第一光偵測器130、第二光偵測器150及光束操控元件200，且用以根據第一光偵測器130量測到的第一部分光束114在其上所形成的光點位置與第二光偵測器150量測到的第三部分光束118在其上所形成的光點位置，而計算出雷射光束112所需補償的角度與位置，並傳遞控制訊號C1至光束操控元件200以使光束操控元件200補償雷射光束112的角度與位置的偏差。雷射光束112經過光束操控元件200即時且良好的補償後，第四部分光束119就成為可供外界利用的高精度且高穩定的雷射光束，而較不受外在環境溫度及震動所影響，也較不受本身之結構、熱源及輸入源等的影響。
在本實施例中，光束操控元件200包括一第一稜鏡210及一第二稜鏡220，第一稜鏡210具有一第一傾斜反射面212，而第二稜鏡220具有一第二傾斜反射面222。雷射光束112依序被第一傾斜反射面212與第二傾斜反射面222反射，第一傾斜反射面212平行於一第一軸向x，第二傾斜反射面222平行於一第二軸向y，第一傾斜反射面212相對於雷射光束112入射其之方向傾斜，且第二傾斜反射面222相對於雷射光束112從其出射之方向傾斜。在本實施例中，第一軸向x與第二軸向y彼此垂直。
此外，在本實施例中，第一稜鏡210更具有一第三傾斜反射面214，相對第一傾斜反射面212傾斜，且平行於第一軸向x。第二稜鏡220更具有一第四傾斜反射面224，相對於第二傾斜反射面222傾斜，且平行於第二軸向y。雷射光束112依序被第一傾斜反射面212、第三傾斜反射面214、第二傾斜反射面222及第四傾斜反射面224反射。第三傾斜反射面214相對於雷射光束112入射其之方向傾斜，且第四傾斜反射面224相對於雷射光束112從其出射之方向傾斜。
在本實施例中，光束操控元件200更包括一馬達230，且第一稜鏡210與第二稜鏡220配置於馬達230中，以受馬達230控制方向與位置。此外，在本實施例中，第一稜鏡210與第二稜鏡220是配置於單一的馬達230中，且單一的馬達230為能夠控制4個自由度以上的馬達。舉例而言，馬達230可使第一稜鏡210與第二稜鏡220沿著第一軸向x平移及繞著平行於第一軸向x的軸旋轉，也可以使第一稜鏡210與第二稜鏡220沿著第二軸向y平移及繞著平行於第二軸向y的軸旋轉。也就是說，馬達230可使第一稜鏡210與第二稜鏡220產生4個自由度的偏擺及平移。在另一實施例中，馬達230還可以使第一移鏡210與第二稜鏡220沿著第三軸向z平移及/或繞著平行於第三軸向z的軸旋轉，而使第一稜鏡210與第二稜鏡220產生5或6個自由度的偏擺及平移，其中第三軸向z例如是垂直於第一軸向x與第二軸向y。
雷射光源110以外的元件（例如光束操控元件200、第一分光器120、第一光偵測器130、第二分光器140、第二光偵測器150及控制器160）可形成雷射穩源系統300，用以使雷射光源110所發出的雷射光束112維持穩定。
在一實施例中，控制器160例如為中央處理單元（central processing unit, CPU)、微處理器（microprocessor）、數位訊號處理器（digital signal processor, DSP）、可程式化控制器、可程式化邏輯裝置（programmable logic device, PLD）或其他類似裝置或這些裝置的組合，本發明並不加以限制。此外，在一實施例中，控制器160的各功能可被實作為多個程式碼。這些程式碼會被儲存在一個記憶體中，由控制器160來執行這些程式碼。或者，在一實施例中，控制器160的各功能可被實作為一或多個電路。本發明並不限制用軟體或硬體的方式來實作控制器160的各功能。
在本實施例的雷射穩源系統300與雷射光源模組100中，由於採用了對雷射光束112的方向與位置作4個自由度以上的操控的光束操控元件200，因此可以使雷射光束112產生偏擺與平移，易於安裝於狹小的空間內，且可具有較短的光程長度，進而有效降低雷射光束112的角度誤差。換言之，本實施例的雷射穩源系統300與雷射光源模組100可以只採用單一一個光束操控元件200來取代傳統的兩個以上的快速控制反射鏡，因此可有效減少零件數量，並達到上述的功效。
圖3A為本發明的另一實施例的光束操控元件的立體示意圖，而圖3B是將圖3A的光束操控元件的一部分切除後的立體示意圖。請參照圖3A與圖3B，本實施例的光束操控元件200a與圖1之光束操控元件200類似，而兩者的主要差異如下所述。圖1中的第一稜鏡210與第二稜鏡220具有透光材料，而雷射光束112可以進入透光材料中，第一傾斜反射面212、第三傾斜反射面214、第二傾斜反射面222及第四傾斜反射面224上可鍍有反射膜，以反射雷射光束112。或者，第一傾斜反射面212、第三傾斜反射面214、第二傾斜反射面222及第四傾斜反射面224可以利用內全反射（total internal reflection）的方式將雷射光束112反射，而其上可以沒有鍍反射膜。與此不同的是，在圖3A與圖3B的實施例中，第一稜鏡210a與第二稜鏡220a可以是透光材料或不透光材料，雷射光束112不會在第一稜鏡210a與第二稜鏡220a的材料中傳遞，且第一傾斜反射面212a、第三傾斜反射面214a、第二傾斜反射面222a及第四傾斜反射面224a上可鍍有反射膜。
至於本實施例的光束操控元件200a與圖1之光束操控元件200相似的部分則如下所述。馬達230可包括稜鏡固定座231，磁鐵固定座232、多個上彈簧片233、多個第一磁鐵234、多個第一線圈235、多個第二磁鐵236及多個第二線圈237、多個下彈簧片238、多個彈線2375及一基座239。稜鏡固定座231用以固定第一稜鏡210a與第二稜鏡220a，磁鐵固定座232用以固定這些第一磁鐵234與這些第二磁鐵236，且配置於基座239上方。這些第一線圈235配置於稜鏡固定座231上。每一上彈簧片233與每一下彈簧片238連接稜鏡固定座231與磁鐵固定座232。在圖3A中，下彈簧片238大部分被磁鐵固定座232擋住而看不到，但其實下彈簧片238的配置於延伸方式與上彈簧片233類似，而兩者的差異是在上彈簧片233是位於磁鐵固定座232的頂部，而下彈簧片238是位於磁鐵固定座232的底部（其中圖3B可以看到一部分的下彈簧片238）。此外，彈線2375的一端固定於基座239上，且這些彈線2375可分別延伸至磁鐵固定座232的四個角落。第二線圈237則配置於基座239上。當第一線圈235通電時，第一磁鐵234會對第一線圈235產生橫向的電磁力，舉例而言，位於圖3B上方（即-x方向）的第一線圈235被施加朝向+z方向的磁力，而位於圖3B的下方（即+x方向）的第一線圈被施加朝向-z方向的電磁力，則稜鏡固定座231會繞著平行於第二軸向y的軸轉動。反之，若位於圖3B上方（即-x方向）的第一線圈235被施加朝向-z方向的磁力，而位於圖3B的下方（即+x方向）的第一線圈被施加朝向+z方向的磁力，則稜鏡固定座231會繞著平行於第二軸向y的軸作與上述相反的方向轉動。稜鏡固定座231的轉動帶動第一稜鏡210a與第二稜鏡220a繞著平行於第二軸向y的軸轉動。
另一方面，當第二線圈237通電時，第二線圈237會對第二磁鐵236產生橫向的電磁力。舉例而言，位於圖3B上方（即-x方向）的第二磁鐵236與位於圖3B下方（即+x方向）的第二磁鐵236同樣被施加朝向-x方向的電磁力，則稜鏡固定座231可沿著-x方向平移。反之，位於圖3B上方（即-x方向）的第二磁鐵236與位於圖3B下方（即+x方向）的第二磁鐵236可也以同樣被施加朝向+x方向的磁力，則稜鏡固定座231可沿著+x方向平移。磁鐵固定座232的平移可帶動第一稜鏡210a與第二稜鏡220a朝+x方向或-x方向平移。
馬達230的大部分結構可以是90度旋轉對稱或近似於90度旋轉對稱，也就是每繞z軸旋轉90度後結構會與旋轉前的結構重合、大致重合或類似，因此，藉由排列於第二軸向y上的第一線圈235與第一磁鐵234的磁力作用，稜鏡固定座231可繞著平行於第一軸向的軸轉動。此外，藉由排列於第二軸向y上的第二線圈237與第二磁鐵236，稜鏡固定座可以朝+y方向或-y方向平移。至此，馬達230可使第一稜鏡210a與第二稜鏡220a作4個自由度的操控，包括在第一軸向x及第二軸向y上平移等2個自由度，以及繞著平行於第一軸向x的軸轉動及繞著平行於第二軸向y的軸轉動等另外2個自由度。上彈簧片233與下彈簧片238則可與上述電磁力達成平衡，以使稜鏡固定座231穩定處於某一轉動角度或位置。彈線2375則可平衡使磁鐵固定座232往第一軸向x與第二軸向y平移的電磁力。
圖4為本發明的另一實施例的光束操控元件的第一稜鏡與第二稜鏡的立體示意圖。請參照圖4，本實施例的光束操控元件的第一稜鏡210b與第二稜鏡220b與圖2的第一稜鏡210與第二稜鏡220類似，而兩者的差異如下。在本實施例中，第一稜鏡210b只有一個傾斜反射面（即第一傾斜反射面212），且第二稜鏡220b只有一個傾斜反射面（即第二傾斜反射面222），而雷射光束112依序被第一傾斜反射面212與第二傾斜反射面222反射。在本實施例中，馬達亦可以使第一稜鏡210b與第二稜鏡220b作4個自由度以上的偏擺與平移，如此仍然可以達到對雷射光束112作4個自由度以上的操控的效果。
圖5為本發明的又一實施例的雷射光源模組的光路示意圖。請參照圖5，本實施例的雷射光源模組100c與圖1的雷射光源模組100類似，而兩者的差異如下所述。在本實施例的雷射光源模組100c及雷射穩源系統300c中，光束操控元件200c更包括一擴散片240，配置於雷射光束112的路徑上，位於第一稜鏡210與第二稜鏡220的一側，且用以擴散雷射光束112。此外，在本實施例中，第一稜鏡210與第二稜鏡220配置於光束操控元件200c的馬達230c中，以受馬達230c控制方向與位置，且擴散片240連接至馬達230c，馬達230c驅動擴散片240旋轉，例如是繞著平行於第三軸向z的轉動軸242旋轉。擴散片240的震動或旋轉可有效抑制雷射光束112所產生的散斑（speckle）現象。在本實施例中，從擴散片240出射的雷射光束112傳遞至第一稜鏡210。然而，在另一實施例中，擴散片240也可以設置於從第二稜鏡220出射的雷射光束112的路徑上。
綜上所述，在本發明的實施例的雷射穩源系統與雷射光源模組中，由於採用了對雷射光束的方向與位置作4個自由度以上的操控的光束操控元件，因此可以使雷射光束產生偏擺與平移，易於安裝於狹小的空間內，且可具有較短的光程長度，進而有效降低雷射光束的角度誤差。
100、100c:雷射光源模組
110:雷射光源
112:雷射光束
114:第一部分光束
116:第二部分光束
118:第三部分光束
119:第四部分光束
120:第一分光器
130:第一光偵測器
140:第二分光器
150:第二光偵測器
160:控制器
200、200a、200c:光束操控元件
210、210a、210b:第一稜鏡
212、212a:第一傾斜反射面
214、214a:第三傾斜反射面
220、220a、220b:第二稜鏡
222、222a:第二傾斜反射面
224、224a:第四傾斜反射面
230:馬達
231:稜鏡固定座
232:磁鐵固定座
233:上彈簧片
234:第一磁鐵
235:第一線圈
236:第二磁鐵
237:第二線圈
2375:彈線
238:下彈簧片
239:基座
300、300c:雷射穩源系統
240:擴散片
242:轉動軸
C1:控制訊號
x:第一軸向
y:第二軸向
z:第三軸向
圖1為本發明的一實施例的雷射光源模組的光路示意圖。
圖2為圖1中的光束操控元件中的稜鏡的光路示意圖。
圖3A為本發明的另一實施例的光束操控元件的立體示意圖。
圖3B是將圖3A的光束操控元件的一部分切除後的立體示意圖。
圖4為本發明的另一實施例的光束操控元件的第一稜鏡與第二稜鏡的立體示意圖。
圖5為本發明的又一實施例的雷射光源模組的光路示意圖。
100:雷射光源模組
110:雷射光源
112:雷射光束
114:第一部分光束
116:第二部分光束
118:第三部分光束
119:第四部分光束
120:第一分光器
130:第一光偵測器
140:第二分光器
150:第二光偵測器
160:控制器
200:光束操控元件
210:第一稜鏡
220:第二稜鏡
230:馬達
300:雷射穩源系統
C1:控制訊號
x:第一軸向
y:第二軸向
z:第三軸向
Claims (20)
- 一種雷射穩源系統，用以使一雷射光源所發出的一雷射光束維持穩定，該雷射穩源系統包括：一光束操控元件，配置於該雷射光束的路徑上，且用以對該雷射光束的方向與位置作至少兩個軸向的轉向與兩個軸向的平移的4個自由度以上的操控；一第一分光器，配置於來自該光束操控元件的該雷射光束的路徑上，且用以將該雷射光束分成一第一部分光束與一第二部分光束；一第一光偵測器，配置於該第一部分光束的傳遞路徑上；一第二分光器，配置於該第二部分光束的傳遞路徑上，且用以將該第二部分光束分成一第三部分光束與一第四部分光束；以及一第二光偵測器，配置於該第三部分光束的傳遞路徑上。
- 如請求項1所述的雷射穩源系統，其中該光束操控元件包括：一第一稜鏡，具有一第一傾斜反射面；以及一第二稜鏡，具有一第二傾斜反射面，其中該雷射光束依序被該第一傾斜反射面與該第二傾斜反射面反射，該第一傾斜反射面平行於一第一軸向，該第二傾斜反射面平行於一第二軸向，該第一傾斜反射面相對於該雷射光束入射其之方向傾斜，且該第二傾斜反射面相對於該雷射光束從其出射之方向傾斜。
- 如請求項2所述的雷射穩源系統，其中該第一軸向與該第二軸向彼此垂直。
- 如請求項2所述的雷射穩源系統，其中該光束操控元件更包括一馬達，且該第一稜鏡與該第二稜鏡配置於該馬達中，以受該馬達控制方向與位置。
- 如請求項4所述的雷射穩源系統，其中該第一稜鏡與該第二稜鏡是配置於單一的該馬達中，且該單一的馬達為能夠控制4個自由度以上的馬達。
- 如請求項2所述的雷射穩源系統，其中該第一稜鏡更具有一第三傾斜反射面，相對該第一傾斜反射面傾斜，且平行於該第一軸向，該第二稜鏡更具有一第四傾斜反射面，相對於該第二傾斜反射面傾斜，且平行於該第二軸向，其中該雷射光束依序被該第一傾斜反射面、該第三傾斜反射面、該第二傾斜反射面及該第四傾斜反射面反射，該第三傾斜反射面相對於該雷射光束入射其之方向傾斜，且該第四傾斜反射面相對於該雷射光束從其出射之方向傾斜。
- 如請求項2所述的雷射穩源系統，其中該光束操控元件更包括一擴散片，配置於該雷射光束的路徑上，位於該第一稜鏡與該第二稜鏡的一側，且用以擴散該雷射光束。
- 如請求項7所述的雷射穩源系統，其中該光束操控元件更包括一馬達，該第一稜鏡與該第二稜鏡配置於該馬達中，以 受該馬達控制方向與位置，且該擴散片連接至該馬達，該馬達驅動該擴散片旋轉。
- 如請求項1所述的雷射穩源系統，更包括一控制器，電性連接至該第一光偵測器、該第二光偵測器及該光束操控元件，且用以根據該第一光偵測器量測到的該第一部分光束在其上所形成的光點位置與該第二光偵測器量測到的第三部分光束在其上所形成的光點位置，而計算出該雷射光束所需補償的角度與位置，並傳遞控制訊號至該光束操控元件以使該光束操控元件補償該雷射光束的該角度與該位置。
- 如請求項9所述的雷射穩源系統，其中該第一光偵測器與該第二光偵測器皆為影像感測器。
- 一種雷射光源模組，包括：一雷射光源，用以發出一雷射光束；一光束操控元件，配置於該雷射光束的路徑上，且用以對該雷射光束的方向與位置作至少兩個軸向的轉向與兩個軸向的平移的4個自由度以上的操控；一第一分光器，配置於來自該光束操控元件的該雷射光束的路徑上，且用以將該雷射光束分成一第一部分光束與一第二部分光束；一第一光偵測器，配置於該第一部分光束的傳遞路徑上；一第二分光器，配置於該第二部分光束的傳遞路徑上，且用以將該第二部分光束分成一第三部分光束與一第四部分光束；以 及一第二光偵測器，配置於該第三部分光束的傳遞路徑上。
- 如請求項11所述的雷射光源模組，其中該光束操控元件包括：一第一稜鏡，具有一第一傾斜反射面；以及一第二稜鏡，具有一第二傾斜反射面，其中該雷射光束依序被該第一傾斜反射面與該第二傾斜反射面反射，該第一傾斜反射面平行於一第一軸向，該第二傾斜反射面平行於一第二軸向，該第一傾斜反射面相對於該雷射光束入射其之方向傾斜，且該第二傾斜反射面相對於該雷射光束從其出射之方向傾斜。
- 如請求項12所述的雷射光源模組，其中該第一軸向與該第二軸向彼此垂直。
- 如請求項12所述的雷射光源模組，其中該光束操控元件更包括一馬達，且該第一稜鏡與該第二稜鏡配置於該馬達中，以受該馬達控制方向與位置。
- 如請求項14所述的雷射光源模組，其中該第一稜鏡與該第二稜鏡是配置於單一的該馬達中，且該單一的馬達為能夠控制4個自由度以上的馬達。
- 如請求項12所述的雷射光源模組，其中該第一稜鏡更具有一第三傾斜反射面，相對該第一傾斜反射面傾斜，且平行於該第一軸向，該第二稜鏡更具有一第四傾斜反射面，相對於該第二傾斜反射面傾斜，且平行於該第二軸向，其中該雷射光束 依序被該第一傾斜反射面、該第三傾斜反射面、該第二傾斜反射面及該第四傾斜反射面反射，該第三傾斜反射面相對於該雷射光束入射其之方向傾斜，且該第四傾斜反射面相對於該雷射光束從其出射之方向傾斜。
- 如請求項12所述的雷射光源模組，其中該光束操控元件更包括一擴散片，配置於該雷射光束的路徑上，位於該第一稜鏡與該第二稜鏡的一側，且用以擴散該雷射光束。
- 如請求項17所述的雷射光源模組，其中該光束操控元件更包括一馬達，該第一稜鏡與該第二稜鏡配置於該馬達中，以受該馬達控制方向與位置，且該擴散片連接至該馬達，該馬達驅動該擴散片旋轉。
- 如請求項11所述的雷射光源模組，更包括一控制器，電性連接至該第一光偵測器、該第二光偵測器及該光束操控元件，且用以根據該第一光偵測器量測到的該第一部分光束在其上所形成的光點位置與該第二光偵測器量測到的第三部分光束在其上所形成的光點位置，而計算出該雷射光束所需補償的角度與位置，並傳遞控制訊號至該光束操控元件以使該光束操控元件補償該雷射光束的該角度與該位置。
- 如請求項19所述的雷射光源模組，其中該第一光偵測器與該第二光偵測器皆為影像感測器。
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