TWI732612B

TWI732612B - 探針加工方法

Info

Publication number: TWI732612B
Application number: TW109122032A
Authority: TW
Inventors: 陳子鴻; 范智文; 吳文傑; 陳峻偉
Original assignee: 財團法人金屬工業研究發展中心
Priority date: 2020-06-30
Filing date: 2020-06-30
Publication date: 2021-07-01
Also published as: TW202202271A; US11173561B1

Abstract

本發明為一種探針加工方法，其先透過一轉軸之一夾持件夾持一加工件，並透過轉軸將加工件移動至一加工位置，而透過轉軸轉動加工件於加工位置並輸出電解液於加工件與研磨模組之間，以對加工件進行電化學加工，在電化學加工期間可由轉軸前進一加工距離或改變研磨模組之夾角，因而形成一探針。藉由電化學加工減少研磨模組之損耗，並提升探針之加工效率。

Description

探針加工方法

本發明係關於一種加工方法，特別是一種探針加工方法。

傳統探針的製造方法，是透過驅動砂輪轉動後，再將棒材研磨成探針，或是將砂紙平舖後，再將棒材放置於砂紙上往覆式研磨，不論是驅動砂輪或是透過砂紙製作探針，對於砂輪與砂紙耗損十分的快速。

傳統的探針製造方法，先取棒材透過砂輪機上的研磨砂輪或是砂紙研磨後，取出確認探針形狀以及是否有毀損，因為上述方式是透過人工的方法進行研磨，每個操作者的在研磨時力道、角度、方向均會使棒材產生不同的研磨結果，另外棒材本身的材質(如：硬度、密度等)也會影響到棒材形成探針的結果，因此需要反覆的進行研磨以及確認，以確保探針之形狀，但由於反覆的進行確認以及研磨，故所花的時間長，且損毀的機率十分的高，這也造成探針的製作時間變長。

此外，隨著現在科技的發展，晶片尺寸日趨微小，導致量測的芯片尺寸也越來越小，因此檢測用探針尺寸亦隨之細小化，因此，除了傳統探針製作的方式外，也有透過ECM電化學加工製作出≦200μm尺寸的探針，電化學加工(Electro chemical machining，縮寫：ECM)是在電解液中利用金屬工件作陽極所發生的電化學溶蝕進行加工的方法，電化學加工並非是傳統電解加工方法，電化學加工方法可以用來加工極硬材料(工具鋼、硬質合金、超合金或鈦合金等)或者傳統方法難以加工的材料，電化學加工方法最主要限制於加工物必須要可以導電，進行電化學加工時，刀具是陰極，加工物是陽極，透過低電壓、高電流下使電解液在壓力下高速循環流過電極和加工物進行電解，刀具沿著欲加工的路徑加工不與加工物接觸，亦不產生電火花，在加工過程中，加工物浸置於電解液中被溶解，再透過刀具製作出所需要的加工外型。

雖然，電化學加工方法可快速製作出所需的加工物外型，但是，電化學加工方法需在高壓下進行電解，因此，此種加工方法需要比較昂貴的儀器與設備才可進行加工。

由上述三種方法可以了解，透過砂輪機、砂紙研磨，需要較長的加工時間以及較高的毀損機會，而電化學加工方法雖然可以快速且精準的製作出加工物外型，但其需昂貴的機器會導致製作成本較高昂。

因此，為了解決上述研磨砂輪、砂紙之耐用性問題，並提升探針的生產效率，且又能有效縮短探針加工時間，並且避免需要特殊的儀器設備才能進行製作進而提高製作成本，本發明利用電解方法搭配改良過之探針加工裝置，有效解決上述之問題。

依據上述內容可以知道，本發明為提供一種探針加工方法，其係透過電化學加工過程中調整研磨模組之夾角，用以調整探針針尖的成型後之角度，並提供欲加工之加工件負電荷，提供研磨模組正電荷，透過電解液使加工件與角度調整元件進行電性導通，形成所需探針之形狀。

本發明之一目的，在於提供一種探針加工方法，其係縮短加工時間提高生產效率，並且可減緩磨擦件的耗損，迅速加工出所需之探針。

針對上述之目的，本發明提供一種探針加工方法，其先使用一轉軸上的一夾持件夾持一加工件，然後控制該轉軸移動至一加工位置，接續，使用一調整模組設定一研磨模組於該加工位置依據該加工件之一中線呈一第一夾角與一第二夾角，爾後，依據該加工位置控制該轉軸前進一加工距離並轉動，同時輸送一電解液至該研磨模組與該加工件之間，以將該加工件加工成一探針，其中，該加工距離相對於該第一夾角與該第二夾角呈反比，且該加工件或該轉軸電性連接一正電極，該研磨模組電性連接一負電極。藉此提供較高效率之探針加工方法，以減少研磨模組之耗損。

本發明提供一實施例，其中於使用一調整模組設定一研磨模組於該加工位置依據該加工件之一中線呈一第一夾角與一第二夾角之步驟中，其使用該調整模組之一第一調整結構設定該研磨模組之一第一研磨件依據該中線呈該第一夾角，並使用該調整模組之一第二調整結構設定該研磨模組之一第二研磨件依據該中線呈該第二夾角。

本發明提供一實施例，其中該第一夾角等於該第二夾角。

本發明提供一實施例，其中該第一夾角與該第二夾角之角度範圍分別為1°至22.5°。

本發明提供一實施例，其中該加工距離之範圍為大於200微米至小於或等於17毫米。

本發明提供一實施例，其中於使用一轉軸上的一夾持件夾持一加工件之步驟中，進一步以一旋轉驅動件與該夾持件連接。

本發明另提供一種探針加工方法，其先使用一轉軸上的一夾持件夾持一加工件，之後控制該轉軸定位於一加工位置，然後使用一調整模組設定一研磨模組於該加工位置依據該加工件之一中線呈一第一加工夾角與一第二加工夾角，接續依據該加工位置控制該研磨模組從該第一加工夾角改變至一第一夾角以及從該第二加工夾角改變至一第二夾角並轉動該轉軸，同時輸送一電解液至該研磨模組與該加工件之間，以將該加工件加工成一探針，其中，該加工件或該轉軸電性連接一正電極，該研磨模組電性連接一負電極。

本發明提供另一實施例，其中於使用一調整模組設定一研磨模組於該加工位置依據該加工件之一中線呈一第一加工夾角與一第二加工夾角之步驟中，其使用該調整模組之一第一調整結構設定該研磨模組之一第一研磨件依據該中線呈該第一加工夾角，並使用該調整模組之一第二調整結構設定該研磨模組之一第二研磨件依據該中線呈該第二加工夾角。

本發明提供另一實施例，其中該第一夾角等於該第二夾角。

本發明提供另一實施例，其中該第一夾角與該第二夾角之角度範圍為1°至22.5°。

1:探針加工裝置

10:轉軸

12:夾持件

14:驅動件

142:固定座

18:旋轉驅動件

20:第一調整結構

22:第一角度調整件

24:第一研磨件

242:第一研磨面

26:第一研磨件

30:第二調整結構

32:第二角度調整件

34:第二研磨件

342:第二研磨面

36:第二研磨件

40:電解液輸送件

42:電解液

44:噴頭

46:管體

50:電源供應元件

52:正電極

54:負電極

60:基座

62:第一穿孔

64:第二穿孔

70:第一驅動馬達

80:第二驅動馬達

M:調整模組

P:研磨模組

T:錐形凹槽

T1:第一凹槽

T2:第二凹槽

W:加工件

θ1:第一夾角

θ2:第二夾角

θP1:第一加工夾角

θP2:第二加工夾角

第1圖：其為本發明之一實施例之裝置結構組裝示意圖；第2圖：其為本發明之一實施例之裝置分解爆炸示意圖；第3圖：其為本發明之一實施例之裝置俯視示意圖；第4圖：其為本發明之一實施例之裝置使用步驟流程示意圖；第5A-5E圖：其為本發明之一實施例之裝置加工狀態示意圖；第6圖：其為本發明之另一實施例之裝置使用步驟流程示意圖；第7A-7E圖：其為本發明之另一實施例之裝置加工狀態示意圖；第8A圖：其為本發明之另一實施例之裝置俯視示意圖；以及第8B圖：其為本發明之另一實施例之分解爆炸示意圖。

為使貴審查委員對本發明之特徵及所達成之功效有更進一步之瞭解與認識，謹佐以較佳之實施例及配合詳細之說明，說明如後：習知磨針裝置所提供之加工方法係以驅動砂輪轉動後直接研磨探針，或是將砂紙平舖後將探針置於其上往覆式研磨之，對於研磨砂輪與砂紙耗損相當快速，因此，如何降低耗材的耗損及快速製作是目前待需解決的問題。

本發明改良傳統加工法之缺點，縮短加工時間提高生產效率，並且可減緩砂輪以及砂紙等磨擦件的耗損，迅速加工出所需之探針，透過電解方法搭配角度調整裝置，不需如傳統加工方式需要反覆加工及確認，可直接至作出預設的探針規格。

在下文中，將藉由圖式來說明本發明之各種實施例來詳細描述本發明。然而本發明之概念可能以許多不同型式來體現，且不應解釋為限於本文中所闡述之例式性實施例。

首先，請參閱第1圖，其為本發明之一實施例之裝置結構組裝示意圖，如圖所示，一探針加工裝置1結構包含一轉軸10、一調整模組M、一研磨模組P、一電解液輸送件40以及一基座60，該調整模組M包含一第一調整結構20與一第二調整結構30。

請一併參閱第2圖，其為本發明之一實施例之裝置分解爆炸示意圖，該轉軸10一側連接一夾持件12，該夾持件12用以夾持一加工件W，該轉軸10固定於該驅動件14上，該驅動件14驅使該轉軸10進行單軸式移動(例如：X軸)，本發明之一實施例係透過一固定座142固定該轉軸10，但不以此為限制，另外，該轉軸10更包含一旋轉驅動件18，其設置於該轉軸10本體內，並與該夾持件12連接，透過該旋轉驅動件18帶動該夾持件12進行旋轉。

此外，該第一調整結構20以及該第二調整結構30設置於一基座60上，且該第一調整結構20以及該第二調整結構30係分別相對設置於該加工件W之兩側，意即該第一調整結構20與該第二調整結構30以該加工件W為中心相對設置，其中，該第一調整結構20係包含一第一角度調整件22，該第一角度調整件22上設有該研磨模組P之一第一研磨件24，進一步，該第一研磨件24之一第一研磨面242係與該加工件W之一中線CL形成一第一夾角θ1，更進一步，該第二調整結構30係包含一第二角度調整件32，該第二角度調整件32設有該研磨模組P之一第二研磨件34，更進一步，請參考第3圖，其為本發明之一實施例之裝置俯視示意圖，如圖所示，該第二研磨件34之一第二研磨面342係與該加工件W之該中線CL形成一第二夾角θ2，該第一夾角θ1及該第二夾角θ2可為相同之角度。

其中，該第一調整結構20及該第二調整結構30係透過一第一驅動馬達70及一第二驅動馬達80驅動，該第一驅動馬達70及該第二驅動馬達80設置於一基座60之下側，進一步，該第一驅動馬達70穿設該基座60之一第一穿孔62並連接該第一角度調整元件20，該第二驅動馬達80穿設該基座60之一第二穿孔64並連接該第二角度調整元件80，其中該第一驅動馬達70及該第二驅動馬達80係使用步進馬達，但不以此為限。

另外，該電解液輸送件40設置於該第一調整結構20及該第二調整結構30之間，並且設於該加工件W之上側，該電解液輸送件40係用來輸送一電解液42，該電解液輸送裝置40係包含一噴頭44、一管體46及一電解液槽(未圖示)，該管體46之一側連接該噴頭44，該管體46另一側連接一抽取元件(未圖示)，該抽取元件係設置於該電解液槽內，該電解液輸送件40透過該抽取元件抽取該電解液42。

接著，一電源供應元件50設有至少一正電極52以及至少一負電極54，該至少一正電極52連接於該加工件W或該夾持件12，該至少一負電極54連接於該第一調整結構20及該第二調整結構30，該電解液42流經該加工件W、該第一調整結構20及該第二調整結構30並電性導通，產生一電化學加工程序。

本發明之該探針加工方法係改良傳統人工利用磨砂機或砂紙來製作探針，其耗時又費力，操作者若手誤就會導致探針報廢的問題，透過對該第一調整結構20及該第二調整結構30連接該至少一負電極54，該加工件W連接一至少一正電極52，通過該電解液使該加工件、該第一調整結構極該第二調整結構電性導通產生該電化學反應，透過該電解程序可快速產生所需之探針規格。

該探針加工裝置l於本發明之探針加工方法之使用流程如第4圖，其為本發明之一實施例之流程圖，如圖所示，步驟如下：步驟S10：使用轉軸上的夾持件夾持加工件；步驟S20：控制轉軸移動加工件至加工位置；步驟S30：使用調整模組設定研磨模組於加工位置依據加工件之中線呈第一夾角與第二夾角；以及步驟S40：依據該加工位置控制轉軸前進加工距離並轉動，同時輸送電解液至研磨模組與加工件之間，以將加工件加工成探針。

本發明之裝置使用步驟流程如步驟S10至步驟S40，為了更明白說明本發明之該探針加工方法之使用步驟流程，在此舉一實際範例，請參考第5A至5D圖，其為本發明之一實施例之裝置加工狀態示意圖。

於步驟S10中，如第5A圖所示，欲研磨棒材(該加工件W)於該轉軸10之夾持件12夾持固定後，該轉軸10架設於該驅動件14上，接續於步驟S20中，如第5B圖所示，轉軸10經該驅動件14帶動而向前移動，使該加工件W位於一加工位置A，之後執行步驟S30，如第5C圖所示，該調整模組M之該第一調整結構20及該第二調整結構30分別控制研磨模組P之該第一研磨件24及該第二研磨件34，且該第一調整結構20及該第二調整結構30以該加工件W之該中線CL為基準對稱設置，同時該第一研磨件24及該第二研磨件34亦以對稱設置，本實施例中，透過該第一調整結構20及該第二調整結構30將該第一研磨件24之該第一研磨面242及該第二研磨件34之該第二研磨面342依據該加工件W之該中線CL呈該第一夾角θ1(例如：1°至22.5°，較佳為5°至20°)與該第二夾角θ2(例如：1°至22.5°，較佳為5°至20°)。

然後，於步驟S40中，如第5D圖所示，啟動該轉軸10轉動並帶動該加工件W旋轉，且該轉軸10帶動該加工件W前進一加工距離D(例如：加工距離D為大於200微米(μm)至小於或等於17毫米(mm))，同時該電解液輸送件40輸送該電解液42至該加工件W與該研磨模組P之間，也就是電解液42輸送至該加工件W、該第一研磨件24及該第二研磨件34之間，以對該加工件W進行該電化學加工，其中該加工件W電性連接一正電極52，而該研磨模組P電性連接一負電極54，也就是該第一研磨件24及該第二研磨件34分別電性連接至該負電極54，因此電化學加工過程中，該加工件W之一端於轉動過程中，逐漸加工成錐狀，如第5E圖所示，當將該加工件W加工至成形為探針及其所需針尖長度(例如：大於200微米(μm))時，即可控制該轉軸10經該驅動件14驅動而退出該第一研磨件24及該第二研磨件34的夾角間隙，爾後關閉該電源供應元件50，即可完成探針製作，其中，不同加工件上於徑長固定下，其經加工所得之探針的針尖長度與其針尖夾角呈反比。

此外，本發明之該至少一負電極54可對該第一調整結構20及該第二調整結構30於電性上並聯設置或串聯設置，以電性連接至該第一研磨件24及該第二研磨件34，上述之實際範例係將該至少一負電極54採用並聯方式說明，但實際加工時不以此為限制。

由上述可知，本發明之該第一研磨件24及該第二研磨件34為依據該加工件W之中線CL呈該第一夾角θ1與該第二夾角θ2並固定夾角，而由該轉軸10經該驅動件14驅動而前進該加工距離D，以對該加工件W進行電化學加工。藉此將該加工件W之一端加工成大於200微米(μm)的針尖，以作為探針使用。

本發明除了讓該研磨模組P固定夾角之外，更可調控該研磨模組P之夾角，以進行電化學加工，詳細如下：請參閱第6圖，其為本發明之另一實施例之流程圖。如圖所示，該探針加工裝置1之使用步驟如下：步驟S110：使用轉軸上的夾持件夾持加工件；步驟S120：控制轉軸移動加工件至加工位置並定位；步驟S130：使用調整模組設定研磨模組於加工位置依據加工件之中線呈第一加工夾角與第二加工夾角；以及步驟S140：依據加工位置控制研磨模組從第一加工夾角改變至第一夾角以及該第二加工夾角改變至第二夾角並控制轉軸轉動，同時輸送電解液至研磨模組與加工件之間，以將加工件加工成探針。

本發明之裝置使用步驟流程如步驟S110至步驟S140，為了更明白說明本發明之該探針加工方法之使用步驟流程，在此舉一實際範例，請參考第7A至7D圖，其為本發明之一實施例之裝置加工狀態示意圖。

於步驟S110之說明同於上述步驟S10，因此不再贅述。於步驟S120中，如第7B圖所示，該轉軸10經該驅動件14帶動而移動，進而將該轉軸帶動該加工件W移動至該加工位置P。於步驟S130中，透過該調整模組M之該第一調整結構20及該第二調整結構30架設於該第一驅動馬達70及該第二驅動馬達80，並透過該第一驅動馬達70及該第二驅動馬達80驅使該第一調整結構20及該第二調整結構30移動，進而帶動該第一研磨件24及該第二研磨件34，使該第一研磨件24之該第一研磨面242依據該中線CL呈一第一加工角度θP1，以及使該第二研磨件34之該第二研磨面342依據該中線CL呈一第二加工角度θP2，另外該電源供應元件50之該至少一正電極52連接至欲研磨棒材，該電源供應元件50供應該至少一負電極54連接至該第一研磨件24及該第二研磨件34。接著，於步驟5140中，依照該加工件W形成探針的成形之夾角，驅動該第一驅動馬達70及該第二驅動馬達80帶動該第一調整結構20及該第二調整結構30，而讓該第一研磨件24及該第二研磨件34從該第一加工角度θP1與該第二加工角度θP2改變至呈該第一夾角θ1與該第二夾角θ2，同時在該第一研磨件24及該第二研磨件34改變夾角之期間，該轉軸固定不前進，另外，在該第一研磨件24及該第二研磨件34改變夾角之期間，透過該轉軸10轉動並帶動該加工件W旋轉，且利用該電解液輸送件40輸送該電解液42至該加工件W、該第一研磨件24及該第二研磨件34之間，藉此進行該電化學加工，如第7E圖所示，當將該加工件W加工至成形為探針及其所需針尖長度(例如：大於200微米(μm))時，即可控制該轉軸10經該驅動件14驅動而退出該第一研磨件24及該第二研磨件34的夾角間隙，爾後關閉該電源供應元件50，即可完成探針製作。

該探針加工裝置1透過本發明之探針加工方法可藉由固定該第一研磨件24及該第二研磨件34之該第一夾角θ1與該第二夾角θ2並讓該轉軸10帶動該加工件W前進，以進行電化學加工，或者固定該轉軸使該加工件W定位於該加工位置，而改變該第一研磨件24及該第二研磨件34之夾角角度以配合該加工件W夾角的需求，同時施以該電化學加工程序以降低該加工件W之硬度、延緩該第一研磨件24及該第二研磨件34磨耗。本發明之該第一研磨件24及該第二研磨件34無需依探針設計特殊的幾何外形，而是透過該第一調整結構20及該第二調整結構30達成調整角度之需求，且本發明之探針加工方法所應用之該探針加工裝置1的電場控制較純電化學加工易控制。

此外，以上所述之該第一研磨件24及該第二研磨件34為分離式設計而分別設置於該第一調整結構20及該第二調整結構30上，除此之外，如第8A圖與第8B圖所示，該第一研磨件26及該第二研磨件36更可為一組合式模具，因而形成錐狀凹槽T於該組合式模具上，藉此用於對該加工件W之一端進行電化學加工，因此該電解液42輸送至該錐狀凹槽T與該加工件W之間，以應用於上述固定夾角之實施例，其中，如第8B圖所示，於拆解該第一研磨件26及該第二研磨件36情況下，錐狀凹槽T分別為一第一凹槽T1與一第二凹槽T2，分別設置於該第一研磨件26及該第二研磨件36，因此研磨面即在於錐狀凹槽T，其餘連接關係同於上一實施例，因此不再贅述。另外，該加工件W之徑長為0.5至1毫米(mm)。

以上所述之實施例，本發明之探針加工方法，其係縮短加工時間提高生產效率，並且可減緩研磨件的耗損，迅速加工出所需之探針，該探針加工裝置透過角度調整元件調整探針針尖的成型後之角度，並提供欲加工之加工件負電荷，提供角度調整元件正電荷，透過該電解液使該加工件與該角度調整元件進行電性導通，形成所需探針之形狀。

故本發明實為一具有新穎性、進步性及可供產業上利用者，應符合我國專利法專利申請要件無疑，爰依法提出發明專利申請，祈鈞局早日賜准專利，至感為禱。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍，舉凡依本發明申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本發明之申請專利範圍內。

S10-S40:步驟

Claims

一種探針加工方法，其步驟包含：使用一轉軸上的一夾持件夾持一加工件；控制該轉軸移動該加工件至一加工位置；使用一調整模組設定一研磨模組於該加工位置依據該加工件之一中線呈一第一夾角與一第二夾角；以及依據該加工位置控制該轉軸前進一加工距離並轉動，同時輸送一電解液至該研磨模組與該加工件之間，以將該加工件加工成一探針；其中，該加工距離相對於該第一夾角與該第二夾角呈反比，該加工件或該轉軸電性連接一電源供應元件之一正電極，該研磨模組電性連接該電源供應元件之一負電極。
如請求項1所述之探針加工方法，其中於使用一調整模組設定一研磨模組於該加工位置依據該加工件之一中線呈一第一夾角與一第二夾角之步驟中，其步驟包含：使用該調整模組之一第一調整結構設定該研磨模組之一第一研磨件的一第一研磨面依據該中線呈該第一夾角，並使用該調整模組之一第二調整結構設定該研磨模組之一第二研磨件的一第二研磨面依據該中線呈該第二夾角。
如請求項1所述之探針加工方法，其中該第一夾角等於該第二夾角。
如請求項1所述之探針加工方法，其中該第一夾角與該第二夾角之角度範圍分別為1°至22.5°。
如請求項1所述之探針加工方法，其中該加工距離之範圍為大於200微米至小於或等於17毫米。
如請求項1所述之探針加工方法，其中於使用一轉軸上的一夾持件夾持一加工件之步驟中，進一步以一旋轉驅動件與該夾持件連接。
一種探針加工方法，其步驟包含：使用一轉軸上的一夾持件夾持一加工件；控制該轉軸移動該加工件至一加工位置並固定；使用一調整模組設定一研磨模組於該加工位置依據該加工件之一中線呈一第一加工夾角與一第二加工夾角；以及依據該加工位置控制該研磨模組從該第一加工夾角改變至一第一夾角以及從該第二加工夾角改變至一第二夾角並控制該轉軸轉動，同時輸送一電解液至該研磨模組與該加工件之間，以將該加工件加工成一探針；其中，該加工件或該轉軸電性連接一電源供應元件之一正電極，該研磨模組電性連接該電源供應元件之一負電極。
如請求項7所述之探針加工方法，其中於使用該調整模組設定該研磨模組於該加工位置依據該加工件之該中線呈該第一加工夾角與該第二加工夾角之步驟中，其步驟包含：使用該調整模組之一第一調整結構設定該研磨模組之一第一研磨件依據該中線呈該第一加工夾角，並使用該調整模組之一第二調整結構設定該研磨模組之一第二研磨件依據該中線呈該第二加工夾角。
如請求項7所述之探針加工方法，其中該第一夾角等於該第二夾角。
如請求項7所述之探針加工方法，其中該第一夾角與該第二夾角之角度範圍為1°至22.5°。