TWI718856B - 壓印設備及壓印方法 - Google Patents

Abstract

一種適於製造壓印模具的壓印設備被提出。壓印設備包括載台與壓印滾輪。載台具有承接面以及連接承接面的側邊部。側邊部設有疏水表面，且疏水表面傾斜於承接面。壓印滾輪配置用以在平行於承接面的方向上移動並滾壓壓模材料層。位於側邊部上方的壓印滾輪適於朝疏水表面移動並擠壓壓模材料層，使壓模材料層分離為壓模材料部與餘料部。餘料部適於沿著疏水表面遠離壓模材料部，且壓模材料部形成壓印模具。一種採用壓印設備的壓印方法亦被提出。

Description

壓印設備及壓印方法

本發明是有關於一種壓印技術，且特別是有關於一種壓印設備及壓印方法。

目前常見的微影(Lithography)技術包含電子束微影(Electronic Beam Lithography)技術、離子束微影(Ion Beam Lithography)技術、極紫外光微影(Extreme Ultraviolet Lithography)技術及奈米壓印微影(Nanoimprint Lithography)技術，其中奈米壓印微影因為不受光學繞射極限的限制，且具有解析度高、速度快及成本低廉的特色，因此其應用領域相當廣泛。

詳細而言，習知的一種奈米壓印微影製程的步驟可包括：製作壓印模具、將膠層塗佈於載台上、利用壓印模具將其壓印圖案轉印至軟化的膠層、固化已被圖案化的膠層並移除壓印模具以及利用固化後的膠層作為遮罩對特定的材料(例如金屬)膜層進行蝕刻以形成所需的圖案化結構。然而，在壓印模具(imprinting mold)的製作過程中，經由壓印滾輪的滾壓容易在母 模(master mold)以外的周圍區域累積多餘的壓模材料，致使固化後的壓印模具的平整度較差，導致後續利用此壓印模具所進行的奈米壓印製程的整體良率下降。

本發明提供一種壓印設備及壓印方法，其所製作出來的壓印模具具有較佳的壓印品質。

本發明的壓印設備適於製造壓印模具，且包括載台以及壓印滾輪。載台具有承接面以及連接承接面的側邊部。側邊部設有疏水表面，且疏水表面傾斜於承接面。壓印滾輪配置用以在平行於承接面的方向上移動並滾壓壓模材料層。位於側邊部上方的壓印滾輪適於朝疏水表面移動並擠壓壓模材料層，使壓模材料層分離為壓模材料部與餘料部。餘料部適於沿著疏水表面遠離壓模材料部，且壓模材料部形成壓印模具。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備更包括導流片，設置於載台的側邊部。導流片設有疏水表面，且導流片遠離承接面的側緣自側邊部凸出。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備的導流片的疏水表面設有多個導流溝槽。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備的疏水表面的橫截面輪廓包含曲線或折線。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備更包括設置在 側邊部背離疏水表面的一側的除膠輪。除膠輪具有轉軸以及圍繞轉軸的輪面。疏水表面遠離承接面的側緣與除膠輪的輪面重疊，且輪面適於依轉軸旋轉而帶動餘料部離開疏水表面。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備的除膠輪重疊疏水表面的部分在方向上具有寬度，而寬度與除膠輪的圓半徑的比值大於等於0.5且小於等於1.5。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備的除膠輪還具有圍繞轉軸而設的多個凹槽。任兩相鄰的這些凹槽在除膠輪的旋轉方向上彼此錯位，且餘料部適於流入這些凹槽內。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備的多個凹槽在平行於轉軸的方向上延伸。這些凹槽包括在旋轉方向上依序排列且相鄰的第一凹槽、第二凹槽與第三凹槽。第一凹槽與第二凹槽在旋轉方向上具有第一間距，第二凹槽與第三凹槽在旋轉方向上具有第二間距，且第一間距不等於第二間距。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備的除膠輪還具有多個通孔以及貫孔。這些通孔分別與多個凹槽連通，且貫孔連通於這些通孔。貫孔在轉軸的軸向上延伸，且轉軸通過貫孔。貫孔連接至抽氣幫浦。抽氣幫浦配置用以產生吸引氣流，且此吸引氣流適於帶動流入這些凹槽的餘料部經由這些通孔與貫孔而自除膠輪移除。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備更包括致動器，配置用以帶動除膠輪依轉軸旋轉。

在本發明的一實施例中，上述的壓印設備更包括刮刀，設置於除膠輪遠離疏水表面的一側，且刮刀接觸除膠輪的輪面。

本發明的壓印方法適用於壓印設備，壓印設備包括載台、導流片與壓印滾輪。載台具有承接面以及側邊部。導流片設置於側邊部，且具有連接承接面的疏水表面。壓印方法包括於載台的承接面上塗佈壓模材料層並覆蓋母模、令壓印滾輪在平行於承接面的方向上朝側邊部移動並滾壓壓模材料層，且壓印滾輪在移動至側邊部後停留在疏水表面的上方以及令壓印滾輪朝疏水表面移動並擠壓壓模材料層，使壓模材料層分離為壓模材料部與餘料部。餘料部適於沿著疏水表面遠離壓模材料部。

在本發明的一實施例中，上述的壓印方法更包括令除膠輪轉動並帶動餘料部離開疏水表面。除膠輪重疊於疏水表面遠離承接面的側緣。

在本發明的一實施例中，上述的壓印方法更包括在餘料部離開除膠輪後，令除膠輪朝遠離疏水表面的側緣的方向移動，並收容至載台的凹槽內。

在本發明的一實施例中，上述的壓印方法更包括在餘料部離開疏水表面後，令壓印滾輪朝遠離載台的方向移動，致使壓模材料部靠近導流片的邊緣與載台的承接面或導流片的疏水表面分離。

在本發明的一實施例中，上述的壓印方法的除膠輪依轉軸轉動，且具有圍繞轉軸而設的多個凹槽。任兩相鄰的這些凹槽 在除膠輪的旋轉方向上彼此錯位，且餘料部適於流入這些凹槽內。

基於上述，在本發明的一實施例的壓印設備及壓印方法中，載台的側邊部設有疏水表面，且壓印滾輪在側邊部適於朝疏水表面移動並擠壓塗佈於載台上的壓模材料層，使餘料部沿著疏水表面與形成壓印模具的壓模材料部分離。據此，可有效提升壓印模具的平整度，進而改善後續的壓印製程的整體良率。

10、11、12:壓印設備

100、100A、100B:載台

100rs:凹槽

100s:承接面

101、101A、101B:側邊部

101s、101s1、120s:疏水表面

120:導流片

120g:導流溝槽

130、130A:除膠輪

130b:底面

130c:斜面

130r、130r-1、130r-2、130r-3、130r-A:凹槽

130s:輪面

130s1:側邊

131、131A:通孔

132:貫孔

140:致動元件

141:支撐臂

141p:氣流管道

150:致動器

160:刮刀

165:盛盤

200:壓印滾輪

300:壓模材料層

300a:壓模材料部

300ae:邊緣

300b:餘料部

301:基板

400:紫外光源

D1、D2、D1’、D2’:方向

IM:壓印模具

L:長度

MM:母模

PS:凹凸結構

R:圓半徑

RA:轉軸

RD:旋轉方向

S1、S2、S3:間距

W、W1、W2、W3:寬度

θ:夾角

圖1是本發明的第一實施例的壓印設備的剖視示意圖。

圖2是圖1的壓印設備的局部區域的放大示意圖。

圖3A至圖3G是圖1的壓印設備的操作流程的剖視示意圖。

圖4是圖1的除膠輪的放大示意圖。

圖5是圖1的除膠輪的剖視示意圖。

圖6是圖1的除膠輪的俯視示意圖。

圖7是本發明的第二實施例的壓印設備的剖視示意圖。

圖8是本發明的第三實施例的壓印設備的剖視示意圖。

圖9是本發明的另一實施例的除膠輪的俯視示意圖。

本文使用的「約」、「近似」、「本質上」、或「實質上」包括所述值和在本領域普通技術人員確定的特定值的可接受的偏差 範圍內的平均值，考慮到所討論的測量和與測量相關的誤差的特定數量(即，測量系統的限制)。例如，「約」可以表示在所述值的一個或多個標準偏差內，或例如±30%、±20%、±15%、±10%、±5%內。再者，本文使用的「約」、「近似」、「本質上」、或「實質上」可依量測性質、切割性質或其它性質，來選擇較可接受的偏差範圍或標準偏差，而可不用一個標準偏差適用全部性質。

在附圖中，為了清楚起見，放大了層、膜、面板、區域等的厚度。應當理解，當諸如層、膜、區域或基板的元件被稱為在另一元件「上」或「連接到」另一元件時，其可以直接在另一元件上或與另一元件連接，或者中間元件可以也存在。相反，當元件被稱為「直接在另一元件上」或「直接連接到」另一元件時，不存在中間元件。如本文所使用的，「連接」可以指物理及/或電性連接。再者，「電性連接」可為二元件間存在其它元件。

現將詳細地參考本發明的示範性實施方式，示範性實施方式的實例說明於所附圖式中。只要有可能，相同元件符號在圖式和描述中用來表示相同或相似部分。

圖1是本發明的第一實施例的壓印設備的剖視示意圖。圖2是圖1的壓印設備的局部區域的放大示意圖。圖3A至圖3G是圖1的壓印設備的操作流程的剖視示意圖。圖4是圖1的除膠輪的放大示意圖。圖5是圖1的除膠輪的剖視示意圖。圖6是圖1的除膠輪的俯視示意圖。特別說明的是，為清楚呈現起見，圖2僅繪示出圖1的導流片120與載台100的側邊部101，圖1省略了 圖5的凹槽130r與通孔131的繪示，圖3A至圖3G省略了圖1的氣流管道141p的繪示。

請參照圖1，壓印設備10包括載台100與壓印滾輪200。載台100具有承接面100s以及連接承接面100s的側邊部101。在本實施例中，壓印設備10還可選擇性地包括導流片120，設置於載台100的側邊部101，且導流片120遠離承接面100s的一側緣自側邊部101凸出，但本發明不以此為限。特別一提的是，此導流片120具有疏水表面120s，且此疏水表面120s相對於載台100的承接面100s傾斜。舉例來說，疏水表面120s的橫截面輪廓可以是背離承接面100s彎曲的曲線，但本發明不以此為限。

在本實施例中，疏水表面120s的一端可選擇性地切齊載台100的承接面100s。然而，本發明不限於此，根據其他實施例，疏水表面120s與載台100的承接面100s之間也可具有一段差，且疏水表面120s低於載台100的承接面100s。值得注意的是，壓印滾輪200除了適於在平行於承接面100s的方向(例如方向D1)上移動，還適於在載台100的側邊部101上方朝疏水表面120s的方向(例如方向D2)移動。

舉例而言，本實施例的壓印設備10適於生產奈米壓印製程所使用的壓印模具(imprinting mold)，此壓印模具例如是可撓性壓印模(flexible imprinting mold)，但不以此為限。也就是說，壓印設備10的載台100上可放置用以製作壓印模具的母膜(master mold)，且壓印滾輪200適於針對塗佈於母膜上的壓印材料進行滾 壓，使母膜上的壓印圖案得以轉印至所形成的壓印材料層上。值得一提的是，透過上述疏水表面120s(或導流片120)與載台100的配置關係以及壓印滾輪200的作動方式，可使本實施例的壓印設備10所生產的壓印模具具有較佳的平整度，以進一步提升後續的壓印製程的整體良率。以下將針對採用本實施例的壓印設備10製作壓印模具的流程進行示範性地說明。

請參照圖3A，首先，將一母模(master mold)MM設置於壓印設備10的載台100的承接面100s上。舉例而言，母模MM背離承接面100s的一側表面上可設有多個凹凸結構PS，且這些凹凸結構PS可以是具有奈米尺度的圖案化結構。在本實施例中，這些凹凸結構PS例如是週期性且等間距排列的多個凸起結構，但不以此為限。舉例而言，在本實施例中，母模MM的一側緣可切齊導流片120靠近承接面100s的一端面，但本發明不以此為限。在其他實施例中，母模MM也可覆蓋疏水表面120s靠近承接面100s的局部。

接著，於載台100的承接面100s上塗佈壓模材料層300，且壓模材料層300直接覆蓋母模MM並填滿多個凹凸結構PS。在本實施例中，母模MM的材質可包括金屬材料(例如：鎳、鐵、不鏽鋼、鍺、鈦、矽)、無機材料(例如：玻璃、石英、氧化鋁)、樹脂材料(例如：聚醯亞胺、聚醯胺、聚酯、聚碳酸酯、聚苯醚、聚苯硫醚、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚芳酯、環氧樹脂、矽酮樹脂)、或碳材料(例如：金剛石、石墨)。

請參照圖3B，將一基板301設置於壓印滾輪200與壓模材料層300之間。接著，令壓印滾輪200在平行於載台100的承接面100s的方向(例如方向D1)上朝載台100的側邊部101移動並滾壓壓模材料層300。特別說明的是，壓印滾輪200在移動至載台100的側邊部101上方後，停留在重疊於疏水表面120s的位置上。此時，因為壓印滾輪200的擠壓，壓模材料層300位於側邊部101的部分會具有較厚的膜厚。也就是說，在壓印滾輪200的滾壓後，較多的壓模材料會堆積在載台100的側邊部101(或疏水表面120s)上。

在本實施例中，基板301例如是可撓式基板，可撓式基板的材質包括聚乙烯對苯二甲酸酯(polyethylene terephthalate,PET)、聚間苯二甲酸乙二酯(polyethylene naphthalate,PEN)、聚醚石風(Polyethersulfone,PES)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA)、聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)或聚醯亞胺(PI)。

接著，令壓印滾輪200朝疏水表面120s的方向(例如方向D2)移動並擠壓壓模材料層300，使壓模材料層300分離為壓模材料部300a與餘料部300b，如圖3C所示。此時，位於疏水表面120s上的餘料部300b在壓印滾輪200的擠壓下會沿著疏水表面120s流動並遠離位於承接面100s上的壓模材料部300a。特別說明的是，由於疏水表面120s具有疏水性，餘料部300b在流動的過程中所遭遇的阻力較小，有助於餘料部300b自載台100的側 邊部101上移除。在本實施例中，導流片120的疏水表面120s還可選擇性地設有多個導流溝槽120g(如圖2所示)。此導流溝槽120g的設置可讓餘料部300b的流動路徑更為明確，有助於增加餘料部300b在導流片120上的流動性。

一般而言，壓模材料層300的材質可以是感光樹脂材料，而這類樹脂材料的黏度通常較高。為了進一步提升壓模材料層300的餘料部300b自載台100的側邊部101上移除的效率，壓印設備10還可包括除膠輪130、致動元件140以及支撐臂141。除膠輪130設置在側邊部101背離疏水表面120s的一側。在本實施例中，載台100還可具有凹槽100rs，且致動元件140設置於此凹槽100rs內。支撐臂141連接於致動元件140與除膠輪130之間，且支撐臂141適於在致動元件140的驅使下帶動除膠輪130收納至此凹槽100rs內或自凹槽100rs伸出。舉例而言，致動元件140可包括步進馬達、伺服馬達、線性馬達、或其他適合的驅動馬達。

請參照圖3C及圖3D，詳細而言，除膠輪130具有轉軸RA以及圍繞轉軸RA的輪面130s。疏水表面120s遠離承接面100s的一側緣在方向D2上與除膠輪130的輪面130s重疊。在本實施例中，壓印設備10還可包括致動器150，鄰設於除膠輪130的一側。舉例而言，致動器150可以是驅動輪，且驅動輪直接接觸除膠輪130的輪面130s。也就是說，本實施例的除膠輪130無法自行轉動，需藉由驅動輪(即致動器150)的驅使才能相對於轉軸RA旋轉，但本發明不以此為限。

舉例而言，在本實施例中，除膠輪130是沿著逆時針的方向(即方向RD)相對於轉軸RA轉動。然而，本發明不限於此，根據其他實施例，除膠輪130也可沿著順時針的方向進行轉動。值得一提的是，當一部分的餘料部300b從疏水表面120s上流動至除膠輪130的輪面130s上時，相對於轉軸RA旋轉的輪面130s會帶動此部分的餘料部300b遠離導流片120。如此一來，除了可避免壓模材料堆積在導流片120靠近除膠輪130的一側緣，位於輪面130s上的一部分餘料部300b還可藉由自身的黏著性加快位於疏水表面120s上的另一部分餘料部300b的流動，有助於提升堆積在側邊部101的壓模材料的移除效率。

在本實施例中，除膠輪130在方向D2上與疏水表面120s重疊的部分在方向D1上具有寬度W。透過此寬度W與除膠輪130的圓半徑R的比值大於等於0.5且小於等於1.5，可確保除膠輪130能有效帶動堆積在導流片120上的壓模材料(即餘料部300b)自載板100的側邊部101移除。另一方面，壓印設備10還可包括盛盤165以及設置於盛盤165上的刮刀160。刮刀160設置於除膠輪130遠離疏水表面120s的一側，且直接接觸除膠輪130的輪面130s。值得一提的是，附著於除膠輪130的輪面130s上的壓印材料(即餘料部300b)可經由刮刀160的刮取而流至盛盤165內。據此，可避免過多的壓印材料附著在除膠輪130的輪面130s上而降低其對於壓印材料的附著力。

請同時參照圖4至圖6，進一步而言，在本實施例中，除 膠輪130還可具有貫孔132、圍繞轉軸RA而設的多個凹槽130r與多個通孔131。貫孔132在轉軸RA的軸向上延伸，且轉軸RA通過此貫孔132。這些通孔131連通於這些凹槽130r與貫孔132之間。這些凹槽130r例如是自輪面130s凹陷的溝槽結構，且流動至輪面130s上的壓印材料(即餘料部300b)適於流入這些凹槽130r內。在本實施例中，貫孔132可透過支撐臂141內的氣流管道141p連接至外部的抽氣幫浦(未繪示)。此抽氣幫浦配置用以產生吸引氣流，且此吸引氣流適於帶動流入這些凹槽130r的壓印材料依序經由通孔131、貫孔132以及支撐臂141的氣流管道141p(如圖1所示)而自除膠輪130移除。

值得注意的是，這些凹槽130r在轉軸RA的軸向上延伸，且相鄰的兩凹槽130r在垂直於轉軸RA的方向上彼此錯位。舉例而言，在本實施例中，多個凹槽130r包括在旋轉方向RD上依序排列的第一凹槽130r-1、第二凹槽130r-2與第三凹槽130r-3，第一凹槽130r-1與第二凹槽130r-2在旋轉方向RD上具有第一間距S1，第二凹槽130r-2與第三凹槽130r-3在旋轉方向RD上具有第二間距S2，且第一間距S1不等於第二間距S2。據此，可確保除膠輪130具有足夠的輪面130s被欲移除的壓印材料所附著。在本實施例中，除膠輪130的輪面130s材質可包括金屬(例如不鏽鋼、鋁)、具耐化學藥品腐蝕性的塑料(例如聚醯亞胺)、或其他與樹脂材料具有良好附著關係的材料，但不以此為限。

另一方面，除膠輪130定義凹槽130r的底面130b與通孔 131在垂直於轉軸RA的方向上分別具有寬度W1與寬度W2。輪面130s定義凹槽130r的一側邊130s1在垂直於轉軸RA的軸向上具有寬度W3。凹槽130r在轉軸RA的軸向上具有長度L，連通於同一凹槽130r且相鄰的兩個通孔131在轉軸RA的軸向上具有間距S3。除膠輪130定義凹槽130r的一斜面130c與底面130b之間具有一夾角θ。在一較佳的實施例中，透過底面130b的寬度W1實質上等於通孔131的寬度W2、相鄰的兩通孔131的間距S3與凹槽130r的長度L的比值為0.25、通孔131的寬度W2與側邊130s1的寬度W3的比值為0.5以及斜面130c與底面130b之間的夾角θ介於30度至45度的範圍，可確保除膠輪130能產生足夠的吸力將流至輪面130s的壓印材料吸入凹槽130r內，但本發明不以此為限。

請參照圖3E，在餘料部300b透過上述的兩種方式(即刮刀160與凹槽130r的配置)自除膠輪130移除後，令除膠輪130朝遠離疏水表面120s的側緣的方向(例如方向D1’)移動，並收容至載台100的凹槽100rs內。接著，令壓印滾輪200朝遠離載台100的方向(例如方向D2’)移動。此時，壓模材料部300a靠近導流片120的邊緣300ae與載台100的承接面100s(或導流片120的疏水表面120s)分離。請參照圖3F，接著，將壓模材料部300a進行固化。舉例而言，在本實施例中，壓模材料部300a的固化步驟可包括利用一紫外光源400沿方向D1依序照射壓模材料部300a的不同區域。請參照圖3G，在壓模材料部300a經由紫外光的照 射形成可用於壓印製程的壓印模具IM後，進行拔模的步驟，例如：令基板301的一端沿著方向D2’移動，以使壓印模具IM的不同區域依序脫離母模MM。於此，便完成壓印模具IM的製作。

值得一提的是，透過壓印滾輪200與疏水表面120s的配合關係，本實施例的壓印滾輪200在滾壓壓模材料層300的過程中無須限制所採用的壓印壓力，有助於增加壓印模具IM的製程裕度。舉例來說，為了提升壓印品質，本實施例的壓印滾輪200可採用10MPa以上的壓印壓力進行滾壓。即使有更多的壓模材料被擠壓至母模MM的外側(例如載台100的側邊部101所在區域)，仍可透過上述壓印滾輪200與疏水表面120s的配合關係，將堆積在側邊部101的這些壓模材料經由疏水表面120s自載台100上移除。

以下將列舉另一實施例以詳細說明本揭露，其中相同的構件將標示相同的符號，並且省略相同技術內容的說明，省略部分請參考前述實施例，以下不再贅述。

圖7是本發明的第二實施例的壓印設備的剖視示意圖。請參照圖7，本實施例的壓印設備11與圖1的壓印設備10的差異在於：疏水表面的配置方式不同。在本實施例中，壓印設備11的載台100A的側邊部101A可直接設有疏水表面101s。也就是說，壓印設備11並未具有圖1的導流片120。應可理解的是，在未繪示的一實施例中，側邊部101A的疏水表面101s也可設有如圖2所示的導流溝槽120g。

圖8是本發明的第三實施例的壓印設備的剖視示意圖。請參照圖8，本實施例的壓印設備12與圖1的壓印設備10的差異在於：疏水表面的構型不同。具體而言，壓印設備12的側邊部101B所設有的疏水表面101s1，其橫截面輪廓為折線狀。更具體地說，本實施例的疏水表面101s1的橫截面輪廓為兩個直線段的組合。然而，本發明不限於此，在其他實施例中，疏水表面的橫截面輪廓也可以是直線段與曲線段的組合。

圖9是本發明的另一實施例的除膠輪的俯視示意圖。請參照圖9，本實施例的除膠輪130A與圖6的除膠輪130的主要差異在於：除膠輪的凹槽的構型不同。具體而言，除膠輪130A的凹槽130r-A於輪面130s上的垂直投影輪廓可以是圓形，且多個凹槽130r-A是以陣列排列的方式設置於輪面130s。由於除膠輪130A的凹槽130r-A與其他構件(例如通孔與貫孔)之間的配置關係與前述實施例相似，詳細的說明可參見前述實施例的相關段落，於此便不再重述。

綜上所述，在本發明的一實施例的壓印設備及壓印方法中，載台的側邊部設有疏水表面，且壓印滾輪在側邊部適於朝疏水表面移動並擠壓塗佈於載台上的壓模材料層，使餘料部沿著疏水表面與形成壓印模具的壓模材料部分離。據此，可有效提升壓印模具的平整度，進而改善後續的壓印製程的整體良率。

10:壓印設備

100:載台

100rs:凹槽

100s:承接面

101:側邊部

120:導流片

120s:疏水表面

130:除膠輪

132:貫孔

140:致動元件

141:支撐臂

141p:氣流管道

150:致動器

160:刮刀

165:盛盤

200:壓印滾輪

D1、D2:方向

Claims (16)

1. 一種壓印設備，適於製造一壓印模具，該壓印設備包括： 一載台，具有一承接面以及連接該承接面的一側邊部，其中該側邊部設有一疏水表面，且該疏水表面傾斜於該承接面；以及 一壓印滾輪，配置用以在平行於該承接面的一方向上移動並滾壓一壓模材料層，位於該側邊部上方的該壓印滾輪適於朝該疏水表面移動並擠壓該壓模材料層，使該壓模材料層分離為一壓模材料部與一餘料部，其中該餘料部適於沿著該疏水表面遠離該壓模材料部，且該壓模材料部形成該壓印模具。
2. 如申請專利範圍第1項所述的壓印設備，更包括一導流片，設置於該載台的該側邊部，其中該導流片設有該疏水表面，且該導流片遠離該承接面的一側緣自該側邊部凸出。
3. 如申請專利範圍第2項所述的壓印設備，其中該導流片的該疏水表面設有多個導流溝槽。
4. 如申請專利範圍第1項所述的壓印設備，其中該疏水表面的橫截面輪廓包含曲線或折線。
5. 如申請專利範圍第1項所述的壓印設備，更包括一除膠輪，設置於該側邊部背離該疏水表面的一側，該除膠輪具有一轉軸以及圍繞該轉軸的一輪面，其中該疏水表面遠離該承接面的一側緣與該除膠輪的該輪面重疊，且該輪面適於依該轉軸旋轉而帶動該餘料部離開該疏水表面。
6. 如申請專利範圍第5項所述的壓印設備，其中該除膠輪重疊該疏水表面的部分在該方向上具有一寬度，而該寬度與該除膠輪的一圓半徑的比值大於等於0.5且小於等於1.5。
7. 如申請專利範圍第5項所述的壓印設備，其中該除膠輪還具有圍繞該轉軸而設的多個凹槽，任兩相鄰的該些凹槽在該除膠輪的一旋轉方向上彼此錯位，且該餘料部適於流入該些凹槽內。
8. 如申請專利範圍第7項所述的壓印設備，其中該些凹槽在平行於該轉軸的方向上延伸，該些凹槽包括在該旋轉方向上依序排列且相鄰的一第一凹槽、一第二凹槽與一第三凹槽，該第一凹槽與該第二凹槽在該旋轉方向上具有一第一間距，該第二凹槽與該第三凹槽在該旋轉方向上具有一第二間距，且該第一間距不等於該第二間距。
9. 如申請專利範圍第7項所述的壓印設備，其中該除膠輪還具有： 多個通孔，分別與該些凹槽連通；以及 一貫孔，連通於該些通孔，該貫孔在該轉軸的軸向上延伸，且該轉軸通過該貫孔，其中該貫孔連接至一抽氣幫浦，該抽氣幫浦配置用以產生一吸引氣流，且該吸引氣流適於帶動流入該些凹槽的該餘料部經由該些通孔與該貫孔而自該除膠輪移除。
10. 如申請專利範圍第5項所述的壓印設備，更包括一致動器，配置用以帶動該除膠輪依該轉軸旋轉。
11. 如申請專利範圍第5項所述的壓印設備，更包括一刮刀，設置於該除膠輪遠離該疏水表面的一側，且該刮刀接觸該除膠輪的該輪面。
12. 一種壓印方法，包括 提供一壓印設備，該壓印設備包括一載台、一導流片與一壓印滾輪，該載台具有一承接面以及一側邊部，該導流片設置於該側邊部，且具有連接該承接面的一疏水表面： 於該載台的該承接面上塗佈一壓模材料層並覆蓋一母模； 令該壓印滾輪在平行於該承接面的一方向上朝該側邊部移動並滾壓該壓模材料層，且該壓印滾輪在移動至該側邊部後停留在該疏水表面的上方；以及 令該壓印滾輪朝該疏水表面移動並擠壓該壓模材料層，使該壓模材料層分離為一壓模材料部與一餘料部，其中該餘料部適於沿著該疏水表面遠離該壓模材料部。
13. 如申請專利範圍第12項所述的壓印方法，更包括： 令一除膠輪轉動並帶動該餘料部離開該疏水表面，其中該除膠輪重疊於該疏水表面遠離該承接面的一側緣。
14. 如申請專利範圍第13項所述的壓印方法，更包括： 在該餘料部離開該除膠輪後，令該除膠輪朝遠離該疏水表面的該側緣的方向移動，並收容至該載台的一凹槽內。
15. 如申請專利範圍第13項所述的壓印方法，更包括： 在該餘料部離開該疏水表面後，令該壓印滾輪朝遠離該載台的方向移動，致使該壓模材料部靠近該導流片的一邊緣與該載台的該承接面或該導流片的該疏水表面分離。
16. 如申請專利範圍第13項所述的壓印方法，其中該除膠輪依一轉軸轉動，且具有圍繞該轉軸而設的多個凹槽，任兩相鄰的該些凹槽在該除膠輪的一旋轉方向上彼此錯位，且該餘料部適於流入該些凹槽內。

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