TWI705710B - 具全域快門之寬動態範圍影像感測器 - Google Patents

具全域快門之寬動態範圍影像感測器 Download PDF

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TWI705710B
TWI705710B TW108115976A TW108115976A TWI705710B TW I705710 B TWI705710 B TW I705710B TW 108115976 A TW108115976 A TW 108115976A TW 108115976 A TW108115976 A TW 108115976A TW I705710 B TWI705710 B TW I705710B
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Abstract

本發明提供一種影像感測器，其包含：一光電二極體，其安置於一半導體材料中以回應於入射光生成影像電荷，且一第一轉移閘耦合至該光電二極體以回應於一第一轉移信號自該光電二極體提取影像電荷。一第一儲存閘耦合至該第一轉移閘以自該第一轉移閘接收該影像電荷，且一第一輸出閘耦合至該第一儲存閘以自該第一儲存閘接收該影像電荷。一第一電容器耦合至該第一輸出閘以儲存該影像電荷。

Description

具全域快門之寬動態範圍影像感測器
本發明大體上係關於影像感測器，且特定言之說(但非排他地)，係關於CMOS影像感測器。
影像感測器已經變得無處不在。其等廣泛使用於數位靜態相機、蜂巢電話、安全攝像機中，亦廣泛使用於醫學、汽車及其他應用中。用以製造影像感測器之技術已經快速地持續發展。例如，針對更高解析度及更低電力消耗之要求已經促進該等裝置之進一步微型化及整合。
典型影像感測器操作如下。來自一外部場景之影像光入射於影像感測器上。影像感測器包含複數個光敏元件使得各光敏元件吸收入射影像光之一部分。包含於影像感測器中之光敏元件，諸如光電二極體，各自在吸收影像光後生成影像電荷。生成之影像電荷量與影像光之強度成比例。生成之影像電荷可用於產生表示外部場景之一影像。
影像感測器可具有捲動快門(即，影像資料一次由一列或一行像素捕獲)或全域快門(即，影像資料同時由所有像素捕獲)。各方法存在優點，捲動快門通常包含較少電路但可導致失真。相反地，由捲動快門導致之影像失真不會由全域快門導致，此係因為所有像素電荷係同時捕獲 的。
101:半導體材料
103:光電二極體
105:第一轉移閘
106:第一浮動擴散
107:第一儲存閘
109:第一輸出閘
111:第一雙浮動擴散閘
113:第一電容器
115:第一重設閘
117:第一選擇電晶體
125:第二轉移閘
126:第二浮動擴散
127:第二儲存閘
129:第二輸出閘
131:第二雙浮動擴散閘
133:第二電容器
135:第二重設閘
137:第二選擇電晶體
141:源極跟隨器電晶體
143:列選擇電晶體
200:成像系統
205:像素陣列
211:讀出電路
215:功能邏輯
221:控制電路
C1-Cx:行
R1-Ry:列
P1-Pn:像素
參考以下圖式描述本發明之非限制性及非窮盡性實例，其中相似元件符號指代貫穿各種視圖之相似部件，除非另外指定。
圖1A至圖1B描繪根據本發明之教示之實例性像素電路。
圖2繪示根據本發明之教示之可包含圖1A至圖1B之態樣之一成像系統之一個實例之一方塊圖。
圖3A至圖3C描繪根據本發明之教示之可展示圖1A至圖2中描繪之像素時序之實例性時序圖。
對應參考字元指示貫穿諸圖中若干視圖之對應組件。熟習此項技術者應瞭解，為了簡單且清楚起見繪示圖中之元件，且並不一定按比例繪製元件。例如，圖中一些元件之尺寸可相對於其他元件而被誇大以幫助改善對本發明之各種實施例之理解。並且，為了更方便地瞭解本發明之該等各種實施例，通常不描繪在商業可行實施例中有用或必要之常見但好理解之元件。
本文描述係關於具全域快門之寬動態範圍影像感測器之一設備及方法之實例。在以下描述中，闡述諸多特定細節以提供對實例之一詳盡理解。然而，熟習相關技術者應認識到，可無需特定細節之一或多者或用其他方法、組件、材料等實踐本文描述之技術。在其他例項中，未詳細展示或描述熟知結構、材料或操作以避免模糊某些態樣。
貫穿此說明書對「一個實例」或「一個實施例」之參考意謂與實例相結合而描述之一特定特徵、結構或特性包含於本發明之至少一個實例中。因此，貫穿此說明書在多個地方出現片語「在一個實例中」或「在一個實施例」並不一定皆指代同一實例。此外，在一或多個實例中特定特徵、結構或特性可依任何合適方式組合。
根據本發明之教示之實例係關於一經修改全域快門像素。如所述，全域快門技術具有優點，諸如不會產生失真之影像。然而，通常，全域快門裝置之全阱容量(FWC)不大，此係因為儲存節點可具有一有限FWC。本文提出之解決方案解決此問題。在一個實例中，揭示一電壓域全域快門。在另一實例中，揭示一偽全域快門。
下文展示之實例中繪示之一個概念係全域快門與橫向溢流積體電路(LOFIC)架構之組合。一光電二極體連接至兩個LOFIC，且一源極跟隨器電路由兩個LOFIC共用。一個轉移電晶體具有當儲存閘在讀出至後一級電路期間斷開時觸發之一轉移信號。另一轉移電晶體依更快訊框速率頻率操作以將光電二極體處之額外信號轉移至額外電容器。此頻率係第一訊框速率頻率之數倍。另外，浮動擴散藉由來自電容器之添加電容升壓。
圖1A至圖1B描繪根據本發明之教示之實例性像素電路。如展示，兩個圖皆描繪耦合至一單一光電二極體之兩個全域快門/LOFIC。應瞭解，圖1A及圖1B中描繪之電路可跨影像感測器之表面重複多次以形成一陣列(參見，例如，圖2)。
圖1A包含半導體材料101、光電二極體103、第一轉移閘105、第一儲存閘107、第一輸出閘109、第一浮動擴散106、第一雙浮動 擴散閘111、第一電容器113、第一重設閘115、第一選擇電晶體117、第二轉移閘125、第二儲存閘127、第二輸出閘129、第二浮動擴散126、第二雙浮動擴散閘131、第二電容器133、第二重設閘135、第二選擇電晶體137、源極跟隨器電晶體141及列選擇電晶體143。
在描繪之實例中，光電二極體103經安置於半導體材料101中以回應於入射光生成影像電荷。光電二極體103可取決於放置於光電二極體103與光源之間之濾波器之類型吸收紅光、藍光、綠光、紅外光或類似者。第一LOFIC(LOFIC 1)包含第一轉移閘105，其耦合至光電二極體103以回應於施加於轉移閘105之一閘極端子之一第一轉移信號自光電二極體103提取影像電荷(轉移信號「接通」轉移閘105)。第一儲存閘107耦合至第一轉移閘105以自第一轉移閘105接收影像電荷。應瞭解，第一儲存閘107可含有一儲存節點(例如，半導體材料101之一經摻雜部分或類似者)以儲存自光電二極體103輸出之影像電荷以便促成全域讀出。第一輸出閘109耦合至第一儲存閘107以自第一儲存閘107接收影像電荷且當第一輸出閘107被接通時將該影像電荷轉移至第一浮動擴散106。第一電容器113耦合(透過第一浮動擴散106及第一雙浮動擴散閘111)至第一輸出閘109以儲存第一電容器113上之影像電荷。第一電容器113可用於增加像素之動態範圍，此係因為其可保持原本會使像素飽和之額外電荷。
如展示，第二LOFIC(LOFIC 2)包含第二轉移閘125，其耦合至光電二極體103以回應於一第二轉移信號以自光電二極體103提取該影像電荷。第二儲存閘127耦合至第二轉移閘125以自第二轉移閘125接收影像電荷。應瞭解，第二儲存閘127可含有一儲存節點(例如，半導體材料101之經摻雜部分或類似者)以儲存自光電二極體103輸出之影像電荷以 便促成全域讀出。第二輸出閘129耦合至第二儲存閘127以自第二儲存閘127接收影像電荷。第二電容器133耦合(透過第二浮動擴散126及第二雙浮動擴散閘131)至第二輸出閘129以儲存影像電荷。儘管在描繪之實例中，第二LOFIC具有與第一LOFIC完全相同之硬體組件，但根據本發明之教示，各LOFIC中之電路零件依不同時序及頻率操作以增強影像感測器效能(例如，改良影像感測器像素之全阱容量且防止失真)。因此，該電路各自執行其等自身之唯一操作且並非僅僅係一重複單元。
如繪示，第一雙浮動擴散閘111耦合於第一輸出閘109(及第一浮動擴散106)與第一電容器113之間以將第一浮動擴散106上之影像電荷輸出至第一電容器113。第二雙浮動擴散閘131耦合於第二輸出閘129(及第二浮動擴散126)與第二電容器133之間以將影像電荷自第二浮動擴散126輸出至第二電容器133。應瞭解，電容器113、133可包含半導體材料101中之阱、平行板或線或類似者。
在描繪之實例中，源極跟隨器電晶體141耦合至第一浮動擴散106及第二浮動擴散126以放大第一浮動擴散106或第二浮動擴散126之至少一者上之影像電荷。為了放大第一浮動擴散106上之電荷，第一選擇電晶體117耦合於第一浮動擴散106與源極跟隨器電晶體141之間以回應於一第一選擇信號(施加於第一選擇電晶體117之一閘電極)將影像電荷自第一浮動擴散106(及第一LOFIC)輸出至源極跟隨器電晶體141，其將第一選擇電晶體117連接至源極跟隨器電晶體141之閘極端子。類似地，第二選擇電晶體137耦合於第二浮動擴散126與源極跟隨器電晶體141之間以回應於一第二選擇信號將影像電荷自第二浮動擴散126(及第二LOFIC)輸出至源極跟隨器電晶體141。如描繪，列選擇電晶體143耦合至源極跟隨 器電晶體141之一第一端子以自源極跟隨器141輸出經放大影像信號。
在描繪之實例中，第一重設電晶體115耦合至第一電容器113以回應於一第一重設信號(施加於第一重設電晶體115之閘電極)重設第一電容器113及浮動擴散106中之影像電荷(當第一雙浮動擴散閘111接通時)。如同第一重設電晶體115，第二重設電晶體135耦合至第二電容器133以回應於一第二重設信號重設第二電容器133及浮動擴散126中之影像電荷。
在描繪之實例中，將影像電荷自光電二極體103轉移至一第一橫向溢流積體電路(LOFIC 1)依一第一訊框速率發生，且將影像電荷自光電二極體103轉移至第二LOFIC(LOFIC 2)依一第二訊框速率發生。在描繪之實例中，該第二訊框速率係第一訊框速率之許多倍(例如，係該第一訊框速率之2x、5x、10x或100x倍)。
在圖1A中描繪之實例中，第一電容器113耦合至底板接地。相反地，在圖1B中，第二電容器耦合至信號接地。
圖2繪示根據本發明之教示之可包含圖1A至圖1B之態樣之一成像系統200之一個實例之一方塊圖。成像系統200包含像素陣列205、控制電路221、讀出電路211及功能邏輯215。在一個實例中，像素陣列205係光電二極體或影像感測器像素(例如，像素P1、P2...Pn)之一二維(2D)陣列。如繪示，光電二極體經配置成列(例如，列R1至Ry)及行(例如，行C1至Cx)中以獲取一個人、位置、物件等之影像資料，接著可使用該影像資料再現個人、位置或物件等之一2D影像。然而，光電二極體不必必須被配置成列及行中，且可採用其他組態。
在一個實例中，在像素陣列205之各影像感測器光電二極 體/像素已獲取其影像資料或影像電荷之後，由讀出電路211讀出該影像資料且接著將其轉移至功能邏輯215。在各種實例中，讀出電路211可包含放大電路、類比轉數位(ADC)轉換電路或其他。功能邏輯215可簡單儲存該影像資料或甚至藉由應用影像後效果(例如，自動聚焦、剪裁、旋轉、消除紅眼、調整亮度、調整對比度或其他)操縱該影像資料。在一個實例中，讀出電路211可沿讀出行線一次讀出一列影像資料(已繪示)，或可使用例如一串列讀出或一同時完全並行讀出所有像素之多種其他技術(未繪示)來讀出該影像資料。
在一個實例中，控制電路221耦合至像素陣列205以控制像素陣列205中之複數個光電二極體之操作。例如，控制電路221可生成用於控制影像獲取之一快門信號(參見例如圖3A至圖3C)。在描繪之實例中，該快門信號係一全域快門信號，其用於同時啟用像素陣列205內之所有像素以在一單一採集窗期間同時捕獲其等各自之影像資料。在另一實例中，影像獲取與發光效果(例如一閃光)同步。
在一個實例中，成像系統200可包含於一數位相機、手機、膝上型電腦、汽車或類似者中。另外，成像系統200可耦合至其他硬體零件，諸如一處理器(通用或其他)、記憶體元件、輸出(USB埠、無線發射器、HDMI埠等)、發光/閃光、電輸入(鍵盤、觸摸顯示器、追蹤墊、滑鼠、麥克風等)及/或顯示器。其他硬體零件可將指令遞送至成像系統200，自成像系統200提取影像資料，或操縱由成像系統200供應之影像資料。
圖3A至圖3C描繪根據本發明之教示之可展示圖1A至圖2中描繪之像素電路之時序之實例時序圖。受益於本發明之熟悉此項技術之一 般技術者應瞭解，可使用其他時序操作所描繪之電路。
如圖3A中展示，圖1A至圖1B中描繪之裝置架構可用於實施一全域快門。在繪示之實例中，第一儲存閘107、第一輸出閘109、第一雙浮動擴散閘111及重設電晶體115全都經接通以重設第一浮動擴散106及第一電容器113中之影像電荷。接著，接通轉移閘105以促成全域讀出。允許過剩電荷自浮動擴散流至電容器113、133。如描繪，第二LOFIC中之電路可與第一LOFIC異相地執行相同操作。
圖3B至圖3C描繪根據本發明之教示之捲動讀出時序圖之實例。圖3B描繪一第一時序圖且圖3C描繪一第二交替時序圖。兩個時序圖可係圖1A或圖1B中之電路用於一偽捲動讀出組態中之結果。在圖3B及圖3C兩者中，採用相關雙取樣來獲得影像電荷之準確量測。在相關雙取樣中，像素電路之輸出被量測兩次：一次在一已知條件中(不具有影像電荷)且一次在一未知條件中(具有影像電荷)。在此處，使用相關雙取樣以同時量測浮動擴散中之影像電荷及用於浮動擴散之一參考信號，及具有電容器之該浮動擴散。
參考圖3B之左側時序圖(其可對應於圖1A中之電路圖)，量測第一浮動擴散及電容器上之電荷(例如，取樣及保持，「SH1 1」在第一雙浮動擴散閘111亦係邏輯高時係高-第一雙浮動擴散閘111連接浮動擴散及電容器)。接下來，自第一雙浮動擴散閘111係邏輯低開始，在選擇電晶體117係邏輯高時，自浮動擴散讀出一參考信號(SH1 2)。接著，在第一輸出閘109被接通之後，僅浮動擴散上之影像電荷被讀出(SH1 3)。最後，自浮動擴散及電容器兩者讀出一參考信號(SH1 4)。藉由取樣LOFIC電路之所有四個狀態，施於浮動擴散及電容器之電荷可被準確地判定(例如，藉 由自實際量測減去參考信號)。
如描繪之實例中展示，右側上之時序圖(其可對應於圖1B中之電路圖)類似於左側上之時序圖，惟信號接地CP1 113是在自浮動擴散讀出電荷(影像信號及參考信號兩者)期間施加除外。
圖3C描繪本機LOFIC時序圖。據此，圖3C中繪示之時序圖類似於圖3B中描繪之時序圖。然而，在左側時序圖(其可對應於圖1A中之電路圖)中，首先，自浮動擴散讀出(SH1 1)一參考電荷。接著，接通輸出閘109且將電荷自儲存閘107讀出至浮動擴散。再次讀出(SH1 2)浮動擴散，此次在浮動擴散中具有影像電荷。接下來，接通第一雙浮動擴散閘111，且容許電荷自浮動擴散流至電容器。接著，自浮動擴散及電容器兩者同時讀出(SH1 3)電荷。接下來，接通重設電晶體115，且自電容器及浮動擴散兩者讀出一參考信號。
在右側時序圖(其可對應於圖1B中之電路圖)中，在自浮動擴散讀出參考信號(SH12)及自浮動擴散讀出影像電荷(SH13)期間施加信號接地。
在上文描述中，描述各種電路零件。受益於本發明之熟悉此項技術之一般技術者應瞭解，施加於各種電路零件之電信號時序可依任何次序發生且甚至並行發生。此外，可根據本發明之教示添加或移除電路零件及時序事件。應瞭解，根據本發明之教示，電晶體可稱為「開關」或「閘」。
本發明所繪示之實例之上文描述，包含發明摘要中所描述之內容，不意欲為詳盡的或將本發明限制為所揭示之精確形式。雖然本文出於繪示性目的描述了本發明之具體實例，但熟習相關技術者應認識到， 各種等效修改可能在本發明之範疇內。
鑒於上文詳細描述，可對本發明之實例做出該等修改。隨附發明申請專利範圍中所使用之術語不應被解釋為將本發明限制於說明書中揭示之具體實例。而是，本發明之範疇將完全由隨附發明申請專利範圍判定，該等發明申請專利範圍應根據建立之發明申請專利範圍解釋之公認原則來解釋。
101:半導體材料
103:光電二極體
105:第一轉移閘
106:第一浮動擴散
107:第一儲存閘
109:第一輸出閘
111:第一雙浮動擴散閘
113:第一電容器
115:第一重設閘
117:第一選擇電晶體
125:第二轉移閘
126:第二浮動擴散
127:第二儲存閘
129:第二輸出閘
131:第二雙浮動擴散閘
133:第二電容器
135:第二重設閘
137:第二選擇電晶體
141:源極跟隨器電晶體
143:列選擇電晶體

Claims (20)

  1. 一種影像感測器，其包括：一光電二極體，其安置於一半導體材料中以回應於入射光生成影像電荷；一第一轉移閘，其耦合至該光電二極體以回應於一第一轉移信號以自該光電二極體提取影像電荷；一第一儲存閘，其耦合至該第一轉移閘以自該第一轉移閘接收該影像電荷；一第一輸出閘，其耦合至該第一儲存閘以自該第一儲存閘接收該影像電荷；及一第一電容器，其耦合至該第一輸出閘以儲存該影像電荷。
  2. 如請求項1之影像感測器，其進一步包括：一第二轉移閘，其耦合至該光電二極體以回應於一第二轉移信號以自該光電二極體提取該影像電荷；一第二儲存閘，其耦合至該第二轉移閘以自該第二轉移閘接收該影像電荷；一第二輸出閘，其耦合至該第二儲存閘以自該第二儲存閘接收該影像電荷；及一第二電容器，其耦合至該第二輸出閘以儲存該影像電荷。
  3. 如請求項2之影像感測器，其進一步包括： 一第一雙浮動擴散閘，其耦合於該第一輸出閘與該第一電容器之間以將該影像電荷輸出至該第一電容器；一第二雙浮動擴散閘，其耦合於該第二輸出閘與該第二電容器之間以將該影像電荷輸出至該第二電容器。
  4. 如請求項3之影像感測器，其進一步包括：一第一浮動擴散，其耦合於該第一輸出閘與該第一雙浮動擴散閘之間以自該第一輸出閘接收該影像電荷；及一第二浮動擴散，其耦合於該第二輸出閘與該第二雙浮動擴散閘之間以自該第二輸出閘接收該影像電荷。
  5. 如請求項4之影像感測器，其進一步包括：一源極跟隨器電晶體，其耦合至該第一浮動擴散及該第二浮動擴散以放大該第一浮動擴散或該第二浮動擴散之至少一者上之該影像電荷。
  6. 如請求項5之影像感測器，其進一步包括一列選擇電晶體，該列選擇電晶體耦合至該源極跟隨器電晶體之一第一端子以自該源極跟隨器電晶體輸出經放大信號。
  7. 如請求項5之影像感測器，其進一步包括：一第一選擇電晶體，其耦合於該第一浮動擴散與該源極跟隨器電晶體之間以回應於一第一選擇信號將該影像電荷自該第一浮動擴散輸出至該源極跟隨器電晶體；及 一第二選擇電晶體，其耦合於該第二浮動擴散與該源極跟隨器電晶體之間以回應於一第二選擇信號將該影像電荷自該第二浮動擴散輸出至該源極跟隨器電晶體。
  8. 如請求項5之影像感測器，其進一步包括：一第一重設電晶體，其耦合至該第一電容器以回應於一第一重設信號重設該第一電容器中之該影像電荷；及一第二重設電晶體，其耦合至該第二電容器以回應於一第二重設信號重設該第二電容器中之該影像電荷。
  9. 如請求項5之影像感測器，其中該第一儲存閘包含一儲存節點，該儲存節點用於在將該影像電荷轉移至該浮動擴散之前保持該影像電荷。
  10. 如請求項1之影像感測器，其中該第一電容器及第二電容器耦合至信號接地或底板接地之至少一者。
  11. 如請求項1之影像感測器，其中該影像感測器包含包括配置至一陣列中之該光電二極體之複數個光電二極體，且其中一全域快門用於自該影像感測器輸出影像資料。
  12. 一種用一影像感測器捕獲一影像之方法，其包括：用一光電二極體吸收入射光以生成影像電荷；依一第一訊框速率將該影像電荷自該第一光電二極體轉移至一第一 橫向溢流積體電路(LOFIC)，其中該第一LOFIC包含一第一儲存閘及一第一電容器；及依一第二訊框速率將該影像電荷自該第一光電二極體轉移至一第二LOFIC，其中該第二LOFIC包含一第二儲存閘及第二電容器，其中該第二訊框速率比該第一訊框速率快。
  13. 如請求項12之方法，其中該第二訊框速率係該第一訊框速率之兩倍或兩倍以上。
  14. 如請求項12之方法，其中將該影像電荷自該第一光電二極體轉移至該第一LOFIC包含接通一第一轉移閘以將該影像電荷自該光電二極體轉移至該第一儲存閘，及接通一第一輸出閘以將該影像電荷自該儲存閘轉移至一第一浮動擴散。
  15. 如請求項14之方法，其中將該影像電荷自該第二光電二極體轉移至該第二LOFIC包含接通一第二轉移閘以將該影像電荷自該光電二極體轉移至該第二儲存閘，及接通第二輸出閘以將該影像電荷自該儲存閘轉移至第二浮動擴散。
  16. 如請求項15之方法，其進一步包括：使用耦合於該第一浮動擴散與該第一電容器之間之一第一雙浮動擴散閘將該影像電荷自該第一浮動擴散轉移至該第一電容器；及使用耦合於該第二浮動擴散與該第二電容器之間之一第二浮動擴散 閘將該影像電荷自該第二浮動擴散轉移至該第二電容器。
  17. 如請求項15之方法，其進一步包括：用耦合至該第一電容器之一第一重設電晶體重設該第一電容器及該第一浮動擴散中之該影像電荷；及用耦合至該第二電容器之一第二重設電晶體重設該第二電容器及該第二浮動擴散中之該影像電荷。
  18. 如請求項12之方法，其進一步包括使用耦合於該第一浮動擴散與該源極跟隨器電晶體之間之一第一選擇電晶體將該影像電荷自該第一LOFIC輸出至源極跟隨器電晶體；及使用耦合於該第二浮動擴散與該源極跟隨器電晶體之間之一第二選擇電晶體將該影像電荷自該第二LOFIC輸出至該源極跟隨器電晶體。
  19. 如請求項12之方法，其進一步包括：量測該第一浮動擴散中之該影像電荷；量測該第一浮動擴散及該第一電容器中之該影像電荷；量測該第一浮動擴散中之一第一參考信號；及量測該第一浮動擴散及該第一電容器中之一第二參考信號。
  20. 如請求項12之方法，其進一步包括用一全域快門自該影像感測器讀出該影像資料。
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