TWI686869B - 用於製程腔室的燈加熱 - Google Patents

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Abstract

提供一製程腔室，其包含連接在一起以定義一空間的一頂部、一底部與一側壁。一基材支座係設置於該空間。該製程腔室進一步包含面向該基材支座的一或多於一個燈頭，每一燈頭都包括沿著一平面設置之多數燈具佈置。該燈具佈置係由一中心與複數個同心環形區域所定義。每一環形區域都由一內部邊緣與一外部邊緣所定義，且每一環形區域都包含一或多於一個燈具的三或多於三個定向線。一或多於一個燈具的每一定向線都具有一第一端部，其線性延伸至一第二端部，其繞著該中心以至少10度分開。該第一與第二端部兩者都位於一環形區域內。位於一相同環形區域內的每一定向線則相距該中心等距離。

Description

用於製程腔室的燈加熱
在此揭示之具體實施例概與用於處理半導體基材之製程腔室的燈加熱有關。更具體的，在此揭示之具體實施例與線性燈具的佈置有關，用以進行半導體基材的加熱。
各種製程被用於在半導體基材上形成電子裝置。所述製程包含化學氣相沈積、電漿強化化學氣相沈積、原子層沈積及磊晶成長。這些製程係於製程腔室中施行，而跨及設置於該等製程腔室內之半導體基材表面的溫度控制係促成處理期間的均勻與一致性結果。
在處理期間時常使用燈具加熱該等半導體基材。該等燈具時常相對於該燈具的中心徑向佈置。舉例而言，朝向該基材延伸具有燈泡的複數個垂直燈具可沿著相距該燈頭中心不同半徑佈置。雖然這些佈置可以在該等正被處理的基材上提供適宜的徑向位置溫度控制，但是繞著該基材不同角度位置的溫度控制仍然遭受非均勻性。其他像是具有數百或甚至數千燈具的蜂窩佈置可以提供改良的溫度控制，但是具有數百或數千燈具並非一種具有成本效益的解決方案。
因此，需要一種在半導體製程腔室中進行燈加熱的改良及更有效率的設計。
本揭示發明之具體實施例概與用於處理半導體基材之製程腔室的燈加熱有關。在一具體實施例中，提供一製程腔室。該製程腔室包含一頂部、一底部與一側壁，其連接在一起以定義一空間。一基材支座係設置於該空間中。該製程腔室進一步包含一或多於一個燈頭，其面向該基材支座，每一燈頭都包括沿著一平面設置之多數燈具佈置。該燈具佈置係由一中心與關於該中心之複數個同心環形區域所定義。每一環形區域都由一內部邊緣與一外部邊緣所定義，且每一環形區域都包含一或多於一個燈具的三或多於三個定向線。一或多於一個燈具的每一定向線都具有一第一端部，其線性延伸至一第二端部，該第一與第二端部繞著該中心以至少10度分開。該第一與第二端部兩者都位於一環形區域內。位於一相同環形區域內的每一定向線係相距該中心等距離。
在另一具體實施例中，提供一製程腔室。該製程腔室包含一頂部、一底部與一側壁，其連接在一起以定義一空間。一基材支座係設置於該空間中。該製程腔室進一步包含一燈頭，其面向該基材支座，該燈頭包括沿著一平面設置之多數燈具佈置。該燈具佈置係由一中心與三或多於三個扇形所定義。每一扇形都由從該中 心延伸至一第一外側點的第一足部、從該中心延伸至一第二外側點的第二足部，及介於該第一外側點與該第二外側點之間的一連接部分所定義。每一扇形都包括複數個線性燈具。每一線性燈具都具有由繞著該中心至少10度所分開的一第一端部與一第二端部。每一線性燈具之該第一端部與該第二端部兩者都位於一扇形內。一扇形的每一線性燈具都位於相距該中心的不同距離處。
在另一具體實施例中，提供一製程腔室。該製程腔室包含一頂部、一底部與一側壁，其連接在一起以定義一空間。該製程腔室進一步包含一基材支座，其設置於該空間中。該基材支座具有繞著該基材支座一中心位置所分佈的複數個基材位置，而每一基材位置都具有一基材支撐表面。該製程腔室進一步包含一燈頭，其面向該基材支座。該燈頭包括沿著一平面設置之多數燈具佈置，該平面實質上平行於該等基材位置之該等基材支撐表面。該燈具佈置係由一中心、從三至七個的環形區域，及與從三至七個的環形區域重疊之三至七個扇形所定義。每一環形區域都與該平面中心同圓心，且每一環形區域都由一內部邊緣與一外部邊緣所定義。每一扇形都由從該中心延伸至一第一外側點的第一足部、從該中心延伸至一第二外側點的第二足部，及介於該第一外側點與該第二外側點之間的一連接部分所定義。每一線性燈具都包含一第一端部與一第二端部，其兩者都位於 一環形區域與一扇形內。每一線性燈具都繞著該平面中心延伸至少30度。
100‧‧‧腔室
102‧‧‧基材支座
104‧‧‧基材位置
106‧‧‧處理面
107‧‧‧基材支撐表面
108‧‧‧開口
112‧‧‧側壁
120‧‧‧製程空間
129‧‧‧分隔器
130‧‧‧處理區域
131‧‧‧冷卻氣體來源
132‧‧‧氣體導管
134‧‧‧埠口
135‧‧‧第二溫度感測器
139‧‧‧第一溫度感測器
200‧‧‧燈頭
201IE‧‧‧內側邊緣
201OE‧‧‧外側邊緣
201‧‧‧第一環形區域
202IE‧‧‧內側邊緣
202‧‧‧第二環形區域
203OE‧‧‧外側邊緣
203‧‧‧環形區域
205‧‧‧平面
206‧‧‧中心
207‧‧‧佈置
208A‧‧‧角度
208‧‧‧扇形
2081‧‧‧第一扇形
2082‧‧‧第二扇形
208C1‧‧‧連接部分
208L1‧‧‧第一足部
208L2‧‧‧第二足部
208P1‧‧‧第一外側點
208P2‧‧‧第二外側點
210C‧‧‧中心點
210‧‧‧線性燈具
2101‧‧‧第一線性燈具
2102‧‧‧第二線性燈具
211‧‧‧第一端部
212‧‧‧第二端部
213‧‧‧燈絲
216‧‧‧電力供應終端
217‧‧‧中性測終端
219‧‧‧燈泡
221‧‧‧角度位置
250A‧‧‧角度區域
250‧‧‧熱源
260‧‧‧垂直定向燈具
270‧‧‧同調輻射源
300‧‧‧燈頭
301IE‧‧‧內側邊緣
301OE‧‧‧外側邊緣
301‧‧‧第一環形區域
302IE‧‧‧內側邊緣
302‧‧‧第二環形區域
303OE‧‧‧外側邊緣
303‧‧‧環形區域
305‧‧‧平面
306‧‧‧中心
307‧‧‧佈置
308A‧‧‧角度
308‧‧‧扇形
3081‧‧‧第一扇形
3082‧‧‧第二扇形
308C1‧‧‧連接部分
308L1‧‧‧第一足部
308L2‧‧‧第二足部
308P1‧‧‧第一外側點
308P2‧‧‧第二外側點
309‧‧‧外殼
321‧‧‧角度位置
340C‧‧‧中心點
340‧‧‧線性組
3401‧‧‧第一線性組
3402‧‧‧第二線性組
341‧‧‧第一端部
342‧‧‧第二端部
343‧‧‧線段
350A‧‧‧角度區域
350‧‧‧熱源
360‧‧‧垂直定性燈具
3601‧‧‧第一垂直定向燈具
360n‧‧‧最後垂直定性燈具
362‧‧‧第二端部
363‧‧‧燈絲
364‧‧‧基部
366‧‧‧電力供應終端
367‧‧‧終端
369‧‧‧燈泡
370‧‧‧同調輻射源
375‧‧‧垂直定性燈具
380‧‧‧反射管
382‧‧‧側壁
383‧‧‧基部
因此，以本揭示發明之上述特徵可被詳細瞭解的方式，可以參考該等具體實施例獲得對於本揭示發明以上簡短總結之更特定的敘述，其某些部分則描述於該等附加圖式中。然而要指出的是，該等附加圖式僅描述本揭示發明的典型具體實施例，而因此不被認為用於限制其範圍，因為本揭示發明可以容許其他相等效果的具體實施例。
第1圖為根據一具體實施例一製程腔室之側視剖面圖。
第2A圖與第2B圖為根據一具體實施例一燈具佈置的上視剖面平面圖。
第2C圖為根據一具體實施例於第2A圖與第2B圖中該燈具佈置中所使用之一燈具的側視剖面圖。
第3A圖與第3B圖為根據一第二具體實施例一燈具佈置的上視剖面平面圖。
第3C圖為根據一具體實施例於第3A圖與第3B圖中該燈具佈置中所使用之一燈具的側視剖面圖。
為了協助瞭解，已經盡可能使用相同的文字指示在該等圖式中所共通的相同元件。可以預期的是在無需特定說明下，於一具體實施例中所揭示的元件可以在其他具體實施例中有利利用。
本揭示發明概與用於處理半導體基材之製程腔室的燈加熱有關。更具體的，在此揭示之具體實施例係與用於半導體基材加熱之線性燈具佈置有關。
在本揭示內容中，用詞「頂部」、「底部」、「側部」、「上方」、「下方」、「上」、「下」、「朝上」、「朝下」、「水平」、「垂直」與其他類似用詞並不意味著絕對方向。取而代之的是，這些用詞係意指相對於該腔室基部平面的方向，舉例而言平行於該腔室基材處理表面之平面。此外，因為此申請案揭示之燈頭200及300係可提供於一基材支座上方或下方，因此讀者應該可以瞭解對於該基材支座上方之燈頭或燈具佈置的任何特定示例，在不特別說明該燈頭或燈具佈置係於該基材支座下方時，也包含了該基材支座下方類似或鏡相的燈頭或燈具佈置。
第1圖為根據一具體實施例一製程腔室100的立體橫斷面圖式。該製程腔室100一般而言的特徵為一基材支座102，其具有位於其處理表面106上的多數基材位置104，該基材支座102具有一中心開口108，其提供跨及該處理表面106的均勻氣流與暴露。
該腔室100具有一頂部116與一底部118，其與該側壁112一起定義該製程腔室100的空間120。該基材支座102係設置於該空間120內。
連接於該製程腔室100頂部116處為包含一燈具佈置207之燈頭200(參考第2A圖至第2C圖)或包含一燈具佈置307之燈頭300(參考第3A圖至第3C圖)，其將熱朝向該基材支座102投射至該空間120之中。該燈頭200、300每一個都包含一或多於一種形式的熱源，像是線性燈具與垂直定向燈具，這將於以下更完整詳細敘述。該燈頭200或燈頭300也可以在該底部118處連接至該腔室100。此外，在某些具體實施例中，在頂部116與底部118處可以具有像是燈頭200及/或燈頭300的燈頭。該燈頭200、300可以具有反射內表面以提高傳送至該基材支座102處理表面106的功率效率。此外，在某些具體實施例中，該燈頭200、300中的每一燈具都設置於一反射管中，以將來自每一燈具的功率傳送最大化。此外功率傳輸可在該燈頭200、300的中心區域中受到衰減，以避免輻射過多的功率通過該基材支座102的中心開口108。
一分隔器129可以將該腔室100頂部116處的燈頭200、300與鄰近該處理表面106的空間120分開。該分隔器129與該處理表面106一起定義一處理區域130。該分隔器129可為抗熱材料，像是石英，並可對於從該燈頭200所放射的能量具有穿透性，以將能量傳輸至該處理區域130之中。該分隔器129也可為該燈頭200與該處理區域130之間氣流的阻障層。
在該腔室100頂部116處之燈頭200、300的內部表面，除了該分隔器129的表面以外，在需要時可由反射性材料所加襯或塗敷。該反射材料可為能夠承受該燈頭200、300環境的任何反射材料。一冷卻氣體來源131可以透過一氣體導管132與一埠口134連接至該燈頭200，以將該燈頭200內表面的溫度保持在需要的程度，以避免對該等內表面造成傷害。該冷卻氣體可為惰性氣體。一(未繪示)冷卻氣體來源也可以連接至設置於該基材支座102下方的燈頭200、300。可被使用的反射材料包含金、銀或其他材料以及介電質反射體。該分隔器129面向該燈頭200、300的表面，如果需要時可由一種抗反射材料塗敷。與該分隔器129相同的一分隔器可以位於位在該基材支座102下方之燈頭200、300之間。
該基材支座102為可旋轉，並可由一(未繪示)旋轉組件所旋轉，像是磁性旋轉組件。如果該基材支座102係從該基材支座102的中心旋轉，像是由一中心軸所旋轉時，那麼設置於該基材支座102下方的燈頭200、300便可被配置以適應這種設計。舉例而言，在一具體實施例中，該燈頭200、300可以具有一開口，以讓該中心軸連接至該基材支座102。在另一具體實施例中，設置於該基材支座102下方的燈頭200、300可以包含繞著該中心軸安裝的多數分離部件，像是繞著該中心軸安裝的三至六個分離部件。利用具有繞著該中心 軸安裝之多數分離部件的燈頭設計可以讓該燈頭與該基材支座以及用於該基材支座之旋轉機構更容易維護。
在燈頭200、300並不設置於該基材支座102下方的具體實施例中，一(未繪示)反射體可設置於該基材支座102的內部188中，以將通過該開口108所傳播的任何輻射，或是由該等基材或該基材支座102所傳輸或輻射的任何輻射，反射回到該基材支座102的基材支撐表面107。該反射體可以具有一反射元件與一支撐元件。該支撐元件可以連接至該腔室100底部118，或可以延伸穿過該底部至一選擇性致動器，其可以延長或縮回該反射元件。
溫度感測器，像是高溫計，可以設置於該腔室100中不同位置中以監控不同溫度，其可能對於特定製程為顯著。一第一溫度感測器139可設置於該等基材位置104的一或多於一個位置中及/或穿過該等基材位置104的一或多於一個位置設置，以使該溫度感測器139不受限地存取該基材，以監控該基材的溫度。如果該基材支座102被旋轉，該第一溫度感測器139可以具有無線的電力與資料傳輸。一第二溫度感測器135可設置於該分隔器129中、該分隔器129上或穿過該分隔器129設置，以檢視設置於該等基材位置104中的基材及/或該基材支撐表面107，以監控那些組件的溫度。該第二溫度感測器135可為有線或無線。
第2A圖與第2B圖為根據一具體實施例之燈頭200的上視剖面平面圖，其包含一燈具佈置207。第2A圖與第2B圖基本上為該燈頭200中該燈具佈置207的相同圖面，其於不同方位取圖。第2A圖與第2B圖兩者都描述該燈具佈置207，其具有一中心206並包含沿著一平面205所設置的複數個線性燈具210。第2A圖為在徑向方位中該燈具佈置207的圖面，繪示該燈具佈置207被區分至多數個同心環形區域201-203之中。第2B圖為該燈具佈置207使用一角度方位的圖面，繪示該燈具佈置207被區分至從該燈具佈置207中心206延伸的多數扇形208之中。
雖然在第2A圖與第2B圖中該平面205為圓形，且在此也使用其他對於圓形幾何的參考方式，像是徑向方位，但本揭示發明並不限制為圓形幾何。舉例而言，在此使用的「環形區域」可以參照為任何結構，其中一內部邊緣環繞一內部區域而一外部邊緣環繞該內部邊緣。雖然此內部區域在不具有燈具或其他熱源的具體實施例中係繪示為一開放區域，但此內部區域可以包含燈具或其他熱源。此外，在此使用的「扇形」係參照為由從一中心點延伸至一第一外側點的第一腳部與從該中心點延伸至一第二外側點的第二腳部及該第一外側點與該第二外側點之間之連接部分所形成的區域。該連接部分可以包含一或多於一個片段，其可為筆直或彎曲。
該燈具配置207包含該中心206，其也可為該燈頭200的中心。其上設置有該燈具佈置207之平面205實質上可與該等基材位置104之基材支撐表面107(參考第1圖)平行。該等線性燈具210可以引導輻射朝向位於該等基材位置104基材支撐表面107上的基材。可做為線性燈具210之適宜燈具示例可以包含鎢鹵素燈、水銀燈及碳纖維紅外線發射器。
參考第2A圖，該佈置207可被區分至複數個環形區域201-203之中。每一環形區域201-203都可以包含至少三個線性燈具210。由於該線性燈具210如以下敘述從一第一端部211線性延伸至一第二端部212，因此每一線性燈具210也都可被稱做為一燈具的定向線。每一環形區域201-203都可以由一內部邊緣(例如，201IE、202IE、203IE)與一外部邊緣(例如，201OE、202OE、203OE)所定義。每一環形區域201-203可為非重疊的，其中每一環形區域不是圍繞另一環形區域及/或由另一環形區域所圍繞。此外，每一環形區域201-203都可以與該等其他環形區域之一接觸。舉例而言，一第一環形區域201的外側邊緣201OE可以與一第二環形區域202的內側邊緣202IE相同。
每一環形區域201-203都包含複數的線性燈具210。每一線性燈具210都包含一第一端部211與一第二端部212。每一線性燈具210之該第一端部211與該第二端部212兩者都位於一環形區域內，像是位於 該第一環形區域201內。位於一環形區域內，像是位於該第一環形區域201內之每一線性燈具210都可以位相對於該佈置207之中心206的不同角度位置處。此外，位於一環形區域內，像是位於該第一環形區域201內之每一線性燈具210都可以相距該佈置207之中心206為等距離。舉例而言，位於一環形區域201-203內，像是位於該第一環形區域201內之每一線性燈具210的中心點210C都可以相距該中心206等距離。此外，在某些具體實施例中，對於位於一環形區域內，像是位於該第一環形區域201內之每一給定線性燈具210而言，可以存在定位相離於該給定線性燈具210為180度，並平行於該給定線性燈具210對齊的相對線性燈具210。在其他具體實施例中，並不存在位於一環形區域內有兩個線性燈具係彼此平行對齊。
雖然第2A圖繪示該燈具佈置207包含三個環形區域201-203，但在某些具體實施例中，該複數環形區域可以包含從二至十一個環形區域，像是從三至七個環形區域。在某些具體實施例中，每一環形區域的寬度(亦即，該環形區域外側邊緣與內側邊緣之間的距離)可為相同，因此相距該中心206方向中於多數線性燈具210之間具有均勻間隔能夠協助該等製程腔室的溫度控制，其關於該製程腔室中心為對稱。此外，每一環形區域(例如，第一環形區域201)之外側邊緣(例如，外側邊緣201OE)與內側邊緣(例如，內側邊緣201IE) 之間的距離，可以小於該佈置207中心206與一最外側環形區域(例如，環形區域203)外側邊緣(例如，外側邊緣203OE)之間距離的三分之一。
在某些具體實施例中，每一線性燈具210都可以繞著該佈置207中心206，從該線性燈具210的第一端部211延伸至少10或至少15度至該第二端部212。在其他具體實施例中，每一線性燈具210都可以繞著該佈置207中心206，從該線性燈具210的第一端部211延伸至少30度至該第二端部212。
在該第一環形區域201中一第一線性燈具2101的第一端部211可定位於相對於該佈置207中心206與在該第二環形區域202中一第二線性燈具2102第一端部211的相同角度位置221處。在某些具體實施例中，這種使一線性燈具具有位於相同角度位置處之第一端部的型態，可以對於每一環形區域重複，或是可以使用其他型態，像是每隔一個環形區域。
該燈具佈置207可以進一步包含複數個額外熱源250，像是複數個垂直定向燈具260及/或複數個同調輻射源270。在此使用時，同調輻射意指一種放射具有大於該同調輻射源270與該基材支座102之間距離之同調長度輻射的輻射源。該等垂直定向燈具260與該等同調輻射源270可用於微調該製程腔室100內側的溫度控制(例如，熱點與冷點)。每一熱源250，像是一垂直定向燈具260及/或一同調輻射源270都可以具有放 射輻射(例如，該垂直定向燈具260的燈泡)的表面，其只繞著該中心260延伸一些角度，像是繞著該中心206延伸小於10度，或繞著該中心206延伸小於5度，如第2B圖中由該角度區域205A所繪示。該垂直定向燈具260與該同調輻射源270只是額外熱源250的兩種示例，其可被附加至該燈頭200以提供該製程腔室100中微調溫度控制，而同樣也可以使用該領域中其他的已知熱源。
一垂直定向燈具260可定位於位於某些或全部環形區域201-203內每一線性燈具210之間的角度位置處，像是位於該第一環形區域201內。同樣的，一同調輻射源270可定位於位於某些或全部環形區域201-203內每一線性燈具210之間的角度位置處，像是位於該第一環形區域201內。雖然第2A圖繪示在一角度方向中介於每一線性燈具210之間的垂直定向燈具260及/或同調輻射源270，但其他佈置也是可能的。舉例而言，某些佈置可以包含於一角度方向一列中的二或多於二個線性燈具，像是線性燈具210，或是於一角度方向一列中的二或多於二個垂直定向燈具，像是垂直定向燈具260。此外，在某些具體實施例中，可以只使用垂直定向燈具260或只使用同調輻射源270。此外，在某些具體實施例中，可以只使用線性燈具210。
該等垂直定向燈具260可以在第一端部處具有指朝向該腔室100頂部116(參考第1圖)的電力連 接，以及延伸至指朝向該基材支座102處理表面106之一第二端部的發射器。可被使用做為垂直定向燈具260之適宜燈具的示例可以包含鎢鹵素燈、水銀燈及碳纖維紅外線發射器。每一垂直定向燈具260都可設置於一反射管中，以將來自每一燈具的功率傳送最大化。該同調輻射源270，舉例而言可為像是雷射二極體陣列的雷射源，其具有指朝向該腔室100頂部116的電力連接，以及指朝向該基材支座102處理表面106的發射器。供應至該垂直定向燈具260及/或該同調輻射源270的電力可經調整以在製程期間微調該腔室中的溫度。在某些具體實施例中，可以在該燈頭200中的不同位置處使用不同形式或尺寸的垂直定向燈具及/或同調輻射源。舉例而言，在該燈頭外側區域中可以使用較長且較具功率的垂直定向燈具，以負責可能在該處理腔室外側區域中發生的增加熱損失。
第2A圖繪示佈置於三組中的線性燈具210，其中該組中每一線性燈具210之第一端部211係定位於相距該佈置207中心206不同距離處的相同角度位置處(參考例如角度位置221)。同樣的，第2A圖繪示佈置於五組中的垂直定向燈具260與同調輻射源270，其中每一垂直定向燈具260與每一同調輻射源270的中心都沿著一相同角度位置。也可以設想其他具體實施例，像是位於不同環形區域中的該等線性燈具210與該等垂直定向燈具260及該等同調輻射源270係 於角度方向中交錯的具體實施例。舉例而言，在第二環形區域202中的每一線性燈具210、垂直定向燈具260與同調輻射源270可以以在該第一環形區域201中的相對應線性燈具210、垂直定向燈具260與同調輻射源270偏移5度。此外，在該等組中可以使用不同數量的燈具，舉例而言，可以使用多於或少於三個的線性燈具210及在該等垂直定向燈具260與同調輻射源270組合中使用多於或少於五個的元件。
參考第2B圖，該佈置207可被區分為複數個扇形208。每一扇形208都可由從該佈置207中心206延伸至一第一外側點的第一足部、從該佈置207中心206延伸至一第二外側點的第二足部，及介於該第一外側點與該第二外側點之間的一連接部分所定義。舉例而言，一第一扇形2081可由從該中心206延伸至一第一外側點208P1的第一足部208L1、從該中心206延伸至一第二外側點208P2的第一足部208L2，以及介於該第一外側點208P1與該第二外側點208P2之間的一連接部分208C1所定義。每一扇形208都可以覆蓋該平面205的不同角度區域。舉例而言，該第一扇形2081覆蓋由該角度208A所定義的角。在某些示例中，每一扇形都可以擴展相同的角度區域，像是由角度208A所定義的區域。每一扇形208的第一足部與第二足部都可以與其他扇形208的一第一足部或第二足部接觸或相合，因此該平面205的總面積可由該等扇形208填滿。此外，每一扇形 都包括複數個線性燈具，該等垂直定向燈具260與該等同調輻射源270可被描述為沿著從該佈置207中心206於一第一扇形2081與一第二扇形2082之間所延伸的共有足部(例如，第一足部208L1)定位。雖然第2B圖繪示該燈具佈置207包含六個扇形208，在某些具體實施例中，該複數個扇形可以包含從二至十一個扇形，像是從三至七個扇形。
如以上討論，每一線性燈具210都可以繞著該佈置207中心206從該線性燈具210第一端部211至該線性燈具210第二端部212延伸至少10或至少15度。在其他具體實施例中，每一線性燈具210都可以繞著該佈置207中心206從該線性燈具210第一端部211至該線性燈具210第二端部212延伸至少30度。舉例而言，在第2A圖中，繪示六個線性燈具210，其繞著該中心206於每一環形區域中延伸，因此由於該等線性燈具210之間的空間，這些線性燈具210將繞著該中心206延伸略小於60度，像是至少50度。
每一扇形208都可以包含複數個該等線性燈具210。每一線性燈具210的第一端部211與第二端部212兩者都可以位於一扇形208內。位於一扇形208內的每一線性燈具210都可設置於相距該佈置207中心206的不同距離處。此外，位於一扇形208內每一線性燈具210的第一端部211都可被設置在如同位於該相同 扇形208內該等其他燈具210第一端部211的相同角度位置處。
在某些具體實施例中，每一扇形208都可以覆蓋不同的基材位置104。當一基材支座並不旋轉時，這種設計可能是有用的，因此每一基材的溫度可受到一給定扇形該等線性燈具的大大控制。雖然第2B圖繪示該等扇形係覆蓋不同的基材支座位置，但這只是可與在此揭示之燈具佈置一起使用的一種可能設計。舉例而言，在某些具體實施例中，二或多於二個扇形可以覆蓋一基材位置，或是一扇形可以覆蓋多於一個基材位置。此外，此燈具佈置也提供加熱多數個單一基材製程腔室的優點。對於多數個單一基材製程腔室而言，該基材可被放置於該基材支座中心位置中，而該等線性燈具可以覆蓋此中心區域以及該等外側區域。在某些具體實施例中，為了與多數單一基材製程腔室一起使用，該燈頭的中心可以包含一種垂直定向燈具的緊密封裝或同調輻射源的緊密封裝佈置。在其他具體實施例中，一線性燈具陣列可以覆蓋該基材支座的中心區域。
第2C圖為可於第2A圖與第2B圖中該燈具佈置207中使用之線性燈具210一具體實施例的側視剖面圖。每一線性燈具210都可以在該線性燈具210的第一端部211與第二端部212之間包含二或多於二個燈絲213。一燈泡219可以環繞該二或多於二個燈絲213。每一線性燈具210也都可以包含二或多於二個電力供應 終端216。該線性燈具210中的每一燈絲213都可以電力連接至該線性燈具210的不同電力供應終端216。該線性燈具210中的每一燈絲213都可以進一步連接至另一終端217，像是共同接地或中性終端。相反的，在某些具體實施例中，每一燈絲都可連接至一共同電力供應終端與在該電力連接中性或接地側上的分離電力終端。因此，每一燈絲都被連接至至少一個分離的電力終端(亦即，不是連接至一分離的電力供應終端216就是一分離的接地或中性側終端217)。參考第2A圖，在一線性燈具210中的每一燈絲213相對於該平面中心206都可以位於與該線性燈具210中該等其他燈絲213為不同的角度位置處。此外，像是位於該第一環形區域201的環形區域內之每一線性燈具210中的每一燈絲213，相對於該中心206都可以位於與位於該第一環形區域201內該等線性燈具210之一或多於一個其他燈絲213的不同角度位置處。將該等燈絲213連接至不同的電力供應終端能夠進行供應電力至該等不同燈絲的個別控制，其接著能夠進行該製程腔室100中該製程空間120多數不同角度位置的分離溫度控制。在該基材支座並不旋轉的具體實施例中，該等線性燈具210可以對該等基材多數不同角度位置上進行分離的溫度控制。
第2C圖繪示可於該燈頭200中所使用之一線性燈具210的示例。第2A圖繪示在該等不同環形區域201-203中該等線性燈具210，從這些線性燈具210的 第一端部211至第二端部212係具有不同的長度。在某些具體實施例中，在較遠離該佈置207中心206之該等環形區域中的該等線性燈具210，相較於在較靠近該中心206之該等其他環形區域中的該等線性燈具210，可以包含額外的燈絲。在其他具體實施例中，在較遠離該佈置207中心206之該等環形區域中的該等線性燈具210，係包含與較靠近該佈置207中心206之該等其他環形區域中的該等線性燈具210為相同數量的燈絲。在所述具體實施例中，在較遠離該佈置207中心206之該等環形區域中的該等線性燈具210中的燈絲，可以比在較靠近該佈置207中心206之該等其他環形區域中的該等線性燈具210中的燈絲為長。而在其他具體實施例中，在每一環形區域中的該等燈具可以具有從該線性燈具210第一端部211至第二端部212的相同長度。在所述具體實施例中，在較遠離該佈置207中心206的該等環形區域，相較於在較靠近該佈置207中心206之該等環形區域可以包含較多的線性燈具210。對於該等所有環形區域使用單一形式與尺寸的線性燈具210可以有助於降低備件成本。
第3A圖與第3B圖為根據一第二具體實施例一燈頭300的上視剖面平面圖，該燈頭300包含一燈具佈置307。第3A圖與第3B圖基本上為該燈頭300中該燈具佈置307的相同圖面，其於不同方位取圖。第3A圖與第3B圖兩者都描述該燈具佈置307，其具有一中心306 並包含沿著一平面305所設置的複數個垂直定向燈具360。第3A圖為在徑向方位中該燈具佈置307的圖面，繪示該燈具佈置307被區分至多數個同心環形區域301-303之中。第3B圖為該燈具佈置307使用一角度方位的圖面，繪示該燈具佈置307被區分至從該燈具佈置307中心306延伸的多數扇形308之中。
雖然在第3A圖與第3B圖中該平面305為圓形，且在此也使用其他對於圓形幾何的參考方式，像是徑向方位，但本揭示發明並不限制為圓形幾何。舉例而言，在此使用的「環形區域」可以參照為任何結構，其中一內部邊緣環繞一內部區域而一外部邊緣環繞該內部邊緣。雖然此內部區域在不具有燈具或其他熱源的具體實施例中係繪示為一開放區域，但此內部區域可以包含燈具或其他熱源。
該燈具配置307包含該中心306，其也可為該燈頭300的中心。其上設置有該燈具佈置307之平面305實質上可與該等基材位置104之基材支撐表面107(參考第1圖)平行。該等垂直定向燈具360可以引導輻射朝向位於該等基材位置104基材支撐表面107上的基材。可做為垂直定向燈具360之適宜燈具示例可以包含鎢鹵素燈、水銀燈及碳纖維紅外線發射器。
參考第3A圖，該佈置307可被區分至複數個環形區域301-303之中。每一環形區域301-303都可以包含至少三個熱源的線性組340，像是垂直定向燈具 360的熱源。包含該三或多於三個垂直定向燈具360的每一線性組340都可以沿著從該線性組340第一端部341延伸至第二端部342的線段343設置。由於該線性組340從一第一端部341線性延伸至一第二端部342，因此每一線性組340也都可被稱做為一燈具的定向線。雖然該等線性組340係敘述為包含垂直定向燈具360，但也可以使用其他的熱源。第3C圖提供垂直定向燈具360一示例的其他細節，其可以在該燈頭300的線性組340中使用。每一環形區域301-303都可以由一內部邊緣(例如，301IE、302IE、303IE)與一外部邊緣(例如，301OE、302OE、303OE)所定義。每一環形區域301-303可為非重疊的，其中每一環形區域不是圍繞另一環形區域及/或由另一環形區域所圍繞。此外，每一環形區域301-303都可以與該等其他環形區域之一接觸。舉例而言，一第一環形區域301的外側邊緣301OE可以與一第二環形區域302的內側邊緣302IE相同。
每一環形區域301-303都可以包含複數個熱源線性組340，像是垂直定向燈具360的熱源。舉例而言，每一線性組340都可以包含從三到十五個垂直定向燈具360，像是從五到十一個垂直定向燈具360。在一給定線性組340中的每一垂直定向燈具360都關於該線性組340中其他垂直定向燈具360線性設置。每一線性組340都包含在該線性組340第一端部341處的第一垂直定向燈具3601，以及在該線性組340第二端部342 處的最後垂直定向燈具360n。每一線性組340的第一端部341與第二端部342兩者都可以位於一環形區域內，像是位於該第一環形區域301內。位於一環形區域內，像是位於該第一環形區域301內之每一線性組340都可以位相對於該佈置307之中心306的不同角度位置處。此外，位於一環形區域內，像是位於該第一環形區域301內之每一線性組340都可以相距該佈置307之中心306為等距離。舉例而言，位於一環形區域301-303內，像是位於該第一環形區域301內之每一線性組340的中心點340C都可以相距該中心306等距離。此外，在某些具體實施例中，對於位於一環形區域內，像是位於該第一環形區域301內之每一給定線性組340而言，可以存在定位相離於該給定線性組340為180度，並平行於該給定線性組340對齊的相對線性組340。在其他具體實施例中，並不存在位於一環形區域內有兩個線性燈具係彼此平行對齊。
雖然第3A圖繪示該燈具佈置307包含三個環形區域301-303，但在某些具體實施例中，該複數環形區域可以包含從二至十一個環形區域，像是從三至七個環形區域。在某些具體實施例中，每一環形區域的寬度(亦即，該環形區域外側邊緣與內側邊緣之間的距離)可為相同，因此相距該中心306方向中於多數線性組340之間具有均勻間隔能夠協助該等製程腔室的溫度控制，其關於該製程腔室中心為對稱。此外，每一環形區 域(例如，第一環形區域301)之外側邊緣(例如，外側邊緣301OE)與內側邊緣(例如，內側邊緣301IE)之間的距離，可以小於該佈置307中心306與一最外側環形區域(例如，環形區域303)外側邊緣(例如，外側邊緣303OE)之間距離的三分之一。
在某些具體實施例中，每一線性組340都可以繞著該佈置307中心306，從該線性組340的第一端部341延伸至少10或至少15度至該第二端部342。在其他具體實施例中，每一線性組340都可以繞著該佈置307中心306，從該線性組340的第一端部341延伸至少30度至該第二端部342。舉例而言，在第3A圖中，繪示六個線性組340，其繞著該中心306於每一環形區域中延伸，因此由於該等線性組340之間的空間，這些線性組340將繞著該中心306延伸略小於60度，像是至少50度。
在該第一環形區域301中一第一線性組3401的第一端部341可定位於相對於該佈置307中心306與在該第二環形區域302中一第二線性組3402第一端部341的相同角度位置321處。在某些具體實施例中，這種使一線性組具有位於相同角度位置處之第一端部的型態，可以對於每一環形區域重複，或是可以使用其他型態，像是每隔一個環形區域。
該燈具佈置307可以進一步包含複數個額外熱源350，像是不同形式或不同尺寸的垂直定向燈具 375及/或複數個同調輻射源370。該等垂直定向燈具375與該等同調輻射源370可用於微調該製程腔室100內側的溫度控制(例如，熱點與冷點)。每一熱源350，像是一垂直定向燈具375及/或一同調輻射源370都可以具有放射輻射(例如，該垂直定向燈具375的燈泡)的表面，其只繞著該中心306延伸一些角度，像是繞著該中心306延伸小於10度，或繞著該中心306延伸小於5度，如第3B圖中由該角度區域350A所繪示。該垂直定向燈具375與該同調輻射源370只是額外熱源350的兩種示例，其可被附加至該燈頭300以提供該製程腔室100中微調溫度控制，而同樣也可以使用該領域中其他的已知熱源。
一額外熱源350，像是一垂直定向燈具375可定位於位於某些或全部環形區域301-303內每一線性組340之間的角度位置處，像是位於該第一環形區域301內。同樣的，一同調輻射源370可定位於位於某些或全部環形區域內每一線性組340之間的角度位置處，像是位於該第一環形區域301內。雖然第3A圖繪示在一角度方向中介於每一線性組340之間的垂直定向燈具375及/或同調輻射源370，但其他佈置也是可能的。舉例而言，某些佈置可以包含於一角度方向一列中的二或多於二個線性組340，或是於一角度方向一列中的二或多於二個額外熱源350，像是同調輻射源370。此外，在某些具體實施例中，可以只使用垂直定向燈具375或 只使用同調輻射源370。此外，在某些具體實施例中，可以只使用線性組340，而不使用任何額外熱源350。該等同調輻射源370與該等垂直定向燈具375可以分別與以上敘述之該等同調輻射源270與該等垂直定向燈具260相同，而這些額外熱源350的進一步細節於此便不重複。
第3A圖繪示佈置於三群中的線性組340，其中該群中每一線性組340之第一端部341係定位於相距該佈置307中心306不同距離處的相同角度位置處(參考例如角度位置321)。同樣的，第3A圖繪示佈置於五組中的垂直定向燈具375與同調輻射源370，其中每一垂直定向燈具375與每一同調輻射源370的中心都沿著一相同角度位置。也可以設想其他具體實施例，像是位於不同環形區域中的該等線性組340與該等垂直定向燈具375及該等同調輻射源370係於角度方向中交錯的具體實施例。舉例而言，在第二環形區域302中的每一線性組340、垂直定向燈具375與同調輻射源370可以以在該第一環形區域301中的相對應線性組340、垂直定向燈具375與同調輻射源370偏移5度。此外，在該等群中可以使用不同數量的燈具，舉例而言，可以使用多於或少於三個的線性組340及在該等垂直定向燈具375與同調輻射源370組合中使用多於或少於五個的元件。
參考第3B圖，該佈置307可被區分為複數個扇形308。每一扇形308都可由從該佈置307中心306 延伸至一第一外側點的第一足部、從該佈置307中心306延伸至一第二外側點的第二足部，及介於該第一外側點與該第二外側點之間的一連接部分所定義。舉例而言，一第一扇形3081可由從該中心306延伸至一第一外側點308P1的第一足部308L1、從該中心306延伸至一第二外側點308P2的第二足部308L2，以及介於該第一外側點308P1與該第二外側點308P2之間的一連接部分308C1所定義。每一扇形308都可以覆蓋該平面305的不同角度區域。舉例而言，該第一扇形3081覆蓋由該角度308A所定義的角。在某些示例中，每一扇形都可以擴展相同的角度區域，像是由角度308A所定義的區域。每一扇形308的第一足部與第二足部都可以與其他扇形308的一第一足部或第二足部接觸或相合，因此該平面305的總面積可由該等扇形308填滿。此外，該等垂直定向燈具375與該等同調輻射源370可被描述為沿著從該佈置307中心306於一第一扇形3081與一第二扇形3082之間所延伸的共有足部(例如，第一足部308L1)定位。雖然第3B圖繪示該燈具佈置307包含六個扇形308，在某些具體實施例中，該複數個扇形可以包含從二至十一個扇形，像是從三至七個扇形。
如以上討論，每一線性組340都可以繞著該佈置307中心306從該線性組340第一端部341至第二端部342延伸至少10或至少15度。在其他具體實施例中，每一線性組340都可以繞著該佈置307中心306從 該線性組340第一端部341至該線性組340第二端部342延伸至少30度。
每一扇形308都可以包含複數個多數熱源線性組340，像是垂直定向燈具360的熱源。每一線性組340的第一端部341與第二端部342兩者都可以位於一扇形308內。位於一扇形308內的每一線性組340都可設置於相距該佈置307中心306的不同距離處。此外，位於一扇形308內每一線性組340的第一端部341都可被設置在如同位於該相同扇形308內該等其他線性組340第一端部341的相同角度位置處。
在某些具體實施例中，每一扇形308都可以覆蓋不同的基材位置104。當一基材支座並不旋轉時，這種設計可能是有用的，因此每一基材的溫度可受到一給定扇形該等線性組的大大控制。雖然第3B圖繪示該等扇形係覆蓋不同的基材支座位置，但第3B圖的具體實施例只是可與在此揭示之燈具佈置一起使用的一種可能設計。舉例而言，在某些具體實施例中，二或多於二個扇形可以覆蓋一基材位置，或是一扇形可以覆蓋多於一個基材位置。此外，此燈具佈置也提供加熱多數個單一基材製程腔室的優點。對於多數個單一基材製程腔室而言，該基材可被放置於該基材支座中心位置中，而該等線性燈具可以覆蓋此中心區域以及該等外側區域。在某些具體實施例中，為了與多數單一基材製程腔室一起使用，該燈頭的中心可以包含一種垂直定向燈具的緊密封 裝或同調輻射源的緊密封裝佈置。在其他具體實施例中，多數熱源的線性組陣列可以覆蓋該基材支座的中心區域，像是垂直定向燈具的熱源。
第3C圖為可於第3A圖與第3B圖中該燈具佈置307中線性組340使用之垂直定向燈具360一具體實施例的側視剖面圖。每一垂直定向燈具360都可以包含位於一燈泡369中的一或多於一個燈絲363。每一垂直定向燈具360都可以包含一基部364。每一垂直定向燈具也都可以包含一燈泡369，該燈泡369從位於該基部364處的第一端部361延伸至位於相對該基部364於該燈泡369一邊緣處的第二端部362。該基部364也可以安裝至該燈頭300之外殼309。每一垂直定向燈具360也都可以包含一電力供應終端366與另一終端367，像是共同接地或中性終端。該等終端366、367可位於該基部364內，並可以接至一電子電路以啟動該等垂直定向燈具360。每一垂直定向燈具360都可以連接至一不同電路。在某些具體實施例中，每一垂直定向燈具360都可連接至一共同電子電路。其他的電氣配置也是可能的，像是每兩個或每三個垂直定向燈具被連接至一共同電子電路。
每一垂直定向燈具360都可設置於一反射管380中。每一反射管380都可以包含一或多於一個側壁382。每一反射管380的一基部383也都可由一反射材料所形成。可用於該一或多於一個側壁382與該基部 383的反射材料包含金、銀或其他材料以及介電質反射體。該等反射管380可用於避免該等垂直定向燈具360彼此之間的干擾，並強化每一垂直定向燈具360控制如第1圖繪示該製程腔室100一特定區域之溫度的能力。
參考第3A圖，在一線性組340中的每一垂直定向燈具360相對於該佈置307中心306都可以位於與該線性組340中該等其他垂直定向燈具360為不同的角度位置處。此外，像是位於該第一環形區域301的環形區域內之每一線性組340中的每一垂直定向燈具360，相對於該中心306都可以位於與位於該第一環形區域301內該等線性組340之一或多於一個其他垂直定向燈具360的不同角度位置處。一線性組340中的每一垂直定向燈具360都可以連接至不同的電力供應電路，以能夠進行供應電力至每一垂直定向燈具360的個別控制，其接著能夠進行該製程腔室100中該製程空間120多數不同角度位置的分離溫度控制。在該基材支座並不旋轉的具體實施例中，具有分離電力供應電路之該等垂直定向燈具360可以對該等基材多數不同角度位置上進行分離的溫度控制。
第3C圖繪示可於該燈頭300中所使用之一垂直定向燈具360的示例。第3A圖繪示由於像是環形區域303之外側區域中該等線性組340，相較於像是環形區域301之內側區域中該等線性組340而言係具有較多的垂直定向燈具360，因此在該等不同環形區域 301-303中該等線性組340係具有從第一端部341至第二端部342的不同長度。然而，在其他具體實施例中，在較遠離該佈置307中心306之該等環形區域中的該等線性組340，可以包含與較靠近該佈置307中心306之該等其他環形區域中的該等線性組為相同數量的垂直定向燈具360。在所述具體實施中，在較遠離該佈置307中心306的該等環形區域，可以比在較靠近該佈置307中心306的該等環形區域包含較多的線性組340。
於此敘述之具體實施例描繪了於製程腔室中使用的燈具佈置，其可以實質上降低製造成本以及該燈頭的維護成本。成本的節省係透過降低該燈頭中所需燈具的數量而達成。較少的燈具需要較少的接線以及較少安裝於該燈頭中的時間。此外，較少的燈具將造成較低頻率的燈具置換，而形成較少的停機與維護。舉例而言，某些用於製程腔室的燈頭包含超過400個燈具，或甚至大於1000個燈具。燈具最終會失效，所以利用超過400個燈具操作一製程腔室將可能需要隨該燈頭的使用生命期經過而置換數千個燈具。在以上敘述的許多具體實施例中，該燈頭的數量可保持在100個燈具以下。
除了節省成本以外，在此揭示的燈具佈置可以提供在製程期間對該製程腔室多數不同區域的精確溫度控制。以前所使用包含少於100個燈具的燈頭通常只提供徑向溫度控制，但缺乏方位上的溫度控制。相反的，在此揭示的具體實施例提供徑向溫度控制以及方位溫度 控制。舉例而言，以上參考第2A圖至第2C圖敘述之該等線性燈具或以上參考第3A圖至第3C圖敘述之該等燈具的線性組可以佈置於多數環形區域中，以提供徑向溫度控制。此外，該等線性燈具與該等燈具線性組可佈置於多數扇形之中以提供方位溫度控制。此外，以上敘述之該等線性燈具的某些具體實施例可以包含多數燈絲，其中每一燈絲都被個別啟動並定位於該燈頭中的不同角度位置處，進一步改良該製程腔室中溫度方位控制的能力。對於第3A圖至第3C圖繪示的具體實施例而言，每一垂直定向燈具360都可以被個別啟動並定位於該燈頭中不同角度位置處，以改良該製程腔室中溫度方位控制的能力。此外，在該等線性燈具或該等燈具線性組之間使用其他的熱源，像是使用垂直定向燈具及/或同調輻射源，可以進一步改良該製程腔室中的溫度控制。此外，如第1圖繪示，某些具體實施例可以包含位於該基材支座上方的該燈頭200或300之一，以及位於該基材支座下方的該燈頭200或300之一，以具備從該基材支座任一側進行溫度控制的能力。
雖然以上係引導至本揭示發明的具體實施例，但在不背離其基本範圍下可以欲想本揭示發明的多數其他以及進一步的具體實施例，而本發明的範圍係由以下的申請專利範圍所決定。
100‧‧‧腔室
102‧‧‧基材支座
104‧‧‧基材位置
106‧‧‧處理面
107‧‧‧基材支撐表面
108‧‧‧開口
112‧‧‧側壁
120‧‧‧製程空間
129‧‧‧分隔器
130‧‧‧處理區域
131‧‧‧冷卻氣體來源
132‧‧‧氣體導管
134‧‧‧埠口
135‧‧‧第二溫度感測器
139‧‧‧第一溫度感測器
200‧‧‧燈頭
300‧‧‧燈頭

Claims (16)

  1. 一製程腔室，包括：一頂部、一底部與一側壁，其連接在一起以定義一空間；一基材支座，其設置於該空間中；一或多個燈頭，其面向該基材支座，該一或多個燈頭的每一燈頭都包括沿著一平面設置之多個燈具的佈置，其中該多個燈具的佈置係由一中心與繞著該中心之複數個同心環形區域所定義，每一環形區域都由一內部邊緣與一外部邊緣所定義，且每一環形區域都包含在該多個燈具的佈置內的多個燈具的三個或多於三個定向線；其中該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具都具有一第一端部，該第一端部線性延伸至一第二端部；該第一端部與該第二端部繞著該中心以至少10度分開；該第一端部與該第二端部兩者都位於該複數個同心環形區域的一環形區域內；該多個燈具的三個或多於三個定向線的該等燈具位於該複數個同心環形區域的一相同環形區域內；並且 該多個燈具的三個或多於三個定向線的該等燈具是以相距該中心等距離的方式定位；及複數個額外的熱源，其中該複數個額外的熱源的一熱源設置在該多個燈具的三個或多於三個定向線的各相鄰一對的燈具之定向線之間。
  2. 如請求項1所述之製程腔室，其中該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具都包含從該第一端部延伸至該第二端部的一線性燈具，每一線性燈具都具有在該第一端部與該第二端部之間的二個或多於二個燈絲。
  3. 如請求項2所述之製程腔室，其中該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具中的每一燈絲都位於一第一環形區域內，且該每一燈絲處於與位在該第一環形區域內的該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具的一或多個其他燈絲不同的相對於該中心的角度位置處。
  4. 如請求項3所述之製程腔室，其中該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具都包含三個或多於三個電力終端，且該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具中的每一燈絲都電氣連接到至少一個電力終端，該電力終端與該三個或多於三個定向線之每一燈具中的該一或多個其他燈絲的電力終 端不同。
  5. 如請求項2所述之製程腔室，其中該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具都繞著該中心從該第一端部至該第二端部延伸至少15度。
  6. 如請求項2所述之製程腔室，其中該多個燈具的三個或多於三個定向線的每一燈具都繞著該中心從該第一端部至該第二端部延伸至少30度。
  7. 如請求項2所述之製程腔室，其中該複數個同心環形區域包括三個到七個環形區域。
  8. 如請求項2所述之製程腔室，其中在一第一環形區域中一第一燈具的第一端部相對於該中心位於與在一第二環形區域中該多個燈具的三個或多於三個定向線的一第二燈具之第一端部相同的角度位置。
  9. 一製程腔室，包括：一頂部、一底部與一側壁，其連接在一起以定義一空間；一基材支座，其設置於該空間中；一燈頭，其面向該基材支座，該燈頭包括沿著一平面設置之多個燈具的佈置，其中該多個燈具的佈置係由一中心與三個或多於三個扇形所定義，該三個或多於三個扇形的每一扇形都由從該中心延伸至 一第一外側點的第一足部、從該中心延伸至一第二外側點的第二足部，及介於該第一外側點與該第二外側點之間的一連接部分所定義，該三個或多於三個扇形的每一扇形都包括複數個線性燈具，其中：該複數個線性燈具的每一線性燈具都包括由繞著該中心以至少10度分開的一第一端部與一第二端部；該複數個線性燈具的每一線性燈具之該第一端部與該第二端部兩者都位於該三個或多於三個扇形的一個扇形內；並且該三個或多於三個扇形的每一扇形的該複數個線性燈具的每一線性燈具都位於相距該中心的不同距離處；及複數個熱源，沿著該三個或多於三個扇形的每一扇形的該第一足部與該第二足部定位，其中該複數個熱源的每一熱源的放射輻射的表面繞著該中心延伸小於5度。
  10. 如請求項9所述之製程腔室，其中該複數個線性燈具的每一線性燈具進一步都包括在該第一端部與該第二端部之間的二個或多於二個燈絲。
  11. 如請求項10所述之製程腔室，其中位於一第一線性燈具中的每一燈絲位於與該第一線性燈 具中之一或多個其他燈絲不同的相對於該中心的一角度位置處。
  12. 如請求項9所述之製程腔室，其中該複數個線性燈具的每一線性燈具都繞著該中心從該第一端部至該第二端部延伸至少15度。
  13. 如請求項9所述之製程腔室，其中該複數個線性燈具的每一線性燈具都繞著該中心從該第一端部至該第二端部延伸至少30度。
  14. 如請求項9所述之製程腔室，其中該三個或多於三個扇形包括三個到七個扇形。
  15. 如請求項9所述之製程腔室，進一步包括複數個同調輻射源，該複數個同調輻射源沿著該三個或多於三個扇形的每一扇形的該第一足部與該第二足部定位。
  16. 一處理腔室，包括：一頂部、一底部與一側壁，其連接在一起以定義一空間；一基材支座，其設置於該空間中，該基材支座具有繞著該基材支座一中心位置所分佈的複數個基材位置，每一基材位置都具有一基材支撐表面；一燈頭，其面向該基材支座，該燈頭包括沿著一平面設置之多個燈具的佈置，該平面平行於該等基 材位置之該等基材支撐表面，其中該多個燈具的佈置係由一中心、三個至七個的環形區域，及與三個至七個的環形區域重疊的三個至七個扇形所定義，其中：該三個至七個的環形區域的每一環形區域都與該中心同心，且該每一環形區域都由一內部邊緣與一外部邊緣所定義；該三個至七個扇形的每一扇形都由從該中心延伸至一第一外側點的一第一足部、從該中心延伸至一第二外側點的一第二足部，及介於該第一外側點與該第二外側點之間的一連接部分所定義；該多個燈具的佈置的每一線性燈具都包括一第一端部與一第二端部，其兩者都位於該三個至七個的環形區域的一環形區域與該三個至七個扇形的一扇形內；並且該多個燈具的佈置的每一線性燈具都繞著該平面中心延伸至少30度；及複數個熱源，沿著該三個至七個扇形的每一扇形的該第一足部與該第二足部定位，其中該複數個熱源的每一熱源的放射輻射的表面繞著該中心延伸小於5度。
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