TWI678524B - 微粒偵測模組 - Google Patents

Abstract

一種微粒偵測模組，包含基座、偵測部件以及微型泵。基座具有微型泵承載區、偵測部件承載區及導氣通道。偵測部件設置於偵測部件承載區之容置隔室中，其包含微粒傳感器及雷射發射器，用以偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。微型泵承載於微型泵承載區中。微粒偵測模組內部形成導氣路徑，微型泵受驅動控制以對導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸，氣體得以快速導入導氣路徑，藉此使偵測部件偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。

Description

微粒偵測模組

本案關於一種微粒偵測模組，尤指一種可組配於薄型可攜式裝置進行氣體監測的微粒偵測模組。

懸浮微粒是指於空氣中含有的固體顆粒或液滴，由於其粒徑非常細微，容易通過鼻腔內的鼻毛進入人體的肺部，因而引起肺部的發炎、氣喘或心血管的病變，若是其他汙染物依附於懸浮微粒上，更會加重對於呼吸系統的危害。近年來，空氣汙染問題漸趨嚴重，尤其是細懸浮微粒(例如：PM2.5或PM10)之濃度數據常常過高，空氣懸浮微粒濃度之監測漸受重視，但由於空氣會隨風向、風量不定量的流動，而目前檢測懸浮微粒的空氣品質監測站大都為定點，所以根本無法確認當下周遭的懸浮微粒濃度，因此需要一個微型方便攜帶的氣體偵測裝置來供使用者可無時無刻、隨時隨地的檢測周遭的懸浮微粒濃度。

有鑑於此，要如何能夠隨時隨地監測懸浮微粒的濃度，實為目前迫切需要解決之問題。

本案之主要目的係提供一種微粒偵測模組，適合應用組裝於可攜式電子裝置及穿戴配件上，利用微型泵將基座外氣體快速汲取進入基座之偵測通道及光束通道正交設置，由微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度，以形成移動式微粒之偵測模組，供使用者可無時無刻、隨時隨地的監測周遭的懸浮微粒濃度。

本案之一廣義實施態樣為一種微粒偵測模組，包含：一基座，內部具有一微型泵承載區、一偵測部件承載區及一導氣通道，其中該微型泵承載區具有一導氣凹槽，該導氣凹槽一側具有一通氣口，該偵測部件承載區具有一進氣入口、一容置隔室及一導氣缺口，該進氣入口與該導氣缺口形成一連通路徑，而該導氣缺口與該容置隔室連通，以及該導氣通道設置於該微型泵承載區與該偵測部件承載區之間，且該導氣通道連通該容置隔室與該微型泵承載區之該通氣口；一偵測部件，包含一微粒傳感器及一雷射發射器，設置於該偵測部件承載區之該容置隔室中，以對通過氣體透過雷射發射器發射光束至氣體，以產生投射光點至該微粒傳感器，由該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度；一微型泵，承載於該基座之該微型泵承載區中，並封蓋該導氣凹槽；其中，藉由該進氣入口連通該導氣缺口而連通該容置隔室，再透過該容置隔室與該導氣通道連通，且該導氣通道通與該通氣口連通，再透過該通氣口連通該導氣凹槽，以形成一導氣路徑，而該微型泵受驅動控制以對該導氣凹槽所連通該導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸，使該基座外部之氣體得以快速導入該導氣路徑，並經過該容置隔室中通過該光束通道與該偵測通道正交設置，受該雷射發射器照射而投射光點至該微粒傳感器，該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。

1‧‧‧基座

11‧‧‧微型泵承載區

111‧‧‧導氣凹槽

112‧‧‧通氣口

12‧‧‧偵測部件承載區

121‧‧‧進氣入口

122‧‧‧容置隔室

123‧‧‧導氣缺口

13‧‧‧導氣通道

2‧‧‧偵測部件

21‧‧‧偵測部件驅動電路板

211‧‧‧缺口部位

22‧‧‧微粒傳感器

23‧‧‧光定位部件

231‧‧‧容置槽

232‧‧‧光束通道

233‧‧‧偵測框口

234‧‧‧偵測通道

24‧‧‧雷射發射器

3‧‧‧微型泵

31‧‧‧微型泵驅動電路板

32‧‧‧氣體傳輸致動器

321‧‧‧進流板

321a‧‧‧進流孔

321b‧‧‧匯流排槽

321c‧‧‧匯流腔室

322‧‧‧共振片

322a‧‧‧中空孔

322b‧‧‧可動部

322c‧‧‧固定部

323‧‧‧壓電致動器

323a‧‧‧懸浮板

323b‧‧‧外框

323c‧‧‧支架

323d‧‧‧壓電元件

323e‧‧‧間隙

323f‧‧‧凸部

324‧‧‧第一絕緣片

325‧‧‧導電片

326‧‧‧第二絕緣片

327‧‧‧腔室空間

33‧‧‧承置基座

331‧‧‧連通口

332‧‧‧承置框槽

333‧‧‧進氣凹槽

334‧‧‧排氣口

34‧‧‧外殼板件

341‧‧‧連通口

342‧‧‧排氣口

4‧‧‧偵測部件外蓋板件

41‧‧‧進氣入口

5‧‧‧基座外蓋板件

第1圖所示為本案微粒偵測模組外觀示意圖。

第2A圖所示為本案微粒偵測模組由俯視角度視得相關構件分解示意圖。

第2B圖所示為本案微粒偵測模組由仰視角度視得相關構件分解示意圖。

第3A圖所示為本案微粒偵測模組之基座由俯視角度視得外觀示意圖。

第3B圖所示為本案微粒偵測模組之基座由仰視角度視得外觀示意圖。

第4A圖所示為本案偵測部件之雷射發射器及光定位部件由前視角度視得之分解示意圖。

第4B圖所示為本案偵測部件之雷射發射器及光定位部件由後視角度視得之分解示意圖。

第5圖所示為本案微粒偵測模組之偵測部件組裝於基座之偵測部件承載區中實施示意圖。

第6圖所示為本案微粒偵測模組之實施氣體偵測之氣體流通實施示意圖1。

第7圖所示為本案微粒偵測模組之實施氣體偵測之氣體流通實施示意圖2。

第8圖所示為本案微粒偵測模組之微型泵由仰視角度視得外觀示意圖。

第9A圖所示為本案微粒偵測模組之微型泵相關構件由俯視角度視得分解示意圖。

第9B圖所示為本案微粒偵測模組之微型泵相關構件由仰視角度視得分解示意圖。

第10A圖所示為本案微型泵之氣體傳輸致動器相關構件由俯視角度視得之分解示意圖。

第10B圖所示為本案微型泵之氣體傳輸致動器相關構件由仰視角度視得之分解示意圖。

第11A圖所示為本案微型泵之氣體傳輸致動器之剖面示意圖。

第11B圖所示為本案微型泵之氣體傳輸致動器另一壓電致動器實施例之剖面示意圖。

第11C圖至第11E圖所示為第11A圖中本案微型泵之作動示意圖。

體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參閱第1圖、第2A圖及第2B圖所示，本案提供一種微粒偵測模組，包含一基座1、一偵測部件2以及一微型泵3。又請參閱第3A圖、第3B圖、第6圖及第7圖所示，上述之基座1內部具有一微型泵承載區11、一偵測部件承載區12及一導氣通道13，其中微型泵承載區11具有一導氣凹槽111，導氣凹槽111一側具有一通氣口112，而偵測部件承載區12具有一進氣入口121、一容置隔室122及一導氣缺口123，進氣入口121與導氣缺口123形成一連通路徑(如第6圖所示箭頭所指之路徑)，且導氣缺口123與容置隔室122連通，導氣通道13設置於微型泵承載區11與偵測部件承載區12之間，且導氣通道13連通容置隔室122與微型泵承載區11之通氣口112。

請參閱第2A圖、第2B圖、第4A圖、第4B圖、第5圖、第6圖及第7圖所示，偵測部件2包含有一偵測部件驅動電路板21、一微粒傳感器22、一光定位部件23及一雷射發射器24。其中偵測部件驅動電路板21具有一缺口部位211，偵測部件驅動電路板21封蓋偵測部件承載區12內，讓缺口部位211對應到基座1之導氣缺口123位置，讓進氣入口121與導氣缺口123形成一連通路徑(如第6圖所示箭頭所指之路徑)，基座1外之氣體 由進氣入口121導入沿偵測部件驅動電路板21引導而透過缺口部位211進入導氣缺口123中，再導入與導氣缺口123連通之容置隔室122內，再透過容置隔室122與導氣通道13連通，且導氣通道13與微型泵承載區11之通氣口112連通，再透過通氣口112連通導氣凹槽111，以形成一導氣路徑。其中微粒傳感器22為PM2.5傳感器或PM10傳感器。

再請參閱第2A圖、第2B圖、第4A圖、第4B圖、第5圖、第6圖及第7圖所示，微粒傳感器22與雷射發射器24封裝於偵測部件驅動電路板21上電性連接，而光定位部件23具有一容置槽231、一光束通道232、一偵測框口233及一偵測通道234(如第7圖所示)，雷射發射器24嵌置定位容置槽231中，且容置槽231與光束通道232連通，使雷射發射器24所發射光束投射於光束通道232中，又光束通道232與偵測通道234正交設置，以及偵測框口233設置於光束通道232與偵測通道234正交設置，而微粒傳感器22封裝於偵測部件驅動電路板21上，使其對應到偵測框口233之位置作偵測，以及偵測部件驅動電路板21封蓋於偵測部件承載區12中，讓光定位部件23設置於基座1之容置隔室122內，以及偵測通道234與基座1之導氣缺口123對應連通，並與導氣通道13連通，藉由進氣入口121連通導氣缺口123，再連通容置隔室122而與偵測通道234連通，並透過偵測通道234與導氣通道13連通，再透過導氣通道13與微型泵承載區11之通氣口112連通，以及通氣口112連通導氣凹槽111，以形成一導氣路徑。

再請參閱第2A圖、第2B圖、第5圖、第6圖及第7圖所示，上述之微型泵3承載於基座1之微型泵承載區11中，並封蓋導氣凹槽111，微型泵3受驅動控制以對導氣凹槽111所連通該導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸。如此該基座1外部之氣體得以受微型泵3汲取快速導入導氣路徑， 並經過容置隔室122中通過光束通道232與偵測通道234正交設置，受雷射發射器24照射而投射光點至微粒傳感器22，微粒傳感器22偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度，偵測後氣體並能透過導氣路徑中導氣通道13導入微型泵承載區11之通氣口112中，再導入導氣凹槽111受微型泵3汲取，並排出基座1外。

再請參閱第2A圖及第2B圖所示，微粒偵測模組進一步包括一偵測部件外蓋板件4及一基座外蓋板件5，其中偵測部件外蓋板件4承置於偵測部件承載區12予以封閉形成電子干擾防護作用，且偵測部件外蓋板件4對應到偵測部件承載區12之進氣入口121位置也具有一進氣入口41予以對應連通，而基座外蓋板件5封蓋於基座1相對於微型泵承載區11及偵測部件承載區12相對之一表面上形成電子干擾防護作用。

再請參閱第6圖、第7圖、第8圖、第9A圖及第9B圖所示，上述之微型泵3包含有一微型泵驅動電路板31、一氣體傳輸致動器32、一承置基座33及一外殼板件34。其中承置基座33承置定位於基座1之微型泵承載區11上，並封蓋導氣凹槽111，且承置基座33對應導氣凹槽111之表面具有一連通口331，又承置基座33內部具有一承置框槽332，承置框槽332內部並具有一進氣凹槽333，進氣凹槽333與連通口331連通，以及在承置基座33側邊具有一排氣口334，與承置框槽332連通，而氣體傳輸致動器32承置進氣凹槽333上，並予以封閉進氣凹槽333上，氣體傳輸致動器32受驅動控制以對導氣凹槽111所連通導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸，讓基座1外部之氣體由進氣入口121快速導入導氣路徑，並通過偵測通道234由微粒傳感器22進行氣體中所含懸浮微粒大小及濃度之偵測，再透過通氣口112連通流入導氣凹槽111中，如此再透過連通口331進入承置基座33內，經過氣體傳輸致動器32汲取及傳輸至承置框槽332內部，最後由排氣口334排出於微 型泵3外。當然，微型泵3可進一步將外殼板件34封蓋於承置基座33外部形成電子干擾防護作用，外殼板件34對應到承置基座33之連通口331位置也具有一連通口341予以對應連通，以及該外殼板件34對應到承置基座33之排氣口334位置也具有一排氣口342予以對應連通。

為了瞭解上述微型泵3之氣體傳輸致動器32提供氣體汲取及傳輸之相關構件，請繼續參閱第10A圖、第10B圖、第11A圖至第11E圖所示由一進流板321、一共振片322、一壓電致動器323、一第一絕緣片324、一導電片325及一第二絕緣片326依序堆疊組成。其中進流板321具有至少一進流孔321a、至少一匯流排槽321b及一匯流腔室321c，進流孔321a供導入氣體，進流孔321a對應貫通匯流排槽321b，且匯流排槽321b匯流到匯流腔室321c，使進流孔321a所導入氣體得以匯流至匯流腔室321c中。於本實施例中，進流孔321a與匯流排槽321b之數量相同，進流孔321a與匯流排槽321b之數量分別為4個，並不以此為限，4個進流孔321a分別貫通4個匯流排槽321b，且4個匯流排槽321b匯流到匯流腔室321c。

上述之共振片322透過貼合方式組接於進流板321上，且共振片322上具有一中空孔322a、一可動部322b及一固定部322c，中空孔322a位於共振片322的中心處，並與進流板321的匯流腔室321c對應，而可動部322b設置於中空孔322a的周圍且與匯流腔室321c相對的區域，而固定部322c設置於共振片322的外周緣部分而貼固於進流板321上。

上述之壓電致動器323包含有一懸浮板323a、一外框323b、至少一支架323c、一壓電元件323d、至少一間隙323e及一凸部323f。其中，懸浮板323a為一正方型懸浮板，懸浮板323a之所以採用正方形，乃相 較於圓形懸浮板之設計，正方形懸浮板323a之結構明顯具有省電之優勢，因在共振頻率下操作之電容性負載，其消耗功率會隨頻率之上升而增加，又因邊長正方形懸浮板323a之共振頻率明顯較圓形懸浮板低，故其相對的消耗功率亦明顯較低，亦即本案所採用正方形設計之懸浮板323a，具有省電優勢之效益；外框323b環繞設置於懸浮板323a之外側；至少一支架323c連接於懸浮板323a與外框323b之間，以提供彈性支撐懸浮板323a的支撐力；以及一壓電元件323d具有一邊長，該邊長小於或等於懸浮板323a之一邊長，且壓電元件323d貼附於懸浮板323a之一表面上，用以施加電壓以驅動懸浮板323a彎曲振動；而懸浮板323a、外框323b與支架323c之間構成至少一間隙323e，用以供氣體通過；凸部323f為設置於懸浮板323a貼附壓電元件323d之表面的相對之另一表面，凸部323f於本實施例中，也可以透過懸浮板323a利用一蝕刻製程製出一體成形突出於貼附壓電元件323d之表面的相對之另一表面上形成一凸狀結構。

又上述之進流板321、共振片322、壓電致動器323、第一絕緣片324、導電片325及第二絕緣片326依序堆疊組合，其中懸浮板323a與共振片322之間需形成一腔室空間327，腔室空間327可利用於共振片322及壓電致動器323之外框323b之間的間隙填充一材質形成，例如：導電膠，但不以此為限，以使共振片322與懸浮板323a之間可維持一定深度形成腔室空間327，進而可導引氣體更迅速地流動，且因懸浮板323a與共振片322保持適當距離使彼此接觸干涉減少，促使噪音產生可被降低，當然於實施例中，亦可藉由壓電致動器323之外框323b高度加高來減少共振片322及壓電致動器323之外框323b之間的間隙填充導電膠厚度，以使其形成的腔室空間327，如此氣體傳輸致動器32整體結構組裝不因導電膠之填充材質厚度會因熱壓溫度及冷卻溫度而 間接影響到，避免導電膠之填充材質因熱脹冷縮因素影響到成型後腔室空間327之實際間距，但不以此為限。

另外，腔室空間327將會影響氣體傳輸致動器32的傳輸效果，故維持一固定的腔室空間327對於氣體傳輸致動器32提供穩定的傳輸效率是十分重要，因此於第11B圖所示，另一些壓電致動器323實施例中，懸浮板323a可以採以沖壓成形使其向外延伸一距離，其向外延伸距離可由至少一支架323c成形於懸浮板323a與外框323b之間所調整，使在懸浮板323a上的凸部323f的表面與外框323b的表面兩者形成非共平面，亦即凸部323f的表面將低於外框323b的表面，利用於外框323b的組配表面上塗佈少量填充材質，例如：導電膠，以熱壓方式使壓電致動器323貼合於共振片322的固定部322c，進而使得壓電致動器323得以與共振片322組配結合，如此直接透過將上述壓電致動器323之懸浮板323a採以沖壓成形構成一腔室空間327的結構改良，所需的腔室空間327得以透過調整壓電致動器323之懸浮板323a沖壓成形距離來完成，有效地簡化了調整腔室空間327的結構設計，同時也達成簡化製程，縮短製程時間等優點。此外，第一絕緣片324、導電片325及第二絕緣片326皆為框型的薄型片體，依序堆疊於壓電致動器323上即組構成氣體傳輸致動器32整體結構。

為了瞭解上述氣體傳輸致動器32提供氣體傳輸之輸出作動方式，請繼續參閱第11C圖至第11E圖所示，請先參閱第11C圖，壓電致動器323的壓電元件323d被施加驅動電壓後產生形變帶動懸浮板323a朝遠離共振片322方向位移，此時腔室空間327的容積提升，於腔室空間327內形成了負壓，便汲取匯流腔室321c內的氣體進入腔室空間327內，同時共振片322受到共振原理的影響被同步朝懸浮板323a的振動方向位移，連帶增加了匯流腔室321c的容積，且因匯流腔室321c內的氣體 進入腔室空間327的關係，造成匯流腔室321c內同樣為負壓狀態，進而通過進流孔321a、匯流排槽321b來吸取氣體進入匯流腔室321c內；請再參閱第11D圖，壓電元件323d帶動懸浮板323a朝接近共振片322方向位移，壓縮腔室空間327，同樣的，共振片322被懸浮板323a因共振而朝懸浮板323a的振動方向位移，迫使同步推擠腔室空間327內的氣體通過間隙323e向外傳輸，以達到傳輸氣體的效果；最後請參閱第11E圖，當懸浮板323a再次朝遠離共振片322方向位移時，共振片322也同時被帶動而朝懸浮板323a振動方向位移，此時的共振片322將使壓縮腔室空間327內的氣體向間隙323e移動，並且提升匯流腔室321c內的容積，讓氣體能夠持續地通過進流孔321a、匯流排槽321b來匯聚於匯流腔室321c內，透過不斷地重複上述第11C圖至第11E圖所示之氣體傳輸致動器32提供氣體傳輸作動步驟，使氣體傳輸致動器32能夠連續將氣體自進流孔321a進入進流板321及共振片322所構成流道產生壓力梯度，再經由間隙323e向外傳輸，使氣體高速流動，達到氣體傳輸致動器32傳輸氣體輸出的作動操作。

請繼續參閱第11A圖，氣體傳輸致動器32之進流板321、共振片322、壓電致動器323、第一絕緣片324、導電片325及第二絕緣片326皆可其可透過微機電的面型微加工技術製程，使氣體傳輸致動器32的體積縮小，以構成一微機電系統之微型泵3。

由上述說明可知，本案所提供一種微粒偵測模組在具體實施中，當微型泵3受驅動吸附引導基座1外部之氣體快速導入偵測通道234中，氣體通過偵測通道234與光束通道232正交設置，受雷射發射器24照射而投射光點至微粒傳感器22，微粒傳感器22偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。如此本案所提供微粒偵測模組應用組裝於可攜式電子裝置上，以形成移動式氣體微粒之偵測模組。其中可攜式裝置包含一手 機、一平板電腦、一穿戴式裝置及一筆記型電腦之其中之一。或者本案所提供微粒偵測模組應用組裝於穿戴配件上，以形成移動式氣體微粒之偵測模組。其中該穿戴配件包含一吊飾、一鈕扣、一眼鏡及一手錶之其中之一。

綜上所述，本案所提供之微粒偵測模組，非常適合應用組裝於可攜式電子裝置及穿戴配件上，利用微型泵將基座外氣體快速汲取進入基座之偵測通道及光束通道正交設置，由微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度，以形成移動式氣體微粒之偵測模組，供使用者可無時無刻、隨時隨地監測周遭的懸浮微粒濃度，極具產業利用性及進步性。

Claims (17)

1. 一種微粒偵測模組，包含：一基座，內部具有一微型泵承載區、一偵測部件承載區及一導氣通道，其中該微型泵承載區具有一導氣凹槽，該導氣凹槽一側具有一通氣口，該偵測部件承載區具有一進氣入口、一容置隔室及一導氣缺口，該進氣入口與該導氣缺口形成一連通路徑，而該導氣缺口與該容置隔室連通，以及該導氣通道設置於該微型泵承載區與該偵測部件承載區之間，且該導氣通道連通該容置隔室與該微型泵承載區之該通氣口；一偵測部件，包含一微粒傳感器及一雷射發射器，設置於該偵測部件承載區之該容置隔室中，透過該雷射發射器發射光束至氣體，以產生投射光點至該微粒傳感器，由該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度；以及一微型泵，承載於該基座之該微型泵承載區中，並封蓋該導氣凹槽；其中，藉由該進氣入口連通該導氣缺口而連通該容置隔室，再透過該容置隔室與該導氣通道連通，且該導氣通道與該通氣口連通，再透過該通氣口連通該導氣凹槽，以形成一導氣路徑，而該微型泵受驅動控制以對該導氣凹槽所連通該導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸，使該基座外部之氣體得以快速導入該導氣路徑，並經過該容置隔室中受該雷射發射器照射而投射光點至該微粒傳感器。
2. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該偵測部件包含一偵測部件驅動電路板及一光定位部件，其中該微粒傳感器與該雷射發射器封裝及電性連接於該偵測部件驅動電路板，該光定位部件具有一容置槽、一光束通道、一偵測框口及一偵測通道，該雷射發射器嵌置定位該容置槽中，且該容置槽與該光束通道連通，使該雷射發射器發射光束至該光束通道中，該光束通道與該偵測通道正交設置，以及該偵測框口設置於該光束通道與該偵測通道正交設置，該微粒傳感器封裝於該偵測部件驅動電路板上，該微粒傳感器之位置與該偵測框口相互對應，以及該偵測部件驅動電路板封蓋於該偵測部件承載區中，該光定位部件設置於該基座之該容置隔室內，以及該偵測通道與該基座之該導氣缺口對應連通，並與該導氣通道連通，藉由該進氣入口連通該導氣缺口，再連通該容置隔室而與該偵測通道連通，並透過該偵測通道與該導氣通道連通，再透過該導氣通道通與該通氣口連通，以及該通氣口連通該導氣凹槽，以形成該導氣路徑。
3. 如申請專利範圍第2項所述之微粒偵測模組，其中該偵測部件驅動電路板具有一缺口部位，該偵測部件驅動電路板封蓋該偵測部件承載區內，讓該缺口部位對應到該基座之該導氣缺口位置，該基座外之氣體由該進氣入口導入沿該偵測部件驅動電路板引導而透過該缺口部位進入該導氣缺口中，再導入該容置隔室內，再透過該容置隔室與該導氣通道連通，且該導氣通道與該通氣口連通，再透過該通氣口連通該導氣凹槽，以形成該導氣路徑。
4. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微粒傳感器為PM2.5傳感器。
5. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，進一步包含一偵測部件外蓋板件及一基座外蓋板件，其中該偵測部件外蓋板件承置於該偵測部件承載區予以封閉形成電子干擾防護作用，且該偵測部件外蓋板件對應到該偵測部件承載區之該進氣入口位置也具有一進氣入口予以對應連通，而該基座外蓋板件封蓋於該基座相對於該微型泵承載區及該偵測部件承載區相對之一表面上形成電子干擾防護作用。
6. 如申請專利範圍利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵包含一氣體傳輸致動器，該氣體傳輸致動器包含：一進流板，具有至少一進流孔、至少一匯流排槽及一匯流腔室，其中該進流孔供導入氣體，該進流孔對應貫通該匯流排槽，且該匯流排槽匯流到該匯流腔室，使該進流孔所導入氣體得以匯流至該匯流腔室中；一共振片，接合於該進流板上，具有一中空孔、一可動部及一固定部，該中空孔位於該共振片中心處，並與該進流板的該匯流腔室對應，而該可動部設置於該中空孔周圍且與該匯流腔室相對的區域，而該固定部設置於該共振片的外周緣部分而貼固於該進流板上；以及一壓電致動器，接合於該共振片上相對應設置；其中，該共振片與該壓電致動器之間具有一腔室空間，以使該壓電致動器受驅動時，使氣體由該進流板之該進流孔導入，經該匯流排槽匯集至該匯流腔室中，再流經該共振片之該中空孔，由該壓電致動器與該共振片之該可動部產生共振傳輸氣體。
7. 如申請專利範圍第6項所述之微粒偵測模組，其中該壓電致動器包含：一懸浮板，具有一正方形型態，可彎曲振動；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側；至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，以提供該懸浮板彈性支撐；以及一壓電元件，具有一邊長，該邊長小於或等於該懸浮板之一邊長，且該壓電元件貼附於該懸浮板之一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。
8. 如申請專利範圍第6項所述之微粒偵測模組，其中該氣體傳輸致動器進一步包含有一第一絕緣片、一導電片及一第二絕緣片，其中該進流板、該共振片、該壓電致動器、該第一絕緣片、該導電片及該第二絕緣片依序堆疊結合設置。
9. 如申請專利範圍第7項所述之微粒偵測模組，其中該懸浮板包含一凸部，設置於該懸浮板貼附該壓電元件之表面的相對之另一表面。
10. 如申請專利範圍第9項所述之微粒偵測模組，其中該凸部以蝕刻製程製出一體成形突出於該懸浮板貼附該壓電元件之表面的相對之另一表面上之凸狀結構。
11. 如申請專利範圍第6項所述之微粒偵測模組，其中該壓電致動器包含：一懸浮板，具有一正方形型態，可彎曲振動；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側；至少一支架，連接成形於該懸浮板與該外框之間，以提供該懸浮板彈性支撐，並使該懸浮板之一表面與該外框之一表面形成為非共平面結構，且使該懸浮板之一表面與該共振板保持一腔室空間；以及一壓電元件，具有一邊長，該邊長小於或等於該懸浮板之一邊長，且該壓電元件貼附於該懸浮板之一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。
12. 如申請專利範圍第2項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵包含有一承置基座，其中該承置基座承置定位於該基座之該微型泵承載區上，並封蓋該導氣凹槽，且該承置基座對應該導氣凹槽之表面具有一連通口，又該承置基座內部具有一承置框槽，該承置框槽內部並具有一進氣凹槽，該進氣凹槽與該連通口連通，以及該承置基座側邊具有一排氣口，與該承置框槽連通，而該氣體傳輸致動器承置該進氣凹槽上，並予以封閉該進氣凹槽上，該氣體傳輸致動器受驅動控制以對該導氣凹槽所連通之該導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸，讓該基座外部之氣體由該進氣入口快速導入該導氣路徑，並通過該偵測通道由該微粒傳感器進行氣體中所含懸浮微粒大小及濃度之偵測，再透過通氣口連通流入該導氣凹槽中，再透過該承置基座之該連通口進入該承置基座內，經過該氣體傳輸致動器汲取於該承置框槽內部，最後由該排氣口排出於該微型泵外。
13. 如申請專利範圍第12項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵包含有一微型泵驅動電路板，該微型泵驅動電路板承置定位於該承置框槽上，而封閉該承置框槽，且該氣體傳輸致動器與該微型泵驅動電路板電性連接，以受控制驅動操作。
14. 如申請專利範圍第12項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵包含有一外殼板件，封蓋於該承置基座外部形成電子干擾防護作用，該外殼板件對應到該承置基座之該連通口位置也具有一連通口予以對應連通，以及該外殼板件對應到該承置基座之該排氣口位置也具有一排氣口予以對應連通。
15. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵為一微機電系統之微型泵。
16. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微粒偵測模組應用組裝於一可攜式電子裝置上，以形成一移動式氣體微粒之偵測模組。
17. 如申請專利範圍第16項所述之微粒偵測模組，其中該可攜式電子裝置包含一手機、一平板電腦、一穿戴式裝置及一筆記型電腦之其中之一。