TWM574684U - 微粒偵測模組 - Google Patents

Abstract

一種微粒偵測模組，包含：一基座，內部具有一偵測通道及一光束通道；一偵測部件，設置於該基座內，並包含一雷射光器及一微粒傳感器，雷射光器發射光束投射於該光束通道中，微粒傳感器對應設置到該偵測通道與該光束通道正交位置；一微型泵，承載於該基座中，並覆蓋該導氣凹槽；其中微型泵受驅動吸引、引導該基座外部之氣體快速導入偵測通道中，氣體通過該偵測通道與該光束通道正交位置，受該雷射光器照射而投射光點至微粒傳感器，微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。

Description

微粒偵測模組

本案關於一種微粒偵測模組，尤指一種可組配於薄型可攜式裝置應用進行氣體監測的微粒偵測模組。

懸浮微粒是指於空氣中含有的固體顆粒或液滴，由於其粒徑非常細微，容易通過鼻腔內的鼻毛進入人體的肺部，因而引起肺部的發炎、氣喘或心血管的病變，若是其他汙染物依附於懸浮微粒上，更會加重對於呼吸系統的危害。近年來，空氣汙染問題漸趨嚴重，尤其是細懸浮微粒(例如：PM 2.5或PM10)之濃度數據常常過高，空氣懸浮微粒濃度之監測漸受重視，但由於空氣會隨風向、風量不定量的流動，而目前檢測懸浮微粒的空氣品質監測站大都為定點監測，所以根本無法確認當下自身周遭的懸浮微粒濃度，因此需要一個微型方便攜帶的氣體偵測裝置來供使用者可隨時隨地的檢測周遭的懸浮微粒濃度。

有鑑於此，要如何能夠隨時隨地監測懸浮微粒的濃度，實為目前迫切需要解決之問題。

本案之主要目的係提供一種微粒偵測模組，利用薄型基座之偵測通道及光束通道，配置定位偵測部件之雷射光器及微粒傳感器在其中，以偵測通過偵測通道與光束通道正交位置之氣體中所含懸浮微粒大小及濃度，並利用微型泵將基座外氣體快速汲取進入偵測通道以偵測氣體中懸浮微粒的濃度，使其可應用、組裝於可攜式電子裝置及穿戴配件上，以形成移動式微粒偵測裝置，供使用者隨時隨地的監測周遭的懸浮微粒濃度。

本案之一廣義實施態樣為一種微粒偵測模組，包含：一基座，具有一長度、一寬度及一高度，該長度為10~60mm，該寬度為10~50mm，該高度為1~7mm ，內部具有一偵測部件承載區、一微型泵承載區、一偵測通道及一光束通道，該微型泵承載區具有一導氣凹槽，該微型泵承載區與該偵測通道連通，該偵測部件承載區與該光束通道連通，且該偵測通道與該光束通道為正交設置；一偵測部件，包含一雷射光器及一微粒傳感器，該雷射光器設置於該基座之該偵測部件承載區定位，並能發射光束投射於該光束通道中，該微粒傳感器對應設置到該偵測通道與該光束通道正交位置； 一微型泵，承載於該基座之該微型泵承載區中，並覆蓋該導氣凹槽；其中該微型泵受驅動吸引、引導該基座外部之氣體快速導入該偵測通道中，該氣體通過該偵測通道與該光束通道正交位置，受該雷射光器照射而投射光點至該微粒傳感器，該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。

體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參閱第1圖至第4B圖所示，本案提供一種微粒偵測模組，包含一基座1、一偵測部件2及一微型泵3。本案所提供之微粒偵測模組為了能組裝應用於可攜式電子裝置及穿戴配件上，其中基座1具有一長度L、一寬度W及一高度H之外觀尺寸，為了與偵測部件2及微型泵3組配，依目前最佳化配置且符合薄型微小化之設計，將基座1之長度L配置為10~60mm，長度L為34~36mm為最佳，寬度W配置為10~50mm，寬度W為29~31mm為最佳，以及高度H配置為1~7mm，高度H為4.5~5.5mm為最佳，讓整個微粒偵測模組具備攜帶便利性之實施設計。

請參閱第1圖至第4B圖所示，上述之基座1具有相對設置之一第一表面1a及一第二表面1b，內部具有一偵測部件承載區11、一微型泵承載區12、一偵測通道13及一光束通道14，其中微型泵承載區12設置於第一表面1a，並具有一導氣凹槽121， 而偵測部件承載區11、偵測通道13及光束通道14貫通第一表面1a及第二表面1b，且微型泵承載區12與偵測通道13連通，偵測部件承載區11與光束通道14連通，且偵測通道13與光束通道14為正交設置，又基座1側邊上具有一進氣入口15及一排氣出口16，進氣入口15與偵測通道13連通，排氣出口16與導氣凹槽121連通。

請參閱第2圖所示，上述偵測部件2包含有一偵測驅動電路板21、一微粒傳感器22、一雷射光器23及一微處理器24。其中微粒傳感器22、雷射光器23及微處理器24封裝於偵測驅動電路板21上，而偵測驅動電路板21封蓋於基座1之第二表面1b上，並使雷射光器23對應設置於偵測部件承載區11中，並能發射光束投射於光束通道14中，以及微粒傳感器22對應設置到偵測通道13與光束通道14正交位置，如此微處理器24控制雷射光器23及微粒傳感器22之作動，使雷射光器23發射光束照射於光束通道14中、通過偵測通道13與光束通道14正交位置之氣體，並使氣體產生投射光點投射於微粒傳感器22，微粒傳感器22偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度，並輸出偵測訊號，而微處理器24接收微粒傳感器22所輸出偵測訊號進行分析，以輸出偵測數據。上述之雷射光器23包含一光定位部件231及一雷射發射元件232，光定位部件231設置定位於偵測驅動電路板21上，而雷射發射元件232嵌入設置於光定位部件231中，並電性連接偵測驅動電路板21，以受微處理器24控制驅動，並發射光束照射於光束通道14中。其中微粒傳感器22為PM2.5傳感器或PM10傳感器。

請繼續參閱第2圖所示，微粒偵測模組進一步包括一絕緣板件5，封蓋於基座1之第一表面1a上，使基座1外部之氣體如第4A或4B圖所示由進氣入口15導入偵測通道13中，再通過微型泵承載區12之導氣凹槽121，再由排氣出口16排出於基座1外，以形成一導氣路徑。又如第2圖及第9圖所示，微粒偵測模組進一步包含一基座外蓋板件6，承置於絕緣板件5上並封閉基座1的第一表面1a，以形成電子干擾防護作用，而基座外蓋板件6對應到基座1之進氣入口15位置也具有一進氣入口61予以對應連通，基座外蓋板件6對應到基座1之排氣出口16位置也具有一排氣出口62予以對應連通。

請參閱第2圖、第4A圖、第5A圖及第5B圖所示，上述之微型泵3承載於基座1之微型泵承載區12中，並覆蓋導氣凹槽121。微型泵3由一進流板31、一共振片32、一壓電致動器33、一第一絕緣片34、一導電片35及一第二絕緣片36依序堆疊組成。其中進流板31具有至少一進流孔31a、至少一匯流排槽31b及一匯流腔室31c，進流孔31a供導入氣體，進流孔31a對應貫通匯流排槽31b，且匯流排槽31b匯聚到匯流腔室31c，使進流孔31a所導入之氣體得以匯流至匯流腔室31c中。於本實施例中，進流孔31a與匯流排槽31b之數量相同，進流孔31a與匯流排槽31b之數量分別為4個，並不以此為限，4個進流孔31a分別貫通4個匯流排槽31b，且4個匯流排槽31b匯聚到匯流腔室31c。

請參閱第5A圖、第5B圖及第6A圖所示，上述之共振片32透過貼合方式組接於進流板31上，且共振片32上具有一中空孔32a、一可動部32b及一固定部32c，中空孔32a位於共振片32的中心處，並與進流板31的匯流腔室31c對應，而可動部32b設置於中空孔32a的周圍且與匯流腔室31c相對的區域，而固定部32c設置於共振片32的外周緣部分而貼固於進流板31上。

請繼續參閱第5A圖、第5B圖及第6A圖所示，上述之壓電致動器33包含有一懸浮板33a、一外框33b、至少一支架33c、一壓電元件33d、至少一間隙33e及一凸部33f。其中，懸浮板33a為一正方型懸浮板，懸浮板33a之所以採用正方形，乃相較於圓形懸浮板之設計，正方形懸浮板33a之結構明顯具有省電之優勢，因在共振頻率下操作之電容性負載，其消耗功率會隨頻率之上升而增加，又因邊長正方形懸浮板33a之共振頻率明顯較圓形懸浮板低 ，故其相對的消耗功率亦明顯較低，亦即本案所採用正方形設計之懸浮板33a，具有省電優勢之效益；外框33b環繞設置於懸浮板33a之外側；至少一支架33c連接於懸浮板33a與外框33b之間，以提供彈性支撐懸浮板33a的支撐力；以及一壓電元件33d具有一邊長，該邊長小於或等於懸浮板33a之一邊長，且壓電元件33d貼附於懸浮板33a之一表面上，用以施加電壓以驅動懸浮板33a彎曲振動；而懸浮板33a、外框33b與支架33c之間構成至少一間隙33e，用以供氣體通過；凸部33f設置於懸浮板33a貼附壓電元件33d之表面相對之另一表面，凸部33f於本實施例中，也可以透過於懸浮板33a實施一蝕刻製程，製出一體成形突出於與貼附壓電元件33d之表面相對之另一表面上之一凸狀結構來形成。

請繼續參閱第5A圖、第5B圖及第6A圖所示，上述之進流板31、共振片32、壓電致動器33、第一絕緣片34、導電片35及第二絕緣片36依序堆疊組合，其中懸浮板33a與共振片32之間需形成一腔室空間37，腔室空間37可藉由在共振片32及壓電致動器33之外框33b之間的間隙填充一材質，例如：導電膠，但不以此為限，使共振片32與懸浮板33a之間可維持一定深度以形成腔室空間37，進而可導引氣體更迅速地流動，且因懸浮板33a與共振片32保持適當距離使彼此接觸干涉減少，促使噪音產生可被降低，當然於其他實施例中，亦可藉由加高壓電致動器33之外框33b高度來減少於共振片32與壓電致動器33之外框33b之間的間隙填充導電膠之厚度，以使其形成的腔室空間37，如此微型泵3整體結構於組裝時不會因導電膠之填充材質厚度會隨熱壓溫度及冷卻溫度產生變化而間接影響到，可避免導電膠之填充材質因熱脹冷縮因素影響到成型後腔室空間37之實際間距，但不以此為限。

另外，腔室空間37將會影響微型泵3的傳輸效果，故維持一固定的腔室空間37對於微型泵3提供穩定的傳輸效率是十分重要的，因此如第6B圖所示，於另一些壓電致動器33實施例中，懸浮板33a可採以沖壓成形使其向外延伸一距離，其向外延伸距離可由成形於懸浮板33a與外框33b之間之至少一支架33c調整，使懸浮板33a上的凸部33f的表面與外框33b的表面兩者為非共平面，亦即凸部33f的表面將低於外框33b的表面，利用於外框33b的組配表面上塗佈少量填充材質，例如：導電膠，以熱壓方式使壓電致動器33貼合於共振片32的固定部32c，進而使得壓電致動器33得以與共振片32組配結合，如此直接透過將上述壓電致動器33之懸浮板33a採以沖壓成形構成一腔室空間37的結構改良，所需的腔室空間37得以透過調整壓電致動器33之懸浮板33a沖壓成形距離來完成，有效地簡化了調整腔室空間37的結構設計，同時也達成簡化製程，縮短製程時間等優點。此外，第一絕緣片34、導電片35及第二絕緣片36皆為框型的薄型片體，依序堆疊於壓電致動器33即組構成微型泵3整體結構。

為了瞭解上述微型泵3提供氣體傳輸之輸出作動方式，請繼續參閱第6C圖至第6E圖所示，請先參閱第6C圖，壓電致動器33的壓電元件33d被施加驅動電壓後產生形變帶動懸浮板33a向下位移，此時腔室空間37的容積提升，於腔室空間37內形成了負壓，便汲取匯流腔室31c內的氣體進入腔室空間37內，同時共振片32受到共振原理的影響被同步向下位移，連帶增加了匯流腔室31c的容積，且因匯流腔室31c內的氣體進入腔室空間37的關係，造成匯流腔室31c內同樣為負壓狀態，進而通過進流孔31a、匯流排槽31b來吸取氣體進入匯流腔室31c內；請再參閱第6D圖，壓電元件33d帶動懸浮板33a向上位移，壓縮腔室空間37，同樣的，共振片32被懸浮板33a因共振而向上位移，迫使同步推擠腔室空間37內的氣體往下通過間隙33e向下傳輸，以達到傳輸氣體的效果；最後請參閱第6E圖，當懸浮板33a被向下帶動時，共振片32也同時被帶動而向下位移，此時的共振片32將使壓縮腔室空間37內的氣體向間隙33e移動，並且提升匯流腔室31c內的容積，讓氣體能夠持續地通過進流孔31a、匯流排槽31b來匯聚於匯流腔室31c內，透過不斷地重複上述第6C圖至第6E圖所示之微型泵3提供氣體傳輸作動步驟，使微型泵3能夠連續將氣體自進流孔31a導引進入進流板31及共振片32所構成流道產生壓力梯度，再由間隙33e向下傳輸，使氣體高速流動，達到微型泵3傳輸氣體輸出的作動操作。

請繼續參閱第6A圖，微型泵3之進流板31、共振片32、壓電致動器33、第一絕緣片34、導電片35及第二絕緣片36皆可透過微機電的面型微加工技術製程，使微型泵3的體積縮小，以構成一微機電系統之微型泵3。

由上述說明可知，本案所提供之一種微粒偵測模組在具體實施時，微型泵3受驅動吸引、引導基座1外部之氣體快速地被導入偵測通道13中，氣體通過偵測通道13與光束通道14正交位置，受雷射光器23照射而投射光點至微粒傳感器22，微粒傳感器22偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。如此本案所提供微粒偵測模組可應用組裝於可攜式電子裝置上，以形成移動式微粒偵測裝置。其中可攜式裝置為一手機、一平板電腦、一穿戴式裝置及一筆記型電腦之其中之一。或者本案所提供微粒偵測模組可應用組裝於穿戴配件上，以形成移動式微粒偵測裝置。其中該穿戴配件為一吊飾、一鈕扣、一眼鏡及一手錶之其中之一。

當然，本案所提供微粒偵測模組之微型泵在另一較佳實施例中也可為一鼓風箱形式之微型泵來實施氣體傳輸，請參閱如第4B圖、第7圖及第8A圖所示，上述之微型泵4承載於基座1之微型泵承載區12中，並覆蓋導氣凹槽121，微型泵4包含有依序堆疊之噴氣孔片41、腔體框架42、致動體43、絕緣框架44及導電框架45。其中噴氣孔片41包含了複數個連接件41a、一懸浮片41b及一中心孔洞41c，懸浮片41b可彎曲振動，複數個連接件41a鄰接於懸浮片41b的周緣，本實施例中，連接件41a其數量為4個，分別鄰接於懸浮片41b的4個角落，但不此以為限，而中心孔洞41c形成於懸浮片41b的中心位置；腔體框架42承載疊置於懸浮片41b上，致動體43承載疊置於腔體框架42上，並包含了一壓電載板43a、一調整共振板43b及一壓電板43c，其中，壓電載板43a承載疊置於腔體框架42上，調整共振板43b承載疊置於壓電載板43a上，壓電板43c承載疊置於調整共振板43b上，並於施加電壓後發生形變以帶動壓電載板43a及調整共振板43b進行往復式彎曲振動；絕緣框架44則是承載疊置於致動體43之壓電載板43a上，導電框架45承載疊置於絕緣框架44上，其中，致動體43、腔體框架42及懸浮片41b之間形成一共振腔室46，其中，調整共振板43b的厚度大於壓電載板43a的厚度。

請參閱第8A圖至第8C圖，微型泵4透過連接件41a設置於微型泵承載區121上，噴氣孔片41與導氣凹槽121的底面間隔設置，並於兩者之間形成氣流腔室47；請再參閱第8B圖，當施加電壓於致動體43之壓電板43c時，壓電板43c因壓電效應開始產生形變並同部帶動調整共振板43b與壓電載板43a，此時，噴氣孔片41會因亥姆霍茲共振（Helmholtz resonance）原理一起被帶動，使得致動體43向上移動，由於致動體43向上位移，使得噴氣孔片41與導氣凹槽121的底面之間的氣流腔室47的容積增加，其內部氣壓形成負壓，於微型泵4外的氣體將因為壓力梯度由噴氣孔片41的連接件41a與導氣凹槽121的側壁之間的空隙進入氣流腔室47並進行集壓；最後請參閱第6C圖，氣體不斷地進入氣流腔室47內，使氣流腔室47內的氣壓形成正壓，此時，致動體43受電壓驅動向下移動，壓縮氣流腔室47的容積，並且推擠氣流腔室47內氣體，使氣體由排氣出口16排出於基座1外，透過不斷地重複上述第8B圖至第8C圖所示之微型泵4提供氣體傳輸作動步驟，使微型泵4能夠連續將氣體由噴氣孔片41的連接件41a與導氣凹槽121的側壁之間的空隙進入氣流腔室47構成流道產生壓力梯度，使氣體高速流動，達到微型泵4傳輸氣體輸出的作動操作。

請參閱第8A圖所示，上述微型泵4也可為透過微機電製程的方式所製出的微機電系統氣體泵浦，其中噴氣孔片41、腔體框架42、致動體43、絕緣框架44及導電框架45皆可透過面型微加工技術製成，以縮小微型泵4的體積。

綜上所述，本案所提供之微粒偵測模組，利用薄型基座之偵測通道及光束通道，配置定位偵測部件之雷射光器及微粒傳感器在其中，以偵測通過偵測通道與光束通道正交位置之氣體中所含懸浮微粒大小及濃度，並利用微型泵將基座外氣體快速汲取進入偵測通道以偵測氣體中懸浮微粒的濃度，而本裝置非常適合應用、組裝於可攜式電子裝置及穿戴配件上，以形成移動式微粒偵測裝置，供使用者可隨時隨地的監測周遭的懸浮微粒濃度，極具產業利用性及進步性。

1‧‧‧基座

1a‧‧‧第一表面

1b‧‧‧第二表面

11‧‧‧偵測部件承載區

12‧‧‧微型泵承載區

121‧‧‧導氣凹槽

13‧‧‧偵測通道

14‧‧‧光束通道

15‧‧‧進氣入口

16‧‧‧排氣出口

2‧‧‧偵測部件

21‧‧‧偵測驅動電路板

22‧‧‧微粒傳感器

23‧‧‧雷射光器

231‧‧‧光定位部件

232‧‧‧雷射發射元件

24‧‧‧微處理器

3‧‧‧微型泵

31‧‧‧進流板

31a‧‧‧進流孔

31b‧‧‧匯流排槽

31c‧‧‧匯流腔室

32‧‧‧共振片

32a‧‧‧中空孔

32b‧‧‧可動部

32c‧‧‧固定部

33‧‧‧壓電致動器

33a‧‧‧懸浮板

33b‧‧‧外框

33c‧‧‧支架

33d‧‧‧壓電元件

33e‧‧‧間隙

33f‧‧‧凸部

34‧‧‧第一絕緣片

35‧‧‧導電片

36‧‧‧第二絕緣片

37‧‧‧腔室空間

4‧‧‧微型泵

41‧‧‧噴氣孔片

41a‧‧‧連接件

41b‧‧‧懸浮片

41c‧‧‧中心孔洞

42‧‧‧ 腔體框架

43‧‧‧ 致動體

43a‧‧‧ 壓電載板

43b‧‧‧調整共振板

43c‧‧‧壓電板

44‧‧‧絕緣框架

45‧‧‧導電框架

46‧‧‧共振腔室

47‧‧‧氣流腔室

5‧‧‧絕緣板件

6‧‧‧基座外蓋板件

61‧‧‧進氣入口

62‧‧‧排氣出口

H‧‧‧高度

L‧‧‧長度

W‧‧‧寬度

第1圖所示為本案微粒偵測模組之外觀示意圖。 第2圖所示為本案微粒偵測模組之相關構件分解示意圖。 第3圖所示為本案微粒偵測模組之基座示意圖。 第4A圖所示為本案微粒偵測模組之一較佳微型泵之偵測實施示意圖。 第4B圖所示為本案微粒偵測模組之另一較佳微型泵之偵測實施示意圖。 第5A圖所示為本案微粒偵測模組之一較佳微型泵相關構件由俯視角度視得之分解示意圖。 第5B圖所示為本案微粒偵測模組之一較佳微型泵相關構件由仰視角度視得之分解示意圖。 第6A圖所示為本案微粒偵測模組之一較佳微型泵剖面示意圖。 第6B圖所示為本案微粒偵測模組之一較佳微型泵之另一較佳壓電致動器實施例剖面示意圖。 第6C圖至第6E圖所示為第6A圖中本案微粒偵測模組之一較佳微型泵作動示意圖。 第7圖所示為本案微粒偵測模組之另一較佳微型泵相關構件分解示意圖。 第8A圖所示為本案微粒偵測模組之另一較佳微型泵剖面示意圖。 第8B圖至第8C圖所示為第8A圖中本案微粒偵測模組之另一較佳微型泵作動示意圖。 第9圖所示為本案微粒偵測模組之基座外蓋板件外觀示意圖。

Claims (23)

1. 一種微粒偵測模組，包含：一基座，具有一長度、一寬度及一高度，該長度為10~60mm，該寬度為10~50mm，該高度為1~7mm，內部具有一偵測部件承載區、一微型泵承載區、一偵測通道及一光束通道，該微型泵承載區具有一導氣凹槽，該微型泵承載區與該偵測通道連通，該偵測部件承載區與該光束通道連通，且該偵測通道與該光束通道正交設置；一偵測部件，包含一雷射光器及一微粒傳感器，該雷射光器設置於該基座之該偵測部件承載區定位，並能發射光束投射於該光束通道中，該微粒傳感器對應設置到該偵測通道與該光束通道正交位置；以及一微型泵，承載於該基座之該微型泵承載區中，並覆蓋該導氣凹槽；其中，該微型泵受驅動吸引、引導該基座外部之一氣體快速導入該偵測通道中，該氣體通過該偵測通道與該光束通道正交位置，受該雷射光器照射而投射光點至該微粒傳感器，該微粒傳感器偵測該氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該基座之長度為34~36mm。
3. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該基座之寬度為29~31mm。
4. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該基座之高度為4.5~5.5mm。
5. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微粒傳感器為PM2.5傳感器。
6. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該基座具有一第一表面及一第二表面，該微型泵承載區設置於該第一表面，該偵測部件承 載區、該偵測通道及該光束通道貫通該第一表面及該第二表面，以及該基座側邊上具有一進氣入口及一排氣出口，該進氣入口與該偵測通道連通，該排氣出口與該導氣凹槽連通，該微型泵受驅動吸引、引導該基座外部之該氣體快速由該進氣入口導入該偵測通道中，並通過該偵測通道與該光束通道正交位置後，再進入該導氣凹槽中而由該排氣出口排出於該基座外。
7. 如申請專利範圍第6項所述之微粒偵測模組，其中該偵測部件更包含有一偵測驅動電路板及一微處理器，該雷射光器及該微粒傳感器封裝於該偵測驅動電路板上，且該偵測驅動電路板封蓋於該基座之該第二表面上，並使該雷射光器對應設置於該偵測部件承載區中，以及該微粒傳感器對應設置到該偵測通道與該光束通道正交位置，而該微處理器封裝於該偵測驅動電路板上，以控制該雷射光器及該微粒傳感器之驅動，使該雷射光器發射光束照射於該光束通道中，並通過該偵測通道與該光束通道正交位置之該氣體，並使該氣體產生投射光點投射於該微粒傳感器，該微粒傳感器偵測該氣體中所含懸浮微粒大小及濃度，並輸出偵測訊號，而該微處理器接收該微粒傳感器所輸出之偵測訊號進行分析，以輸出偵測數據。
8. 如申請專利範圍第7項所述之微粒偵測模組，更包括有一絕緣板件，封蓋於該基座之該第一表面上，使該基座外部之該氣體由該進氣入口導入該偵測通道中，再通過該微型泵承載區之該導氣凹槽，再由該排氣出口排出於該基座外，以形成一導氣路徑。
9. 如申請專利範圍第8項所述之微粒偵測模組，進一步包含一基座外蓋板件，承置於該絕緣板件上封閉該基座的該第一表面，以形成電子干擾防護作用，該基座外蓋板件對應到該基座之該進氣入口位置也具有一進氣入口予以對應連通，該基座外蓋板件對應到該基座之該排氣出口位置 也具有一排氣出口予以對應連通。
10. 如申請專利範圍第7項所述之微粒偵測模組，其中該雷射光器包含一光定位部件及一雷射發射元件，該光定位部件設置定位於該偵測驅動電路板上，而該雷射發射元件嵌入設置於該光定位部件中，並電性連接該偵測驅動電路板，以受該微處理器控制驅動，並發射光束照射於該光束通道中。
11. 如申請專利範圍利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵包含：一進流板，具有至少一進流孔、至少一匯流排槽及一匯流腔室，其中該進流孔供以導入該氣體，該進流孔對應貫通該匯流排槽，且該匯流排槽匯流到該匯流腔室，使該進流孔所導入之該氣體得以匯流至該匯流腔室中；一共振片，接合於該進流板上，具有一中空孔、一可動部及一固定部，該中空孔位於該共振片中心處，並與該進流板之該匯流腔室對應，而該可動部設置於該中空孔周圍且與該匯流腔室相對的區域，而該固定部設置於該共振片的外周緣部分而貼固於該進流板上；以及一壓電致動器，接合於該共振片上相對應設置；其中，該共振片與該壓電致動器之間具有一腔室空間，以於該壓電致動器受驅動時，使該氣體由該進流板之該進流孔導入，經該匯流排槽匯集至該匯流腔室中，再流經該共振片之該中空孔，由該壓電致動器與該共振片之該可動部產生共振傳輸該氣體。
12. 如申請專利範圍第11項所述之微粒偵測模組，其中該壓電致動器包含：一懸浮板，具有一正方形型態，可彎曲振動；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側； 至少一支架，連接於該懸浮板與該外框之間，以提供該懸浮板彈性支撐；以及一壓電元件，具有一邊長，該邊長小於或等於該懸浮板之一邊長，且該壓電元件貼附於該懸浮板之一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。
13. 如申請專利範圍第11項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵進一步包含一第一絕緣片、一導電片及一第二絕緣片，其中該進流板、該共振片、該壓電致動器、該第一絕緣片、該導電片及該第二絕緣片依序堆疊結合設置。
14. 如申請專利範圍第12項所述之微粒偵測模組，其中該懸浮板包含一凸部，設置於該懸浮板貼附該壓電元件之表面的相對之另一表面。
15. 如申請專利範圍第14項所述之微粒偵測模組，其中該凸部為以蝕刻製程製出一體成形突出於該懸浮板貼附該壓電元件之表面的相對之另一表面上之凸狀結構。
16. 如申請專利範圍第11項所述之微粒偵測模組，其中該壓電致動器包含：一懸浮板，具有一正方形型態，可彎曲振動；一外框，環繞設置於該懸浮板之外側；至少一支架，連接成形於該懸浮板與該外框之間，以提供該懸浮板彈性支撐，並使該懸浮板之一表面與該外框之一表面形成為非共平面結構，且使該懸浮板之一表面與該共振板保持一腔室空間；以及一壓電元件，具有一邊長，該邊長小於或等於該懸浮板之一邊長，且該壓電元件貼附於該懸浮板之一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。
17. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵包含：一噴氣孔片，包含複數個連接件、一懸浮片及一中心孔洞，該懸浮 片可彎曲振動，該複數個連接件鄰接於該懸浮片周緣並彈性支撐該懸浮片，而該中心孔洞形成於該懸浮片的中心位置，該噴氣孔片透過該複數個連接件設置於該基座之該微型泵承載區之該導氣凹槽上方，並與該導氣凹槽之間形成一氣流腔室，且該複數個支架及該懸浮片之間形成至少一空隙；一腔體框架，承載疊置於該懸浮片上；一致動體，承載疊置於該腔體框架上，以接受電壓而產生往復式地彎曲振動；一絕緣框架，承載疊置於該致動體上；以及一導電框架，承載疊設置於該絕緣框架上；其中，該致動體、該腔體框架及該懸浮片之間形成一共振腔室，透過驅動該致動體以帶動該噴氣孔片產生共振，使該噴氣孔片之該懸浮片產生往復式地振動位移，以使該氣體通過該至少一空隙進入該氣流腔室，實現該氣體之傳輸流動。
18. 如申請專利範圍第17項所述之微粒偵測模組，其中該致動體包含：一壓電載板，承載疊置於該腔體框架上；一調整共振板，承載疊置於該壓電載板上；以及一壓電板，承載疊置於該調整共振板上，以接受電壓而驅動該壓電載板及該調整共振板產生往復式地彎曲振動。
19. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微型泵為一微機電系統之微型泵。
20. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微粒偵測模組應用組裝於一可攜式電子裝置上，以形成移動式微粒偵測裝置。
21. 如申請專利範圍第20項所述之微粒偵測模組，其中該可攜式裝置為一手機、一平板電腦、一穿戴式裝置及一筆記型電腦之其中之一。
22. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組，其中該微粒偵測模組應用組裝於一穿戴配件上，以形成移動式微粒偵測裝置。
23. 如申請專利範圍第22項所述之微粒偵測模組，其中該穿戴配件為一吊飾、一鈕扣、一眼鏡及一手錶之其中之一。