TWM574683U - 微粒偵測模組 - Google Patents

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莫皓然
陳世昌
廖家淯
詹士德
曾俊隆
黃啟峰
韓永隆
蔡長諺
李偉銘
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研能科技股份有限公司
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Abstract

一種微粒偵測模組,包含:一基座;一偵測部件,設置於該基座內,並包含一微粒傳感器、一雷射發射器及一光定位部件,光定位部件具有具有一偵測通道及一光束通道,且偵測通道與光束通道為正交設置,雷射發射器裝置於光定位部件中發射光束投射於該光束通道中,微粒傳感器對應設置到偵測通道與光束通道正交設置;一微型泵,承載於該基座中;其中,微型泵受驅動吸附引導基座外部之氣體快速導入偵測通道中,氣體通過偵測通道與該光束通道正交設置,受雷射發射器照射而投射光點至微粒傳感器,微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。

Description

微粒偵測模組
本案關於一種微粒偵測模組,尤指一種可組配於薄型可攜式裝置進行氣體監測的微粒偵測模組。
懸浮微粒是指於空氣中含有的固體顆粒或液滴,由於其粒徑非常細微,容易通過鼻腔內的鼻毛進入人體的肺部,因而引起肺部的發炎、氣喘或心血管的病變,若是其他汙染物依附於懸浮微粒上,更會加重對於呼吸系統的危害。近年來,空氣汙染問題漸趨嚴重,尤其是細懸浮微粒(例如:PM2.5或PM10)之濃度數據常常過高,空氣懸浮微粒濃度之監測漸受重視,但由於空氣會隨風向、風量不定量的流動,而目前檢測懸浮微粒的空氣品質監測站大都為定點,所以根本無法確認當下周遭的懸浮微粒濃度,因此需要一個微型方便攜帶的氣體偵測裝置來供使用者可無時無刻、隨時隨地的檢測周遭的懸浮微粒濃度。
有鑑於此,要如何能夠隨時隨地監測懸浮微粒的濃度,實為目前迫切需要解決之問題。
本案之主要目的係提供一種微粒偵測模組,適合應用組裝於可攜式電子裝置及穿戴配件上,利用微型泵將基座外氣體快速汲取進入基座之偵測通道及光束通道正交設置,由微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度,以形成移動式隨時隨地氣體微粒之偵測,供使用者可無時無刻、隨時隨地的監測周遭的懸浮微粒濃度。
本案之一廣義實施態樣為一種微粒偵測模組,包含:一基座,內部具有一微型泵承載區、一偵測部件承載區及一導氣通道,其中該微型泵承載區具有一導氣凹槽,該導氣凹槽一側具有一通氣口,該偵測部件承載區具有一進氣入口、一容置隔室及一導氣缺口,該進氣入口與該導氣缺口形成一連通路徑,而該導氣缺口與該容置隔室連通,以及該導氣通道設置於該微型泵承載區與該偵測部件承載區之間,且該導氣通道連通該容置隔室與該微型泵承載區之該通氣口;一偵測部件,包含一微粒傳感器及一雷射發射器,設置於該偵測部件承載區之容置隔室中,以對通過氣體透過雷射發射器發射光束至氣體,以產生投射光點至該微粒傳感器,由該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度;一微型泵,承載於該基座之該微型泵承載區中,並封蓋該導氣凹槽,包括有一氣體傳輸致動器,該氣體傳輸致動器由一噴氣孔片、一腔體框架、一致動體、一絕緣框架及一導電框架依序堆疊組成,供受驅動控制氣體由該導氣凹槽中汲取傳輸;其中,藉由該進氣入口連通該導氣缺口而連通該容置隔室,再透過該容置隔室與該導氣通道連通,且該導氣通道通與該通氣口連通,再透過該通氣口連通該導氣凹槽,以形成一導氣路徑,而該微型泵受驅動控制以對該導氣凹槽所連通該導氣路徑之氣體進行汲取傳輸,使該基座外部之氣體得以快速導入該導氣路徑,並經過該容置隔室中通過該光束通道與該偵測通道正交設置,受該雷射發射器照射而投射光點至該微粒傳感器,該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。
體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化,其皆不脫離本案的範圍,且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用,而非用以限制本案。
請參閱第1圖、第2A圖及第2B圖所示,本案提供一種微粒偵測模組,包含一基座1、一偵測部件2以及一微型泵3。又請參閱第3A圖、第3B圖、第6圖及第7圖所示,上述之基座1內部具有一微型泵承載區11、一偵測部件承載區12及一導氣通道13,其中微型泵承載區11具有一導氣凹槽111,導氣凹槽111一側具有一通氣口112,而偵測部件承載區12具有一進氣入口121、一容置隔室122及一導氣缺口123,進氣入口121與導氣缺口123形成一連通路徑(如第6圖所示箭頭所指之路徑),且導氣缺口123與容置隔室122連通,導氣通道13設置於微型泵承載區11與偵測部件承載區12之間,且導氣通道13連通容置隔室122與微型泵承載區11之通氣口112。
請參閱第2A圖、第2B圖、第4A圖、第4B圖、第5圖、第6圖及第7圖所示,偵測部件2包含有一偵測部件驅動電路板21、一微粒傳感器22、一光定位部件23及一雷射發射器24。其中偵測部件驅動電路板21具有一缺口部位211,偵測部件驅動電路板21封蓋偵測部件承載區12內,讓缺口部位211對應到基座1之導氣缺口123位置,讓進氣入口121與導氣缺口123形成一連通路徑(如第6圖所示箭頭所指之路徑),基座1外之氣體由進氣入口121導入沿偵測部件驅動電路板21引導而透過缺口部位211進入導氣缺口123中,再導入與導氣缺口123連通之容置隔室122內,再透過容置隔室122與導氣通道13連通,且導氣通道13與微型泵承載區11之通氣口112連通,再透過通氣口112連通導氣凹槽111,以形成一導氣路徑。其中微粒傳感器22為PM2.5傳感器或PM10傳感器。
再請參閱第2A圖、第2B圖、第4A圖、第4B圖、第5圖、第6圖及第7圖所示,微粒傳感器22與雷射發射器24封裝於偵測部件驅動電路板21上電性連接,而光定位部件23具有一容置槽231、一光束通道232、一偵測框口233及一偵測通道234(如第7圖所示),雷射發射器24嵌置定位容置槽231中,且容置槽231與光束通道232連通,使雷射發射器24所發射光束投射於光束通道232中,又光束通道232與偵測通道234正交設置,以及偵測框口233設置於光束通道232與偵測通道234正交設置,而微粒傳感器22封裝於偵測部件驅動電路板21上,使其對應到偵測框口233之位置作偵測,以及偵測部件驅動電路板21封蓋於偵測部件承載區12中,讓光定位部件23設置於基座1之容置隔室122內,以及偵測通道234與基座1之導氣缺口123對應連通,並與導氣通道13連通,藉由進氣入口121連通導氣缺口123,再連通容置隔室122而與偵測通道234連通,並透過偵測通道234與導氣通道13連通,再透過導氣通道通13與微型泵承載區11之通氣口112連通,以及通氣口112連通導氣凹槽111,以形成一導氣路徑。
再請參閱第2A圖、第2B圖、第5圖、第6圖及第7圖所示,上述之微型泵3承載於基座1之微型泵承載區11中,並封蓋導氣凹槽111,微型泵3受驅動控制以對導氣凹槽111所連通該導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸。如此該基座1外部之氣體得以受微型泵3汲取並快速導入導氣路徑,並經過容置隔室122中通過光束通道232與偵測通道234正交位置,受雷射發射器24照射而投射光點至微粒傳感器22,微粒傳感器22偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度,偵測後氣體並能透過導氣路徑中導氣通道13導入微型泵承載區11之通氣口112中,再導入導氣凹槽111受微型泵3汲取,以排出基座1外。
再請參閱第2A圖及第2B圖所示,微粒偵測模組進一步包括一偵測部件外蓋板件4及一基座外蓋板件5,其中偵測部件外蓋板件4承置於偵測部件承載區12予以封閉形成電子干擾防護作用,且偵測部件外蓋板件4對應到偵測部件承載區12之進氣入口121位置也具有一進氣入口41予以對應連通,而基座外蓋板件5封蓋於基座1相對於微型泵承載區11及偵測部件承載區12相對之一表面上形成電子干擾防護作用。
再請參閱第6圖、第7圖、第8圖、第9A圖及第9B圖所示,上述之微型泵3包含有一微型泵驅動電路板31、一氣體傳輸致動器32、一承置基座33及一外殼板件34。其中承置基座33承置定位於基座1之微型泵承載區11上,並封蓋導氣凹槽111,且承置基座33對應導氣凹槽111之表面具有一連通口331,又承置基座33內部具有一承置框槽332,承置框槽332內部並具有一進氣凹槽333,進氣凹槽333與連通口331連通,以及在承置基座33側邊具有一排氣口334,與承置框槽332連通,而氣體傳輸致動器32承置進氣凹槽333上,並予以封閉進氣凹槽333上,氣體傳輸致動器32受驅動控制以對導氣凹槽111所連通導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸,讓基座1外部之氣體由進氣入口121快速導入導氣路徑,並通過偵測通道234由微粒傳感器22進行氣體中所含懸浮微粒大小及濃度之偵測,再透過通氣口112連通流入導氣凹槽111中,如此再透過連通口331進入承置基座33內,經過氣體傳輸致動器32汲取及傳輸至承置框槽332內部,最後由排氣口334排出於微型泵3外。當然,微型泵3可進一步將外殼板件34封蓋於承置基座33外部形成電子干擾防護作用,外殼板件34對應到承置基座33之連通口331位置也具有一連通口341予以對應連通,以及該外殼板件34對應到承置基座33之排氣口334位置也具有一排氣口342予以對應連通。
為了瞭解上述微型泵3之氣體傳輸致動器32提供氣體汲取及傳輸之相關構件,請繼續參閱第10圖及第11A圖至第11C圖所示,氣體傳輸致動器32由包含有依序堆疊之噴氣孔片321、腔體框架322、致動體323、絕緣框架324及導電框架325。噴氣孔片321包含了複數個連接件321a、一懸浮片321b及一中心孔洞321c,懸浮片321b可彎曲振動,複數個連接件321a鄰接於懸浮片321b的周緣,本實施例中,連接件321a其數量為4個,分別鄰接於懸浮片321b的4個角落,但不此以為限,而中心孔洞321c形成於懸浮片321b的中心位置;腔體框架322承載疊置於懸浮片321b上,致動體323承載疊置於腔體框架322上,並包含了一壓電載板323a、一調整共振板323b、一壓電片323c,其中,壓電載板323a承載疊置於腔體框架322上,調整共振板323b承載疊置於壓電載板323a上,壓電片323c承載疊置於調整共振板323b上,供施加電壓後發生形變以帶動壓電載板323a及調整共振板323b進行往復式彎曲振動;絕緣框架324則是承載疊置於致動體323之壓電載板323a上,導電框架325承載疊置於絕緣框架324上,其中,致動體323、腔體框架322及該懸浮片321b之間形成一共振腔室326,其中,調整共振板323b的厚度大於壓電載板323a的厚度。
再請第11A圖所示,氣體傳輸致動器32透過連接件321a承置於進氣凹槽333上,噴氣孔片321與進氣凹槽333的底面間隔設置,並於兩者之間形成氣流腔室327;請再參閱第11B圖所示,當施加電壓於致動體323之壓電片323c時,壓電片323c因壓電效應開始產生形變並同部帶動調整共振板323b與壓電載板323a,此時,噴氣孔片321會因亥姆霍茲共振(Helmholtz resonance)原理一起被帶動,使得致動體323朝向氣流腔室327之方向移動,使得噴氣孔片321與進氣凹槽333的底面之間的氣流腔室327的容積壓縮,氣流腔室327內氣體被壓縮由噴氣孔片321的連接件321a與進氣凹槽333的側壁之間的空隙進入承置框槽332內,進而傳輸氣流腔室327內氣體到承置框槽332內;最後請參閱第11C圖,當施加電壓於致動體323之壓電片323c轉換時,壓電片323c因壓電效應開始產生形變並同部帶動調整共振板323b與壓電載板323a,此時,噴氣孔片321會因亥姆霍茲共振(Helmholtz resonance)原理一起被帶動,使得致動體323朝遠離氣流腔室327之方向移動,因此氣流腔室327內容積被加大,並產生一吸力,以對導氣凹槽111所連通導氣路徑之氣體進行汲取(如第7圖所示),由連通口331進入氣流腔室327內,同時承置框槽332內氣體受壓縮而得以由所連通由排氣口334、342排出於微型泵3外(如第6圖所示);透過不斷地重複上述第11B圖至第11C圖所示之氣體傳輸致動器32提供氣體傳輸作動步驟,使氣體傳輸致動器32能夠在氣流腔室327構成流道產生壓力梯度,使氣體高速流動,達到氣體傳輸致動器32傳輸氣體輸出的作動操作。
上述氣體傳輸致動器32也可透過微機電製程的方式所製出的微機電系統氣體泵浦,其中噴氣孔片321、腔體框架322、致動體323、絕緣框架324及導電框架325皆可透過面型微加工技術製成,以縮小氣體傳輸致動器32的體積。
由上述說明可知,本案所提供一種微粒偵測模組在具體實施中,當微型泵3受驅動吸附引導基座1外部之氣體快速導入偵測通道234中,氣體通過偵測通道234與光束通道233正交位置,受雷射發射器24照射而投射光點至微粒傳感器22,微粒傳感器22偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。如此本案所提供微粒偵測模組應用組裝於可攜式電子裝置上,以形成移動式氣體微粒之偵測模組。其中可攜式裝置包含一手機、一平板電腦、一穿戴式裝置及一筆記型電腦之其中之一。或者本案所提供微粒偵測模組應用組裝於穿戴配件上,以形成移動式氣體微粒之偵測模組。其中該穿戴配件包含一吊飾、一鈕扣、一眼鏡及一手錶之其中之一。
綜上所述,本案所提供之微粒偵測模組,非常適合應用組裝於可攜式電子裝置及穿戴配件上,利用微型泵將基座外氣體快速汲取進入基座之偵測通道及光束通道正交位置,由微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度,以形成移動式氣體微粒之偵測模組,供使用者可無時無刻、隨時隨地地監測周遭的懸浮微粒濃度,極具產業利用性及進步性。
1‧‧‧基座
11‧‧‧微型泵承載區
111‧‧‧導氣凹槽
112‧‧‧通氣口
12‧‧‧偵測部件承載區
121‧‧‧進氣入口
122‧‧‧容置隔室
123‧‧‧導氣缺口
13‧‧‧導氣通道
2‧‧‧偵測部件
21‧‧‧偵測部件驅動電路板
211‧‧‧缺口部位
22‧‧‧微粒傳感器
23‧‧‧光定位部件
231‧‧‧容置槽
232‧‧‧光束通道
233‧‧‧偵測框口
234‧‧‧偵測通道
24‧‧‧雷射發射器
3‧‧‧微型泵
31‧‧‧微型泵驅動電路板
32‧‧‧氣體傳輸致動器
321‧‧‧噴氣孔片
321a‧‧‧連接件
321b‧‧‧懸浮片
321c‧‧‧中心孔洞
322‧‧‧腔體框架
323‧‧‧致動體
323a‧‧‧壓電載板
323b‧‧‧調整共振板
323c‧‧‧壓電板
324‧‧‧絕緣框架
325‧‧‧導電框架
326‧‧‧共振腔室
327‧‧‧氣流腔室
33‧‧‧承置基座
331‧‧‧連通口
332‧‧‧承置框槽
333‧‧‧進氣凹槽
334‧‧‧排氣口
34‧‧‧外殼板件
341‧‧‧連通口
342‧‧‧排氣口
4‧‧‧偵測部件外蓋板件
41‧‧‧進氣入口
5‧‧‧基座外蓋板件
第1圖所示為本案微粒偵測模組外觀示意圖。 第2A圖所示為本案微粒偵測模組由俯視角度視得相關構件分解示意圖。 第2B圖所示為本案微粒偵測模組由仰視角度視得相關構件分解示意圖。 第3A圖所示為本案微粒偵測模組之基座由俯視角度視得外觀示意圖。 第3B圖所示為本案微粒偵測模組之基座由仰視角度視得外觀示意圖。 第4A圖所示為本案偵測部件之雷射發射器及光定位部件由前視角度視得之分解示意圖。 第4B圖所示為本案偵測部件之雷射發射器及光定位部件由後視角度視得之分解示意圖。 第5圖所示為本案微粒偵測模組之偵測部件組裝於基座之偵測部件承載區中實施示意圖。 第6圖所示為本案微粒偵測模組之實施氣體偵測之氣體流通實施示意圖1。 第7圖所示為本案微粒偵測模組之實施氣體偵測之氣體流通實施示意圖2。 第8圖所示為本案微粒偵測模組之微型泵由仰視角度視得外觀示意圖。 第9A圖所示為本案微粒偵測模組之微型泵相關構件由俯視角度視得之分解示意圖。 第9B圖所示為本案微粒偵測模組之微型泵相關構件由仰視角度視得之分解示意圖。 第10圖所示為本案微型泵之氣體傳輸致動器相關構件之分解示意圖。 第11A圖所示為本案微型泵之氣體傳輸致動器之剖面示意圖。 第11B圖至第11C圖所示為第11A圖中本案微型泵之氣體傳輸致動器之作動示意圖。

Claims (13)

  1. 一種微粒偵測模組,包含: 一基座,內部具有一微型泵承載區、一偵測部件承載區及一導氣通道,其中該微型泵承載區具有一導氣凹槽,該導氣凹槽一側具有一通氣口,該偵測部件承載區具有一進氣入口、一容置隔室及一導氣缺口,該進氣入口與該導氣缺口形成一連通路徑,而該導氣缺口與該容置隔室連通,以及該導氣通道設置於該微型泵承載區與該偵測部件承載區之間,且該導氣通道連通該容置隔室與該微型泵承載區之該通氣口; 一偵測部件,包含一微粒傳感器及一雷射發射器,設置於該偵測部件承載區之容置隔室中,透過雷射發射器發射光束至通過氣體,以產生投射光點至該微粒傳感器,由該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度;以及 一微型泵,承載於該基座之該微型泵承載區中,並封蓋該導氣凹槽,包括有一氣體傳輸致動器,該氣體傳輸致動器由一噴氣孔片、一腔體框架、一致動體、一絕緣框架及一導電框架依序堆疊組成,供受驅動控制氣體由該導氣凹槽中汲取及傳輸; 其中,藉由該進氣入口連通該導氣缺口而連通該容置隔室,再透過該容置隔室與該導氣通道連通,且該導氣通道通與該通氣口連通,再透過該通氣口連通該導氣凹槽,以形成一導氣路徑,而該微型泵受驅動控制以對該導氣凹槽所連通該導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸,使該基座外部之氣體得以快速導入該導氣路徑,並經過該容置隔室中受該雷射發射器照射而投射光點至該微粒傳感器,該微粒傳感器偵測氣體中所含懸浮微粒大小及濃度。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組,其中該偵測部件包含一偵測部件驅動電路板及一光定位部件,其中該微粒傳感器與該雷射發射器封裝及電性連接於該偵測部件驅動電路板,該光定位部件具有一容置槽、一光束通道、一偵測框口及一偵測通道,該雷射發射器嵌置定位該容置槽中,且該容置槽與該光束通道連通,使該雷射發射器發射光束投射於該光束通道中,而該光束通道與該偵測通道正交設置,以及該偵測框口設置於該光束通道與該偵測通道正交設置,而該微粒傳感器封裝於該偵測部件驅動電路板上,該微粒傳感器之位置與該偵測框口相互對應,以及該偵測部件驅動電路板封蓋於該偵測部件承載區中,該光定位部件設置於該基座之該容置隔室內,以及該偵測通道與該基座之該導氣缺口對應連通,並與該導氣通道連通,藉由該進氣入口連通該導氣缺口,再連通該容置隔室而與該偵測通道連通,並透過該偵測通道與該導氣通道連通,再透過該導氣通道通與該通氣口連通,以及該通氣口連通該導氣凹槽,以形成該導氣路徑。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之微粒偵測模組,其中該偵測部件驅動電路板具有一缺口部位,該偵測部件驅動電路板封蓋該偵測部件承載區內,讓該缺口部位對應到該基座之該導氣缺口位置,該基座外之氣體由該進氣入口導入沿該偵測部件驅動電路板引導而透過該缺口部位進入該導氣缺口中,再導入該容置隔室內,再透過該容置隔室與該導氣通道連通,且該導氣通道與該通氣口連通,再透過該通氣口連通該導氣凹槽,以形成該導氣路徑。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組,其中該微粒傳感器為PM2.5傳感器。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組,進一步包含一偵測部件外蓋板件及一基座外蓋板件,其中該偵測部件外蓋板件承置於該偵測部件承載區予以封閉形成電子干擾防護作用,且該偵測部件外蓋板件對應到該偵測部件承載區之該進氣入口位置也具有一進氣入口予以對應連通,而該基座外蓋板件封蓋於該基座相對於該微型泵承載區及該偵測部件承載區相對之一表面上形成電子干擾防護作用。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組,其中該微型泵包含有一承置基座,其中該承置基座承置定位於該基座之該微型泵承載區上,並封蓋該導氣凹槽,且該承置基座對應該導氣凹槽之表面具有一連通口,又該承置基座內部具有一承置框槽,該承置框槽內部並具有一進氣凹槽,該進氣凹槽與該連通口連通,以及該承置基座側邊具有一排氣口,與該承置框槽連通,而該氣體傳輸致動器承置該進氣凹槽上,並予以封閉該進氣凹槽上,該氣體傳輸致動器受驅動控制以對該導氣凹槽所連通之該導氣路徑之氣體進行汲取及傳輸,讓該基座外部之氣體由該進氣入口快速導入該導氣路徑,並通過該偵測通道由該微粒傳感器進行氣體中所含懸浮微粒大小及濃度之偵測,再透過該通氣口連通流入該導氣凹槽中,再透過該承置基座之該連通口進入該承置基座內,經過該氣體傳輸致動器汲取並傳輸至該承置框槽內部,最後由該排氣口排出於該微型泵外。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之微粒偵測模組,其中該微型泵包含有一微型泵驅動電路板,該微型泵驅動電路板承置定位於該承置框槽上,而封閉該承置框槽,且該氣體傳輸致動器與該微型泵驅動電路板電性連接,以受控制驅動操作。
  8. 如申請專利範圍利範圍第7項所述之微粒偵測模組,其中該噴氣孔片包含複數個連接件、一懸浮片及一中心孔洞,該懸浮片可彎曲振動,該複數個連接件鄰接於該懸浮片周緣,而該中心孔洞形成於懸浮片的中心位置,透過複數個連接件固定設置於該承置基座之進氣凹槽上方定位,並提供彈性支撐該懸浮片,並該噴氣孔片與該進氣凹槽之間形成一氣流腔室,且該複數個連接件及該懸浮片之間形成至少一空隙;該腔體框架承載疊置於該懸浮片上;該致動體承載疊置於該腔體框架上,以接受電壓而產生往復式地彎曲振動;該絕緣框架承載疊置於該致動體上;該導電框架承載疊設置於該絕緣框架上;其中,該致動體、該腔體框架及該懸浮片之間形成一共振腔室,透過驅動該致動體以帶動該噴氣孔片產生共振,使該噴氣孔片之該懸浮片產生往復式地振動位移,以造成該氣流腔室內流道壓力梯度,而氣體通過該至少一空隙導出,再由該承置基座之該排氣出口排出,實現該氣體之傳輸流動。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之微粒偵測模組,其中該致動體包含: 一壓電載板,承載疊置於該腔體框架上; 一調整共振板,承載疊置於該壓電載板上;以及 一壓電板,承載疊置於該調整共振板上,以接受電壓而驅動該壓電載板及該調整共振板產生往復式地彎曲振動。
  10. 如申請專利範圍第6項所述之微粒偵測模組,其中該微型泵包含有一外殼板件,封蓋於該承置基座外部形成電子干擾防護作用,該外殼板件對應到該承置基座之該連通口位置也具有一連通口予以對應連通,以及該外殼板件對應到該承置基座之該排氣口位置也具有一排氣口予以對應連通。
  11. 如申請專利範圍第8項所述之微粒偵測模組,其中該氣體傳輸致動器為一微機電系統製出之氣體泵浦。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之微粒偵測模組,其中該微粒偵測模組應用組裝於一可攜式電子裝置。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之微粒偵測模組,其中該可攜式裝置包含一手機、一平板電腦、一穿戴式裝置及一筆記型電腦之其中之一。
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