CN110873686B - 微粒检测模块 - Google Patents

Abstract

一种微粒检测模块，包含基座、检测部件以及微型泵。基座具有微型泵承载区、检测部件承载区及导气通道。检测部件设置于检测部件承载区的容置隔室中，其包含微粒传感器及激光发射器，用以检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。微型泵承载于微型泵承载区中。微粒检测模块内部形成导气路径，微型泵受驱动控制以对导气路径的气体进行汲取及传输，气体得以快速导入导气路径，借此使检测部件检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。

Description

微粒检测模块

技术领域

本案关于一种微粒检测模块，尤指一种可组配于薄型可携式装置进行气体监测的微粒检测模块。

背景技术

悬浮微粒是指于空气中含有的固体颗粒或液滴，由于其粒径非常细微，容易通过鼻腔内的鼻毛进入人体的肺部，因而引起肺部的发炎、气喘或心血管的病变，若是其他污染物依附于悬浮微粒上，更会加重对于呼吸系统的危害。近年来，空气污染问题渐趋严重，尤其是细悬浮微粒(例如：PM2.5或PM10)的浓度数据常常过高，空气悬浮微粒浓度的监测渐受重视，但由于空气会随风向、风量不定量的流动，而目前检测悬浮微粒的空气品质监测站大都为定点，所以根本无法确认当下周遭的悬浮微粒浓度，因此需要一个微型方便携带的气体检测装置来供使用者可无时无刻、随时随地的检测周遭的悬浮微粒浓度。

有鉴于此，要如何能够随时随地监测悬浮微粒的浓度，实为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

本案的主要目的是提供一种微粒检测模块，适合应用组装于可携式电子装置及穿戴配件上，利用微型泵将基座外气体快速汲取进入基座的检测通道及光束通道正交设置，由微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度，以形成移动式微粒的检测模块，供使用者可无时无刻、随时随地的监测周遭的悬浮微粒浓度。

本案的一广义实施态样为一种微粒检测模块，包含：一基座，内部具有一微型泵承载区、一检测部件承载区及一导气通道，其中该微型泵承载区具有一导气凹槽，该导气凹槽一侧具有一通气口，该检测部件承载区具有一进气入口、一容置隔室及一导气缺口，该进气入口与该导气缺口形成一连通路径，而该导气缺口与该容置隔室连通，以及该导气通道设置于该微型泵承载区与该检测部件承载区之间，且该导气通道连通该容置隔室与该微型泵承载区的该通气口；一检测部件，包含一微粒传感器及一激光发射器，设置于该检测部件承载区的该容置隔室中，以对通过气体透过激光发射器发射光束至气体，以产生投射光点至该微粒传感器，由该微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度；一微型泵，承载于该基座的该微型泵承载区中，并封盖该导气凹槽；其中，借由该进气入口连通该导气缺口而连通该容置隔室，再透过该容置隔室与该导气通道连通，且该导气通道与该通气口连通，再透过该通气口连通该导气凹槽，以形成一导气路径，而该微型泵受驱动控制以对该导气凹槽所连通该导气路径的气体进行汲取及传输，使该基座外部的气体得以快速导入该导气路径，并经过该容置隔室中通过该光束通道与该检测通道正交设置，受该激光发射器照射而投射光点至该微粒传感器，该微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。

附图说明

为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明，其中：

图1所示为本案微粒检测模块的立体示意图。

图2A所示为本案微粒检测模块由俯视角度视得相关构件的分解示意图。

图2B所示为本案微粒检测模块由仰视角度视得相关构件的分解示意图。

图3A所示为本案微粒检测模块的基座由俯视角度视得外观示意图。

图3B所示为本案微粒检测模块的基座由仰视角度视得外观示意图。

图4A所示为本案检测部件的激光发射器及光定位部件由前视角度视得的分解示意图。

图4B所示为本案检测部件的激光发射器及光定位部件由后视角度视得的分解示意图。

图5所示为本案微粒检测模块的检测部件组装于基座的检测部件承载区中实施示意图。

图6所示为本案微粒检测模块的实施气体检测的气体流通实施示意图1。

图7所示为本案微粒检测模块的实施气体检测的气体流通实施示意图2。

图8所示为本案微粒检测模块的微型泵由仰视角度视得外观示意图。

图9A所示为本案微粒检测模块的微型泵相关构件由俯视角度视得分解示意图。

图9B所示为本案微粒检测模块的微型泵相关构件由仰视角度视得分解示意图。

图10A所示为本案微型泵的气体传输致动器相关构件由俯视角度视得的分解示意图。

图10B所示为本案微型泵的气体传输致动器相关构件由仰视角度视得的分解示意图。

图11A所示为本案微型泵的气体传输致动器的剖面示意图。

图11B所示为本案微型泵的气体传输致动器另一压电致动器实施例的剖面示意图。

图11C至图11E所示为图11A中本案微型泵的作动示意图。

附图标记说明

1：基座

11：微型泵承载区

111：导气凹槽

112：通气口

12：检测部件承载区

121：进气入口

122：容置隔室

123：导气缺口

13：导气通道

2：检测部件

21：检测部件驱动电路板

211：缺口部位

22：微粒传感器

23：光定位部件

231：容置槽

232：光束通道

233：检测框口

234：检测通道

24：激光发射器

3：微型泵

31：微型泵驱动电路板

32：气体传输致动器

321：进流板

321a：进流孔

321b：汇流排槽

321c：汇流腔室

322：共振片

322a：中空孔

322b：可动部

322c：固定部

323：压电致动器

323a：悬浮板

323b：外框

323c：支架

323d：压电元件

323e：间隙

323f：凸部

324：第一绝缘片

325：导电片

326：第二绝缘片

327：腔室空间

33：承置基座

331：连通口

332：承置框槽

333：进气凹槽

334：排气口

34：外壳板件

341：连通口

342：排气口

4：检测部件外盖板件

41：进气入口

5：基座外盖板件

具体实施方式

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。

请参阅图1、图2A及图2B所示，本案提供一种微粒检测模块，包含一基座1、一检测部件2以及一微型泵3。又请参阅图3A、图3B、图6及图7所示，上述的基座1内部具有一微型泵承载区11、一检测部件承载区12及一导气通道13，其中微型泵承载区11具有一导气凹槽111，导气凹槽111一侧具有一通气口112，而检测部件承载区12具有一进气入口121、一容置隔室122及一导气缺口123，进气入口121与导气缺口123形成一连通路径(如图6所示箭头所指的路径)，且导气缺口123与容置隔室122连通，导气通道13设置于微型泵承载区11与检测部件承载区12之间，且导气通道13连通容置隔室122与微型泵承载区11的通气口112。

请参阅图2A、图2B、图4A、图4B、图5、图6及图7所示，检测部件2包含有一检测部件驱动电路板21、一微粒传感器22、一光定位部件23及一激光发射器24。其中检测部件驱动电路板21具有一缺口部位211，检测部件驱动电路板21封盖检测部件承载区12内，让缺口部位211对应到基座1的导气缺口123位置，让进气入口121与导气缺口123形成一连通路径(如图6所示箭头所指的路径)，基座1外的气体由进气入口121导入沿检测部件驱动电路板21引导而透过缺口部位211进入导气缺口123中，再导入与导气缺口123连通的容置隔室122内，再透过容置隔室122与导气通道13连通，且导气通道13与微型泵承载区11的通气口112连通，再透过通气口112连通导气凹槽111，以形成一导气路径。其中微粒传感器22为PM2.5传感器或PM10传感器。

再请参阅图2A、图2B、图4A、图4B、图5、图6及图7所示，微粒传感器22与激光发射器24封装于检测部件驱动电路板21上电性连接，而光定位部件23具有一容置槽231、一光束通道232、一检测框口233及一检测通道234(如图7所示)，激光发射器24嵌置定位容置槽231中，且容置槽231与光束通道232连通，使激光发射器24所发射光束投射于光束通道232中，又光束通道232与检测通道234正交设置，以及检测框口233设置于光束通道232与检测通道234正交设置，而微粒传感器22封装于检测部件驱动电路板21上，使其对应到检测框口233的位置作检测，以及检测部件驱动电路板21封盖于检测部件承载区12中，让光定位部件23设置于基座1的容置隔室122内，以及检测通道234与基座1的导气缺口123对应连通，并与导气通道13连通，借由进气入口121连通导气缺口123，再连通容置隔室122而与检测通道234连通，并透过检测通道234与导气通道13连通，再透过导气通道13与微型泵承载区11的通气口112连通，以及通气口112连通导气凹槽111，以形成一导气路径。

再请参阅图2A、图2B、图5、图6及图7所示，上述的微型泵3承载于基座1的微型泵承载区11中，并封盖导气凹槽111，微型泵3受驱动控制以对导气凹槽111所连通该导气路径的气体进行汲取及传输。如此该基座1外部的气体得以受微型泵3汲取快速导入导气路径，并经过容置隔室122中通过光束通道232与检测通道234正交设置，受激光发射器24照射而投射光点至微粒传感器22，微粒传感器22检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度，检测后气体并能透过导气路径中导气通道13导入微型泵承载区11的通气口112中，再导入导气凹槽111受微型泵3汲取，并排出基座1外。

再请参阅图2A及图2B所示，微粒检测模块进一步包括一检测部件外盖板件4及一基座外盖板件5，其中检测部件外盖板件4承置于检测部件承载区12予以封闭形成电子干扰防护作用，且检测部件外盖板件4对应到检测部件承载区12的进气入口121位置也具有一进气入口41予以对应连通，而基座外盖板件5封盖于基座1相对于微型泵承载区11及检测部件承载区12相对的一表面上形成电子干扰防护作用。

再请参阅图6、图7、图8、图9A及图9B所示，上述的微型泵3包含有一微型泵驱动电路板31、一气体传输致动器32、一承置基座33及一外壳板件34。其中承置基座33承置定位于基座1的微型泵承载区11上，并封盖导气凹槽111，且承置基座33对应导气凹槽111的表面具有一连通口331，又承置基座33内部具有一承置框槽332，承置框槽332内部并具有一进气凹槽333，进气凹槽333与连通口331连通，以及在承置基座33侧边具有一排气口334，与承置框槽332连通，而气体传输致动器32承置进气凹槽333上，并予以封闭进气凹槽333上，气体传输致动器32受驱动控制以对导气凹槽111所连通导气路径的气体进行汲取及传输，让基座1外部的气体由进气入口121快速导入导气路径，并通过检测通道234由微粒传感器22进行气体中所含悬浮微粒大小及浓度的检测，再透过通气口112连通流入导气凹槽111中，如此再透过连通口331进入承置基座33内，经过气体传输致动器32汲取及传输至承置框槽332内部，最后由排气口334排出于微型泵3外。当然，微型泵3可进一步将外壳板件34封盖于承置基座33外部形成电子干扰防护作用，外壳板件34对应到承置基座33的连通口331位置也具有一连通口341予以对应连通，以及该外壳板件34对应到承置基座33的排气口334位置也具有一排气口342予以对应连通。

为了了解上述微型泵3的气体传输致动器32提供气体汲取及传输的相关构件，请继续参阅图10A、图10B、图11A至图11E所示由一进流板321、一共振片322、一压电致动器323、一第一绝缘片324、一导电片325及一第二绝缘片326依序堆叠组成。其中进流板321具有至少一进流孔321a、至少一汇流排槽321b及一汇流腔室321c，进流孔321a供导入气体，进流孔321a对应贯通汇流排槽321b，且汇流排槽321b汇流到汇流腔室321c，使进流孔321a所导入气体得以汇流至汇流腔室321c中。于本实施例中，进流孔321a与汇流排槽321b的数量相同，进流孔321a与汇流排槽321b的数量分别为4个，并不以此为限，4个进流孔321a分别贯通4个汇流排槽321b，且4个汇流排槽321b汇流到汇流腔室321c。

上述的共振片322透过贴合方式组接于进流板321上，且共振片322上具有一中空孔322a、一可动部322b及一固定部322c，中空孔322a位于共振片322的中心处，并与进流板321的汇流腔室321c对应，而可动部322b设置于中空孔322a的周围且与汇流腔室321c相对的区域，而固定部322c设置于共振片322的外周缘部分而贴固于进流板321上。

上述的压电致动器323包含有一悬浮板323a、一外框323b、至少一支架323c、一压电元件323d、至少一间隙323e及一凸部323f。其中，悬浮板323a为一正方型悬浮板，悬浮板323a的所以采用正方形，乃相较于圆形悬浮板的设计，正方形悬浮板323a的结构明显具有省电的优势，因在共振频率下操作的电容性负载，其消耗功率会随频率的上升而增加，又因边长正方形悬浮板323a的共振频率明显较圆形悬浮板低，故其相对的消耗功率亦明显较低，亦即本案所采用正方形设计的悬浮板323a，具有省电优势的效益；外框323b环绕设置于悬浮板323a之外侧；至少一支架323c连接于悬浮板323a与外框323b之间，以提供弹性支撑悬浮板323a的支撑力；以及一压电元件323d具有一边长，该边长小于或等于悬浮板323a的一边长，且压电元件323d贴附于悬浮板323a的一表面上，用以施加电压以驱动悬浮板323a弯曲振动；而悬浮板323a、外框323b与支架323c之间构成至少一间隙323e，用以供气体通过；凸部323f为设置于悬浮板323a贴附压电元件323d的表面的相对的另一表面，凸部323f于本实施例中，也可以透过悬浮板323a利用一蚀刻制程制出一体成形突出于贴附压电元件323d的表面的相对的另一表面上形成一凸状结构。

又上述的进流板321、共振片322、压电致动器323、第一绝缘片324、导电片325及第二绝缘片326依序堆叠组合，其中悬浮板323a与共振片322之间需形成一腔室空间327，腔室空间327可利用于共振片322及压电致动器323之外框323b之间的间隙填充一材质形成，例如：导电胶，但不以此为限，以使共振片322与悬浮板323a之间可维持一定深度形成腔室空间327，进而可导引气体更迅速地流动，且因悬浮板323a与共振片322保持适当距离使彼此接触干涉减少，促使噪音产生可被降低，当然于实施例中，亦可借由压电致动器323之外框323b高度加高来减少共振片322及压电致动器323之外框323b之间的间隙填充导电胶厚度，以使其形成的腔室空间327，如此气体传输致动器32整体结构组装不因导电胶的填充材质厚度会因热压温度及冷却温度而间接影响到，避免导电胶的填充材质因热胀冷缩因素影响到成型后腔室空间327的实际间距，但不以此为限。

另外，腔室空间327将会影响气体传输致动器32的传输效果，故维持一固定的腔室空间327对于气体传输致动器32提供稳定的传输效率是十分重要，因此于图11B所示，另一些压电致动器323实施例中，悬浮板323a可以采以冲压成形使其向外延伸一距离，其向外延伸距离可由至少一支架323c成形于悬浮板323a与外框323b之间所调整，使在悬浮板323a上的凸部323f的表面与外框323b的表面两者形成非共平面，亦即凸部323f的表面将低于外框323b的表面，利用于外框323b的组配表面上涂布少量填充材质，例如：导电胶，以热压方式使压电致动器323贴合于共振片322的固定部322c，进而使得压电致动器323得以与共振片322组配结合，如此直接透过将上述压电致动器323的悬浮板323a采以冲压成形构成一腔室空间327的结构改良，所需的腔室空间327得以透过调整压电致动器323的悬浮板323a冲压成形距离来完成，有效地简化了调整腔室空间327的结构设计，同时也达成简化制程，缩短制程时间等优点。此外，第一绝缘片324、导电片325及第二绝缘片326皆为框型的薄型片体，依序堆叠于压电致动器323上即组构成气体传输致动器32整体结构。

为了了解上述气体传输致动器32提供气体传输的输出作动方式，请继续参阅图11C至图11E所示，请先参阅图11C，压电致动器323的压电元件323d被施加驱动电压后产生形变带动悬浮板323a朝远离共振片322方向位移，此时腔室空间327的容积提升，于腔室空间327内形成了负压，便汲取汇流腔室321c内的气体进入腔室空间327内，同时共振片322受到共振原理的影响被同步朝悬浮板323a的振动方向位移，连带增加了汇流腔室321c的容积，且因汇流腔室321c内的气体进入腔室空间327的关系，造成汇流腔室321c内同样为负压状态，进而通过进流孔321a、汇流排槽321b来吸取气体进入汇流腔室321c内；请再参阅图11D，压电元件323d带动悬浮板323a朝接近共振片322方向位移，压缩腔室空间327，同样的，共振片322被悬浮板323a因共振而朝悬浮板323a的振动方向位移，迫使同步推挤腔室空间327内的气体通过间隙323e向外传输，以达到传输气体的效果；最后请参阅图11E，当悬浮板323a再次朝远离共振片322方向位移时，共振片322也同时被带动而朝悬浮板323a振动方向位移，此时的共振片322将使压缩腔室空间327内的气体向间隙323e移动，并且提升汇流腔室321c内的容积，让气体能够持续地通过进流孔321a、汇流排槽321b来汇聚于汇流腔室321c内，透过不断地重复上述图11C至图11E所示的气体传输致动器32提供气体传输作动步骤，使气体传输致动器32能够连续将气体自进流孔321a进入进流板321及共振片322所构成流道产生压力梯度，再经由间隙323e向外传输，使气体高速流动，达到气体传输致动器32传输气体输出的作动操作。

请继续参阅图11A，气体传输致动器32的进流板321、共振片322、压电致动器323、第一绝缘片324、导电片325及第二绝缘片326皆可其可透过微机电的面型微加工技术制程，使气体传输致动器32的体积缩小，以构成一微机电系统的微型泵3。

由上述说明可知，本案所提供一种微粒检测模块在具体实施中，当微型泵3受驱动吸附引导基座1外部的气体快速导入检测通道234中，气体通过检测通道234与光束通道233正交设置，受激光发射器24照射而投射光点至微粒传感器22，微粒传感器22检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。如此本案所提供微粒检测模块应用组装于可携式电子装置上，以形成移动式气体微粒的检测模块。其中可携式装置包含一手机、一平板电脑、一穿戴式装置及一笔记型电脑的其中之一。或者本案所提供微粒检测模块应用组装于穿戴配件上，以形成移动式气体微粒的检测模块。其中该穿戴配件包含一吊饰、一钮扣、一眼镜及一手表的其中之一。

综上所述，本案所提供的微粒检测模块，非常适合应用组装于可携式电子装置及穿戴配件上，利用微型泵将基座外气体快速汲取进入基座的检测通道及光束通道正交设置，由微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度，以形成移动式气体微粒的检测模块，供使用者可无时无刻、随时随地监测周遭的悬浮微粒浓度，极具产业利用性及进步性。

Claims (15)

1.一种微粒检测模块，其特征在于，包含：

一基座，内部具有一微型泵承载区、一检测部件承载区及一导气通道，其中该微型泵承载区具有一导气凹槽，该导气凹槽一侧具有一通气口，该检测部件承载区具有一进气入口、一容置隔室及一导气缺口，该进气入口与该导气缺口形成一连通路径，而该导气缺口与该容置隔室连通，以及该导气通道设置于该微型泵承载区与该检测部件承载区之间，且该导气通道连通该容置隔室与该微型泵承载区的该通气口；

一检测部件，包含一微粒传感器及一激光发射器，设置于该检测部件承载区的该容置隔室中，透过该激光发射器发射光束至气体，以产生投射光点至该微粒传感器，由该微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度；该检测部件还包含一检测部件驱动电路板及一光定位部件，其中该微粒传感器与该激光发射器封装及电性连接于该检测部件驱动电路板，该光定位部件具有一容置槽、一光束通道、一检测框口及一检测通道，该激光发射器嵌置定位该容置槽中，且该容置槽与该光束通道连通，使该激光发射器发射光束至该光束通道中，该光束通道与该检测通道正交设置，以及该检测框口设置于该光束通道与该检测通道正交设置，该微粒传感器封装于该检测部件驱动电路板上，该微粒传感器的位置与该检测框口相互对应，以及该检测部件驱动电路板封盖于该检测部件承载区中，该光定位部件设置于该基座的该容置隔室内，以及该检测通道与该基座的该导气缺口对应连通，并与该导气通道连通；该检测部件驱动电路板具有一缺口部位，该检测部件驱动电路板封盖该检测部件承载区内，让该缺口部位对应到该基座的该导气缺口位置；以及

一微型泵，承载于该基座的该微型泵承载区中，并封盖该导气凹槽；

其中，该基座外的气体由该进气入口导入沿该检测部件驱动电路板引导而透过该缺口部位进入该导气缺口中，再导入该容置隔室内，再透过该容置隔室与该导气通道连通，且该导气通道与该通气口连通，再透过该通气口连通该导气凹槽，以形成一导气路径，而该微型泵受驱动控制以对该导气凹槽所连通该导气路径的气体进行汲取及传输，使该基座外部的气体得以快速导入该导气路径，并经过该容置隔室中该激光发射器照射而投射光点至该微粒传感器，该微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。

2.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该微粒传感器为PM2.5传感器。

3.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，进一步包含一检测部件外盖板件及一基座外盖板件，其中该检测部件外盖板件承置于该检测部件承载区予以封闭形成电子干扰防护作用，且该检测部件外盖板件对应到该检测部件承载区的该进气入口位置也具有一进气入口予以对应连通，而该基座外盖板件封盖于该基座相对于该微型泵承载区及该检测部件承载区相对的一表面上形成电子干扰防护作用。

4.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该微型泵包含一气体传输致动器，该气体传输致动器包含：

一进流板，具有至少一进流孔、至少一汇流排槽及一汇流腔室，其中该进流孔供导入气体，该进流孔对应贯通该汇流排槽，且该汇流排槽汇流到该汇流腔室，使该进流孔所导入气体得以汇流至该汇流腔室中；

一共振片，接合于该进流板上，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进流板的该汇流腔室对应，而该可动部设置于该中空孔周围且与该汇流腔室相对的区域，而该固定部设置于该共振片的外周缘部分而贴固于该进流板上；以及

一压电致动器，接合于该共振片上相对应设置；

其中，该共振片与该压电致动器之间具有一腔室空间，以使该压电致动器受驱动时，使气体由该进流板的该进流孔导入，经该汇流排槽汇集至该汇流腔室中，再流经该共振片的该中空孔，由该压电致动器与该共振片的该可动部产生共振传输气体。

5.如权利要求4所述的微粒检测模块，其特征在于，该压电致动器包含：

一悬浮板，具有一正方形型态，可弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供该悬浮板弹性支撑；以及

一压电元件，具有一边长，该边长小于或等于该悬浮板的一边长，且该压电元件贴附于该悬浮板的一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。

6.如权利要求4所述的微粒检测模块，其特征在于，该气体传输致动器进一步包含有一第一绝缘片、一导电片及一第二绝缘片，其中该进流板、该共振片、该压电致动器、该第一绝缘片、该导电片及该第二绝缘片依序堆叠结合设置。

7.如权利要求5所述的微粒检测模块，其特征在于，该悬浮板包含一凸部，设置于该悬浮板贴附该压电元件的表面的相对的另一表面。

8.如权利要求7所述的微粒检测模块，其特征在于，该凸部以蚀刻制程制出一体成形突出于该悬浮板贴附该压电元件的表面的相对的另一表面上的凸状结构。

9.如权利要求4所述的微粒检测模块，其特征在于，该压电致动器包含：

一悬浮板，具有一正方形型态，可弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接成形于该悬浮板与该外框之间，以提供该悬浮板弹性支撑，并使该悬浮板的一表面与该外框的一表面形成为非共平面结构，且使该悬浮板的一表面与该共振片保持一腔室空间；以及

一压电元件，具有一边长，该边长小于或等于该悬浮板的一边长，且该压电元件贴附于该悬浮板的一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。

10.如权利要求4所述的微粒检测模块，其特征在于，该微型泵包含有一承置基座，其中该承置基座承置定位于该基座的该微型泵承载区上，并封盖该导气凹槽，且该承置基座对应该导气凹槽的表面具有一连通口，又该承置基座内部具有一承置框槽，该承置框槽内部并具有一进气凹槽，该进气凹槽与该连通口连通，以及该承置基座侧边具有一排气口，与该承置框槽连通，而该气体传输致动器承置该进气凹槽上，并予以封闭该进气凹槽上，该气体传输致动器受驱动控制以对该导气凹槽所连通的该导气路径的气体进行汲取及传输，让该基座外部的气体由该进气入口快速导入该导气路径，并通过该检测通道由该微粒传感器进行气体中所含悬浮微粒大小及浓度的检测，再透过通气口连通流入该导气凹槽中，再透过该承置基座的该连通口进入该承置基座内，经过该气体传输致动器汲取于该承置框槽内部，最后由该排气口排出于该微型泵外。

11.如权利要求10所述的微粒检测模块，其特征在于，该微型泵包含有一微型泵驱动电路板，该微型泵驱动电路板承置定位于该承置框槽上，而封闭该承置框槽，且该气体传输致动器与该微型泵驱动电路板电性连接，以受控制驱动操作。

12.如权利要求10所述的微粒检测模块，其特征在于，该微型泵包含有一外壳板件，封盖于该承置基座外部形成电子干扰防护作用，该外壳板件对应到该承置基座的该连通口位置也具有一连通口予以对应连通，以及该外壳板件对应到该承置基座的该排气口位置也具有一排气口予以对应连通。

13.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该微型泵为一微机电系统的微型泵。

14.如权利要求1所述的微粒检测模块，其特征在于，该微粒检测模块应用组装于一可携式电子装置上，以形成一移动式气体微粒的检测模块。

15.如权利要求14所述的微粒检测模块，其特征在于，该可携式电子装置包含一手机、一平板电脑、一穿戴式装置及一笔记型电脑的其中之一。

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