TWI673588B

TWI673588B - 真空壓力控制裝置

Info

Publication number: TWI673588B
Application number: TW106102859A
Authority: TW
Inventors: 西村康典; 渡辺雅之; 橋口誠二
Original assignee: Ｃｋｄ股份有限公司
Priority date: 2016-02-11
Filing date: 2017-01-25
Publication date: 2019-10-01
Also published as: JP6857491B2; KR102478564B1; JP2017141954A; TW201732480A; KR20170094761A

Abstract

本發明提供真空壓力控制裝置，使得即使彈性密封部件劣化也不會發生內部洩漏。真空壓力控制裝置(1)具有：形成有閥座(7a)的環狀彈性密封部件(7)；及與閥座(7a)抵接或離開的雙偏心蝶閥閥體(9)，該真空壓力控制裝置位於連接真空容器(27)與真空泵(28)的配管上，並通過使蝶閥閥體(9)沿第一方向(E)旋轉來使真空容器(27)內的真空壓力變化，該真空壓力控制裝置(1)具有控制基板(13)，該控制基板(13)使蝶閥閥體(9)沿第一方向(E)的反方向(F)旋轉，使蝶閥閥體(9)位於與初始的第一閉閥位置不同的第二閉閥位置。

Description

真空壓力控制裝置

本發明係有關於真空壓力控制裝置，該真空壓力控制裝置具有閥座形成為環狀的彈性密封部件、和與閥座抵接或離開的雙偏心蝶閥閥體，該真空壓力控制裝置位於連接真空容器與真空泵的配管上，並通過使蝶閥閥體向第一方向旋轉來使真空容器內的真空壓力變化。

作為以往使用的真空壓力控制裝置，例如有本申請人所申請的專利文獻1。該真空壓力控制裝置的提升閥雖然適於真空壓力控制，但是存在流導小、無法緊湊化的問題。

因此，為了使流導增大並進一步在大氣壓附近進行控制，考慮採用雙偏心蝶閥。在真空下進行壓力控制時，需要通過閥關斷位置附近的微妙的開度來進行控制，閥的上游與下游的壓力差越大越有問題。

此處，採用雙偏心蝶閥是為了：在閥關斷位置附近，能夠使閥的開度相對於閥體的旋轉角度慢慢地變化，從而容易進行關斷位置附近的壓力控制。

現有技術文獻專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-148254號公報

然而，通常會為了防止雜質附著於閥座而對閥體加熱，但是在蝶閥中，存在形成有閥座的彈性密封部件劣化而發生內部洩漏的擔心。當真空壓力控制裝置被使用在半導體製造工序中的情況下，由於存在使用毒性氣體的情況，所以在異常停止時，為了確保安全，不得存在洩漏。

本發明正是為瞭解決上述問題點，其目的在於提供即使彈性密封部件劣化也不會發生內部洩漏的真空壓力控制裝置。

為瞭解決上述課題，本發明一方式的真空壓力控制裝置具有：形成有閥座的環狀彈性密封部件；及與閥座抵接或離開的雙偏心蝶閥閥體，該真空壓力控制裝置位於連接真空容器與真空泵的配管上，並通過使蝶閥閥體從作為初始狀態的第一閉閥位置沿第一方向旋轉來使真空容器內的真空壓力變化，該真空壓力控制裝置的特徵在於，具有控制裝置，該控制裝置使蝶閥閥體沿第一方向的反方向旋轉，使蝶閥閥體位於與第一閉閥位置不同的第二閉閥位置。

此處，所謂第一方向，是指使雙重偏心了的蝶閥閥體的外周的具有一半以上的部分從閥座離開的方向。因此，蝶閥閥體的外周的較短部分成為與閥座抵接的方向。

根據上述方式，真空壓力控制裝置即使彈性密封部件劣化，也能夠通過將蝶閥閥體設定於第二閉閥位置而形成閉閥狀態，因此沒有發生內部洩漏的擔心。即使是真空壓力控制裝置被使用在半導體製造工序中的情況下，也能夠在異常停止時確保安全。

1‧‧‧真空壓力控制裝置

4‧‧‧閥體

5、6‧‧‧接頭

7‧‧‧彈性密封部件

7a‧‧‧閥座

7b‧‧‧環形槽

8‧‧‧引導部件

9‧‧‧蝶閥閥體

71‧‧‧薄壁部

72、73‧‧‧厚壁部

圖1示出蝶閥閥體位於第一閉閥位置的狀態，是圖5的AA剖視圖。

圖2示出蝶閥閥體位於第二閉閥位置的狀態，是圖5的AA剖視圖。

圖3示出蝶閥閥體位於第一開閥位置的狀態，是圖5的AA剖視圖。

圖4示出蝶閥閥體位於第二開閥位置的狀態，是圖5的AA剖視圖。

圖5是第一實施形態的真空壓力控制裝置的剖視圖。

圖6是第一實施形態的真空壓力控制裝置的右視圖。

圖7是圖1的B部放大圖。

圖8是圖2的C部放大圖。

圖9是示出拆除彈性密封部件的構造的圖。

圖10是示出真空壓力控制裝置的構成的框圖。

圖11是示出蝶閥閥體的旋轉角度與Cv值之間的關係的圖。

圖12是示出蝶閥閥體的旋轉角度與第一閥體部的開度之間的關係的圖。

圖13是示出蝶閥閥體的旋轉角度與第二閥體部的開度之間的關係的圖。

圖14是示出蝶閥閥體的旋轉角度與第一閥體部和第二閥體部的平均開度之間的關係的圖。

圖15是示出第二實施形態的真空壓力控制裝置的蝶閥閥體位於第一閉閥位置的狀態的剖視圖。

圖16是示出第二實施形態的真空壓力控制裝置的蝶閥閥體位於第二閉閥位置的狀態的剖視圖。

圖17是示出第二實施形態的真空壓力控制裝置的蝶閥閥體位於第一開閥位置的狀態的剖視圖。

圖18是示出第二實施形態的真空壓力控制裝置的蝶閥閥體位於第二開閥位置的狀態的剖視圖。

圖19是示出其他實施形態的真空壓力控制裝置的剖視圖。

以下，關於本發明的真空壓力控制裝置，一邊參照圖面一邊在以下詳細地說明。

<第一實施形態>

首先，利用圖1至圖8對第一實施形態的真空壓力控制裝置1的構成進行說明。圖5是第一實施形態的真空壓力控制裝置1的剖視圖。圖1至圖4是圖5的AA剖視圖。圖1示出蝶閥閥體9的第一閉閥位置，圖2示出第二閉閥位置。圖3示出蝶閥閥體9的第一開閥位置，圖4示出第二開閥位置。此處，所謂第一閉閥位置，是指處於初始(通常)的閉閥狀態的時候；所謂第二閉閥位置，是指處於閥沿第一方向E的反方向F旋轉了的狀態的時候。此外，所謂第一開閥位置，是指沿第一方向E旋轉而處於只有第一閥體部91開閥的狀態的時候；所謂第二開閥位置，是指沿第一方向E進一步旋轉而處於第一閥體部91和第二閥體部92雙方都完全開閥的狀態的時候。圖6是真空壓力控制裝置1的右視圖。圖7是圖1的B部放大圖，圖8是圖2的C部放大圖。圖9是示出拆除彈性密封部件7的構造的圖。圖10是示出真空壓力控制裝置1的構成的框圖。

真空壓力控制裝置1如圖5所示具有驅動部2和閥本體3。

驅動部2具有電動機11、減速機12、編碼器26和控制基板13。如圖10所示，控制基板13上具有存儲裝置131。存儲裝置131存儲有後述的蝶閥閥體9的規定的第一閉閥位置和第二閉閥位置的固定值。另外，控制基板13是本發明中的“控制裝置”的一個例子。

如圖10所示，閥本體3位於連接真空容器27與真空泵28的配管30上。如圖5所示，閥本體3具有蝶閥閥體9、安裝了蝶閥閥體9的圓筒形狀的閥體4、以及在閥體4兩側的不銹鋼制的接頭5、6。接頭5形成有流路5a，且具有凸緣部5b。接頭6形成有流路6a，且具有凸緣部6b。接頭5連接於真空泵28，接頭6連接於真空容器27。如圖6所示，在凸緣部5b、6b上分別以形成圓形的方式配置有用於與閥體4固定的8個螺釘24，並且在凸緣部5b、6b上形成有用於將閥體4與接頭5、6拆分開的螺紋孔16、17。另外，在圖6中，只圖示出了接頭6，由於接頭5也具有同樣的結構，所以省略接頭5的圖示。另外，在本實施形態中，接頭5與真空泵28連接，接頭6與真空容器27連接，但是也可以接頭5與真空容器27連接、接頭6與真空泵28連接。

如圖5所示，在閥體4上形成有閥孔4d，該閥孔4d由剖視呈圓弧狀的內壁構成，在閥孔4d的軸向上的一端部(在圖5中，與接頭5相接觸側)，在閥孔4d的徑向外側形成有凹部4a。在凹部4a中卡合有橡膠制的環形彈性密封部件7，彈性密封部件7由閥體4與接頭5夾持著。

在彈性密封部件7上形成有閥座7a。如圖7所示，彈性密封部件7的截面形成為具有在一邊(外周面)開口的環形槽7b的U字形。彈性密封部件7具有：形成有環形槽7b的薄壁部71；及在薄壁部71兩側的厚壁部72、73。厚壁部73的軸向距離Z1、引導部件8(或是薄壁部71)的軸向距離Z2和厚壁部72的軸向距離Z3具有相同的距離(Z1：Z2：Z3=1：1：1)在環形槽7b中嵌合有向徑向外側以環狀突出的引導部件8。在半導體製造裝置中，對於與氣體接觸的部件，需要使用具有耐腐蝕性的材料。但是，引導部件8由於彈性密封部件7而被與氣體所接觸的部分隔離開，因此不限材質。此外，彈性密封部件7與引導部件8之間的接合方法也不限於使用黏結劑等的一體成型等方法。在維修等進行閥分解時，引導部件8成為支撐，即使彈性密封部件7固著於閥體4，也能夠確實地拆分開。若沒有引導部件8，則彈性密封部件7在上述分解時有時會被拉脫、有時會損傷表面。此外，通過改變引導部件8的厚度，能夠容易地改變彈性密封部件7的密封性、反力等密封特性。

如圖6所示，在閥體4上設有用於固定加熱器14、15的孔4b、4c。由此，由於加熱器14、15位於閥體4內，所以能夠直接對閥體4進行加溫。加熱器14、15能夠從閥體4的外側表面通過固定螺釘22、23等而被固定、拆卸。進一步，通過用隔熱材料(未圖示)捲繞在閥體4的外裝部件上，能夠提高加熱效率，同時，熱電偶、恒溫器也能夠固定於閥體4或隔熱材料的任一方上。

由於能夠將彈性密封部件7固定於閥體4側，並通過加熱器14、15直接對閥體4進行加溫，所以連彈性密封部件7自身也不會冷卻。因此，由於使之密封，所以產物不容易附著於彈性密封部件7。由此能夠保持密封性。

如圖5所示，蝶閥閥體9通過與驅動部2位於同一軸上的旋轉軸10旋轉而與閥座7a抵接或離開。旋轉軸10通過編碼器26而掌握旋轉角度，並通過帶減速機12的電動機11而旋轉。由此，能夠使電動機11小型化，並且即使電動機11的電源切斷也能夠掌握閥的開度。此外，在雙偏心閥中，若沒有保持力，則存在蝶閥閥體9由於壓力差而旋轉的擔心。因此，選定下述這樣的減速機12，即：使得即使在電源切斷的狀態下旋轉軸10也不在該閥因壓力差而產生的旋轉轉矩的作用下旋轉。此外，電動機11中還存在定位轉矩(detent torque)等電動機11自身的保持轉矩(holding torque)，因此，減速機與電動機並用，能夠在電源切斷時使得閥不動。在旋轉軸10與閥體4之間配置有用於密封的O型環18、29、20、21。

如圖1所示，旋轉軸10的中心軸P相對於蝶閥閥體9的中心點Q在流路5a、6a的軸心方向上以距離X偏心，且相對於蝶閥閥體9的中心點Q在與流路5a、6a的軸心正交的方向上以距離Y偏心，由此形成雙重偏心。蝶閥閥體9包括設置有旋轉軸10的第一面9b、包括與閥座7a抵接的周緣部9c的第二面9a，周緣部9c形成為具有規定曲率的曲面。通過取大的規定曲率，能夠使彈性密封部件7與蝶閥閥體9的接觸面S擴大，因此在使用氦氣等透過性氣體時，氣體不容易透過。如圖1及圖6所示，蝶閥閥體9包括：相對於中心軸P，具有蝶閥閥體9的外周一半以上的第一閥體部91；及與該第一閥體部91相比，外周較短的第二閥體部92。

接下來，利用圖11至圖14對真空壓力控制裝置1的作用效果進行說明。圖11是示出蝶閥閥體9的旋轉角度與Cv值之間的關係的圖。橫軸表示閥的旋轉角度，縱軸表示Cv值。此外，用線G示出現有技術的資料，用線H示出本實施形態的資料。圖12是示出蝶閥閥體9的旋轉角度與圖1的第一閥體部91的開度(由圖3的箭頭T示出。)之間的關係的圖。用線J示出現有技術的資料，用線K示出本實施形態的資料。圖13是示出與現有技術相比較的蝶閥閥體9的旋轉角度與圖1的第二閥體部92的開度之間的關係的圖。用線L示出現有技術的資料，用線M示出本實施形態的資料。圖14是示出蝶閥閥體9的旋轉角度與圖1的第一閥體部91和第二閥體部92的平均開度之間的關係的圖。用線N示出現有技術的資料，用線O示出本實施形態的資料。另外，在圖12至圖14 中，橫軸表示閥的旋轉角度，縱軸表示閥的開度。閥的開度在正側表示閥打開的狀態，在負側表示閥關閉且彈性密封部件7被壓變形的狀態。

在初始的閉閥狀態下，蝶閥閥體9位於圖1所示的第一閉閥位置。當在大氣壓附近開閥時，使蝶閥閥體9沿第一方向E旋轉，成為圖3所示的第一開閥位置。此時，是只有第一閥體部91從閥座7a離開的開閥狀態，而第二閥體部92是與閥座7a抵接的閉閥狀態。此處，所謂第一方向E，是指使雙重偏心了的第一閥體部91從閥座7a離開的方向。因此，第二閥體部92成為與閥座7a抵接的方向。蝶閥閥體9沿著閥體4的閥孔4d的圓弧狀內壁而動作。當開度T較小時，如圖3所示，蝶閥閥體9的周緣部9c的曲面的頂點W與流路5a、6a的高度(線V所示)相比位於上方(外側)，因此能夠對流路5a、6a進行節流。因此，在開度T較小的時候，不會有氣體急劇流過的情況，控制性提高。

若使蝶閥閥體9進一步沿第一方向E旋轉，則如圖4所示，成為使第一閥體部91和第二閥體部92都開閥的完全開閥狀態。在通常的真空壓力控制裝置1的運轉中，蝶閥閥體9的開度在第一閉閥位置、第一開閥位置、第二開閥位置、或是其間的位置使用。

關於第一、第二閉閥位置的確定方法，首先，利用編碼器26來掌握旋轉軸10的旋轉角度，並以該角度為基準來掌握閉閥位置。接著，利用作為電動機11的步進電動機等，將機械停止位置(步進電動機的失步位置)設於第二閉閥位置，以停止的地點為基準並通過用編碼器26測得的角度信號來管理、掌握閉閥位置。另外，也可以不採用編碼器26，而是採用電位計。

當在大氣壓下閉閥時，在閥關斷位置附近，若使用不是雙重偏心的閥，則閥體會急劇地關閉，控制性差。但是，通過採用雙偏心蝶閥9，則能夠如圖12的線K、圖13的線M、圖14的線O所示那樣，分別與現有技術的線J、線L、線N相比，閥的開度的變化量均變緩，對於在閥關斷位置附近進行的大氣壓附近的壓力控制，由於只對第一閥體部91的開度進行調整就能夠控制壓力，因此，與通過第一閥體部91和第二閥體部92雙方的開度控制壓力相比，能夠進行更微妙的壓力控制。

此處，通常為了防止雜質附著於閥座7a上而對閥體4進行加熱，但是在蝶閥閥體9中，存在形成有閥座7a的彈性密封部件7經長時間變化而劣化從而發生內部洩漏的擔心。當在半導體製造工序中使用真空壓力控制裝置的情況下，存在使用毒性氣體的情況，因此在異常停止時，為了確保安全，不得發生洩漏。

如圖7所示，在第一閉閥位置，配置成：彈性密封部件7與蝶閥閥體9實施密封的、彈性密封部件7與蝶閥閥體9的接觸面S2的大部分位於彈性密封部件7的厚壁部72上，僅少部分在薄壁部71上。此時，接觸面S2位於離彈性密封部件7的厚壁部72的端面S(亦即，與閥體4的凹部4a接觸的面)有距離S1a的位置處。因壓力控制閥等的動作而彈性密封部件7隨時間變化，彈性密封部件7會磨損，密封性會降低。

如圖2所示，第二閉閥位置為：使蝶閥閥體9從第一閉閥位置沿第一方向E的反方向F旋轉了距離D的、不同於第一閉閥位置的位置。如圖8所示，蝶閥閥體9旋轉，從而接觸面S2從厚壁部72向薄壁部71方向移動。接觸面S2位於離彈性密封部件7的厚壁部72的端面S有距離S1b的位置。距離S1b比第一閉閥位置時的距離S1a大(S1a<S1b)。位於第二閉閥位置時的彈性密封部件7與蝶閥閥體9的接觸面S2的一部分(距離S1b與距離S1a的差)不作為位於第一閉閥位置時的彈性密封部件7與蝶閥閥體9的接觸面S2來使用，是不隨時間變化的狀態。因此，即使位於第一閉閥位置時的彈性密封部件7與蝶閥閥體9的接觸面S2經長時間而變化，也能夠通過在第二閉閥位置進行密封而實現完全密封。此外，在第二閉閥位置，由於是通過薄壁部71實現的密封，所以，能夠得到大的基於將彈性密封部件7壓變形(推壓)而產生的反力，能夠提高密封性能。

再者，如圖3所示，在第一開閥位置，由於第二閥體部92與厚壁部73相接觸，所以即使來自厚壁部73的反力小，也能夠減小旋轉軸10的旋轉轉矩。

本實施形態的真空壓力控制裝置在維修時由於只是通過將接頭5從閥體4上拆下就能夠容易地拆下彈性密封部件7，所以能夠提高作業性。接頭5、接頭6、彈性密封部件7、蝶閥閥體9以及旋轉軸10能夠容易地分解。由於只是通過拆下接頭5與接頭6的凸緣固定用螺釘24就能夠容易地分解，所以能夠分解、清洗產物等、以及進行真空壓力控制裝置1的再利用。作為消耗品的彈性密封部件7、密封旋轉軸10的各O型環18、29、20、21也能夠容易地更換。

此外，通過熱等而固著的彈性密封部件7在維修等分解時能夠容易地從閥體4上拆分開。當加熱閥體4時，存在彈性密封部件7在閥體4與接頭5之間固著的擔心。有時該固著力較大，無法簡單地拆分開。因此，如圖9所示，在接頭5的凸緣部5b上設置螺紋孔16，通過插入螺釘25就能夠將閥體4和接頭5拆分開。另外，由於螺紋孔16與螺紋孔17是相同的結構，所以在圖9中只示出了螺紋孔16。此外，對於用於此處的螺紋孔16、17，由於能夠將接頭5的凸緣固定用的8個螺釘24拆下來直接使用，所以無需新準備專用的螺釘。也可以在接頭5與閥體4之間預先設置間隙，利用杠杆原理採用撬開的方法。

如以上所說明的那樣，根據第一實施形態的真空壓力控制裝置1，能夠獲得下述的作用效果。

(1)一種真空壓力控制裝置1，具有：形成有閥座7a的環狀彈性密封部件7；及與閥座7a抵接或離開的雙偏心蝶閥閥體9，該真空壓力控制裝置1位於連接真空容器27與真空泵28連接的配管30上，並通過使蝶閥閥體9從作為初始狀態的第一閉閥位置沿第一方向E旋轉來使真空容器27內的真空壓力變化，該真空壓力控制裝置1的特徵在於，具有控制基板13，該控制基板13使蝶閥閥體9沿第一方向E的反方向F旋轉，使蝶閥閥體9位於與初始的第一閉閥位置不同的第二閉閥位置，因此，即使彈性密封部件7經長時間變化而劣化，也能夠通過將蝶閥閥體9設定於第二閉閥位置而成為閉閥狀態，因而沒有發生內部洩漏的擔心。此外，即使在初始階段異常停止時，也由於設定在第二閉閥位置而不會有洩漏，能夠強化安全性。

(2)在(1)所述的真空壓力控制裝置1中，其特徵在於，彈性密封部件7的截面形成為具有一邊開口的環形槽7b的U字形，在環形槽7b中卡合有以環狀突出的引導部件8，因此，蝶閥閥體9除了對彈性密封部件7在旋轉方向上施加力，還承受由具有足夠高度(整體的二分之一以上)的引導部件8施加的力，因而彈性密封部件7被引導部件8固定，不會脫落。

(3)在(2)所述的真空壓力控制裝置中，其特徵在於，通過位於第一閉閥位置的蝶閥閥體9，即使彈性密封部件7因隨時間變化而磨損，通過使蝶閥閥體9配置於第二閉閥位置，蝶閥閥體9與彈性密封部件7之間也能夠被完全密封，因此，即使彈性密封部件7劣化，由於蝶閥閥體9的位置在第二閉閥位置，也沒有發生內部洩漏的擔心。

(4)在(1)至(3)中任一項所述的真空壓力控制裝置1中，其特徵在於，蝶閥閥體9具有包括與閥座7a抵接的周緣部9c的面，該周緣部9c是曲面，因此，由於能夠增大與彈性密封部件7的接觸面積，所以能夠相應地減少彈性密封部件7的變形量，從而能夠降低密封所需要的反力，因而能夠延遲彈性密封部件7的劣化，能夠提高耐久性。

(5)在(1)至(4)中任一項所述的真空壓力控制裝置中，其特徵在於，由安裝有蝶閥閥體9的閥體4與接頭5夾持著彈性密封部件7，因此，在維修時，僅通過取下接頭5就能夠容易地拆下彈性密封部件7，由此能夠提高作業性。閥體4大多被加熱使用，雖然有時蝶閥閥體9與彈性密封部件7會固著在一起，但是由於彈性密封部件7被閥體4與接頭5夾持著，所以不會因開閉而導致彈性密封部件7被拉扯脫落的情況。

<第二實施形態>

下面，利用圖15至圖18對第二實施形態的真空壓力控制裝置1的結構進行說明。圖15是示出第二實施形態的真空壓力控制裝置1的蝶閥閥體19位於第一閉閥位置的狀態的剖視圖。圖16是示出蝶閥閥體19位於第二閉閥位置的狀態的剖視圖；圖17是示出位於第一開閥位置的狀態的剖視圖；圖18是示出位於第二開閥位置的狀態的剖視圖。

第一實施形態與第二實施形態的主要不同點為蝶閥閥體的形狀。另外，在以下的說明中，對於與第一實施形態的真空壓力控制裝置1相同的構造，標注相同的引用編號，並由此省略其說明。

如圖15所示，在第二實施形態的蝶閥閥體19上，第二面19a包括與閥座7a抵接的曲面狀的周緣部19d，在與第二面19a相對的第一面19b、即具有旋轉軸10的第一面19b上，在第一閥體部191形成有凹狀的切缺部19c。

此處，在第一實施形態的蝶閥閥體9中，如圖1所示，其重心的位置位於蝶閥閥體9的中心點Q。在該情況下，慣性力矩變大。若慣性力矩變大，則在蝶閥閥體9與彈性密封部件7抵接著的時候就會有振動，由此就存在產生微粒的擔心。此外，當使蝶閥閥體9停止時，因慣性力而過沖(overshoot)，存在停止的回應性差的問題。

但是，在第二實施形態的蝶閥閥體19中，由於在旋轉軸10所在的面19b上形成有切缺部19c，所以如圖15所示，能夠使蝶閥閥體19的重心位置為旋轉軸10的軸上的點R。由此，能夠減小蝶閥閥體19的慣性力矩。一旦慣性力矩變小，在蝶閥閥體19開閉時，由慣性力矩引起的振動就會變小，因此能夠抑制微粒的產生。此外，當使蝶閥閥體19停止時不會過沖，提高了回應性。

以上，如所說明的那樣，根據第二實施形態的真空壓力控制裝置1，其特徵在於：在蝶閥閥體19的與閥座7a抵接的面19a的相對面19b上形成有切缺部19c，因此，能夠使蝶閥閥體19的重心位置為旋轉軸上的點R，能夠縮小旋轉半徑(旋轉軸與蝶閥閥體的重心之間的距離)。由此能够减小惯性力矩。

另外，上述各實施形態只是例示而已，並不對本發明構成任何限定。因此，本發明當然能夠在不脫離其主旨的範圍內進行各種改進、變形。

例如，在上述實施形態中，彈性密封部件7的抵接面在本實施形態中為直線狀，但也可以是曲面形狀。

例如，在上述實施形態中，在彈性密封部件7上嵌合引導部件8，厚壁部73的軸向距離Z1、引導部件8的軸向距離Z2和厚壁部72的軸向距離Z3具有相同的距離(Z1：Z2：Z3=1：1：1)，但是，引導部件8和厚壁部72、73的厚度，只要能夠確保密封性，可以是任意的厚度。根據情況，如圖19所示，沒有引導部件8也可以。在該情況下，由於能夠通過選擇彈性密封部件7的材質，例如通過選擇硬度高的彈性密封部件7來提高反力，所以能夠確保密封性。關於彈性密封部件7的材質，例如可以採用FKM(氟橡膠)、FFKM(全氟橡膠)、NBR(丁腈橡膠)。

Claims

一種真空壓力控制裝置，具有：形成有閥座的環狀彈性密封部件；及與上述閥座抵接或離開的雙偏心蝶閥閥體，上述真空壓力控制裝置位於連接真空容器與真空泵的配管上，並通過使上述蝶閥閥體從作為初始狀態的第一閉閥位置沿第一方向旋轉來使上述真空容器內的真空壓力變化，其特徵在於：具有控制裝置，上述控制裝置使上述蝶閥閥體沿第一方向的反方向旋轉，使上述蝶閥閥體位於與上述第一閉閥位置不同的第二閉閥位置；其中，上述彈性密封部件的截面形成為具有一邊開口的環形槽的U字形，在上述環形槽中卡合有以環狀突出的引導部件。
一種真空壓力控制裝置，具有：形成有閥座的環狀彈性密封部件；及與上述閥座抵接或離開的雙偏心蝶閥閥體，上述真空壓力控制裝置位於連接真空容器與真空泵的配管上，並通過使上述蝶閥閥體從作為初始狀態的第一閉閥位置沿第一方向旋轉來使上述真空容器內的真空壓力變化，其特徵在於：具有控制裝置，上述控制裝置使上述蝶閥閥體沿第一方向的反方向旋轉，使上述蝶閥閥體位於與上述第一閉閥位置不同的第二閉閥位置；其中，通過位於上述第一閉閥位置的上述蝶閥閥體，即使經長時間變化而上述彈性密封部件磨損，由於使上述蝶閥閥體配置於第二閉閥位置，上述蝶閥閥體與上述彈性密封部件之間也被完全密封。
根據申請專利範圍第1或2項所述的真空壓力控制裝置，其中，上述蝶閥閥體具有包括與上述閥座抵接的周緣部的面，該周緣部為曲面。
根據申請專利範圍第1或2項所述的真空壓力控制裝置，其中，在上述蝶閥閥體的與上述閥座抵接的面的相對面上形成有切缺部。
根據申請專利範圍第1或2項所述的真空壓力控制裝置，其中，由安裝有上述蝶閥閥體的閥體與接頭夾持著上述彈性密封部件。