JP2016205616A - 逆止弁 - Google Patents

Abstract

【課題】弁体や弁座の加工精度が弁体と弁座との間のシール性に与える影響を抑制することができる逆止弁を提供する。【解決手段】逆止弁１は、弁室２２とこれに連通する入口流路２３及び出口流路２４とが形成されている弁箱９と、弁室２２内に設けられた弁体５とを備え、弁体５が入口流路２３の弁室側開口部の周囲に形成された弁座２１に接離可能とされている。弁体５が、ディスク５１と、閉弁時に弁座２１に当接するバルブシート５２と、ディスク５１との間にバルブシート５２を挟んで保持するシートホルダ５３とを含み、バルブシート５２とディスク５１との対向面の少なくとも一方が、閉弁時に弁座２１と相対する弁体５の領域において対向面の間に空間を形成するように、テーパ状に傾斜している部分を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、化学工場、上下水道、農業・水産、半導体製造分野、食品分野などの各種産業の配管ラインに好適に使用される逆止弁に関する。

従来、配管ラインなどでは、管路を流れる流体の逆流を防止するために、逆止弁が使用されている。公知の逆止弁としては、スイング式逆止弁、リフト式逆止弁、ウエハ形逆止弁などが一般的に知られている。スイング式逆止弁は、弁室と弁室に連通する入口流路及び出口流路が形成されている弁箱と、弁室内に搖動可能に軸支されている弁体とを備え、弁体の当接部が出口流路の弁室側開口部の周囲に形成された弁座の平坦面（以下、弁座面と記載する。）に接離可能となっている。弁座面は、上向きに傾斜して設けられており、入口流路から流体が流入すると、その圧力で弁体の当接部が弁座面から離間して開弁状態となり、入口流路から弁室への流体の流入を許容する一方、入口流路からの流体の流入が停止するか、または、出口流路から流体が逆流して弁室に流入すると、弁体の自重及び逆流する流体の圧力で、弁体の当接部が弁座面に圧接されて閉弁状態となり、出口流路から入口流路への逆流を防止する。

また、逆止弁では、弁体の当接部と弁座面とのシール性を高めるために、例えば、特許文献１に開示のように、弁体の当接部に適度な弾力性を有したパッキンなどのシート部材を装着したり、特許文献２に開示のように、弁体に装着したシート部材の弁座との当接部に環状隆起部を設けて接触面積を小さくし、比較的小さい圧力作用下でもシート部材と弁座との間に大きな面圧が得られるようにすることが一般的である。

実開平３−２９７３号公報 実開平６−４４７５号公報

スイング式逆止弁では、上述したように、軸支された弁体が搖動して弁座面に当接することにより閉弁を行うことから、閉弁時のシール性を高めるためには、閉弁時の弁体の当接部と弁座面とが均一に圧接される必要がある。しかしながら、弁座面の位置が設計位置からずれた場合には、弁座面に当接する際の弁体の搖動角度が設計角度と比較して変化し、弁体の当接面が弁座面と均一に当接しなくなる。また、弁体やシート部材の加工精度（詳細には、弁体やシート部材の厚み、シート部材の支持面など）も、弁体の当接部と弁座面とが均一に当接しない原因となる。このような場合、シート部材の弾性変形のみでは、弁体と弁座との密着性を十分に確保できず、シール性の低下を招く。

よって、本発明の目的は、上記のような従来技術の課題を解決するために、弁体や弁座の加工精度が弁体と弁座との間のシール性に与える影響を抑制することができる逆止弁を提供することにある。

上記目的に鑑み、本発明は、弁室と該弁室に連通する入口流路及び出口流路とが形成されている弁箱と、前記弁室内に設けられた弁体とを備え、前記弁体が前記入口流路の弁室側開口部の周囲に形成された弁座に接離可能とされている逆止弁であって、前記弁体が、ディスクと、閉弁時に前記弁座に当接するバルブシートと、前記ディスクとの間に前記バルブシートを挟んで保持するシートホルダとを含み、前記バルブシートと前記ディスクとの対向面の少なくとも一方が、閉弁時に前記弁座と相対する前記弁体の領域において前記対向面の間に空間を形成するように、テーパ状に傾斜している部分を有する逆止弁を提供する。

上記逆止弁では、バルブシートとディスクとの対向面の少なくとも一方がテーパ状に傾斜する部分を有しており、弁体が閉弁時に弁座と相対する領域において、バルブシートとディスクの対向面の間に空間が形成されている。このような空間が形成されていることにより、低い流体圧の作用下でバルブシートの当接部が弁座と当接した際でも、バルブシートが当該空間内へ容易に撓み変形して、ディスクが弁座へさらに接近することを容易にし、バルブシートと弁座との接触圧を均一化させることができる。

上記逆止弁では、前記バルブシートのディスク側表面が外周縁部へ向かうにつれ前記ディスクから離れるようにテーパ状に傾斜している部分を有することが好ましい。バルブシートがこのような形状を有していることにより、撓み変形時に、バルブシートにおける応力集中の発生を抑制することができ、バルブシートの耐久性を向上させる効果を奏する。

また、前記バルブシートが円錐形状又は円錐台形状に形成されていることがさらに好ましい。バルブシートがこのような形状を有している場合、バルブシートとディスクとの接触面積が小さくなるため、バルブシートは、弁座に当接すると、弁座面に合せて、円錐形状又は円錐台形状の頂部を中心として搖動し、バルブシートと弁座面とが均一に圧接させることが容易となる。

閉弁時に前記弁座と当接する前記バルブシートの領域に、環状隆起部が形成されていることが好ましい。このような環状隆起部が弁座と当接することにより、弁体と弁座の接触面積が小さくなって大きな面圧を得ることができ、シール性が向上する。

前記バルブシートの前記環状隆起部より内側に環状溝が形成されていることがさらに好ましい。このような環状溝を設けることにより、バルブシートが厚い場合でもバルブシートの環状隆起部が設けられた外周部が撓み変形しやすくなり、バルブシートと弁座との接触圧をより確実に均一化させることができる。

上記逆止弁では、前記ディスクに、前記バルブシートを受容するためのシート受容凹部が形成されており、前記バルブシートが、前記シート受容凹部に受容された状態で、前記シートホルダによって前記ディスクに保持されることが好ましい。バルブシートがシート受容凹部に受容されていると、ディスクのシート受容凹部の周囲部分と弁座面との突き当てにより、バルブシートの過度の変形が抑制され、バルブシートの耐久性が向上される。

また、前記バルブシートに、前記シートホルダ又は前記ディスクの一部と係合して前記バルブシートを前記ディスク上の予め定められた位置に位置決めする軸合わせ部が形成されていることが好ましい。この場合、前記軸合わせ部が、前記シートホルダと嵌合する嵌合凹部であり、該嵌合凹部の周囲を取り囲むように前記バルブシートの表面から突出する環状突起が形成されていることがさらに好ましい。

前記弁体が、前記弁箱に支持されるシャフト周りに回動可能なアームを介して前記弁箱に軸支されており、前記アームに設けられたシャフト孔が該シャフト孔に挿通される前記シャフトの直径よりも大きくなるように形成されていてもよい。アームの貫通孔がシャフトの直径よりも大きく、シャフトに対してアームが可動であるので、閉弁時に、弁座面の傾きに合うように弁体が傾斜することが許容され、弁体の当接面と弁座面との均一な密着が容易となる。

例えば、前記逆止弁は、スイング式逆止弁、ウエハ形逆止弁及びリフト式逆止弁のうちの何れかとすることができる。

本発明に係る逆止弁によれば、バルブシートとディスクとの間に形成された空間により、バルブシートの撓み変形を許容して、閉弁時のバルブシートと弁座との接触圧を均一化させることができ、低圧時でも弁体と弁座との間を確実にシールすることが可能となる。

本発明による第１の実施形態のスイング式逆止弁の全体構成を示す断面図である。 図１の線ＩＩ−ＩＩに沿った弁体の拡大断面図である。 弁体の変形形態を示す断面図である。 弁体の作用を説明するための説明図である。 弁体の他の変形形態を示す断面図である。 本発明による第２の実施形態のスイング式逆止弁の全体構成を示す断面図である。 図６に示されている弁体の部分拡大断面図である。 本発明による第３の実施形態のウエハ形逆止弁の全体構成を示す断面図である。 図８に示されている弁体の部分拡大断面図である。 本発明による第４の実施形態のリフト式逆止弁の全体構成を示す断面図である。 図１０に示されている弁体の部分拡大断面図である。

以下、図面を参照して、本発明による逆止弁を説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことは言うまでもない。

最初に、図１及び図２を参照して、本発明による第１の実施形態の逆止弁１の全体構成を説明する。図１は、本発明を適用したスイング式逆止弁１の全体構成を示す断面図であり、図２は、図１に示されている弁体５の拡大断面図である。

逆止弁１は、弁箱９と、弁箱９に搖動可能に軸支されている弁体５とを備える。

弁箱９は、弁本体２と、弁本体２の上部開口部に固定されるボンネット３とによって構成されており、弁本体２とボンネット３との接合面の間には、シール部材６が設けられている。弁本体２とボンネット３との固定方法は、限定されるものではなく、図示されている実施形態のように、弁本体２とボンネット３とにネジ部を設けて螺合させることによって行ってもよく、ボルト等の締結具を用いて行ってもよい。シール部材６も、特に限定されるものではなく、例えば、図示されている実施形態のように、Ｏリングとしてもよく、ガスケットとしてもよい。

弁本体２には、弁室２２と弁室２２に連通する入口流路２３及び出口流路２４とが形成されている。入口流路２３及び出口流路２４の流路軸線は一直線上に延びていることが好ましい。また、入口流路２３の弁室２２側の開口部の周囲には、環状の平坦面である弁座２１が形成されている。弁座２１は、入口流路２３の流路軸線に垂直な平面に対して僅かに上向きに傾けて形成されていることが好ましい。特に好ましくは、弁座２１は、入口流路２３の流路軸線に垂直な平面に対して６°〜８°の範囲で傾いて形成される。

弁室２２内には、シャフト４が入口流路２３の流路軸線と垂直に延びるように弁箱９に支持されており、シャフト４周りに回動可能にアーム８が設けられている。アーム８の先端には弁体５が取り付けられており、弁箱９にアーム８を介して搖動可能に軸支される弁体５が弁座２１に接離するようになっている。シャフト４が挿通されるアーム８のシャフト孔８１は、アーム８がシャフト４に対して径方向に移動することを許容できるように、シャフト４の直径よりも大きく形成されていることが好ましい。この場合、シャフト孔８１は、シャフト４の直径よりも大きい直径の円形断面を有してもよく、少なくとも短軸がシャフト４の直径よりも大きい直径の楕円形断面を有してもよい。

開弁時に流体の圧力で、アーム８がシャフト４周りに過度に搖動して弁体５が弁室２２の壁に衝突し、弁体５や弁箱９が損傷することを防ぐために、弁箱９の弁室２２には、アーム８に当接してアーム８の搖動範囲を規制する規制部３１が設けられている。図１に示されている実施形態では、規制部３１がボンネット３から弁室２２内に延びるように設けられている。

弁体５は、アーム８に取り付けられるディスク５１と、ディスク５１に固定されるシートホルダ５３と、ディスク５１とシートホルダ５３との間に保持されるバルブシート５２とを含んでいる。図示されている実施形態では、アーム８とディスク５１とが一体的に形成されていると共に、ディスク５１、バルブシート５２、シートホルダ５３の中央部に貫通孔が設けられており、ディスク５１とシートホルダ５３との間にバルブシート５２を挟んだ状態で、これらの貫通孔に挿通させたボルトにナットを締結し、ディスク５１にシートホルダ５３を固定することにより、ディスク５１に、バルブシート５２を保持している。また、ディスク５１、バルブシート５２、シートホルダ５３の貫通孔を通じた漏れを防止するために、ディスク５１の貫通孔のボルトのヘッド側の開口部には、シール部材７として、Ｏリングが装着されている。

図１及び図２に示されている実施形態では、アーム８とディスク５１とを一体的に形成しているが、アーム８へのディスク５１の取り付け方法は、図示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、後述する第２の実施形態のように、ボルトなどの締結具によってアーム８にディスク５１を装着してもよい。また、ディスク５１へのバルブシート５２の保持方法も図示されている実施形態に限定されるものではなく、接着、溶着、溶接などにより行うことも可能である。

図２に詳細に示されているように、ディスク５１は、閉弁時の弁座側の面に形成されたシート受容凹部５１２と、シート受容凹部５１２の周囲部分によって構成されるシートガイド部５１１とを含んでおり、バルブシート５２の少なくとも一部（後述する環状隆起部５２１）がシートガイド部５１１を越えて外部へ突出した状態となるように、バルブシート５２がシート受容凹部５１２内にシートホルダ５３によって保持される。また、後述するバルブシート５２の外周部（閉弁時に弁座２１と相対するバルブシート５２の領域）の撓み変形を許容するように、バルブシート５２の外周とシートガイド部５１１との間に隙間が形成されるようになっている。

バルブシート５２は、熱可塑性樹脂から形成されており、略円盤形状を有し、その外周縁部に環状に延びる隆起部５２１が形成されている。このような環状隆起部５２１を設けることにより、バルブシート５２と弁座２１との接触面積を小さくし、比較的小さな流体圧の作用下でも、バルブシート５２と弁座２１との間に大きな面圧を得ることができる。この結果、低圧時でもシール性を向上させることができる。

また、上述したように、シートガイド部５１１とバルブシート５２の外周との間には隙間が形成されているため、ディスク５１にバルブシート５２を保持する際に、バルブシート５２がディスク５１上の予め定められた位置からずれて配置される可能性があり、シール不良の原因となり得る。このため、逆止弁１では、ディスク５１に対してバルブシート５２を予め定められた位置に配置するための軸合わせ部が設けられている。

図１及び図２に示されている実施形態では、軸合わせ部として、ディスク５１と反対側のバルブシート５２の面に、シートホルダ５３と嵌合する嵌合凹部５２２が形成されている。また、嵌合凹部５２２の縁部には、嵌合凹部５２２の周囲を取り囲むように、バルブシート５２の表面から突出する環状突起５２３が設けられている。嵌合凹部５２２にシートホルダ５３を嵌合させて嵌合凹部５２２の内周面とシートホルダ５３の外周面とを係合させ、シートホルダ５３とディスク５１とを固定することにより、ディスク５１に対して予め定められた位置にバルブシート５２を位置決めすることができる。また、嵌合凹部５２２の周囲に環状突起５２３を設けることにより、嵌合凹部５２２の位置の視認性が高まり、シートホルダ５３を嵌合凹部５２２に嵌合させる作業が容易となる。

図１及び図２に示されている実施形態では、軸合わせ部として、バルブシート５２に嵌合凹部５２２を設け、嵌合凹部５２２の周囲を取り囲むように環状突起５２３を設けているが、軸合わせ部は、図１示されている形態に限定されるものではない。例えば、図３（ａ）に示されているように、嵌合凹部５２２の周囲に環状突起５２３を設けなくてもよい。また、図３（ｂ）に示されているように、軸合わせ部として、ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面から突出する突出部５１３を設けると共に、バルブシート５２に突出部５１３と相補的形状の嵌合凹部５２４を設けてもよい。この場合、突出部５１３の外周面と嵌合凹部５２４の内周面との係合により、バルブシート５２の位置決めが行われる。嵌合凹部５２２や嵌合凹部５２４は、貫通孔の形態であってもよい（図７、図９、図１１参照）。同様に、軸合わせ部として、バルブシート５２のディスク側表面の中央部から突出する突出部を設けると共に、ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面の中央部にバルブシート５２の突出部と相補的形状の嵌合凹部を設け、バルブシート５２の突出部とディスク５１の嵌合凹部との嵌合により、バルブシート５２の位置決めを行ってもよい。

スイング式逆止弁１では、シャフト４周りの弁体５の搖動により、弁座２１に弁体５の当接面が当接することから、閉弁時におけるシャフト４周りの回転角度に応じて弁体５の当接面の角度（入口流路２３の流路軸線に対して垂直な平面に対する角度）が変化する。このため、入口流路２３の流路軸線に対して垂直な平面に対する弁座２１の面（以下、弁座面とも記載する。）の角度が加工精度などにより設計角度からずれると、弁体５と弁座２１との当接時に、弁体５の当接面の角度と弁座面の角度とが一致しなくなり、不均一な当接の原因となって、弁体５と弁座２１とのシール性を低下させる。また、ディスク５１やバルブシート５２の形状（厚さを含む。）の誤差、アーム８の形状の誤差、アーム８へのディスク５１の取り付け精度なども同様に、弁体５と弁座２１との当接時における弁体５の当接面の角度と弁座面の角度との不一致を招き、不均一な当接の原因となって、弁体５と弁座２１とのシール性を低下させる。

本発明による逆止弁では、上記のような原因の弁体５と弁座２１とのシール性の低下を防止するために、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との対向面の間に空間５４を形成して、弁体５と弁座２１との当接時にバルブシート５２の撓み変形を許容することにより、弁体５のバルブシート５２と弁座２１の弁座面とをより均一に当接させるようにしている。

図１及び図２に示されている実施形態では、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、バルブシート５２のディスク側表面の外周部が外周縁部へ向かうにつれディスク５１から離れる方向にテーパ状に傾斜するようにバルブシート５２を形成することによって、ディスク５１とバルブシート５２との間に空間５４を形成している。この場合、図２に詳細に示されているように、バルブシート５２は、中央部のみがディスク５１と接するような円錐形状又は円錐台形状を有していることが好ましい。しかしながら、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との対向面の間に空間５４が形成されていればよく、テーパ状傾斜部は、バルブシート５２の中央部と外周縁部との間の一部のみに形成されていてもよい。テーパ状部分の傾斜角度（ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面と平行な平面とテーパ状部分の表面とがなす角度θ）は、３°〜３０°の範囲であることが好ましい。

なお、弁本体２、ボンネット３、シャフト４、アーム８、ディスク５１、シートホルダ５３は、例えば、熱可塑性樹脂から形成することができ、熱可塑性樹脂としては、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、塩素化ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ−Ｃ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂（ＡＢＳ樹脂）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシルアルカン（ＰＦＡ）、ポリフェニレンオキサイド（ＰＰＯ）、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）等を用いることができる。ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）には、硬質ポリ塩化ビニル、硬質耐衝撃性ポリ塩化ビニルも含まれる。耐薬品性が要求される場合には、熱可塑性樹脂として、ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ、ＰＦＡを用いることが好ましい。

また、シール部材６、７であるＯ−リングやガスケットは、弾性体であればよく特に限定されるものではない。シール部材６，７を形成する好ましい材料としては、エチレンプロピレンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、クロロスルフォン化ゴム、ニトリルゴム、スチレンブタジエンゴム、塩素化ポリエチレン、フッ素ゴムなどが挙げられる。耐薬品性が要求される場合には、フッ素ゴムや弾性体にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やパーフルオロアルコキシルアルカン（ＰＦＡ）を被覆して用いてもよい。

バルブシート５２である熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂（ＡＢＳ樹脂）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシルアルカン（ＰＦＡ）等を用いることができる。

次に、図１に示されている実施形態の逆止弁１の動作を説明する。入口流路２３から弁室２２へ向かって流体が流入すると、その圧力で弁座２１と当接する弁体５が図１中の反時計回りにシャフト４周りに回動して、弁体５の当接部（詳細には、バルブシート５２の環状隆起部５２１）が弁座２１から離間し、開弁状態となり、入口流路から弁室２２への流体の流入を許容する。一方、入口流路２３からの流体の流入が停止するか、または、出口流路２４から流体が逆流して弁室２２に流入すると、弁体５の自重及び逆流する流体の圧力で、弁体５が図１中の時計回りにシャフト４周りに回動して、弁体５の当接部が弁座２１に圧接され、閉弁状態となり、出口流路から入口流路への逆流を防止する。

加工精度などによるアーム８、ディスク５１、バルブシート５２などの形状誤差がない場合には、図４（ａ）に示されているように、閉弁時に、バルブシート５２と弁座２１との相対面がほぼ平行となることから、ディスク５１のシートガイド部５１１を越えて弁座２１へ向かって突出している環状隆起部５２１が変形することなく又は均等に変形した状態で弁座２１の弁座面に均一に圧接される。一方、アーム８、ディスク５１、バルブシート５２などに形状誤差がある場合、図４（ｂ）に示されているように、閉弁時に、バルブシート５２と弁座２１の相対面は平行とならない。このような場合、バルブシート５２（詳細には、その環状隆起部５２１）の一部のみが先に弁座２１に当接してしまうため、バルブシート５２の撓み変形が許容されていなければ、バルブシート５２と弁座２１とは均一な圧接ができず、シール性が低下して漏れが生じやすくなる。

しかしながら、逆止弁１では、ディスク５１とバルブシート５２との対向面の間に空間５４が形成されており、バルブシート５２の撓曲変形が許容されるようになっているので、バルブシート５２（詳細には、その環状隆起部５２１）の一部のみが先に弁座２１に当接してしまった後も、バルブシート５２が撓み変形して、ディスク５１がさらに弁座２１へ接近し、バルブシート５２の残余の部分も弁座２１に当接する。また、バルブシート５２の外周部は、テーパ状傾斜部の形成により、中央部よりも薄くなっているので、撓み変形がさらに容易となる。さらに、バルブシート５２が円錐形状又は円錐台形状を有している場合には、円錐形状又は円錐台形状のバルブシート５２の頂部近傍のみがディスク５１に接触しており、接触面積が小さいことから、バルブシート５２の全体がディスク５１に対して傾斜することにより、バルブシート５１の当接部を弁座２１の弁座面の傾きに合せることが可能となる。このような作用の結果、バルブシート５１と弁座２１とがより均一に圧接することが可能となり、シール性を向上させる。

加えて、アーム８のシャフト孔８１がシャフト４の直径よりも大きく、アーム８がシャフト４に対して径方向に移動することが許容されるようになっていれば、アーム８に取り付けられている弁体５のディスク５１の姿勢変化の自由度が高まり、流体圧の作用下での弁体５と弁座２１との当接により、ディスク５１が傾斜して、バルブシート５２が弁座２１に均一に当接させることが容易となる。また、アーム８に対するディスク５１の傾斜が許容されるように、アーム８にディスク５１が取り付けられていれば（図４参照）、同様に、弁体５のディスク５１の姿勢変化の自由度が高まり、バルブシート５２が弁座２１に均一に当接させることが容易となる。これらの効果がバルブシート５１の撓み変形の効果と相乗することにより、バルブシート５２と弁座２１とのより均一な当接が可能となり、シール性がさらに向上される。

バルブシート５２の厚さが階段状に変化すると、撓み変形時に段部で応力集中が発生し、塑性変形を生じやすいが、バルブシート５２の厚さは傾斜により徐々に変化するため、階段状に変化する場合と比較して、撓み変形時の応力集中が抑制され、塑性変形が生じにくくなる。この結果、バルブシート５２の耐久性が向上するという効果も奏する。なお、バルブシート５２のテーパ状傾斜部が平坦部となす角度θは、応力集中を抑制する効果を向上させるために、３°≦θ≦３０°の範囲とすることが好ましい。また、角度θが６°以上であると、低圧時でのシール性向上の効果を奏し、２０°以下であると、屈曲した場合の変形を防止する効果を奏する。

また、バルブシート５２は、シート受容凹部５１２に受容されているため、ディスク５１のシートガイド部５１１と弁座２１との突き当てにより、バルブシート５２の撓み変形量が規制される。これにより、過度なバルブシート５２の変形による塑性変形が防止され、バルブシート５２の耐久性を向上させる効果を奏する。

逆止弁１では、弁体５がか閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との対向面の間に空間５４を形成して、弁体５の弁座２１との当接時にバルブシート５２の撓み変形を許容するようになっていればよく、様々な変更が可能である。例えば、図５に示されているように、バルブシート５２のディスク５１と反対側の表面において、環状隆起部５２１よりも内側に、環状溝５５を設けてもよい。環状溝５５は、バルブシート５２のテーパ状傾斜部（テーパ状傾斜部は、平坦部と角度θをなし、好ましくは３°≦θ≦３０°の範囲となっている。）と対向する領域に設けることが好ましい。この場合、環状溝５５の外周側側壁を傾斜壁５６となるように形成して、環状隆起部５２１の内周側表面に接続するようにすることがさらに好ましい。このような環状隆起部５２１を設けることにより、バルブシート５２が厚い場合でも、バルブシート５２の外周部が撓み変形しやすくなる。また、逆止弁１では、ディスク５１とシートホルダ５３との間にバルブシート５２を挟んだ状態でシートホルダ５３の貫通孔に挿通させたボルトにナットを締結することにより、ディクス５１にバルブシート５２を保持している。しかしながら、例えば、図５に示されているように、ディスク５１のシート受容凹部５１２内にバルブシート５２を配置した状態で、シートホルダ５３を用いずに、バルブシート５２の中央の貫通孔に挿通させたボルトをディスク５１の中央に設けたネジ孔に螺合させることにより、バルブシート５２をディスク５１に保持することも可能である。この場合、バルブシート５２の外周とシートガイド部５１１との間に隙間が形成されるようにバルブシート５２を位置決めするために、ディスク５１と反対側のバルブシート５２の面に設けられた嵌合凹部５２２の直径がボルトの頭部の最大径（丸ボルトの場合のボルト頭部の直径又は六角ボルトの場合の最大対角線の長さ）と等しくなるようにすることが好ましい。これにより、ボルトの頭部が嵌合凹部５２２に嵌合したときにボルトの頭部の外周が嵌合凹部５２２の内周面に係合して、予め定められた位置にバルブシート５２を位置決めすることができる。すなわち、嵌合凹部５２２が軸合わせ部として機能する。

次に、図６及び図７を参照して、本発明の第２の実施形態のスイング式逆止弁１’を説明する。図６及び図７では、図１及び図２に示されている第１の実施形態の逆止弁１と同じ構成要素に共通の参照符号を付している。以下では、第１の実施形態の逆止弁１と第２の実施形態の逆止弁１’との相違点について主に説明する。

第２の実施形態の逆止弁１’では、バルブシート５２ではなく、ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面の外周部が外周縁部へ向かうにつれバルブシート５２から離れるようにテーパ状に傾斜することにより、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との対向面の間の空間５４を形成している。この空間５４により、第１の実施形態の逆止弁１と同様に、弁体５と弁座２１との当接時にバルブシート５２の撓み変形を許容して、弁体５のバルブシート５２と弁座２１の弁座面とを均一に当接させるようにしてる。なお、バルブシート５２とディスク５１との接触領域の終端がバルブシート５２の撓み変形部の始点となるので、ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面が、テーパ状に傾斜していることにより、バルブシート５２の撓み変形量が規制され、階段状の段部の場合と比較して、撓み変形時に始点部に生じる応力が緩和される。

また、第２の実施形態の逆止弁１’では、バルブシート５２の嵌合凹部５２４が貫通孔となっている。このため、図７（ａ）に詳細に示されているように、軸合わせ部が、ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面から突出する突出部５１３と相補的形状となるように設けられたバルブシート５２の嵌合凹部５２４によって構成されていると共に、ディスク５１とシートホルダ５３との固定がシートホルダ５３からディスク５１の突出部５１３まで貫通するネジ穴にボルトを螺合させることにより行われている。本実施形態の軸合わせ部では、突出部５１３の外周面と嵌合凹部５２４の内周面との係合により、ディスク５１に対するバルブシート５２の位置決めが行われる。また、ボルトが貫通孔であるバルブシート５２の嵌合凹部５２４に嵌合されるディスク５１の突出部５１３に螺合されるため、バルブシート５２にボルトの挿通のための貫通孔を別に設ける必要がない。

さらに、第２の実施形態の逆止弁１’では、ディスク５１が、ディスク５１に設けられた取付部５１４をアーム８に設けられた挿入孔８２に遊嵌した状態で取付部５１４の先端部に設けられたネジ部にナットを締結することにより、アーム８に取り付けられている。このような構成により、アーム８に対するディスク５１の傾斜が許容されるので、弁体５のディスク５１の姿勢変化の自由度が高まり、バルブシート５２が弁座２１に均一に当接させることが容易となる。

加えて、第２の実施形態の逆止弁１’では、弁本体２とボンネット３との接続が螺合ではなく、ボルト及びナットの組み合わせにより行われている。

第２の実施形態の逆止弁１’は、他の点においては、第１の実施形態の逆止弁１と共通する構成及び動作であるので、説明を省略する。

なお、本実施形態も様々な変更が可能である。例えば、本実施形態では、ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面から突出する突出部５１３と相補的形状となるように設けられたバルブシート５２の嵌合凹部５２４によって軸合わせ部が構成されているが、図７（ｂ）に示されているように、突出部５１３と嵌合するバルブシート５２の嵌合凹部５２４が貫通孔となっている点は変えず、ディスク５１と反対側のバルブシート５２の面にシートホルダ５３と嵌合する嵌合凹部５２２をさらに形成することも可能である。この場合には、嵌合凹部５２２を軸合わせ部として機能させ、嵌合凹部５２４は、突出部５１３を遊嵌させる大きさとしてもよい。また、第１の実施形態の変形形態と同様に、軸合わせ部としての嵌合凹部５２４を貫通孔とせずに、バルブシート５２及びシートホルダ５３の中央部に付加的に貫通孔を設け、ディスク５１とシートホルダ５３との間にバルブシート５２を挟んだ状態で、バルブシート５２及びシートホルダ５３に挿通させたボルトをディスク５１に螺合させてシートホルダ５３及びバルブシート５２をディスク５１に保持させるようにしてもよい。

次に、図８及び図９を参照して、本発明の第３の実施形態によるウエハ形逆止弁１１を説明する。図８及び図９では、図１及び図２に示されている第１の実施形態の逆止弁１の各構成要素と対応する構成要素に共通の参照符号を付している。

ウエハ形逆止弁１１は、弁箱９と、弁体５とを備える。弁箱９は、弁本体２と、弁体５の全開位置を規制するストッパー板３’とによって構成されており、弁本体２及びストッパー板３’は、概略同一の外径の略円環板形状を有している。ストッパー板３’は、弁本体２の下流側に固定され、弁本体２とストッパー板３’との接合面の間には、シール部材６が設けられている。弁本体２とストッパー板３’との固定方法は、限定されるものではなく、ボルト等の締結具を用いて行ってもよく、接着、溶着、溶接などによって行ってもよい。シール部材６も、特に限定されるものではなく、例えば、図８に示されているように、Ｏリングとしてもよく、ガスケットとしてもよい。

弁箱９の弁本体２部分には、弁室２２と、弁室２２に連通する入口流路２３とが形成され、ストッパー板３’には弁室２２に連通する出口流路３２が形成されている。入口流路２３及び出口流路３２の流路軸線は一直線上に延びていることが好ましい。また、入口流路２３の弁室２２側の開口部の周囲には環状の平坦面である弁座２１が形成されている。なお、図示されている実施形態では、弁座２１の弁座面は、流路軸線に垂直な平面と平行に形成されているが、第１の実施形態と同様に、流路軸線に垂直な平面に対して僅かに上向きに傾けて形成されていてもよい。

開弁時に流体の圧力で、弁体５がシャフト４周りに過度に搖動して、弁室２２や下流側配管の壁に衝突して、弁体５、弁箱９、下流側配管などが損傷することを防ぐために、弁箱９のストッパー板３’には、弁体５に当接して搖動範囲を規制する規制部３１が設けられている。図８に示されている実施形態では、規制部３１は、ストッパー板３’の出口流路３２の流路壁の上部に設けられており、ストッパー板３’の上流側の弁本体２と当接する端面から下流側の端面に向かって流路中心軸線へ向かって延びるテーパ状に形成されている。

弁体５は、ディスク５１と、ディスク５１に固定されるシールホルダ５３と、ディスク５１とシートホルダ５３との間に保持されるバルブシート５２とを含んでおり、シートホルダ５３とディスク５１との固定は、ボルトのような締結具を用いる方法など適宜の方法によって行われる。ディスク５１は、略円盤状であり、上部にシャフト４を挿通するためのアーム部を有する。弁室２２内には、シャフト４が、入口流路２３の流路軸線と垂直に延びるように弁箱９に支持され、ディスク部５１のアーム部がシャフト４周りに回動可能となるように、シャフト４がアーム部に挿通されている。このように弁箱９に搖動可能に軸支された弁体５が弁座２１に接離可能となっている。シャフト４が挿通されるアーム部のシャフト孔は、アーム部がシャフト４に対して径方向に移動することを許容できるように、シャフト４の直径よりも大きく形成されていることが好ましい。この場合、シャフト孔は、シャフト４の直径よりも大きい直径の円形断面を有してもよく、少なくとも短軸がシャフト４の直径よりも大きい直径の楕円形断面を有してもよい。このようにアーム部がシャフト４に対して径方向に移動することができるようになっていると、弁体５と弁座２１との当接時にディスク５１が弁座２１の弁座面に合せて傾斜することが可能となり、弁体５（詳細には、バルブシート５２の環状隆起部５２１）と弁座２１とが均等に圧接しやすくなる。

図９に詳細に示されているように、ディスク５１は、第１の実施形態のスイング式逆止弁１の場合と同様に、閉弁時の弁座側の面に形成されたシート受容凹部５１２と、シート受容凹部５１２の周囲部分によって構成されるシートガイド部５１１とを含んでおり、バルブシート５２の少なくとも一部（後述する環状隆起部５２１）がシートガイド部５１１を越えて外部へ突出した状態となるように、バルブシート５２がシート受容凹部５１２内にシートホルダ５３によって保持される。また、後述するバルブシート５２の外周部（閉弁時に弁座２１と相対するバルブシート５２の領域）の撓み変形を許容するように、バルブシート５２の外周とシートガイド部５１１との間に隙間が形成されるようになっている。

バルブシート５２は、熱可塑性樹脂から形成されており、略円盤形状を有し、その外周縁部に環状に延びる隆起部５２１が形成されている。このような環状隆起部５２１を設けることにより、バルブシート５２と弁座２１との接触面積を小さくし、比較的小さな流体圧の作用下でも、バルブシート５２と弁座２１との間に大きな面圧を得ることができる。この結果、低圧時でもシール性を向上させることが可能となる。

また、上述したように、シートガイド部５１１とバルブシート５２の外周部との間には隙間が形成されているため、ディスク５１にバルブシート５２を保持する際に、バルブシート５２がディスク５１上の予め定められた位置からずれて配置される可能性があり、シール不良の原因となり得る。このため、ウエハ形逆止弁１１では、ディスク５１に対してバルブシート５２を予め定められた位置に配置するための軸合わせ部が設けられている。

図８及び図９に示されている実施形態では、軸合わせ部として、貫通孔である嵌合凹部５２２が形成されており、シートホルダ５３に形成された突出部５３１を嵌合凹部５２２に嵌合させて嵌合凹部５２２の内周面とシートホルダ５３の突出部５３１の外周面とを係合させ、シートホルダ５３とディスク５１とを固定することにより、ディスク５１に対して予め定められた位置にバルブシート５２を位置決めできるようになっている。しかしながら、軸合わせ部は、ディスク５１に対して予め定められた位置にバルブシート５２を位置決めできるようになっていれば、図示されている形態に限定されるものではない。例えば、軸合わせ部は、第１の実施形態において例示した嵌合凹部５２４のような他の形態も採用することが可能である。

このような構成により、第１の実施形態のスイング式逆止弁１と同様に、入口流路２３から弁室２２へ向かって流体が流入すると、その圧力で弁座２１と当接する弁体５が搖動して弁座２１から離間し、開弁状態となり、入口流路２３から弁室２２への流体の流入を許容する一方、入口流路２３からの流体の流入が停止するか、または、出口流路３２から流体が逆流して弁室２２に流入すると、弁体５の自重及び逆流する流体の圧力で、弁体５が回動して弁座２１に圧接され、閉弁状態となり、出口流路３２から入口流路２３への逆流を防止する。

第３の実施形態によるウエハ形逆止弁１１の弁体５は、上述したように、ディスク５１と、ディスク５１に固定されるシートホルダ５２と、ディスク５１とシートホルダ５３との間に保持されるバルブシート５２とを含んでいる点で、第１の実施形態のスイング式逆止弁１の弁体５と共通している。したがって、第３の実施形態のウエハ形逆止弁１１の弁体５も第１の実施形態のスイング式逆止弁１の弁体５と同様の構成を採用することができ、同様に、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との対向面の間に空間５４を形成して、弁体５と弁座２１との当接時にバルブシート５２の撓み変形を許容することにより、弁体５のバルブシート５２と弁座２１の弁座面とをより均一に当接させるようになっている。

図８及び図９に示されている実施形態では、バルブシート５２のディスク側表面の外周部が外周縁部へ向かうにつれディスク５１から離れる方向にテーパ状に傾斜するようにバルブシート５２を形成することによって、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との間に空間５４を形成している。この場合、バルブシート５２は、中央部のみがディスク５１と接するような円錐形状又は円錐台形状を有していることが好ましい。テーパ状傾斜部は、バルブシート５２の中央部と外周縁部との間の一部のみに形成されていてもよい。また、テーパ状部分の傾斜角度（ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面と平行な平面とテーパ状部分の表面とがなす角度）は、３°〜３０°の範囲であることが好ましい。このような構成のバルブシート５２の作用及び効果は、第１の実施形態におけるバルブシート５２の作用及び効果と同様であるので、ここでは説明を省略する。

次に、図１０及び図１１を参照して、本発明の第４の実施形態のリフト式逆止弁１２を説明する。図１０及び図１１では、図１及び図２に示されている第１の実施形態の逆止弁１の各構成要素と対応する構成要素に共通の参照符号を付している。

第１の実施形態から第３の実施形態として、弁体５を搖動させて弁座２１に当接させることによって、弁の開閉を行うタイプの逆止弁に本発明を適用した実施形態を説明した。しかしながら、本発明の適用対象は、弁体５を搖動させるタイプの逆止弁に限定されるものではない。例えば、図１０及び図１１に示されている実施形態のように、弁座２１に対して垂直な方向に移動可能な弁体５を弁座２１に接離することによって弁の開閉を行うリフト式逆止弁１２にも適用可能である。

リフト式逆止弁１２は、アングルタイプであり、弁箱９と、弁体５とを備える。弁箱９は、弁本体２と、弁本体２に固定されるボンネット３とによって構成されており、弁本体２とボンネット３との接合面の間には、シール部材６が設けられている。弁本体２とボンネット３との固定方法は、図１０及び図１１に示されている実施形態では、キャップナットを用いて、キャップナットと弁本体２との間にボンネット３の一部を挟持する方法が用いられているが、特に限定されるものではない。

弁本体２には、弁室２２と、弁室２２に連通する入口流路２３及び出口流路２４とが形成されている。また、入口流路２３の弁室２２側の開口部の周囲には、環状の平坦面である弁座２１が形成されており、弁座２１は、入口流路２３の流路軸線に垂直な平面に対して上向きに傾斜されている。さらに、弁本体２には、弁座２１に垂直に延びる側管部２５が形成されており、側管部２５の上部開口にボンネット３が装着される。

弁体５は、弁軸８’に支持されており、側管部２５内に設けられた弁軸ガイド部３３に沿った弁軸８’の移動により、弁座２１に接離可能となっている。図１０及び図１１に示されている実施形態では、弁軸ガイド部３３は、ボンネット３を側管部２５に装着したときに側管部２５内に挿入されるボンネット３の一部分として形成されている。

弁体５は、第１の実施形態の逆止弁１と同様に、弁軸８’に取り付けられるディスク５１と、ディスク５１に固定されるシートホルダ５３と、ディスク５１とシートホルダ５３との間に保持されるバルブシート５２とを含んでいる。図１０及び図１１に示されている実施形態では、弁軸８’とディスク５１とが一体的に形成されていると共に、バルブシート５２とシートホルダ５３の中央部に貫通孔が設けられており、ディスク５１とシートホルダ５３との間にバルブシート５２を挟んだ状態で、これら貫通孔に挿通したボルトをディスク５１に設けられたネジ穴に螺合させ、ディスク５１にシートホルダ５３を固定することにより、ディスク５１に、バルブシート５２を保持している。

図１０及び図１１に示されている実施形態では、弁軸８’とディスク５１とを一体的に形成しているが、弁軸８’へのディスク５１の取り付け方法は、図示されている実施形態に限定されるものではなく、例えば、弁軸８’の先端に雄ネジ部を設けると共に、ディスク５１に対応する雌ネジ部を設け、螺合により弁軸８’にディスク５１を取り付けてもよい。また、ディスク５１へのバルブシート５２の保持方法も図示されている実施形態に限定されるものではなく、接着、溶着、溶接などにより行うことも可能である。

図１１に詳細に示されているように、ディスク５１は、閉弁時の弁座側の面に形成されたシート受容凹部５１２と、シート受容凹部５１２の周囲部分によって構成されるシートガイド部５１１とを含んでおり、バルブシート５２の少なくとも一部（後述する環状隆起部５２１）がシートガイド部５１１を越えて外部へ突出した状態となるように、バルブシート５２がシート受容凹部５１２内にシートホルダ５３によって保持される。また、後述するバルブシート５２の外周部（閉弁時の弁座２１と相対するバルブシート５２の領域）の撓み変形を許容するように、バルブシート５２の外周とシートガイド部５１１との間に隙間が形成されるようになっている。

バルブシート５２は、熱可塑性樹脂から形成されており、略円盤形状を有し、その外周縁部に環状に延びる隆起部５２１が形成されている。このような環状隆起部５２１を設けることにより、バルブシート５２と弁座２１との接触面積を小さくし、比較的小さな流体圧の作用下でも、バルブシート５２と弁座２１との間に大きな面圧を得ることができる。この結果、低圧時でもシール性を向上させることが可能となる。

また、上述したように、シートガイド部５１１とバルブシート５２の外周との間には隙間が形成されているため、ディスク５１にバルブシート５２を保持する際に、バルブシート５２がディスク５１上の予め定められた位置からずれて配置される可能性があり、シール不良の原因となり得る。このため、リフト式逆止弁１２では、ディスク５１に対してバルブシート５２を予め定められた位置に配置するための軸合わせ部が設けられている。

図１０及び図１１に示されている実施形態では、軸合わせ部として、貫通孔である嵌合凹部５２４が形成されており、ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面から突出する突出部５１３を嵌合凹部５２４に嵌合させて嵌合凹部５２４の内周面とディスク５１の突出部５１３の外周面とを係合させ、シートホルダ５３とディスク５１とを固定することにより、ディスク５１に対して予め定められた位置にバルブシート５２を位置決めできるようになっている。しかしながら、軸合わせ部は、ディスク５１に対して予め定めれた位置にバルブシート５２を位置決めできるようになっていれば、図示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、軸合わせ部は、第１の実施形態において例示した嵌合凹部５２２のような他の形態も採用することが可能である。

このような構成により、第１の実施形態のスイング式逆止弁１と同様に、入口流路２３から弁室２２へ向かって流体が流入すると、その圧力で弁座２１と当接する弁体５が上昇して弁座２１から離間し、開弁状態となり、入口流路から弁室２２への流体の流入を許容する一方、入口流路２３からの流体の流入が停止するか、または、出口流路２４から流体が逆流して弁室２２に流入すると、弁体５の自重及び逆流する流体の圧力で、弁体５が下降して弁座２１に圧接され、閉弁状態となり、出口流路２４から入口流路２３への逆流を防止する。

第４の実施形態によるリフト式逆止弁１２の弁体５は、上述したように、ディスク５１と、ディスク５１に固定されるシートホルダ５２と、ディスク５１とシートホルダ５３との間に保持されるバルブシート５２とを含んでいる点で、第１の実施形態のスイング式逆止弁１の弁体５と共通している。したがって、第４の実施形態のリフト式逆止弁１２の弁体５も第１の実施形態のスイング式逆止弁１の弁体５と同様の構成を採用することができ、同様に、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との対向面の間に空間５４を形成して、弁体５と弁座２１との当接時にバルブシート５２の撓み変形を許容することにより、弁体５のバルブシート５２と弁座２１の弁座面とをより均一に当接させるようになっている。

図１０及び図１１に示されている実施形態では、バルブシート５２のディスク側表面の外周部とディスク５１のシート受容凹部５１２の底面の外周部が外周縁部へ向かうにつれ互いから離れる方向にテーパ状に傾斜するようにディスク５１のシート受容凹部５１２及びバルブシート５２を形成することによって、弁体５が閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２との間に空間５４を形成している。テーパ状傾斜部は、ディスク５１のシート受容凹部５１２又はバルブシート５２の中央部と外周縁部との間の一部のみに形成されていてもよい。また、テーパ状部分の傾斜角度（ディスク５１のシート受容凹部５１２の底面と平行な平面とテーパ状部分の表面とがなす角度）は、３°〜３０°の範囲であることが好ましい。このような構成のバルブシート５２の作用及び効果は、第１の実施形態や第２の実施形態におけるバルブシート５２の作用及び効果と同様であるので、ここでは説明を省略する。

以上、図示された実施形態を参照して、本発明による逆止弁を説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではない。例えば、図示されている第１の実施形態及び第２の実施形態のスイング式逆止弁１，１’や第３の実施形態のウエハ形逆止弁１１では、閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１とバルブシート５２の対向面の間に空間５４を形成するために、ディスク５１又はバルブシート５２の一方にテーパ状の傾斜部を設けている。しかしながら、例えば、第４の実施形態のリフト式逆止弁１２のように、スイング式逆止弁１，１１でも、閉弁時に弁座２１と相対する領域において、ディスク５１及びバルブシート５２の両方で、互いから離れる方向にテーパ状に傾斜させるように形成してもよい。また、第１の実施形態から第４の実施形態の説明において、例示されている各構成要素間の固定方法、例えば、ディスク５１とシートホルダ５３との固定方法など、は、異なる実施形態の逆止弁にも適用可能である。さらに、第１の実施形態の説明で記載したように、第２の実施形態から第４の実施形態でも、シートホルダ５３を用いることなく、ディスク５１にバルブシート５２を固定することも可能である。

１ 逆止弁
２ 弁体
３ ボンネット
４ シャフト
５ 弁体
８ アーム
８’ 弁軸
９ 弁箱
１１ 逆止弁
１２ 逆止弁
２１ 弁座
２２ 弁室
２３ 入口流路
２４ 出口流路
５１ ディスク
５２ バルブシート
５３ シートホルダ
５４ 空間
５５ 環状溝
８１ シャフト孔
５１２ シート受容凹部
５２１ 隆起部
５２２ 嵌合凹部
５２３ 環状突起

Claims (10)

1. 弁室と該弁室に連通する入口流路及び出口流路とが形成されている弁箱と、前記弁室内に設けられた弁体とを備え、前記弁体が前記入口流路の弁室側開口部の周囲に形成された弁座に接離可能とされている逆止弁であって、
   前記弁体が、ディスクと、閉弁時に前記弁座に当接するバルブシートと、前記ディスクとの間に前記バルブシートを挟んで保持するシートホルダとを含み、前記バルブシートと前記ディスクとの対向面の少なくとも一方が、閉弁時に前記弁座と相対する前記弁体の領域において前記対向面の間に空間を形成するように、テーパ状に傾斜している部分を有することを特徴とする逆止弁。
2. 前記バルブシートのディスク側表面が外周縁部へ向かうにつれ前記ディスクから離れるようにテーパ状に傾斜している部分を有する、請求項１に記載の逆止弁。
3. 前記バルブシートが円錐形状又は円錐台形状に形成されている、請求項２に記載の逆止弁。
4. 閉弁時に前記弁座と当接する前記バルブシートの領域に、環状隆起部が形成されている、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の逆止弁。
5. 前記バルブシートの前記環状隆起部より内側に環状溝が形成されている、請求項４に記載の逆止弁。
6. 前記ディスクに、前記バルブシートを受容するためのシート受容凹部が形成されており、前記バルブシートが、前記シート受容凹部に受容された状態で、前記シートホルダによって前記ディスクに保持される、請求項１から請求項５の何れか一項に記載の逆止弁。
7. 前記バルブシートに、前記シートホルダ又は前記ディスクの一部と係合して前記バルブシートを前記ディスク上の予め定められた位置に位置決めする軸合わせ部が形成されている、請求項１から請求項６の何れか一項に記載の逆止弁。
8. 前記軸合わせ部が、前記シートホルダと嵌合する嵌合凹部であり、該嵌合凹部の周囲を取り囲むように前記バルブシートの表面から突出する環状突起が形成されている、請求項７に記載の逆止弁。
9. 前記弁体が、前記弁箱に支持されるシャフト周りに回動可能なアームを介して前記弁箱に軸支されており、前記アームに設けられたシャフト孔が該シャフト孔に挿通される前記シャフトの直径よりも大きくなるように形成されている、請求項１から請求項８の何れか一項に記載の逆止弁。
10. 前記逆止弁は、スイング式逆止弁、ウエハ形逆止弁及びリフト式逆止弁のうちの何れかである、請求項１から請求項８の何れか一項に記載の逆止弁。

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