TWI659057B - 光波導用感光性樹脂組成物及光波導芯層形成用光硬化性薄膜、以及使用其之光波導、光．電傳送用混合撓性印刷配線板 - Google Patents

光波導用感光性樹脂組成物及光波導芯層形成用光硬化性薄膜、以及使用其之光波導、光．電傳送用混合撓性印刷配線板 Download PDF

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Abstract

本發明是一種光波導用感光性樹脂組成物，其含有樹脂成分及光聚合起始劑，且上述樹脂成分是以具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂作為主成分而構成。因此，將該光波導用感光性樹脂組成物使用在例如形成光波導的芯層時，便具有高透明性，並可將光波導傳播光之波長850nm下來自樹脂骨架的振動吸收迴避掉，其結果可實現光波導的低損失化。

Description

光波導用感光性樹脂組成物及光波導芯層形成用光硬化性薄膜、以及使用其之光波導、光．電傳送用混合撓性印刷配線板 發明領域
本發明是關於作為構成光‧電傳送用混合撓性印刷配線板中之光波導之芯層等的形成材料使用之光波導用感光性樹脂組成物及光波導芯層形成用光硬化性薄膜、以及使用其之光波導、光‧電傳送用混合撓性印刷配線板，而前述光波導係廣泛使用在光通信、光資訊處理、及其他一般光學領域上。
發明背景
過去以來，會在應用於光‧電傳送用混合撓性印刷配線板的光波導芯層形成材料上，使用由液狀的感光性單體構成之混合物，並在使用其之芯層圖案形成之際，藉由透過光罩進行紫外線(UV)照射，製造出所需的芯層圖案。作為這樣的芯層形成材料，會比包覆層形成材料要求更高的折射率，因此以往通常會執行使用了高芳香族性樹脂之摻混設計。例如，在光波導的芯層形成材料中，在針對波長850nm的光損失的改善上，主要是以減少其短波長區 的吸收波峰及於850nm為目的，摻混設計的一般手法是透過形成材料的樹脂成分純度進行該形成材料透明性的改善，尤其是光硬化系樹脂材料的情況下，會將光聚合起始劑的使用量減少(專利文獻1、2)。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本專利特開2010-230944號公報
專利文獻2：日本專利特開2011-52225號公報
發明概要
然而，在將波長850nm之光用於傳播光之光波導中，芳香族樹脂骨架的使用由於芳香族環之C-H鍵之振動吸收的4倍頻吸收(芳香族4vCH)波峰及於850nm，因此不管如何確保材料的透明性，在損失降低上還是有限，故對以長距離傳送為目的之用途的光波導來說，還需要再進一步降低損失。也就是說，期望藉由將光波導傳播光850nm下之來自樹脂骨架的振動吸收迴避掉，以謀求低損失化。
本發明是有鑒於上述事實而作成者，其目的在於提供可實現低損失化之光波導用感光性樹脂組成物及光波導芯層形成用光硬化性薄膜、以及使用其之光波導、光‧電傳送用混合撓性印刷配線板。
為了達成上述目的，本發明之第1要點為光波導 用感光性樹脂組成物，其含有樹脂成分及光聚合起始劑，且上述樹脂成分是以具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂作為主成分而構成。
又，本發明之第2要點為光波導芯層形成用光硬化性薄膜，是將上述第1要點之光波導用感光性樹脂組成物形成為薄膜狀而成。
此外，本發明之第3要點為光波導，是由基材及在該基材上形成包覆層，進一步在上述包覆層中以預定圖案形成傳播光信號之芯層而構成者，且上述芯層是藉由使上述第1要點的光波導用感光性樹脂組成物、或上述第2要點的光波導芯層形成用光硬化性薄膜硬化形成而成。
並且，本發明之第4要點為光‧電傳送用混合撓性印刷配線板，其具備上述第3要點的光波導。
本發明人為了得到可成為高透明性且低損失優異之光波導芯層形成材料的感光性樹脂組成物，不斷地致力研究。其結果發現，當使用形成上述摻混成分之感光性環氧樹脂組成物時，就可以達成預期的目的，因而完成了本發明。
上述高透明性(低損失)起因為所使用之樹脂骨架，由於以往的芯層形成材料要求較包覆層高的折射率，因此如前所述，在其設計上使用含有芳香族骨架的樹脂。然而，因該芳香族骨架的存在會使傳播光850nm的波長帶重疊於來自芳香環C-H鍵之振動吸收的4倍頻吸收(4vCH)波側邊，所以要達到一定程度以上的損失降低會有其界限。本 發明在芯層形成材料上，使用樹脂成分以具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂作為主成分的芯層形成材料，且該脂肪族系樹脂實質上不包含芳香環，亦即不包含芳香族骨架，藉此完成可將來自芳香環的4倍頻吸收(4vCH)的影響排除掉之材料設計。
如所述，本發明為一種含有樹脂成分及光聚合起始劑的光波導用感光性樹脂組成物，且該樹脂成分是以具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂作為主成分。因此，使用該光波導用感光性樹脂組成物在例如形成光波導的芯層時，不再如以往一樣使用芳香族系樹脂作為主成分，因而具有高透明性，並將光波導傳播光850nm下之來自樹脂骨架的振動吸收迴避掉，故可實現低損失化。
用以實施發明之形態
接下來，將就本發明的實施形態進行詳細說明。只是，本發明並不受限於該實施形態。
《光波導用感光性樹脂組成物》
本發明的光波導用感光性樹脂組成物(以下，有時簡稱為「感光性樹脂組成物」)，是使用作為樹脂成分並具有聚合性取代基之脂肪族性樹脂、及光聚合起始劑所得。且，本發明之特徵在於樹脂成分是以具有上述聚合性取代基之 脂肪族系樹脂作為主成分而構成。再者，在本發明之宗旨下，上述所謂的「主成分」除了樹脂成分僅由具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂所構成的情況以外，亦可在不妨害本發明效果之範圍內，摻混不具有聚合性取代基之例如可產生作為黏合劑樹脂之作用的脂肪族系樹脂。在此情況下，意指作為主成分之具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂構成整體樹脂成分的50重量%以上。又，在本發明中，「液狀」或「固態」意指在25℃的溫度下呈現「液狀」或「固態」之狀態。
以下，將就各種成分依序地進行說明。
<具有聚合性取代基的脂肪族系樹脂>
作為具有上述聚合性取代基之脂肪族系樹脂，可舉例如2,2-雙(羥甲基)-1-丁醇之1,2-環氧基-4-(2-環氧乙基)環己烷加成物等的多官能脂肪族環氧樹脂、3',4'-環氧基環己基甲基-3,4-環氧基環己烷羧酸酯等的脂肪族環氧樹脂。此外，作為可產生作為黏合劑樹脂之作用的樹脂，可舉例如不具有芳香環之氫化雙酚A型環氧樹脂、氫化雙酚F型環氧樹脂等。可將該等單獨使用或是將2種以上合併使用。具體地說，可列舉出EHPE3150、EHPE3150CE(皆為Daicel公司製)、YX-8040、YX-8000、YX-8034(皆為三菱化學公司製)、ST-4000D(新日鐵化學公司製)、Celloxide 2021P(Daicel公司製)等。再者，在本發明之宗旨下，脂肪族環氧樹脂包含脂環式環氧樹脂。並且，作為上述脂肪族系樹脂，以顯示為固態者為佳，此時的固態乃如上所述意指在常溫(25℃)的溫 度下呈現固體狀態。
並且，上述具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂中之聚合性取代基，可舉例如：環氧基、具有脂環式骨架之環氧基、具有氧呾骨架之取代基等。又以環氧基為佳。
<光聚合起始劑>
上述光聚合起始劑是用於對感光性樹脂組成物賦予經由光照射形成的硬化性之物，例如用於賦予紫外線硬化性。
作為上述光聚合起始劑，宜使用光酸產生劑。上述光酸產生劑，可舉例如苯偶姻類、苯偶姻烷基醚類、苯乙酮類、胺苯乙酮類、蒽醌類、9-氧硫類、縮酮類、二苯甲酮類、酮類、膦氧化物類等的光酸產生劑(光陽離子硬化起始劑)。具體地說，可列舉出：三苯基鋶．六氟銻酸鹽、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙-1-酮、1-羥基-環己基-苯基-酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)-苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-芐基]苯基}-2-甲基-丙-1-酮、2-芐基-2-二甲胺基-1-(4-啉基苯基)-丁酮-1,2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-啉基-1-丙酮、雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲醯基-二苯基-氧化膦、雙(η5-2,4-環戊二烯-1-基)-雙(2,6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基)鈦、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-芐基]苯基}-2-甲基-丙-1-酮等。可將其等單獨使用或是將2種以上合併使用。其中，從快速的硬化速度與厚膜硬化性的觀點來看，宜使用三苯基鋶．六氟銻酸鹽、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙-1-酮、1- 羥基-環己基-苯基酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-芐基]-苯基}-2-甲基-丙-1-酮為較佳。
相對於作為感光性樹脂組成物之樹脂成分的具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂100重量份，宜將上述光聚合起始劑的含量設定在0.1~3重量份，較佳為0.1~1重量份。也就是說，當光聚合起始劑的含量太少時，難以得到令人滿意之透過光照射(紫外線照射)形成的光硬化性，當含量太多時，則光敏度會上升，並發現在形成圖案時有導致形狀異常之傾向，及有對初期損失要求的物性惡化的傾向。
本發明的感光性樹脂組成物中，除了作為上述樹脂成分之具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂、與光聚合起始劑以外，因應需要，例如為提高接著性，還可列舉出矽烷系或鈦系的耦合劑、烯烴系寡聚物及降萡烯系聚合物等環烯烴系寡聚物或聚合物、合成橡膠、聚矽氧化合物等黏著賦予劑、受阻酚系抗氧化劑及磷系抗氧化劑等各種抗氧化劑、調平劑、消泡劑等。該等添加劑在不阻礙本發明之效果的範圍內，可以適當地摻混。其等可單獨使用或是將2種以上合併使用。
相對於作為感光性樹脂組成物之樹脂成分的具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂100重量份，宜將上述抗氧化劑的摻混量設定在小於3重量份，尤以0.5~1重量份為佳。也就是說，當抗氧化劑的含量太多時，會發現對初期損失要求的物性有惡化的傾向。
本發明的感光性樹脂組成物可藉由將上述具有 聚合性取代基之脂肪族系樹脂及光聚合起始劑甚而因應需要而使用的其他添加劑按預定的摻混比例進行攪拌混合而調製出。此外，為了將本發明的感光性樹脂組成物調製作為塗布用清漆，亦可在加熱下(例如，60~90℃左右)，使其攪拌溶解於有機溶劑內。上述有機溶劑的使用量可以適當調整，但是舉例來說，宜相對於100重量份的感光性樹脂組成物的樹脂成分(具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂)設定在10~80重量份，尤以10~40重量份為佳。即，當有機溶劑的使用量太少時，於調製作為塗布用清漆時，就會變成高黏度而有塗布性變差的傾向，當有機溶劑的使用量太多時，則有難以使用塗布用清漆塗布形成厚膜的傾向。
作為在調製上述塗布用清漆時所使用的有機溶劑，可舉例如：乳酸乙酯、甲基乙基酮、環己酮、乳酸乙酯、2-丁酮、N,N-二甲基乙醯胺、二甘二甲醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇乙酸甲酯、丙二醇一甲醚、四甲基呋喃、二甲氧基乙烷等。可以將該等有機溶劑單獨使用或是將2種以上合併使用，且可在例如上述範圍內所設定的量使用，以形成適合塗布的黏度。
《光波導》
接下來，就使用本發明的感光性樹脂組成物作為芯層形成材料所形成之光波導進行說明。
根據本發明所得到之光波導是例如由基材、在該基材上以預定圖案形成之包覆層(下包層)、在上述包覆層上以預定圖案形成之用以傳播光信號之芯層、及進一步形成 在上述芯層上之包覆層(上包層)之構成所形成。並且，根據本發明所得到的光波導，其特徵在於上述芯層是藉由前述感光性樹脂組成物形成。又，關於上述下包層形成材料及上包層形成材料，可使用由相同成分組成所構成之包覆層形成用樹脂組成物，也可使用不同成分組成之樹脂組成物。再者，根據本發明所得到的光波導中，必須將上述包覆層形成為折射率小於芯層。
在本發明中，光波導例如可經由如下所述的步驟來製造。亦即，準備基材，並在該基材上塗布由作為包覆層形成材料之感光性樹脂組成物所構成的感光性清漆。可藉由對該清漆塗布面進行紫外線等的光照射，再因應需要進行加熱處理，以使感光性清漆硬化。如此即形成下包層(包覆層的下方部分)。
其次，在上述下包層上，藉由塗布使本發明的感光性樹脂組成物溶解於有機溶劑中而成之芯層形成材料(感光性清漆)，形成芯形成用的未硬化層。此時，於塗布上述芯層形成材料(感光性清漆)後，藉由將有機溶劑加熱乾燥予以去除，而形成可成為未硬化之光波導芯層形成用光硬化性薄膜的薄膜形狀。然後，在該芯形成用未硬化層的表面上，配置用以使預定圖案(光波導圖案)曝光之光罩，並透過該光罩進行紫外線等的光照射，再因應需要進行加熱處理。之後，藉由使用顯影液將上述芯形成用未硬化層的未曝光部分溶解去除，而形成預定圖案的芯層。
接著，在上述芯層上，塗布由上述作為包覆層形 成材料之感光性樹脂組成物所構成的感光性清漆後，藉由進行紫外線照射等的光照射，再因應需要進行加熱處理，以形成上包層(包覆層的上方部分)。經由這樣的步驟，就可以製造出目標之光波導。
作為上述基材材料，可舉例如矽晶圓、金屬製基板、高分子薄膜、玻璃基板等。且，作為上述金屬製基板，可舉如SUS等的不鏽鋼板等。又，上述高分子薄膜具體上可列舉出聚對苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜、聚萘二甲酸乙二酯薄膜、聚醯亞胺薄膜等。並且，通常將其厚度設定在10μm~3mm的範圍內。
上述光照射具體來說是進行紫外線照射。作為上述紫外線照射中的紫外線光源，可舉例如低壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈等。又，紫外線的照射量，通常為10~20000mJ/cm2，較佳是100~15000mJ/cm2，更佳是500~10000mJ/cm2左右。
經由上述紫外線照射之曝光後，為了使光反應下之硬化完成，也可進一步施行加熱處理。上述加熱處理條件通常是在80~250℃且較佳是在100~150℃下，於10秒~2小時、較佳為5分鐘~1小時的範圍內進行。
又，上述包覆層形成材料，可舉例如：雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、氫化雙酚A型環氧樹脂、氟化環氧樹脂、環氧改質矽氧樹脂等各種液狀環氧樹脂；固態環氧樹脂；甚至是適當含有前述各種光酸產生劑的樹脂組成物；並可進行與芯層形成材料相比適度調低折射率之 摻混設計。此外，因應需要會將包覆層形成材料調製為清漆以進行塗布，因此為了得到適合塗布之黏度，可適量使用各種習知的有機溶劑，還有不至於使作為用上述芯層形成材料形成之光波導的機能降低程度之各種添加劑(抗氧化劑、黏著賦予劑、調平劑、UV吸收劑)。
作為用於上述清漆調製用之有機溶劑，與前述相同，可舉例如：乳酸乙酯、甲基乙基酮、環己酮、乳酸乙酯、2-丁酮、N,N-二甲基乙醯胺、二甘二甲醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇乙酸甲酯、丙二醇一甲醚、四甲基呋喃、二甲氧基乙烷等。可將該等有機溶劑單獨或是將2種以上合併而適量使用，以得到適合塗布的黏度。
再者，在上述基材上使用各層的形成材料進行塗布之方法，可以採用例如：以旋塗機、塗布機、圓形塗布機、棒塗機等進行塗布的方法；網版印刷；使用間隔件形成間隙，再於其中利用毛細管現象進行注入之方法；及藉由多功能塗布機(multi-coater)等塗布機以R-to-R(輥對輥)連續塗布之方法等。又，上述光波導亦可藉由將上述基材剝離去除而做成薄膜狀光波導。
如此進行所得到之光波導，可以作為例如，光‧電傳送用混合撓性印刷配線板用的光波導使用。
實施例
接著，根據實施例說明本發明。惟，本發明並不以該等實施例為限。再者，除非另作說明，在實施例中的「份」是指重量基準。
[實施例1]
按如下所述進行以調製出作為芯層形成材料之感光性清漆。
<芯層形成材料的調製>
在遮光條件下，將100份的固態多官能脂肪族環氧樹脂(EHPE3150，Daicel公司製)、1份的光酸產生劑(SP-170，ADEKA公司製)、0.5份的受阻酚系抗氧化劑(Songnox1010，共同藥品公司製)、0.5份的磷系抗氧化劑(HCA，三光社製)，混合到30份的乳酸乙酯中，在85℃下加熱攪拌使其完全溶解，之後冷卻到室溫(25℃)後，使用直徑1.0μm的薄膜過濾器進行加熱加壓過濾，藉此調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[實施例2]
在芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將脂肪族系樹脂的成分摻混設成50份的固態多官能脂肪族環氧樹脂(EHPE3150，Daicel公司製)、及50份的固態氫化雙酚A型環氧樹脂(YX-8040，三菱化學公司製)。除此之外，與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[實施例3]
在作為芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將脂肪族系樹脂的成分摻混設成50份的固態多官能脂肪族環氧樹脂(EHPE3150，Daicel公司製)、及50份的雙官能脂環式環氧樹脂(3',4'-環氧環己基甲基-3,4-環氧環己烷羧酸酯： Celloxide2021P，Daicel公司製)，並將乳酸乙酯的摻混量設成20份。除此之外與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[實施例4]
在作為芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將脂肪族系樹脂的成分摻混設成20份的固態多官能脂肪族環氧樹脂(EHPE3150，Daicel公司製)、及80份的雙官能脂環式環氧樹脂(3',4'-環氧環己基甲基-3,4-環氧環己烷羧酸酯：Celloxide 2021P，Daicel公司製)，並將乳酸乙酯的摻混量設成10份。除此之外，與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[實施例5]
在作為芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將脂肪族系樹脂的成分摻混設成50份的固態氫化雙酚A型環氧樹脂(YX-8040，三菱化學公司製)、及50份的雙官能脂環式環氧樹脂(3',4'-環氧環己基甲基-3,4-環氧環己烷羧酸酯：Celloxide 2021P，Daicel公司製)。除此之外，與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[實施例6]
在作為芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將脂肪族系樹脂的成分摻混設成20份的固態氫化雙酚A型環氧樹脂(YX-8040，三菱化學公司製)、及80份的雙官能脂環式環氧樹脂(3',4'-環氧環己基甲基-3,4-環氧環己烷羧酸酯：Celloxide 2021P，Daicel公司製)，並將乳酸乙酯的摻混量 設成10份。除此之外，與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[比較例1]
在作為芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將樹脂成分的摻混組成設成100份芳香族樹脂之甲酚酚醛型多官能環氧樹脂(YDCN-700-10，新日鐵住金化學公司製)，並將乳酸乙酯的摻混量設成40份。除此之外，與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[比較例2]
在作為芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將樹脂成分的摻混組成設成50份脂肪族系樹脂之固態多官能脂肪族環氧樹脂(EHPE3150，Daicel公司製)、與50份芳香族樹脂之甲酚酚醛型多官能環氧樹脂(YDCN-700-10，新日鐵住金化學公司製)，並將乳酸乙酯的摻混量設成40份。除此之外，與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
[比較例3]
在作為芯層形成材料之感光性清漆的調製中，將樹脂成分的摻混組成設成90份脂肪族系樹脂之固態多官能脂肪族環氧樹脂(EHPE3150，Daicel公司製)、與10份芳香族系樹脂之液狀雙酚A型環氧樹脂(JER828，三菱化學公司製)。除此之外，與實施例1同樣地進行，以調製出可作為芯層形成材料之感光性清漆。
使用如此進行而得到之作為各芯層形成材料的 感光性清漆，依照以下所示方法進行損失評估(材料損失)之測定及評估。並將該等結果與芯層形成材料的摻混組成一起合併表示於以下的表1及表2中。
[損失評估(材料損失)]
藉由旋塗法將上述實施例及比較例中所得到的感光性清漆塗布在附有氧化膜的矽基板(厚度500μm)上達厚度5~10μm左右。接著，在加熱板上進行預焙(100℃×5分鐘)之後，在混合光線(寬頻光)下進行5000mJ(以波長365nm累積)的曝光，並進行後加熱(120℃×5分鐘)以形成薄膜。接下來，透過稜鏡耦合使波長850nm的光入射上述薄膜中，使其於上述薄膜中傳播。然後，改變傳播長度，並以光測量系統(多功能光功率計Q8221，Advantest公司製)量測該長度下之光強度，繪製相對於傳播長度之光損失，進行直線近似處理，從該直線的斜度算出各感光性清漆中的材料損失，並根據下述基準進行評估(稜鏡耦合法)。
○：材料損失為0.04dB/cm以下。
×：材料損失變成超過0.04dB/cm之結果。
從上述的結果看出，樹脂成分僅由脂肪族系樹脂構成所形成的感光性樹脂組成物(實施例製品)在關於損失 評估(材料損失)上，可得到良好的評估結果。
相對於此，樹脂成分除脂肪族系樹脂外還併用芳香族樹脂所形成之感光性樹脂組成物、或樹脂成分僅由芳香族樹脂構成所形成之感光性樹脂組成物，在關於損失評估(材料損失)上則得到較差的評估結果。
[光波導的製作]
接下來，利用上述實施例之作為芯層形成材料之感光性清漆，製作出光波導。首先，在製作光波導之前，先調製作為包覆層形成材料之感光性清漆。
<包覆層形成材料的調製>
在遮光條件下，將50份的液狀雙官能氟化烷基環氧樹脂(H022，TOSOH F-TECH公司製)、50份的液狀雙官能脂環式環氧樹脂(Celloxide2021P，Daicel公司製)、4.0份的光酸產生劑(Adeka Optomer-SP-170，Adcka公司製)、0.54份的磷系抗氧化劑(HCA，三光社製)、1份的矽烷耦合劑(KBM-403，信越Silicone(Shin-Etsu Silicone)公司製)加以混合，並在80℃加熱下攪拌使其完全溶解，之後再冷卻至室溫(25℃)後，使用直徑1.0μm的薄膜過濾器進行加熱加壓過濾，藉此調製出可作為包覆層形成材料之感光性清漆。
《光波導的製作》
<下包層的製作>
使用旋塗機，將作為上述包覆層形成材料之感光性清漆塗布在厚度約500μm的矽晶圓上後，以混合光線(寬頻光)進行5000mJ(以波長365nm累積)的曝光。之後，進行130℃× 10分鐘的後加熱，藉以製作出下包層(厚度20μm)。
<芯層的製作>
使用旋塗機，在所形成的下包層上，塗布作為芯層形成材料之感光性清漆(實施例1製品)之後，在加熱板上使有機溶劑(乳酸乙酯)乾燥(130℃×5分鐘)，藉以形成未硬化薄膜狀態的未硬化層。對所形成之未硬化層，以混合光線(寬頻光)進行9000mJ(以波長365nm累積)的光罩圖案曝光[圖案寬度/圖案間隔(L/S)=50μm/200μm]，並進行後加熱(140℃×5分鐘)。之後，藉由在N,N-二甲基乙醯胺(DMAc)中進行顯影(25℃×3分鐘)，再加以水洗，且在加熱板上使水分乾燥(120℃×5分鐘)，而製作出預定圖案的芯層(厚度55μm)。
如此便製作出在矽晶圓上形成有下包層、且在該下包層上形成有預定圖案之芯層的光波導。所製作出之光波導是在上述製造步驟中未發生任何問題之良好製品。
在上述的實施例中，雖然表示了關於本發明之具體的形態，但上述實施例只是作為例示說明用，並非用於限定解釋本發明。且本發明的範圍理應包括對本領域業者來說顯然可以得知的各種變形。
產業上之可利用性
本發明之光波導用感光性樹脂組成物可有用於作為光波導之構成部分的形成材料，尤有用於作為芯層形成材料。並且，使用上述光波導用感光性樹脂組成物所製作之光波導，可應用在例如光‧電傳送用混合撓性印刷配線板等上。

Claims (8)

  1. 一種光波導用感光性樹脂組成物，為含有樹脂成分及光聚合起始劑者，其特徵在於：上述樹脂成分是以顯示固態狀且具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂作為主成分而構成。
  2. 如請求項1之光波導用感光性樹脂組成物，其中聚合性取代基為環氧基。
  3. 如請求項1或2之光波導用感光性樹脂組成物，其中光聚合起始劑為光酸產生劑。
  4. 如請求項1或2之光波導用感光性樹脂組成物，其中樹脂成分僅由具有聚合性取代基之脂肪族系樹脂所構成。
  5. 如請求項1或2之光波導用感光性樹脂組成物，其為光波導中之芯層形成材料，該光波導是由基材及在該基材上形成包覆層，進一步在上述包覆層中以預定圖案形成傳播光信號之芯層而構成者。
  6. 一種光波導芯層形成用光硬化性薄膜，是將如請求項1至5中任一項之光波導用感光性樹脂組成物形成薄膜狀而製成。
  7. 一種光波導，是由基材及在該基材上形成包覆層，進一步在上述包覆層中以預定圖案形成傳播光信號之芯層所構成者，其特徵在於，上述芯層是藉由使請求項1至5中任一項之光波導用感光性樹脂組成物、或請求項6之光波導芯層形成用光硬化性薄膜硬化形成而成。
  8. 一種光‧電傳送用混合撓性印刷配線板，其特徵在於，具備如請求項7之光波導。
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