TWI650281B - 取放單元調整水平系統及其方法 - Google Patents

Abstract

一種取放單元調整水平系統，其包含有：一承載台；一取放單元，其係設於該承載台的一方；一吸嘴工具，其係設於該取放單元之一端，並且相對於該承載台；一壓力源，其係耦接該吸嘴工具；一壓力感測單元，其係耦接該吸嘴工具；以及一水平調整單元，其係設於該取放工具。該取放單元調整水平系統係結合現有的千分錶與感壓紙之優點，並有數據可參考較好調整水平且調整水平精度高，調整一次即可完成。

Description

取放單元調整水平系統及其方法

一種取放單元調整水平系統及其方法，尤指一種可參考較好調整水平且調整水平精度高，並調整一次即可完成之調整水平系統與其方法

承載台(Stage)用來承載目標端物料，例如：晶圓(Wafer)、玻璃(Glass)。取放單元之吸嘴工具係用於吸取來源端物料，例如：晶片。吸嘴工具係將來源端物料置放在目標端物料上。為確保置放或壓合的品質，必須調整吸嘴工具與承載台之間的平行。

現有的方式係先用千分錶量測吸嘴工具相對於承載台於X軸向或Y軸向的偏移，並藉由千分錶之數值變化，以調整吸嘴工具相對於承載台的平行。

待千分錶之數值不會有進一步變化後，再使用感壓紙(Prescale)的調整方法，其係於吸嘴工具與承載台之間夾設有感壓紙，當吸嘴工具對承載台施加壓力後，可由感壓紙的壓力分佈來確認吸嘴工具是否與承載台平行，可由多次調整後，而使感壓紙呈現均勻的壓力痕跡，即可得到吸嘴工具與承載台平行。

然上述之千分錶量測與感壓紙的調整方法，其皆要花費大量的時間與重覆多次方能得到吸嘴工具與承載台平行之結果，故如何簡化調整吸嘴工具相對於承載台的平行之方式與工具，其對各廠商而言確有可改良的空間。

有鑑於上述現有技術之缺點，本發明之目的在於一種取放單 元調整水平系統及其方法，其可參考較好調整水平且調整水平精度高，調整一次即可完成。

為達到上述之目的，本發明係提供一種取放單元調整水平系統，其包含有：一承載台；一取放單元，其係設於該承載台的一方；一吸嘴工具，其係設於該取放單元之一端，並且相對於該承載台；一壓力源，其係耦接該吸嘴工具；一壓力感測器，其係耦接該吸嘴工具；以及一水平調整單元，其係設於該取放單元。

本發明係一種取放單元調整水平方法，其步驟包含有：置放吸嘴工具於承載台的一面，一取放單元係將一吸嘴工具貼近於該承載台的一面；鬆開水平調整單元，將一水平調整單元鬆開，以使該取放單元能夠相對於該承載台自由移動；以及啟動壓力源，並讀取壓力感測單元之讀數，一壓力源係提供一負壓給該吸嘴工具，而使該吸嘴工具具有一負壓吸力，該負壓吸力係使該吸嘴工具緊密吸附於該承載台的一面，該負壓吸力係使該取放單元導正其相對於該承載台之位置。

綜合上述，本發明之一種取放單元調整水平系統及其方法，其結合現有的千分錶與感壓紙之優點，並有數據(即壓力感測單元15之讀數)可參考較好調整水平且調整水平精度高，調整一次即可完成。

10‧‧‧承載台

11‧‧‧取放單元

110‧‧‧氣道

12‧‧‧吸嘴工具

120‧‧‧氣室

13‧‧‧壓力源

14‧‧‧壓力感測單元

15‧‧‧水平調整單元

S1~S4‧‧‧步驟

第1圖為本發明之一種取放單元調整水平系統之一動作示意圖。

第2圖為本發明之一種取放單元調整水平系統之又一動作示意圖。

第3圖為本發明之一種取放單元調整水平方法之流程示意圖。

以下係藉由特定的具體實施例說明本發明之實施方式，所屬技術領域中具有通常知識者可由本說明書所揭示之內容，輕易地瞭解本發明之其他優點與功效。

請配合參考第1圖所示，本發明係一種取放單元調整水平系統，其包含有一承載台10、一取放單元11、一吸嘴工具12、一壓力源13、一壓力感測單元14與一水平調整單元15。

取放單元11係位於承載台10的一方。取放單元11具有一氣道110。吸嘴工具12係位於取放單元11的一端，並且面對承載台10。吸嘴工具12相對於承載台10的一面具有一氣室120。氣室120係相通於氣道110。

壓力源13係以管線耦接氣道110。壓力感測單元14係以管線耦接氣道110。壓力源13可為一正壓或一負壓，於本實施例中，壓力源13為一負壓。

水平調整單元15係設於取放單元11，水平調整單元15係調整取放單元11相對於承載台10於X軸向與Y軸向之位置。

請配合參考第1圖與第3圖所示，本發明係一種取放單元調整水平方法，其步驟包含有：

步驟S1，置放吸嘴工具於承載台的一面。吸嘴工具12係設置於取放單元11。取放單元11將吸嘴工具12移動至承載台10的一面，取放單元11係將吸嘴工具12貼近於於承載台10的一面，該面可為承載台10的頂端面、底端面、側面或端部面。

步驟S2，鬆開水平調整單元。將水平調整單元15鬆開，以使取放單元11能夠相對於承載台10自由移動。

步驟S3，啟動壓力源，並讀取壓力感測單元之讀數。啟動壓力源13，於本實施例中，壓力源13係提供一負壓給氣道110，而使氣室120產生一負壓吸力，該負壓吸力係使吸嘴工具12緊密吸附於承載台10的一面。請配合參考第2圖所示，於吸嘴工具12緊密吸附於承載台10時，負壓吸力係使能夠自由移動之取放單元11導正其相對於承載台10之位置。再對水平調整單元15進行微 調，當壓力感測單元14所讀取之負壓達到一設定值後，即最大負壓值，固定水平調整單元15。

步驟S4，停止壓力源。壓力源13停止提供負壓給氣道110，而使吸嘴工具12停止吸附承載台10，取放單元11係回復至最初位置。

綜合上述，本發明之取放單元調整水平系統及其方法，其可大幅縮短機構水平調整時間，有利於多頭機構調整。

另外，當吸嘴工具12因毀損或製程變更，而需更換時，本發明係能夠迅速調整更換吸嘴工具12後之取放單元11相對於承載台10之位置。

再者，本發明係結合現有的千分錶與感壓紙之優點，並有數據(即壓力感測單元15之讀數)可參考較好調整水平且調整水平精度高，調整一次即可完成。

以上所述之具體實施例，僅係用於例釋本發明之特點及功效，而非用於限定本發明之可實施範疇，於未脫離本發明上揭之精神與技術範疇下，任何運用本發明所揭示內容而完成之等效改變及修飾，均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。

Claims (7)

1. 一種取放單元調整水平系統，其包含有：一承載台；一取放單元，其係設於該承載台的一方，該取放單元具有一氣道；一吸嘴工具，其係設於該取放單元之一端，並且相對於該承載台，該吸嘴工具具有一氣室，該氣室係相通該氣道；一壓力源，其係耦接該吸嘴工具，該壓力源以管線耦接該氣道；一壓力感測單元，其係耦接該吸嘴工具；以及一水平調整單元，其係設於該取放單元。
2. 如申請專利範圍第1項所述之取放單元調整水平系統，其中該壓力源為一正壓或一負壓。
3. 一種取放單元調整水平方法，其步驟包含有：置放一吸嘴工具於一承載台的一面，一取放單元係將該吸嘴工具貼近於該承載台的一面；鬆開一水平調整單元，將該水平調整單元鬆開，以使該取放單元能夠相對於該承載台自由移動；以及啟動一壓力源，並讀取一壓力感測單元之讀數，該壓力源係提供一負壓給該吸嘴工具，而使該吸嘴工具具有一負壓吸力，該負壓吸力係使該吸嘴工具緊密吸附於該承載台的一面，該負壓吸力係使該取放單元導正其相對於該承載台之位置。
4. 如申請專利範圍第3項所述之取放單元調整水平方法，其中於該啟動壓力源，並讀取該壓力感測單元之讀數之步驟中，再對該水平調整單元進行微調，當該壓力感測單元所讀取之負壓達到一設定值後，固定該水平調整單元。
5. 如申請專利範圍第3項所述之取放單元調整水平方法，其中於該啟動壓力源，並讀取該壓力感測單元之讀數之步驟中， 該壓力源係提供一負壓給一氣道，而使一氣室產生一負壓吸力，該負壓吸力係使該吸嘴工具緊密吸附於該承載台的一面。
6. 如申請專利範圍第3項所述之取放單元調整水平方法，其更具有一停止該壓力源之步驟，該壓力源停止提供負壓給該吸嘴工具，而使該吸嘴工具停止吸附該承載台，該取放單元係回復至最初位置。
7. 如申請專利範圍第3項所述之取放單元調整水平方法，其中於該置放吸嘴工具於該承載台的一面之步驟中，該吸嘴工具係設於該取放單元，該取放單元將該吸嘴工具移動至該承載台的一面。