TWI632216B - 用於半導體之黏合劑組成物、黏合膜及半導體元件 - Google Patents

Abstract

本發明有關一種用於半導體的黏合劑組成物與黏合膜，及藉由該者連接的半導體元件。當1個循環定義為於125℃歷經1小時並於150℃歷經10分鐘以進行固化時，在4循環該黏合膜後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差為3×10⁶dyne/cm²或更小。該黏合膜在4循環後具有7×10⁶dyne/cm²或更小之一儲存模數(A)，而在1循環後具有2×10⁶dyne/cm²或更大之一儲存模數(B)。

Description

用於半導體之黏合劑組成物、黏合膜及半導體元件 發明領域

本發有關於用於半導體的黏合劑組成物，包含該者的黏合膜，及由該者連接的半導體元件。

發明背景

半導體元件之高容量可能藉由電路積體化實現，就品質而言，在該者中，每單位面積的晶格(cell)數目提高，或藉由封裝實現，就數量而言，在該者中晶片係一個堆疊於另一個之上。

作為此一封裝方法，多晶片封裝(以下係“MCP”)係一般使用地，且具有一結構其中數個晶片係經由黏合劑一個堆疊於另一個之上，使得上部與下部晶片可以藉由導線接合(wire bonding)電連接到彼此。

為了確保在一晶片接合製程中晶片與一印刷電路板(PCB)之間充分的接合強度，一PCB烘烤製程與一PCB電漿製程係執行的。此外，於120℃完成晶片接合達數秒之後，一固化製程(或半固化製程或B-階段製程)係必要執行達1小時或更長，以在導線接合中提供充分的接合強度。在於 150℃完成導線接合達2至20分鐘之後，環氧基模塑(EMC模塑)與模塑後固化(PMC)係依序執行。於此，PMC係於175℃下執行達約2小時。

該PCB烘烤製程、PCB電漿製程、固化製程(或半固化製程或B-階段製程)，及模塑後固化製程全部皆個別執行地，且係難以降低工作人員的持續時間與數目，從而造成生產力中的衰退。

為了改良半導體製造中之生產力，對於在線製程其中晶片接合與導線接合係接續地執行而同時一PCB係於一軌道上移置者，係有一不斷提高的需求，且對於一可應用於該在線製程之用於半導體的新穎黏合膜，其係亦有一需求。特別地，在該在線製程中，由於用於允許一黏合層形成一充分的交聯結構之一熱程序係顯著降低，對於一允許快速固化的組成物係有一需求，即使在該固化製程(或半固化或B-階段製程)及/或該PMC製程被省略或固化製程時間係降低的條件之下，使得接合失敗、晶片分離，及可靠性衰退不會於導線接合期間發生。

在相關技藝中，具有20μm厚黏合層之一黏合膜係使用的，歸因於PCB的表面步驟。然而，為了滿足對封裝厚度降低的持續需求，對包括具有15μm或更小之一厚度黏合層的黏合膜，其係有需要的。然而，當黏合層厚度小於或等於15μm時，在設備辨識中係有一衰退的傾向，歸因於該黏合層透明性的提高。因此，對於即使在15μm或更小之一厚度下可以保證設備辨識能力的一種黏合膜，係有一 日益提高的需求，該者可應用於晶片對晶片及晶片對PCB的製程，並允許多層堆疊。

韓國專利公開案第2010-0075212A號案及第2010-0067915A號案揭露黏合劑組成物。然而，當施用於多層堆疊時，這些黏合劑組成物在重複加熱中不會保證充分的流動性，且因此不會允許在模塑製程中孔隙的有效移除。

發明概要

本發明之一觀點係為提供一種用於半導體的黏合膜，該者改良在半導體製造製程中的生產力。

本發明之另一觀點係為提供一種用於半導體的黏合劑組成物，該者可以藉由展現充分的黏附力及彈性而應用於一在線製程，即使當晶片接合後之一固化製程(或半固化製程或B-階段製程)縮短時，及提供包括該組成物之一黏合膜。

本發明之進一步觀點係為提供一種可應用於多層堆疊的薄膜型黏合膜。

本發明之又另一觀點係為提供一種具有改良設備辨識能力的薄膜型黏合膜。

本發明之一觀點有關於一種用於半導體的黏合膜，其中當1個循環定義為於125℃歷經1小時並於150℃歷經10分鐘以進行固化時，該黏合膜在4循環後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差為3×10⁶dyne/cm²或更 小，4循環後的儲存模數(A)為7×10⁶dyne/cm²或更小，而1循環後的儲存模數(B)為2×10⁶dyne/cm²或更大。

本發明之另一觀點有關於一種用於半導體的黏合劑組成物或黏合膜，該者包括一熱塑性樹脂、一環氧樹脂、一酚系固化劑、一胺類固化劑、固化加速劑及著色劑填料。

本發明之進一步觀點有關於一種用於半導體的黏合劑組成物或黏合膜，該者包括(a)51wt%至80wt%的熱塑性樹脂、(b)5wt%至20wt%的環氧樹脂、(c)2wt%至10wt%的酚系固化劑、(d)2wt%至10wt%的胺類固化劑、(e)0.1wt%至10wt%的固化加速劑、及(f)0.05wt%至5wt%的著色劑填料，以黏合層之重量為基準。

本發明之還一觀點有關於一種使用該用於半導體之黏合膜或該用於半導體之黏合劑組成物連接的半導體元件。

根據本發明實施例之用於半導體的黏合劑組成物可能藉由縮短在晶片接合後之一固化製程(或半固化製程或B-階段製程)而應用至一在線製程，從而改良半導體製造中的效率與生產力。

此外，根據本發明實施例之用於半導體的黏合劑組成物與黏合膜可能藉由保證充分的流動性伴隨低黏度與儲存模數在多層堆疊中用於重複加熱循環而提供令人滿意的可加工性與可靠性。

進一步地，根據本發明實施例之用於半導體的黏 合膜提供了良好的設備辨識至一薄膜型黏合膜。

較佳實施例之詳細說明

本發明之實施例現今將詳細說明。除非另有指明，每一組分的量在整個說明書中將意指為就固體含量而言。

本發明之一實施例提供一種用於半導體的黏合膜，其中當1個循環定義為於125℃歷經1小時並於150℃歷經10分鐘以進行固化時，該黏合膜在4循環後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差為3×10⁶dyne/cm²或更小，4循環後的儲存模數(A)為7×10⁶dyne/cm²或更小，而1循環後的儲存模數(B)為2×10⁶dyne/cm²或更大。具體地，在4循環後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差可能為2×10⁶dyne/cm²或更少。

該用於半導體的黏合膜可能包括一黏合層與一基膜。如於此所使用，該術語“用於半導體的黏合膜”有時意謂僅僅一“黏合層”不包括該基膜。

當在4循環後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差為3×10⁶dyne/cm²或更小時，其係可能保證充分的流動性在多層堆疊中用於重複加熱循環。在4循環後，7×10⁶dyne/cm²或更小之一儲存模數(A)有關在模塑中孔隙的有效移除。當該組成物在1循環後具有2×10⁶dyne/cm²或更大之一儲存模數(B)時，其係可能在該晶片接合製程後在 接合中縮短該固化製程(或半固化製程或B-階段製程)。

該儲存模數可能藉由下列方法測量。

用於半導體之數個黏合膜係於60℃下堆疊，並裁剪成具有8mm直徑的圓形樣品(厚度：約400μm至450μm)。然後，該樣品係於一烘箱中在125℃達1小時並於一熱板上在150℃下達10分鐘而經受固化(此過程將意指為1個循環)，繼之測量ARES。在重複此循環4次後(此過程將意指為4循環)，繼之測量ARES。ARES係於30℃/分鐘之一加熱速率下從30℃升溫至200℃而同時測量的。

為了可應用於多層堆疊，對於該黏合劑組成物或黏合膜，其係必要具有一快速固化速率且保證充分的流動性伴隨低黏度與儲存模數，即使當經受重複加熱循環時。一般地，固化速率係反比於孔隙的生成。意即，一較高的固化速率趨向於提供孔隙的無效率移除。特別地，在多層堆疊中，最下面的黏合膜層展現不充分的孔隙移除特徵，歸因於經過重複加熱循環的固化。

對於根據本發明之一用於半導體的黏合膜，在4循環後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差為3×10⁶dyne/cm²或更小，4循環後的儲存模數(A)為7×10⁶dyne/cm²或更小，而1循環後的儲存模數(B)為2×10⁶dyne/cm²或更大，使得該黏合膜可以藉由在一短的固化時間內展現充分的黏附力而應用至一在線製程，且可以藉由保證充分的流動性用於多層堆疊中的重複加熱循環實現孔隙的有效移除。

在此實施例中，該用於半導體的黏合膜在1循環後於260℃下可能具有1kgf/5×5mm²晶片或更大之一晶粒剪切強度，具體地2kgf/5×5mm²晶片或更大。當該黏合膜在這些條件下具有1kgf/5×5mm²晶片或更大之一晶粒剪切強度時，其係可能防止歸因於在導線接合中晶片移動的接合失敗，並防止歸因於可以滲透到晶片與黏合膜之間脆弱介面之填料的晶片失效。

在此實施例中，該用於半導體的黏合膜在4循環後可能具有10%或更小之一孔隙面積。該孔隙面積可如下測量：該用於半導體的黏合膜係安裝在一80μm厚的晶圓上，並裁剪成具有10mm x 10mm尺寸之一試樣。然後，該試樣係於120℃及1kgf/1sec下接著至一PCB，並在125℃下於一烘箱中達1小時及在一熱板上於150℃達10分鐘(1個循環)經受固化。此循環係重複4次，以施加熱達4循環，繼之使用EMC(8500BCA，Cheil Industries,Inc.)模塑在175℃下達120秒。該黏合膜之黏合層係曝露並使用一顯微鏡(倍率：25x)拍攝，而孔隙的存在係透過圖像分析檢查。為了數字化孔隙數目，一格子計數方法係使用。具體地，該樣品之總面積係分成10格行與10格列，且包括孔隙的格子數目係計數並轉換成%(孔隙面積比)。

孔隙面積比%=(孔隙面積/總面積)x 100

在根據此實施例用於半導體的黏合膜中，該黏合層可能具有20%或更大之一霧度值。在用於半導體的該黏合膜中，該黏合層可能具有約5μm至約15μm之一厚度，具 體地約7μm至約12μm，更具體地約10μm。於此，該黏合層之厚度不包括光敏黏合層之厚度或基膜之厚度。20%或更大之一霧度值有關於該黏合層之設備辨識中的改良。

於此，該霧度值表示使用鹵素燈測量該黏合層之漫射光與總透光率(透射光+漫射光)的百分比。

該黏合膜可能使用以接著一晶片至一PCB(印刷電路板)或接著兩個彼此不同尺寸的晶片。

本發明之另一實施例有關於一用於半導體的黏合劑組成物或黏合膜，該者包括一熱塑性樹脂、一環氧樹脂、一酚系固化劑、一胺類固化劑、一固化加速劑及著色劑填料。

在此實施例中，該用於半導體的黏合劑組成物或黏合膜包括(a)51wt%至80wt%的熱塑性樹脂、(b)5wt%至20wt%的環氧樹脂、(c)2wt%至10wt%的酚系固化劑、(d)2wt%至10wt%的胺類固化劑、(e)0.1wt%至10wt%的固化加速劑、及(f)0.05wt%至5wt%的著色劑填料，以該黏合劑組成物或該黏合膜之重量為基準。

在該黏合劑組成物或黏合膜中，該(a)熱塑性樹脂與一固化系統，也就是該(b)環氧樹脂、該(c)酚系固化劑及該(d)胺類固化劑之一混合物的重量比(a)：[(b)+(c)+(d)]可能為(51至80)：(9至40)。

在此實施例中，該胺類固化劑可能為，舉例而言，一芳族胺類固化劑，特別是由式1所代表之一芳族胺類固化劑： 其中A係為一單鍵，或選自由-CH₂-、-CH₂CH₂-、-SO₂-、-NHCO-、-C(CH₃)₂-或-O-所組成之該群組；且R₁至R₁₀每一者獨立地選自氫、C₁-C₄烷基、C₁-C₄烷氧基及胺基團之中，其限制條件為R₁至R₁₀中至少兩者為胺基團。

該酚系固化劑在主鏈中可能包括一聯苯基，且可能具有，舉例而言，由式6所代表的結構： 其中R₁與R₂每一者獨立地為C₁-C₆烷基且n範圍從2至100。

在此實施例中，該固化加速劑可能為一咪唑型固化劑或一微膠囊型潛伏固化劑，舉例而言，一微膠囊型潛伏固化劑。

咪唑固化加速劑之例子可能包括2-甲基咪唑、2-乙基-4甲基咪唑、2-十一烷基咪唑、2-十七烷基咪唑、2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、1-芐基-2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-異丙基咪唑、2-苯基-4-芐基咪唑、2-苯基-4,5-二羥甲基咪唑、2-苯基-4-甲基-5-羥甲基咪唑、2-苯基-4-芐基-5-羥甲基咪唑、4,4'-亞甲基雙-(2-乙基-5-甲基咪唑)、2-胺乙基-2-甲基咪唑、1-氰乙基-2-苯基-4,5-二(氰基乙氧甲基)咪 唑，及之類，但不限於此。市售咪唑固化加速劑之例子可能包括2MZ、2E4MZ、C11Z、C17Z、2PZ、2PZ-CN、2P4MZ、1B2MZ、2EZ、2IZ、2P4BZ、2PH2-PW、2P4MHZ、2P4BHZ、2E4MZ-BIS、AMZ、2PHZ-CN，及之類(Asahi Kasei Corporation)，但不限於此。特別地，2-苯基-4,5-二羥甲基咪唑或2-苯基-4-甲基咪唑可能使用作為該咪唑固化加速劑。

在本發明中，該項技藝所知悉的任何微膠囊型潛伏固化劑可能不受限制地使用。舉例而言，該微膠囊型潛伏固化劑可能包括於韓國專利公開案第10-2010-0072030A號中所揭露的微膠囊型潛伏固化劑，其中，核心包含胺加成物，且膠囊包括含有異氰酸酯之化合物與一活性氫基及/或水之反應產物；於韓國專利公開案第2011-0100235A號中所揭露的微膠囊固化劑，其中，核心含有一咪唑化合物，且殼體含有一有機聚合物、無機化合物，或二者，且覆蓋該核心之表面；及於韓國專利公開案第2008-0040793A號中所揭露的微膠囊潛伏固化劑，但不限於此。舉例而言，Novacure^® HX-3721、HX-3748、HX-3741、HX-3613、HX-3722、HX-3742、HX-3088、HX-3792、HX-3921HP、HX-4921HP、HX-3922HP及HX-3932HP可能使用的。特別地，HX-3741、HX-3088及HX-3792可能使用的。

在此實施例中，該用於半導體的黏合劑組成物或黏合膜可能進一步包括一矽烷偶合劑及/或填料。於此，該矽烷偶合劑可能於0.01wt%至5wt%之一數量存在，且該填料可能於5wt%至20wt%之一數量存在，以該黏合劑組成物 之重量為基準。

接著，該用於半導體的黏合劑組成物的每一組份，諸如該熱塑性樹脂、該環氧樹脂、該酚系固化劑、該胺類固化劑、該固化加速劑及該著色劑填料將詳細說明的。

熱塑性樹脂

熱塑性樹脂之例子可能包括聚醯亞胺樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚乙烯樹脂、聚酯樹脂、聚醯胺樹脂、丁二烯橡膠、丙烯系橡膠、(甲基)丙烯酸酯樹脂、聚胺酯樹脂、聚苯醚樹脂、聚醚醯亞胺樹脂、苯氧樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚苯醚樹脂、經改質聚苯醚樹脂、及其等之混合物，但不限於此。具體地，該熱塑性樹脂含有一環氧基。在一些實施例中，一含環氧基的(甲基)丙烯系共聚物可能使用作為該熱塑性樹脂。

該熱塑性樹脂可能具有-30℃至80℃之一玻璃轉化溫度，具體地5℃至60℃，更具體5℃至35℃。在此範圍之內，該黏合劑組成物可以保證高流動性，以展現優異的孔隙移除能力，並提供高黏附力與可靠性。

在一些實施例中，該熱塑性樹脂可能具有50,000g/mol至5,000,000g/mol之一重量平均分子量。

該熱塑性樹脂可能以51wt%至80wt%之一數量存在，具體地55wt%至75wt%，更具體地60wt%至72wt%，以該黏合劑組成物之總數量為基準，就固體含量而言。當該熱塑性樹脂之數量小於51wt%時，就孔隙生成與可靠性而言其係非所欲的。

進一步，該熱塑性樹脂(a)與作為固化系統的該環氧樹脂(b)、該酚系固化劑(c)及該胺類固化劑(d)之一混合物的重量比，也就是(a)：[(b)+(c)+(d)]之重量比，可能範圍從(51~80重量份)：(9~40重量份)，具體地(55~75重量份)：(15~30重量份)。在此範圍之內的重量比，孔隙生成可以有利地抑制。

環氧樹脂

該環氧樹脂係可固化的，並作用以賦予該組成物黏附力。該環氧樹脂可能為一液體環氧樹脂、一固體環氧樹脂，或其等之混合物。

適合的液體環氧樹脂之例子可能包括雙酚A型液體環氧樹脂、雙酚F型液體環氧樹脂、三-或更高的多官能性液體環氧樹脂、經橡膠改質的液體環氧樹脂、經胺基甲酸酯改質的液體環氧樹脂、經丙烯系改質的液體環氧樹脂及光敏性液體環氧樹脂。這些液體環氧樹脂可能單獨或作為一混合物使用。舉例而言，雙酚A型液體環氧樹脂可能使用的。

該液體環氧樹脂可能具有約100g/eq.至約1500g/eq.之一環氧當量。具體地，該液體環氧樹脂具有從約150g/eq.至約800g/eq.，更具體地從約150g/eq.至約400g/eq.之一環氧當量。在此範圍之內，具有良好黏附力及耐熱性而同時維持該玻璃轉化溫度之一固化產物可以獲得的。

該液體環氧樹脂可能具有範圍從100g/mol至1,000g/mol之一重量平均分子量。在此範圍內的液體環氧 樹脂，該組成物展現優異的流動性。

固體環氧樹脂可能為於室溫係固體或似固體者，且具有一或更高的官能基團。該固體環氧樹脂可能具有30℃至100℃之一軟化點(Sp)。適合的固體環氧樹脂之例子包括雙酚環氧樹脂、酚系酚醛清漆環氧樹脂、鄰-甲酚酚醛清漆環氧樹脂、多官能性環氧樹脂、胺環氧樹脂、雜環環氧樹脂、經取代之環氧樹脂、基於萘酚之環氧樹脂、基於聯苯之環氧樹脂，及其等之衍生物。

作為市售固體環氧樹脂，雙酚A環氧樹脂之例子包括YD-017H、YD-020、YD020-L、YD-014、YD-014ER、YD-013K、YD-019K、YD-019、YD-017R、YD-017、YD-012、YD-011H、YD-011S、YD-011、YDF-2004、YDF-2001(Kukdo Chemical Co.,Ltd.)……等等。酚系酚醛清漆環氧樹脂之例子包括EPIKOTE 152與EPIKOTE 154(Yuka Shell Epoxy Co.,Ltd.)；EPPN-201(Nippon Kayaku Co.,Ltd.)；DN-483(Dow Chemical Company)；YDPN-641、YDPN-638A80、YDPN-638、YDPN-637、YDPN-644、YDPN-631(Kukdo Chemical Co.,Ltd.)......等等。鄰甲酚酚醛清漆環氧樹脂之例子包括：YDCN-500-1P、YDCN-500-2P、YDCN-500-4P、YDCN-500-5P、YDCN-500-7P、YDCN-500-8P、YDCN-500-10P、YDCN-500-80P、YDCN-500-80PCA60、YDCN-500-80PBC60、YDCN-500-90P、YDCN-500-90PA75(Kukdo Chemical Co.,Ltd.)；EOCN-102S、EOCN-103S、EOCN-104S、EOCN-1012、EOCN-1025、EOCN-1027(Nippon Kayaku Co.,Ltd.)；YDCN-701、YDCN-702、YDCN-703、YDCN-704(Tohto Kagaku Co.,Ltd.)；EpiclonN-665-EXP(Dainippon Ink and Chemicals,Inc.)......等等。雙酚酚醛清漆環氧樹脂之例子包括KBPN-110、KBPN-120、KBPN-115(KukdoChemical Co.,Ltd.)......等等。多官能性環氧樹脂之例子包括Epon 1031S(Yuka Shell Epoxy Co.,Ltd.)；Araldite 0163(Ciba Specialty Chemicals Co.,Ltd.)；Detachol EX-611、Detachol EX-614、Detachol EX-614B、Detachol EX-622、Detachol EX-512、Detachol EX-521、Detachol EX-421、Detachol EX-411、Detachol EX-321(NAGA Celsius Temperature Kasei Co.,Ltd.)；EP-5200R、KD-1012、EP-5100R、KD-1011、KDT-4400A70、KDT-4400、YH-434L、YH-434、YH-300(Kukdo Chemical Co.,Ltd.)......等等。胺環氧樹脂之例子包括EPIKOTE 604(Yuka Shell Epoxy Co.,Ltd.)；YH-434(Tohto Kagaku Co.,Ltd.)；TETRAD-X及TETRAD-C(Mitsubishi Gas Chemical Company Inc.)；ELM-120(Sumitomo Chemical Industry Co.,Ltd.)......等等。雜環環氧樹脂之例子包括PT-810(Ciba Specialty Chemicals)。經取代環氧樹脂之例子包括：ERL-4234、ERL-4299、ERL-4221、ERL-4206(UCC Co.,Ltd.)......等等。萘酚環氧樹脂之例子包括：Epiclon HP-4032、Epiclon HP-4032D、Epiclon HP-4700及Epiclon HP-4701(Dainippon Ink and Chemicals,Inc.)。非酚系環氧樹脂之例子包括YX-4000H(Japan Epoxy Resin)、YSLV-120TE、GK-3207 (Nippon steel chemical)、NC-3000(Nippon Kayaku)......等等。這些環氧樹脂可能單獨或以混合物使用。

該環氧樹脂可能以5wt%至20wt%之一數量存在，具體地7wt%至15wt%，以該黏合劑組成物之總數量為基準，就固體含量而言。在此範圍之內，高可靠性與優異的機械性質可以達到的。

固化劑

適合在該黏合劑組成物中使用的固化劑可能為兩種具有不同反應溫度區的固化劑。

在一些實施例中，該固化劑係為酚系固化劑與胺類固化劑。

儘管在該技藝中所知悉的任何酚系固化劑可能不受限制的使用，酚系固化劑之例子可能包括：雙酚樹脂其在單一分子中含有二或多個酚羥基並在水解中展現優異的耐電解腐蝕性者，諸如雙酚A、雙酚F、雙酚S及之類；酚系酚醛清漆樹脂；雙酚A酚醛清漆樹脂；及酚系樹脂，諸如二甲苯、甲酚酚醛清漆、聯苯樹脂，及之類。作為市售的酚系固化劑，酚系固化劑之例子包括H-1、H-4、HF-1M、HF-3M、HF-4M及HF-45(Meiwa Plastic Industries Co.,Ltd.)；對二甲苯酚系固化劑之例子包括MEH-78004S、MEH-7800SS、MEH-7800S、MEH-7800M、MEH-7800H、MEH-7800HH與MEH-78003H(Meiwa Plastic Industries Co.,Ltd.)、PH-F3065(Kolong Industries Co.,Ltd.)；聯苯固化劑之例子包括MEH-7851SS、MEH-7851S、MEH-7851M、 MEH-7851H、MEH-78513H與MEH-78514H(Meiwa Plastic Industries Co.,Ltd.)、及KPH-F4500(Kolong Industries Co.,Ltd.)；且三苯基甲基固化劑之例子包括MEH-7500、MEH-75003S、MEH-7500SS、MEH-7500S、MEH-7500H(Meiwa Plastic Industries Co.,Ltd.)……等等。這些可能單獨或以其等之混合物使用。

適合在該黏合劑組成物中使用之該酚系固化劑可能具有由式6代表之一結構： 其中R₁與R₂每一者獨立地為一C₁-C₆烷基，且n範圍從2至100。

酚系固化劑之例子包括MEH-7851SS、MEH-7851S、MEH-7851M、MEH-7851H及MEH-78514H，該等係為市售於Meiwa Plastic Industries Co.,Ltd.，但不限於此。

該酚系固化劑可能以2wt%至10wt%之一數量存在，以該黏合劑組成物的總數量為基準，就固體含量而言。

該胺類固化劑有利地為一芳族胺類固化劑，就固化率調整而言。較佳地，該芳族胺類固化樹脂係為一種具有二或多個胺基團的芳族化合物，但不限於此。該芳族胺類固化劑可能為，舉例而言，由式1至5所代表的芳族化合物。

其中A係為一單鍵，或選自由-CH₂-、-CH₂CH₂-、-SO₂-、-NHCO-、-C(CH₃)₂-或-O-所組成之該群組；且R₁至R₁₀每一者獨立地選自氫、C₁-C₄烷基、C₁-C₄烷氧基及胺基團之中，其限制條件為R₁至R₁₀中至少兩者為胺基團。

其中R₁₁至R₁₈每一者獨立地選自C₁-C₄烷基、烷氧基、羥基、氰基及鹵素之中，其限制條件為R₁₁至R₁₈中至少一者為一胺基。

其中Z₁為氫、C₁至C₄烷基、烷氧基或羥基；且R₁₉至R₃₃每一者獨立地選白氫、C₁至C₄烷基或烷氧基、羥基、氰基及鹵素之中，其限制條件為R₁₉至R₃₃中至少一者為一胺基。

其中且R₃₄至R₄₁每一者獨立地選自氫、C₁至C₄烷 基或烷氧基、羥基、氰基及鹵素之中，其限制條件為R₃₄至R₄₁中至少一者為一胺基。

其中X₃係為選自由-CH₂-、-NH-、-SO₂-、-S-或-O-所組成之該群組的一者；且R₄₂至R₄₉每一者獨立地選自氫、C₁至C₄烷基或烷氧基、羥基、氰基及鹵素之中，其限制條件為R₄₂至R₄₉中至少一者為一胺基。

式1固化劑之例子包括3,3'-二胺基聯苯胺、4,4'-二胺基二苯基甲烷、4,4'或3,3'-二胺基二苯基碸、4,4'-二胺基二苯甲酮、對苯二胺、間苯二胺、間甲苯二胺、4,4'-二胺基二苯基醚、4,4'或3,3'-二胺基二苯甲酮、1,4'或1,3'-雙(4或3-胺基異丙苯基)苯、1,4'-雙(4或3-胺基苯氧基)苯、2,2'-雙[4-(4或3-胺基苯氧基)苯基]丙烷、雙[4-(4或3-胺基苯氧基)苯基]碸、2,2'-雙[4-(4或3-胺基苯氧基)苯基]六氟碸、2,2'-雙[4-(4或3-胺基苯氧基)苯基]六氟丙烷、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四丁基二苯基酮、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四乙基二苯 基酮、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四正亞丙基二苯基酮、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四異丙基二苯基酮、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四甲基二苯基酮、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四正丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'5,5-四甲基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'5,5'-四異丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'5,5'-四乙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二甲基-5,5'-二乙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二甲基-5,5'-二異丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二乙基-5,5'-二乙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,5'-二甲基-3',5'-二乙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,5-二甲基-3',5'-二異丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,5-二乙基-3',5'-二丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,5-二異丙基-3',5'-二丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二異丙基-5,5'-二丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二甲基-5',5'-二丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二乙基-5',5'-二丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二甲基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二乙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二正丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二異丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3'-二丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3',5-三甲基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3',5-三乙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3',5-三正丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3',5-三異丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3,3',5-三丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3-甲基-3'-乙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3-甲基-3'-異丙基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3-甲基-3'-丁基二苯基甲烷、4,4'-二胺基-3-異丙基-3'-丁基二苯基甲烷、2,2-雙(4-胺基-3,5-二甲基苯基)丙烷、2,2-雙(4-胺基-3,5-二 乙基苯基)丙烷、2,2-雙(4-胺基-3,5-二正丙基苯基)丙烷、2,2-雙(4-胺基-3,5-二異丙基苯基)丙烷、2,2-雙(4-胺基-3,5-二丁基苯基)丙烷、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四甲基二苯基苯甲醯苯胺、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四乙基二苯基苯甲醯苯胺、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四正丙基二苯基苯甲醯苯胺、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四異丙基二苯基苯甲醯苯胺、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四丁基二苯基苯甲醯苯胺、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四甲基二苯基碸、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四乙基二苯基碸、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四正丙基二苯基碸、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四異丙基二苯基碸、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四甲基二苯基醚、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四乙基二苯基醚、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四正丙基二苯基醚、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四異丙基二苯基醚、4,4'-二胺基-3,3',5,5'-四丁基二苯基醚、3,3'-二胺基二苯甲酮、3,4-二胺基二苯甲酮、3,3'-二胺基二苯基醚、3,3'-二胺基二苯基甲烷、3,4'-二胺基二苯基甲烷、2,2'-二胺基-1,2-二苯基乙烷或4,4'-二胺基-1,2-二苯基乙烷、2,4-二胺基二苯基胺、4,4'-二胺基八氟聯苯、鄰-聯茴香胺、及之類。

式2固化劑之例子包括1,5-二胺基萘、1,8-二胺基萘、2,3-二胺基萘，及之類。式3固化劑之例子包括副玫瑰苯胺(pararosaniline)及之類。式4固化劑之例子包括1,2-二胺基蒽醌、1,4-二胺基蒽醌、1,5-二胺基蒽醌、2,6-二胺基蒽醌、1,4-二胺基-2,3-二氯蒽醌、1,4-二胺基-2,3-二氰基-9,10-蒽醌、1,4-二胺基-4,8-二羥基-9,10-蒽醌，及之類。式5固化劑之例子包括3,7-二胺基-2,8-二甲基二苯并噻吩碸、2,7-二 胺基茀、3,6-二胺基咔唑，及之類。

該胺類固化樹脂可能以2wt%至10wt%之一數量存在，以該黏合劑組成物之總數量為基準，就固體含量而言。

固化加速劑

用於半導體之黏合劑組成物可能包括一固化加速劑。適合在根據本發明之該組成物中使用的固化加速劑係用以降低半導體製程期間該環氧樹脂的固化時間。雖然在該項技藝中所知悉的任何固化加速劑可能使用的，三聚氰胺、咪唑或微膠囊型潛伏固化催化劑，及三苯基膦固化催化劑可能使用的。舉例而言，咪唑或微膠囊型潛伏固化劑可能使用的，且特別地，一微膠囊型潛伏固化劑可能使用的。

適合在根據本發明之該組成物中使用的咪唑固化加速劑之例子可能包括2-甲基咪唑、2-乙基-4甲基咪唑、2-十一烷基咪唑、2-十七烷基咪唑、2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、1-芐基-2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-異丙基咪唑、2-苯基-4-芐基咪唑、2-苯基-4,5-二羥甲基咪唑、2-苯基-4-甲基-5-羥甲基咪唑、2-苯基-4-芐基-5-羥甲基咪唑、4,4'-亞甲基雙-(2-乙基-5-甲基咪唑)、2-胺乙基-2-甲基咪唑、1-氰乙基-2-苯基-4,5-二(氰基乙氧甲基)咪唑，及之類，但不限於此。市售咪唑固化加速劑之例子包括2MZ、2E4MZ、C11Z、C17Z、2PZ、2PZ-CN、2P4MZ、1B2MZ、2EZ、2IZ、2P4BZ、2PH2-PW、2P4MHZ、2P4BHZ、2E4MZ-BIS、AMZ、 2PHZ-CN(Asahi Kasei Corporation)，但不限於此。特別地，2-苯基-4,5-二羥甲基咪唑或2-苯基-4-甲基咪唑可能有利地使用作為該咪唑固化加速劑。

適合在根據本發明之該組成物中使用的微膠囊型潛伏固化劑之例子包括於韓國專利公開案第10-2010-0072030A號中所揭露的微膠囊型潛伏固化劑，其中，核心包含胺加成物，且膠囊包括含有異氰酸酯之化合物與一活性氫基及/或水之反應產物；於韓國專利公開案第2011-0100235A號中所揭露的微膠囊固化劑，其中，核心含有一咪唑化合物，且殼體含有一有機聚合物、無機化合物，或二者，且覆蓋該核心之表面；及於韓國專利公開案第2008-0040793A號中所揭露的微膠囊潛伏固化劑，但不限於此。(其應瞭解的是，這些揭露內容之整體係併入於此以作為參考)。舉例而言，Novacure^® HX-3721、HX-3748、HX-3741、HX-3613、HX-3722、HX-3742、HX-3088、HX-3792、HX-3921HP、HX-4921HP、HX-3922HP及HX-3932HP可能使用的。具體地，HX-3741、HX-3088及HX-3792可能使用的。

基於膦之固化催化劑的例子包括TBP、TMTP、TPTP、TPAP、TPPO、DPPE、DPPP及DPPB(HOKKO Chemical Industry Co.,Ltd.)。

該固化加速劑可能以0.1wt%至10wt%之一數量存在，具體地0.3wt%至7wt%，以該黏合劑組成物之總重量為基準，就固體含量而言。在此範圍內的固化加速劑， 該組成物可以展現高耐熱性、流動性與連接性能，而沒有環氧樹脂的快速反應。

著色劑填料

用於半導體之該黏合劑組成物及該黏合膜可能包括著色劑填料。作為該著色劑填料，紅色、藍色、綠色、黃色、紫色、橙色、棕色或黑色的無機或有機色素可能使用的。就可靠性而言，無機色素可能有利地被使用。在本發明中，白色無機色素之例子可能包括氧化鋅、二氧化鈦、銀白、及之類，而紅色無機色素之例子可能包括Bengala、朱紅、鎘紅、及之類。黃色無機色素之例子可能包括鉻黃、紅黏土、鎘黃、及之類，而綠色無機色素之例子可能包括翡翠綠、氧化鉻綠、及之類。藍色無機色素之例子可能包括普魯士藍、鈷藍、及之類，而紫色無機色素之例子包括錳、及之類。黑色色素之例子包括碳黑、鐵黑、及之類的。該等著色劑填料不含有一鹵族元素，就降低環境衝擊及人類健康上的負面影響而言。

適用於本發明的有機色素包括下列色素：

紅色著色劑填料：

紅色著色劑之例子可能包括單偶氮、雙偶氮、偶氮色澱、苯并咪唑酮、伸苯基、二酮吡咯并吡咯、縮合偶氮、蒽醌、喹吖酮(quinacridone)色素、及之類。具體地，該等紅色著色劑可能為具如下色指數(CI，由染色工作者學會出版)數字的色素。

單偶氮色素：色素紅色1、2、3、4、5、6、8、9、 12、14、15、16、17、21、22、23、31、32、112、114、146、147、151、170、184、187、188、193、210、245、253、258、266、267、268、269。

雙偶氮色素：色素紅色37、38、41。

單偶氮色澱色素：色素紅色48：1、48：2、48：3、48：4、49：1、49：2、50：1、52：1、52：2、53：1、53：2、57：1、58：4、63：1、63：2、64：1、68。

苯并咪唑酮色素：色素紅色171、色素紅色175、色素紅色176、色素紅色185、色素紅色208。

伸苯基色素：溶劑紅色135、溶劑紅色179、色素紅色123、色素紅色149、色素紅色166、色素紅色178、色素紅色179、色素紅色190、色素紅色194、色素紅色224。

二酮吡咯并吡咯色素：色素紅色254、色素紅色255、色素紅色264、色素紅色270、色素紅色272。

縮合偶氮色素：色素紅色220、色素紅色144、色素紅色166、色素紅色214、色素紅色220、色素紅色221、色素紅色242。

蒽醌色素：色素紅色168、色素紅色177、色素紅色216、溶劑紅色149、溶劑紅色150、溶劑紅色52、溶劑紅色207。

喹吖酮色素：色素紅色122、色素紅色202、色素紅色206、色素紅色207、色素紅色209。

藍色著色劑填料：

藍色著色劑填料之例子可能包括酞花青 (phthalocyanine)著色劑、蒽醌著色劑、及色素化合物，諸如色素藍色15、色素藍色15：1、色素藍色15：2、色素藍色15：3、色素藍色15：4、色素藍色15：6、色素藍色16、及色素藍色60。

作為染料化合物，溶劑藍色35、溶劑藍色63、溶劑藍色68、溶劑藍色70、溶劑藍色83、溶劑藍色87、溶劑藍色94、溶劑藍色97、溶劑藍色122、溶劑藍色136、溶劑藍色67、溶劑藍色70，及之類可能使用的。此外，經金屬取代或未取代的酞花青化合物可能使用的。

綠色著色劑填料：

綠色著色劑填料之例子可能包括酞花青、蒽醌及伸苯基化合物。具體地，色素綠色7、色素綠色36、溶劑綠色3、溶劑綠色5、溶劑綠色20、溶劑綠色28，及之類可能使用的。

此外，經金屬取代或未取代的酞花青化合物可能使用的。

黃色著色劑填料：

黃色著色劑填料之例子可能包括單偶氮、雙偶氮、縮合偶氮、苯並咪唑酮、異吲哚啉酮、蒽醌色素，及之類。具體地，該黃色著色劑填料可能為下者。

蒽醌色素：溶劑黃色163、色素黃色24、色素黃色108、色素黃色193、色素黃色147、色素黃色199、色素黃色202。

異吲哚啉酮 色素：色素黃色110、色素黃色109、 色素黃色139、色素黃色179、色素黃色185。

縮合偶氮色素：色素黃色93、色素黃色94、色素黃色95、色素黃色128、色素黃色155、色素黃色166、色素黃色180。

苯并咪唑酮色素：色素黃色120、色素黃色151、色素黃色154、色素黃色156、色素黃色175、色素黃色181。

單偶氮色素：色素黃色1、2、3、4、5、6、9、10、12、61、62、62：1、65、73、74、75、97、100、104、105、111、116、167、168、169、182、183。

雙偶氮色素：色素黃色12、13、14、16、17、55、63、81、83、87、126、127、152、170、172、174、176、188、198。

此外，紫色、橙色、棕色、黑色著色劑填料可能使用以調整膜的顏色。

具體地，此等用於膜之顏色調整的著色劑填料可能包括色素紫色19、23、29、32、36、38、42，溶劑紫色13、36、C.I.色素橙色1、C.I.色素橙色5、C.I.色素橙色13、C.I.色素橙色14、C.I.色素橙色16、C.I.色素橙色17、C.I.色素橙色24、C.I.色素橙色34、C.I.色素橙色36、C.I.色素橙色38、C.I.色素橙色40、C.I.色素橙色43、C.I.色素橙色46、C.I.色素橙色49、C.I.色素橙色51、C.I.色素橙色61、C.I.色素橙色63、C.I.色素橙色64、C.I.色素橙色71、C.I.色素橙色73、C.I.色素棕色23、C.I.色素棕色25、C.I.色素黑色1、C.I.色素黑色7，及之類。

該著色劑填料可能以0.05wt%至5.0wt%之一數量存在，以該用於半導體的黏合劑組成物或黏合膜的總數量為基準，就固體含量而言，但不限於此。

矽烷偶合劑

該用於半導體的黏合劑組成物可能進一步包括一矽烷偶合劑。該矽烷偶合劑作用為一黏附力促進劑，以於該組成物摻合期間經由其間之化學偶合增強諸如填料之無機材料與有機材料表面之間的黏附力。

在該技藝中所知悉的任意矽烷偶合劑可能使用的，且其等之例子可能包括：含環氧基的矽烷偶合劑，諸如2-(3,4-環氧環己基)-乙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙氧基(glycidoxy)三甲氧基矽烷及3-環氧丙氧基丙基三乙氧基矽烷；含胺基的矽烷偶合劑，諸如N-2-(胺乙基)-3-胺丙基甲基二甲氧基矽烷、N-2-(胺乙基)-3-胺丙基三甲氧基矽烷、N-2-(胺乙基)-3-胺丙基三乙氧基矽烷、3-胺丙基三甲氧基矽烷、3-胺丙基三乙氧基矽烷、3-三乙氧基甲矽烷基-N-(1,3-二甲基亞丁基)丙胺及N-苯基-3-胺丙基三甲氧基矽烷；含巰基的矽烷偶合劑，諸如3-巰基丙基甲基二甲氧基矽烷與3-巰基丙基三乙氧基矽烷；及含異氰酸酯的矽烷偶合劑，諸如3-異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷。這些矽烷偶合劑可能單獨或以其等之混合物使用的。

該偶合劑可能以0.01wt%至5wt%之一數量存在，具體地0.1wt%至3wt%，更具體地0.5wt%至2wt%，以該黏合劑組成物之總數量為基準，就固體含量而言。在此範 圍內的偶合劑，該黏合劑組成物可以獲得高黏附力可靠性而同時降低起泡。

填料

本發明之組成物可能進一步包括填料。

填料之例子可能包括：金屬粉末，諸如金、銀、銅及鎳粉；與非金屬，諸如氧化鋁、氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、矽酸鈣、矽酸鎂、氧化鈣、氧化鎂、氧化鋁、氮化鋁、二氧化矽、氮化硼、二氧化鈦、玻璃、氧化鐵及陶瓷。具體地，二氧化矽可能使用的。

該填料之形狀與尺寸係無特別限定。球形二氧化矽或非晶形二氧化矽典型地係使用作為該填料。二氧化矽之粒徑可能範圍從約5nm至20μm。

該填料可能以1wt%至30wt%之一數量存在，具體地5wt%至25wt%，以該黏合劑組成物之總數量為基準，就固體含量而言。在此範圍內的填料，該黏合劑組成物可以展現高流動性、成膜性及黏附力。

溶劑

[該黏合劑組成物可能進一步包括一溶劑。該溶劑作用以降低該黏合劑組成物的黏度，從而促進一黏合膜的形成。溶劑之具體例子包括有機溶劑，諸如，甲苯、二甲苯、丙二醇單甲醚乙酸酯、苯、丙酮、甲乙酮、四氫呋喃、二甲基甲醯胺，及環己酮，但不限於此。

本發明之進一步觀點有關於一種用於半導體之黏合膜，其包含根據本發明之該黏合劑組成物。使用根據 本發明之該黏合劑組成物，其係不需要特殊的裝置或設備用以形成用於半導體之一黏合膜，且在該技藝中所普遍知悉的任何方法可能使用以製造該黏合膜。舉例而言，個別的組份可能溶於一溶劑中，並使用一珠磨機充分地捏合，繼之，在一聚對苯二甲酸乙二酯(PET)脫模薄膜(release film)上沈積該將生成物，並於100℃下在一烘箱中乾燥達10~30分鐘，以製備具有適合厚度之一黏合膜。

於一實施例中，該用於半導體之黏合膜可能包括一基膜、一光敏性黏合層、一黏合層，及一保護膜，該等係以此順序依序堆疊。

該黏合膜較佳係具有5μm至200μm之一厚度，更佳從10μm至100μm。在此範圍內，該黏合膜展現充分的黏附力，同時提供經濟可行性。還更佳地，該黏合膜具有15μm至60μm之一厚度。

接著，本發明將藉由參照至下列例子而變得更明顯，且其應瞭解的是，下列該等例子係僅僅為了例示而提供，且不限制僅本發明之發明範圍。

例子

例子1-2：製備用於半導體的黏合劑組成物

將一溶劑(環己酮)加入至如表1中所列出的一熱塑性樹脂、一環氧樹脂、一酚系固化劑、一胺類固化劑、一固化加速劑、填料及一矽烷偶合劑，使得該溶液中之固體含量為20%重量份，繼之使用一珠磨機充分地捏合該等組份，從而製備一用於半導體的黏合劑組成物。

比較例子1-3：製備用於半導體的黏合劑組成物

用於半導體的黏合劑組成物係在如例子1與2中的相同方式製備，除了如表2中所列出之某些組份外。

例子及比較例子中所使用之個別組份之細節係於表1中顯示。

黏合膜之製備

例子1及2與比較例子1、2及3中所製備的該等黏合劑組成物每一者係使用一施用器沈積在一PET脫模薄膜 上，繼之於100℃下在一烘箱中乾燥達10~30分鐘，從而提供具有5μm厚黏合層之一黏合膜。此外，具有10μm厚黏合層且具有如例子1相同組成物之一黏合膜係於例子3中製備的。

實驗例子：評估在例子及比較例子中製備的黏合劑組成物與黏合膜之物理性質

使用例子1至3與比較例子1、2及3中之該者所製備的該等黏合劑組成物或黏合膜每一者的物理性質係藉由下列方法評估，且結果係顯示於表2中。

(1)晶粒剪切強度：一530μm厚之晶圓係裁剪成具有5x5mm尺寸之晶片。該等晶片係於60℃下與每一黏合膜層合，並裁剪而僅留下一接合部份。具有5x5mm尺寸之一上部晶片係置於具有10x10mm尺寸之一晶圓上，繼之在 一熱板上於120℃下施加10kgf之負載至該晶片達5秒，並在一烘箱中於175℃固化達然後1小時。然後該晶粒剪切強度係測量的(測試儀：DAGE 4000，熱板溫度：260℃)。結果係於表2中顯示。

(2)霧度：該黏合劑之透射光與漫射光之強度係使用一鹵素燈測量的，以獲得霧度值作為該黏合層之漫射光對總透射光(透射光+漫射光)的百分比。

(3)儲存模數：數片黏合膜係於60℃堆疊，並裁剪成具有8mm之一直徑的圓形樣品(厚度：約400μm至450μm)。然後，毎一樣品係在一烘箱中於125℃達1小時及在一熱板上於150℃下達10分鐘而經受固化。然後，每一樣品的儲存模數係使用ARES在從30℃升溫至200℃同時測量的。於170℃下儲存模數係顯示於表2中。在此，該溫度上升速率為10℃/min。4循環後之儲存模數係在一烘箱中於125℃達1小時及在一熱板上於150℃下達10分鐘固化之該製程重複4次後使用ARES測量的。

(4)4循環後之孔隙面積：該用於半導體的黏合膜係安裝在一80μm厚的晶圓上，並裁剪成具有10mm x 10mm尺寸之一試樣。然後，該試樣係於120℃及1kgf/sec下接著至一PCB，並在125℃下於一烘箱中達1小時及在一熱板上於150℃達10分鐘(1個循環)經受固化。該循環係重複4次，以施加熱達4循環，繼之使用EMC(8500BCA，Cheil Industries,Inc.)模塑在175℃下達120秒。該黏合膜之黏合層係曝露並使用一顯微鏡(倍率：25x)拍攝，而孔隙的存在係 透過圖像分析檢查。為了數字化孔隙數目，一格子計數方法係使用。具體地，該樣品之總面積係分成10格行與10格列，且包括孔隙的格子數目係計數並轉換成%(孔隙面積比)。

孔隙面積比%=(孔隙面積/總面積)x 100

(5)耐回流性：該等製備的黏合膜係安裝在一80μm厚的晶圓上，並裁剪成具有10mm x10mm之一尺寸的試樣。然後該試樣係於120℃及1kgf/sec下接著至一PCB，並在一烘箱中於125℃下達1小時，並在加熱板上於150℃下達10分鐘(1個循環)而經受固化。此循環係重複4次，以施加熱達4循環，繼之使用EMC(8500BCA，Cheil Industries,Inc)在175℃下達120秒模塑。該等製備試樣係留於85℃/85RH%條件之下達168小時，且於最大溫度260℃下經受回流三次，繼之使用SAT觀察裂縫。

(6)辨識：該製備的黏合膜係通過一複捲機(PNT)(線速：7mpm，退繞機張力：20N，回捲機張力：22N)的光學感測器。當該感測器感測到該黏合膜時，該膜係評估為被辨識的，而當該感測器沒有感測到該黏合膜時，該膜係評估為未辨識的。

如表2中所顯示，其可以看出的是，例子1至3之該等該黏合劑組成物允許良好的設備辨識並在1循環後具有1kgf/晶片或更大之一晶粒剪切強度，以提供充分的強度用於導線接合。相反地，比較例子2之黏合劑組成物展現良好的孔隙移除特性，但具有1kgf/晶片或更小之一晶粒剪切 強度，造成在導線接合中接合失敗。進一步，例子1至3之黏合劑組成物在4循環後具有7×10⁶dyne/cm²或更小之一儲存模數。比較例子1之黏合劑組成物在模塑中具有大於7×10⁶dyne/cm²之一儲存模數及25%的孔隙面積比，歸因於過度固化的不充分流動性，該者可以造成可靠性的衰退。比較例子3之黏合劑組成物不包括著色劑填料，且從而展現不充分的設備辨識能力。

Claims (16)

1. 一種用於半導體的黏合膜，當1個循環定義為於125℃歷經1小時並於150℃歷經10分鐘以進行固化時，其中該黏合膜在4循環後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差為3×10⁶dyne/cm²或更小，4循環後的儲存模數(A)為7×10⁶dyne/cm²或更小，而1循環後的儲存模數(B)為2×10⁶dyne/cm²或更大，該黏合膜具有20%或更大之一霧度值，該黏合膜包含一熱塑性樹脂、一環氧樹脂、一酚系固化劑、一胺類固化劑、固化加速劑及著色劑填料，以黏合層之重量為基準，該黏合膜包含0.05wt%至5wt%的著色劑填料。
2. 如請求項1之用於半導體的黏合膜，在烘箱中於175℃固化達1小時後，在260℃下具有1kgf/5×5mm²晶片或更大之一晶粒剪切強度。
3. 如請求項1之用於半導體的黏合膜，在4循環後具有10%或更小之一孔隙面積比。
4. 如請求項1至3中任一項之用於半導體的黏合膜，其包含具有5μm至15μm之一厚度的黏合層。
5. 如請求項4之用於半導體的黏合膜，其中該黏合層包含一熱塑性樹脂、一環氧樹脂、一酚系固化劑、一胺類固化劑、一固化加速劑及著色劑填料。
6. 如請求項5之用於半導體的黏合膜，其中該黏合層包含： (a)51wt%至80wt%的熱塑性樹脂；(b)5wt%至20wt%的環氧樹脂；(c)2wt%至10wt%的酚系固化劑；(d)2wt%至10wt%的胺類固化劑；(e)0.1wt%至10wt%的固化加速劑；及(f)0.05wt%至5wt%的著色劑填料。
7. 如請求項5之用於半導體的黏合膜，其中該(a)熱塑性樹脂與作為固化系統的該(b)環氧樹脂、該(c)酚系固化劑及該(d)胺類固化劑之一混合物的重量比(a)：[(b)+(c)+(d)]為(51至80)：(9至40)。
8. 如請求項1至3中任一項之用於半導體的黏合膜，其中該黏合膜係使用以接著一晶片至一PCB(印刷電路板)或接著兩個彼此不同尺寸的晶片。
9. 一種用於半導體的黏合膜，其係用來將一晶片接合至一印刷電路板，其包含一熱塑性樹脂、一環氧樹脂、一酚系固化劑、一胺類固化劑、一固化加速劑及著色劑填料，其中該黏合膜在4循環後的儲存模數(A)與1循環後的儲存模數(B)之間的差為3×10⁶dyne/cm²或更小，該4循環後的儲存模數(A)為7×10⁶dyne/cm²或更小，而該1循環後的儲存模數(B)為2×10⁶dyne/cm²或更大，以黏合層之重量為基準，該黏合膜包含0.05wt%至5wt%的著色劑填料。
10. 如請求項9之用於半導體的黏合膜，其中該(a)熱塑性樹脂與作為固化系統的該(b)環氧樹脂、該(c)酚系固化劑及該(d)胺類固化劑之一混合物的重量比(a)： [(b)+(c)+(d)]為(51至80)：(9至40)。
11. 如請求項9之用於半導體的黏合膜，其中該胺類固化劑係為一芳族胺類固化劑。
12. 如請求項11之用於半導體的黏合膜，其中該芳族胺類固化劑係由式1所代表： 其中A係為一單鍵，或選自由-CH₂-、-CH₂CH₂-、-SO₂-、-NHCO-、-C(CH₃)₂-或-O-所組成之該群組；且R₁至R₁₀每一者獨立地選自氫、C₁-C₄烷基、C₁-C₄烷氧基及胺基團之中，其限制條件為R₁至R₁₀中至少兩者為胺基團。
13. 如請求項9之用於半導體的黏合膜，其中該酚系固化劑係由式6所代表： 其中R₁與R₂每一者獨立地為C₁-C₆烷基且n範圍從2至100。
14. 如請求項9之用於半導體的黏合膜，其中該固化加速劑包含至少一者其選自咪唑固化加速劑及微膠囊型潛伏固化劑之中。
15. 如請求項9之用於半導體的黏合膜，其中該著色劑填料係為紅色、藍色、綠色、黃色、紫色、橙色、棕色或黑色的無機或有機色素。
16. 一種半導體元件，其係經使用如請求項1至3中任一項之該用於半導體的黏合膜，或如請求項9至15中任一項之該用於半導體的黏合膜而連接。