TWI620726B - 高透過附ｉｔｏ膜玻璃 - Google Patents

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Hiroyuki Chikamori
Takuya Matsumoto
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Ortus Technology Co Ltd
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Abstract

本發明係提供一種高透過附ITO膜玻璃，其作為利用紅外線之光通訊所使用的光開關，透過率較高而可減低反射，且能以較少步驟用便宜成本作成。
本發明係利用1530nm~1570nm之波長區域之紅外線為入射光之液晶裝置所使用的高透過附ITO膜玻璃；該高透過附ITO膜玻璃10係配置為將液晶層夾入，ITO膜2成形於為玻璃基板1之內側的液晶層側；且於ITO膜2與玻璃基板1之間，有SiOx膜11(1≦x<2)成膜。

Description

高透過附ITO膜玻璃
本發明係關於利用紅外線之光通訊裝置所使用的高透過附ITO膜玻璃。
傳統上，進行光通訊之情形下，利用複數之波長之光可有效進行，且雷射光源係作為其複數之波長之光的光源被利用。此雷射光源，一般而言，係利用1500nm~1600nm之波長的紅外光。
此外，近年來，已知光通訊所使用之光開關，除了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)以外，有使用液晶裝置(液晶面板)之方法。
例如專利文獻1，係記載利用接近1．55μm之紅外線之光通訊裝置，於ITO電極等透明電極加壓電壓而使液晶之折射率變化，可使雷射波長變化。
亦即，使用液晶裝置之情形下，配置將液晶層包夾且設有ITO電極的附ITO膜之玻璃基板，藉由於包夾液晶層且對向之ITO電極加壓電壓而使液晶之折射率變化，可使光之前進方向變化。
另一方面，使用液晶裝置作為利用紅外線之光通訊所使用之光開關的情形下，由於在紅外線之波長區域1500nm~1600nm， 係ITO電極之消光係數大，光被吸收而衰減，因此有需求係將一般所使用偏光狀態之紅外線(波長區域1530nm~1570nm之光)效率良好地讀出，不使其雷射光衰減，僅變化偏光狀態。
因此，為了盡可能地降低反射，於使用液晶裝置之情形下，一般會於透明玻璃基板之外側(與液晶層係相反側)裝設防反射膜而對應。此等係由於玻璃之折射率為1．4~1．5，而空氣之折射率為1．0，因此目的係減少折射率有差異之玻璃基板與空氣之界面的反射。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】日本專利特表2000-514566號公報
【專利文獻2】日本專利特開2009-3440號公報
然而，傳統的附ITO膜玻璃，由於玻璃基板之液晶層側所設之ITO電極之折射率為1．9~2．0；玻璃之折射率為1．4~1．5；液晶之折射率為1．4~1．5，因此ITO電極與玻璃基板之界面，或ITO電極與液晶之界面於折射率有差異，但關於此卻未特別採取對策，有雖輕微但仍發生反射之課題。
此外，例如於專利文獻2，為了解決上述之課題而在玻璃基板與ITO電極(透明導電膜13)之間亦形成有防反射膜(12)，但此 防反射膜(12)為高折射率層(14)與低折射率層(15)之積層膜，因此亦有步驟複雜、成本亦變高之課題。
本發明，係為了解決如上述之課題而成者，目的在於作為利用紅外線之光通訊所使用之光開關，提供一種透過率較高而可減低反射，且能以較少步驟用便宜成本作成的高透過附ITO膜玻璃。
為了達成上述目的，本發明係利用1530nm~1570nm之波長區域之紅外線為入射光之液晶裝置所使用的高透過附ITO膜玻璃，其特徵為該高透過附ITO膜玻璃係配置為將液晶層夾入，ITO膜成形於為玻璃基板之內側的前述液晶層側；且於前述ITO膜與前述玻璃基板之間，有SiOx膜(1≦x<2)成膜。
藉由本發明之高透過附ITO膜玻璃，作為利用波長區域1530nm~1570nm之紅外光之光通訊所使用的光開關，可提供透過率較高而可減低反射，且能以較少步驟用便宜成本作成的液晶裝置。
1‧‧‧玻璃基板
2‧‧‧ITO電極
3‧‧‧防反射膜
4‧‧‧間隔物
5‧‧‧液晶層
10，20，30‧‧‧高透過附ITO膜玻璃
11，12，13，14‧‧‧SiOx膜(1≦x<2)
51，52，53，54‧‧‧液晶分子
L‧‧‧紅外線(紅外光)
L1~L4‧‧‧入射光之偏光狀態
L5~L8‧‧‧射出光之偏光狀態
【圖1】表示用於光通訊所使用之光開關之一般液晶裝置的概略構成，及光之偏光狀態的說明圖。
【圖2】表示傳統之附ITO膜玻璃之概略構成之圖。
【圖3】表示實施型態1之高透過附ITO膜玻璃之概略構成之圖。
【圖4】表示光由折射率n1之物質射向折射率n2之物質之情形下，在界面之反射率R與透過率T之關係的代表圖。
【圖5】表示對於紅外線波長，實施型態1之高透過附ITO膜玻璃之透過率的測定實驗結果之圖表。
【圖6】表示對於SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度，實施型態1之高透過附ITO膜玻璃之透過率的測定實驗結果之圖表。
【圖7】表示實施型態2之高透過附ITO膜玻璃之概略構成之圖。
【圖8】表示對於紅外線波長，實施型態2之高透過附ITO膜玻璃之透過率的測定實驗結果之圖表。
【圖9】表示對於SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度，實施型態2之高透過附ITO膜玻璃之透過率的測定實驗結果之圖表。
【圖10】表示實施型態3之高透過附ITO膜玻璃之概略構成之圖。
【圖11】表示對於紅外線波長，實施型態3之高透過附ITO膜玻璃之透過率的測定實驗結果之圖表。
【圖12】表示對於SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度，實施型態3之高透過附ITO膜玻璃之透過率的測定實驗結果之圖表。
本發明之高透過附ITO膜玻璃，係作為光通訊所使用之光開關利用的液晶裝置所使用者，能將一偏光狀態之紅外線(波長區域1530nm~1570nm之光)效率良好地讀出，不使其雷射光衰減，僅 變化偏光狀態。亦即，係利用1530nm~1570nm之波長區域之紅外線為入射光之液晶裝置所使用者。
以下，關於本發明之實施型態，參照圖式進行詳細說明。
圖1，係表示用於光通訊所使用之光開關之一般液晶裝置的概略構成，及光之偏光狀態的說明圖。
此液晶裝置，係於對向之玻璃基板1，1之間，介由間隔物4，4而具有液晶層5者。此外，玻璃基板1，1之內側(液晶層5側)係設有ITO電極2，2，而於玻璃基板1，1之外側(與液晶層相反側)係設有防反射膜3，3。
在此，於一偏光狀態之紅外線(波長區域1530nm~1570nm之光)L如圖中之箭頭所示由左向右入射之情形，入射光係如圖1中之L1、L2、L3、L4所示為偏光狀態。又，在此為了簡化說明，入射之紅外光L為4道。
此時，如圖1所示，藉由使最上方之紅外光L之對應位置的液晶分子51，51、由上數來第3道及第4道紅外光之對應位置的液晶分子53，53及54，54為橫向(使其躺平狀態)；並僅使由上數來第2道紅外光對應位置的液晶分子52，52為縱向(使其站立狀態)，可僅使由上數來第二道射出光之偏光狀態如L6所示，與入射光之偏光狀態L2為相反方向。
又，最上方之射出光之偏光狀態L5、由上數來第3道及第4道射出光之偏光狀態L7及L8，係保持為與入射光之偏光狀態L1、L3及L4為同方向。
如此，藉由使液晶分子之方向為縱向或橫向，可改變光之行進方向(射出方向)。
圖2，係表示傳統之附ITO膜玻璃之概略構成之圖。此係僅將圖1之玻璃基板1及其內側(液晶層5側)所設ITO電極2放大顯示，此ITO電極2之膜厚度為8nm±3nm。此膜厚度，若未滿5nm，有過薄使片材電阻變大，從而驅動電壓變高之問題；相反地，若例如比11nm厚，則無法期望高透過率，因此以8nm±3nm之厚度為佳。
此時，如先前技術中所述，玻璃基板1之內側(液晶層5側)所設ITO電極2之折射率為1．9~2．0，玻璃之折射率為1．4~1．5、液晶之折射率為1．4~1．5，因此ITO電極2與玻璃基板1之界面，或ITO電極2與液晶層5之界面於折射率有差異，有雖然輕微但仍發生反射之問題。
本發明，係為了使該輕微反射亦減少，實現可使紅外光效率良好而無衰減之光通訊所使用的液晶裝置，由本發明申請人重複各種實驗所完成者。
實施型態1
圖3係表示本發明之實施型態1之高透過附ITO膜玻璃之概略構成之圖，且為與圖2所示傳統之附ITO膜玻璃相對應之圖。
此實施型態1之高透過附ITO膜玻璃10，係配置為將液晶層夾入，ITO膜成形於為玻璃基板之內側的前述液晶層側；且如圖3所示，於ITO電極2與玻璃基板1之間，成膜有SiOx膜11(1≦x<2)。
SiOx膜(1≦x<2)之成膜方法，係使單矽烷(Si H4)與笑氣(N2O)混合，使用一般的電漿化學氣相沈積法(CVD)等即可，因此在此省略詳細說明。
又，於玻璃基板1與ITO電極2之間所成形之膜，並非積層膜之Al2O3膜或SiO2膜等，而係藉由成膜為單層之SiOx膜(1≦x<2)，步驟少而成本便宜，並且，可作成透過率較高的高透過附ITO膜玻璃10。關於此點，於以下之實施型態亦為相同。
在此，說明於玻璃基板1與ITO電極2之間成形之膜為SiOx膜(1≦x<2)的情形下，透過率將比為SiO2膜之情形更高(透過強度較大)之原因。如圖4所示，光從折射率n1之物質進入折射率n2之物質的情形下，在界面之反射率R與透過率T，可表示為下述式(1)、式(2)。
R=((n1-n2)/(n1+n2))2‧‧‧(1)
T=4‧n1‧n2/(n1+n2)2‧‧‧(2)
圖4，係表示光由折射率n1之物質射向射率n2之物質之情形下，在界面之反射率R與透過率T之關係的代表圖。又，R+T=1。
若以圖3中玻璃基板1之折射率為n1；ITO電極2之折射率為n3；於玻璃基板1與ITO電極2之間所成形SiOx膜11之折射率為n2，其透過率T〔SiOx〕，可表示為下述式(3)。於是，例如x=1．5的情形下，若代入玻璃之折射率n1=1．52；SiOx之折射率n2=1．75；ITO之折射率n3=2．00，則T〔SiOx〕=0．991。
另一方面，圖3中玻璃基板1與ITO電極2之間成形之膜為SiO2之情形的透過率T〔SiO2〕，若SiO2之折射率為n2，並與上述式(3)相同，於上述式(3)中代入玻璃之折射率n1=1．52；SiO2之折射率n2=1．45；ITO之折射率n3=2．00，則T〔SiO2〕=0．974。
如此，相對於玻璃基板1與ITO電極2之間成形之膜為SiO2膜時的透過率為97．4%，而為SiOx膜(x=1．5)時的透過率為99．1%。此係由於相對於SiO2之折射率為1．45，SiOx(1≦x<2)之折射率為大於1．45，因此透過率較高。其結果，於玻璃基板1與ITO電極2之間成形之膜，比起為SiO2膜之情形，形成為SiOx(1≦x<2)時，可作成透過率更高的高透過附ITO膜玻璃10。
然而，由於ITO電極2之膜厚度、及SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度的干涉，光之透過率變化，因此為了提供透過率較高、可降低反射的高透過附ITO膜玻璃，應配合ITO電極2之膜厚度8nm±3nm，調整SiOx膜11之膜厚度。
圖5，係表示對於紅外線波長，此實施型態1之高透過附ITO膜玻璃10之透過率的測定實驗結果之圖表。在此，係表示當ITO電極2之膜厚度為8nm，且SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度為 50nm、100nm、200nm之3種下，1500nm~1600nm之波長之光的透過率測定結果。
此外，為了比較，亦示有圖2所示傳統之附ITO膜玻璃之透過率。圖5中之虛線A，係表示傳統之附ITO膜玻璃之透過率，而實線B、C、D係分別表示於ITO電極2與玻璃基板1之間裝設膜厚度50nm、膜厚度100nm、膜厚度200nm之SiOx膜11(1≦x<2)的高透過附ITO膜玻璃10之透過率。
又，圖5中SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度僅代表性地表示3種，惟關於其他種膜厚度，本發明申請人亦重複實驗，並發現藉由ITO電極2之膜厚度及SiOx膜11之膜厚度的干涉所產生，相對於SiOx膜11之膜厚度的透過率變化傾向，其結果示於圖6。
圖6，係表示對於SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度，實施型態1之高透過附ITO膜玻璃10之透過率的測定實驗結果之圖表。此情形下，亦係ITO電極2之膜厚度為8nm，透過率係紅外線波長取1530nm~1570nm之平均值。
此時，進行SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度在10nm~200nm之間，且以10nm為一刻度之實驗結果，如圖6所示，發現其傾向係可描繪為SiOx膜11之膜厚度接近50nm時透過率最大，而膜厚度接近130nm時透過率最小的平緩曲線。
此外，發現SiOx膜11之膜厚度為50nm之情形下，與圖2所示傳統之附ITO膜玻璃相比，透過率係上升0．4%。
又，SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度0nm處所示 的×標記，係表示未裝設SiOx膜11之ITO電極2單體情形下(圖2所示傳統之附ITO膜玻璃的情形)的透過率，為了與曲線比較，×標記之透過率係以一點鏈線之直線P表示。
此結果，發現此實施型態1之高透過附ITO膜玻璃10，於ITO電極2之膜厚度為8nm之情形下，SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度若為20nm~80nm(50±30nm)，可確實成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
在此，ITO電極2之膜厚度，同前述，被要求為8nm±3nm之厚度，因此若ITO電極2之膜厚度留有3nm之調整空間，基於膜厚度之干涉，此情形下SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度亦必須有約10nm的調整空間。
亦即，可認為此實施型態1之高透過附ITO膜玻璃10，藉由使ITO電極2之膜厚度為8nm±3nm，且SiOx膜11(1≦x<2)之膜厚度為50±20nm，可成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
藉由如上所述之此實施型態1之高透過附ITO膜玻璃10，作為利用波長區域1530nm~1570nm之紅外光之光通訊所使用的光開關，可提供透過率較高而可減低反射，且能以較少步驟用便宜成本作成的液晶裝置。
實施型態2
圖7，係表示本發明之實施型態2之高透過附ITO膜玻璃之概略構成之圖，並為與圖2所示傳統之附ITO膜玻璃相對應之圖。又，與實施 型態1所說明者為相同之構成處，係以同一符號標示而省略重複說明。
此實施型態2之高透過附ITO膜玻璃20，係配置為將液晶層夾入，ITO膜成形於為玻璃基板之內側的液晶層側，且如圖7所示，於ITO電極2之進一步內側的液晶層側，成膜有SiOx膜12(1≦x<2)。
又，SiOx膜(1≦x<2)之成膜方法，與實施型態1相同，因此省略說明。
在此，此圖7中，亦說明於ITO電極2之進一步內側的液晶層側成形之膜為SiOx膜(1≦x<2)的情形下，透過率將比為SiO2膜之情形更高(透過強度較大)之原因。
若以圖7中玻璃基板1之折射率為n1；ITO電極2之折射率為n2；於ITO電極2之進一步內側的液晶層側成形之SiOx膜12之折射率為n3，則其透過率T〔SiOx〕，可表示為與前述式(3)相同之式。於是，例如x=1．5的情形下，若代入玻璃之折射率n1=1．52；ITO之折射率n2=2．00；SiOx之折射率n3=1．75，則T〔SiOx〕=0．977。
另一方面，圖7中於ITO電極2之進一步內側的液晶層側成形之膜為SiO2膜之情形的透過率T〔SiO2〕，若SiO2之折射率為n3，並與前述式(3)相同，於式(3)中代入玻璃之折射率n1=1．52；ITO之折射率n2=2．00；SiO2之折射率n3=1．45，則T〔SiO2〕=0．956。
如此，相對於ITO電極2之進一步內側的液晶層側成形之 膜為SiO2時透過率為95．6%，而為SiOx膜(x=1．5)時的透過率為97．7%。此係由於相對於SiO2之折射率為1．45，SiOx(1≦x<2)之折射率為大於1．45，因此透過率較高。其結果，於ITO電極2之進一步內側的液晶層側成形之膜，比起為SiO2膜之情形，形成為SiOx膜(1≦x<2)時，可作成透過率更高的高透過附ITO膜玻璃20。
並且，此實施型態2中，亦由於ITO電極2之膜厚度、及SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度的干涉，光之透過率變化，因此為了提供透過率較高、可降低反射的高透過附ITO膜玻璃，應配合ITO電極2之膜厚度8nm±3nm，調整SiOx膜12之膜厚度。
圖8，係表示對於紅外線波長，此實施型態2之高透過附ITO膜玻璃20之透過率的測定實驗結果之圖表。在此，係表示當ITO電極2之膜厚度為8nm，且SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度為50nm、100nm、200nm之3種下，1500nm~1600nm之波長之光的透過率測定結果。
此外，為了比較，亦示有圖2所示傳統之附ITO膜玻璃之透過率。圖8中之虛線A，係表示傳統之附ITO膜玻璃之透過率，而實線E、F、G係分別表示於ITO電極2之內側(液晶層側，亦即，與玻璃基板1相反側)裝設膜厚度50nm、膜厚度100nm、膜厚度200nm之SiOx膜12(1≦x<2)的高透過附ITO膜玻璃20之透過率。
又，圖8中SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度僅代表 性地表示3種，惟關於其他種膜厚度，本發明申請人亦重複實驗，並發現藉由ITO電極2之膜厚度及SiOx膜12之膜厚度的干涉所產生，相對於SiOx膜12之膜厚度的透過率變化傾向，其結果示於圖9。
圖9，係表示對於SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度，實施型態2之高透過附ITO膜玻璃20之透過率的測定實驗結果之圖表。此情形下，亦係ITO電極2之膜厚度為8nm，透過率係紅外線波長取1530nm~1570nm之平均值。
此時，進行SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度在10nm~200nm之間，且以10nm為一刻度之實驗結果，如圖9所示，發現其傾向係可描繪為透過率隨著SiOx膜12之膜厚度越厚而上升，且在膜厚度接近200nm時透過率最大的平緩曲線。
此外，發現SiOx膜12之膜厚度為200nm之情形下，與圖2所示傳統之附ITO膜玻璃相比，透過率係上升2．1%。
又，SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度0nm處所示的×標記，係表示未裝設SiOx膜12之ITO電極2單體情形下(圖2所示傳統之附ITO膜玻璃的情形)的透過率，為了與曲線比較，×標記之透過率係以一點鏈線之直線P表示。
此結果，發現此實施型態2之高透過附ITO膜玻璃20，於ITO電極2之膜厚度為8nm之情形下，SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度越接近200nm，越可能成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
此外，可預測即使為200nm以上之膜厚度，至少到35 0nm左右仍為透過率較傳統高的附ITO膜玻璃，因此可認為SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度若為50nm~350nm(200nm±150nm)，可確實成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
在此，ITO電極2之膜厚度，如同前述，被要求為8nm±3nm之厚度，因此若ITO電極2之膜厚度留有3nm之調整空間，基於膜厚度之干涉，此情形下SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度亦必須有約10nm的調整空間。
亦即，可認為此實施型態2之高透過附ITO膜玻璃20，藉由使ITO電極2之膜厚度為8nm±3nm，且SiOx膜12(1≦x<2)之膜厚度為200±140nm，可成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
藉由如上所述之此實施型態2之高透過附ITO膜玻璃20，作為利用波長區域1530nm~1570nm之紅外光之光通訊所使用的光開關，可提供透過率較高而可減低反射，且能以較少步驟用便宜成本作成的液晶裝置。
實施型態3
圖10，係表示本發明之實施型態3之高透過附ITO膜玻璃之概略構成之圖，為與圖2所示傳統之附ITO膜玻璃相對應之圖。又，與實施型態1所說明者為相同之構成處，係以同一符號標示而省略重複說明。
此實施型態3之高透過附ITO膜玻璃30，係配置為將液晶層夾入，ITO膜成形於為玻璃基板之內側的液晶層側，且如圖10所示，於ITO電極2之上下，亦即，於ITO電極2與玻璃基板1之間， 以及，於ITO電極2之進一步內側的前述液晶層側，個別成膜有SiOx膜13(1≦x<2)及SiOx膜14(1≦x<2)。
又，SiOx膜(1≦x<2)之成膜方法，與實施型態1相同，因此省略說明。
此實施型態3中，亦由於ITO電極2之膜厚度、及SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度的干涉，光之透過率變化，因此為了提供透過率較高、可降低反射的高透過附ITO膜玻璃，應配合ITO電極2之膜厚度8nm±3nm，調整SiOx膜13，14之膜厚度。
圖11，係表示對於紅外線波長，此實施型態3之高透過附ITO膜玻璃30之透過率的測定實驗結果之圖表。在此，係表示當ITO電極2之膜厚度為8nm，且SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度皆為50nm、100nm、200nm之3種下，1500nm~1600nm之波長之光的透過率測定結果。
此外，為了比較，亦示有圖2所示傳統之附ITO膜玻璃之透過率。圖11中之虛線A，係表示傳統之附ITO膜玻璃之透過率，而實線H、J、K係分別表示於ITO電極2之內側及外側(與玻璃基板1之間及液晶層側)裝設膜厚度50nm、膜厚度100nm、膜厚度200nm之SiOx膜13及14(1≦x<2)的高透過附ITO膜玻璃30之透過率。
又，圖11中SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度僅代表性地表示3種，惟關於其他種膜厚度，本發明申請人亦重複實驗，並發現藉由ITO電極2之膜厚度及SiOx膜13，14之膜厚度的干 涉所產生，相對於SiOx膜13，14之膜厚度的透過率變化傾向，因此其結果示於圖12。又，SiOx膜13與SiOx膜14為相同膜厚度。
圖12，係表示對於SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度，實施型態3之高透過附ITO膜玻璃30之透過率的測定實驗結果之圖表。此情形下，亦係ITO電極2之膜厚度為8nm，透過率係紅外線波長取1530nm~1570nm之平均值。
此時，進行SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度在10nm~200nm之間，且以10nm為一刻度之實驗結果，如圖12所示，發現其傾向係可描繪為SiOx膜13，14之膜厚度在接近130nm時透過率最大，且在接近10nm時透過率最小的平緩曲線。
此外，在SiOx膜13，14之膜厚度為100nm之情形下，與圖2所示傳統之附ITO膜玻璃相比，透過率係上升2．3%。
又，SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度0nm處所示的×標記，係表示未裝設SiOx膜13及14之ITO電極2單體情形下(圖2所示傳統之附ITO膜玻璃的情形)的透過率，為了與曲線比較，×標記之透過率係以一點鏈線之直線P表示。
此結果，發現此實施型態3之高透過附ITO膜玻璃30，於ITO電極2之膜厚度為8nm之情形下，SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度若為30nm以上，可成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
此外，可預測即使為200nm以上之膜厚度，至少到23 0nm左右仍為透過率較傳統高的附ITO膜玻璃，因此可認為SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度若為30nm~230nm(130nm±100nm)，可確實成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
在此，ITO電極2之膜厚度，如同前述，被要求為8nm±3nm之厚度，因此若ITO電極2之膜厚度留有3nm之調整空間，基於膜厚度之干涉，此情形下SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度亦必須有約10nm的調整空間。
亦即，可認為此實施型態3之高透過附ITO膜玻璃30，藉由使ITO電極2之膜厚度為8nm±3nm，且SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度個別為130±90nm，可成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
然而，在此實施型態3之情形下，由於在ITO電極2之內側及外側其兩側係形成相同膜厚度的SiOx膜(1≦x<2)(13及14)，若一側的SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度超過200nm時，整體的膜厚度將過厚，組裝於光開關時有困難，因此以一側之膜厚度不超過200nm，亦即，SiOx膜13，14之膜厚度個別為130±70nm為佳。
藉此，可認為此實施型態3之高透過附ITO膜玻璃30，藉由使ITO電極2之膜厚度為8nm±3nm，且SiOx膜13，14(1≦x<2)之膜厚度個別為130±70nm，可成為與傳統相比，透過率較高的附ITO膜玻璃。
藉由如上所述之此實施型態3之高透過附ITO膜玻璃30，作為利用波長區域1530nm~1570nm之紅外光之光通訊所使用的光開關，可提供透過率較高而可減低反射，且能以較少步驟用便宜成本作成的液晶裝置。
又，本發明係只要於其發明之範圍內，則可為各實施型態之自由組合、或各實施型態之任意之構成要素之變形、抑或各實施型態中任意之構成要素的省略。

Claims (3)

  1. 一種高透過附ITO膜玻璃，其係利用1530nm~1570nm之波長區域之紅外線為入射光之液晶裝置所使用的高透過附ITO膜玻璃，其特徵係該高透過附ITO膜玻璃係配置為將液晶層夾入，ITO膜成形於為玻璃基板之內側的前述液晶層側；且於前述ITO膜與前述玻璃基板之間，成膜有SiOx膜(1≦x<2)；前述ITO膜之膜厚度為8nm±3nm，前述SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度為50nm±20nm。
  2. 一種高透過附ITO膜玻璃，其係利用1530nm~1570nm之波長區域之紅外線為入射光之液晶裝置所使用的高透過附ITO膜玻璃，其特徵係該高透過附ITO膜玻璃係配置為將液晶層夾入，ITO膜成形於為玻璃基板之內側的前述液晶層側；且於為前述ITO膜之進一步內側的前述液晶層側，成膜有SiOx膜(1≦x<2)；前述ITO膜之膜厚度為8nm±3nm，前述SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度為200nm±140nm。
  3. 一種高透過附ITO膜玻璃，其係利用1530nm~1570nm之波長區域之紅外線為入射光之液晶裝置所使用的高透過附ITO膜玻璃，其特徵係該高透過附ITO膜玻璃係配置為將液晶層夾入，ITO膜成形於為玻璃基板之內側的前述液晶層側；且於前述ITO膜與前述玻璃基板之間，以及，於前述ITO膜之進一步內側的前述液晶層側，個別成膜有SiOx膜(1≦x<2)；前述ITO膜之膜厚度為8nm±3nm，前述SiOx膜(1≦x<2)之膜厚度個別為130nm±70nm。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116589201B (zh) * 2023-07-17 2023-09-08 山东蓝玻玻璃科技有限公司 一种近红外高透过率镀膜玻璃及其制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005294084A (ja) * 2004-04-01 2005-10-20 Oike Ind Co Ltd 透明導電フィルム
CN1756986A (zh) * 2003-03-07 2006-04-05 旭硝子株式会社 光学衰减器和光学头装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6017421A (ja) * 1983-07-09 1985-01-29 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 透明導電性フイルム
JPH01205122A (ja) * 1988-02-12 1989-08-17 Alps Electric Co Ltd 液晶表示素子
IL118209A0 (en) 1996-05-09 1998-02-08 Yeda Res & Dev Active electro-optical wavelength-selective mirrors and active electro-optic wavelength-selective filters
KR20050103921A (ko) 2003-03-07 2005-11-01 아사히 가라스 가부시키가이샤 광감쇠기 및 광헤드 장치
JP2005166427A (ja) * 2003-12-02 2005-06-23 Sumitomo Bakelite Co Ltd 透明導電性フィルム及びその製造方法
CN101681069B (zh) 2007-05-22 2011-08-31 日本电气硝子株式会社 透明电极
JP2012148405A (ja) * 2009-05-19 2012-08-09 Sanyo Shinku Kogyo Kk 電子部品素子

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1756986A (zh) * 2003-03-07 2006-04-05 旭硝子株式会社 光学衰减器和光学头装置
JP2005294084A (ja) * 2004-04-01 2005-10-20 Oike Ind Co Ltd 透明導電フィルム

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