TWI618596B - 機台保護系統及其保護裝置 - Google Patents

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Abstract

一種保護裝置，包括至少一第一固定件、一第二固定件、一支撐件、一滾軸、一布簾、一電磁鐵以及一供電器。前述支撐件連接該第一、第二固定件。滾軸活動地設置於支撐件上。供電器可提供一電力至電磁鐵，使電磁鐵吸附滾軸，並使布簾處於一收納狀態。當供電器停止提供電力至電磁鐵時，滾軸沿支撐件移動，以使布簾展開並覆蓋一機台。

Description

機台保護系統及其保護裝置
本創作係有關於一種保護裝置，特別是有關於一種當供電器斷電時能自動展開布簾的保護裝置。
在半導體晶圓製造廠房內通常需配置有消防灑水系統，以符合消防安檢之規定。但是當發生如地震等複合式災害時，恐造成天花板上的消防水管洩漏，並導致液體滴落至晶圓製造機台或其他重要的設備而造成損壞。
目前使用於半導體晶圓製造廠房的保護裝置大多是藉由人為操作而啟動，進而可在機台上方展開遮蔽物以達到保護機台的效果，然而這種設備並無法在停電的情況下啟動以有效地保護機台。
為了克服前述習知問題點，本發明提供了一種保護裝置，用以保護一機台，其中該機台設置於一地面上，該保護裝置包括一第一固定件，固定於該地面且位於該機台之一側；一第二固定件，固定於該地面且位於該機台之另一側；一支撐件，位於該機台上方並連接該第一、第二固定件，其中該支撐件相對於該地面呈傾斜；一滾軸，活動地設置於該支撐件上，並具有導磁材質；一布簾，捲繞於該滾軸上並處於一收納 狀態，其中該布簾之一第一側固定於該第一固定件，該布簾之一第二側固定於該滾軸，且該第二側相反於該第一側；一電磁鐵，設置於該第一固定件之一側；以及一供電器，提供一電力至該電磁鐵，使該電磁鐵吸附該滾軸，並維持該布簾於該收納狀態，其中當該供電器停止提供電力至該電磁鐵時，該滾軸藉由其本身之重力而沿該支撐件滾動，以使該布簾展開並覆蓋該機台。
於一實施例中，前述的保護裝置，更包括兩個第一固定件、兩個第二固定件以及四個支撐件，其中該些支撐件分別位於該機台上方並連接該些第一、第二固定件，且該些支撐件形成一矩形區域，該機台位於該矩形區域投影至該地面的範圍內。
於一實施例中，前述的布簾具有玻璃纖維材質。
於一實施例中，前述的支撐件與該地面形成一銳角。
於一實施例中，前述的第二固定件具有一限位部，凸出於該支撐件，並限制該滾軸於該第一、第二固定件之間移動。
為了克服前述習知問題點，本發明亦提供了另一種保護裝置，用以保護一機台，其中該機台設置於一地面上，該保護裝置包括一固定件，固定於該地面且位於該機台之一側；一連桿機構，位於該機台上方並連接該固定件，其中該連桿機構具有導磁材質；一可伸縮件，連接該連桿機構；一布簾，設置於該連桿機構上並處於一收納狀態，其中該布簾之一第一 側固定於該固定件，該布簾之一第二側固定於該連桿機構，且該第二側相反於該第一側；一電磁鐵，設置於該固定件之一側；以及一供電器，提供一電力至該電磁鐵，使該電磁鐵吸附該連桿機構，並維持該布簾於該收納狀態，其中當該供電器停止提供電力至該電磁鐵時，該可伸縮件撐開該連桿機構，以使該布簾展開並覆蓋該機台。
於一實施例中，前述的布簾具有玻璃纖維材質。
於一實施例中，前述的保護裝置更包括兩個固定件、兩個連桿機構以及兩個可伸縮件，其中該些連桿機構分別連接該些固定件，該些可伸縮件分別連接該些連桿機構，且該布簾設置於該些連桿機構上並具有矩形結構。
為了克服前述習知問題點，本發明亦提供一種機台保護系統，包括一如申請專利範圍第1項到第8項中任一項所述之保護裝置；一電源，電性連接至該保護裝置之該供電器；以及一地震感測器，電性連接至該電源，其中當該地震感測器偵測到大於一特定值的震度時，該地震感測器傳送一訊號至該電源，使該電源停止提供電力至該供電器。
於一實施例中，前述的機台保護系統更包括複數個保護裝置，且該電源分別電性連接至該些保護裝置之該些供電器，其中當該地震感測器偵測到大於某該特定值的震度時，該地震感測器傳送該訊號至該電源，使該電源停止提供電力至該些供電器。
1‧‧‧保護裝置
201‧‧‧第一固定件
202‧‧‧第二固定件
203‧‧‧固定件
21、211、212‧‧‧限位部
31‧‧‧支撐件
32‧‧‧滾軸
33‧‧‧連桿機構
331‧‧‧連桿
34‧‧‧可伸縮件
40‧‧‧布簾
41‧‧‧第一側
42‧‧‧第二側
50‧‧‧電磁鐵
60‧‧‧供電器
S‧‧‧機台
G‧‧‧地面
C‧‧‧天花板
W‧‧‧灑水器
B‧‧‧地震感測器
M‧‧‧電源
a‧‧‧夾角
H1‧‧‧第一高度
H2‧‧‧第二高度
A1‧‧‧第一開關
第1A圖為本發明一實施例之保護裝置及機台的前視圖。
第1B圖為第1A圖中之布簾展開時的保護裝置及機台的前視圖。
第2A圖為本發明另一實施例之保護裝置、機台及地震感測器的立體圖。
第2B圖為第2A圖中之保護裝置、機台及地震感測器的俯視圖。
第2C圖為第2A圖中之布簾展開時的保護裝置、機台及地震感測器的立體圖。
第2D圖為第2C圖中之保護裝置、機台及地震感測器的俯視圖。
第3A圖為本發明另一實施例之保護裝置、機台及地震感測器的立體圖。
第3B圖為第3A圖中之保護裝置、機台及地震感測器的俯視圖。
第3C圖為第3A圖中之保護裝置、機台及地震感測器的前視圖。
第3D圖為第3A圖中之布簾展開時的保護裝置、機台及地震感測器的立體圖。
第3E圖為第3D圖中之保護裝置、機台及地震感測器的俯視圖。
第3F圖為第3D圖中之保護裝置、機台及地震感測器的前視圖。
第4圖為本發明一實施例之機台保護系統示意圖。
有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之一較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或後等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用來說明並非用來限制本發明。
首先請一併參閱第1A、1B圖，其中第1A圖為本發明一實施例之保護裝置1及機台S的前視圖，第1B圖則為第1A圖中之布簾40展開時的保護裝置1及機台S的前視圖。如第1A圖所示，本實施例之機台S設置於地面G上，且保護裝置1主要包括一第一固定件201、一第二固定件202、一支撐件31、一滾軸32、一布簾40、一電磁鐵50以及一供電器60，其中第一固定件201固定於地面G且位於機台S之一側，第二固定件202固定於地面G且位於機台S之另一側，前述支撐件31則位於機台S上方並連接第一、第二固定件201、202。
特別地是，滾軸32活動地設置於支撐件31上並具有導磁性，布簾40則捲繞於滾軸32上並處於一收納狀態，電磁鐵50及供電器60則是設置於第一固定件201之一側，其中供電器60係提供一電力至電磁鐵50，使電磁鐵50可吸附滾軸32，並維持布簾40於第1A圖所示的收納狀態。
由第1A圖更可清楚看出，支撐件31連接第一固定件201於一第一高度H1，且支撐件31連接第二固定件202於一第二高度H2，其中第一高度H1大於第二高度H2，藉此可使支撐件31相對於地面G傾斜並形成一夾角a，前述夾角a於本實施例 中為一銳角。
應了解的是，第二固定件202之上端形成有一限位部21，且限位部21朝上方凸出於支撐件31，當滾軸32相對支撐件31朝第二固定件202移動時，限位部21可限制滾軸32於第一、第二固定件201、202之間而不致於掉落到地面G上(如第1B圖所示)。此外，前述供電器60具有第一開關A1，可控制供電器60是否提供電力至電磁鐵50。前述布簾40之一第一側41固定於第一固定件201，布簾40之一第二側42則固定於滾軸32，且第二側42相反於第一側41。
舉例而言，布簾40具有不可燃燒且不助燃的材質，例如玻璃纖維材質(Glass Fabrics)，機台S則可為任何需避免液體或粉塵滲入的設備，例如半導體晶圓製造設備，且保護裝置1上方另可設置複數個灑水器W於天花板C上。當發生地震或其他緊急事件時，現場人員可藉由第一開關A1關閉供電器60，以停止提供電力至電磁鐵50，此時電磁鐵50與滾軸32之間的磁性吸引力消失，使滾軸32可藉由其本身之重力而沿支撐件31滾動直到抵接限位部21(如第1B圖所示)，且布簾40即可在支撐件31上展開並覆蓋機台S，以避免液體或粉塵進入機台S內部而達到保護效果。
再請一併參閱第2A-2D圖，其中第2A圖為本發明另一實施例之保護裝置1、機台S及地震感測器B的立體圖，第2B圖則為第2A圖中之保護裝置1、機台S及地震感測器B的俯視圖；此外，第2C圖為第2A圖中之布簾40展開時的保護裝置1、機台S及地震感測器B的立體圖，第2D圖則為第2C圖中之保護 裝置1、機台S及地震感測器B的俯視圖。如第2A-2D圖所示，本實施例中之保護裝置1主要包括兩個第一固定件201、兩個第二固定件202、四個支撐件31、一滾軸32、一布簾40、一電磁鐵50以及一供電器60。
需特別說明的是，本實施例與第1A圖之實施例的主要差別係在於：本實施例中之保護裝置1更包括有兩個第一固定件201、兩個第二固定件202以及四個支撐件31。如第2A、2C圖所示，兩個第一固定件201位於機台S之一側，兩個第二固定件202位於機台S之另一側，且四個支撐件31則分別位於機台S上方並連接前述第一、第二固定件201、202，其中第一、第二固定件201、202分別具有一限位部211、212，係用以限制滾軸32於第一、第二固定件201、202之間滾動而不致於掉落於地面G。由第2B、2D圖更可清楚地看出，四個支撐件31大致形成一矩形區域，其中機台S位於此矩形區域投影在地面G的範圍內，此外布簾40亦大致呈矩形，並且在展開時能夠完全覆蓋機台S(如第2D圖所示)。
應了解的是，本實施例中之供電器60電性連接一地震感測器B，當地震感測器B偵測到大於某一特定值的震度時，地震感測器B會傳送一訊號至供電器60，以使供電器60停止提供電力至電磁鐵50。舉例而言，當發生震度大於四級的地震，而造成灑水器W的消防水管洩漏出液體時，供電器60可根據接收地震感測器B所傳送之訊號而停止提供電力至電磁鐵50，使布簾40在該些支撐件31上展開並覆蓋機台S以達到保護效果。此外，除藉由地震感測器B傳送訊號外，現場人員亦可 藉由第一開關A1而關閉供電器60並停止提供電力至電磁鐵50。需特別說明的是，形成矩形結構的支撐件31亦可為一體成形，且本發明並不限定布簾40以及支撐件31之結構必須為矩形，其亦可視需求而設計為梯形、平行四邊形或其他形狀。
再請一併參閱第3A-3C圖，其中第3A圖為本發明另一實施例之保護裝置1、機台S以及地震感測器B的立體圖，第3B、3C圖則分別為第3A圖中之保護裝置1、機台S以及地震感測器B的俯視圖及前視圖。如第3A-3C圖所示，本實施例之機台S設置於地面G上，且保護裝置1主要包括兩個固定件203、兩個連桿機構33、兩個可伸縮件34、一布簾40、一電磁鐵50及一供電器60，其中固定件203固定於天花板C上且位於機台S之一側(如第3C圖所示)，前述連桿機構33則位於機台S上方並連接固定件203。
應了解的是，連桿機構33為兩個連桿331樞接而成的V字型機構並具有導磁性，可伸縮件34分別連接各個連桿機構33中的連桿331，其中布簾40設置於連桿機構33上並處於一收納狀態。由第3C圖可看出，電磁鐵50以及供電器60設置於固定件203之一側，其中供電器60可提供一電力至電磁鐵50，使電磁鐵50吸附連桿機構33，並維持布簾40於如第3A-3C圖所示的收納狀態。
於本實施例中，可伸縮件34為一壓縮彈簧且在連桿機構33的兩連桿之間受擠壓，如第3B圖所示，其中當布簾40處於收納狀態時，連桿機構33的兩連桿形成一銳角。布簾40之第一側41固定於固定件203上，布簾之第二側42則固定於連桿 機構33上，且第二側42相反於第一側41。前述供電器60具有第一開關A1，可用以控制供電器60是否提供電力至電磁鐵50。
再請一併參閱第3D-3F圖，第3D圖為第3A圖中之布簾40展開時的保護裝置1、機台S以及地震感測器B的立體圖，第3E、3F圖則分別為第3D圖中之保護裝置1、機台S以及地震感測器B的俯視圖及前視圖。如第3E圖所示，當供電器60停止提供電力至電磁鐵50時，可伸縮件34撐開連桿機構33時，使連桿機構33的兩連桿形成一鈍角。
此外，本實施例中之供電器60電性連接一地震感測器B，當地震感測器B偵測到大於某一特定值的震度時，地震感測器B會傳送一訊號至供電器60，使供電器60停止提供電力至電磁鐵50，並使電磁鐵50與連桿機構33之間的磁性吸引力消失，此時可伸縮件34會自動撐開連桿機構33，以使布簾40展開且覆蓋機台S，以避免液體或粉塵進入機台S內部而達到保護效果。
舉例而言，前述布簾40具有不可燃燒、不助燃的材質，例如玻璃纖維材質(Glass Fabrics)，機台S可為任何需避免液體或粉塵滲入的設備，且保護裝置1上方另可設置複數個灑水器W於天花板C上。當發生震度大於四級的地震，而造成灑水器W的消防水管洩漏出液體時，現場人員可藉由第一開關A1關閉供電器60，或是可藉由接收地震感測器B所傳送之訊號，而使供電器60停止提供電力至電磁鐵50，並使布簾40藉由前述之方式展開而覆蓋機台S。
需注意的是，本實施例並不限定固定件203必須固 定於天花板C，固定件203亦可視情況而固定於地面G，此外亦不限定固定件203、連桿機構33以及可伸縮件34的數量為兩個，該些構件的數量亦可為一個或是三個以上，可伸縮件34則亦可為汽缸或是其他具伸縮性的構件。
再請參閱第4圖，該圖為本發明一實施例之機台保護系統示意圖。如第4圖所示，機台保護系統包括至少一個如先前任一實施例中所述的保護裝置1、一電源M以及一地震感測器B，其中電源M電性連接地震感測器B以及保護裝置1中的供電器60，且電源M可提供一電力至供電器60，以使供電器60供應電力至電磁鐵50，並維持布簾40於前述收納狀態。
舉例而言，當地震感測器B偵測到大於某一特定值的震度時，地震感測器B會傳送一訊號至電源M，並使電源M停止提供電力至供電器60。應了解的是，本實施例中亦可將電源M電性分別連接到複數個保護裝置1的供電器60，如此一來當電源M接受地震感測器B的訊號時，即可停止提供電力至該些供電器60。換句話說，藉由前述機台保護系統可選擇性地使保護裝置1根據地震感測器B傳送之訊號或是以手動關閉電源M，以使電源M停止提供電力至該些供電器60，進而使布簾40自動展開以保護機台S。
綜上所述，本發明提供一種保護裝置，其中當供電器提供電力至電磁鐵時，布簾處於一收納狀態；當供電器停止提供電力至電磁鐵時，布簾會展開並覆蓋需避免液體或粉塵進入之機台。藉此，在發生火災時不只能透過自動灑水器滅火，也能使保護裝置在無操作人員於現場的情形下啟動，以達 到防水、防塵等保護效果，亦即本發明可使機台可符合消防安檢的之規定，同時能避免機台受液體滲入而造成損壞。
雖然本發明以前述之實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可做些許之更動與潤飾。因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (10)

  1. 一種保護裝置，用以保護一機台，其中該機台設置於一地面上，該保護裝置包括：一第一固定件，固定於該地面且位於該機台之一側；一第二固定件，固定於該地面且位於該機台之另一側；一支撐件，位於該機台上方並連接該第一、第二固定件，其中該支撐件相對於該地面呈傾斜；一滾軸，活動地設置於該支撐件上，並具有導磁材質；一布簾，捲繞於該滾軸上並處於一收納狀態，其中該布簾之一第一側固定於該第一固定件，該布簾之一第二側固定於該滾軸，且該第二側相反於該第一側；一電磁鐵，設置於該第一固定件之一側；以及一供電器，提供一電力至該電磁鐵，使該電磁鐵吸附該滾軸，並維持該布簾於該收納狀態，其中當該供電器停止提供電力至該電磁鐵時，該滾軸藉由其本身之重力而沿該支撐件滾動，以使該布簾展開並覆蓋該機台。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之保護裝置，更包括兩個第一固定件、兩個第二固定件以及四個支撐件，其中該些支撐件分別位於該機台上方並連接該些第一、第二固定件，且該些支撐件形成一矩形區域，該機台位於該矩形區域投影至該地面的範圍內。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之保護裝置，其中該布簾具有玻璃纖維材質。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之保護裝置，其中該支撐件與該 地面形成一銳角。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之保護裝置，其中該第二固定件具有一限位部，凸出於該支撐件，並限制該滾軸於該第一、第二固定件之間移動。
  6. 一種保護裝置，用以保護一機台，其中該機台設置於一地面上，該保護裝置包括：一固定件，固定於該地面且位於該機台之一側；一連桿機構，位於該機台上方並連接該固定件，其中該連桿機構具有導磁材質；一可伸縮件，連接該連桿機構；一布簾，設置於該連桿機構上並處於一收納狀態，其中該布簾之一第一側固定於該固定件，該布簾之一第二側固定於該連桿機構，且該第二側相反於該第一側；一電磁鐵，設置於該固定件之一側；以及一供電器，提供一電力至該電磁鐵，使該電磁鐵吸附該連桿機構，並維持該布簾於該收納狀態，其中當該供電器停止提供電力至該電磁鐵時，該可伸縮件撐開該連桿機構，以使該布簾展開並覆蓋該機台。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之保護裝置，其中該布簾具有玻璃纖維材質。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之保護裝置，更包括兩個固定件、兩個連桿機構以及兩個可伸縮件，其中該些連桿機構分別連接該些固定件，該些可伸縮件分別連接該些連桿機構，且該布簾設置於該些連桿機構上並具有矩形結構。
  9. 一種機台保護系統，包括：一如申請專利範圍第1項到第8項中任一項所述之保護裝置；一電源，電性連接至該保護裝置之該供電器；以及一地震感測器，電性連接至該電源，其中當該地震感測器偵測到大於一特定值的震度時，該地震感測器傳送一訊號至該電源，使該電源停止提供電力至該供電器。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之機台保護系統，其中該機台保護系統更包括複數個保護裝置，且該電源分別電性連接至該些保護裝置之該些供電器，其中當該地震感測器偵測到大於某該特定值的震度時，該地震感測器傳送該訊號至該電源，使該電源停止提供電力至該些供電器。
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