JPH106053A - レーザ加工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機用安全装置並びにレーザ光用保護めがね - Google Patents
レーザ加工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機用安全装置並びにレーザ光用保護めがねInfo
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- JPH106053A JPH106053A JP8160050A JP16005096A JPH106053A JP H106053 A JPH106053 A JP H106053A JP 8160050 A JP8160050 A JP 8160050A JP 16005096 A JP16005096 A JP 16005096A JP H106053 A JPH106053 A JP H106053A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ加工機における火災を広範囲に瞬時に
誤動作なく検出したりパーティションやめがね等に照射
するレーザの反射光や直接光を検出できるようなレーザ
加工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機
用安全装置並びにレーザ光用保護めがねを提供する。 【解決手段】 レーザ加工機１３内部や近辺に配置され
たレーザ加工機用異常検出センサ１の外容器３は耐熱性
が低いので、火災やレーザ光洩れ等のレーザ加工機の異
常による熱で一部または全部が破損し、内部に充填され
た不燃性の流体５が流出する。この流出した流体５をセ
ンサ７で検出することにより、レーザ加工機１３に異常
が発生したことを検出する。この場合に、流出する流体
５は不燃性なので、火災の場合でも安全である。この異
常検出センサ１を応用した種々のレーザ加工機用安全装
置１５、３７やレーザ光用保護めがね６３が考えられ
る。
誤動作なく検出したりパーティションやめがね等に照射
するレーザの反射光や直接光を検出できるようなレーザ
加工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機
用安全装置並びにレーザ光用保護めがねを提供する。 【解決手段】 レーザ加工機１３内部や近辺に配置され
たレーザ加工機用異常検出センサ１の外容器３は耐熱性
が低いので、火災やレーザ光洩れ等のレーザ加工機の異
常による熱で一部または全部が破損し、内部に充填され
た不燃性の流体５が流出する。この流出した流体５をセ
ンサ７で検出することにより、レーザ加工機１３に異常
が発生したことを検出する。この場合に、流出する流体
５は不燃性なので、火災の場合でも安全である。この異
常検出センサ１を応用した種々のレーザ加工機用安全装
置１５、３７やレーザ光用保護めがね６３が考えられ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工機に
おける火災やレーザ光洩れ等の異常時に対するレーザ加
工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機用
安全装置並びにレーザ光用保護めがねに関するものであ
る。
おける火災やレーザ光洩れ等の異常時に対するレーザ加
工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機用
安全装置並びにレーザ光用保護めがねに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、レーザ加工機における火災検
出は、火炎、煙、温度変化等を直接検出するセンサを使
用した安全装置により行なわれている。
出は、火炎、煙、温度変化等を直接検出するセンサを使
用した安全装置により行なわれている。
【０００３】また、レーザ加工機からの直接光または間
接光等が作業者を傷つけるのを防止するためや、レーザ
光による火災の防止等には、内部が見えて且つガラスの
ように瞬時に割れることのないアクリル製のパーティシ
ョンが一般的によく用いられている。すなわち、ガラス
のように瞬時に割れてしまうと作業者が逃げる間がな
く、安全装置として十分の機能を果たすことができない
からである。
接光等が作業者を傷つけるのを防止するためや、レーザ
光による火災の防止等には、内部が見えて且つガラスの
ように瞬時に割れることのないアクリル製のパーティシ
ョンが一般的によく用いられている。すなわち、ガラス
のように瞬時に割れてしまうと作業者が逃げる間がな
く、安全装置として十分の機能を果たすことができない
からである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、熱加工
を行う加工機であるレーザ加工機では、正常な状態でも
火炎や煙や温度変化を伴うものであり誤動作の可能性が
大きいこと、及び限られた数のセンサでは広範囲での火
炎や煙や温度変化を瞬時に検出して火災を抑えることは
困難であること等の問題がある。
を行う加工機であるレーザ加工機では、正常な状態でも
火炎や煙や温度変化を伴うものであり誤動作の可能性が
大きいこと、及び限られた数のセンサでは広範囲での火
炎や煙や温度変化を瞬時に検出して火災を抑えることは
困難であること等の問題がある。
【０００５】また、パーティションによりレーザ光を遮
断する場合においては、パーティションにレーザ光が当
てってもこのレーザ光自体を検出することができず、万
が一パーティションに穴があいてもレーザ光は停止しな
いため安全装置として十分な機能を有しないという問題
がある。
断する場合においては、パーティションにレーザ光が当
てってもこのレーザ光自体を検出することができず、万
が一パーティションに穴があいてもレーザ光は停止しな
いため安全装置として十分な機能を有しないという問題
がある。
【０００６】さらに、反射光がパーティションのどこに
当たるか特定できないため、センサ類による検出は困難
であるという問題がある。
当たるか特定できないため、センサ類による検出は困難
であるという問題がある。
【０００７】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、レーザ加工機におけ
る火災を広範囲に瞬時に誤動作なく検出したりパーティ
ションやめがね等に照射するレーザの反射光や直接光を
検出できるようなレーザ加工機用異常検出センサ及びこ
れを用いたレーザ加工機用安全装置並びにレーザ光用保
護めがねを提供することにある。
術に着目してなされたものであり、レーザ加工機におけ
る火災を広範囲に瞬時に誤動作なく検出したりパーティ
ションやめがね等に照射するレーザの反射光や直接光を
検出できるようなレーザ加工機用異常検出センサ及びこ
れを用いたレーザ加工機用安全装置並びにレーザ光用保
護めがねを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１による発明のレーザ加工機用異常検出セン
サは、レーザ加工機内部及び／または近辺に配されると
共に耐熱性の低い材料から成る外容器と、この外容器内
部に充填した不燃性の流体と、この流体の流出を検出す
るセンサと、を備えてなることを特徴とするものであ
る。
に、請求項１による発明のレーザ加工機用異常検出セン
サは、レーザ加工機内部及び／または近辺に配されると
共に耐熱性の低い材料から成る外容器と、この外容器内
部に充填した不燃性の流体と、この流体の流出を検出す
るセンサと、を備えてなることを特徴とするものであ
る。
【０００９】従って、レーザ加工機内部や近辺に配置さ
れたレーザ加工機用異常検出センサの外容器は耐熱性が
低いので、火災やレーザ光洩れ等のレーザ加工機の異常
による熱で一部または全部が破損し、内部に充填された
不燃性の流体が流出する。この流出した流体をセンサで
検出することにより、レーザ加工機に異常が発生したこ
とを検出する。この場合に、流出する流体は不燃性なの
で、火災の場合でも安全である。
れたレーザ加工機用異常検出センサの外容器は耐熱性が
低いので、火災やレーザ光洩れ等のレーザ加工機の異常
による熱で一部または全部が破損し、内部に充填された
不燃性の流体が流出する。この流出した流体をセンサで
検出することにより、レーザ加工機に異常が発生したこ
とを検出する。この場合に、流出する流体は不燃性なの
で、火災の場合でも安全である。
【００１０】請求項２によるレーザ加工機用異常検出セ
ンサは、請求項１記載の外容器が密封容器であると共
に、前記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが
圧力センサであること、を特徴とするものである。
ンサは、請求項１記載の外容器が密封容器であると共
に、前記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが
圧力センサであること、を特徴とするものである。
【００１１】従って、外容器の内部には圧力気体が密封
されており、レーザ加工機の異常により外容器が破損す
ると内部の圧力気体が外部に噴出することになる。この
ため外容器の内部圧力が低下するので、圧力センサがこ
れを検出することによりレーザ加工機に異常が発生した
ことを検出する。
されており、レーザ加工機の異常により外容器が破損す
ると内部の圧力気体が外部に噴出することになる。この
ため外容器の内部圧力が低下するので、圧力センサがこ
れを検出することによりレーザ加工機に異常が発生した
ことを検出する。
【００１２】請求項３によるレーザ加工機用異常検出セ
ンサは、レーザ加工機内部及び／または近辺に配される
と共に耐熱性の低い材料から成り且つ内部が大気に比し
て十分減圧された密封容器と、この密封容器内部に流入
する空気を検出する圧力センサと、を備えてなることを
特徴とするものである。
ンサは、レーザ加工機内部及び／または近辺に配される
と共に耐熱性の低い材料から成り且つ内部が大気に比し
て十分減圧された密封容器と、この密封容器内部に流入
する空気を検出する圧力センサと、を備えてなることを
特徴とするものである。
【００１３】従って、密封容器の内部の圧力を大気に比
して十分低くしてあるので、レーザ加工機の異常による
熱で耐熱性の低い密封容器が破損すると、大気が密封容
器内部に流入することになる。この圧力の変化を密封容
器内部に設けられた圧力センサが検出して、レーザ加工
機に異常が発生したことを検出する。
して十分低くしてあるので、レーザ加工機の異常による
熱で耐熱性の低い密封容器が破損すると、大気が密封容
器内部に流入することになる。この圧力の変化を密封容
器内部に設けられた圧力センサが検出して、レーザ加工
機に異常が発生したことを検出する。
【００１４】請求項４によるレーザ加工機用安全装置
は、レーザ加工機においてレーザ光の光路保護材の火災
を検出するレーザ加工機用安全装置であって、前記光路
保護材の周囲に配されると共に耐熱性の低い材料から成
る外容器と、この外容器内部に充填した不燃性の流体
と、この流体の流出を検出するセンサと、このセンサか
らの信号に基づいて火災検出時に直ちにレーザ照射を停
止させる制御装置と、を備えてなることを特徴とするも
のである。
は、レーザ加工機においてレーザ光の光路保護材の火災
を検出するレーザ加工機用安全装置であって、前記光路
保護材の周囲に配されると共に耐熱性の低い材料から成
る外容器と、この外容器内部に充填した不燃性の流体
と、この流体の流出を検出するセンサと、このセンサか
らの信号に基づいて火災検出時に直ちにレーザ照射を停
止させる制御装置と、を備えてなることを特徴とするも
のである。
【００１５】従って、レーザ光の光路保護材に火災が発
生すると、この熱により光路保護材の近辺に配置された
耐熱性の低い外容器が破損して、内部に充填されている
不燃性の流体が流出する。この流体の流出をセンサが検
出して、制御装置に伝達すると制御装置は直ちにレーザ
照射を直ちに停止させる。
生すると、この熱により光路保護材の近辺に配置された
耐熱性の低い外容器が破損して、内部に充填されている
不燃性の流体が流出する。この流体の流出をセンサが検
出して、制御装置に伝達すると制御装置は直ちにレーザ
照射を直ちに停止させる。
【００１６】請求項５によるレーザ加工機用安全装置
は、請求項４記載の外容器が密封容器であると共に、前
記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが圧力セ
ンサであること、を特徴とするものである。
は、請求項４記載の外容器が密封容器であると共に、前
記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが圧力セ
ンサであること、を特徴とするものである。
【００１７】従って、密封容器の内部には不燃性の圧力
気体が封入されているので、密封容器が破損すると内部
の圧力気体が噴出する。これに伴う内部圧力の変化を圧
力センサが検出してレーザ加工機に異常が発生したこと
を制御装置に伝達し、直ちにレーザ光の照射を停止す
る。
気体が封入されているので、密封容器が破損すると内部
の圧力気体が噴出する。これに伴う内部圧力の変化を圧
力センサが検出してレーザ加工機に異常が発生したこと
を制御装置に伝達し、直ちにレーザ光の照射を停止す
る。
【００１８】請求項６によるレーザ加工機用安全装置
は、請求項４記載の外容器を火災監視領域の上方に配す
ると共に、前記流体が消火用液体であること、を特徴と
するものである。
は、請求項４記載の外容器を火災監視領域の上方に配す
ると共に、前記流体が消火用液体であること、を特徴と
するものである。
【００１９】従って、外容器は火災監視領域の上方に配
置されており、火災の熱で外容器が破損すると、内部の
消火用液体が火災部分に散布される。また、同時に制御
装置にその旨発信されてレーザ照射を停止させる。
置されており、火災の熱で外容器が破損すると、内部の
消火用液体が火災部分に散布される。また、同時に制御
装置にその旨発信されてレーザ照射を停止させる。
【００２０】請求項７によるレーザ加工機用安全装置
は、レーザ加工機からのレーザ光の洩れを遮断するレー
ザ加工機用安全装置であって、前記レーザ加工機の近傍
に立設された透明で耐熱性の低い材料から成る外容器
と、この外容器内部に充填した透明な不燃性の流体と、
この流体の流出を検出するセンサと、このセンサからの
信号に基づいて直ちにレーザ照射を停止させる制御装置
と、を備えてなることを特徴とするものである。
は、レーザ加工機からのレーザ光の洩れを遮断するレー
ザ加工機用安全装置であって、前記レーザ加工機の近傍
に立設された透明で耐熱性の低い材料から成る外容器
と、この外容器内部に充填した透明な不燃性の流体と、
この流体の流出を検出するセンサと、このセンサからの
信号に基づいて直ちにレーザ照射を停止させる制御装置
と、を備えてなることを特徴とするものである。
【００２１】従って、レーザ加工機の近傍に立設された
パーティションを構成する外容器にレーザ光が直接的ま
たは間接的に照射されると耐熱性の低い外容器が破損
し、内部に充填された不燃性の流体が流出する。この流
出する流体をセンサが検出することによりレーザ光が洩
れていることを検出し、制御装置に指令してレーザ照射
を直ちに停止させる。なお、外容器は透明な部材により
構成されているので、レーザ加工の様子を外部から観察
することができる。
パーティションを構成する外容器にレーザ光が直接的ま
たは間接的に照射されると耐熱性の低い外容器が破損
し、内部に充填された不燃性の流体が流出する。この流
出する流体をセンサが検出することによりレーザ光が洩
れていることを検出し、制御装置に指令してレーザ照射
を直ちに停止させる。なお、外容器は透明な部材により
構成されているので、レーザ加工の様子を外部から観察
することができる。
【００２２】請求項８によるレーザ加工機用安全装置
は、請求項７記載の外容器が密封容器であると共に、前
記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが圧力セ
ンサであること、を特徴とするものである。
は、請求項７記載の外容器が密封容器であると共に、前
記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが圧力セ
ンサであること、を特徴とするものである。
【００２３】従って、レーザ光が照射されると密封容器
である外容器が破損し、内部に圧入されている不燃性の
気体が外部に噴出する。この噴出による内部圧力の変化
を圧力センサが検出することにより、レーザ光の照射を
検出する。このようにしてレーザ光の照射が検出される
と、圧力センサから信号が制御装置へ送られ直ちにレー
ザ光の照射を停止させる。
である外容器が破損し、内部に圧入されている不燃性の
気体が外部に噴出する。この噴出による内部圧力の変化
を圧力センサが検出することにより、レーザ光の照射を
検出する。このようにしてレーザ光の照射が検出される
と、圧力センサから信号が制御装置へ送られ直ちにレー
ザ光の照射を停止させる。
【００２４】請求項９によるレーザ光用保護めがねは、
少なくともレンズが、透明な耐熱性の低い材料から成る
密封容器と、この密封容器に充填した透明な不燃性の流
体と、この流体の流出を検出するセンサと、このセンサ
からの信号に基づき直ちにレーザ照射を停止させるべく
レーザ加工機の制御装置に発信する発信機と、を備えて
なることを特徴とするものである。
少なくともレンズが、透明な耐熱性の低い材料から成る
密封容器と、この密封容器に充填した透明な不燃性の流
体と、この流体の流出を検出するセンサと、このセンサ
からの信号に基づき直ちにレーザ照射を停止させるべく
レーザ加工機の制御装置に発信する発信機と、を備えて
なることを特徴とするものである。
【００２５】従って、めがねのレンズにレーザ光が照射
されると、レンズを構成する透明な密封容器が破損し、
内部に充填されている不燃性の流体が流出する。この流
体の流出をセンサが検出することによりレーザ光が照射
されていることを検出し、制御装置へ信号が送られて直
ちにレーザ光の照射を停止させる。めがねフレームも同
様の構造にしておけば、フレームにレーザ光が照射され
た場合を検出することができる。
されると、レンズを構成する透明な密封容器が破損し、
内部に充填されている不燃性の流体が流出する。この流
体の流出をセンサが検出することによりレーザ光が照射
されていることを検出し、制御装置へ信号が送られて直
ちにレーザ光の照射を停止させる。めがねフレームも同
様の構造にしておけば、フレームにレーザ光が照射され
た場合を検出することができる。
【００２６】請求項１０によるレーザ光用保護めがね
は、請求項９記載の流体が圧力気体であり、前記センサ
が圧力センサであることを特徴とするものである。
は、請求項９記載の流体が圧力気体であり、前記センサ
が圧力センサであることを特徴とするものである。
【００２７】従って、レンズにレーザ光が照射されると
レンズに破損を生じ、この破損箇所から圧力気体が噴出
するのでレーザ光が照射されていることを検出する。
レンズに破損を生じ、この破損箇所から圧力気体が噴出
するのでレーザ光が照射されていることを検出する。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて説明する。
を図面に基づいて説明する。
【００２９】図１には、この発明にかかるレーザ加工機
用異常検出センサ１が示されている。
用異常検出センサ１が示されている。
【００３０】異常検出センサ１は、例えばビニールやア
クリル等の熱に対して敏感に反応する材質から成る外容
器としての密封容器３の内部に所定の圧力をかけた圧力
充填物である不燃性の圧力気体５または液体（液体の場
合は重力により圧力が生じる）を封入しておき、この圧
力気体５の圧力を検出する圧力センサ７を前記圧力気体
５と共に封入したものである。また、前記圧力センサ７
は制御装置９に接続されている。
クリル等の熱に対して敏感に反応する材質から成る外容
器としての密封容器３の内部に所定の圧力をかけた圧力
充填物である不燃性の圧力気体５または液体（液体の場
合は重力により圧力が生じる）を封入しておき、この圧
力気体５の圧力を検出する圧力センサ７を前記圧力気体
５と共に封入したものである。また、前記圧力センサ７
は制御装置９に接続されている。
【００３１】従って、レーザ加工機に火災やレーザ光洩
れ等の異常が発生すると、この異常から生じる熱により
異常検出センサ１の密封容器３の一部または全体に破損
が生じ、密封容器３内部の圧力気体５が破損箇所から吹
き出す。
れ等の異常が発生すると、この異常から生じる熱により
異常検出センサ１の密封容器３の一部または全体に破損
が生じ、密封容器３内部の圧力気体５が破損箇所から吹
き出す。
【００３２】このため、密封容器３内部の圧力が減少す
るので、この圧力変化を圧力センサ７が検出して制御装
置９に伝達することによりレーザ加工機に異常が発生し
たことを検出することができる。ここで、圧力気体５は
不燃性なので火災等の異常時においても燃えることはな
い。
るので、この圧力変化を圧力センサ７が検出して制御装
置９に伝達することによりレーザ加工機に異常が発生し
たことを検出することができる。ここで、圧力気体５は
不燃性なので火災等の異常時においても燃えることはな
い。
【００３３】以上の結果から、レーザ加工機における異
常を検出することができ、後述するような種々の安全装
置に適用することができる。
常を検出することができ、後述するような種々の安全装
置に適用することができる。
【００３４】なお、前記圧力気体５の代わりに液体を充
填した場合には、液体の重量により圧力気体と同様の挙
動をするのでレーザ加工機の異常を検出することができ
る。また、液体の場合には、外容器は前述のような密封
容器３でなくても同様の効果を得ることができる。さら
に、液体を使用した場合には、レーザ光ＬＢがこれを透
過するのに若干時間を要するので、時間をかせぐことが
できる。
填した場合には、液体の重量により圧力気体と同様の挙
動をするのでレーザ加工機の異常を検出することができ
る。また、液体の場合には、外容器は前述のような密封
容器３でなくても同様の効果を得ることができる。さら
に、液体を使用した場合には、レーザ光ＬＢがこれを透
過するのに若干時間を要するので、時間をかせぐことが
できる。
【００３５】また、前述の実施の形態においては、異常
検出センサ１の密封容器３の外形を矩形のものとして説
明したが、設置場所に対応してどのような複雑な形状に
しても同様の作用・効果を得ることができる。
検出センサ１の密封容器３の外形を矩形のものとして説
明したが、設置場所に対応してどのような複雑な形状に
しても同様の作用・効果を得ることができる。
【００３６】次に、図２〜図７に基づいて、前述のレー
ザ加工機用異常検出センサ１を利用した種々のレーザ加
工機用安全装置について説明する。
ザ加工機用異常検出センサ１を利用した種々のレーザ加
工機用安全装置について説明する。
【００３７】図２及び図３には、レーザ加工機用異常検
出センサ１１を利用してレーザ加工機１３に発生した火
災を検出する安全装置１５が示されている。
出センサ１１を利用してレーザ加工機１３に発生した火
災を検出する安全装置１５が示されている。
【００３８】レーザ加工機１３においては、レーザ発振
器１７から発せられたレーザ光ＬＢが光路１９を通って
ベンドミラー２１により方向を変えられて加工ヘッド２
３に送られ、加工ヘッド２３内の集光レンズＬを経て加
工ヘッド２３の下端に装着されているノズル２５の先端
からワークＷに照射されて所望のレーザ加工を行うもの
である。
器１７から発せられたレーザ光ＬＢが光路１９を通って
ベンドミラー２１により方向を変えられて加工ヘッド２
３に送られ、加工ヘッド２３内の集光レンズＬを経て加
工ヘッド２３の下端に装着されているノズル２５の先端
からワークＷに照射されて所望のレーザ加工を行うもの
である。
【００３９】加工ヘッド２３はワークＷの所望位置にノ
ズル２５の位置決めを行うべく移動自在に設けられてお
り、加工ヘッド２３の移動に伴ってレーザ光ＬＢの光路
１９が伸縮する。このため、このレーザ光ＬＢから他の
物を保護するために、伸縮自在のジャバラ２７が設けら
れている。
ズル２５の位置決めを行うべく移動自在に設けられてお
り、加工ヘッド２３の移動に伴ってレーザ光ＬＢの光路
１９が伸縮する。このため、このレーザ光ＬＢから他の
物を保護するために、伸縮自在のジャバラ２７が設けら
れている。
【００４０】前記ジャバラ２７の近辺（図３に示すよう
に例えば上、左右の三方）には異常検出センサ１１が設
けられており、この異常検出センサ１１はレーザ発振器
１７のオン・オフを制御する制御装置２９に接続されて
おり、この制御装置２９には異常検出センサ１１の圧力
センサ３１が接続されている。
に例えば上、左右の三方）には異常検出センサ１１が設
けられており、この異常検出センサ１１はレーザ発振器
１７のオン・オフを制御する制御装置２９に接続されて
おり、この制御装置２９には異常検出センサ１１の圧力
センサ３１が接続されている。
【００４１】このようなレーザ加工機用安全装置１３に
おける動作を説明する。異常検出センサ１１の外容器３
３は、前述のように熱に敏感に反応する材質から成る密
封容器であり、近傍にあるジャバラ２７等が燃えるとこ
の熱により破損を生じる。この外容器３３の内部には圧
力気体３５が充填されているので、前記破損箇所から圧
力気体３５が噴出する。これに伴う外容器３３内部の圧
力低下を圧力センサ３１が検出して火災が発生したこと
を検出し、これを制御装置２９に伝達するので制御装置
２９は直ちにレーザ発振器１７に指令を発してレーザ光
ＬＢの照射を停止させる。
おける動作を説明する。異常検出センサ１１の外容器３
３は、前述のように熱に敏感に反応する材質から成る密
封容器であり、近傍にあるジャバラ２７等が燃えるとこ
の熱により破損を生じる。この外容器３３の内部には圧
力気体３５が充填されているので、前記破損箇所から圧
力気体３５が噴出する。これに伴う外容器３３内部の圧
力低下を圧力センサ３１が検出して火災が発生したこと
を検出し、これを制御装置２９に伝達するので制御装置
２９は直ちにレーザ発振器１７に指令を発してレーザ光
ＬＢの照射を停止させる。
【００４２】以上の説明から、レーザ加工機用異常検出
センサ１１のどの部分に損傷が発生しても確実に検出す
ることができるので、火災を広い範囲で検出し、小さな
火災のうちに発見して直ちにレーザ光ＬＢの照射を停止
してすることができるので、作業者の安全のみならず装
置・設備の保護を図ることができる。また、異常検出セ
ンサ１１をレーザ加工機１３の種々の箇所に配置するこ
とにより、さらに広い範囲の火災を検出することができ
る。
センサ１１のどの部分に損傷が発生しても確実に検出す
ることができるので、火災を広い範囲で検出し、小さな
火災のうちに発見して直ちにレーザ光ＬＢの照射を停止
してすることができるので、作業者の安全のみならず装
置・設備の保護を図ることができる。また、異常検出セ
ンサ１１をレーザ加工機１３の種々の箇所に配置するこ
とにより、さらに広い範囲の火災を検出することができ
る。
【００４３】また、前述した圧力気体３５や液体等に不
燃性のものを使用して火災検出対象物であるジャバラ２
７の上方に配置しているので、消火作用を期待すること
もできる。
燃性のものを使用して火災検出対象物であるジャバラ２
７の上方に配置しているので、消火作用を期待すること
もできる。
【００４４】なお、前述の実施の形態においては、加工
ヘッド２３の移動に伴うレーザ光ＬＢの光路１９の伸縮
に伴って伸縮するジャバラ２７の近辺に設けて、ジャバ
ラ２７の火災を検出する安全装置１３について説明した
が、このほか、火災が生じるおそれがある箇所に適宜配
置して使用することができる。
ヘッド２３の移動に伴うレーザ光ＬＢの光路１９の伸縮
に伴って伸縮するジャバラ２７の近辺に設けて、ジャバ
ラ２７の火災を検出する安全装置１３について説明した
が、このほか、火災が生じるおそれがある箇所に適宜配
置して使用することができる。
【００４５】また、対象物の上側に異常検出センサ１１
を配する場合において、液体を使用する場合には、外容
器３３は密封容器に限らなくても同様の効果を得ること
ができる。
を配する場合において、液体を使用する場合には、外容
器３３は密封容器に限らなくても同様の効果を得ること
ができる。
【００４６】次に、図４〜図６には、別の実施の形態に
かかるレーザ加工機用安全装置３７が示されている。
かかるレーザ加工機用安全装置３７が示されている。
【００４７】図４を参照するに、このレーザ加工機用安
全装置３７では、レーザ加工機３９の近辺に異常検出セ
ンサ４１を適用したパーティション４３が立設されてい
る。なお、前述の実施の形態におけるレーザ加工機用安
全装置１５では特に火災を検出する場合について説明し
たが、ここではレーザ光ＬＢの検出に適するレーザ加工
機用安全装置３７について説明する。
全装置３７では、レーザ加工機３９の近辺に異常検出セ
ンサ４１を適用したパーティション４３が立設されてい
る。なお、前述の実施の形態におけるレーザ加工機用安
全装置１５では特に火災を検出する場合について説明し
たが、ここではレーザ光ＬＢの検出に適するレーザ加工
機用安全装置３７について説明する。
【００４８】図５を参照するに、このパーティション４
３は、上下の金属部分４５に挟まれて例えばアクリル板
４７による二重構造の窓４９が密封状態で設けられてお
り、この窓４９から内側（図４中パーティション４３の
左側領域）が確認できるようになっている。すなわち、
この窓４９全体が前述の異常検出センサ４１に相当す
る。
３は、上下の金属部分４５に挟まれて例えばアクリル板
４７による二重構造の窓４９が密封状態で設けられてお
り、この窓４９から内側（図４中パーティション４３の
左側領域）が確認できるようになっている。すなわち、
この窓４９全体が前述の異常検出センサ４１に相当す
る。
【００４９】前記窓４９の両アクリル板４７、４７の間
には空間が設けられており、この空間に所定の圧力を有
する圧力気体５１が圧入されていると共に、圧力センサ
５３も内部に設けられている。この圧力センサ５３は制
御装置５５に接続され、さらにレーザ発振器５７に接続
されている（図４参照）。
には空間が設けられており、この空間に所定の圧力を有
する圧力気体５１が圧入されていると共に、圧力センサ
５３も内部に設けられている。この圧力センサ５３は制
御装置５５に接続され、さらにレーザ発振器５７に接続
されている（図４参照）。
【００５０】図４に戻って、レーザ加工機３９からのレ
ーザ光ＬＢが、直接または間接的に窓４９に当たると、
アクリル板４７の一部が破損して内部の圧力気体５１が
洩れて圧力が低下する。この圧力の低下を圧力センサ５
３が検出して制御装置５５に伝達すると、制御装置５５
は直ちにレーザ発振器５７を制御してレーザ光ＬＢの照
射を停止する。
ーザ光ＬＢが、直接または間接的に窓４９に当たると、
アクリル板４７の一部が破損して内部の圧力気体５１が
洩れて圧力が低下する。この圧力の低下を圧力センサ５
３が検出して制御装置５５に伝達すると、制御装置５５
は直ちにレーザ発振器５７を制御してレーザ光ＬＢの照
射を停止する。
【００５１】以上の結果から、窓４９にレーザ光ＬＢが
照射されていることが検出されると直ちにレーザ光ＬＢ
の照射を停止させるので、作業者等の安全を確保するこ
とができる。
照射されていることが検出されると直ちにレーザ光ＬＢ
の照射を停止させるので、作業者等の安全を確保するこ
とができる。
【００５２】なお、圧力気体５１の代わりに液体を用い
る場合には、液体の洩れを検出するセンサを設け、この
センサからの検出信号に基づいて制御装置５５がレーザ
光ＬＢの照射を停止するようにする。
る場合には、液体の洩れを検出するセンサを設け、この
センサからの検出信号に基づいて制御装置５５がレーザ
光ＬＢの照射を停止するようにする。
【００５３】また、前述の実施の形態においては、パー
ティション４３の窓４９を二重構造にして、この部分に
圧力気体５１等を封入したが、図６に示すように、パー
ティション５９の前方（図６中左方向）に異常検出セン
サ６１を配置するようにしても良い。
ティション４３の窓４９を二重構造にして、この部分に
圧力気体５１等を封入したが、図６に示すように、パー
ティション５９の前方（図６中左方向）に異常検出セン
サ６１を配置するようにしても良い。
【００５４】図７には、さらに別の実施の形態の例とし
て、前述の異常検出センサ１をレーザ加工時に使用する
保護めがね６３に適用した場合が示されている。すなわ
ち、この保護めがね６３では、レンズ６５を二重構造と
し、その内部に透明な圧力気体６７（または液体）を充
填すると共に圧力センサ６９（または液体を検出するセ
ンサ）を内部に設けたものである。
て、前述の異常検出センサ１をレーザ加工時に使用する
保護めがね６３に適用した場合が示されている。すなわ
ち、この保護めがね６３では、レンズ６５を二重構造と
し、その内部に透明な圧力気体６７（または液体）を充
填すると共に圧力センサ６９（または液体を検出するセ
ンサ）を内部に設けたものである。
【００５５】このように構成することにより、レーザ光
ＬＢが保護めがね６３のレンズ６５に照射されるとレン
ズ６５に破損が生じ、内部の圧力気体６７が洩れて内部
の圧力が低下するので、圧力センサ６９がこれを検出し
てフレーム７１に埋め込まれている発信機７３により制
御装置７５に発信する。これを受けて制御装置７５は直
ちにレーザ発振器７７に指令してレーザ光ＬＢの照射を
停止させる。
ＬＢが保護めがね６３のレンズ６５に照射されるとレン
ズ６５に破損が生じ、内部の圧力気体６７が洩れて内部
の圧力が低下するので、圧力センサ６９がこれを検出し
てフレーム７１に埋め込まれている発信機７３により制
御装置７５に発信する。これを受けて制御装置７５は直
ちにレーザ発振器７７に指令してレーザ光ＬＢの照射を
停止させる。
【００５６】以上の結果から、保護めがね６３にレーザ
光ＬＢが照射されていることが検出されると直ちにレー
ザ光ＬＢの照射を停止させるので、作業者の安全を確保
することができる。
光ＬＢが照射されていることが検出されると直ちにレー
ザ光ＬＢの照射を停止させるので、作業者の安全を確保
することができる。
【００５７】なお、保護めがね６３のレンズ６５のみな
らずフレーム７１にもレーザ光検出センサ１を適用する
と、さらに効果的である。
らずフレーム７１にもレーザ光検出センサ１を適用する
と、さらに効果的である。
【００５８】なお、この発明は以上説明した各実施の形
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことがで
きる。すなわち、前述の実施の形態においてはいずれも
密封された密封容器３、外容器３３、窓４９、めがねレ
ンズ６５に圧力気体５、３５、５１、６７を圧入してお
き、密封容器３、外容器３３、窓４９、めがねレンズ６
５から圧力気体６７が洩れるのを検出して圧力の変化に
より異常を検出したが、これに代わり、例えばヘリュー
ムのような空気と異なる不燃性のガスを充填しておき、
このヘリュームガスが密封容器３、外容器３３、窓４
９、めがねレンズ６５の外部で検出されることにより密
封容器３、外容器３３、窓４９、めがねレンズ６５の破
損を検出し、これをもってレーザ加工機３９の異常を検
出するようにしても良い。但し、この場合には、密封容
器３、外容器３３、窓４９、めがねレンズ６５の内部に
設けた圧力センサ６９の代わりに、密封容器３の外部に
ヘリューム等を検出するセンサを設ける必要がある。
態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことがで
きる。すなわち、前述の実施の形態においてはいずれも
密封された密封容器３、外容器３３、窓４９、めがねレ
ンズ６５に圧力気体５、３５、５１、６７を圧入してお
き、密封容器３、外容器３３、窓４９、めがねレンズ６
５から圧力気体６７が洩れるのを検出して圧力の変化に
より異常を検出したが、これに代わり、例えばヘリュー
ムのような空気と異なる不燃性のガスを充填しておき、
このヘリュームガスが密封容器３、外容器３３、窓４
９、めがねレンズ６５の外部で検出されることにより密
封容器３、外容器３３、窓４９、めがねレンズ６５の破
損を検出し、これをもってレーザ加工機３９の異常を検
出するようにしても良い。但し、この場合には、密封容
器３、外容器３３、窓４９、めがねレンズ６５の内部に
設けた圧力センサ６９の代わりに、密封容器３の外部に
ヘリューム等を検出するセンサを設ける必要がある。
【００５９】あるいは、密封容器３、外容器３３、窓４
９、めがねレンズ６５を剛な材料により作製して内部を
真空等圧力の低い状態とすると共に内部に圧力センサを
設けておき、密封容器３、外容器３３、窓４９、めがね
レンズ６５内部の圧力の上昇を検出することにより異常
を検出するようにしても良い。
９、めがねレンズ６５を剛な材料により作製して内部を
真空等圧力の低い状態とすると共に内部に圧力センサを
設けておき、密封容器３、外容器３３、窓４９、めがね
レンズ６５内部の圧力の上昇を検出することにより異常
を検出するようにしても良い。
【００６０】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よるレーザ加工機用異常検出センサでは、レーザ加工機
内部や近辺に配置されたレーザ加工機用異常検出センサ
の外容器は耐熱性が低いので、火災やレーザ光洩れ等の
レーザ加工機の異常による熱で一部または全部が破損
し、内部に充填された不燃性の流体が流出する。この流
出した流体をセンサで検出することにより、レーザ加工
機に異常が発生したことを検出することができる。この
場合に、流出する流体は不燃性なので、火災の場合でも
安全である。また、一つのセンサにより広い範囲や複雑
な形状をした範囲をカバーすることができる。
よるレーザ加工機用異常検出センサでは、レーザ加工機
内部や近辺に配置されたレーザ加工機用異常検出センサ
の外容器は耐熱性が低いので、火災やレーザ光洩れ等の
レーザ加工機の異常による熱で一部または全部が破損
し、内部に充填された不燃性の流体が流出する。この流
出した流体をセンサで検出することにより、レーザ加工
機に異常が発生したことを検出することができる。この
場合に、流出する流体は不燃性なので、火災の場合でも
安全である。また、一つのセンサにより広い範囲や複雑
な形状をした範囲をカバーすることができる。
【００６１】請求項２の発明によるレーザ加工機用異常
検出センサでは、外容器の内部には圧力気体が密封され
ており、レーザ加工機の異常により外容器が破損すると
内部の圧力気体が外部に噴出して外容器の内部圧力が低
下するので、圧力センサがこれを検出することによりレ
ーザ加工機に異常が発生したことを検出することができ
る。
検出センサでは、外容器の内部には圧力気体が密封され
ており、レーザ加工機の異常により外容器が破損すると
内部の圧力気体が外部に噴出して外容器の内部圧力が低
下するので、圧力センサがこれを検出することによりレ
ーザ加工機に異常が発生したことを検出することができ
る。
【００６２】請求項３の発明によるレーザ加工機用異常
検出センサでは、密封容器の内部の圧力を大気に比して
十分低くしてあるので、レーザ加工機の異常による熱で
耐熱性の低い密封容器が破損すると、大気が密封容器内
部に流入することになる。この圧力の変化を密封容器内
部に設けられた圧力センサが検出することにより、レー
ザ加工機に異常が発生したことを検出することができ
る。
検出センサでは、密封容器の内部の圧力を大気に比して
十分低くしてあるので、レーザ加工機の異常による熱で
耐熱性の低い密封容器が破損すると、大気が密封容器内
部に流入することになる。この圧力の変化を密封容器内
部に設けられた圧力センサが検出することにより、レー
ザ加工機に異常が発生したことを検出することができ
る。
【００６３】請求項４の発明によるレーザ加工機用安全
装置では、レーザ光の光路保護材に火災が発生すると、
この熱により光路保護材の近辺に配置された耐熱性の低
い外容器が破損して内部に充填されている不燃性の流体
が流出するので、この流体の流出をセンサが検出するこ
とにより火災が発生したことを知ることができる。この
検出信号を制御装置に伝達して直ちにレーザ照射を停止
させることができるので、作業者の安全性を確保するこ
とができる。
装置では、レーザ光の光路保護材に火災が発生すると、
この熱により光路保護材の近辺に配置された耐熱性の低
い外容器が破損して内部に充填されている不燃性の流体
が流出するので、この流体の流出をセンサが検出するこ
とにより火災が発生したことを知ることができる。この
検出信号を制御装置に伝達して直ちにレーザ照射を停止
させることができるので、作業者の安全性を確保するこ
とができる。
【００６４】請求項５の発明によるレーザ加工機用安全
装置では、密封容器の内部には不燃性の圧力気体が封入
されており、レーザ加工機の異常による熱で密封容器が
破損すると内部の圧力気体が噴出するのでこれに伴う内
部圧力の変化を圧力センサが検出してレーザ加工機に異
常が発生したことを検出することができる。この検出信
号を制御装置に伝達して、直ちにレーザ光の照射を停止
することができるので、作業者の安全性を確保すること
ができる。
装置では、密封容器の内部には不燃性の圧力気体が封入
されており、レーザ加工機の異常による熱で密封容器が
破損すると内部の圧力気体が噴出するのでこれに伴う内
部圧力の変化を圧力センサが検出してレーザ加工機に異
常が発生したことを検出することができる。この検出信
号を制御装置に伝達して、直ちにレーザ光の照射を停止
することができるので、作業者の安全性を確保すること
ができる。
【００６５】請求項６の発明によるレーザ加工機用安全
装置では、外容器は火災監視領域の上方に配置されてお
り、火災の熱で外容器が破損すると内部の消火用液体が
火災部分に散布されるので消火を行うことができる。ま
た、同時に消火用液体が洩れていることを検出すること
により火災が発生したことを検出できるので、制御装置
にその旨発信して直ちにレーザ照射を停止させることが
でき、作業者の安全性を確保することができる。
装置では、外容器は火災監視領域の上方に配置されてお
り、火災の熱で外容器が破損すると内部の消火用液体が
火災部分に散布されるので消火を行うことができる。ま
た、同時に消火用液体が洩れていることを検出すること
により火災が発生したことを検出できるので、制御装置
にその旨発信して直ちにレーザ照射を停止させることが
でき、作業者の安全性を確保することができる。
【００６６】請求項７の発明によるレーザ加工機用安全
装置では、レーザ加工機の近傍に立設された外容器にレ
ーザ光が直接的または間接的に照射されると耐熱性の低
い外容器が破損して内部に充填された不燃性の流体が流
出するので、この流出する流体をセンサが検出すること
によりレーザ光が洩れていることを検出できる。また、
検出信号を制御装置に伝達してレーザ照射を直ちに停止
させることができるので、作業者の安全性を確保するこ
とができる。なお、外容器は透明な部材により構成され
ているので、レーザ加工の様子を外部から観察すること
ができる。
装置では、レーザ加工機の近傍に立設された外容器にレ
ーザ光が直接的または間接的に照射されると耐熱性の低
い外容器が破損して内部に充填された不燃性の流体が流
出するので、この流出する流体をセンサが検出すること
によりレーザ光が洩れていることを検出できる。また、
検出信号を制御装置に伝達してレーザ照射を直ちに停止
させることができるので、作業者の安全性を確保するこ
とができる。なお、外容器は透明な部材により構成され
ているので、レーザ加工の様子を外部から観察すること
ができる。
【００６７】請求項８の発明によるレーザ加工機用安全
装置では、レーザ光が照射されると密封容器が破損して
内部に圧入されている不燃性の気体が外部に噴出するの
で、この噴出による内部圧力の変化を圧力センサが検出
することにより、レーザ光の照射を検出することができ
る。この検出信号を制御装置に伝達して直ちにレーザ照
射を停止させることができるので、作業者の安全性を確
保することができる。
装置では、レーザ光が照射されると密封容器が破損して
内部に圧入されている不燃性の気体が外部に噴出するの
で、この噴出による内部圧力の変化を圧力センサが検出
することにより、レーザ光の照射を検出することができ
る。この検出信号を制御装置に伝達して直ちにレーザ照
射を停止させることができるので、作業者の安全性を確
保することができる。
【００６８】請求項９の発明によるレーザ光用保護めが
ねでは、めがねのレンズにレーザ光が照射されると、レ
ンズを構成する透明な密封容器が破損して内部に充填さ
れている不燃性の流体が流出するので、この流体の流出
をセンサが検出することによりレーザ光が照射されてい
ることを検出することができる。この検出信号を発信機
により制御装置に伝達して直ちにレーザ照射を停止させ
ることができるので、作業者の安全性を確保することが
できる。めがねフレームも同様の構造にしておけば、フ
レームにレーザ光が照射された場合を検出することがで
きるので、さらに効果的である。
ねでは、めがねのレンズにレーザ光が照射されると、レ
ンズを構成する透明な密封容器が破損して内部に充填さ
れている不燃性の流体が流出するので、この流体の流出
をセンサが検出することによりレーザ光が照射されてい
ることを検出することができる。この検出信号を発信機
により制御装置に伝達して直ちにレーザ照射を停止させ
ることができるので、作業者の安全性を確保することが
できる。めがねフレームも同様の構造にしておけば、フ
レームにレーザ光が照射された場合を検出することがで
きるので、さらに効果的である。
【００６９】請求項１０の発明によるレーザ光用保護め
がねでは、レンズにレーザ光が照射されるとレンズに破
損を生じ、この破損箇所から圧力気体が噴出して圧力が
低下するので、圧力センサにより圧力の低下を検出する
ことによりレーザ光が照射されていることを検出するこ
とができる。同時に、発信機が制御装置に検出信号を発
信して直ちにレーザ照射を停止させることができるの
で、作業者の安全を確保することができる。
がねでは、レンズにレーザ光が照射されるとレンズに破
損を生じ、この破損箇所から圧力気体が噴出して圧力が
低下するので、圧力センサにより圧力の低下を検出する
ことによりレーザ光が照射されていることを検出するこ
とができる。同時に、発信機が制御装置に検出信号を発
信して直ちにレーザ照射を停止させることができるの
で、作業者の安全を確保することができる。
【図１】この発明にかかるレーザ加工機用異常検出セン
サを示す構造図である。
サを示す構造図である。
【図２】この発明にかかるレーザ加工機用安全装置を示
す構成図である。
す構成図である。
【図３】図２中III −III 位置における断面図である。
【図４】この発明にかかるレーザ加工機用安全装置の別
の実施の形態を示すブロック構成図である。
の実施の形態を示すブロック構成図である。
【図５】レーザ加工機用安全装置としてのパーティショ
ンを示す断面図である。
ンを示す断面図である。
【図６】別の実施の形態にかかるレーザ加工機用安全装
置としてのパーティションを示す断面図である。
置としてのパーティションを示す断面図である。
【図７】この発明にかかるレーザ光用保護めがねを示す
構造図である。
構造図である。
１ レーザ加工機用異常検出センサ ３ 密封容器 ５、３５、５１、６７ 圧力気体（流体） ７、３１、５３、６９ 圧力センサ（センサ） ９、２９、５５、７５ 制御装置 １３、３９ レーザ加工機 １５、３７ レーザ加工機用安全装置 ２７ ジャバラ（光路保護材） ３３ 外容器 ６３ レーザ光用保護めがね ６５ レンズ ７３ 発信機 ＬＢ レーザ光
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ１６Ｐ 3/12 Ｆ１６Ｐ 3/12 Ｇ０１Ｍ 3/26 Ｇ０１Ｍ 3/26
Claims (10)
- 【請求項１】 レーザ加工機内部及び／または近辺に配
されると共に耐熱性の低い材料から成る外容器と、この
外容器内部に充填した不燃性の流体と、この流体の流出
を検出するセンサと、を備えてなることを特徴とするレ
ーザ加工機用異常検出センサ。 - 【請求項２】 前記外容器が密封容器であると共に、前
記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが圧力セ
ンサであること、を特徴とする請求項１記載のレーザ加
工機用異常検出センサ。 - 【請求項３】 レーザ加工機内部及び／または近辺に配
されると共に耐熱性の低い材料から成り且つ内部が大気
に比して十分減圧された密封容器と、この密封容器内部
に流入する空気を検出する圧力センサと、を備えてなる
ことを特徴とするレーザ加工機用異常検出センサ。 - 【請求項４】 レーザ加工機においてレーザ光の光路保
護材の火災を検出するレーザ加工機用安全装置であっ
て、前記光路保護材の周囲に配されると共に耐熱性の低
い材料から成る外容器と、この外容器内部に充填した不
燃性の流体と、この流体の流出を検出するセンサと、こ
のセンサからの信号に基づいて火災検出時に直ちにレー
ザ照射を停止させる制御装置と、を備えてなることを特
徴とするレーザ加工機用安全装置。 - 【請求項５】 前記外容器が密封容器であると共に、前
記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが圧力セ
ンサであること、を特徴とする請求項４記載のレーザ加
工機用安全装置。 - 【請求項６】 前記外容器を火災監視領域の上方に配す
ると共に、前記流体が消火用液体であること、を特徴と
する請求項４記載のレーザ加工機用安全装置。 - 【請求項７】 レーザ加工機からのレーザ光の洩れを遮
断するレーザ加工機用安全装置であって、前記レーザ加
工機の近傍に立設された透明で耐熱性の低い材料から成
る外容器と、この外容器内部に充填した透明な不燃性の
流体と、この流体の流出を検出するセンサと、このセン
サからの信号に基づいて直ちにレーザ照射を停止させる
制御装置と、を備えてなることを特徴とするレーザ加工
機用安全装置。 - 【請求項８】 前記外容器が密封容器であると共に、前
記流体が不燃性の圧力気体であり、前記センサが圧力セ
ンサであること、を特徴とする請求項７記載のレーザ加
工機用安全装置。 - 【請求項９】 少なくともレンズが、透明な耐熱性の低
い材料から成る密封容器と、この密封容器に充填した透
明な不燃性の流体と、この流体の流出を検出するセンサ
と、このセンサからの信号に基づき直ちにレーザ照射を
停止させるべくレーザ加工機の制御装置に発信する発信
機と、を備えてなることを特徴とするレーザ光用保護め
がね。 - 【請求項１０】 前記流体が圧力気体であり、前記セン
サが圧力センサであることを特徴とする請求項９記載の
レーザ光用保護めがね。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8160050A JPH106053A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | レーザ加工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機用安全装置並びにレーザ光用保護めがね |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8160050A JPH106053A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | レーザ加工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機用安全装置並びにレーザ光用保護めがね |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH106053A true JPH106053A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=15706842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8160050A Abandoned JPH106053A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | レーザ加工機用異常検出センサ及びこれを用いたレーザ加工機用安全装置並びにレーザ光用保護めがね |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH106053A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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