TWI614767B - 形成氣體感測器電極用的金屬膏及其製造方法，以及氣體感測器電極的製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之氣體感測器電極，係混合分散由Pt或Pt合金所構成之導電性粒子相與陶瓷粒子相而成之氣體感測器電極，陶瓷粒子相的含有率為6.0至22.0質量%，且空隙率為2.5至10.0%，在電極表面之導電性粒子相之每25μm長度的分散度為0.60至0.85μm，在電極剖面之導電性粒子相的與電極表面平行之方向之每100μm長度的分散度為2.0至4.0μm。該電極係可藉由使於溶劑中分散具有核芯/外殼構造之導電性粒子、以及陶瓷粉末而成之金屬膏進行煅燒來製造，而該核芯/外殼構造係以陶瓷外殼包覆Pt等的核芯粒子而成。本發明之氣體感測器電極，係具有高電極活性者。

Description

形成氣體感測器電極用的金屬膏及其製造方法，以及氣體感測器電極的製造方法
本發明係關於構成氧感測器、NOx感測器等之氣體感測器的感應部之氣體感測器電極，進一步，係關於其製造方法以及形成電極用的金屬膏。
就構成氧感測器、NOx感測器、排氣溫度感測器等之各種氣體感測器的氣體感測器電極、加熱器電極之電極而言，自以往係採用煅燒金屬膏而成者。於此等電極製造適用金屬膏者，係因除了可應付複雜的電極圖案之外，亦可於形成陶瓷基板之胚片上塗佈並煅燒金屬膏，從而同時製造基板與電極，從製造效率之觀點來看，為較佳者。
就形成電極用的金屬膏之構成而言，於溶劑中混合貴金屬等之導電性粒子與Al2O3、ZrO2等之陶瓷粉末者已為人所知。將陶瓷粉末混合於金屬膏，係如上述般，為了將金屬膏塗佈於胚片並煅燒而同時製造基板與電極 時，改善金屬膏與胚片之收縮率差，解決基板的翹曲或變形之問題，而提升電極之密著性。雖然陶瓷粉末係確保電極膜的成形性，但另一方面亦有使所製造之電極膜的電阻值上升，且比塊狀金屬的電極更大幅上升之缺點。因此，對於陶瓷粉末的使用，依據成形性的確保與電極電阻的降低之均衡性，其最適宜使用之形態或混合量之探究，成為研究事項。
本發明人等，關於上述研究事項，揭示一種可製造低電阻的電極膜，並且對於基板之密著性、跟隨性優異之金屬膏以及藉此所製造之電極(專利文獻1)。本發明人等所揭示之金屬膏，對於導電性粒子的構成，係適用具有使陶瓷粒子結合並被覆於由貴金屬所構成之核芯粒子的外表面之核芯/外殼構造者。繼而，藉由使導電性粒子形成為核芯/外殼構造，在金屬膏的煅燒過程中，可以細微狀態分散陶瓷粒子而抑制成為電阻上升的因素之陶瓷粉末的粗大化。其結果，煅燒後的電極係成為緻密且電阻低者。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特許第4834170號說明書
由使用具有上述核芯/外殼構造之導電性粒子之金屬膏所形成之電極，在適用於導線或加熱器電極等 時可發揮期望的特性，並確認出其有用性。然而，在本發明人等的研究中，確認出很難充分發揮作為各種氣體感測器的感應部之氣體感測器電極的性能。在氣體感測器電極中，被要求因應檢查氣體中的測定目的之氣體種類的電極活性，但由以往的金屬膏所形成之電極，係所謂該電極活性不佳者。
因此，本發明係提供一種具有充分的電極活性作為各種氣體感測器的氣體感測器電極之電極。此外，提供一種該氣體感測器電極之製造方法，以及適合於此之金屬膏。
本發明人等，為了發掘由包含具有習知的核芯/外殼構造之導電性粒子的金屬膏所形成之電極中的問題點，首先再研究氣體感測器電極的構造。第1圖係說明作為一般氣體感測器的例子之氧感測器的構成。第1圖中，氣體感測器的感應部係使陽極及陰極的氣體感測器電極夾住固態電解質來設定。以氣體感測器所進行之氣體分析中，被導入於陰極電極之測定氣體(氧氣)係穿透電極內部而到達固態電解質。此時，氧分子藉陰極電極中之導電性金屬粒子相(鉑等)的作用離子化，通過固態電解質，並依據由此產生之電流變化來檢測氧濃度。於該測量過程中，用以檢測氧分子之反應，係在導電性金屬與固態電解質與測定氣體共有之三相界面產生(第2圖)。
本發明人等認為雖然由具有習知的核芯/外 殼構造之金屬膏所形成之電極為緻密者，但就氣體感測器電極而言，該緻密性反而成為阻礙而無法於電極內部形成充分的三相界面，因而無法得到電極活性。
為了於電極內部充分地形成三相界面，只要使電極的構造形成多孔質而增大氣體的反應處即可。但，並非僅僅形成多孔質的電極即可。於氣體感測器電極係要求相對於測定氣體之電極活性，但在此之前，必須具有作為導電體之導電性。針對此點，為了僅製造多孔質的電極，例如，對於混合習知之導電性粒子與陶瓷粉末之金屬膏，可想到適宜使用使導電性粒子大徑化者，但如此在電極的導電性方面變得不充分。單純地使導電性粒子大徑化之金屬膏中，煅燒後的導電性金屬變成過度粗大者，難以顯現彼此相互接近之狀態，若未形成厚膜，則不具有導電性之故。電極的厚膜化係不僅關係到感測器元件的大型化，亦關係到金屬(鉑等之貴金屬)使用量的增加，就成本方面亦不利。
因此，本發明人等，就氣體感測器電極而言所謂適宜之構造，係為了形成多數的三相界面而為多孔質，同時為了確保導電性而為導電性粒子與陶瓷粒子適度地微細且高度分散者，而想出明確揭示如此之電極構造的本發明。
亦即，本發明之氣體感測器電極，係混合分散由Pt或Pt合金所構成之導電性粒子相與陶瓷粒子相而成之氣體感測器電極，陶瓷粒子相的含有率為6.0至22.0 質量%，空隙率為2.5至10.0%，在電極表面之導電性粒子相每25μm長度的分散度為0.60至0.85μm，在電極剖面之導電性粒子相的與電極表面平行之方向之每100μm長度的分散度為2.0至4.0μm。
本發明之氣體感測器電極，係藉由規定混合有特定量的陶瓷粒子之電極中的空隙率，可明示成為氣體的反應處之三相界面的較佳範圍。此外，同時地規定導電性粒子的較佳分散狀態，故明示在電極的表面及剖面兩者之導電性粒子相的分散度。
所謂空隙率係指在電極中導電性粒子相及陶瓷粒子之任一者均未佔有之空間，在電極剖面佔有之面積率。當空隙率未達2.5%時，電極太過於緻密而氣體的反應處不足，電極活性變差。另一方面，當空隙率超過10.0%時，電極的電阻有增高之傾向。
又，在本發明中，所謂電極的表面及剖面之導電性粒子相的分散度，係在各面之基準長度佔有之導電性粒子相的存在長度之平均的意義。該分散度的測定法係例如對於電極的表面及剖面之組織照片進行圖像處理，畫出複數條基準線，對各條基準線測量累計該基準線交叉之導電性粒子相的長度，求取其平均值而以此作為分散度。本發明之分散度，係因與導電性粒子相的大小有關連，故其值較佳為特定值以下，對於電極表面，每25μm長度設為0.85μm以下，對於電極剖面，係與電極表面平行方向每100μm長度設為4.0μm以下。超過此等時，有導電 性粒子變成粗大且不均勻的分散狀態之傾向，恐有電阻增大且電極活性亦降低之虞。電極表面之基準長度(25μm)的測定方向，可為縱或橫之任一者，但較佳係以兩者作為基準而為特定的分散度。
導電性粒子相由Pt或Pt合金所構成。此等金屬的導電性良好，且耐熱性或耐蝕性亦優異。在各種感測器中，亦有如汽車的排氣感測器般在高溫下使用者，故可適宜作為其等之電極材料。使用Pt、Pt合金的任一者作為導電性粒子，係可依其用途及所要求之特性來選擇。Pt係電阻比Pt合金更低，適合於優先被要求低電阻化之電極。另一方面，Pt合金係電阻較Pt稍高，但因電阻溫度係數(TCR)低，故適合於要求低TCR之電極。
當適用Pt合金時，與Pt合金化之金屬較佳為Pd、Au、Ag、Rh。又，含有Pd之Pt-Pd合金，係從與成為基板之陶瓷的搭配性良好，且作為膏時之潤濕性良好之觀點來看，為較佳。對於Pt-Pd合金，較佳係該Pd含量為30質量%以下。若Pd含量過大，於煅燒過程中Pd氧化物易析出，故造成電極的可靠度降低。
陶瓷粒子相較佳係由含有ZrO2之陶瓷所構成。考量到其原先的作用即對於基板之收縮率調整，應可適用在以習知的金屬膏所混合之陶瓷。對於含有ZrO2之陶瓷，除了純二氧化鋯之外，亦可列舉出添加有數%的三氧化二釔或氧化鈣等氧化物之安定化二氧化鋯。又，亦可適用於ZrO2中混合有Al2O3等之其他氧化物者。該陶瓷相較 佳係基本上為與使用在基板之陶瓷相同的材質，故亦可含有ZrO2以外的氧化物且具離子傳導性之陶瓷(La、Ce、Pr、Nd、Sm、Hf等之氧化物等)。
在本發明之氣體感測器電極中，陶瓷相的含有率係設為6.0至22.0質量%。當陶瓷相較少時，會有導電性粒子相變成粗大且不均勻的分散狀態之傾向。另一方面，當陶瓷相過多時，有電阻過大而無法作用為電極之疑慮。
本發明之氣體感測器電極之製造方法，基本上與習知相同，係煅燒金屬膏而成者。惟為了製造如上述般具有適當的空隙率且分散有微細的導電性粒子之電極，習知的金屬膏係可謂無法因應。
因此，本發明人等係利用自己開發出之具有核芯/外殼構造之導電性粒子具有的作用，亦即，即使在煅燒後亦可使導電性金屬及陶瓷相形成較佳狀態之特徵。此外，並發現一邊抑制粗大粒子的形成一邊調整具有核芯/外殼構造之導電性粒子的粒徑，同時並於金屬膏中適量地混合適當粒徑的陶瓷粒子，藉此可形成多孔質且高分散之電極膜，而創作出本發明之形成氣體感測器電極用的金屬膏。
本發明之形成氣體感測器電極用的金屬膏，係於溶劑中分散有具有核芯/外殼構造之導電性粒子、以及陶瓷粉末，該核芯/外殼構造係包含由Pt或Pt合金所構成之核芯粒子、以及由包覆前述核芯粒子的至少一部分 之陶瓷所構成之外殼；前述導電性粒子為平均粒徑90至500nm之粒子，並且前述核芯粒子為以前述導電性粒子的質量基準計以0.5至3.0質量%之陶瓷所包覆；前述陶瓷粉末的含量係相對於前述導電性粒子與陶瓷粉末之合計質量為5至20質量%，金屬膏中之陶瓷成分的總含量，相對於前述導電性粒子與前述陶瓷粉末之合計質量為6.0至22.0質量%，此外，由以粒度測定儀所進行之線狀法所測定之分散度為15μm以下。
以下詳細說明有關該形成氣體感測器電極用的金屬膏。如上所述，本發明之金屬膏係於溶劑中含有：調整成特定粒徑之具有核芯/外殼構造之導電性粒子、以及與導電性粒子另外地分散之陶瓷粉末。
在本發明中適用具有核芯/外殼構造之導電性粒子者，係為了利用本申請案發明人等所發現到之習知技術的基本作用。亦即，在含有核芯/外殼構造的導電性粒子之膏的煅燒過程中，係首先產生外殼(陶瓷)從核心粒子之脫離，然後核芯粒子進行燒結。該陶瓷脫離的溫度，較金屬狀態之核芯粒子的燒結溫度更高，導電性金屬在被外殼包覆之際係無法進行燒結。然後，在外殼脫離後之階段中，導電性金屬會開始燒結，但在此階段中，身為外殼之陶瓷亦開始燒結，故兩者的粒子不會粗大化，而可均一地燒結並維持良好的分散狀態。
此外，在本發明中除了導電性粒子之外亦另外添加陶瓷粉末，係為了該陶瓷粉末在金屬膏煅燒後作 用為多孔質電極用的骨架，以確保電極的多孔性。若說明有關此作用產生之機制，上述核芯/外殼構造之導電性粒子的燒結，係在比另外添加之陶瓷粉末的燒結還更早的階段顯現。此係如上所述般，成為外殼之陶瓷係抑制核芯粒子的燒結，所謂如保護膜者，但當陶瓷很少時，接近於核芯粒子本身的燒結溫度而朝低溫側移位。因此，以適當控制成為外殼之陶瓷的結合量，可使導電性粒子較另外添加之陶瓷粉末更快燒結。於是，使來自導電性粒子的導電性金屬與陶瓷分別以微細的狀態燒結，其後使另外添加之陶瓷粉末燒結，以藉此可形成期望之構造的電極。如此，於本發明中，係使導電性粒子的燒結與陶瓷粉末的燒結之時機錯開來，並使成為骨架之陶瓷粉末的燒結延遲，可避免電極全體同時燒結而緻密化，以確保多孔性。
如上述般，藉由使由具有核芯/外殼構造之導電性粒子產生之燒結、與另外添加之陶瓷粉末的燒結之時機錯開來，可部分地使導電性金屬相與陶瓷相形成為微細且高分散之狀態，同時全體可形成為多孔質者。此處，具有核芯/外殼構造之導電性粒子的燒結時機，係藉由其粒徑、進一步藉由陶瓷的結合量以產生變化，故此等的範圍成為重要的因素。
本發明之導電性粒子係使其平均粒徑為90至500nm。此係相對於上述本發明人等發現到之具有核芯/外殼構造之導電性粒子，為比較粗大者。如此規定係為了使導電性粒子的燒結溫度控制在適當之範圍。亦即，金屬 膏的燒結係導電性粒子的粒徑愈小，愈會在低溫下產生。因此，當導電性粒子的平均粒徑過小時，導電性粒子的燒結在比另外添加之陶瓷粉末的燒結還更早之階段完成，最後恐導電性粒子有粗大化之虞。另一方面，導電性粒子之平均粒徑的上限值，係於製造高分散的電極上所要求者。如此，導電性粒子的平均粒徑係考量燒結時機之調整的觀點以及成為外殼之陶瓷的作用所設定者。
又，就設定導電性粒子的平均粒徑之意義而言，亦有使煅燒時之金屬膏的收縮率調整成近似於基板(胚片)之考量。與導電性粒子另外地混合陶瓷粉末之本申請案發明中，係不僅導電性粒子的燒結，亦須考量另外添加之陶瓷粉末的燒結來設定燒結溫度。此外，當導電性粒子的粒徑太細時，導電性粒子的燒結溫度(低溫側)與陶瓷粉末的燒結溫度(高溫側)之差變大，為了燒結全體，若在高溫側進行燒結，收縮率變成過大，有產生基板的變形或電極膜的龜裂之疑慮。因此，使導電性粒子形成為稍粗大者而調整其燒結溫度以使金屬膏全體的燒結溫度成為均一。
繼而，在具有核芯/外殼構造之導電性粒子之成為外殼的陶瓷之結合量，係以導電性粒子全體的質量作為基準而設為0.5至3.0質量%。當未達0.5質量%時，導電性粒子的耐熱性不足，無法如上述般調整燒結的時機，而在早期產生導電性金屬的燒結並形成粗大化。另一方面，當超過3.0質量%之陶瓷結合時，反而耐熱性太高而 於燒結的時機上產生延遲，與另外添加之陶瓷粉末的燒結同時地產生燒結而使電極緻密化。
在本發明之金屬膏中，除了導電性粒子之外亦添加陶瓷粉末，係如上述般，為了作用為形成多孔質電極用的骨架。又，此另外添加之陶瓷粉末，係在本發明之金屬膏的製造中，於調整具有核芯/外殼構造之導電性粒子的步驟中，亦具有抑制導電性粒子的局部粗大化之作用。有關此點係後述。
此處，另外添加之陶瓷粉末的添加量，係相對於金屬膏中之導電性粒子與陶瓷粉末之合計質量為5至20質量%。當未達5質量%時，用以得到電極的多孔質構造之骨架會不足，成為電極緻密化者。此外，當超過20質量%時，於電極內部中很難得到導電性粒子的類似狀態，恐導電性降低而有失去作為電極的功能之虞。陶瓷粉末的添加量更佳的範圍為5至15量%。又，陶瓷粉末的粒徑較佳為100至500nm。因粗大的陶瓷粉末係會阻礙在電極中之導電性粒子的分散。此外，陶瓷粉末係作用為電極的骨架，故太過細者對電極的多孔性會造成影響。
源自於成為導電性粒子的外殼之陶瓷與另外地添加之陶瓷粉末的陶瓷成分，係形成電極的陶瓷粒子相。因此，該金屬膏中之陶瓷成分的總含量，係相對於金屬膏的固成分(導電性粒子與陶瓷粉末之合計質量)為6.0至22.0質量%。因而，當成為導電性粒子的外殼之陶瓷的被覆量較少時(該下限值的0.5質量%左右時)，必須調整所 混合之陶瓷量而使陶瓷成分控制在上述範圍。
本發明之金屬膏係導電性粒子的粒徑被調整於適當的範圍者，但除此之外，要求排除粗大粒子的混入。所謂該粗大粒子係相對於導電性粒子的平均粒徑為具有數倍至數十倍的粒徑者，但於後述之用以調整導電性粒子的粒徑之熱處理時可能會產生者。具有如此粗大粒子之生成及混入的金屬膏，係在形成為氣體感測器電極時，粗大粒子仍然存在，會形成無法攝入氧等的測定物質之區域，而有對於所使用的鉑量之活性降低的傾向。此外，含有粗大粒子之金屬膏係印刷性差，且於塗佈後的表面有時會殘留線狀痕。
因此，本發明之金屬膏係以粒度測定儀所進行之線狀法所測得之分散度為15μm以下。粒度測定儀為測定並評估膏或油墨等所含有之粒子的分散性之裝置。本發明中，以粒度測定儀所進行之線狀法所測得之分散度，詳細而言，係要求第3條線(線狀痕)產生之位置的數值為15μm以下。依以粒度測定儀所定義之金屬膏的分散度，係可使膏中之分散粒子的粒徑設定為小粒徑側，且完全排除粗大粒子以使該值成為零，但考量到生產性等，較佳係使下限設為1μm。
導電性粒子係由Pt或Pt合金所構成。Pt合金較佳係Pd含量為30質量%以下之Pt-Pd合金。此外，於導電性粒子的外周被附加作為外殼之陶瓷、以及另外添加之陶瓷粉末，較佳係含有ZrO2之陶瓷者，該範圍係與上述 相同。
本發明之金屬膏係使上述導電性粒子及陶瓷粉末分散於溶劑而成者。在本發明中可適用於金屬膏的製造之溶劑，係例如可適用乙二醇、丙二醇、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、乙二醇單苯醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、苄基醇、煤油、石蠟、甲苯、環己酮、γ-丁內酯、甲乙酮、N-甲基吡咯啶酮、N-二甲基甲醯胺、N-甲基乙醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、丁基卡必醇、松節油、α-松油醇、松油醇等之一般所用者，尤其適宜為如α-松油醇者。
金屬膏中之導電性粒子及陶瓷粉末的混合量，係相對於膏全體，較佳為使此等混合粉末設為50至90質量%。當未達50質量%時，電極膜變成太薄，若超過90質量%，很難形成膏化之故。
又，亦可於金屬膏中添加用以具有黏度或搖變性一般所使用之樹脂。該樹脂一般為天然樹脂、胺系樹脂、醇酸樹脂等。尤其適宜為如乙基纖維素者。
接著，說明本申請案之金屬膏之製造方法。如上述般，本發明之金屬膏係藉由混合具有核芯/外殼構造之導電性粒子、陶瓷粉末及溶劑來製造。此處，關於具有核芯/外殼構造之導電性粒子之製造方法，係於上述專利文獻1中亦已被揭示，可列舉出利用高溫環境中的氣相反應者。該方法係混合成為核芯粒子之金屬/合金粉末、以及成為外殼之陶瓷粉末，使此混合粉末釋出至兩成分之沸點以上的高溫環境中，並進行冷卻而回收所生成之微粉末。
本發明中，係不使具有核芯/外殼構造之複合粒子直接作為導電性粒子，而必須調整其粒徑。複合粒子的粒徑調整，係可藉由加熱處理(造粒處理)來增大核芯粒子的粒徑(專利文獻1)。惟僅單純地加熱處理複合粒子，並無法抑制變成過度粗大之導電性粒子的生成。此係因在以加熱處理所產生之具有核芯/外殼構造的複合粒子之粒徑調整中，會有外殼較薄的複合粒子彼此結合而粗大化之傾向，於單純的加熱處理中，產生局部性複合粒子的結合/粗大化。如上所述，粗大粒子的存在係在形成電極時會導致活性降低，又並使金屬膏的印刷性惡化，故不佳。
本發明人等係為了一邊進行複合粒子的粒徑調整，一邊抑制局部性粗大粒子的生成，故使陶瓷粉末混合並分散於具有核芯/外殼構造之複合粒子，然後進行加熱處理。如此，將陶瓷粉末混合並分散於複合粒子中，以形成阻礙複合粒子的移動及燒結之阻礙障壁，可抑制複合粒子的過度結合。
在本發明之複合粒子的加熱處理中，必須於加熱前將陶瓷粉末混合並分散於複合粒子。此處所混合之複合粒子的平均粒徑，較佳為10至25nm，另一陶瓷粉末，係粒徑較佳為100至500nm，陶瓷粉末的混合量，較佳係與成為製品之金屬膏中的混合量相等。亦即，相對於導電性粒子與陶瓷粉末之合計質量，較佳為5至20質量%。又，在混合複合粒子與陶瓷粉末時，較佳係均一地混合以分散陶瓷粉末。因此，較佳係適用球研磨機、噴射研 磨機、珠粒研磨機、輥研磨機等之精密的混合手段。
導電性粒子的粒徑調整用之加熱處理，係使熱處理溫度設為700至1200℃者，當未達700℃時，複合粒子的結合不充分且很難調整成特定之粒徑，若超過1200℃，反而複合粒子變粗大。該熱處理的加熱時間較佳為0.5至10小時。
熱處理後之導電性粒子與陶瓷粉末之混合粒子，係可直接作為金屬膏的前驅物，而分散於溶劑中以作為形成電極用的金屬膏。
當藉由該金屬膏來製造電極時，煅燒溫度較佳為1300至1600℃。此係因可充分地燒結而得到電阻值低者。如此做法所形成之電極膜，係成為分散有微細的陶瓷粒子之狀態。
如以上所說明，本發明之氣體感測器電極，係具有適當地含有必須作為反應處之三相界面之多孔質構造，同時適度地分散微細的導電性粒子及陶瓷粒子，並具有高活性且電阻值低。此外，本發明之金屬膏，係可形成如此之適宜的電極，並可達成電極膜的薄膜化。再者，亦有益於Pt等之貴金屬用量的降低、電子機器的成本降低。
第1圖係說明一般的氧感測器的構造之圖。
第2圖係詳細說明氧感測器的電極內部(三相界面)之圖。
第3圖係顯示實施例4、比較例2、習知例1的電極膜之剖面照片及表面照片。
第4圖係顯示由各種金屬膏所形成之電極膜對於每單位面積的鉑重量之電極電阻的測定結果。
第5圖係顯示由各種金屬膏所形成之電極膜的電極活性之測定結果。
第6圖係顯示因粒徑調整的有無(實施例5、比較例7)所導致之金屬膏的熱收縮之TMA曲線。
第1實施形態：以下係說明有關本發明之實施形態。本實施形態中，係製備：以Pt為核芯粒子，並結合ZrO2(以三氧化二釔安定化之二氧化鋯)作為成為外殼的陶瓷之複合粒子，再添加作為陶瓷粉末的ZrO2(以三氧化二釔安定化之二氧化鋯)，進行熱處理，調整粒徑。然後，製造金屬膏，進行煅燒金屬膏而形成之電極的特性評估。
具有核芯/外殼構造之複合粒子，係藉V型混合機使平均粒徑10nm的Pt粉末、平均粒徑10nm的ZrO2(以三氧化二釔安定化之二氧化鋯)均一地混合，並藉高頻感應熱電漿裝置在氬氣環境中將該混合粉末釋出至電漿環境中。然後，以過濾器將所產生之微粉末回收。藉由此步驟，得到以Pt為核芯粒子並以ZrO2為外殼之核芯/外殼構造的複合粒子粉末。此處，製備：調整陶瓷粉末對上 述混合粉末全體之混合量，而改變成為外殼之陶瓷的結合量者。本實施形態中，係製備：陶瓷量0.5wt%(實施例1、比較例1)、1.0wt%(實施例2、3)、1.6wt%(實施例4、5)、3.0wt%(實施例6、7)、6.1wt%(比較例2、3)之複合粒子。
接著，為了調整導電性粒子的粒徑，進行熱處理。首先，於上述複合粒子中添加與外殼相同組成之ZrO2粉末，並藉行星式研磨機充分地混合。然後，乾燥混合粉末後，以800℃加熱1小時而調整粒徑。ZrO2粉末的混合量，相對於混合粉末為5wt%、10wt%。
然後，從各混合粉末製造金屬膏。金屬膏的製造係將熱處理後的混合粉末投入於有機溶劑的酯醇，進一步再混合二胺系界面活性劑以及乙基纖維素，藉三輥輪研磨機進行混合並混練以形成膏化來製造。混合粉末的混合量係相對於膏全體為80質量%。
習知例1：製備實施例4、5的導電性粒子(為外殼之陶瓷量1.6wt%)作為具有習知的核芯/外殼構造之導電性粒子。繼而，對於該導電性粒子，在未混合陶瓷粉末下進行熱處理，並混合熱處理後之導電性粒子與陶瓷粉末(相對於混合粉末全體為10wt%)。然後，使該混合粉末形作為金屬膏。
習知例2：製造分別混合有Pt粉末與陶瓷粉末者，作為含有不具有核芯/外殼構造之導電性粒子之習知的金屬膏，Pt粉末係使用粒徑5μm的Pt粉末，陶瓷粉末係使用ZrO2粉末(11.4wt%)，形成金屬膏用粉末，以此作 為金屬膏。
在實施例1至7、比較例1至3、習知例1至2中，有關從複合粒子的製造至粒徑調整為止的步驟之複合粒子(導電性粒子)的粒徑，對於膏化前的粉末狀態者，係從以BET3點法所進行之比表面積的測定換算出來。此外，關於粒子的分散性評估，係以採用粒度測定儀之線狀法測定分散度。分散度的測定係使用筒井理化器械股份有限公司製的粒度測定儀(最大刻度25μm)，將膏滴入於測定儀的溝槽最深部，並以刮刀刮平，觀察在所得之膏皮膜所顯現之線狀痕，並測定顯現第3條線之點的溝槽深度(μm)。進行此測定3次，並以其平均值作為分散度來評估。此等之值如第1表所示。
Figure TWI614767BD00001
第1表中，從實施例、比較例、習知例1之結果，可得知具有核芯/外殼構造之導電性粒子係藉熱處理使粒徑增大。惟如習知例般在熱處理前未混合陶瓷粉末時，雖然導電性粒子的粒徑不會變得那麼過大，但在膏製造後的分散度變大。此係在熱處理時不存在陶瓷粉末，致粗大粒子局部性生成所造成，該粗大粒子係可謂即使藉由膏製造時的混合，亦不會崩解而存在。從此內容，可得知 在熱處理前混合陶瓷粉末，可抑制粗大粒子的產生並得到粒徑一致之粉末。
接著，從所製造之金屬膏形成電極而進行該評估。電極形成係藉由網版印刷使金屬膏塗佈於99質量%的二氧化鋯胚片上。然後，以80℃乾燥20分鐘，以1450℃進行煅燒處理1小時而製作出電極膜。電極係製造出
Figure TWI614767BD00002
7.8mm且厚度分別為3μm、7μm之2種電極。
對於所製造之各電極膜進行組織觀察，並測定該構造(空隙率、表面及剖面之導電性粒子的分散度)。該測定係對於各電極之表面及剖面的組織照片根據圖像解析。空隙率的測定係以照片中的黑點作為空隙部而求取其面積，並根據觀察面積來算出面積率。電極剖面的分散度係對於剖面組織而擷取5μm×100μm的測定區域，對於該測定區域劃出5條基準線(以1μm間隔且長100μm的線)，對每一條基準線測定其上方之導電性粒子相的點數目，並測定其平均值。電極表面的分散度係對於表面組織擷取25μm×25μm的測定區域，劃出6條基準線(以約4μm間隔且長25μm的線)而同樣地測定導電性粒子相的點數目及平均值。
此外，為了對於各電極評估電極活性(導電度)，以交流阻抗法測定相對於每單位面積的鉑重量之電極電阻。評估條件係在800℃的大氣環境中，以DC無偏壓振幅20mV，測定電流對頻率100kHz至30mHz之電壓的頻率響應。然後，以習知例2之膜厚7μm的測定結果作為基 準值，以與基準值大致同等之特性者評估為「△」，較基準值良好者評估為「○」，較基準值極良好者評估為「◎」。此外，電極的電阻過大而無法測定者評估為「×」。此特性評估的結果如第2表所示。
Figure TWI614767BD00003
從第2表，可知含有粒徑被適當調整之具有核芯/外殼構造之導電性粒子，且混合有陶瓷粉末之金屬膏 所形成之電極膜(實施例1至7)，係多孔質，同時並具有分散有比較微細的導電性金屬之構造。然而，僅以具有核芯/外殼構造之導電性粒子進行熱處理，且於熱處理後混合陶瓷之金屬膏(習知例1)，係因存在有粗大粒子，故鉑粒子的分散度超出較佳範圍，傳導度變差。又，單純地混合非核芯/外殼構造之導電性粒子與陶瓷粉末之金屬膏(習知例2)，雖可製造多孔質構造的電極，但導電性粒子變粗大，電阻值提高，導電性變差。因此，很難以薄膜作用為電極。
然而，即使為具有核芯/外殼構造之導電性粒子，當成為外殼之陶瓷量少時，導電性粒子變粗大，太多時，很難得到多孔質的電極(比較例1至3)。認為此係如上述般，當陶瓷少時，導電性粒子的燒結太早進行之故，當陶瓷太多時，導電性粒子的燒結時機偏離預設的時機，成為與所混合之陶瓷粉末的燒結相同之時機之故。
有關所製造之電極，將實施例4、比較例2、習知例1之組織照片(剖面、表面)表示於第3圖中。在習知例1中，熱處理導電性粒子時所生成之粗大粉末殘留於電極中。又，與實施例4相比，可知比較例2成為空隙少之緻密質的膜。
第2實施形態：此處係研究與導電性粒子一起混合之陶瓷粉末的添加量所造成之影響。除了第1實施形態中所製造之電極(實施例4、5及習知例2)之外，使用將混合於具有核芯/外殼構造之導電性粒子(陶瓷量：1.6wt%)之ZrO2粉末的添加量分別設為15wt%(實施例8)、 20wt%(實施例9)、1wt%(比較例4)、3wt%(比較例5)、25wt%(比較例6)之金屬膏來製作電極，並測定該電阻值、電極活性。
電阻值的評估係評估電極中之每單位鉑重量之薄片電阻值。薄片電阻值係於二氧化鋯胚片上印刷並煅燒評估膏，製作4mm×16mm的線(膜厚3μm)，藉由數位萬用電表測定其兩端的電阻值。
又，為了評估各電極之電極活性(導電度)，以交流阻抗法測定相對於每單位面積的鉑重量之電極電阻。評估條件係於二氧化鋯胚片的雙面上印刷並煅燒評估膏，製作
Figure TWI614767BD00004
7.8mm、膜厚3μm之電極，在800℃的大氣環境中，以DC無偏壓振幅20mV，測定出電流對頻率100kHz至30mHz之電壓的頻率響應。
將此等的評估結果表示於第3表及第4圖、第5圖中。對於此評估結果係顯示出與對於藉由習知例2的金屬膏所形成之電極(膜厚7μm)所進行之試驗結果相同。
Figure TWI614767BD00005
從第3表、第4圖，可確認出混合之陶瓷量會對電極的電阻值造成影響。當陶瓷混合量為5質量%以下時，電極的電阻值幾乎呈一定，且可謂低電阻。然後，當陶瓷混合量超過10質量%時，隨著陶瓷混合量的增加，電阻值增大，於25質量%(比較例6)時，電阻過大而無法測定。又，在習知例2之鉑粉末與陶瓷粉末的單純混合時，從電阻值的觀點來看，基本上亦無問題。
另一方面，若參照考量作為氣體感測器電極的活性之導電度(相對於每單位面積的鉑重量之電極電阻)的測定結果之第5圖，當陶瓷混合量少時(比較例4、5)， 每單位面積的電阻高，活性低。然而，從陶瓷混合量超過5質量%之附近，活性變良好。惟，在陶瓷混合量為25質量%時，由於無法導通，故無法測定。此等實施例、比較例之結果的差異，係在於電極膜之構造的差異，可知氣體感測器電極係較佳為多孔質者。
此外，若考量電阻值、電極活性的測定結果之兩者，可知為了得到發揮電極活性同時薄片電阻低之具實用性的電極，必須使陶瓷混合量設為5至20質量%。繼而，如此做法所製造之電極，儘管較習知例2為更薄膜化，亦可顯示良好之特性。習知例2，由於在形成薄膜時，電極活性無法測定(參考第2表)，故以厚膜時的測定結果作為參考，但從該內容中亦可確認本發明之金屬膏的優異性。
第3實施形態：此處係研究對於具有核芯/外殼構造之導電性粒子之粒徑調整的技術性意義。如上述般，對於導電性粒子之粒徑調整係具有適當地調整其燒結時機以得到多孔質構造的電極，亦即確保電極活性之意義，但另一重要意義在於使金屬膏煅燒時的收縮率達到適當，以防止基板的變形、龜裂之點。因此，對於實施例5之金屬膏進行熱應力變形測定(TMA)。此試驗的測定條件係在大氣中對
Figure TWI614767BD00006
5mm的試樣施加1g的荷重，同時使升溫速率設為20℃/min。第6圖係顯示其結果之收縮曲線(TMA曲線)。此測定係亦對於在未進行以熱處理調整粒徑之導電性粒子中混合10wt%的ZrO2之金屬膏(以此作為比較例7) 來實施。
從第6圖，在比較例7之在無粒徑調整的導電性粒子中混合有陶瓷粉末之金屬膏中，係超過收縮溫度(以有機成分消失的400℃為基準而產生5%的收縮之溫度)的750℃後之收縮率的變化顯著。當將如此之金屬膏塗佈於基板並煅燒時，產生基板的龜裂等之可能性高。然而，進行粒徑調整後之金屬膏，係收縮溫度高(1150℃)，收縮曲線亦比較緩和。因而，藉由適當設定煅燒溫度，不會對基板造成變形或龜裂，而可謂可形成電極膜。
[產業利用可能性]
若根據本發明，可以微細的狀態分散導電性金屬及陶瓷粒子，同時並形成多孔質的電極膜。本發明係適宜作為用以形成氧氣感測器電極、NOx感測器等之氣體感測器的氣體感測器電極之金屬膏，又可謀求電極膜的薄膜化，故可謀求各種感測器機器的成本降低。

Claims (7)

  1. 一種形成氣體感測器電極用的金屬膏，其係於溶劑中分散有具有核芯/外殼構造之導電性粒子、以及陶瓷粉末，該核芯/外殼構造係包含：由Pt或Pt合金所構成之核芯粒子、以及由包覆前述核芯粒子的至少一部分之陶瓷所構成之外殼；前述導電性粒子係平均粒徑90至500nm之粒子，且前述核芯粒子以前述導電性粒子的質量基準計被0.5至3.0質量%之陶瓷包覆者；前述陶瓷粉末的含量，相對於前述導電性粒子與陶瓷粉末之合計質量為5至20質量%；金屬膏中之陶瓷成分的總含量，相對於前述導電性粒子與前述陶瓷粉末之合計質量為6.0至22.0質量%；此外，以粒度測定儀進行之線狀法所測得之分散度為15μm以下。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之形成氣體感測器電極用的金屬膏，其中陶瓷粉末的粒徑為100至500nm。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之形成氣體感測器電極用的金屬膏，其中成為外殼之陶瓷、及陶瓷粉末，係由含有ZrO2之陶瓷所構成。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之形成氣體感測器電極用的金屬膏，其中核芯粒子係包含Pt、或含有30質量%以下的Pd之Pt-Pd合金中任一者。
  5. 一種形成氣體感測器電極用的金屬膏的製造方法，其係如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之形成氣體感測器電極用的金屬膏之製造方法，其係包含如下步驟：混合具有核芯/外殼構造之複合粒子、以及陶瓷粉末而形成混合粉末之步驟，該核芯/外殼構造係包含：由Pt或Pt合金所構成之貴金屬粒子，以及由包覆前述核芯粒子的至少一部分之陶瓷所構成之外殼；將前述混合粉末加熱至700至1200℃，調整前述複合粒子的粒徑，而形成具有平均粒徑90至500nm的核芯/外殼構造之導電性粒子之步驟；以及將熱處理後的混合粉末分散於溶劑之步驟。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之金屬膏之製造方法，其中複合粒子的平均粒徑為10至25nm。
  7. 一種氣體感測器電極之製造方法，係將如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之形成氣體感測器電極用的金屬膏塗佈於基板，並以1300至1600℃煅燒。
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