JP6406237B2 - センサ素子 - Google Patents
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Description
上記特定物質が付着する検出面(11)を有する絶縁性基体(2)と、
上記検出面に一部が露出して対向位置し、残部が上記絶縁性基体に埋設される、極性の異なる一対の検出電極(3、4)と、を備えており、
上記検出電極は、Rh、Ru、Ir、Os及びPdからなるグループから選ばれる少なくとも1種の金属とPtとの合金(7)と、該合金間に分散配置された粒状空隙(5)と、を有し、
上記合金中の上記金属の含有量が40質量%以下であると共に、上記検出電極の単位体積あたりの上記粒状空隙の個数が、3個/100μm3〜50個/100μm3であり、
一対の上記検出電極は、それぞれ複数の電極(3a、4a)からなり、これら複数の電極は、交互に極性が異なるように、上記絶縁性基体の内部に間隔を置いて積層配設されており、かつ、上記検出電極の積層方向(X)において、上記粒状空隙は、上記検出電極の中央部よりも両端部により多く配置される、センサ素子にある。
なお、括弧内の符号は、参考のために付したものであり、本発明はこれら符号により限定されるものではない。
次に、センサ素子の実施形態について、図面を参照して説明する。本形態は、図1〜図5に示すように、積層型のセンサ素子1を備えた、粒子状物質検出センサへの適用例である。粒子状物質検出センサは、例えば、内燃機関の排気通路に設置されて排気後処理装置の一部を構成し、センサ素子1により、被測定ガスに含まれる特定物質として、粒子状物質(以下、PMと称する)を検出することができる。被測定ガスは、例えば、内燃機関から排出される燃焼排ガスであり、導電性を有する煤等からなる微小なPMを含んでいる。
排ガス浄化フィルタは、ディーゼルパティキュレートフィルタ(すなわち、DPF)であっても、ガソリンパティキュレートフィルタ(すなわち、GPF)であってもよい。センサ素子1を備える粒子状物質検出センサは、ディーゼルエンジンから排気される燃焼排ガス中に含まれるPMを検出するために用いられてもよいし、ガソリンエンジンから排気される燃焼排ガス中に含まれるPMを検出するために用いられてもよい。
上記実施形態1では、積層型のセンサ素子1の先端面を検出面11とし、複数の検出電極3、4となる電極膜が、絶縁性基体2の内部に層状に埋設された積層型の電極構造としたが、図8〜図10に実施形態2として示すように、一対の検出電極3、4を、絶縁性基体2の検出面11となる表面に印刷形成し、一部を埋設した印刷型の電極構造とすることもできる。センサ素子1の基本構成は、実施形態1と同様であり、以下、相違点を中心に説明する。
次に、上記した方法で実施形態1のセンサ素子1を作製し、耐久試験を行って、検出電極3、4の電極抵抗値の変化を調べた。検出電極3、4には、Pt−Rh合金からなる合金粒子7と、アルミナからなる骨材と、有機溶剤及び有機バインダを混合、混錬してなる電極ペーストに、樹脂ビーズからなる空隙形成粒子を添加した電極材料を用いた。合金粒子7は、Ptイオン及びRhイオンを含む酸溶液を混合し、還元剤により還元反応させることによって作製した。このとき、Ptイオン及びRhイオンの量を調整することにより、PtとRhの合計量を100質量%としたときの配合比率を、Pt:98質量%〜69質量%、Rh:2質量%〜31質量%の範囲で変化させた。
電極抵抗値変化率=(耐久後電極抵抗値/初期電極抵抗値)×100
耐久性の評価は、電極抵抗値変化率が、10×102%未満である場合を良とし、10×102%〜40×102%である場合を可とし、40×102%を超える場合を不可した。
実施例1と同様の方法で、粒状空隙5の個数が、19個/100μm3〜28個/100μm3の範囲にあり、PtとRhの配合比率が、Pt:100質量%〜39質量%、Rh:0質量%〜61質量%の範囲にあるセンサ素子1を作製し、実施例12〜16、比較例3、4とした。これら実施例11〜15、比較例3〜5について、同様の耐久試験を行い、検出電極3、4の電極抵抗値の変化を測定した結果を、空隙径、空隙分散度と共に、表2に示す。
実施例1と同様の方法で、PtとRhの粒状空隙5の個数が、19個/100μm3〜28個/100μm3の範囲にあり、粒状空隙5の大きさが0.3μm〜1.1μmの範囲で、空隙分散度が0.67〜0.79の範囲にあるセンサ素子1を作製し、実施例16〜21とした。これら実施例16〜21について、同様の耐久試験を行い、検出電極3、4の電極抵抗値の変化を測定した結果を、PtとRhの配合比率と共に、表3に示す。
実施例1と同様の方法で、PtとRhの粒状空隙5の個数が、19個/100μm3〜28個/100μm3の範囲にあり、粒状空隙5の大きさが0.9μm〜1.2μmの範囲で、空隙分散度が0.55〜0.95の範囲にあるセンサ素子1を作製し、実施例22〜30とした。これら実施例22〜30について、同様の耐久試験を行い、検出電極3、4の電極抵抗値の変化を測定した結果を、PtとRhの配合比率と共に、表4に示す。
次に、検出電極4、5の電極材料として、PtとRhとの合金に代えて、Ptと、Rh、Ru、Ir、Os及びPdから選ばれる金属との合金を用いた場合の、Ptの揮散に対する効果を調べた。検出電極3、4には、Ptとこれら金属との合金を、98質量%:2質量%の配合比率とした合金粒子7と、アルミナからなる骨材と、有機溶剤及び有機バインダを混合、混錬してなる電極ペーストを用い、実施例1と同様の方法でセンサ素子1を作製した。また、比較のため、Pt100質量%とした電極材料を用いて、同様の方法でセンサ素子1を作製した。
11 検出面
2 絶縁性基体
3、4 検出電極
5 粒状空隙
7 合金粒子(すなわち、合金)
8 金属酸化物
Claims (5)
- 被測定ガス中の特定物質を検出するセンサ素子(1)であって、
上記特定物質が付着する検出面(11)を有する絶縁性基体(2)と、
上記検出面に一部が露出して対向位置し、残部が上記絶縁性基体に埋設される、極性の異なる一対の検出電極(3、4)と、を備えており、
該検出電極は、Rh、Ru、Ir、Os及びPdからなるグループから選ばれる少なくとも1種の金属とPtとの合金(7)と、該合金間に分散配置された粒状空隙(5)と、を有し、
上記合金中の上記金属の含有量が40質量%以下であると共に、上記検出電極の単位体積あたりの上記粒状空隙の個数が、3個/100μm3〜50個/100μm3であり、
一対の上記検出電極は、それぞれ複数の電極(3a、4a)からなり、これら複数の電極は、交互に極性が異なるように、上記絶縁性基体の内部に間隔を置いて積層配設されており、かつ、上記検出電極の積層方向(X)において、上記粒状空隙は、上記検出電極の中央部よりも両端部により多く配置される、センサ素子。 - 上記金属はRhであり、上記合金中のRh含有量は、2質量%〜30質量%である、請求項1に記載のセンサ素子。
- 上記粒状空隙は、平均粒径が1.5μm以下である、請求項1又は2に記載のセンサ素子。
- 上記特定物質は、粒子状物質である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のセンサ素子。
- 上記中央部と上記両端部に配置される上記粒状空隙の総個数に対して、上記両端部に配置される上記粒状空隙の個数の比率である空隙分散度が、0.55〜0.95の範囲にある、請求項1〜4のいずれか1項に記載のセンサ素子。
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