TWI614101B - 探針吸取裝置 - Google Patents

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沈毓達
鄭翰陽
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    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
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Abstract

本發明提供一種探針吸取裝置，包括一本體，設有一側壁表面以及一第一開口；以及止檔件，固定於該側壁表面上，該止檔件與該側壁表面形成第一容納空間，其中該本體的該第一開口與該第一容納空間連通，當該本體以該第一開口吸取該第一容納空間內的氣體時，該本體的該側壁表面吸附一探針並且該止檔件的一端部頂住該探針，以使該第一容納空間收容一部分的該探針。

Description

探針吸取裝置
本發明係關於一種探針處理裝置，特別是關於一種探針吸取裝置。
隨著電子產品朝向精密化與多功能化發展，在電子產品內的積體電路之晶片趨於複雜，目前的晶片所需測試的腳位不斷增加，故用以測試晶片的探針卡之探針數量也大幅增加，探針的處理效率格外地重要。
在習知技術中，探針卡的微米細針因尺寸較小，並無有效的取放治具進行探針的夾取作業，僅能以人工使用鑷子並且藉由顯微鏡的輔助之下進行探針夾取。如圖1所示，其繪示習知技術中探針的夾取方式之示意圖，以鑷子100夾取軟墊102上的微細探針104，其係以人工一根一根費力地夾取，相當耗費時間，更容易因為人工的夾取施力不易控制，導致了微細探針104的損壞，因而造成插設有探針104的探針卡(未圖示)的產品不良。因此需要提出一種新式的吸取裝置，以解決上述之問題。
本發明之一目的在於提供一種探針吸取裝置，以吸取微細探針，增加探針取放的效率，並且提高探針以及插設該探針之探針卡的產品良率。
為達成上述目的，本創作之一實施例中探針吸取裝置包括本體，設有一側壁表面以及一第一開口；以及止檔件，固定於該側壁表面上，該止檔件與該側壁表面形成一第一容納空間，其中該本體的該第一開口與該第一容納空間連通，當該本體以該第一開口吸取該第一容納空間內的氣體時，該本體的該側壁表面吸附一探針並且該止檔件的一端部頂住該探針，以使該第一容納空間收容一部分的該探針。
在一實施例中，該止檔件係為具有螺紋的凸塊，該凸塊以該螺紋鎖固於該本體的該側壁表面上。
在一實施例中，該止檔件係以緊密配合方式設置於該本體的該側壁表面上。
在一實施例中，該止檔件設有一第二開口，連通該第一容納空間與該第一開口之間，以經由該第一容納空間、該第二開口、該第一開口吸取該第一容納空間之內的氣體。
在一實施例中，該止檔件的該第二開口之寬度小於該探針之寬度。
在一實施例中，該本體包括一固定元件，用以固定該止檔件，並且該固定元件設有一第二容納空間，該第二容納空間用以收容該止檔件與該探針；以及吸嘴，連接該固定元件，該吸嘴設有該第一容納空間，該止檔件在該第二容納空間移動。
在一實施例中，該止檔件係為一可調整螺絲，鎖固於該固定元件中，藉由該可調整螺絲在該第二容納空間移動，以調整該可調整螺絲與該第一容納空間的第三開口之間的距離。
在一實施例中，該固定元件與該吸嘴係為緊密配合。
在一實施例中，該固定元件設有該第一開口。
在一實施例中，該吸嘴設有該第一開口。
在一實施例中，該止檔件與該探針係為共軸線。
在一實施例中，該止檔件與該探針係為非共軸線。
100‧‧‧鑷子
102‧‧‧軟墊
104‧‧‧探針
200‧‧‧本體
202‧‧‧止檔件
202a‧‧‧端部
204‧‧‧側壁表面
206a‧‧‧第一開口
206b‧‧‧第二開口
206c‧‧‧第三開口
208‧‧‧第一容納空間
209‧‧‧第二容納空間
210‧‧‧探針
212‧‧‧氣體供應裝置
300‧‧‧固定元件
302‧‧‧吸嘴
D1‧‧‧距離
H1‧‧‧第一深度
H2‧‧‧第二深度
W1‧‧‧第一寬度
W2‧‧‧第二寬度
Y‧‧‧共軸線
為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹：圖1繪示習知技術中探針的夾取方式之示意圖。
圖2繪示本創作第一實施例中探針吸取裝置之剖視圖。
圖3繪示本創作第二實施例中探針吸取裝置之剖視圖。
請參照圖式，其中相同的元件符號代表相同的元件或是相似的元件，本發明的原理是以實施在適當的運算環境中來舉例說明。以下的說明是基於所例示的本發明具體實施例，其不應被視為限制本發明未在此詳述的其它具體實施例。
圖2繪示本創作第一實施例中探針吸取裝置之剖視圖。探針吸取裝置包括本體200以及止檔件202。本體200設有一側壁表面204以及第一開口206a。止檔件202固定於該側壁表面204上，該止檔件202與該側壁表面204形成一第一容納空間208，其中該本體200的該第一開口206a與該第一容納空間208連通，當該本體200以該第一開口206a吸取該第一容納空間208 內的氣體時，該本體200的該側壁表面204吸附一探針210並且該止檔件202的一端部202a頂住該探針210，以使該第一容納空間208收容一部分的該探針210。在一實施例中，該探針210之直徑介於30μm至100μm之間，但不限於此，例如是小於30μm或是大於100μm，探針210可容納於第一容納空間208之任意尺寸皆適用於本發明之探針吸取裝置。在不同的實施例中，本發明之吸取裝置可吸取任任幾何形狀的物件，例如細長形桿件。
在一實施例中，該止檔件202係為具有螺紋的凸塊，該凸塊以該螺紋鎖固於該本體200的該側壁表面204上。換言之，凸塊以螺紋鎖固於本體200的該側壁表面204，並且依據探針210曝露在探針吸取裝置之外的長度需求，將凸塊鎖固在側壁表面204上的預定位置。在一實施例中，止檔件202例如是兩塊檔片或是一環形片。
如圖2所示，在一實施例中，該止檔件202係以緊密配合方式設置於該本體200的該側壁表面204上。換言之，止檔件202直接塞入由該側壁表面204所組成的第一容納空間208中。在一實施例中，該止檔件202設有一第二開口206b，連通該第一容納空間208與該第一開口206a之間，以經由該第一容納空間208、該第二開口206b、該第一開口206a吸取該第一容納空間208之內的氣體。在本發明之探針吸取裝置中，由於第一容納空間208、該第二開口206b、以及該第一開口206a內的壓力小於探針吸取裝置之外的壓力(例如大氣壓力)，故可將探針210吸住於第一容納空間208中。在一實施例中，係以雷射方式形成該第二開口206b。
如圖2所示，在一實施例中，該止檔件202的該第二開口206b之第二寬度W2小於該探針210之第一寬度W1，使該止檔件202頂住該探針 210，避免探針210從該第一開口206a脫離。在一實施例中，該止檔件202與該探針210係為共軸線，如圖2所示。在另一實施例中，該止檔件202與該探針210係為非共軸線。在一實施例中，當該氣體供應裝置212停止吸取該第一容納空間208內的氣體時，該部分的該探針210脫離該第一容納空間208以及該止檔件202的該端部202a。
根據上述，本發明之探針吸取裝置利用止檔件202(例如凸塊)以吸取探針210，增加探針210取放的效率，並且提高探針210以及插設該探針210之探針卡的產品良率。
圖3繪示本創作第二實施例中探針吸取裝置之剖視圖。本體200設有一側壁表面204以及第一開口206a。止檔件202固定於該側壁表面204上，該止檔件202與該側壁表面204形成一第一容納空間208，其中該本體200的該第一開口206a與該第一容納空間208連通，當該本體200以該第一開口206a吸取該第一容納空間208內的氣體時，該本體200的該側壁表面204吸附一探針210並且該止檔件202的一端部202a頂住該探針210，以使該第一容納空間208收容一部分的該探針210。在一實施例中，該探針210之直徑介於30μm至100μm之間，但不限於此，例如是小於30μm或是大於100μm，探針210可容納於第一容納空間208之任意尺寸皆適用於本發明之吸取裝置。
如圖3所示，在一實施例中，該本體200包括固定元件300以及吸嘴302，固定元件300用以固定該止檔件202，並且該固定元件300設有一第二容納空間209，該第二容納空間209用以收容該止檔件202與該探針210。吸嘴302連接該固定元件300，該吸嘴302設有該第一容納空間208，該 止檔件202該第二容納空間209移動。
如圖3所示，在一實施例中，該止檔件202係為一可調整螺絲，鎖固於該固定元件300中，藉由該可調整螺絲在該第二容納空間209移動，以調整該可調整螺絲(即端部202a)與該第一容納空間208的第三開口206c之間的距離D1。該距離D1最短等於第一容納空間208的第一深度H1，最長等於第一容納空間208的第一深度H1加上第二容納空間209的第二深度H2。
如圖3所示，在一實施例中，該固定元件300與該吸嘴302係為緊密配合。在一實施例中，該固定元件300設有該第一開口206a。在另一實施例中，該吸嘴302設有該第一開口206a。在一實施例中，該止檔件202與該探針210係為共軸線Y，如圖2所示。在另一實施例中，該止檔件202與該探針210係為非共軸線。
在一實施例中，當該氣體供應裝置212停止吸取該第一容納空間208內的氣體時，該部分的該探針210脫離該第一容納空間208以及該止檔件202的該端部202a。
根據上述，本發明之探針吸取裝置利用止檔件202(例如可調整螺絲)以吸取探針210，增加探針210取放的效率，並且提高探針210以及插設該探針210之探針卡的產品良率。
雖然本發明已用較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
200‧‧‧本體
202‧‧‧止檔件
202a‧‧‧端部
204‧‧‧側壁表面
206a‧‧‧第一開口
206c‧‧‧第三開口
208‧‧‧第一容納空間
209‧‧‧第二容納空間
210‧‧‧探針
212‧‧‧氣體供應裝置
300‧‧‧固定元件
302‧‧‧吸嘴
D1‧‧‧距離
H1‧‧‧第一深度
H2‧‧‧第二深度
Y‧‧‧共軸線

Claims (12)

  1. 一種探針吸取裝置，包括：一本體，設有一側壁表面以及一第一開口；以及一止檔件，固定於該側壁表面上，該止檔件與該側壁表面形成一第一容納空間，其中該本體的該第一開口與該第一容納空間連通，當該本體以該第一開口吸取該第一容納空間內的氣體時，該本體的該側壁表面吸附一探針並且該止檔件的一端部頂住該探針，以使該第一容納空間收容一部分的該探針。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之探針吸取裝置，其中該止檔件係為具有螺紋的凸塊，該凸塊以該螺紋鎖固於該本體的該側壁表面上。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之探針吸取裝置，其中該止檔件係以緊密配合方式設置於該本體的該側壁表面上。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之探針吸取裝置，其中該止檔件設有一第二開口，連通該第一容納空間與該第一開口之間，以經由該第一容納空間、該第二開口、該第一開口吸取該第一容納空間之內的氣體。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之探針吸取裝置，其中該止檔件的該第二開口之寬度小於該探針之寬度。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之探針吸取裝置，其中該本體包括：一固定元件，用以固定該止檔件，並且該固定元件設有一第二容納空間，該第二容納空間用以收容該止檔件與該探針；以及一吸嘴，連接該固定元件，該吸嘴設有該第一容納空間，該止檔件在該第二容納空間移動。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之探針吸取裝置，其中該止檔件係為一可調整螺絲，鎖固於該固定元件中，藉由該可調整螺絲在該第二容納空間移動，以調整該可調整螺絲與該第一容納空間的第三開口之間的距離。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之探針吸取裝置，其中該固定元件與該吸嘴係為緊密配合。
  9. 如申請專利範圍第6項所述之探針吸取裝置，其中該固定元件設有該第一開口。
  10. 如申請專利範圍第6項所述之探針吸取裝置，其中該吸嘴設有該第一開口。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之探針吸取裝置，其中該止檔件與該探針係為共軸線。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之探針吸取裝置，其中該止檔件與該探針係為非共軸線。
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