TWI613433B - 用於背光檢測之物體載具、系統及方法 - Google Patents

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TWI613433B
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Abstract

本發明揭示一種用於透明或半透明物體之背光檢測之物體載具、系統及方法。該載具具有一載具底座層，該載具底座層具有光致發光性質，該載具底座層在該層之頂部上承載該透明或半透明物體。該透明或半透明物體可係一晶圓且該物體載具可係一晶圓夾盤。至少一個光源配置於該物體載具上方以使得自該至少一個光源發射之激發光被引導穿過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層。自具有光致發光性質之該層返回之該光由一物鏡收集且由一感測器暫存。

Description

用於背光檢測之物體載具、系統及方法 相關申請案交叉參考
本專利申請案主張2012年8月27日提出申請之美國臨時專利申請案第61/693,727號之優先權，該臨時專利申請案以引用方式併入本文中。
本發明係關於一種用於透明或半透明物體之背光檢測之物體載具。
本發明亦係關於一種用於透明或半透明物體之背光檢測之系統。
另外，本發明係關於一種用於背光檢測之方法。
通常使用背光照明來偵測透明晶圓之不透明部分(如(例如)LED晶圓中之指形切口)中之缺陷。
圖1展示根據一第一概念之用於產生透明或半透明物體2之背光檢測之一先前技術系統1之一示意性表示。一光源6係用於透明或半透明物體2之一物體載具10之部分。光源6覆蓋有一透明板11以使得來自光源6之光5到達透明或半透明物體2。光源6之光7之僅一部分到達一光學系統8。自彼處光7之部分到達一感測器12。光源6安裝於能夠相對於光學配置8定位透明或半透明物體2之一載台9上。光源6之大小需 要至少等於透明或半透明物體2之大小。由於熱耗散及電力需要，因此光源6之輸出及檢測速度係受限的。由於透明或半透明物體2之大小增加，因此光源6之熱耗散亦增加。此外，如圖1中所展示，照明係不充足的，此乃因大部分光5未由光學配置8捕獲。另一問題係透明或半透明物體2之一部分藉助光源6之一不同部分照明。此將導致透明或半透明物體2之不同部分之不同影像亮度。光源6及透明或半透明物體2之移動由於光源6之纜線佈設(未展示)而受限。
圖2中展示用於背光檢測之另一先前技術配置之一示意性表示。此處，光源6並非物體載具10之部分。在此情形中，用於背光照明之光源6係一固定光源6。透明或半透明物體2在用於背光照明之光源6與光學系統8之間移動。載台9及載具10需要以一方式設計使得移動不被固定光源6阻擋。光源6之大小需要至少等於光學系統8之最大視域之大小。載台9之設計係複雜的以便使得載具10及透明或半透明物體2能夠圍繞光源6移動。載具10及透明或半透明物體2無法在中心處支撐，此乃因此空間被光源6佔據。一般而言，載具10及透明或半透明物體2之相關聯彎曲將導致透明或半透明物體2上之不同位置處之不同焦點位置及影像失真。
本發明之一目標係提供用於透明及/或半透明物體之背光檢測之物體載具，該物體載具避免先前技術物體載具之問題。
藉由一種用於物體之背光檢測之物體載具達成上文目標，該物體載具包括：‧一載具底座；及‧一層，其具有光致發光性質，該層用於在該層之頂部上承載一透明或半透明物體。
本發明之另一目標係提供一種用於透明及/或半透明物體之背光 檢測之系統，該系統避免用於背光檢測之先前技術系統之問題。
藉由一種用於透明或半透明物體之背光檢測之系統達成上文目標，該系統包括：‧一物體載具，其具有一載具底座及具有光致發光性質之一層；‧至少一個光源，其配置於該物體載具上方以使得自該至少一個光源發射之激發光被引導穿過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層；‧一光學系統，其經調適以捕獲自具有光致發光性質之該層發射且行進穿過該透明或半透明物體之發射光；及‧一感測器，其用於暫存由該光學系統捕獲之該光。
本發明之一額外目標係提供一種用於透明及/或半透明物體之背光檢測之方法，該方法避免藉助用於背光檢測之先前技術系統實施之檢測方法之問題。
藉由一種用於背光檢測之方法達成上文目標，該方法包括以下步驟：‧引導具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶之至少一個照明光束穿過一透明或半透明物體到達具有光致發光性質之一層上；‧捕獲自具有光致發光性質之該層以λ em ±Δλ em 之一發射波帶發射且行進穿過該透明或半透明物體之光；及‧自具有該發射波帶λ em ±Δλ em 之該光產生一影像且其中λ em ±Δλ em ≠λ ex ±Δλ ex 。
該物體載具亦可具有一晶圓夾盤之形式且該透明或半透明物體係一透明或半透明晶圓。該物體載具之具有光致發光性質之該層由具有光致發光性質之一塊體層組成，該塊體層可在面對該載具底座的層之側處具有一反射塗層。激發照明迫使具有光致發光性質之該層發射呈一不同波長之光。根據一較佳實施例，具有光致發光性質之該塊體 層係一多孔層。該塊體層之一側上之該反射塗層可係一鋁塗層。
安裝至該多孔塊體層之一真空構件確保該透明或半透明物體固定至該物體載具或夾盤。真空分別穿過該塊體層之孔隙及微孔施加至該物體。
根據本發明之另一實施例，具有光致發光性質之該層由具有一光致發光塗層之一玻璃板組成。該光致發光塗層可覆蓋有一反射塗層而該反射塗層面對該載具底座。較佳地，該反射塗層係一鋁塗層且該光致發光塗層由磷光體製成。
在此實施例中，真空構件亦安裝至該玻璃板以使得一真空可穿過該玻璃板之微孔或微凹槽施加至該物體。
具有光致發光性質之該層之一大小及形狀至少等於該透明或半透明物體之一大小及形狀。此外，具有光致發光性質之該層具有複數個銷頂升孔，其中該等銷頂升孔中之每一銷由與具有光致發光性質之該層相同之光致發光材料或材料組合物製成。
該系統之該至少一個光源配置於該物體載具上方以使得自該至少一個光源發射之激發光被引導穿過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層。λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶可由發射此波帶之一光源直接產生，或可由其中應用一濾波器之一寬頻發射光源產生。該感測器(相機)經組態以使得一經暫存影像由一發射波帶λ em ±Δλ em 界定且其中λ em ±Δλ em ≠λ ex ±Δλ ex 。具有光致發光性質之該層將λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶轉換成λ em ±Δλ em 之該發射波帶，其中λ em >λ ex ±Δλ ex 或λ em <λ ex ±Δλ ex 。至少一個光學濾波器配置於該感測器之前以使得僅具有該發射波帶λ em ±Δλ em 之光到達該感測器。根據另一實施例，該感測器對λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶不敏感且對該發射波帶λ em ±Δλ em 之至少一部分敏感。
該感測器可以一區掃描相機、一線掃描相機或一時間延遲積分線掃描相機之形式組態。
存在實施該透明或半透明物體及具有光致發光性質之該層之照明之數種可能性。第一，由該至少一個光源發射之該激發光行進穿過該光學系統到達具有光致發光性質之該層。第二，由該至少一個光源發射之該激發光在該光學系統外部行進至具有光致發光性質之該層。第三，由至少一個第一光源發射之該激發光行進穿過該光學系統到達具有光致發光性質之該層，且由至少一個第二光源發射之該激發光在該光學系統外部行進至具有光致發光性質之該層。
該至少一個第一及/或第二光源經組態為一燈或若干燈之一組合、一LED或若干LED之一組合或者一雷射或若干雷射之一組合。
該系統之該光學系統具有至少一個顯微鏡物鏡及至少一個光學濾波器以使得來自具有光致發光性質之該層之僅具有λ em ±Δλ em 之一發射波帶之光到達該感測器。該顯微鏡物鏡界定一光束路徑。一個二向色光束分離器配置於該光學系統中以使得具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自該至少一個第一光源之光耦合至該顯微鏡物鏡之該光束路徑中。根據一不同實施例，該顯微鏡物鏡界定一光束路徑，且具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自至少另一光源之光界定不同於該顯微鏡物鏡之該光束路徑之一照明光束路徑。上文所闡述實施例之組合亦係可能的。
用於透明或半透明物體之背光檢測之發明性系統之一實施例包括：‧一物體載具，其具有一載具底座及具有光致發光性質之一層；‧一顯微鏡物鏡，其界定一光束路徑；‧至少一個第一光源，其中來自該至少一個光源之具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶之照明光經由該顯微鏡物鏡之該光束路徑引導至該物體載具上以使得自該至少一個光源發射之照明光通過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層；及‧一感測器，其經配置以使得僅具有發射波帶λ em ±Δλ em 之光到達 該感測器，其中該光行進穿過該透明或半透明物體且藉助該顯微鏡物鏡捕獲。
用於透明或半透明物體之背光檢測之發明性系統之另一實施例包括：‧一物體載具，其具有一載具底座及具有光致發光性質之一塊體材料層，該塊體材料層在該載具底座之側處塗佈有一反射塗層；‧一顯微鏡物鏡，其界定一照明光束路徑；‧至少一個第一光源，其中來自該至少一個光源之具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶之照明光經由該顯微鏡物鏡之該光束路徑引導至該物體載具上以使得自該至少一個光源發射之照明光通過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層；及‧一感測器，其經配置以使得僅具有發射波帶λ em ±Δλ em 之光到達該感測器，其中該光行進穿過該透明或半透明物體且藉助該顯微鏡物鏡捕獲。
對先前技術之一改良係光源不位於夾盤底座或物體載具底座中。因此熱產生不會在待檢測之晶圓或者透明或半透明物體下方發生。因此，可在不影響晶圓或者透明或半透明物體之情況下使用較強光源。此產生較高檢測速度及一增加之輸送量。此外，僅照明晶圓或者透明或半透明物體之檢測點，此產生較高效率。改良了均勻性，此乃因僅使用一個光源而非不同LED之一陣列。在需要藉助背光檢測較大晶圓大小之情形中，僅存在一較大夾盤之需要。光源可保持相同。在先前技術設計之情形中，LED之數目亦需要增加。一真空可穿過物體載具之孔隙或微孔/凹槽施加，此不會影響影像。先前技術設計中之真空孔將影響影像品質。
發明性系統允許自一側照明諸如半導體晶圓之至少部分透明或半透明(非不透明)物體以便自物體之另一側捕獲所透射光。光源照明 物體，物體放置於具有光致發光性質之層前面。一顯微鏡鏡片及一相機捕獲檢測影像。
本發明允許晶圓製造商增加晶圓品質及良率。背光檢測使缺陷可見，否則該等缺陷係不可偵測的。晶圓大小不影響檢測速度，此允許概念與消費者晶圓大小一起成長。
1‧‧‧先前技術系統/發明性系統/系統
2‧‧‧透明或半透明物體
5‧‧‧光
6‧‧‧光源/固定光源
7‧‧‧光
8‧‧‧光學系統/光學配置
9‧‧‧載台
10‧‧‧物體載具/載具
11‧‧‧透明板
12‧‧‧感測器
20‧‧‧真空構件
22‧‧‧層
24‧‧‧塊體層
25‧‧‧物鏡透鏡/顯微鏡物鏡
25B‧‧‧光束路徑
26‧‧‧反射塗層
27‧‧‧玻璃板
28‧‧‧光致發光塗層/發光塗層
29‧‧‧微孔隙
30‧‧‧激發光/光
31‧‧‧銷頂升孔
32‧‧‧發射光/光/白色光
34‧‧‧頂升銷/光
40‧‧‧二向色光束分離器
42‧‧‧光學濾波器/高通濾波器
60‧‧‧光源
60B‧‧‧照明光束路徑
62‧‧‧激發光/光
X‧‧‧X座標方向
Y‧‧‧Y座標方向
現在將在與隨附圖式各圖一起參考之本發明之以下詳細說明中更全面地闡述本發明之性質及操作模式，其中：圖1係用於背光檢測之一先前技術配置之一示意性表示；圖2係用於背光檢測之一先前技術配置之另一實施例之一示意性表示；圖3係用於物體之背光檢測之一項發明性實施例之一示意性表示；圖4係用於物體之背光檢測之另一發明性實施例之一示意性表示；圖5係用於照明以便達成透明或半透明物體之背光照明之一替代方案之一示意性表示；圖6係用於透明或半透明物體之背光檢測之一系統之一示意性表示；圖7係用於背光檢測之系統之另一實施例之一示意性表示；圖8係根據本發明之一項實施例之系統之一實施方案之一示意性表示；且圖9係根據本發明之另一實施例之系統之一實施方案之一示意性表示。
在以下說明中，陳述眾多特定細節以便提供對本發明之一透徹 理解。可在不具有此等特定細節中之某些或所有特定細節之情況下實踐本發明。在其他例項中，並未詳細闡述眾所周知之程序操作以免不必要地模糊本發明。儘管將連同特定實施例一起闡述本發明，但將理解，並不意欲將本發明限於該等實施例。
遍及各個圖，相同元件符號指代相同元件。此外，在圖中僅展示對各別圖進行說明所必需之元件符號。所展示實施例僅表示可如何實施本發明之實例。此不應視為限制本發明。
圖3係用於透明或半透明物體2之背光檢測之一項發明性實施例之一示意性表示。透明或半透明物體2擱置於具有光致發光性質之一層22上。層22由具有光致發光性質之一塊體層24組成；其中在面對載具底座18的層22之側處具有一反射塗層26(參見圖6至圖8)。一物鏡透鏡25相對於透明或半透明物體2配置。物鏡透鏡25可係一顯微鏡物鏡。激發光30自至少一個光源(未展示)發射且經由物鏡透鏡25引導至透明或半透明物體2。激發光30通過透明或半透明物體2且到達具有光致發光性質之塊體層24。在塊體層24中，產生行進穿過透明或半透明物體2且由物鏡透鏡25捕獲之發射光32。
圖3中所展示之實施例展示一真空構件20，該真空構件安裝至多孔塊體層以使得一真空穿過塊體層24之微孔隙29施加至物體。隨著真空之施加，透明或半透明物體2(晶圓)與具有光致發光性質之層22牢固地接觸。為促進透明或半透明物體2之移除，具有光致發光性質之層22具有銷頂升孔31及頂升銷34。頂升銷34之頂部由與具有光致發光性質之層22相同之光致發光材料製成以限制對影像之干擾。
圖4展示用於透明或半透明物體2之背光檢測之一額外發明性實施例之一示意性表示。此處，具有光致發光性質之層22由具有一光致發光塗層28之一玻璃板27組成。光致發光塗層28之材料可係磷光體。光致發光塗層28在該塗層上覆蓋有面對載具底座18之一反射塗層26 (參見圖6至圖8)。在圖3及圖4中所展示之實施例中，反射塗層26由鋁製成。激發光30自至少一個光源(未展示)發射且經由物鏡透鏡25引導至透明或半透明物體2。激發光30通過透明或半透明物體2、玻璃板27且到達光致發光塗層28。藉助發光塗層28，產生行進穿過玻璃板27及透明或半透明物體2且由物鏡透鏡25捕獲之發射光32。在發光塗層28係一磷光體塗層之情形中，激發光30涵蓋自紫外光至藍光之一波帶且發射光32涵蓋自綠光至紅光之一波帶。
在圖5中，展示具有光致發光性質之層22之一額外照明概念。具有光致發光性質之層22與圖3中所展示之層22相同。具有紫外光區域中之波帶之激發光30自至少一個光源(未展示)發射且經由物鏡透鏡25引導至透明或半透明物體2。激發光30通過透明或半透明物體2且到達具有光致發光性質之塊體層24。另外，提供至少另一光源60，該光源引導在綠色波帶及/或藍色波帶中之其激發光62穿過透明或半透明物體2到達具有光致發光性質之塊體層24。在塊體層24中，產生行進穿過透明或半透明物體2且由物鏡透鏡25捕獲之發射光32。
圖6係用於透明或半透明物體2之背光檢測之發明性系統1之一實施例之一示意性表示。透明或半透明物體2定位於用於沿一X座標方向X及一Y座標方向Y移動透明或半透明物體2之一載台9上。載台9使得透明或半透明物體2之各個區段能夠在由至少一個光源6發射之激發光30中定位。激發光30離開光源6並進入光學系統8，且激發光30經由顯微鏡物鏡25(參見圖3至圖5)及透明或半透明物體2自光學系統8到達具有光致發光性質之層22。具有λ ex ±Δλ ex 之一波帶之激發光30到達具有光致發光性質之層22。具有λ em ±Δλ em 之一發射波帶之光32自具有光致發光性質之層22到達光學系統8及相關聯感測器12。感測器8經組態以使得一經暫存影像由一發射波帶λ em ±Δλ em 界定且其中λ em ±Δλ em ≠λ ex ±Δλ ex 。
圖7中展示發明性系統1之另一實施例。另一光源60經配置以使得由另一光源60發射之激發光62經由透明或半透明物體2在光學系統8外部行進至具有光致發光性質之層22。光學系統8之顯微鏡物鏡25界定一光束路徑25B，且具有λ ex ±Δλ ex 之激發波帶之來自至少另一光源60之光界定不同於顯微鏡物鏡25(參見圖3至圖5)之光束路徑25B之一照明光束路徑60B。如已在圖8之說明中提及，感測器8經組態以使得一經暫存影像由發射光32之一發射波帶λ em ±Δλ em 界定，該發射光穿過透明或半透明物體2離開具有光致發光性質之層22且其中λ em ±Δλ em ≠λ ex ±Δλ ex 。圖6及圖7中所展示之實施例之一組合亦係可能的。此處，來自光源6之光30耦合至光束路徑25B中且來自至少另一光源60之光62與不同於光束路徑25B之照明光束路徑60B中之λ ex ±Δλ ex 之激發波帶耦合。
圖8係根據本發明之一項實施例之系統1之一實施方案之一示意性表示。具有光致發光性質之層22係在一載具底座26上且載具底座26定位於載台9上。此處，一個光源6配置於透明或半透明物體2上方。自光源6發射之激發光30被引導穿過透明或半透明物體2到達具有光致發光性質之層22。如上文所提及，顯微鏡物鏡25(參見圖3至圖5)界定光束路徑25B。一個二向色光束分離器40配置於光學系統8中以使得具有λ ex ±Δλ ex 之激發波帶之來自光源6之光耦合至光束路徑25B中。在感測器12前面，至少一個光學濾波器42配置於該感測器之前以使得僅具有發射波帶λ em ±Δλ em 之光32到達感測器12。根據未展示之另一實施例，感測器12對具有λ ex ±Δλ ex 之激發波帶之光30不敏感且僅對發射波帶λ em ±Δλ em 之至少一部分敏感。
自具有光致發光性質之層22返回之光32含有發射波帶λ em ±Δλ em 且自具有光致發光性質之層22返回之光34亦含有激發波帶λ ex ±Δλ ex ，其中λ em ±Δλ em ≠λ ex ±Δλ ex 。二向色光束分離器40使具有激發波帶λ ex ±Δλ ex 的 光34之一部分通過，且如上文所提及，此部分被光學濾波器42阻擋以使得其不到達感測器12。另一方面，具有激發波帶λ ex ±Δλ ex 的光34之一部分由二向色光束分離器40往回反射至光源6中。
在圖8中之光源6發射具有460nm之一波長之藍色光之情形中，光學系統8(顯微鏡)中之二向色光束分離器40具有處於514nm之波長之一通過(cut-on)。此光30穿過具有光致發光性質之層22上之透明或半透明物體2(晶圓)發光。具有光致發光性質層之層22發射穿過二向色光束分離器40及一高通濾波器42發送至感測器12(相機)之白色光32，該高通濾波器具有514nm之一波長之一通過。
圖9係根據本發明之另一實施例之系統1之一實施方案之一示意性表示。此處，除光源6(UV區域中之激發光)以外，亦提供另兩個光源60。另兩個光源60經配置以使得來自另一光源60之一激發光62經由透明或半透明物體2在光學系統8外部行進至具有光致發光性質之層22。此實施例中所展示之另一光源60之數目不應視為限制本發明之範疇。熟習此項技術者清楚，可根據檢測需要選擇另一光源60之數目。
在另一光源60係具有綠色光區域中之一激發光之一環形光之情形中，使用一不同組的濾波器來使範圍UV-綠光可用作激發波長可能係值得的。發射濾波器應僅透射紅光。此將阻擋來自透明或半透明物體2之藍光回應。
已參考特定實施例闡述本發明。然而，熟習此項技術者顯而易見，可在不背離隨後申請專利範圍之範疇之情況下做出更改及修改。
2‧‧‧透明或半透明物體
20‧‧‧真空構件
22‧‧‧層
24‧‧‧塊體層
25‧‧‧物鏡透鏡/顯微鏡物鏡
26‧‧‧反射塗層
29‧‧‧微孔隙
30‧‧‧激發光
31‧‧‧銷頂升孔
32‧‧‧發射光
34‧‧‧頂升銷

Claims (43)

  1. 一種用於一透明或半透明物體之背光檢測之物體載具，其包括：一載具底座；及一第一層，其具有光致發光性質，該第一層用於在該第一層之頂部上承載該透明或半透明物體。
  2. 如請求項1之物體載具，其中具有光致發光性質之該第一層包含具有光致發光性質之一塊體層以及在該第一層之一側處且面對該載具底座之一反射塗層。
  3. 如請求項2之物體載具，其中該塊體層係一多孔層。
  4. 如請求項3之物體載具，其進一步包括一真空構件，其安裝至該多孔層以使得一真空力穿過該塊體層之孔隙施加至該透明或半透明物體。
  5. 如請求項2之物體載具，其中該反射塗層係一鋁塗層。
  6. 如請求項1之物體載具，其中該第一層包括：一玻璃板，其具有一光致發光塗層；及一反射塗層，其位於該光致發光塗層面對該載具底座之一側上。
  7. 如請求項6之物體載具，其中該反射塗層係一鋁塗層。
  8. 如請求項6之物體載具，其中光致發光塗層由磷光體製成。
  9. 如請求項6之物體載具，其進一步包括一真空構件，其安裝至該玻璃板以使得一真空力穿過該玻璃板之微孔或微凹槽施加至該透明或半透明物體。
  10. 如請求項1之物體載具，其中該第一層之一第一大小及第一形狀與該透明或半透明物體之一第二大小及第二形狀至少相等。
  11. 如請求項1之物體載具，其中該物體載具係一晶圓夾盤且該透明或半透明物體係一晶圓。
  12. 如請求項11之物體載具，其中該第一層具有複數個銷頂升孔，其中該複數個銷頂升孔中之每一銷由與具有光致發光性質之該第一層相同之光致發光材料或材料組合物製成。
  13. 一種用於一透明或半透明物體之背光檢測之系統，其包括：一物體載具，其具有一載具底座及具有光致發光性質之一層；一第一光源，其配置於該物體載具上方以使得自該第一光源發射之第一激發光被引導穿過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層；一光學單元，其經調適以捕獲自具有光致發光性質之該層發射且行進穿過該透明或半透明物體之發射光；及一感測器，其用於暫存由該光學單元捕獲之該發射光。
  14. 如請求項13之系統，其中由該第一光源發射之該第一激發光具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶。
  15. 如請求項14之系統，其中該感測器經組態以使得一經暫存影像由一發射波帶λ em ±Δλ em 界定且其中λ em ±Δλ em ≠λ ex ±Δλ ex 。
  16. 如請求項13之系統，其中該第一光源係一寬頻發射光源，其中至少一個濾波器應用於該寬頻發射光源以便產生λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶。
  17. 如請求項16之系統，其中至少一個光學濾波器配置於該感測器之前方以使得僅具有該發射波帶λ em ±Δλ em 之經濾波光到達該感測器。
  18. 如請求項16之系統，其中該感測器對λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶不敏感且對該發射波帶λ em ±Δλ em 之至少一部分敏感。
  19. 如請求項13之系統，其中該感測器係一區掃描相機。
  20. 如請求項13之系統，其中該感測器係一線掃描相機。
  21. 如請求項20之系統，其中該感測器係一時間延遲積分線掃描相機。
  22. 如請求項13之系統，其中由該第一光源發射之該第一激發光行進穿過該光學單元到達具有光致發光性質之該層。
  23. 如請求項13之系統，其中由該第一光源發射之該第一激發光在該光學單元外部行進至具有光致發光性質之該層。
  24. 如請求項13之系統，其進一步包括發射第二激發光之一第二光源，其中：該第一光源發射之該第一激發光行進穿過該光學單元到達具有光致發光性質之該層；及該第二光源發射之該第二激發光在該光學單元外部行進至具有光致發光性質之該層。
  25. 如請求項13之系統，其中該第一光源係一燈或若干燈之一組合。
  26. 如請求項13之系統，其中該第一光源係一LED或若干LED之一組合。
  27. 如請求項13之系統，其中該第一光源係一雷射或若干雷射之一組合。
  28. 如請求項13之系統，其中該光學單元具有一顯微鏡物鏡及至少一個光學濾波器以使得來自具有光致發光性質之該層之僅具有λ em ±Δλ em 之一發射波帶之光到達該感測器。
  29. 如請求項28之系統，其中該顯微鏡物鏡界定一光束路徑，且一個二向色光束分離器配置於該光學單元中以使得具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自該至少一個第一光源之光耦合至該顯微鏡物 鏡之該光束路徑中。
  30. 如請求項28之系統，其中該顯微鏡物鏡界定一第一光束路徑，且具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自一第二光源之光界定不同於該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑之一照明光束路徑。
  31. 如請求項28之系統，其中：該顯微鏡物鏡界定一第一光束路徑；一個二向色光束分離器安置於該光學單元中以使得具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之光耦合至該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑中；及具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自一第二光源之光界定不同於該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑之一照明光束路徑。
  32. 如請求項13之系統，其中具有光致發光性質之該層由具有光致發光性質並塗佈有一反射材料之一塊體材料組成。
  33. 如請求項13之系統，其中具有光致發光性質之該層由一透明塊體材料組成，該透明塊體材料塗佈有具有光致發光性質之一第二材料，該第二材料塗佈有一反射材料。
  34. 一種用於一透明或半透明物體之背光檢測之系統，其包括：一物體載具，其具有一載具底座及具有光致發光性質之一層；一顯微鏡物鏡，其界定一第一光束路徑；至少一個第一光源，其中來自該至少一個第一光源之具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶之照明光經由該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑引導至該物體載具上以使得自該至少一個第一光源發射之該照明光通過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層；及一感測器，其經配置以使得僅具有一發射波帶λ em ±Δλ em 之光到 達該感測器，其中該光行進穿過該透明或半透明物體且藉助該顯微鏡物鏡捕獲。
  35. 如請求項34之系統，其中至少一個第二光源界定具有一第二光束路徑之一照明光束以使得具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之光沿該第二光束路徑引導至該透明或半透明物體，該第二光束路徑不同於該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑。
  36. 一種用於一透明或半透明物體之背光檢測之系統，其包括：一物體載具，其具有一載具底座及具有光致發光性質之一層；一顯微鏡物鏡，其界定一第一光束路徑；至少一個第一光源，其中具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶之照明光界定具有一第二光束路徑之一照明光束以使得具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之光沿該第二光束路徑引導至該透明或半透明物體，該第二光束路徑不同於該顯微鏡物鏡之該照明光束路徑；及一感測器，其經配置以使得僅具有一發射波帶λ em ±Δλ em 之光到達該感測器，其中該光行進穿過該透明或半透明物體且藉助該顯微鏡物鏡捕獲。
  37. 一種用於一透明或半透明物體之背光檢測之系統，其包括：一物體載具；一載具底座及具有光致發光性質之一塊體材料層，該塊體材料層在該載具底座之一側處塗佈有一反射塗層；一顯微鏡物鏡，其界定一照明光束路徑；至少一個第一光源，其中來自該至少一個光源之具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶之照明光經由該顯微鏡物鏡之該照明光束路徑引導至該物體載具上以使得自該至少一個光源發射之照明光通過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之該層；及 一感測器，其經配置以使得僅具有一發射波帶λ em ±Δλ em 之光到達該感測器，其中該光行進穿過該透明或半透明物體且藉助該顯微鏡物鏡捕獲。
  38. 如請求項37之系統，其中具有光致發光性質之該塊體層係一多孔層，且一真空構件安裝至該多孔層以使得一真空穿過該塊體層之孔隙施加至該透明或半透明物體。
  39. 一種用於一透明或半透明物體之背光檢測之方法，其包括以下步驟：引導具有λ ex ±Δλ ex 之一激發波帶之至少一個照明光束穿過該透明或半透明物體到達具有光致發光性質之一層上；捕獲自具有光致發光性質之該層以λ em ±Δλ em 之一發射波帶發射且行進穿過該透明或半透明物體之光；及自具有該發射波帶λ em ±Δλ em 之該光產生一影像；其中λ em ±Δλ em ≠λ ex ±Δλ ex 。
  40. 如請求項39之方法，其中使用一顯微鏡物鏡來捕獲自該透明或半透明物體發出之光，且將至少一個光學濾波器配置於一感測器之前方以使得僅具有該發射波帶λ em ±Δλ em 之光到達該感測器以便產生該影像。
  41. 如請求項40之方法，其中該顯微鏡物鏡界定一光束路徑，且將一個二向色光束分離器配置於一光學單元中以使得具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自至少一個第一光源之光耦合至該顯微鏡物鏡之該光束路徑中。
  42. 如請求項40之方法，其中該顯微鏡物鏡界定一第一光束路徑，且具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自至少一個第二光源之光界定不同於該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑之一照明光束路徑。
  43. 如請求項40之方法，其中該顯微鏡物鏡界定一光束路徑，且將 一個二向色光束分離器配置於一光學單元中以使得具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之光耦合至該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑中，且具有λ ex ±Δλ ex 之該激發波帶之來自至少一個第二光源之光界定不同於該顯微鏡物鏡之該第一光束路徑之一照明光束路徑。
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