JP7465425B2 - 検査用ウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査用ウェーハ - Google Patents
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Description
本実施形態では、レーザダイシング装置1(図1参照)を用いて検査用ウェーハ100(図2参照)に対しレーザ加工を行う。そして、レーザ加工後の検査用ウェーハ100の画像を用いてレーザ加工時の抜け光等によって発生したレーザ痕106(図3参照)を検出することにより、レーザ光の品質状態を確認する。
まず、レーザダイシング装置1について、図1を参照して説明する。図1は、レーザダイシング装置1の構成図である。
次に、検査用ウェーハ100を用いた第1の検査方法について、図4に示すフローチャートを参照して説明する。
ところで、検査用ウェーハ100の検査用基板の102の内部には、レーザ加工によって生じるレーザ痕106以外に、欠陥(例えば、空隙等)、不純物等が含まれている場合がある。同軸落射照明を行う場合、このようなレーザ加工の前から存在する欠陥、不純物等(以下、加工前欠陥という。)によっても散乱光が生じる。本実施形態では、加工前欠陥と、レーザ加工により生じるレーザ痕106とを区別して検出可能とする。
まず、検査用ウェーハ100がレーザダイシング装置1に搬入され、吸着ステージ13に吸着保持される(ステップS20)。そして、レーザ加工前の検査用ウェーハ100をIRカメラとしてのカメラ35で撮像し、そのレーザ加工前の撮像データを、例えば、制御部50のストレージに記憶する(ステップS21:加工前撮像工程)。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、検査用ウェーハ100の一面を照明し、貫通孔であるレーザ痕106を透過した光を検出する。
次に、検査用ウェーハ100を用いた第3の検査方法について、図8に示すフローチャートを参照して説明する。
上記の第1から第3の検査方法は、レーザダイシング装置1及び1Aを用いてレーザ痕106を検出するものであるが、レーザダイシング装置1を用いることなく、IRカメラ、画像処理部、モニタ等を備えた専用の検査装置を用いてレーザ痕106を検出するようにしてもよい。
Claims (8)
- 検査用基板と前記検査用基板の表面に形成されたカーボンブラック層とを備える検査用ウェーハにおいて、前記検査用基板の内部にレーザ光を集光して前記検査用基板の内部にレーザ加工領域を形成した後に、観察用光源を用いて前記検査用ウェーハを照明しながら、撮像装置を用いて前記検査用ウェーハの画像を撮像する撮像工程と、
前記検査用ウェーハの画像から前記レーザ光の抜け光により前記カーボンブラック層に形成されたレーザ痕を検出するためのデータを作成して出力する出力工程と、
を備える検査用ウェーハの検査方法。 - 前記観察用光源は、前記撮像装置の軸と同一の軸で前記検査用ウェーハを照明する同軸落射照明を行う、
請求項1記載の検査用ウェーハの検査方法。 - 前記レーザ加工領域を形成する前に、前記観察用光源を用いて前記検査用ウェーハを照明しながら、前記撮像装置を用いて前記検査用ウェーハの画像を撮像する加工前撮像工程をさらに備え、
前記出力工程では、前記レーザ加工領域を形成する前後の検査用ウェーハの画像から、前記レーザ光を集光することより形成された前記レーザ痕と、前記レーザ加工領域を形成する前から存在する加工前欠陥とを区別して検出するためのデータを出力する、
請求項2記載の検査用ウェーハの検査方法。 - 前記観察用光源は、前記検査用ウェーハの一方の面側に配置された透過照明用の光源であり、
前記撮像工程では、前記撮像装置を前記検査用ウェーハの他方の面側に配置して、前記観察用光源から照射された光のうち、前記レーザ痕を通過した光を撮像する、
請求項1記載の検査用ウェーハの検査方法。 - 前記検査用ウェーハの画像をモニタに表示する表示工程をさらに備える、請求項1から4のいずれか1項記載の検査用ウェーハの検査方法。
- 検査用基板と前記検査用基板の表面に形成されたカーボンブラック層とを備える検査用ウェーハにおいて、前記検査用基板の内部にレーザ光を集光して前記検査用基板の内部にレーザ加工領域を形成した後に、前記検査用ウェーハの画像を撮像する撮像装置と、
前記検査用ウェーハの画像を撮像するときに前記検査用ウェーハを照明する観察用光源と、
前記レーザ加工領域を形成した後の検査用ウェーハの画像から前記レーザ光の抜け光により前記カーボンブラック層に形成されたレーザ痕を検出するためのデータを作成して出力する出力部と、
を備える検査用ウェーハの検査装置。 - ウェーハの裏面側からレーザ光を集光して前記ウェーハの内部にレーザ加工領域を形成する場合に生じる前記レーザ光の抜け光を検査するための検査用ウェーハにおいて、
検査用基板と、前記検査用基板の表面に形成されたカーボンブラック層と、
を備える検査用ウェーハ。 - 前記カーボンブラック層は蛍光顔料を含む、
請求項7に記載の検査用ウェーハ。
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