TWI565627B - 具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、具有凸緣之耐熱性玻璃容器、及該等的製造方法 - Google Patents

具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、具有凸緣之耐熱性玻璃容器、及該等的製造方法 Download PDF

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TWI565627B
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Description

具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、具有凸緣之耐熱性玻璃容器、及該等的製造方法
本發明，是關於具有凸緣的耐熱性玻璃筒體積疊構造體、具有凸緣的耐熱性玻璃容器，特別是大型之具有凸緣的耐熱性玻璃容器、及該等的製造方法，以及關於耐熱性玻璃構件接著構造體及其製造方法，特別是對太陽能電池、有機EL等之大型基板進行加熱處理時所使用之適合當作大型耐熱性玻璃容器來使用之具有凸緣的耐熱性玻璃容器及其製造方法。
以往的大型耐熱性玻璃容器，向來主要為使用石英玻璃等(專利文獻1)，對於具有凸緣之大型耐熱性玻璃容器之情形時，是在凸緣部藉由使石英玻璃構件疊合，而能夠任意地調整長度。然而，在將該凸緣彼此積疊進行熔接時，由於凸緣很厚，非常難以利用火炎加工來熔接，在加工中造成許多破裂，在改善上費時費力因此生產 性不佳。又，在熔接後必須要退火，為了製造較大的大型耐熱性玻璃容器時，也必須要有較大的退火爐，單就導入大型退火爐此點而言，在生產設備上亦有其限度。
再者，最近太陽能電池、有機EL之基板大型化日益加速，用以進行加熱處理之大型耐熱性玻璃容器更加被要求大型化。可惜的是如前所述，在製造大型耐熱性玻璃容器、例如大型的石英玻璃容器已到了其限度。
又，要製造更大口徑時，外形及壁厚的公差就更差，現狀上以火炎加工進行熔接的大小在500mm以上時，長度的公差為±50mm左右、平面度為±5mm左右，並且會有在熔接面上無法充分確保氣體密封性的狀況。
如此之尺寸公差一旦不佳時，就會變得無法控制周圍氣體中的氧氣濃度，特別是在製造大口徑有機EL電視的過程中，有機EL會因氧氣而造成劣化，導致有機EL基板與背面蓋板(cap plate)貼合之環氧樹脂的品質劣化而在貼合時產生間隙的問題。
再者，於最近在製程低溫化的進行，也開始檢討使用、或是有一部分已開始使用石英玻璃以外的玻璃，例如高矽氧玻璃、(PYREX的日本註冊商標)、(VYCOR的日本註冊商標)、 (TAMPAX的日本註冊商標)、(Neoceramu的日本註冊商標)、(Neorex的日本註冊商標)、(FireLite的日本註冊商標)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本實公平7-14194號公報
[專利文獻2]日本特表2008-511527號公報
本發明的目的，在於提供具有優秀尺寸精度之具有凸緣的耐熱性玻璃筒體積疊構造體、以及具有凸緣的耐熱性玻璃容器，特別是大型之具有凸緣的耐熱性玻璃容器、及該等的製造方法、和耐熱性玻璃構件接著構造體和其製造方法。特別是，本發明的目的，在於提供對太陽能電池、有機EL等之大型基板進行加熱處理時所使用之適合當作大型耐熱性玻璃容器來使用之具有凸緣的耐熱性玻璃容器及其製造方法。再者，本發明的目的，在於提供能夠簡單地製造出可大型化之具有凸緣的耐熱性玻璃容器之具有凸緣的耐熱性玻璃容器的製造方法以及可大型化之具有凸緣的耐熱性玻璃容器。
為了達成上述課題，本發明者們，對於具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法在多次精闢研究後之結果，找出藉由以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑對 具有溝部之凸緣部進行接著，能夠簡單地製造出大型的耐熱性玻璃容器而完成本發明。並且，亦確認了藉由本發明的製造方法所取得的大型耐熱性玻璃容器是具有優秀的尺寸精度。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法，是藉由使複數個於至少一端部具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相互相向的一對具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之呈相向的凸緣部的相向面抵接接合並加以接著所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法，其特徵在於包含以下之製程：(A)準備複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之製程，且於作為上述凸緣部之相向面之全部或是一部分的凸緣面上具有溝部；及(B)以使彼此相互相向之凸緣面中之至少一方具有溝部之方式，對上述複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，設定成彼此相向的製程；及(C)使上述所設定之複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向之各別之凸緣面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體的製程；及(D)將上述接合體以100℃以上的溫度進行加熱，來接著上述所接合之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的凸緣部彼此，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製 程。
藉由重覆上述(A)~(D)的製程，可以製造出積疊有3個以上具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的構造體，又重覆上述(A)~(C)的製程，於最初先形成積疊有3個以上具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的接合體，然後將該接合體加熱，亦即藉由進行上述(D)製程，還可以藉由一次的加熱處理，製造出積疊有3個以上具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的構造體。
於上述(C)製程中，以以下方式來構成為適切，使上述所設定之複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向之各別之凸緣面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向地夾持之狀態下使之抵接後，藉由從在該彼此相向之凸緣部的側面呈開口之溝部開口部，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該溝部內來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體。
又，於上述(C)製程中，亦能夠以以下方式來構成，使上述所設定後之複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向於上下方向，位於下方位置的凸緣面係具有溝部，並且位於上方位置的凸緣面為不具有溝部的平坦面，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該下方側之凸緣面的溝部，然後，將上方側的凸緣面抵接接合於該下方側的凸緣面而形成積疊接合體。
作為以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑的黏性，以B型黏度計在30rpm、23℃的條件下測量時， 該泥漿狀接著劑的黏度為3000mPa．s以上為佳
上述(C)製程以在室溫進行，又上述(D)製程以在500℃以上進行為適切。
作為上述具有凸緣之耐熱性玻璃者，適宜採用石英玻璃。又，形成於上述凸緣面之溝部的寬幅以凸緣面的一半以下，個數設為2個以上為佳。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法之第1形態，是由本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法所製造之作為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、或是從其作為中間形成物所形成之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體，來製造具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，其特徵為包含以下之製程：(a)準備上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體、以及耐熱性玻璃蓋體之製程；該耐熱性玻璃蓋體，係具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體的開口部予以閉塞之形狀，且在與該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之開口部呈相向的面上形成有溝部、或是不形成溝部地呈平坦面；及(b)以使彼此相向之上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體的凸緣面、或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體之相向面之中之至少一方具有溝部之方式，將兩者設定成彼此相向的製程；及 (c)上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體的相向面，係以彼此相向之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面以及蓋體相向面之各別之至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由對該溝部充填以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體的製程；及(d)將上述具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體以100℃以上的溫度進行加熱，來接著上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體與耐熱性玻璃蓋體，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製程。
使用上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體之情形時，重覆上述(A)~(D)的製程，製造出積疊有3個以上具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的構造體，對於此積疊構造體，藉由進行上述(a)~(d)之製程，可以製造出具有積疊有3個以上之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之構造的耐熱性玻璃容器。
又，使用上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體之情形時，重覆上述(A)~(C)的製程，於最初先形成積疊有3個以上具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的接合體，然後對該積疊接合體，藉由進行上述(a)~(d)之製程，可以製造出具有積疊有3個以上之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之構造的耐熱性玻璃容器。
於上述(c)製程中，以以下方式來構成為適切，上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體的相向面，係以彼此相向之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面以及蓋體相向面之各別之至少一方具有溝部之方式在彼此相向地夾持之狀態下進行抵接後，藉由從在該彼此相向之凸緣部的側面呈開口之溝部開口部，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該溝部內來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體的製程。
又，於上述(c)製程中，亦能夠以以下方式來構成，使上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體與耐熱性玻璃蓋體彼此相向於上下方向，位於下方位置的凸緣面(或是不存在有凸緣部的端部面)或是蓋體相向面係具有溝部，並且位於上方位置的蓋體相向面或是凸緣面(或是不存在有凸緣部的端部面)為不具有溝部的平坦面，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該下方側的凸緣面(或是不存在有凸緣部的端部面)或是蓋體相向面的溝部，然後，使上方側之蓋體相向面或是凸緣面(或是不存在有凸緣部的端部面)抵接接合於該下方側的凸緣面(或是不存在有凸緣部的端部面)或是蓋體相向面，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造 方法之第2形態，是從本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體，來製造具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，其特徵為包含以下之製程：(i)準備上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的開口部予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體之製程；及(ii)將彼此相向之上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體之相向面，設定成彼此相向的製程；及(iii)將上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體的相向面予以熔接，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製程。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法之第3形態，是藉由將：由以蓋體將一端側開放口閉塞且於另一端側開放口設有凸緣部所成之具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體、與1個或是複數個於至少一端部具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，彼此相互相向之凸緣部的相向面予以抵接接合並接著所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，其特徵為包含以下之製程：(1)準備上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，且該耐熱性玻璃容器本體在作為上述凸緣部之相向面之全部或是一部 分的凸緣面具有溝部；及(2)以使彼此相互相向之凸緣面中之至少一方具有溝部之方式，將上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體，與上述1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，設定成彼此呈相向的製程；及(3)使上述所設定之具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向之各別的凸緣面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體的製程；及(4)將上述接合體以100℃以上的溫度進行加熱，來接著上述所接合之具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體的凸緣部彼此，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製程。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體，是藉由本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體，其特徵為具有以下的構造，將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑充填於：使複數個於至少一端部具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體當中彼此相互相向之一對具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之呈相向的凸緣部的相向面部分所形成的溝部，並透過該接著劑使具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此抵接接合且加 熱接著的構造。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的第1形態，是藉由本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法的第1形態所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器，其特徵為，具有：於端部側具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體的開放口予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體，並具有以下的構造，將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑充填於：在彼此相互相向之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之端部側之凸緣部的相向面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體的相向面之至少一方所形成的溝部，並透過該接著劑，使具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體，與耐熱性玻璃蓋體抵接接合且加熱接著的構造。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的第2形態，是藉由本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法的第2形態所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器，其特徵為，具有：上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的開放口予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體，並具有：將彼此相 互相向之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面與耐熱性玻璃蓋體的相向面予以熔接的構造。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的第3形態，是藉由本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法的第3形態所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器，其特徵為，具有：由以蓋體將一端側開放口閉塞且於另一端側開放口設有凸緣部所成之具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體、以及1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，並具有以下的構造，使上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向之各別之凸緣面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部，並透過該接著劑，使具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體抵接接合且加熱接著的構造。
於本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器及其製造方法中，由耐熱性玻璃蓋體所閉塞之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之位於開放口側的凸緣部並不是必要的構成，也可以採用不設置凸緣部而將耐熱性玻璃蓋 體直接地接合接著或是熔接於開放口側的端部面之構成。又，在上述實施形態的說明中或是圖示例中，是對於經由凸緣部來設置耐熱性玻璃蓋體之構成進行說明，而對於將耐熱性玻璃蓋體直接安裝在開放口側的端部面之構成的說明，為了避免冗長而省略之。
本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體之製造方法，是使一對耐熱性玻璃構件的相向面抵接接合並予以接著之耐熱性玻璃構件接著構造體的製造方法，其特徵為包含以下之製程：(甲)準備在作為上述耐熱性玻璃構件的相向面之雙方或是一方的面上具有溝部的一對耐熱性玻璃構件的製程；及(乙)以使彼此相互相向之耐熱性玻璃構件之面中之至少一方具有溝部之方式，將上述一對耐熱性玻璃構件設定成彼此相向的製程；及(丙)上述所設定之一對耐熱性玻璃構件彼此相向之各別的面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部來進行接合，而形成耐熱性玻璃構件接合體的製程；及(丁)將上述耐熱性玻璃構件接合體以100℃以上的溫度進行加熱，來接著上述一對耐熱性玻璃構件彼此，製成為耐熱性玻璃構件接著構造體的製程。
於上述(丙)製程中，以以下方式來實施為 佳，上述所設定之一對耐熱性玻璃構件彼此相向之各別的面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向地夾持之狀態下進行抵接後，藉由從在該彼此相向之耐熱性玻璃構件的側面呈開口之溝部開口部，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該溝部內來進行接合，而形成耐熱性玻璃構件接合體。
於上述(丙)製程中，亦能夠以以下方式來實施，使上述所設定之一對耐熱性玻璃構件彼此相向於上下方向，位於下方位置之耐熱性玻璃構件的相向面係具有溝部，並且位於上方位置之耐熱性玻璃構件的相向面為不具有溝部的平坦面，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該下方側之耐熱性玻璃構件的相向面的溝部，然後，使上方側之耐熱性玻璃構件的相向面抵接接合於該下方側之耐熱性玻璃構件的相向面，而形成耐熱性玻璃構件接合體。
本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體，是藉由本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體的製造方法所製造之耐熱性玻璃構件接著構造體，其特徵為具有以下的構造， 將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑充填於：在彼此相向之一對耐熱性玻璃構件之呈相向的面部分所形成的溝部，並透過該接著劑使耐熱性玻璃構件彼此抵接接合且接著的構造。
根據本發明，可以提供具有優秀尺寸精度之具有凸緣的耐熱性玻璃筒體積疊構造體、及具有凸緣的耐熱性玻璃容器，特別是大型之具有凸緣的耐熱性玻璃容器、及該等的製造方法，以及耐熱性玻璃構件接著構造體及其製造方法，特別是，可以提供對太陽能電池、有機EL等之大型基板進行加熱處理時所使用之適合當作大型耐熱性玻璃容器來使用之具有凸緣的耐熱性玻璃容器及其製造方法。並且，達成可以提供具有優秀尺寸精度，可大型化之具有凸緣的耐熱性玻璃容器，特別是石英玻璃容器等顯著效果。再者，根據本發明，達成可以提供即使大型時亦具有優秀尺寸精度與優秀氣體密封性的大型耐熱性玻璃容器，例如可以簡單地製造耐熱性玻璃方型容器的製造方法等顯著效果。
10a、10b、10c、26‧‧‧耐熱性玻璃凸緣部
11a、11b‧‧‧耐熱性玻璃筒體基體部
12a、12b、12c‧‧‧耐熱性玻璃筒體
13‧‧‧具有凸緣之耐熱性玻璃容器本體
14a、14b、28‧‧‧凸緣相向面
16‧‧‧具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體
16a‧‧‧具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體
18a、18b、18c‧‧‧溝部
19a、19b‧‧‧溝部開口部
20‧‧‧接著劑
22‧‧‧耐熱性玻璃蓋體
24、24a、24b‧‧‧開放口
30‧‧‧耐熱性玻璃容器
30a‧‧‧耐熱性玻璃容器接合體
32‧‧‧蓋體相向面
34、36‧‧‧溝部
34a、36a‧‧‧溝部開口部
40‧‧‧耐熱性玻璃構件接著構造體
40a‧‧‧耐熱性玻璃構件接合體
42、44‧‧‧耐熱性玻璃構件
46、48‧‧‧相向面
50a、52a‧‧‧溝部開口部
50、52‧‧‧溝部
W‧‧‧熔接
第1圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體之一實施形態的側面說明圖。
第2圖是第1圖之要部的擷取性立體說明圖。
第3圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體之另一實施形態的側面說明圖。
第4圖是第3圖之要部的擷取性立體說明圖。
第5圖(a)(b)(c)是顯示溝部形狀的3個例子 的上表面說明圖。
第6圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器之一實施形態的側面說明圖。
第7圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器之另一實施形態的側面說明圖。
第8圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器之其他實施形態的側面說明圖。
第9圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃方形容器之一例的立體說明圖。
第10圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃圓形容器之一例的立體說明圖。
第11圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體之製造方法的製程順序的流程圖。
第12圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法中，其第1形態之製程順序之一例的流程圖。
第13圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法中，其第2形態之製程順序之一例的流程圖。
第14圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器之製造方法中，其第3形態之製程順序之一例的流程圖。
第15圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器之再一其他實施形態的側面說明圖。
第16圖是顯示本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體之一例的立體說明圖。
第17圖是顯示本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體 之另一例的立體說明圖。
第18圖是顯示本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體的製造方法之製程順序之一例的流程圖。
以下依據所添附圖面來說明本發明的實施形態，不過圖示例僅為例示性之表示，在不脫離本發明之技術思想下當然可以進行各種的變形。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16是藉由以下方式所製造，如第1圖~第2圖所示，於至少一端部(圖示例為兩端部)具有耐熱性玻璃凸緣部10a、10b的複數個(圖示例為2個)具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b，於相互相向之耐熱性玻璃凸緣部10a、10b的凸緣相向面14a、14b之雙方或是一方(圖示例為雙方)形成有溝部18a、18b，以SiO2微粒子作為主成分的泥漿狀接著劑20充填於該溝部18a、18b，並中介該接著劑20將具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b予以抵接接合而接著。又，具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b是將複數個(2個以上)積疊所製造的，但因說明的方便上，在圖示例中僅顯示將具有2個凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b予以積疊時之情形。
再來，藉由於第11圖所示的流程圖，對具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法進行說明。首先，先準備於上述耐熱性玻璃凸緣部10a、10b之成相向面的全部或是一部分的凸緣相向面14a、14b上具有溝 部18a、18b的複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b(製程100)。上述耐熱性玻璃凸緣部10a、10b是接著(例如，藉由如專利文獻2所記載的方法來接著)或是熔接於耐熱性玻璃筒體基體部11a、11b。上述溝部18a、18b是利用微細機械加工等之習知手段所形成。
接著，以使相互彼此相向之凸緣相向面14a、14b之中的至少一方具有溝部之方式(在第1圖的例子中，是分別於凸緣相向面14a、14b各形成有3個溝部18a、18b)，將上述複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b設定成彼此相向(製程102)。
上述所設定後之複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b，以使其彼此相向之各別的凸緣相向面14a、14b之至少一方具有溝部之方式(在第1圖的例子中，是分別於凸緣相向面14a、14b各形成有3個溝部18a、18b)，在彼此相向地抵接之狀態下，藉由於該溝部18a、18b所充填之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20來進行接合而形成具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a(製程104)。在此狀態下，使以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑至乾燥為止地，放置一晚左右使之乾燥。
此接合製程以在室溫下進行為適切。具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a與具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16兩者，在意義上雖以前者是在加熱前的狀態下，而後者是如後述之方式在受到加熱處理受後的狀態下而言，不過由於圖面上是以相同的形狀顯示， 所以在第1圖中，將具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a的引出線以假想線(虛線)來表示，將具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16的引出線以實線來表示，用以區別兩者。
於上述製程104中，作為將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑20充填於溝部18a、18b之手法者，雖可思及各種手法，不過其中例如以以下的方式來構成為適切，如第1圖~第2圖所示，經上述所設定後之複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b，以使其彼此相向之各別的凸緣相向面14a、14b之至少一方具有溝部之方式，使之彼此相向地在夾持狀態下(例如，利用夾具等抵接固定凸緣部)進行抵接後，從在該彼此相向之耐熱性玻璃凸緣部10a、10b的側面呈開口的溝部開口部19a、19b，藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20注入於該溝部18a、18b內來進行接合而形成具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a。
又，於上述製程104中，作為將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑20充填於溝部18a、18b之其他手法者，亦能夠以以下的方式來構成，例如，如第3圖~第4圖所示，使上述所設定後之複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b彼此相向於上下方向，位於下方位置的凸緣相向面14a係具有溝部18a，並且位於上方位置的凸緣相向面14b為不具有溝部的平坦面，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20注入於該下方側之凸緣相向面14a的溝部18a，然後，將上方側的凸緣相向面 14b抵接接合於該下方側的凸緣相向面14a而形成具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a。又，於第3圖~第4圖中，雖顯示於凸緣相向面14b沒有形成溝部仍是平坦面之構成，而其他構成由於與第1圖~第2圖相同，故對於相同構件是標示以相同的符號來圖示。在第3圖~第4圖的構成中，是具有不經由上述溝部開口部19a、19b而能夠將接著劑充填注入之優點。
於最後，將上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a放置一晚左右使之乾燥後(安裝有夾具等之情形時則將夾具卸下)，將上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a安裝於焙燒爐，以100℃以上的溫度進行加熱，將上述一對具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b的耐熱性玻璃凸緣部10a、10b彼此進行接著來作成積疊構造體16(製程106)。
作為上述耐熱性玻璃筒體12a、12b之材質以石英玻璃為佳，為石英玻璃之情形時，在焙燒爐以500℃以上、較佳為1000℃以上1400℃以下來進行加熱。上述耐熱性玻璃筒體12a、12b的材質，為高矽氧玻璃、 (PYREX的日本註冊商標)、(VYCOR的日本註冊商標)、(TAMPAX的日本註冊商標)、(Neoceramu的日本註冊商標)、(Neorex的日本註冊商標)、 (FireLite的日本註冊商標)的情形時，則以在200℃以上，較佳為400℃以上500℃以下進行加熱為適切。
利用第1圖及第2圖，來對本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16的構造之一例進行說明。於第1圖中，將以SiO2為主成分的泥漿狀接著劑20充填(具體上為流入)於形成在耐熱性玻璃凸緣部10a、10b的溝部18a、18b，於抵接狀態的耐熱性玻璃凸緣部10a、10b最初為接合成為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a，該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a更進一步地藉由被加熱，透過該接著劑20而成為使其耐熱性玻璃凸緣部10a、10b被強固接著之具有凸緣的耐熱性玻璃筒體積疊構造體16。
又，利用第3圖及第4圖，來對本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16的構造之另一例進行說明。於第3圖中，將以SiO2為主成分的泥漿狀接著劑20充填(具體上為流入)於形成在耐熱性玻璃凸緣部10a的溝部18a，於抵接狀態的耐熱性玻璃凸緣部10a、10b最初為接合而成為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a，該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a更進一步地藉由被加熱，透過該接著劑20而成為使其耐熱性玻璃凸緣部10a、10b被強固接著之具有凸緣的耐熱性玻璃筒體積疊構造體16。
以上述SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑，作為SiO2微粒子者，以非晶質SiO2微粒子為佳，具體上，以高矽氧或石英玻璃的微粒子為適切。
上述SiO2微粒子的粒徑在500μm以下為佳，在100μm以下為更佳，控制粒徑以成為最密充填的粒度 分布溶於溶媒尤為適切。高矽氧或是石英玻璃微粒子，亦可以將玻璃材料粉碎，進行粒度篩整等來進行調整。
作為上述接著劑所使用的溶媒，只要是能夠取得溶解SiO2微粒子而成泥漿狀接著劑者即可並無特別的限制，例如純水或酒精，也可以從其他高純度化學藥品(例如Si的烷氧化物(alkoxide))等來選擇。例如將高矽氧或石英玻璃微粒子溶入於純水之情形時，接著劑成為具有白濁黏性的泥漿。
有關於上述接著劑的特性，雖並沒有特別的限制，但若黏性太小之情形時，在進行接著至乾燥為止，接著劑會流失而無法做工業性的使用。又，若黏性太大時，則難以操作接著劑。
由於如此之理由下，該接著劑的黏性，以B型黏度計在30rpm、23℃的條件下測量時之接著劑的黏度以3000mPa．s以上為佳，以從4000mPa．s至15000mPa．s左右為更佳。
以該SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑的固體部分以65%以上為佳，80%以上為較佳，83%以上為更佳。
作為以上述SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑，例如，以含有專利文獻2所記載之非晶質SiO2粒子的水性泥漿為適切。
又，要提高凸緣彼此的接著強度時，只要增多形成於凸緣面之溝部的個數即可。又，溝部的形狀並沒有特別的規制，可以任意地決定形狀無妨。基本上，只要 以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑可流入並將凸緣面予以接著之形狀者即可。又，溝部之加工，以在通常的微細機械加工中心以編排程式進行研削即可，溝部的形狀可以藉由程式任意地設計。
關於形成於上述凸緣面之溝部的形狀，並沒有特別地限定，只要以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑可充填或是注入於溝部內之形狀即可，任何形狀皆無妨。作為能夠使用之溝部形狀的例示，於第5圖(a)(b)(c)顯示出形成於上述凸緣相向面14a之溝部18a形狀的3個例子。又，在將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑予以乾燥焙燒的過程中，為了使溶媒可以效率良好地從泥漿狀接著劑蒸發，對於石英玻璃板等耐熱性玻璃板之凸緣部的端面所形成之溝部開口部，係以儘可能增多設置之方式來設計溝部的形狀為佳。
作為上述耐熱性玻璃筒體及後述之具有凸緣之耐熱性玻璃容器所使用的耐熱性玻璃材料之材質者，可以使用習知的耐熱性玻璃，雖並無特別地限制，但以在20℃~700℃之範圍內的熱膨脹係數為1×10-7~1×10-5(K-1)的玻璃為佳，具體上，以含有85質量%以上之SiO2的摻雜或是非摻雜的矽氧鹽玻璃為適切。作為該矽氧鹽玻璃者，例如，可舉出：高矽氧玻璃、(PYREX的日本註冊商標)、(VYCOR的日本註冊商標)、(TAMPAX的日本註冊商標)、 (Neoceramu的日本註冊商標)、(Neorex的日本註冊商標)、(FireLite 的日本註冊商標)及石英玻璃等之高耐熱性玻璃，石英玻璃則更佳。
上述耐熱性玻璃材料的形狀並沒有特別的限制，只要能配合具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的形狀以及後述之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的形狀做適當的選擇即可。對於上述耐熱性玻璃材料的製造法並沒有特別的限制，是能夠藉由習知的方法來取得。例如，耐熱性玻璃板使用之時，例如塊體形狀之塊從切片或，高溫加熱成型之方法入手可。
以下說明於第1圖及第3圖所示之本發明中，所使用之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的形狀尺寸。該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b的耐熱性玻璃凸緣部10a、10b，為寬幅20mm×壁厚20mm×長度50cm以上，於該耐熱性玻璃凸緣部10a、10b，在單面形成2條以上之寬幅5mm~10mm、深度5mm~10mm的溝部18a、18b，來將凸緣彼此對合之情形時，以製成可將泥漿狀接著劑20流入於該溝部18a、18b之構成為適切。此時，溝部18a、18b的形狀為直線或曲線皆無妨。
接著，對於本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法之第1形態關進行說明。本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法之第1形態，是從本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法所製造之作為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、或是從作為中間形成物所形成之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體，來製造如第6圖或是第7圖所示之具有凸緣之耐 熱性玻璃容器30的方法。又，具有凸緣之耐熱性玻璃容器30由於分類為方型耐熱性玻璃容器及圓型耐熱性玻璃容器，為了幫助理解，藉由第9圖及第10圖的立體說明圖來顯示方型耐熱性玻璃容器30及圓型耐熱性玻璃容器30的形狀。
第9圖是顯示方型耐熱性玻璃容器30的立體說明圖。該方型耐熱性玻璃容器30，係積疊：具有耐熱性玻璃凸緣部10a、10a之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、具有耐熱性玻璃凸緣部10b、10b之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b、以及具有耐熱性玻璃凸緣部10c、10c之具有凸緣的耐熱性玻璃筒體12c等3個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，再者，於該最上部的耐熱性玻璃凸緣部10c的上表面載置耐熱性玻璃蓋體22，並透過被充填於各別溝部18a、18b、18c、34、36之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20，將各別之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a~12c、和耐熱性玻璃蓋體22予以相互地接合及接著。
第10圖是顯示圓型耐熱性玻璃容器30的立體說明圖。該圓型耐熱性玻璃容器30，係積疊：具有耐熱性玻璃凸緣部10a、10a之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、具有耐熱性玻璃凸緣部10b、10b之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b、以及具有耐熱性玻璃凸緣部10c、10c之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12c等3個具有凸緣的耐熱性玻璃筒體，再者，於該最上部的耐熱性玻璃凸緣部10c的上表面載置耐熱性玻璃蓋體22，並透過被充填於各別溝 部18a、18b、18c、34、36之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20，將各別之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a~12c、和耐熱性玻璃蓋體22予以相互地接合及接著。又，於第10圖中，與在第9圖之構件相同的構件是使用相同的符號來圖示。
再者，藉由第6圖所示之耐熱性玻璃容器30的側面說明圖及第12圖所示的流程圖來對本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法之第1形態進行說明。對於本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，是使用上述之本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法所製造之作為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、或是使用作為中間形成物所形成之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體，來製造具有凸緣之耐熱性玻璃容器30的方法。由於可以以同等的步驟一起利用具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16以及具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a，為了避免冗長，只要沒有其他的步驟，在以下是以並列方式表示並說明之。
首先，準備上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a(如圖所示地開口於上下兩方向)及耐熱性玻璃蓋體22(製程200)。該耐熱性玻璃蓋體22，是使用具有將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a之一方的開放口(在第6圖的例中，為上部側之開放口)24予以閉塞的形狀，且與該開放口24側之最上端部之耐熱性玻璃凸緣 部26的凸緣相向面28相向之蓋體相向面32，為形成有溝部、或是沒有形成溝部地作成平坦面(在第6圖的例中，是於凸緣相向面28形成有溝部34、並於蓋體相向面32形成有溝部36)者。
其次，相互相向之上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a之凸緣相向面28與耐熱性玻璃蓋體22之蓋體相向面32之中的至少一方，以設有溝部之方式(在第6圖的例中，是兩者都形成有溝部)將兩者設定成彼此相向(製程202)。
上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a之最上端部的凸緣相向面28，與耐熱性玻璃蓋體22之蓋體相向面32，係以彼此相向之凸緣相向面28及蓋體相向面32之各別之至少一方具有溝部(在第6圖的例中，是兩者都形成有溝部34、36)之方式在彼此相向抵接的狀態下，藉由充填於該溝部34、36之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20，予以接合而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體30a(製程204)。
於最後，將上述耐熱性玻璃容器接合體30a以100℃以上的溫度進行加熱，將上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a與耐熱性玻璃蓋體22予以接著而作成具有凸緣之耐熱性玻璃容器30(製程206)。又，在第6圖的圖示例中，由於具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體30a 與具有凸緣之耐熱性玻璃容器30是以相同形狀顯示，故將前者的引出線以假想線，後者的引出線以實線來加以區別。
於上述製程204，是以以下方式來構成為適切，如第6圖所示，彼此相向之凸緣相向面28及蓋體相向面32之各別之至少一方具有溝部(在第6圖的例中，是形成有溝部34、36)並在彼此相向夾持狀態下，使上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a的凸緣相向面28與耐熱性玻璃蓋體22的蓋體相向面32抵接後，從於該彼此相向之耐熱性玻璃凸緣部26與耐熱性玻璃蓋體22的側面呈開口的溝部開口部34a、36a，藉由將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑20注入於該溝部內使之接合而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體30a。
又，於上述製程204，亦能夠以以下方式來構成，如第7圖所示，使上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a與耐熱性玻璃蓋體22彼此相向於上下方向，並使位於下方位置的凸緣相向面28或是蓋體相向面32具有溝部(在第7圖的例中，是於凸緣相向面28具有溝部34)，並且位於上方位置的蓋體相向面或是凸緣面為不具有溝部仍是平坦面(在第7圖的例中，蓋體相向面32沒有形成溝部而仍是平坦面)，將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑20注入於該下方側之凸緣面或是蓋體相向面的溝部(在第7圖的例中為凸緣相向面28的溝 部34)，然後，將上方側的蓋體相向面或是凸緣面(在第7圖的例中為耐熱性玻璃蓋體22)抵接接合於該下方側的凸緣面或是蓋體相向面(在第7圖的例中為凸緣相向面28)而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體。於第7圖中，與第6圖相同之構件是以相同的符號標示。
在使用上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16之情形時，重覆第11圖所示之製程100~106，可以製造積疊有3個以上之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的構造體，對於該積疊構造體，藉由進行第12圖之製程200~206，可以製造：具有積疊3個以上之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之構造的耐熱性玻璃容器。
又，使用上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a之情形時，是重覆第11圖所示之製程100~104，於最初先形成積疊有3個以上之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的接合體，對於該積疊接合體，藉由進行第12圖之製程200~206，可以製造：具有積疊3個以上之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之構造的耐熱性玻璃容器。
又，對於具有凸緣之耐熱性玻璃容器30所使用之耐熱性玻璃材料的材質和以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑，由於同樣地可以使用前述之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體在製造上所使用的材質和接著劑，在此省略再次的說明。
再者，藉由第8圖所示之耐熱性玻璃容器30的側面說明圖及第13圖所示的流程圖來對本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法之第2形態進行說明。 對於本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，是使用上述之本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16，並藉由熔接耐熱性玻璃蓋體22來製造具有凸緣之耐熱性玻璃容器30的方法。
首先，準備上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16以及具有可將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16的開放口24予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體22(製程210)。
其次，將相互相向之上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16的凸緣相向面28與耐熱性玻璃蓋體22的蓋體相向面32，設定成彼此相向(製程212)。
於最後，將上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16的凸緣相向面28與耐熱性玻璃蓋體22的蓋體相向面32熔接而製成具有凸緣之耐熱性玻璃容器30(製程214)。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16，如第1圖及第3圖所示，係具有以下之構造者。在使複數個於至少一端部具有耐熱性玻璃凸緣部10a、10b之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b彼此相互相向之一對具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b之呈相向之耐熱性玻璃凸緣部10a、10b的凸緣相向面部分14a、14b形成有溝部18a、18b，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20充填於該溝部18a、18b，並藉由該接著劑20使具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a、12b彼此抵 接接合且加熱接著之構造。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器30的第1形態，如第6圖及第7圖所示，係具有以下之構造者。其具有：於端部側具有耐熱性玻璃凸緣部10b之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a的開放口24予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體22，並將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20充填於：在彼此相互相向之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a之端部側的耐熱性玻璃凸緣部10b的相向面與耐熱性玻璃蓋體22的相向面之至少一方所形成的溝部(在第6圖中是顯示於雙方形成有溝部34、36之例，而在第7圖中是顯示僅於耐熱性玻璃凸緣部10b形成有溝部34之例)，並藉由該接著劑20使具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a與耐熱性玻璃蓋體22抵接接合且被加熱接著之構造。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器30的第2形態，如第8圖所示，係具有以下之構造者。其具有：上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16的開放口24予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體22，並熔接W彼此相互相向之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體 16的凸緣相向面28與耐熱性玻璃蓋體22的蓋體相向面32之構造。
上述對本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器及其製造方法之實施形態的說明中，由耐熱性玻璃蓋體22所閉塞之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體16或是具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體16a之位於開放口24側的凸緣部並不是必要的構成，也可以採用不設置凸緣部而將耐熱性玻璃蓋體直接地接合接著或是熔接於開放口側的端部面之構成。又，在上述實施形態的說明中或是圖示例中，是對於經由凸緣部來設置耐熱性玻璃蓋體之構成進行了說明，而對於將耐熱性玻璃蓋體直接安裝在開放口側的端部面之說明，為了避免煩雜，故省略之。
針對於本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造上，是先行製造出以蓋體將具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的一端側開放口予以閉塞並且於另一端側開放口設置凸緣部之具有凸緣部的耐熱性玻璃容器本體，然後使用該具有凸緣之耐熱性玻璃容器本體亦可以製造具有凸緣之耐熱性玻璃容器，於以下以第14圖及第15圖來說明。第14圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法中，其第3形態之製程順序之一例的流程圖。第15圖是顯示本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器之再一其他實施形態的側面說明圖。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法的第3形態，如第14圖所示，是藉由將具有：以耐熱性玻璃蓋體22將一端側開放口24a予以閉塞且於另一端側開放口24b設有耐熱性玻璃凸緣部10a所成之具有凸 緣部之耐熱性玻璃容器本體13、以及於至少一端部具有耐熱性玻璃凸緣部10b之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b之1個或是複數個彼此相互相向之耐熱性玻璃凸緣部10a、10b的凸緣相向面14a、14b予以抵接接合並進行接著所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器30的製造方法。在第14圖中，雖圖示為將具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b安裝於具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體13之情形，不過也能夠將具有凸緣之耐熱性玻璃筒體依序安裝在具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b。又，也可以藉由接合接著或是熔接來將耐熱性玻璃蓋體22預先安裝於具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體13其一端側開放口的端部面。又，在第14圖中，與第1圖同樣之構成者是由相同的符號所標示，在此省略再次說明。
對於本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法的第3形態，是藉由第14圖及第15圖來進行說明。
首先，準備在上述耐熱性玻璃凸緣部10a、10b之相向面的全部或是一部分的凸緣相向面14a、14b上具有溝部18a、18b之上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體13、以及1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b(製程220)。
其次，以使彼此相互相向之凸緣相向面14a、14b中之至少一方具有溝部18a、18b之方式，將上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體13與上述1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b設定成彼此相向(製程222)。
再者，上述所設定之具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體13與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b彼此相向之各別之凸緣相向面14a、14b之至少一方以具有溝部18a、18b之方式在彼此相向並抵接之狀態下，利用充填於該溝部18a、18b之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20來進行接合而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體30a(製程224)。
於最後，將上述耐熱性玻璃容器接合體30a以100℃以上的溫度進行加熱，來將上述所接合之具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體30a的耐熱性玻璃凸緣部10a、10b彼此接著而製成具有凸緣的耐熱性玻璃容器30(製程226)。
本發明之具有凸緣之耐熱性玻璃容器30的第3形態，如第14圖所示，係具有：以耐熱性玻璃蓋體22將具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12a的一端側開放口24a予以閉塞且於另一端側開放口24b設置耐熱性玻璃凸緣部10a之具有凸緣部的耐熱性玻璃容器本體13、以及1個或是複數個具有凸緣的耐熱性玻璃筒體12b。上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體13與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體12b彼此相向之各別之凸緣相向面14a、14b，係以至少一方具有溝部18a、18b之方式在彼此相向並抵接之狀態下，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20充填於該溝部18a、18b。並藉由該接著劑20使上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體13與1個或是複數個具有凸緣的耐熱性玻璃筒體12b抵接接合且被加 熱接著而成為具有凸緣的耐熱性玻璃容器30。
於本發明中，所使用之藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於溝部來接著耐熱性玻璃構件彼此的方法是能夠有各種的應用，於以下藉由第16圖~第18圖對於耐熱性玻璃構件彼此的接著方法進行說明。
第16圖是顯示本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體之一例的側面說明圖。如第16圖所示，藉由對形成在一對耐熱性玻璃構件42、44之各別相向面46、48之一方或是雙方(在圖示例中為雙方)的溝部50、52，充填以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20，來接著該一對的耐熱性玻璃構件42、44而形成耐熱性玻璃構件接著構造體40。第17圖是顯示本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體的另一例子的側面說明圖，不過在第17圖中，是顯示僅於耐熱性玻璃構件42形成有溝部50的例子。
第18圖是顯示本發明之耐熱性玻璃構件接著構造體的製造方法的製程順序的流程圖。準備一對耐熱性玻璃構件42、42，其係在成為上述耐熱性玻璃構件42、44之相向面46、48的雙方或是單方(在第16圖的圖示例為雙方)的面上具有溝部50、52(製程300)。
其次，使彼此相互相向之耐熱性玻璃構件42、44的相向面46、48中之至少一方(在第16圖的圖示例為雙方)以具有溝部50、52之方式來將上述一對耐熱性玻璃構件42、44設定成彼此相向(製程302)。
使上述所設定之一對耐熱性玻璃構件42、44 彼此相向之各別的相向面46、48，係以至少一方(在第16圖的圖示例為雙方)具有溝部50、52之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由充填於該溝部50、52之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑20進行接合而形成耐熱性玻璃構件接合體40a。(在第16圖中，由於具有與耐熱性玻璃構件接著構造體40相同的形狀，故以符號40a表示，並以該引出線繪製成假想線。)(製程304)。
於最後，將上述耐熱性玻璃構件接合體40a以100℃以上的溫度進行加熱，將上述一對耐熱性玻璃構件彼此接著來作為耐熱性玻璃構件接著構造體40(製程306)。
作為上述之以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑20之充填方法的具體性手法者，可以應用以下的方法。於上述製程304中，使上述所設定之一對耐熱性玻璃構件42、44彼此相向之各別的面，係以至少一方(在第16圖的圖示例為雙方)具有溝部50、52之方式在彼此相向並夾持狀態下使之相抵接後，從開口於該彼此相向之耐熱性玻璃構件42、44之側面的溝部開口部50a、52a，藉由將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑20注入於該溝部50、52內進行接合來形成耐熱性玻璃構件接合體40a為佳。
又，於上述製程304也可以以下述方式來進行，如第17圖所示，使上述所設定的一對耐熱性玻璃構件42、44彼此相向於上下方向，位於下方位置之耐熱性玻璃構件42的相向面46為具有溝部50，並且位於上方 位置於之耐熱性玻璃構件的相向面48為不具有溝部的平坦面，將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑20注入於該下方側之耐熱性玻璃構件42之相向面46的溝部50，然後，使上方側之耐熱性玻璃構件44的相向面48抵接接合於該下方側之耐熱性玻璃構件42的相向面46來形成耐熱性玻璃構件接合體40a。
又，對於耐熱性玻璃構件接著構造體40所使用之耐熱性玻璃材料的材質和以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑，由於同樣地可以使用前述之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體在製造上所使用的材質和接著劑，在此省略再次的說明。
在本發明中，由於是使用以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑來製作耐熱性玻璃筒體積疊構造體、耐熱性玻璃容器、以及耐熱性玻璃構件接著構造體，故可以減少因此等之耐熱性玻璃構造體或耐熱性玻璃容器的熱膨脹等產生的伸縮。又，對於本發明之耐熱性玻璃容器，由於是透過凸緣部來接著並組裝呈分割之具有凸緣的耐熱性玻璃筒體，所以具有在小空間中製造耐熱性玻璃容器的優點。
又，由於是可以透過凸緣部來組裝呈分割之具有凸緣的耐熱性玻璃筒體，所以具有對於尺寸精度、垂直度等亦可以利用凸緣部來進行調整的優點。
再者，在運搬大型耐熱性玻璃容器時，必須非常地費事費工，但若是利用呈分割之具有凸緣之耐熱性 玻璃筒體在實際所要使用的場所將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體予以積疊組合，在該場所只要對由具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體所製作成的耐熱性玻璃容器接合體進行焙燒而製成耐熱性玻璃容器的話，就可以達成運搬所花費的成本亦可以降低之極大的效果。
[實施例]
以下，藉由實施例來具體說明本發明，不過本發明並非僅限定在後述實施例。
(實施例1)
對石英玻璃的微粉進行調整，準備1μm以下的細粒子、5μm-10μm的中間粒子、50μm-100μm的大粒子，以可成為最密充填的比率進行混合，並將之溶入於純水中，來調製以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑。其中水分量為約10%左右，以B型黏度計在30rpm的旋轉條件、室溫(23℃)下之上述接著劑的黏度為6500mPa．sec。
又，於寬幅50mm、長度150mm、壁厚20mm的石英玻璃板，如第2圖般地形成有2條寬幅5mm、深度5mm的溝部，並使該溝部不會相互位在相同位置之方式進行設定，再將上述調製好的泥漿狀接著劑注入於該溝部。使該2片石英玻璃板在貼合的狀態下乾燥一晚來作成石英玻璃板接合體，將該接合體以1200℃加熱1小時。並將2 片該石英玻璃板在貼合狀態下之石英玻璃板接著體的端部切削成厚度5mm，並依據JAS 1級測試單板積層測試，進行了三點彎曲試驗。
將樣本載置在以支點間距離30mm所放置的2根支撐棒上，以樣本的表面為上面，以與跨距中央垂直相交之方式放置。以荷重速度0.5mm/min的條件將荷重施加在加重棒的有效長度上，測量了在室溫下的耐荷重。其結果，確認到以所取得之接著劑所接著的石英玻璃板接著體具有充分的耐加重性能。
(實施例2~4)
以第5圖(a)(b)(c)所示之幾何學圖樣將溝部分別形成於與實施例1相同樣的3片石英玻璃板(第5圖(a)：實施例2；第5圖(b)：實施例3；第5圖(c)：實施例4)，將與實施例1相同之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於各別的溝部之後，將沒有溝部的石英玻璃板與之接合，使2片石英玻璃板在貼合狀態下乾燥一晚來作成石英玻璃板接合體。然後將之以600℃進行加熱。以與實施例1相同之方式將端部切削成5mm。對於此等樣本進行了與實施例1相同的3點彎曲試驗。其結果，確認到以所取得之接著劑所接著之各別之石英玻璃板接著體皆具有充分的耐加重性能。
(實施例5)
準備8片1000mm×500mm×壁厚7mm的石英玻璃板，使用該等玻璃板各每4片製作成2個方筒狀的石英玻璃筒體。於該方筒狀石英玻璃筒體的下部4邊，將寬幅50mm×壁厚20mm×長度1000mm的凸緣部套合並加以熔接。於該凸緣部以間距50mm形成20個寬幅10mm×深度5mm×長度40mm的溝部。
使此等溝部在上下的凸緣以成為交互之方式來形成，然後疊合該凸緣部。將與實施例1相同之以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑流注於4邊凸緣部中之一邊凸緣部的溝部，使之乾燥一晚。然後，將上述方筒狀石英玻璃筒體旋轉90度後，對下一個凸緣部之溝部流注以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑，再使之乾燥一晚。反覆此動作，對2個石英玻璃筒體之所要相向之所有凸緣部的溝部注入以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑，使凸緣部彼此接合，製作成2個石英玻璃筒體的積疊接合體。
然後，將該石英玻璃筒體積疊接合體以1200℃進行加熱，進行接著劑的焙燒，製作成石英玻璃筒體積疊構造體。於該石英玻璃筒體積疊構造體的上端部熔接1000mm×1000mm×壁厚7mm的石英玻璃板(蓋體)，製作成具有凸緣之方型石英玻璃容器。
在此方型石英玻璃容器內，可進行有機EL照明之基板的熱處理程序，由於是能夠減低水分的周圍環境氣體，所以不會產生有機EL成分的劣化，而能夠維持有 機EL照明的照度。
(實施例6)
準備2片寬幅50mm、長度150mm、壁厚8mm的 (Neoceramu的日本註冊商標)，於該 (Neoceramu的日本註冊商標)的表面，將寬幅10mm、深度3mm、長度150mm的溝部以10mm間隔沒有重疊地形成於上下的板，然後將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該溝部之中，使之乾燥一晚後，以500℃進行加熱。該2片板，係以充分的強度所接著。
(實施例7)
準備5根外徑700mm、壁厚8mm、長度500mm的石英玻璃管。於各石英玻璃管的上下，使外徑800mm、內徑700mm、壁厚20mm的石英玻璃凸緣對玻璃管外周部堆焊增厚石英玻璃構件後加以研削而形成。於該凸緣部，於直徑方向以20度間隔，朝向圓的中心，形成寬幅10mm、深度10mm、長度30mm的溝部，並使溝部不會重疊之方式，將2根玻璃管上下重疊，並以夾具固定該凸緣部。以注射器從內側將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部，使之乾燥一晚後。然後，僅對凸緣部分以溫度600℃進行加熱。然後再接著，於該已接著之石英玻璃管的凸緣部，將下一根石英玻璃管以凸緣部予以重疊，然後對形成於凸緣部的溝部，以注射器注入石英玻璃泥 漿。
重覆該操作，將5根石英玻璃管全部接合，形成外徑700mm、長度2500mm之石英玻璃管積疊接合體。於最後，對該石英玻璃管積疊接合體之最上端部之凸緣部之上面的溝部，注入以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑，然後將壁厚10mm的石英玻璃板載置並接合於該最上端部的凸緣部，製作成具有凸緣之圓型石英玻璃容器接合體。將該圓型石英玻璃容器接合體以1200℃進行加熱，進行接著劑的焙燒，製作成接著構造體的圓型石英玻璃容器。
(比較例1)
雖要對2片寬幅50mm、長度150mm、壁厚20mm的石英玻璃板進行熔接，但由於壁厚太厚，熔接時產生了龜裂。從沒有發生龜裂的部分，切割出樣本並進行了與實施例1相同之3點彎曲試驗，由於熔接無法有效的施行，所以板彼此很容易就從熔接面造成剝離。
(比較例2)
準備2片寬幅50mm、長度150mm、壁厚20mm的石英玻璃，使該2片石英玻璃板形成寬幅3mm的間隙，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑注入於該間隙。將該石英玻璃板的貼合物以1200℃進行加熱，但加熱中途發生石英玻璃板脫落。
10a、10b‧‧‧耐熱性玻璃凸緣部
11a、11b‧‧‧耐熱性玻璃筒體基體部
12a、12b‧‧‧耐熱性玻璃筒體
14a、14b‧‧‧凸緣相向面
16‧‧‧具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體
16a‧‧‧具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體
18a、18b‧‧‧溝部
19a、19b‧‧‧溝部開口部
20‧‧‧接著劑

Claims (10)

  1. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法，是藉由使複數個於至少一端部具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相互相向的一對具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之呈相向的凸緣部的相向面抵接接合並加以接著所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製造方法，其包含以下之製程：(A)準備複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體之製程，且於作為上述凸緣部之相向面之全部或是一部分的凸緣面上具有溝部；及(B)以使彼此相互相向之凸緣面中之至少一方具有溝部之方式，對上述複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，設定成彼此相向的製程；及(C)使上述所設定之複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向之各別之凸緣面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體的製程；及(D)將上述接合體以100℃以上的溫度進行加熱，來接著上述所接合之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體的凸緣部彼此，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的製程。
  2. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，是從申請專利範圍第1項所述之製造方法所製造之作為具有 凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、或是從其作為中間形成物所形成之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊接合體，來製造具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，其包含以下之製程：(a)準備上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體、以及耐熱性玻璃蓋體之製程；該耐熱性玻璃蓋體，係具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體的開口部予以閉塞之形狀，且在與該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之開口部呈相向的面上形成有溝部、或是不形成溝部地呈平坦面；及(b)以使彼此相向之上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體的凸緣面、或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體之相向面之中之至少一方具有溝部之方式，將兩者設定成彼此相向的製程；及(c)上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體的相向面，係以彼此相向之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面以及蓋體相向面之各別之至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由對該溝部充填以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體的製程；及(d)將上述具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體以 100℃以上的溫度進行加熱，來接著上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體與耐熱性玻璃蓋體，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製程。
  3. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，是從申請專利範圍第1項所述之製造方法所製造之作為具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體，來製造具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，其包含以下之製程：(i)準備上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的開口部予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體之製程；及(ii)將彼此相向之上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體之相向面，設定成彼此相向的製程；及(iii)將上述所設定之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體的相向面予以熔接，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製程。
  4. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體，是藉由申請專利範圍第1項所述的製造方法所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體，其具有以下的構造，將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑充填於：使複數個於至少一端部具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體當中彼此相互相向之一對具有凸緣之耐熱性玻璃筒 體之呈相向的凸緣部的相向面部分所形成的溝部，並透過該接著劑使具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此抵接接合且加熱接著的構造。
  5. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃容器，是藉由申請專利範圍第2項所述的製造方法所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器，其具有：於端部側具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體的開放口予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體，並具有以下的構造，將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑充填於：在彼此相互相向之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體之端部側之凸緣部的相向面或是不存在有凸緣部的端部面，與耐熱性玻璃蓋體的相向面之至少一方所形成的溝部，並透過該接著劑，使具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體或是接合體，與耐熱性玻璃蓋體抵接接合且加熱接著的構造。
  6. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃容器，是藉由申請專利範圍第3項所述的製造方法所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器，其具有：上述具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體、以及具有用以將該具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊構造體的開放口予以閉塞之形狀的耐熱性玻璃蓋體，並具有：將彼此相互相向之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體積疊 構造體之凸緣面或是不存在有凸緣部的端部面與耐熱性玻璃蓋體的相向面予以熔接的構造。
  7. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，是藉由將：由以蓋體將一端側開放口閉塞且於另一端側開放口設有凸緣部所成之具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體、與1個或是複數個於至少一端部具有凸緣部之具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，彼此相互相向之凸緣部的相向面予以抵接接合並加以接著所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製造方法，其包含以下之製程：(1)準備上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，且該耐熱性玻璃容器本體在作為上述凸緣部之相向面之全部或是一部分的凸緣面具有溝部；及(2)以使彼此相互相向之凸緣面中之至少一方具有溝部之方式，將上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體，與上述1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，設定成彼此呈相向的製程；及(3)使上述所設定之具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向之各別的凸緣面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部來進行接合，而形成具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體的製程；及(4)將上述接合體以100℃以上的溫度進行加熱， 來接著上述所接合之具有凸緣之耐熱性玻璃容器接合體的凸緣部彼此，製成為具有凸緣之耐熱性玻璃容器的製程。
  8. 一種具有凸緣之耐熱性玻璃容器，是藉由申請專利範圍第7項所述之製造方法所製造之具有凸緣之耐熱性玻璃容器，其具有：由以蓋體將一端側開放口閉塞且於另一端側開放口設有凸緣部所成之具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體、以及1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體，並具有以下的構造，使上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體彼此相向之各別之凸緣面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部，並透過該接著劑，使上述具有凸緣部之耐熱性玻璃容器本體與1個或是複數個具有凸緣之耐熱性玻璃筒體抵接接合且加熱接著的構造。
  9. 一種耐熱性玻璃構件接著構造體的製造方法，是使一對耐熱性玻璃構件的相向面抵接接合並予以接著之耐熱性玻璃構件接著構造體的製造方法，其包含以下之製程：(甲)準備在作為上述耐熱性玻璃構件的相向面之雙方或是一方的面上具有溝部的一對耐熱性玻璃構件的製程；及(乙)以使彼此相互相向之耐熱性玻璃構件之面中之 至少一方具有溝部之方式，將上述一對耐熱性玻璃構件設定成彼此相向的製程；及(丙)上述所設定之一對耐熱性玻璃構件彼此相向之各別的面，係以至少一方具有溝部之方式在彼此相向並抵接的狀態下，藉由將以SiO2微粒子為主成分的泥漿狀接著劑充填於該溝部來進行接合，而形成耐熱性玻璃構件接合體的製程；及(丁)將上述耐熱性玻璃構件接合體以100℃以上的溫度進行加熱，來接著上述一對耐熱性玻璃構件彼此，製成為耐熱性玻璃構件接著構造體的製程。
  10. 一種耐熱性玻璃構件接著構造體，是藉由申請專利範圍第9項所述的製造方法所製造之耐熱性玻璃構件接著構造體，其具有以下的構造，將以SiO2微粒子為主成分之泥漿狀接著劑充填於：在彼此相向之一對耐熱性玻璃構件之呈相向的面部分所形成的溝部，並透過該接著劑使耐熱性玻璃構件彼此抵接接合且接著的構造。
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