TWI510088B

TWI510088B - 具有雙元件彩色濾光器陣列及三通道彩色輸出之影像感測器

Info

Publication number: TWI510088B
Application number: TW100115804A
Authority: TW
Inventors: Hsin Chih Tai; Yin Qian; Duli Mao; Vincent Venezia
Original assignee: Omnivision Tech Inc
Priority date: 2010-07-23
Filing date: 2011-05-05
Publication date: 2015-11-21
Also published as: US8817142B2; US20120019696A1; CN102348075B; US20130083224A1; US8670052B2; TW201233167A; CN102348075A; US20130083223A1; US8345132B2

Description

具有雙元件彩色濾光器陣列及三通道彩色輸出之影像感測器

本發明大體上係關於影像感測器，且詳言之但非排他地，係關於彩色影像感測器。

彩色影像感測器用在各種應用中，自簡單且低廉之行動電話相機及數位相機至複雜且昂貴之醫學及科學設備。習知彩色影像感測器包括具有覆疊感光元件之陣列的彩色濾光器陣列(「CFA」)的像素陣列，感光元件將經濾色之光的強度轉換成電信號。

CFA通常包括用於產生三通道彩色輸出之三個彩色濾光器元件。通常，使用三原色濾光器來產生三原色信號：紅色(R)、綠色(G)及藍色(B)信號。因此，像素陣列中之每一像素對三原色中之一者敏感，且輸出相應色彩信號。舉例而言，為了產生R信號，藉由紅色濾光器元件來覆蓋該像素，為了產生G信號，藉由綠色濾光器元件來覆蓋該像素，且為了產生B信號，藉由藍色濾光器元件來覆蓋該像素。因此，使用至少三個不同之彩色濾光器元件。該三個不同之彩色濾光器元件使用三個單獨之製造程序來製造整個三色元件CFA。

圖1說明使用R像素、G像素及B像素形成的實例拜耳(Bayer)型樣CFA 10。CFA 10產生R、G及B信號之三通道彩色輸出。CFA 10可具有數百或甚至數千個列及行。拜耳型樣CFA使用巨集像素(macropixel)群組20之重複型樣。每一巨集像素群組20包括四個微型像素30：一個R像素、一個B像素及兩個G像素。單一巨集像素群組20產生一R信號、一G信號(將兩個G信號組合)及一B信號。每一巨集像素群組20可被視為由彩色影像感測器產生之彩色影像的最小元素，其中每一巨集像素群組20對應於輸出影像資料中之單一影像像素。換言之，輸出影像之解析度直接對應於巨集像素群組20之線性密度。由單一巨集像素群組20之個別微型像素30輸出的R、G及B信號經組合以形成輸出彩色影像資料中之個別彩色影像像素。

R、G及B信號自每一巨集像素群組20之提取為直接的。R像素產生R信號，G像素產生G信號，且B像素產生B信號。當然，對於相同光強度，G信號大於R或B信號，其模擬人眼對綠光比對紅光及藍光高之敏感度。因此，習知彩色影像感測器具有CFA之濾光器元件中之相異色彩的數目與輸出色彩通道之數目之間的一一對應。

參看以下圖式描述本發明之非限制性及非詳盡實施例，在以下圖式中，除非另有指明，否則貫穿各個視圖，相同參考數字指代相同部分。

本文中描述具有雙元件彩色濾光器陣列(「CFA」)及三通道彩色輸出之影像感測器的裝置及其操作及製造方法的實施例。在以下描述中，陳述眾多具體細節以提供對該等實施例之透徹理解。然而，熟習相關技術者將認識到，本文中所描述之技術可在無該等具體細節中之一或多者的情況下加以實踐或以其他方法、組件、材料等來加以實踐。在其他情況下，不詳細展示或描述熟知結構、材料或操作以避免混淆某些態樣。

遍及本說明書對「一實施例」之參考意謂結合該實施例所描述之特定特徵、結構或特性包括於本發明之至少一實施例中。因此，在本說明書全文各處之片語「在一實施例中」的出現未必均指同一實施例。此外，可在一或多個實施例中以任何合適方式組合特定特徵、結構或特性。

圖2為說明根據本發明之實施例的彩色成像系統100(亦稱作彩色影像感測器100)之方塊圖。彩色成像系統100之所說明實施例包括一像素陣列105、讀出電路110、控制電路115及一輸出埠125。所說明之實施例進一步包括一色彩信號組合電路(「CSCC」)120，但一些實施例可在無CSCC 120或CSCC 120被停用或繞過之情況下操作。在一實施例中，彩色成像系統100之所說明組件皆整合於單一半導體晶粒上，該單一半導體晶粒具有僅具有兩種類型之彩色濾光器元件之一CFA但自該晶粒輸出三通道彩色影像資料。

像素陣列105為像素(例如，像素P1、P2、...、Pn)之二維(「2D」)陣列。在一實施例中，每一像素為互補金氧半導體(「CMOS」)成像像素。如所說明，將每一像素配置成列(例如，列R1至Ry)及行(例如，行C1至Cx)以獲取人、地點或物件之影像資料，該影像資料接著可用來呈現人、地點或物件之2D影像。在一實施例中，像素陣列105為背照式(「BSI」)影像陣列。在一實施例中，像素陣列105為前照式(「FSI」)影像陣列。像素陣列105包括安置於像素陣列105之光入射側之上的個別彩色濾光器元件或彩色濾光器陣列(「CFA」)之型樣。彩色濾光器元件型樣跨像素陣列105在每一巨集像素群組135內重複。每一巨集像素群組135由多個個別像素P1至Pn(亦稱作微型像素以強調其作為給定巨集像素群組之成員的關係)組成。在一實施例中，每一巨集像素群組135對應於輸出彩色影像137內之個別影像像素且包括四個像素(例如，P1至P4、P5至P8等)。

在每一像素已獲取其影像資料或影像電荷之後，藉由讀出電路110讀出影像資料。讀出電路110可包括放大電路、類比轉數位(「ADC」)轉換電路或其他電路。在一實施例中，讀出電路110可沿著讀出行線而一次讀出一列影像資料(經說明)，或可使用各種其他技術來讀出影像資料(未經說明)，諸如，串列讀出或同時對所有像素之完全並列讀出。

本發明之實施例使用色彩組合器單元來組合兩個色彩通道以產生一彩色影像之三個色彩通道。在第一實施例中，色彩組合器單元包括用於將由像素陣列105輸出之兩個色彩信號組合以產生三色彩通道影像資料的電路(例如，數位邏輯、類比求和電路、類比乘法電路、其他類比/數位電路、微處理器及軟體/韌體邏輯等)。在第二實施例中，色彩組合器單元使用兩個單獨之彩色濾光器之濾光器堆疊來實施以在光學上組合與該等彩色濾光器元件中之每一者相關聯的色彩通道以產生第三色彩通道。在此第二實施例中，像素陣列105輸出三個色彩信號。

在一實施例中，像素陣列105將讀出線140上之影像信號輸出至讀出電路110，讀出電路110包括兩個輔色通道，諸如青藍色(C)通道及黃色(Y)通道(經說明)、C通道及洋紅色(M)通道、M通道及Y通道，或其他通道。此兩通道彩色資料接著輸入至CSCC 120中，CSCC 120為組合該兩通道影像資料以產生彩色影像137之三通道影像資料的色彩組合器單元。舉例而言，三通道影像資料可包括C、Y及綠色(G)色彩通道(經說明)；C、M及藍色(B)色彩通道；M、Y及紅色(R)色彩通道；或其他色彩通道。在一實施例中，CSCC 120包括將兩個輔色通道變換成三個原色通道R/G/B的其他電路，R/G/B為常見彩色影像格式。

在一實施例中，像素陣列105將讀出線140上之影像信號輸出至包括三個色彩通道之讀出電路110。在此實施例中，可能不包括CSCC 120，或CSCC 120在其他情況下被停用/繞過。或者，可啟用CSCC 120以將來自像素陣列105之三個色彩通道變換至三通道原色組合，或甚至自包括兩個輔色之一組合變換至包括不同輔色之另一組合。直接自像素陣列105輸出之三色彩通道組合之實例包括C/Y/G、C/M/B、M/Y/R或其他組合。

雖然CSCC 120說明為與讀出電路110分離，但在一些實施例中，CSCC 120之功能性及/或邏輯可完全或部分地併入至讀出電路110中。在一實施例中，CSCC 120可甚至在外部耦合至晶粒，像素陣列105、讀出電路110及控制電路115整合於該晶粒上。在一實施例中，CSCC 120係使用硬體來實施。在一實施例中，CSCC 120可甚至部分或完全地用軟體來實施。

控制電路115耦合至像素陣列105以控制像素陣列105之操作特性。舉例而言，控制電路115可產生用於控制影像獲取之快門信號。在一實施例中，該快門信號為用於同時使像素陣列105內之所有像素能夠在單一獲取窗期間同時擷取其各別影像資料的全域快門信號。在一替代實施例中，該快門信號為一滾動快門信號，藉此在連續獲取窗期間依序地啟用每一列、每一行或每一群像素。

如與習知拜耳型樣中所使用之三個彩色濾光器元件相反，本發明之實施例可使用僅兩個彩色濾光器元件之各種組合來實施巨集像素135。拜耳型樣中所使用之R、G、B色彩稱作原色或原色通道，而R、G及B之組合稱作原色組。拜耳型樣亦可使用替代輔色，諸如青藍色(C)、洋紅色(M)及黃色(Y)。根據以下方程式(方程式1)至(方程式6)，使原色與輔色相關：

C=B+G　(方程式1)

M=B+R　(方程式2)

Y=R+G　(方程式3)

R=(Y+M-C)/2　(方程式4)

G=(Y-M+C)/2　(方程式5)

B=(C+M-Y)/2　(方程式6)

基於上述方程式，為獲得R、G及B信號，習知CFA使用三個單獨之R、G及B彩色濾光器元件或三個單獨之C、M及Y彩色濾光器元件。在任一種習知情況下，使用三個單獨之彩色濾光器元件，其在製造期間要求三個相異之製造程序以敷設三種不同色彩之濾光器材料。

方程式(1)至方程式(3)在圖3中示意性地表示，其中每一圖之垂直軸為正規化敏感度，且水平軸為波長。圖4說明C敏感度函數與Y敏感度函數之乘法導致G敏感度函數(例如，G=C*Y)。因此，G色彩信號可由藉由分別被C彩色濾光器元件及Y彩色濾光器元件覆疊之光感測器輸出的C信號及Y信號產生(亦即，G=C*Y)。此外，參考方程式(1)，B信號可由C色彩信號及G色彩信號產生(亦即，B=C-G)，且R色彩信號可由Y色彩信號及G色彩信號產生(亦即，R=Y-G)。圖5說明分別為C彩色濾光器元件及Y彩色濾光器元件之兩個實例敏感度函數。亦說明C敏感度函數與Y敏感度函數之乘積，其為G敏感度函數。

圖6A至圖6C說明根據本發明之實施例製造使用兩種類型之彩色濾光器元件產生兩通道影像信號之巨集像素群組，該等影像信號可經組合以產生第三通道用於三通道彩色輸出。巨集像素群組600為圖2中所說明之巨集像素群組135之一個可能實施。巨集像素群組600包括四個像素605、610、615及620。像素605及620包括由具有第一色彩之彩色濾光器元件631(例如，作為實例說明青藍色濾光器元件)覆蓋的單獨之光感測器630(在圖6C之橫截面圖中僅說明一個)。像素610及615包括由具有與第一色彩不同之第二色彩的彩色濾光器元件636(例如，黃色濾光器元件)覆蓋的光感測器635。圖6A說明第一製造步驟，其中將第一彩色濾光器層安置於像素陣列之上，且將其圖案化以在自像素610及615移除時覆蓋像素605及620。圖6B說明第二製造步驟，其中在剩餘之暴露像素610及615之上形成第二彩色濾光器層。圖6C說明沿圖6B中之線A-A'的橫截面圖。

在圖6A至圖6C之所說明實施例中，像素605及620貢獻於C色彩信號。然而，C色彩信號可來自像素605、像素620或兩者之組合。像素610及615貢獻於Y色彩信號。然而，Y色彩信號可來自像素610、像素615或兩者之組合。G色彩信號係基於C色彩信號與Y色彩信號之乘積而產生。在操作期間，藉由巨集像素群組600實施之像素陣列105輸出具有兩種類型之色彩信號的影像資料(亦即，兩色彩通道影像資料)。此兩色彩通道影像資料由讀出電路110讀出且提供至CSCC 120。在一實施例中，CSCC 120包括用於組合兩個彩色影像信號以產生額外之第三彩色影像信號，使得可自輸出埠125輸出三通道影像信號的操作。在C及Y彩色濾光器元件之實例中，CSCC 120可包括將C色彩信號與Y色彩信號相乘以產生G色彩信號的乘法器。然而，如下文所論述，彩色濾光器元件之其他組合可能要求加法或減法函數以基於自像素陣列105輸出之兩個色彩通道而產生第三色彩通道信號。

在一實施例中，CSCC 120可進一步包括一色彩變換器，使得輔色信號(例如，C、M、Y)可變換成原色信號(例如，R、G、B)或甚至促進兩組不同輔色信號之間的變換。以此方式，彩色成像系統100可能能夠選擇並輸出多種不同之三通道色彩組(例如，RGB、CYG、CMB、MYR或其他色彩組)。如下文所論述，該變換器可包括加法及/或減法函數。舉例而言，若巨集像素群組600包括C及Y彩色濾光器元件，且藉由CSCC 120經由C色彩信號與Y色彩信號之相乘而產生C色彩信號，則CSCC 120內包括之變換器函數可包括用以經由C-G(方程式1)產生B色彩信號或經由Y-G(方程式2)產生R色彩信號的差函數(difference function)。

圖7A至圖7C說明根據本發明之實施例製造使用能夠直接輸出三個色彩通道的兩種類型之彩色濾光器元件的巨集像素群組700。巨集像素群組700為圖2中所說明之巨集像素群組135之一個可能實施。巨集像素群組700包括四個像素705、710、715及720。像素710及715包括各自由兩個彩色濾光器元件731及732覆蓋的光感測器730(在圖7C之橫截面圖中僅說明一個)，該兩個彩色濾光器元件各自具有不同色彩(例如，彩色濾光器元件731為青藍色，且彩色濾光器元件732為黃色，其他色彩組合為可能的)。像素705及720各自包括由單一類型之彩色濾光器元件覆蓋的光感測器。在所說明之實施例中，像素705由C彩色濾光器元件覆蓋，而像素720由Y彩色濾光器元件覆蓋。在一實施例中，一透明平坦化層可安置於像素705及720之上，使得像素陣列105之頂面變平以用於微透鏡之應用。

圖7A說明第一製造步驟，其中第一彩色濾光器層(例如，青藍色濾光器材料)安置於像素陣列之上，且經圖案化以在自每一四像素巨集像素群組700中之一像素(例如，像素720)移除時覆蓋該巨集像素群組700中之三個像素(例如，像素705、710及715)。圖6B說明第二製造步驟，其中第二彩色濾光器層(例如，黃色濾光器材料)形成於每一巨集像素群組700內之像素中之三者(例如，像素710、715及720)之上。此導致該等像素中之兩者包括兩個彩色濾光器元件之彩色濾光器堆疊。圖6C說明沿圖7B中之線B-B'的橫截面圖。在所說明之實施例中，使用一透明平坦化元件(PL)使Y彩色濾光器元件與相鄰濾光器堆疊齊平。

在圖7A至圖7C中所說明之實施例中，像素710及715由兩種不同類型之彩色濾光器元件覆蓋。像素710及715之敏感度為此兩種不同類型之彩色濾光器元件之乘積。堆疊兩個不同之彩色濾光器元件造成光學倍增效應，與使兩個不同之色彩信號相乘類似。在所說明之實施例中，像素710及715用於產生G色彩信號，此係因為G敏感度函數為C敏感度函數與Y敏感度函數之乘積。

因此，以巨集像素群組700之實施例實施的像素陣列105能夠以僅兩種相異類型之彩色濾光器元件輸出具有三種不同類型之色彩信號的影像資料(亦即，三色彩通道影像資料)。在一實施例中，CSCC 120可包括用以將自像素陣列105讀出之影像資料變換成不同之三色彩通道組的變換器。舉例而言，彩色影像系統100可輸出包括原色RGB之三色彩通道信號。在此種情況下，變換器可基於C與G色彩信號之差而產生B色彩信號，且基於Y與G色彩信號之差而產生R色彩信號。

應瞭解，彩色濾光器元件之次序可顛倒(例如，青藍色在頂部且黃色在底部)。此外，在一些實施例中，僅巨集像素群組700內之單一像素包括雙彩色濾光器堆疊，而由單一彩色濾光器覆蓋之其他像素中之兩者可使其輸出色彩信號組合以使敏感度朝彼特定色彩增加。

返回至圖5，本發明之實施例看起來減少G色彩信號與個別C或Y色彩信號之間的色彩串擾，此係因為G色彩信號為個別C與Y色彩信號之乘積。此外，可藉由選擇適當C及Y敏感度函數使G敏感度函數之頻寬延長或變化來針對給定應用最佳化G敏感度函數。

在一實施例中，一對像素(例如，605及610)可在邏輯上成組以形成一巨集像素群組(例如，貢獻於彩色影像137內之單一像素的像素之最小邏輯分組)。如圖6A至圖6C中所見，產生三個色彩通道僅需要兩個像素。因而，可藉由重新指派一給定巨集像素群組135使之僅包括兩個像素來增加像素陣列105之解析度。

像素陣列105可以替代彩色濾光器元件組合來加以實施。舉例而言，可使用一組C及M輔色濾光器元件。圖8為說明B敏感度函數如何為C敏感度函數與M敏感度函數的乘積之示意圖。因此，B色彩信號可由C色彩信號及M色彩信號產生(亦即，B=C*M)。參考方程式(1)，G色彩信號可由C色彩信號及B色彩信號產生(亦即，G=C-B)，且參考方程式(2)，R色彩信號可由M色彩信號及B色彩信號產生(亦即，R=M-B)。

類似地，可使用一組M及Y輔色濾光器元件。圖9為說明R敏感度函數如何為M敏感度函數與Y敏感度函數的乘積之示意圖。因此，R色彩信號可由M色彩信號及Y色彩信號產生(亦即，R=M*Y)。參考方程式(2)，B色彩信號可由M色彩信號及R色彩信號產生(亦即，B=M-R)，且參考方程式(3)，G色彩信號可由Y色彩信號及R色彩信號產生(亦即，G=Y-R)。

圖10為說明根據本發明之實施例之像素陣列內之兩個四電晶體(「4T」)像素之像素電路1000的電路圖。像素電路1000為用於實施圖2之像素陣列105內之每一像素的一個可能的像素電路架構。然而，應瞭解，本發明之實施例不限於4T像素架構；實情為，受益於本發明之一般熟習此項技術者將理解，本發明之教示亦適用於3T設計、5T設計及各種其他像素架構。在圖10中，像素Pa及Pb配置成兩列及一行。每一像素電路1000之所說明實施例包括一光感測器(例如，光二極體PD)、一傳送電晶體T1、一重設電晶體T2、一源極隨耦器(「SF」)電晶體T3及一選擇電晶體T4。在操作期間，傳送電晶體T1接收一傳送信號TX，該傳送信號TX將光二極體PD中累積之電荷傳送至浮動擴散節點FD。在一實施例中，浮動擴散節點FD可耦合至用於臨時儲存影像電荷之儲存電容器。重設電晶體T2耦合於電力軌VDD與浮動擴散節點FD之間以在重設信號RST之控制下重設(例如，對FD放電或充電至預設電壓)。浮動擴散節點FD經耦合以控制SF電晶體T3之閘極。SF電晶體T3耦合於電力軌VDD與選擇電晶體T4之間。SF電晶體T3用作提供自像素所輸出之高阻抗的源極隨耦器。最後，選擇電晶體T4在選擇信號SEL之控制下選擇性地將像素電路1000之輸出耦合至讀出行線。在一實施例中，藉由控制電路115產生TX信號、RST信號及SEL信號。

本發明之所說明實施例之以上描述(包括在摘要中所描述之內容)不意欲為詳盡的或將本發明限於所揭示之精確形式。如熟習相關技術者將認識到，雖然在本文中出於說明性目的而描述本發明之具體實施例及實例，但在本發明之範疇內各種修改係可能的。舉例而言，雖然說明了CMOS彩色影像感測器之實例，但實施例可包括其他類型之彩色影像感測器，諸如電荷耦合器件(CCD)及使用三個相異彩色濾光器產生三色彩通道信號的其他器件。

可根據以上詳細描述而對本發明進行此等修改。在以下申請專利範圍中所使用之術語不應理解為將本發明限於本說明書中所揭示之具體實施例。實情為，本發明之範疇將完全藉由以下申請專利範圍確定，以下申請專利範圍將根據請求項解釋之既定準則加以理解。

10．．．彩色濾光器陣列

20．．．巨集像素群組

30．．．微型像素

100．．．彩色成像系統/彩色影像感測器

105．．．像素陣列

110．．．讀出電路

115．．．控制電路

120．．．色彩信號組合電路

125．．．輸出埠

135．．．巨集像素群組

137．．．彩色影像

140．．．讀出線

600．．．巨集像素群組

605．．．像素

610．．．像素

615．．．像素

620．．．像素

630．．．光感測器

631．．．彩色濾光器元件

635．．．光感測器

636．．．彩色濾光器元件

700．．．巨像素群組

705．．．像素

710．．．像素

715．．．像素

720．．．像素

730．．．光感測器

731．．．彩色濾光器元件

732．．．彩色濾光器元件

1000．．．像素電路

C1-Cx．．．行

FD．．．浮動擴散節點

P1-Pn．．．像素

Pa．．．像素

Pb．．．像素

PD．．．光二極體

R1-Ry．．．列

SF．．．源極隨耦器

T1．．．傳送電晶體

T2．．．重設電晶體

T3．．．源極隨耦器(「SF」)電晶體

T4．．．選擇電晶體

VDD．．．電力軌

圖1(先前技術)說明習知拜耳型樣彩色濾光器陣列(「CFA」)。

圖2為說明根據本發明之實施例之彩色成像系統的功能方塊圖，該彩色成像系統包括具有具兩個彩色濾光器元件之CFA的像素陣列，但該成像系統能夠產生三通道彩色輸出。

圖3為說明根據本發明之一實施例之紅色、藍色、綠色、青藍色、洋紅色及黃色信號之正規化敏感度函數的示意圖。

圖4為說明根據本發明之實施例，綠色敏感度函數如何為青藍色敏感度函數與黃色敏感度函數之乘積的示意圖。

圖5為說明根據本發明之實施例之青藍色及黃色濾光器元件的敏感度函數的曲線圖。

圖6A至圖6C說明根據本發明之實施例製造使用兩種類型之彩色濾光器元件產生影像信號之巨集像素群組，該等影像信號可經組合以產生三通道彩色輸出。

圖7A至圖7C說明根據本發明之實施例製造使用能夠直接輸出三個色彩通道的兩種類型之彩色濾光器元件的巨集像素群組。

圖8為說明根據本發明之實施例，藍色敏感度函數如何為青藍色敏感度函數與洋紅色敏感度函數之乘積的示意圖。

圖9為說明根據本發明之實施例，紅色敏感度函數如何為洋紅色敏感度函數與黃色敏感度函數之乘積的示意圖。

圖10為說明根據本發明之實施例之一成像系統內之兩個4T像素之像素電路的電路圖。