TWI503165B - 混練裝置及半導體密封用樹脂組成物之製造方法 - Google Patents

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TWI503165B
TWI503165B TW100108527A TW100108527A TWI503165B TW I503165 B TWI503165 B TW I503165B TW 100108527 A TW100108527 A TW 100108527A TW 100108527 A TW100108527 A TW 100108527A TW I503165 B TWI503165 B TW I503165B
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Shigehisa Ueda
Kazuo Noda
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Sumitomo Bakelite Co
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Description

混練裝置及半導體密封用樹脂組成物之製造方法
本發明係關於混練裝置及半導體密封用樹脂組成物之製造方法。
已知有以樹脂製密封材料被覆(密封)半導體晶片(半導體元件)而成之半導體封裝。此半導體封裝之密封材料係將樹脂組成物藉由例如轉移成形等成形而得。
此處,前述樹脂組成物之製造步驟包含在混合含複數種粉末材料之樹脂組成物(組成物)後進行混練的混練步驟。於此混練步驟使用具有外殼、具有於該外殼內設置成可旋轉之螺桿之1軸型混練擠出機、具有1對前述螺桿之2軸型混練擠出機等之擠出機(例如參照專利文獻1)。又,擠出機之外殼及螺桿係以金屬構成。
但是,過去的擠出機因外殼及螺桿係以金屬構成,使得在混練時金屬製異物(金屬異物)會從該外殼及螺桿混入樹脂組成物中,使得用所製造之樹脂組成物來密封半導體晶片時,會有短路等問題發生。
專利文獻1日本特開2003-275555號公報
本發明之目的係提供能在混練樹脂材料時,防止金屬製異物混入樹脂組成物中之混練裝置及半導體密封用樹脂組成物之製造方法。
為了達成上述目的,本發明為一種混練裝置,其係用以混練含複數種粉末材料之組成物之混練裝置,其特徵在於具備:外殼,其係具有供給前述組成物之供給口、混練經供給之前述組成物的混練室、與排出經混練之前述組成物的排出口;及用以混練前述混練室內之前述組成物的至少1個螺桿,其係於前述外殼內設置成可旋轉,且具有螺桿軸、及設置於該螺桿軸之外周且配置在前述混練室內之螺桿構件,且位於前述混練室內之前述螺桿構件的至少表面、及前述混練室的至少內面之中的至少一者係以非金屬構成。
又,為了達成上述目的,本發明為一種混練裝置,其係用以混練含複數種粉末材料之組成物之混練裝置,其特徵在於:具備:外殼,其係具有供給前述組成物之供給口、混練經供給之前述組成物之混練室、與排出經混練之前述組成物的排出口;及用以混練前述混練室內之前述組成物的至少1個螺桿,其係於前述外殼內設置成可旋轉,且具有螺桿軸、與設置於該螺桿軸之外周且配置在前述混練室內之螺桿構件及混練構件,且位於前述混練室內之前述螺桿構件及前述混練構件的至少表面、及前述混練室的至少內面之中的至少一者係以非金屬所構成。
於本發明之混練裝置中,在前述混練室的內面與前述混練構件的最外周部之間,較佳為形成有間隙距離0.5~4mm之間隔。
於本發明之混練裝置中,前述混練構件較佳為具有芯部、及設置於該芯部的表面且以非金屬構成之外層。
於本發明之混練裝置中,前述螺桿軸較佳為具有芯部、及設置於該芯部之一部分表面且以非金屬構成之外層。
於本發明之混練裝置中,前述螺桿構件較佳為具有芯部、及設置於該芯部之表面且以非金屬構成之外層。
於本發明之混練裝置中,在前述混練室之內面與前述螺桿構件之最外周部之間,較佳為形成有間隙距離0.5~4mm之間隔。
於本發明之混練裝置中,前述螺桿較佳係裝卸自如地設置於前述外殼。
於本發明之混練裝置中,將前述螺桿軸之長度設為L、前述螺桿構件之直徑設為D時,L/D較佳係為10以下。
於本發明之混練裝置中,前述非金屬較佳為陶瓷。
於本發明之混練裝置中,前述陶瓷以500gf之荷重測定而得之維氏硬度Hv較佳為1300以上。
於本發明之混練裝置中,前述陶瓷之熱傳導係數較佳為0.01cal/(cm‧秒‧℃)以上。
又,為了達成上述目的,本發明為一種半導體密封用樹脂組成物之製造方法,該半導體密封用樹脂組成物之製造方法的特徵係在於使用如本發明之混練裝置,混練含複數種粉末材料之組成物。
以下基於隨附圖式所示較佳實施形態詳細說明本發明之混練裝置及半導體密封用樹脂組成物之製造方法。
<第1實施形態>
圖1顯示樹脂組成物之製造步驟圖,圖2為顯示本發明之混練裝置第1實施形態之示意透視圖,圖3為顯示圖2所示混練裝置之內部的平面圖(部分截面圖),圖4為顯示圖2所示混練裝置之一端的截面圖,圖5及圖6分別為顯示圖2所示混練裝置之螺桿的螺桿部之構成例之截面圖。
以下將圖2~圖4中的上側做為「上」、下側做為「下」、左側做為「左(上游)」、右側做為「右(下游)」進行說明。
圖2所示混練裝置1為製造成形體(壓胚)之樹脂組成物時的混練步驟所使用的裝置。在說明此混練裝置1之前,首先說明從原料起到製造半導體晶片(半導體元件)之被覆(密封)用樹脂組成物為止之整體製造步驟。
首先,準備做為樹脂組成物之原料的各種材料。
原料有樹脂、硬化劑、填充材料(無機填充材料)(無機粒子),接著依需要具有硬化促進劑、偶合劑等。做為樹脂,較佳為環氧樹脂。
做為環氧樹脂者,例如可舉出甲酚酚醛清漆型、雙酚型、二環戊二烯型、三酚甲烷型、多芳香族環型等。
做為硬化劑者,例如可舉出酚系酚醛清漆型、酚芳烷型、三酚甲烷型、多芳香族環型等。
做為填充材料(無機填充材料)者,例如可舉出熔融矽石(破碎狀、球狀)、結晶矽石等矽石及氧化鋁等。
做為硬化促進劑者,例如可舉出磷化合物、胺化合物等。
做為偶合劑者,例如可舉出矽烷化合物等。
又,原料亦可省略前述材料中指定的材料,又,可含有前述以外之材料。做為其它材料,例如可舉出著色劑、脫模劑、應力降低劑、阻燃劑等。
做為阻燃劑,例如可舉出溴化環氧樹脂、氧化銻、無鹵素‧無銻系等。做為無鹵素‧無銻系之阻燃劑,例如可舉出有機磷、金屬水合物、含氮樹脂等。
(微粉碎)
如圖1所示,對原料中指定之材料,首先藉由粉碎裝置,粉碎(微粉碎)成指定之粒度分布。做為此粉碎之原料,例如係樹脂、硬化劑、硬化促進劑等填充材料以外原料,亦可添加一部分的填充材料。藉此得到含有樹脂、硬化劑、硬化促進劑等複數種粉末材料之第1組成物。又,做為粉碎裝置,可使用例如連續式旋轉球磨機等。
(表面處理)
可對原料中指定之材料,例如填充材料的全部或一部分(剩餘部分),施加表面處理。做為此表面處理者,例如將偶合劑等附著在填充材料的表面。藉此得到含填充材料之第2組成物。又,前述微粉碎與表面處理可同時進行,或者亦可任一方先進行。
(混合)
其次,藉由混合裝置將前述微粉碎步驟得到之第1組成物及前述表面處理步驟得到之第2組成物,亦即將含比重不同之複數種粉末材料之樹脂組成物(組成物)完全混合。做為此混合裝置,可使用例如具有旋轉葉片之高速混合裝置及容器旋轉式混合機等。
(混練)
其次,藉由混練裝置1混練前述經混合之樹脂組成物。又,對於混練裝置1容後詳述。
(脫氣)
其次,藉由脫氣裝置,對前述經混練之樹脂組成物進行脫氣。
(片化)
其次,藉由片化裝置將前述經脫氣之塊狀樹脂組成物成形為片狀,得到片狀樹脂組成物。做為此片化裝置,例如可使用製板輥機等。
(冷卻)
其次,藉由冷卻裝置冷卻前述片狀樹脂組成物。藉此可輕易且確實地進行樹脂組成物之粉碎。
(粉碎)
其次,藉由粉碎裝置將前述片狀樹脂組成物粉碎成指定之粒度分布,得到粉末狀樹脂組成物。做為此粉碎裝置者,例如可使用錘磨機、石臼式磨碎機、輥碎機。
又,做為得到顆粒狀或粉末狀之樹脂組成物的方法者,可不經過上述片化、冷卻、粉碎步驟,使用例如於混練裝置的出口設置具有小直徑之模嘴,將自模嘴吐出之溶融狀態的樹脂組成物以切刀等切斷成指定長度,來得到顆粒狀樹脂組成物之熱切法。於此情形,經由熱切法得到顆粒狀之樹脂組成物後,較佳為趁樹脂組成物之溫度尚未明顯下降時進行脫氣。
(錠化)
其次,藉由成形體製造裝置(打錠裝置),將前述粉末狀樹脂組成物壓縮成形,可得到為成形體之樹脂組成物。
此樹脂組成物係用於例如半導體晶片(半導體元件)之被覆(密封)等。亦即,將樹脂組成物藉由例如轉移成形等成形,而做為密封材料被覆半導體晶片,製造半導體封裝。
又,亦可省略前述錠化步驟,將粉末狀樹脂組成物做為完成體。於此情形可例如藉由壓縮成形、射出成形等來成形密封材料。
其次,針對混練裝置1進行說明。
如圖2~圖6所示,混練裝置1為混練含複數種粉末材料之樹脂組成物(組成物)的2軸型混練擠出機,具備外殼2、於外殼2內設置成可旋轉之長條狀的1對螺桿4a、4b。螺桿4a與螺桿4b係水平且相互平行的並排設置。
外殼2係與位於垂直方向上側之上側構件21、及位於垂直方向下側之下側構件22裝卸自如地連結著。此外殼2係具有外殼本體20及設置於外殼本體20內且區劃出混練樹脂組成物之混練室30的殼體3。
殼體3係兩端封閉的筒狀,於該殼體3之左側(上游側)端部的垂直方向之上側,形成有供給樹脂組成物之供給口31。自供給口31供給至混練室30內之樹脂組成物係在混練室30內混練。又,於殼體3之右側(下游側)端部的垂直方向之下側,形成有排出經混練之樹脂組成物之排出口32。又,於排出口32亦可連接至例如對經混練之樹脂組成物進行脫氣的脫氣裝置100之入口。
做為外殼本體20之構成材料並無特別限定,例如可舉出如不鏽鋼等各種金屬材料。
又,殼體3係以陶瓷構成。做為陶瓷並無特別限定,例如可舉出氧化鋁、矽石、氧化銻、氧化鋯、氧化釔、磷酸鈣等氧化物陶瓷、氮化矽、氮化鋁、氮化銻、氮化硼等氮化物陶瓷、碳化鎢等碳化物系陶瓷,或任意組合彼等之2者以上而成之複合陶瓷。其中尤以含有氧化物系陶瓷為較佳。
藉此(後述之各螺桿4a、4b的外層45亦以陶瓷構成),可防止於混練時金屬製異物(金屬異物)混入樹脂組成物中,在使用所製造之樹脂組成物密封半導體晶片時,可防止短路等之發生。具體來說,以混練裝置1混練後,樹脂組成物中金屬之含有率増加量(來自混練的金屬之含有率増加量)可為1.0wtppm以下,特別可為0.1wtppm以下,進一步為0wtppm。
又,藉由使用氧化物系陶瓷,特別是使用絕緣性高、耐磨損性良好之氧化鋁做為構成殼體3之陶瓷,即便殼體3因與混練物磨擦而磨損,磨損物混入樹脂組成物中,亦可防止使用所製造之樹脂組成物來密封半導體晶片時發生短路等。
又,構成殼體3之陶瓷,以500gf之荷重測,維氏硬度Hv較佳為1300以上,更佳為1500~1700左右。藉此,可防止在混練中,構成殼體3之材料(陶瓷)的粉體(異物)混入樹脂組成物中。又,即便殼體3因與混練物磨擦而磨損,磨損物混入樹脂組成物中,亦可防止使用所製造之樹脂組成物來密封半導體晶片時發生短路等。
又,構成殼體3之陶瓷的熱傳導係數較佳為0.01cal/(cm‧秒‧℃)以上,更佳為0.04~0.08cal/(cm‧秒‧℃)左右。藉此,可將來自後述之溫度調節手段的熱量確實地賦于至混練物或吸收,以更穩定的進行混練。
又,殼體3之厚度雖無特別限制,但較佳為0.2~20mm左右,更佳為0.3~10mm左右。藉由將殼體3厚度設定於此數值範圍,以殼體3之無破損、比金屬低之熱傳導係數的陶瓷亦可將來自殼體3之外部(外殼本體20內)溫度調節手段的熱量確實地賦予至混練物。
又,於本實施形態中,雖殼體3之整體係以陶瓷構成,但不限於此,例如亦可為殼體3中僅其內面係以陶瓷構成。亦即,至少混練室30之內面係以陶瓷構成即可。又,殼體3之中僅內面以陶瓷構成之情形,該陶瓷層的厚度雖無特別限制,但較佳為0.2~20mm左右,更佳為0.3~10mm左右。
又,於外殼2內之殼體3(混練室30)的外側,分別可旋轉地支撐著螺桿4a、4b之軸承61,係裝卸自如地設置於該外殼2。於此情形,合計有4個軸承61,且分別配置於對應各螺桿4a、4b之兩端部位置。藉此,各螺桿4a、4b係可分別對外殼2拆卸各軸承61。
又,於殼體3之接觸各螺桿4a、4b之部位,分別設置有密封殼體3與各螺桿4a、4b之間隙的密封構件33。此密封構件33係以非金屬(例如彈性體等)構成。
又,於外殼2內之混練室30(殼體3)的外側混練該混練室30內之樹脂組成物時,係設置有加熱/冷卻樹脂組成物之溫度調節手段。又,亦可分割溫度控制之範圍。又,做為溫度調節媒體未特別限制,例如可舉出水、油、無機系鹽水溶液、有機系鹽水溶液等。
又,於外殼2左側端部的垂直方向之上側,設置有連通至供給口31之筒狀供給部5。供給部5之上側的端部(上端部),其內徑係自下側向上側漸增之錐狀。
其次,針對1對螺桿4a、4b說明,但因螺桿4a與螺桿4b的構成大致相同,故以下針對螺桿4a做代表性的說明。
如圖3所示,螺桿4a具有螺桿軸41、設置於螺桿軸41外周的螺桿構件42、與螺桿構件42反方向之螺桿構件42a、及混練構件43。混練構件43可以例如槳葉等構成。又,螺桿構件42、42a及混練構件43分別可以單一構件構成,又,亦可以複數個構件構成。又,螺桿構件42、42a及混練構件43係分別可固定於螺桿軸41,又,亦可為裝卸自如。
又,混練構件43係設置於螺桿構件42之右側(下游側),螺桿構件42a係設置於混練構件43之右側。又,藉由設置混練構件43,可進一步提高混練度。
又,螺桿構件42、42a及混練構件43係分別配置於混練室30內。
又,螺桿構件42、42a其形狀各無特別限制,例如亦可形成1條、2條或3條以上。又,螺桿構件42與螺桿構件42a係僅有例如方向不同但構造類似。以下,以螺桿構件42做代表性的說明。
又,螺桿4a之兩端部係分別插入至軸承61。於此情形,並非設置有螺桿4a的後述之外層45之部位,而是露出有芯部411之部位被插入軸承6且被支持著,因此可防止螺桿4a在其被支持部位的破損。
又,於螺桿4a的一邊(左側)端部側連接著並未圖示的馬達。藉此,螺桿4a可藉由馬達的驅動力旋轉。又,螺桿4a的一邊端部,藉由例如偶合等連結構件62而裝卸自如地連接至馬達側的旋轉軸。
藉由此螺桿4a、4b之旋轉,混練室30內之樹脂組成物,藉由螺桿構件42及混練構件43來混練的同時,被向著排出口32輸送。又,螺桿4a與螺桿4b的旋轉方向可為不同,又,亦可為相同,但較佳為相同。螺桿4a與螺桿4b係藉由往相同方向旋轉,於混練中,附著在各螺桿4a、4b之樹脂組成物係被去除,而被往排出口32輸送。
又,如圖3~圖6所示,螺桿4a之螺桿軸41、螺桿構件42及混練構件43係分別有芯部411、421、431,與設置於該芯部411、421、431表面(外面)之外層45。
於此情形,在螺桿構件42及混練構件43中,於芯部421、431之表面整體係分別設置有外層45。
又,螺桿構件42之芯部421的形狀並無特別限定,例如可舉出如圖5所示,成為對應於螺桿構件42之形狀(與螺桿構件42大致相似的形狀)之情形,及如圖6所示,外表面成平坦筒狀之情形等。又,對混練構件43之芯部431的形狀亦為相同。
又,於螺桿軸41,在芯部411的部分表面設置有外層45。於此情形,外層45係設置在芯部411中之將殼體3與螺桿4a之間的間隙密封之密封構件33的附近。
做為各芯部411、421、431之構成材料各並無特別限定,例如為類似不鏽鋼等各種金屬材料。
又,螺桿軸41、螺桿構件42及混練構件43之各外層45係分別以非金屬所構成。做為非金屬,較佳為陶瓷或樹脂材料等,特別以陶瓷較佳。做為該陶瓷,可舉例為與前述殼體3相同者。又,外層45與殼體3可使用相同組成之陶瓷,又,亦可使用不同組成之陶瓷。
又,外層45之厚度並無特別限制,較佳為0.2mm以上,更佳為0.3~60mm左右。
藉由像這樣在各螺桿4a、4b設置外層45,可防止混練時金屬製異物混入樹脂組成物中,且在使用所製造之樹脂組成物密封半導體晶片時可防止短路等發生。
亦即,針對螺桿軸41,藉由以芯部411與外層45構成該螺桿軸41,即便是樹脂組成物侵入螺桿軸41之外層45與密封構件33之間而產生磨擦,芯部411的構成材料也不會混入樹脂組成物中。
又,本實施形態中,螺桿4a的一部分,亦即螺桿軸41、螺桿構件42及混練構件43各自的一部分,係以非金屬構成,但不限於此,例如亦可以非金屬分別構成螺桿構件42及混練構件43之整體。
又,在混練室30之內面與螺桿構件42的最外周部之間、與混練室30之內面與混練構件43的最外周部之間分別形成有間隔。藉此,可防止螺桿4a在旋轉時,螺桿構件42及混練構件43摩擦到混練室30之內面,而讓構成螺桿構件42、混練構件43、殼體3之材料(非金屬)的粉體(畢物)混入樹脂組成物中。
前述間隔之大小,亦即混練室30之內面與螺桿構件42的最外周部之間的間隙距離、混練室30之內面與混練構件43的最外周部之間的間隙距離,分別較佳為0.5~4mm左右,更佳為2~3mm左右。藉此,在確實混練的同時,可防止螺桿構件42及混練構件43摩擦到混練室30之內面。
又,在將螺桿4a之螺桿軸41的長度設為L、螺桿構件42之直徑設為D時,L/D較佳為10以下,更佳為7~9左右。藉此,螺桿4a的撓曲量可以變得比較小,在螺桿4a旋轉時,可防止螺桿構件42及混練構件43摩擦到混練室30之內面時,構成螺桿構件42、混練構件43、殼體3之材料的粉體混入樹脂組成物中。
其次,說明混練步驟與該混練步驟中混練裝置1之作用。
(混練步驟)
於此混練步驟中,啟動混練裝置1,將含複數種粉末材料之樹脂組成物投入至供給部5。藉此,將樹脂組成物自供給口31供給至混練室30內。
混練室30中,藉由旋轉中的各螺桿4a、4b之各螺桿構件42及各混練構件43,樹脂組成物被一邊混練、一邊朝排出口32輸送。接著,經混練之樹脂組成物自排出口32排出。
又,清掃混練裝置1時,首先自外殼2之下側構件22卸下上側構件21。又,於各螺桿4a、4b之一者的端部,分別將連結構件62拆下,而解除各螺桿4a、4b與馬達側之旋轉軸的連結。
其次,自外殼2將各螺桿4a、4b各自的軸承61卸下,以進行清掃。
如以上說明,依照此混練裝置1,可防止在混練步驟中金屬製異物(金屬異物)混入樹脂組成物中,且在使用所製造之樹脂組成物密封半導體晶片時,可防止短路等發生。
<第2實施形態>
圖7為顯示本發明之混練裝置的第2實施形態的內部之平面圖(部分截面圖)。又,以下將圖7中的上側做為「上」、下側做為「下」、左側做為「左(上游)」、右側做為「右(下游)」進行說明。
以下,針對第2實施形態,以與前述第1實施形態之相異點為中心予以說明,對於相同事項省略其說明。
如圖7所示,於第2實施形態之混練裝置1中係省略混練構件43。亦即,在第1實施形態的混練構件43之位置係配置有一部分的螺桿構件42。
依照此混練裝置1,可得到與前述第1實施形態相同之效果。
以上,係基於圖式之實施形態說明了本發明之混練裝置及半導體密封用樹脂組成物之製造方法,但本發明並非限制於此,各部之構成可以具有相同功能之任意構成物取代。又,本發明亦可添加其它任意構成物及步驟。
又,本發明亦可組合前述各實施形態中之任意2個以上之構成(特徵)。
又,於前述實施形態中螺桿數目為2個,但本發明不限於此,螺桿數目亦可為1個,又,亦可為3以上。
又,於前述實施形態中,混練室之內面及位於螺桿之混練室內之部位的內面係分別以陶瓷構成,但本發明不限於此,亦可例如以陶瓷構成混練室之內面與位於螺桿之混練室內的部位內面中的任一者。
產業利用性
依據本發明,於混練組成物時,可防止金屬製異物(金屬異物)混入該組成物中,在將所製造之樹脂組成物用於密封半導體元件時,可防止短路等的發生。因此,具有產業利用性。
1...混練裝置
100...脫氣裝置
20‧‧‧外殼本體
21‧‧‧上側構件
22‧‧‧下側構件
3‧‧‧殼體
30‧‧‧混練室
31‧‧‧供給口
32‧‧‧排出口
33‧‧‧密封構件
4a‧‧‧螺桿
4b‧‧‧螺桿
41‧‧‧螺桿軸
411‧‧‧芯部
42、42a‧‧‧螺桿構件
421‧‧‧芯部
43‧‧‧混練構件
431‧‧‧芯部
45‧‧‧外層
5‧‧‧供給部
61‧‧‧軸承
62‧‧‧連結構件
D‧‧‧螺桿構件之直徑
圖1為樹脂組成物之製造工程之示意圖。
圖2為顯示本發明混練裝置之第1實施形態之示意透視圖。
圖3為顯示圖2所示混練裝置之內部的平面圖(部分截面圖)。
圖4為顯示圖2所示混練裝置之一端側的截面圖。
圖5為顯示圖2所示混練裝置之螺桿的螺桿部之構成的截面圖。
圖6為顯示圖2所示混練裝置之螺桿的螺桿部之構成例的截面圖。
圖7為顯示本發明混練裝置之第2實施形態的內部之平面圖(部分截面圖)。
1...混練裝置
20...外殼本體
3...殼體
30...混練室
31...供給口
32...排出口
33...密封構件
4a...螺桿
4b...螺桿
41...螺桿軸
411...芯部
42、42a...螺桿構件
421...芯部
43...混練構件
431...芯部
45...外層
61...軸承
62...連結構件

Claims (16)

  1. 一種混練裝置,其係用以混練含複數種粉末材料之組成物之混練裝置,其特徵在於具備:外殼,其係具有供給前述組成物之供給口、混練經供給之前述組成物的混練室、與排出經混練之前述組成物的排出口;及用以混練前述混練室內之前述組成物的至少1個螺桿,其係於前述外殼內設置成可旋轉,且具有螺桿軸、及設置於該螺桿軸之外周且配置在前述混練室內之螺桿構件;且位於前述混練室內之前述螺桿構件的至少表面、及前述混練室的至少內面之中的至少一者係以非金屬構成;前述排出口係兼用為連接於對藉由該混練裝置而混練之前述組成物進行脫氣的脫氣裝置之入口的連接部。
  2. 一種混練裝置,其係用以混練含複數種粉末材料之組成物之混練裝置,其特徵在於具備:外殼,其係具有供給前述組成物之供給口、混練經供給之前述組成物之混練室、與排出經混練之前述組成物的排出口;及用以混練前述混練室內之前述組成物的至少1個螺桿,其係於前述外殼內設置成可旋轉,且具有螺桿軸、與設置於該螺桿軸之外周且配置在前述混練室內之螺桿構件及混練構件;且位於前述混練室內之前述螺桿構件及前述混練構件的至少表面、及前述混練室的至少內面之中的至少一 者係以非金屬所構成;前述排出口係兼用為連接於對藉由該混練裝置而混練之前述組成物進行脫氣的脫氣裝置之入口的連接部。
  3. 如申請專利範圍第2項之混練裝置,其中在前述混練室的內面與前述混練構件的最外周部之間,形成有間隙距離0.5~4mm之間隔。
  4. 如申請專利範圍第2項之混練裝置,其中前述混練構件具有芯部、及設置於該芯部的表面且以非金屬構成之外層。
  5. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中前述螺桿軸具有芯部、及設置於該芯部之一部分表面且以非金屬構成之外層。
  6. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中前述螺桿構件具有芯部、及設置於該芯部之表面且以非金屬構成之外層。
  7. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中在前述混練室之內面與前述螺桿構件之最外周部之間,形成有間隙距離0.5~4mm之間隔。
  8. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中前述螺桿係裝卸自如地設置於前述外殼。
  9. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中將前述螺桿軸之長度設為L、前述螺桿構件之直徑設為D時,L/D係為10以下。
  10. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中前述非金屬為陶瓷。
  11. 如申請專利範圍第10項之混練裝置,其中前述陶瓷 以500gf之荷重測定而得之維氏硬度Hv為1300以上。
  12. 如申請專利範圍第10項之混練裝置,其中前述陶瓷之熱傳導係數為0.01cal/(cm‧秒‧℃)以上。
  13. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中係具有於相對於前述螺桿軸垂直的方向並排設置的2個前述螺桿;前述供給口係以俯視觀看時跨於前述2個螺桿的前述螺桿構件的方式配置;前述排出口係以俯視觀看時跨於前述2個螺桿的前述螺桿構件的方式配置。
  14. 如申請專利範圍第13項之混練裝置,其中作為前述螺桿構件係至少具有第一螺桿構件以及與該第一螺桿構件反方向的第二螺桿構件;前述供給口係以俯視觀看時跨於前述2個螺桿的前述第一螺桿構件的方式配置;前述排出口係以俯視觀看時跨於前述2個螺桿的前述第二螺桿構件的方式配置。
  15. 如申請專利範圍第1項之混練裝置,其中作為前述螺桿構件係至少具有第一螺桿構件以及與該第一螺桿構件反方向的第二螺桿構件。
  16. 一種半導體密封用樹脂組成物之製造方法,其特徵在於使用如申請專利範圍第1至15項中任一項之混練裝置,混練含複數種粉末材料之組成物。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5759423B2 (ja) * 2012-07-03 2015-08-05 株式会社栗本鐵工所 混練パドル
JP6062283B2 (ja) * 2013-02-22 2017-01-18 三菱重工マシナリーテクノロジー株式会社 混練機
JP6198666B2 (ja) * 2014-04-22 2017-09-20 宏平 澤 混練装置
CN104148638B (zh) * 2014-08-01 2017-01-18 东莞劲胜精密组件股份有限公司 一种粉末注射成型喂料的制备设备
CN108556261A (zh) * 2018-05-15 2018-09-21 宁波力维机械科技有限公司 可均匀进料的注塑机

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61241105A (ja) * 1985-04-18 1986-10-27 株式会社ノリタケカンパニーリミテド スクリユ−式押出機または混練機
TW221792B (zh) * 1991-08-16 1994-03-21 Bieichi Kogyo Kk
JP2001219048A (ja) * 1999-12-02 2001-08-14 Kyocera Corp 混練ロール
JP2003039425A (ja) * 2001-07-31 2003-02-13 Hitachi Chem Co Ltd 半導体封止用エポキシ樹脂組成物の製造方法
JP2004351930A (ja) * 2003-05-02 2004-12-16 Kohei Sawa 多軸混練装置及び材料混練方法
US20080063869A1 (en) * 2006-08-23 2008-03-13 Husky Injection Molding Systems Ltd. Compounding molding system, amongst other things

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3900187A (en) * 1973-10-29 1975-08-19 Baker Perkins Inc Continuous mixing and/or kneading machine with co-wiping single lead screws
JPS6139116Y2 (zh) * 1981-01-12 1986-11-10
US4746220A (en) * 1985-04-18 1988-05-24 Noritake Co., Limited Screw type extruding or kneading machine and screw used therein
DE3810079A1 (de) * 1988-03-25 1989-10-05 Bayer Ag Schneckenmaschine mit keramischem verfahrensteil
ATE164546T1 (de) * 1992-07-23 1998-04-15 Antogi Ag Retruder
JP2781772B2 (ja) * 1996-02-23 1998-07-30 株式会社佐藤鉄工所 混練押出成形装置
FR2772656A1 (fr) * 1997-12-22 1999-06-25 Michelin & Cie Procede de revetement d'une vis d'extrudeuse
DE19920597A1 (de) * 1999-05-05 2000-11-09 Bosch Gmbh Robert Aufnahmeeinrichtung für wenigstens eine in einem Gehäuse dichtend gelagerte Welle
US6634781B2 (en) * 2001-01-10 2003-10-21 Saint Gobain Industrial Ceramics, Inc. Wear resistant extruder screw
JP3995940B2 (ja) * 2002-01-11 2007-10-24 チッソ株式会社 被混練材料の混練方法
JP2003275555A (ja) 2002-01-15 2003-09-30 Sumitomo Bakelite Co Ltd 固液材料の混合方法および混合装置
JP4087376B2 (ja) * 2004-12-17 2008-05-21 株式会社日本製鋼所 二軸スクリュ混練装置用のシリンダ
JP5009592B2 (ja) * 2006-11-02 2012-08-22 株式会社冨士製作所 真空ミキサー
JP5341334B2 (ja) * 2007-09-10 2013-11-13 株式会社新日南 混練装置
DE102008010796A1 (de) * 2007-10-18 2009-04-23 Reifenhäuser GmbH & Co. KG Maschinenfabrik Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung eines Extrudats aus feinteiligem Pflanzenmaterial und einem thermoplastischen Material
US20090258103A1 (en) * 2008-04-10 2009-10-15 Good Earth Tools, Inc. Multi-Head Extruder Assembly
DE102008029130A1 (de) * 2008-06-19 2009-12-24 Brückner Maschinenbau GmbH & Co. KG Mehrschneckenextruder

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61241105A (ja) * 1985-04-18 1986-10-27 株式会社ノリタケカンパニーリミテド スクリユ−式押出機または混練機
TW221792B (zh) * 1991-08-16 1994-03-21 Bieichi Kogyo Kk
JP2001219048A (ja) * 1999-12-02 2001-08-14 Kyocera Corp 混練ロール
JP2003039425A (ja) * 2001-07-31 2003-02-13 Hitachi Chem Co Ltd 半導体封止用エポキシ樹脂組成物の製造方法
JP2004351930A (ja) * 2003-05-02 2004-12-16 Kohei Sawa 多軸混練装置及び材料混練方法
US20080063869A1 (en) * 2006-08-23 2008-03-13 Husky Injection Molding Systems Ltd. Compounding molding system, amongst other things

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TW201143882A (en) 2011-12-16
KR20130029046A (ko) 2013-03-21
US20130010566A1 (en) 2013-01-10
SG184283A1 (en) 2012-10-30
JP5625444B2 (ja) 2014-11-19
WO2011122212A1 (ja) 2011-10-06
US9694513B2 (en) 2017-07-04

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