JP5009592B2 - 真空ミキサー - Google Patents

真空ミキサー Download PDF

Info

Publication number
JP5009592B2
JP5009592B2 JP2006299097A JP2006299097A JP5009592B2 JP 5009592 B2 JP5009592 B2 JP 5009592B2 JP 2006299097 A JP2006299097 A JP 2006299097A JP 2006299097 A JP2006299097 A JP 2006299097A JP 5009592 B2 JP5009592 B2 JP 5009592B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lid
discharge port
opening
kneaded product
kneaded
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006299097A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008113597A (ja
Inventor
初雄 櫻澤
Original Assignee
株式会社冨士製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社冨士製作所 filed Critical 株式会社冨士製作所
Priority to JP2006299097A priority Critical patent/JP5009592B2/ja
Publication of JP2008113597A publication Critical patent/JP2008113597A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5009592B2 publication Critical patent/JP5009592B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Accessories For Mixers (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
  • Manufacturing And Processing Devices For Dough (AREA)

Description

本発明は、麺生地などを機械混練するに際し、その混練工程を真空下において行うための混練装置である真空ミキサーに関するものである。
一般に麺の製造に際しては、小麦粉や水、食塩などといった原料を混練して得られた麺生地に対して脱気などを目的とした熟成工程が必要となってくるが、通常、この熟成工程には多くの時間と場所、手間などを要することから製麺工程における高効率化を阻害する大きな要因となっている。
そのため、製麺加工業者などの大量の麺類を製造するケースでは、いわゆる真空ミキサーと称される真空混練装置を用いて真空下で原料の混練と同時に強制的な脱気処理などを行うことでその後の熟成工程をほぼ省略することを可能としている。
そして、この種の真空ミキサーとしては、例えば以下の特許文献1などに示すようなものが用いられている。
この真空ミキサーは、例えば図8に示すように原料投入口10と混練物排出口20とが形成された横長筒状の真空容器30内に一対の攪拌羽根40,40をその長手方向に延びるように設けたものであり、その真空容器30の底部に設けられた混練物排出口20の下部開閉蓋50を閉じると共に、その真空容器30の頂部に設けられた原料投入口10の上部開閉蓋60を開いて小麦粉や水、食塩などの原料を投入してその上部開閉蓋60を閉じた後、図9に示すようにその上部開閉蓋60に形成されたノズル70から真空ポンプ(図示しない)によってその真空容器30内の空気を強制的に排気してその内圧を、例えば十数kPa〜80kPa程度まで減圧した状態で攪拌羽根40,40を駆動して原料を機械混練するものである。
そして、混練終了後、その内圧を大気圧(101.32kPa)付近まで戻してから図8に示すようにその真空容器30の底部に設けられた混練物排出口20の下部開閉蓋50を開いてその混練物(麺生地)を取り出し、以降のロール工程や裁断工程へ送るようにしている。
なお、これら下部開閉蓋50および上部開閉蓋60は、それぞれの原料投入口10および混練物排出口20の近傍に設けられたヒンジ部51,61にそれぞれ回動自在に軸支されており、このヒンジ部51,61から延びる回動アーム52,62を介して接続される油圧シリンダ53,63の伸縮に対応して開閉動するようになっている。
特開平8−140558号公報
ところで、この真空容器30の原料投入口10と混練物排出口20は、その内部の密閉を保持するためにその開口部の周縁部に沿って延びるゴム製のシール部材であるパッキンが設けられている。
すなわち、図示するようにこの真空容器30の原料投入口10には、これを塞ぐ上部開閉蓋60側にその縁に沿って延びる上部パッキンP1が設けられていると共に、混練物排出口20には、その縁に沿って延びる粉漏出防止パッキンP2と、さらにこれを塞ぐ下部開閉蓋50側にその縁に沿って延びる密閉用パッキンP3がそれぞれ設けられており、これらが閉じられたときに、これら各パッキンP1〜P3が押し潰されるように変形することでそれらの隙間をシールするようにしている。
しかしながら、これら各パッキンP1〜P3のうち、混練物排出口20側に設けられる粉漏出防止パッキンP2は、主に粉などの原料がその混練物排出口20から漏れ出るのを防止するのを主たる機能としているものであり、混練物排出口20側の密閉性を保持しているのは、下部開閉蓋50側に設けられた密閉用パッキンP3だけとなっている。
そのため、この下部開閉蓋50側の密閉用パッキンP3上に混練物の一部が挟まれたり、この密閉用パッキンP3自体が経年劣化などにより亀裂や性能低下などが生じてしまうと、この部分から周囲の空気が真空容器30内に流入して所望の真空度が得られないといった問題がある。
なお、上部開閉蓋60にも上部パッキンP1が設けられているが、この上部パッキンP1には原料や混練物が直接触れることが殆どない上に、閉じているときにはその蓋本体の自重などにより常時圧力が掛かるようになるため、上部開閉蓋60側の密閉性については、下部開閉蓋50に比べて問題となるケースは少ない。
そこで、本発明はこのような課題を有効に解決するために案出されたものであり、その目的は、特に真空容器の混練物排出口20において優れた密閉性を長期に亘って発揮することができる新規な真空ミキサーを提供するものである。
前記課題を解決するために請求項1に記載の発明は、
真空容器底部に混練物排出口を形成すると共に、当該混練物排出口にこれを開閉する底部開閉蓋を備えた真空ミキサーであって、前記底部開閉蓋を、前記混練物排出口をその底部から塞ぐ第1蓋と、当該第1蓋全体をその底部から覆う第2蓋とで構成すると共に、前記第1蓋は、前記混練物排出口を覆う第1蓋本体と、当該第1蓋本体を前記混練物排出口の近傍を軸として回動する第1ヒンジ部と、前記混練物排出口と第1蓋本体との間を塞ぐ第1密閉用パッキンとからなり、前記第2蓋は、前記第1蓋の第1蓋本体よりも大きい第2蓋本体と、当該第2蓋本体を前記混練物排出口の近傍を軸として回動する第2ヒンジ部と、前記第2蓋本体の周縁部から前記混練物排出口側に突出した枠状の第2密閉用パッキンと、からなり、前記第2蓋の第2密閉用パッキンに、前記第1蓋の第1蓋本体と第1ヒンジ部とを連結するアーム部を回避すべく切り込み部を形成したことを特徴とする真空ミキサーである。
また、請求項2の発明は、請求項1に記載の真空ミキサーにおいて、前記第2蓋の第2密閉用パッキンの切り込み部は、外側に開いた断面V字形に形成されていることを特徴とする真空ミキサーである。
請求項の発明によれば、前記第2蓋の第2密閉用パッキンに、前記第1蓋の第1蓋本体と第1ヒンジ部とを連結するアーム部を回避すべく切り込み部を形成したことから、前記第1蓋の構造を大幅に変えることなく、そのアーム部付近の密閉性を維持することができる。
請求項の発明によれば、前記第2蓋の第2密閉用パッキンの切り込み部は、外側に開いた断面V字形に形成されていることから、そのアーム部の密閉性をより高めることができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を添付図面を参照しながら詳述する。
図1〜図6は、本発明に係る真空ミキサー100の実施の一形態であって、特にその底部の混練物排出口20付近の構造を詳しく示したものである。
すなわち、図1〜図3はこの真空ミキサー100の混練物排出口20を開いた状態から完全に閉じた状態を示す側断面図、図4はその混練物排出口20付近の構造を示す平面図、図5は図4中A部を示す部分拡大図、図6は図4中B−B線断面図である。
図において、符号30は前述した従来と同様な構成をした真空容器であり、その底部の混練物排出口20には、これを開閉する底部開閉蓋110が設けられている。
そして、図示するようにこの底部開閉蓋110は、この混練物排出口20をその底部から塞ぐ第1蓋120と、この第1蓋120全体をその底部から覆う第2蓋130とから構成されており、以下にこれらの構造について詳しく説明する。
先ず、この混練物排出口20は、図3および図4に示すように断面W型をした真空容器30の底部を矩形状に抜いた開口部21と、この開口部21の縁部から下側に延びる矩形枠部22と、この矩形枠部22の上端内側に沿って延びる紐状の粉漏出防止パッキンP2(従来の内側パッキンP2に対応)とから構成されており、次述する第1蓋120の開閉に応じて真空容器30内の混練物(図示せず)を排出するようになっている。
次に、第1蓋120は、この混練物排出口20の開口部21と相似形であって、この開口部21よりもやや大きい面積の矩形板からなる第1蓋本体121と、この第1蓋本体121をその開口部21の近傍を軸として回動する第1ヒンジ部122と、この第1ヒンジ部122に対して前記第1蓋本体121間を回動自在に連結する一対のアーム部123、123と、この第1蓋120を閉じたときに前記開口部21内に挿入されて前記真空容器30の底部形状を保持するスペーサ124と、この開口部21と前記第1蓋本体121との間を塞ぐ第1密閉用パッキンP3(従来の密閉用パッキンP3に対応)とから構成されている。
そして、この第1密閉用パッキンP3は、第1蓋本体121上に設けられた断面山形のスペーサ124の外側に沿ってこれを囲繞するように連続して延びる、断面蒲鉾形状をした紐体から形成されており、その底面側が第1蓋本体121側に取り付けられる(貼着)と共に、第1蓋本体121を閉じたとき(第1蓋本体121が開口部21側に接近したとき)にその上面側が混練物排出口20の矩形枠部22の先端(下端)に圧接することでその混練物排出口20を密閉するようになっている。
なお、この混練物排出口20の矩形枠部22の先端(下端)は、内周段部22aと外周段部22bとの2段階状に形成されていると共に、内周段部22aにあっては、図示するように下端になるに従って狭まるように断面鋭角に形成されている。従って、この第1蓋120を閉じたときにその矩形枠部22の先端(下端)がくい込むようにその第1密閉用パッキンP3の上面側が弾性変形することで両者が密着してその隙間を防ぐようになっている。
また、この第1蓋本体121上に設けられた断面山形のスペーサ124は、前述したように主に前記真空容器30の断面W型をした底部形状を保持するためのものであり、断面山形をした外枠125の内部に補強リブ126を複数その長手方向に沿って設けた構造となっている。
また、第1ヒンジ部122は、図示しないブラケットによって真空容器30の底面側に固定されていると共に、図4に示すように、その端部には第1蓋開閉用の油圧シリンダ127が図示しない回動アームを介して伸縮自在に接続されており、この油圧シリンダ127の伸縮によって第1蓋本体121がこの第1ヒンジ部122を軸として下方に回動するようになっている。
一方、第2蓋130は、前記第1蓋120の第1蓋本体121と相似形であってこれよりやや大きい矩形板からなる第2蓋本体131と、この第2蓋本体131を前記混練物排出口20の開口部21近傍であって前記第1蓋120の第1ヒンジ部122と対向する位置に設けられた第2ヒンジ部132と、この第2ヒンジ部132側からこの第2蓋本体131を支持連結する支持アーム133と、この第2蓋本体131の上面に設けられた第2密閉用パッキンP4とから構成されている。
そして、図示するようにこの第2密閉用パッキンP4は、この第2蓋本体131の周縁部から上方、すなわち前記混練物排出口20側に突出した矩形枠状に形成されており、図3に示すように、閉じたときに前記第1蓋120の第1蓋本体121全体をその下側から覆い隠すようになっている。
すなわち、この第2密閉用パッキンP4は、内向きの断面L字形に形成されており、その底部が第2蓋本体131上に取り付け(貼着)られていると共に、図3に示すように閉じたときにその頂面が前記混練物排出口20であってその矩形枠部22の外周段部22bの下面側に圧接するようになっている。
また、図3および図5に示すようにこの第2密閉用パッキンP4のうち、第1蓋120のアーム部123、123と干渉する部分(本実施の形態では2箇所)には、少なくともそれぞれそのアーム部123、123の幅よりも広い切り込み部135が形成されているおり、閉じたときにこのアーム部123、123と第2密閉用パッキンP4とが干渉しないようにこれを回避するようになっている。
さらに、図5に示すようにこの切り込み部135の端面(アーム部123との接触面)には、外側に開いた断面V字形のシール部材136が一体的に形成されており、この部分を境にした内外の圧力差が生じたとき、すなわち、真空容器30内の減圧に伴ってその第2密閉用パッキンP4内圧が負圧状態になったときにこのシール部材136が開いてそのアーム部123、123側に密着することでその部分について優れた密閉性を発揮できるようになっている。
また、この第2ヒンジ部132も第1ヒンジ部122と同様に図示しないブラケットによって真空容器30の底面側に固定されていると共に、図4に示すように、その端部には第2蓋開閉用の油圧シリンダ137が図示しない回動アームを介して伸縮自在に接続されており、この油圧シリンダ137の伸縮によって第2蓋本体131がこの第2ヒンジ部132を軸として下方に回動するようになっている。
なお、この真空ミキサー100を構成する各部材の材質としては、特に限定されるものでなく、従来と同様に炭素鋼やステンレススチール(SUS)、銅合金、アルミ合金などの合金材料などを用いることができる。さらに必要に応じてその表面に防錆用のコーティングや、混練物やゴミ、汚れなどの付着を防止するためにフッ素樹脂コーティングなどを施しても良い。
また、このパッキンP1〜P4を構成する材質も特に限定されるものでなく、天然ゴムやニトリルゴム(NBR)、水素添加ニトリルゴム(HNBR)、アクリルゴム(ACM)、シリコーンゴム(VMQ)、フルオロシリコーンゴム(FVMQ)、フッ素ゴム(FKM)、エチレンプロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、塩素化ポリエチレン(CM)、クロルスルホン化ポリエチレン(CSM)、エピクロルヒドリンゴム(CO)、エピクロルヒドリン−エチレンオキシドゴム(ECO)、スチレン−ブタジエンゴム(SBR)、ブチルゴム(IIR)、ウレタンゴム(AU)などの弾性変形可能な公知の合成樹脂の他、金属製のものであったり、あるいは内部に芯金を備えたものであっても良い。
そしてこのような構成をした底部開閉蓋110において、図1に示すようにこの真空容器30底部の混練物排出口20を完全に開いた状態から図3に示すようにその混練物排出口20を閉じるためには、先ず、図4に示す第1蓋用油圧シリンダ127を作動させて第1蓋120をそのヒンジ部122を軸として混練物排出口20側に回動させる。
すると、その第1蓋120のスペーサ124がその開口部21内に嵌め込まれるように位置すると共に、そのスペーサ124の角部周囲が、その開口部21から下側に延びる矩形枠部22に設けられた粉漏出防止パッキンP2と接触してそのスペーサ124と開口部21との隙間を塞ぐことになる。
これによって、その真空容器30の内底部が容器本来の断面W形に区画形成されて攪拌羽根40による混煉が良好に行われると共に、その混練物排出口20が塞がれて混練時における原料などの漏出を防止することができる。
そして、この状態から第1蓋120をさらにその開口部21側に回動すると、その矩形枠部22の先端にその第1蓋密閉用パッキンP3の上面が押し付けられてくい込むように両者が圧着することになる。
これによって、その開口部21がほぼ完全に塞がれて密閉状態となり、小麦粉などの原料は勿論、空気の漏れも防止されることになる。
次に、このように第1蓋120によってその混練物排出口20の開口部21が密閉されたならば、図4に示す第2蓋用油圧シリンダ137を作動させて第2蓋130をそのヒンジ部132を軸として混練物排出口20側に回動させる。
すると、その第2蓋130の第2蓋密閉用パッキンP4の上端部がその開口部21から下側に延びる矩形枠部22の外周段部22bの下面側に接触して両者が圧着することになる。
これによって、第1蓋120の第1蓋本体121の全体がこの第2蓋130によって覆い隠されるように密閉されるため、仮に第1蓋120による混練物排出口20の密閉性が低下(悪化)した場合であっても常にその混練物排出口20に関して優れた密閉性を維持することができる。
また、前述したようにこの第2密閉用パッキンP4のうち、第1蓋120のアーム部123、123と干渉する部分に切り込み部135を形成したため、これを閉じたときにこのアーム部123、123との干渉を回避できると共に、この切り込み部135に断面V字形のシール部材136を備えたため、この切り込み部135についても優れた密閉性を発揮することができる。
この結果、真空容器30の混練物排出口20の密閉性を長期に亘って維持することができるため、信頼性の高い真空ミキサーを提供することができる。また、真空容器30の減圧時に係る第1密閉用パッキンP3などの負荷が軽減されるため、この第1密閉用パッキンP3の耐久性も向上させることも可能となる。さらに、この底部開口蓋110を構成する第1蓋110は、従来既存のもの(従来の下部開閉蓋50)をそのまま利用することが可能となるため、別個新たに製作する場合に比べてその製造コストを安価に抑えることも可能である。
なお、本実施の形態では、前記第1蓋120側の第1ヒンジ部122と、第2蓋130側の第2ヒンジ部132とをそれぞれ開口部21を挟んで反対方向に設けたが、図7に示すようにこれら第1ヒンジ部122と第2ヒンジ部132とを同軸上に設けるようにしても良い。そして、このようにすれば、第1蓋120と第2蓋130との回動(開閉)方向が同じ方向になってその反対側に大きなスペースが生じることからその混練物排出口20からの混練物の排出をより容易かつ確実に行うことが可能となる。
また、さらにこれら第1蓋120側の第1ヒンジ部122と、第2蓋130側の第2ヒンジ部132とを混練物排出口20を周囲に直交位置関係に設け、これら第1蓋120と第2蓋130とを直交方向に回動(開閉)させるようにしても良い。
また、本実施の形態に係る真空ミキサー100の他の構成は、従来と同様な構成となっている。
すなわち、図8に示すように真空容器30内には一対の攪拌羽根40,40がその長手方向に延びるように設けられていると共に、その頂部には原料投入口10が形成された構造となっている。そして、その原料投入口10の(上部パッキンP1が設けられた)上部開閉蓋60を開いて小麦粉や水、食塩などの原料を投入してその上部開閉蓋60を閉じた後、その上部開閉蓋60に形成されたノズル70から真空ポンプ(図示しない)によってその真空容器30内の空気を強制的に排気してその内圧を、所定圧まで減圧した状態で攪拌羽根40,40を駆動してその原料を機械混練し、しかる後、その内圧を大気圧付近まで戻してからその真空容器30の底部に設けられた混練物排出口20の底部開閉蓋110を開いてその混練物(麺生地)を取り出し、取り出した混練物を以降のロール工程や裁断工程へ送ることになる。
本発明に係る真空ミキサー100の底部開閉蓋110を完全に開いた状態を示す側断面図である。 本発明に係る真空ミキサー100の底部開閉蓋110のうち、第1蓋120のみを閉じた状態を示す側断面図である。 本発明に係る真空ミキサー100の底部開閉蓋110を閉じた状態を示す側断面図である。 本発明に係る真空ミキサー100の底部開閉蓋110の構造を示す平面図である。 図4中A部を示す部分拡大図である。 図4中B−B線断面図である。 本発明に係る真空ミキサー100の底部開閉蓋110の構造の他の実施の形態を示す側断面図である。 従来の真空ミキサーの一例(蓋を開いた状態)を示す側面図である。 従来の真空ミキサーの一例(蓋を閉じた状態)を示す側面図である。
符号の説明
100…真空ミキサー
10…原料投入口
20…混練物排出口
21…開口部
22…矩形枠部
30…真空容器
110…底部開閉蓋
120…第1蓋
121…第1蓋本体
122…第1ヒンジ部
123…アーム部
124…スペーサ
127…第1蓋開閉用油圧シリンダ
130…第2蓋
131…第2蓋本体
132…第2ヒンジ部
133…支持アーム
135…切り込み部
136…シール部材
137…第2蓋開閉用油圧シリンダ
P1…上部パッキン
P2…粉漏出防止パッキン
P3…第1密閉用パッキン
P4…第2密閉用パッキン

Claims (2)

  1. 真空容器底部に混練物排出口を形成すると共に、当該混練物排出口にこれを開閉する底部開閉蓋を備えた真空ミキサーであって、
    前記底部開閉蓋を、前記混練物排出口をその底部から塞ぐ第1蓋と、当該第1蓋全体をその底部から覆う第2蓋とで構成すると共に、
    前記第1蓋は、前記混練物排出口を覆う第1蓋本体と、当該第1蓋本体を前記混練物排出口の近傍を軸として回動する第1ヒンジ部と、前記混練物排出口と第1蓋本体との間を塞ぐ第1密閉用パッキンとからなり、
    前記第2蓋は、前記第1蓋の第1蓋本体よりも大きい第2蓋本体と、当該第2蓋本体を前記混練物排出口の近傍を軸として回動する第2ヒンジ部と、前記第2蓋本体の周縁部から前記混練物排出口側に突出した枠状の第2密閉用パッキンと、からなり、
    前記第2蓋の第2密閉用パッキンに、前記第1蓋の第1蓋本体と第1ヒンジ部とを連結するアーム部を回避すべく切り込み部を形成したことを特徴とする真空ミキサー。
  2. 請求項1に記載の真空ミキサーにおいて、
    前記第2蓋の第2密閉用パッキンの切り込み部は、外側に開いた断面V字形に形成されていることを特徴とする真空ミキサー。
JP2006299097A 2006-11-02 2006-11-02 真空ミキサー Active JP5009592B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006299097A JP5009592B2 (ja) 2006-11-02 2006-11-02 真空ミキサー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006299097A JP5009592B2 (ja) 2006-11-02 2006-11-02 真空ミキサー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008113597A JP2008113597A (ja) 2008-05-22
JP5009592B2 true JP5009592B2 (ja) 2012-08-22

Family

ID=39500100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006299097A Active JP5009592B2 (ja) 2006-11-02 2006-11-02 真空ミキサー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5009592B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5625444B2 (ja) * 2010-03-30 2014-11-19 住友ベークライト株式会社 混練装置および半導体封止用樹脂組成物の製造方法
EP3332866A4 (en) 2015-08-06 2019-04-17 Meiji Co., Ltd SPRAYING DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A PRODUCT WITH FLUIDITY WITH THE DEVICE

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008113597A (ja) 2008-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5009592B2 (ja) 真空ミキサー
JP2005525228A (ja) フィルタプレスにおけるダイアフラム、ダイアフラム板および濾過室板
KR20040040996A (ko) 게이트 밸브 조립체
JP5215308B2 (ja) 衛生的超過圧力解放装置用シール及び衛生的超過圧力解放装置
US6824140B2 (en) Manway cover gasket
JP2003095382A (ja) タンクのマンホール構造
CN105090529B (zh) 一种阀门结构及独立气密封双层卸灰阀
KR910004430A (ko) 재밀봉 컨테이너 밀폐장치 및 재밀봉 캡
JP2003194226A (ja) ジャケットシール
JP4658720B2 (ja) 弁装置
CN211190169U (zh) 一种化工生产用密封反应釜
CN106439042B (zh) 真空狭缝阀门
CN213117663U (zh) 一种闸阀的阀盖结构
JP2008025720A (ja) バルブのシール構造
CN215101967U (zh) 一种桶装液体快速上料设备
CN221432905U (zh) 一种搅拌桶及搅拌机
JP2000354859A (ja) 浄水器
JPS5831824A (ja) 塊状物用シ−ル弁
CN214810735U (zh) 一种回转式反应器端板双层密封装置
CN213513179U (zh) 一种乙炔气气瓶充装用密封性接头
CN220268748U (zh) 一种石油开采临时输油管道
CN212612340U (zh) 一种密封组件
CN218191277U (zh) 一种蝶阀清洗固定与防溅水装置
CN107035873A (zh) 一种蝶阀
JP5125651B2 (ja) チャンバ装置のシール構造及びこれを用いたチャンバ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091028

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120131

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120223

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120508

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120531

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5009592

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250