TWI498437B - 靶材安裝機構 - Google Patents

Description

靶材安裝機構

本發明係關於濺鍍裝置之靶材安裝機構，詳細言之，係關於可使圓筒形靶材相對於陰極容易且確實安裝之靶材安裝機構。

本申請案基於2010年6月28日於日本申請之特願2010-146617號主張優先權，此處援用其內容。

例如作為建材用玻璃，Low-E玻璃(低放射玻璃)正在普及。

此種Low-E玻璃係於玻璃表面成膜金屬薄膜而形成。先前，於玻璃等之表面形成金屬薄膜時，使用具備平板狀靶材(以下僅稱作靶材)之磁控濺鍍裝置進行成膜。

但，隨著近年之建材用玻璃之大型化，平板狀靶材中，以均一厚度於玻璃表面全體成膜金屬膜較困難。

作為以均一厚度於如此大面積之成膜對象物上無不均地成膜金屬膜之方式，有人提案有使用圓筒形狀之靶材之濺鍍裝置(例如參照專利文獻1)。又，有圓筒狀靶材比平板狀靶材之使用效率高之特徵。

使用圓筒形狀靶材之濺鍍裝置係圓筒形靶材以沿著旋轉軸方向(長度方向)之兩端安裝於陰極電極上。先前，作為將靶材安裝於陰極電極之構成，例如在與陰極電極扣合之夾具上，螺旋狀形成剖面為半圓形之槽，且在靶材之端部亦螺旋狀形成半圓形之槽。然後，揭示有一種連結系統，係於任一槽插入圓筒形螺旋環，於另一槽使螺旋環嚙合，藉此而將靶材安裝於陰極電極上(參照專利文獻2)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2010-100930號公報

[專利文獻2]日本特表2006-521515號公報

但，如上述專利文獻2之連結系統中，將圓筒形靶材安裝於陰極電極時，由於經由螺旋環扣合靶材與夾具，故安裝位置易偏差，使靶材之軸心正確地與陰極電極之旋轉中心對位安裝較困難。因此，有靶材易偏心旋轉，侵蝕圖案不穩定，靶材之壽命較短之問題。

又，例如為對成膜面之一邊為數米等大型被成膜物進行成膜，而使用長度為數米等之大型靶材之情形中，將靶材安裝於陰極電極時，需要使用專用工具以較大力使夾具旋轉，靶材之安裝需要極大勞力。

本發明係鑑於上述情況而完成者，其目的係提供一種可將圓筒形靶材相對於陰極容易且可在正確之安裝位置安裝之靶材安裝機構。又，其目的係提供一種使靶材之侵蝕圖案均一，可謀求靶材之長壽命化之靶材安裝機構。

(1)本發明之一態樣係一種靶材安裝機構，其將濺鍍裝置中使用之圓筒形靶材對陰極之連結部可裝拆地安裝；前述靶材具備圓筒形基體與覆蓋該基體之靶材，且具有配置有前述靶材之中央區域、與除該中央區域在兩端側有前述基體露出之連結區域；於前述陰極之連結部上，形成內有該連結部與前述連結區域之大致圓筒形夾具；前述連結部及前述連結區域在前述夾具內之狀態下，形成於前述靶材之前述連結區域之第一扣合凸部與形成於前述夾具之內周面之第二扣合凸部僅沿著前述靶材之圓周方向相對移動，藉此而扣合。

(2)根據上述(1)之態樣，較佳為前述第一扣合凸部與前述第二扣合凸部之扣合所需要之力矩為1(kgf‧cm)以上、20(kgf‧cm)以下。

(3)根據上述(1)之態樣，較佳為前述第一扣合凸部與前述第二扣合凸部之接觸面係前述靶材之圓周方向成短型，前述靶材之軸方向成長型之形狀。

(4)根據上述(1)之態樣，較佳為具備發出判斷前述第一扣合凸部與前述第二扣合凸部之扣合動作已完成之信號之結構。

(5)根據上述(1)之態樣，較佳為前述第二扣合凸部形成3個以上，在前述夾具之內周面方向之同一線上，亦在將前述靶材之旋轉軸看作中心之假想圓上，且對於通過前述中心與前述第二扣合凸部中至少一個之線段，此外之前述第二扣合凸部軸對稱地配置。

(6)根據上述(1)之態樣，較佳為進而具備前述陰極之前述連結部中相對於軸心垂直延伸之部分與前述基體之接觸部分上所設之墊圈。

(7)根據上述(1)之態樣，較佳為進而具備使前述陰極之前述連結部中相對於軸心垂直延伸之部分與前述基體密接之固定機構。

(8)根據上述(1)之態樣，較佳為進而具備前述陰極之前述連結部中相對於軸心垂直延伸之部分與前述夾具之間隙上所配置之墊片。

(9)上述(8)之情形中，較佳為對前述墊片實施表面處理。

如上說明，根據上述(1)記載之態樣，於濺鍍裝置之陰極安裝圓筒形靶材時，將形成於陰極之夾具插入於靶材端部之連結區域，僅藉由沿著靶材之圓周方向相對移動，而第一扣合凸部與第二扣合凸部扣合，可相對於陰極安裝圓筒形靶材。

因此，利用第一扣合凸部與第二扣合凸部之扣合，可容易使陰極之中心與靶材之軸心一致，可以軸心作為旋轉中心不偏心地使靶材旋轉。藉此，被成膜物與靶材之距離可遍及靶材之全周變均一，可遍及被成膜物之全面成膜無不均之均一厚度之皮膜。

又，使用大型且有重量之靶材之情形中，安裝靶材時僅沿著靶材之圓周方向使夾具相對移動，而扣合第二扣合凸部與第一扣合凸部，可將靶材安裝於陰極上。因此，無需如先前使用專用工具以較大力使夾具旋轉，即使不使用專用工具只要以較小力使夾具沿著靶材之圓周方向旋轉，即可容易將靶材安裝於陰極上。

以下，參照附圖針對本發明之靶材安裝機構之一實施形態進行說明。另，本實施形態係用以更好理解發明主旨而具體說明者，在無特別指定下則不限定本發明。又，以下說明所使用之圖面為易瞭解本發明之特徵，為方便而有將成要部之部分放大顯示之情形，各構成要素之尺寸比率等未必與實際相同。

首先，說明具備本實施形態之靶材安裝機構之磁控濺鍍裝置(以下稱作濺鍍裝置)。

圖1係顯示濺鍍裝置之構成之縱剖面圖。又，圖2係顯示含靶材之區域之要部放大立體圖。

濺鍍裝置10具備反應室11、陽極12、陰極13、真空泵17、及Ar氣體供給裝置18。反應室11之內部可由真空泵17減壓，成膜時例如減壓至真空度6 Pa左右。

陽極12例如包含複數之平板狀電極。陽極12只要經由電纜與地面電性連接即可。於如此之平板狀電極之陽極12之一面載置被成膜物，例如玻璃板19。

陰極13構成與後述之靶材21電性連接之端子，經由電纜與交流(AC)電源裝置14電性連接。又，該陰極13藉由與冷卻水供給裝置15連接之冷卻水循環管16而抑制成膜時之溫度上升。

Ar氣體供給裝置18經由氣體供給管與反應室11之內部連接。藉此，成膜時對反應室11內供給作為電漿產生用氣體之Ar氣體。

如圖2所示，靶材21全體形成大致圓筒形。靶材21包含中空圓筒形之基體(支持管)22；及在該基材22之沿著軸心方向R之中央區域S1，覆蓋基體22之外周面之靶材23。並除該中央區域S1之兩端側成基體22露出之連結區域S2。

基體(支持管)22例如只要以厚度數毫米左右之不鏽鋼管形成即可。覆蓋基體22之中央區域S1之靶材23只要係以特定厚度形成欲成膜於被成膜物上之薄膜之材料即可，例如W、Ti、Ta、Mo、Al合金等各種金屬材料、矽、銦-錫氧化物(以下稱作ITO)等。

如此圓筒形靶材21放置於濺鍍裝置10時，於基體22之內部配置磁鐵51(參照圖1)。該磁鐵51於靶材23周圍形成磁場，進行磁控濺鍍。利用如此磁鐵51將電漿封入於靶材21附近，從而使濺鍍速度高速化，且防止靶材之薄膜堆積於靶材21附近。

於靶材21之兩端部即連結區域S2上電性且機械性連接有陰極13。該連結區域S2與陰極13之連接係經由形成於陰極之連結部S3之夾具41而進行。

如此之靶材21例如只要相同者2條並列形成即可。並且，各個靶材21利用未圖示之馬達而在成膜中以特定之旋轉速度旋轉。

使用如上構成之濺鍍裝置10，於被成膜物之玻璃19之一面成膜例如金屬薄膜時，首先從Ar氣體供給裝置18對反應室11內導入Ar氣體，同時利用真空泵17使反應室11內減壓，例如將壓力設定成1.3 Pa。接著，使載置有被成膜物之玻璃19之陽極12與並列配置之2條靶材21、21對向。

然後，從交流(AC)電源裝置14經由陰極13於2條靶材21、21上流動交流電流(AC)。此時以電流在陰極與陽極交互替換之方式施加於一靶材21與另一靶材21上。

若對靶材21、21施加交流電流(AC)，則反應室11內之Ar氣體變成輝光放電電漿，產生多數之Ar⁺ 離子。然後，該多數之Ar⁺ 離子與連接於陰極13之靶材21之靶材23碰撞。靶材23藉由該Ar⁺ 之碰撞而受濺鍍，靶材23之構成材料之粒子(濺鍍粒子)堆積於載置於陽極12之玻璃19上。藉此，可於玻璃19之一面形成含靶材23之構成材料之薄膜。

如此之濺鍍時，藉由以軸心方向R為旋轉中心以特定速度使靶材21、21旋轉，而靶材23以均一厚度減少，且可對大面積之玻璃19之一面全體形成均一膜厚之薄膜。

(第一實施形態)

圖3係顯示本發明之靶材安裝機構之放大立體圖。又，圖4係顯示本發明之靶材安裝機構之剖面圖。

在靶材21之兩端部基體22所露出之連結區域S2上，沿著基體22之圓周方向形成第一扣合凸部61。第一扣合凸部61係從基材22之周面22a向外方突出之突起，沿著基體22之圓周方向Q例如均等地配置於6處。該第一扣合凸部61只要與基體22一體形成即可。

第一扣合凸部61包含：從基材22之周面22a以較低位置突出之導入部61a；從該導入部61a沿著基體22之圓周方向Q，向從周面22a朝外方離開之方向傾斜之傾斜部61b；及與該傾斜部61b相連，以比傾斜部61b更陡峭角度(大角度)在從周面22a向外方離開之方向上升(傾斜)之扣止部61c(亦參照圖5A之剖面圖)。又，傾斜部61b從與導入部61a相連側向與扣止部61c相連側，沿著靶材21之軸心方向R成寬度擴大之形狀。

成陰極13之一端之連結部S3上，可旋轉地安裝有夾具71。該夾具71形成內有陰極13之連結部S3與靶材21之連結區域S2之中空之大致圓筒形狀。即，靶材21係中空之內徑與陰極13之連結部S3或靶材21之連結區域S2之直徑相同或比其大地形成，安裝靶材21時成覆蓋該等連結部S3或連結區域S2之形狀。

於夾具71之內周面71a上，沿著該夾具71之內周方向D形成第二扣合凸部72。第二扣合凸部72係被支持(固定)於從內周面71a向夾具71之外側掘下之特定寬度之槽71b之兩側面之圓筒棒狀構件。槽71b沿著夾具71之內周方向D例如均等地配置於6處。另一方面，第二扣合凸部72在該等6處槽71b中每隔1個均等地形成於3處。

槽71b在第一扣合凸部61與第二扣合凸部72之扣合時，形成於6處之第一扣合凸部61與該槽71b在內周方向D對向。然後，6處槽71b中形成於3處槽71b之第二扣合凸部72與第一扣合凸部61滑動且抵接，從而靶材21固定於夾具71上(靶材21與夾具71之扣合如後述)。

夾具71之一端側上形成有含鎖緊螺絲73與螺絲孔74之固定機構75。該固定機構75在將夾具71扣合於靶材21時，使鎖緊螺絲73沿著軸心方向R向靶材21緊固，藉此以夾具71沿著內周方向D不鬆弛之方式固定。

在形成於對軸心方向垂直擴大之陰極13之連結部S3與夾具71內面間之間隙T上，進而設有墊片76。該墊片76係中心設有貫通陰極13之孔之圓盤狀構件，例如只要由不鏽鋼、鋁等形成即可。墊片76係防止在鎖緊構成固定機構75之鎖緊螺絲73時，其前端與陰極13之連結部S3直接抵接而受損。

墊片76實施表面處理較佳。例如只要在由鋁形成之墊片76表面形成氧化鋁皮膜即可。又，例如在由鋁形成之墊片76表面，形成富有小裂縫等微細凹凸之硬質氧化鋁膜即可，進而形成複合有微小氟樹脂之皮膜即可。

又，例如使無電解鎳與氟樹脂在處理液中共析於由鐵、不鏽鋼、銅合金等形成之墊片76之表面，皮膜中均一地含有相對於容積比30%左右之氟樹脂，成膜後進行熱處理，形成強固密著有無電解鎳與氟樹脂之皮膜亦可。

再者，例如亦可於由鐵、不鏽鋼、銅合金等形成之墊片76之表面，將無電解鎳作為基底，進行於該析出成粒子狀之無電解鎳中複合有氟樹脂之表面處理，形成皮膜。

如此，藉由進行墊片76之表面處理，而可實現墊片76之耐磨耗性提高、滑動性提高、防止咬合等。

於陰極13之連結部S3之端部形成有墊圈77。該墊圈77例如由鋁或銅合金等形成，藉由與靶材21之基材22之端部抵接，將基材22之中空內部保持氣密。

說明如此構成之本發明之靶材安裝機構之作用。

利用本實施形態之靶材安裝機構於濺鍍裝置10之陰極13安裝圓筒形靶材21時，如圖5A所示，使形成於陰極13之連結部S3之夾具71與靶材21之基材22露出之連結區域S2靠近。然後，於夾具71之內部插入基材22之連結區域S7。

將基材22之連結區域S2插入於夾具71之內部後，接著如圖5B所示，使夾具71繞軸心方向R僅沿著靶材21之圓周方向Q旋轉。若使夾具71僅沿著圓周方向Q開始旋轉，則形成於3處槽71b之第二扣合凸部72在第一扣合凸部61之導入部61a與內周面71a之徑方向重疊。該狀態下，由於距離導入部61a之周面22a之高度較低，因此第二扣合凸部72與第一扣合凸部61幾乎不相接。

如圖5C~圖5E所示，若進而使夾具71僅沿著靶材21之圓周方向Q旋轉，則第二扣合凸部72與朝夾具71之旋轉方向緩慢變高之方式傾斜之傾斜部61b抵接。因此，第二扣合凸部72從側面觀察時以正像登上傾斜部61b之方式滑動。

夾具71僅沿著靶材21之圓周方向Q旋轉，滑動傾斜部61b時，傾斜部61b從與導入部61a相連之側向與扣止部61c相連之側，沿著靶材21之軸心方向R成寬度擴大之形狀，因此第二扣合凸部72與第一扣合凸部61接觸面積逐漸增加。另，第二扣合凸部72形成圓柱狀，因此夾具71沿著靶材21之圓周方向Q順暢地旋轉。

若使夾具71進而旋轉，則第二扣合凸部72登上傾斜部61b後，與以比傾斜部61b更陡峭角度上升之扣止部61c抵接。因此，抑制進一步沿著圓周方向Q之旋轉。藉此，靶材21對夾具71扣合。如此扣合狀態下，第一扣合凸部61與第二扣合凸部72之接觸面B成為靶材21之圓周方向Q為短側，靶材21之軸心方向(軸方向)R為長側之細長的長方形。

藉由如此將第一扣合凸部61與第二扣合凸部72之接觸面抑制為較小，於夾具71之內部插入靶材21之連結區域S2後，使夾具71僅沿著靶材21之圓周方向Q旋轉，在第二扣合凸部72與扣止部61c抵接之前必要之旋轉力矩成1(kgf‧cm)以上、20(kgf‧cm)以下。藉此，例如作業者不使用專用工具等而只要由手使夾具71輕鬆旋轉，即可使靶材21與夾具71扣合。

另一方面，只要係第二扣合凸部72登上傾斜部61b與扣止部61c抵接時，發出判斷第一扣合凸部61與第二扣合凸部72之扣合動作已完成之信號之結構即可。例如如此信號只要為聲音即可。該實施形態中，成為第二扣合凸部72與第一扣合凸部61之扣止部61c碰撞時產生之接觸音出現之結構，因此可察覺使夾具71旋轉至特定之扣合位置。藉此，可防止因夾具71之旋轉不足等所致之扣合不良。

其後，藉由將圖4所示之固定機構75之鎖緊螺絲73沿著軸心方向R朝向靶材21鎖固，而將陰極13向靶材21按壓，第一扣合凸部61與槽71b密接，夾具71對靶材21不容易旋轉。因此，維持第一扣合凸部61與第二扣合凸部72之扣合(接觸)狀態。

如上，依據本實施形態之靶材安裝機構，於濺鍍裝置10之陰極13安裝圓筒形靶材21時，將形成於陰極13之夾具71插入於靶材21之端部之連結區域S2後使之旋轉，僅使第一扣合凸部61與第二扣合凸部72扣合，即可將圓筒形靶材21安裝於陰極13上。

又，例如使用長度為數米等大型靶材之情形中，安裝靶材21時使夾具71僅沿著圓周方向旋轉，僅使第二扣合凸部72與第一扣合凸部61扣合，即可將靶材21安裝於陰極13上。因此，無需如以往使用專用工具以較大力使夾具旋轉等，即使不使用專用工具而以較小力，例如僅在夾具71之旋轉力矩為1(kgf‧cm)以上、20(kgf‧cm)以下之範圍內旋轉，即可容易將靶材21安裝於陰極13上。

根據上述實施形態，第二扣合凸部72在6處槽71b中每隔1個均等地形成於3處。即，如圖6A所示，第二扣合凸部72形成3個，位在夾具71之內周面71a方向之相同線P1上，亦在將靶材21之旋轉軸即軸心方向R看作中心之假想圓P2上，且相對於通過該中心與第二扣合凸部72之線段L軸對稱地配置。

根據如此構成，扣合第一扣合凸部61與第二扣合凸部72時，可使靶材21之旋轉軸與夾具71之內周面71a中之軸心正確一致。因此成膜時靶材21不會偏心旋轉，可均一地形成侵蝕圖案，提高靶材21之壽命。

如圖6B所示，第二扣合凸部在同一線P1上，且亦在假想圓P2上，且可以相對於通過該中心與第二扣合凸部81之線段L軸對稱之方式配置於4處。又，例如如圖6C所示，亦可在同一線P1上，且亦在假想圓P2上，且以相對於通過該中心與第二扣合凸部82之線段L軸對稱之方式配置於5處。

因此，利用第一扣合凸部61與第二扣合凸部72之扣合，可使陰極13之中心與靶材21之軸心容易一致，可將軸心作為旋轉中心不偏心地使靶材21旋轉。藉此，被成膜物與靶材21之距離遍及靶材21之全周成均一，可遍及被成膜物之全面成膜無不均之均一厚度之皮膜。

另，根據上述實施形態，使夾具71相對於靶材21僅沿著圓周方向Q旋轉扣合，但第一扣合凸部與第二扣合凸部只要沿著靶材之圓周方向相對移動而扣合即可。即，可取代夾具使靶材旋動，或使靶材與夾具兩方在圓周方向向互相不同方向迴動，扣合第一扣合凸部與第二扣合凸部之構成。

(第二實施形態)

圖7係顯示本發明之靶材安裝機構之其他實施形態之放大立體圖。又，圖8係相同靶材安裝機構之剖面圖。

根據該實施形態，在靶材21之兩端部基體22露出之連結區域S2上，沿著基體22之圓周方向形成第一扣合凸部31。第一扣合凸部31係從基材22之周面22a向外方突出之突起，沿著基體22之圓周方向例如均等地配置於6處。該第一扣合凸部31只要與基體22一體形成即可。

如圖9A所示，第一扣合凸部31例如形成平面觀察大致L字型。如此之第一扣合凸部31具備沿著靶材21之軸心方向R延伸之第一扣合機構E1；沿著靶材21之圓周方向Q延伸之第二扣合機構E2；及在靶材21之圓周方向Q大致直角方向配置之第三扣合機構E3。

成陰極13之一端之連結部S3上，可旋轉地安裝有夾具41。該夾具41形成為內有陰極13之連結部S3與靶材21之連結區域S2之中空之大致圓筒形狀。即，靶材21係中空之內徑與陰極13之連結部S3或靶材21之連結區域S2之直徑相同或大於其地形成，安裝靶材21時，成為覆蓋該等連結部S3或連結區域S2之形狀。

於夾具41之內周面41a上，沿著內周方向D形成第二扣合凸部42。第二扣合凸部42係從內周面41a向中心方向突出之突起，沿著內周方向D例如均等地配置於6處。該第二扣合凸部42只要與夾具41一體形成即可。

如圖9A所示，第二扣合凸部42例如形成平面觀察大致矩形。如此之第二扣合凸部42只要以沿著內周方向D之寬度W與互相鄰接之第一扣合凸部31彼此之間隔相同或小於其之方式形成即可。

根據如此之構成，第一扣合凸部31與第二扣合凸部42在安裝靶材21時可互相扣合地配置。

於夾具41之一端側形成有含鎖緊螺絲43與螺絲孔44之固定機構45。該固定機構45在使夾具41與靶材21扣合時，藉由使鎖緊螺絲43沿著軸心方向R向靶材21緊固，而可使第一扣合凸部31與第二扣合凸部42密接。

在陰極13之連結部S3中相對於軸心方向垂直延伸之部分與夾具41之內面間形成之間隙T中，進而設有墊片46。該墊片46係中心設有貫通陰極13之孔之圓盤狀構件，例如只要由不鏽鋼形成即可。如此之墊片46係防止在鎖緊構成固定機構45之鎖緊螺絲43時，其前端與陰極13之連結部S3直接抵接而受損。

於陰極13之連結部S3之端部形成有墊圈47。該墊圈47例如由鋁等形成，藉由與靶材21之基材22之端部抵接，而將基材22之中空內部保持氣密。

說明具有如此構成之本實施形態之靶材安裝機構之作用。

利用本實施形態之靶材安裝機構，於濺鍍裝置10之陰極13安裝圓筒形靶材21時，如圖9A所示，使形成於陰極13之連結部S3之夾具41與靶材21之基材22露出之連結區域S2靠近。然後，形成於夾具41之各個第二扣合凸部42以通過形成於基材22之第一扣合凸部31彼此之間之方式對位後，於夾具41之內面插入基材22之連結區域S2。

該插入時，構成第一扣合凸部31之第一扣合機構E1與第二扣合凸部42之一面L1沿著軸心方向R滑動，且基材22之連結區域S2插入於夾具41之內部。

如圖9B所示，使夾具41僅沿著靶材21之圓周方向Q旋轉，第二扣合凸部42之一面L1與第一扣合機構E1插入至圓周方向Q上不重疊之位置後，接著如圖9C所示，使夾具41沿著靶材21之圓周方向Q旋轉。該旋轉時，構成第一扣合凸部31之第二扣合機構E2與第二扣合凸部42之另一面L2一面沿著圓周方向Q滑動，夾具41一面旋轉。

若夾具41旋轉特定量，則第二扣合凸部42之一面L1與構成第一扣合凸部31之第三扣合機構E3抵接。藉由該第三扣合機構E3與第二扣合凸部42之抵接，而抑制沿著夾具41之圓周方向之旋轉。

其後，藉由使圖8所示之固定機構45之鎖緊螺絲43沿著軸心方向R向靶材21緊固，而第一扣合凸部31與第二扣合凸部42密接，夾具41對靶材21不容易旋轉。

10．．．濺鍍裝置

12．．．陽極

13．．．陰極

21．．．靶材

22．．．基體

22a．．．周面

23．．．靶材

61．．．第一扣合凸部

61a．．．導入部

61b．．．傾斜部

61c．．．扣止部

71．．．夾具

71a．．．內周面

71b．．．槽

72．．．第二扣合凸部

73．．．鎖緊螺絲

D．．．內周方向

Q．．．圓周方向

R．．．軸心方向

S1．．．中央區域

S2．．．連結區域

圖1係本發明之一實施形態之濺鍍裝置之縱剖面圖。

圖2係顯示相同濺鍍裝置中含靶材之區域之要部放大立體圖。

圖3係顯示相同實施形態之靶材安裝機構之放大立體圖。

圖4係顯示相同實施形態之靶材安裝機構之剖面圖。

圖5A係階段性顯示相同實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

圖5B係階段性顯示相同實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

圖5C係階段性顯示相同實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

圖5D係階段性顯示相同實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

圖5E係階段性顯示相同實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

圖6A係顯示相同實施形態之第二扣合凸部之配置例之說明圖。

圖6B係顯示相同實施形態之第二扣合凸部之配置例之說明圖。

圖6C係顯示相同實施形態之第二扣合凸部之配置例之說明圖。

圖7係顯示本發明之靶材安裝機構之其他實施形態之放大立體圖。

圖8係顯示本發明之靶材安裝機構之其他實施形態之剖面圖。

圖9A係階段性顯示其他實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

圖9B係階段性顯示其他實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

圖9C係階段性顯示其他實施形態之靶材之安裝步驟之說明圖。

13．．．陰極

21．．．靶材

22．．．基體

22a．．．周面

23．．．靶材

61．．．第一扣合凸部

61a．．．導入部

61b．．．傾斜部

61c．．．扣止部

71．．．夾具

71a．．．內周面

71b．．．槽

72．．．第二扣合凸部

73．．．鎖緊螺絲

D．．．內周方向

Q．．．圓周方向

R．．．軸心方向

S1．．．中央區域

S2．．．連結區域

Claims (9)

1. 一種靶材安裝機構，其特徵在於：其係將濺鍍裝置中使用之圓筒形靶材對陰極之連結部可裝拆地安裝者；前述靶材具備圓筒形基體、與覆蓋該基體之靶材，且具有配置有前述靶材之中央區域、與除該中央區域在兩端側有使前述基體露出之連結區域；於前述陰極之連結部上，形成內有該連結部與前述連結區域之大致圓筒形夾具；前述連結部及前述連結區域在前述夾具內之狀態下，形成於前述靶材之前述連結區域之第一扣合凸部與形成於前述夾具之內周面之第二扣合凸部僅沿著前述靶材之圓周方向相對移動，藉此而扣合。
2. 如請求項1之靶材安裝機構，其中前述第一扣合凸部與前述第二扣合凸部之扣合所需要之力矩為1(kgf‧cm)以上、20(kgf‧cm)以下。
3. 如請求項1之靶材安裝機構，其中前述第一扣合凸部與前述第二扣合凸部之接觸面係前述靶材之圓周方向成短側、前述靶材之軸方向成長側之形狀。
4. 如請求項1之靶材安裝機構，其中具備發出判斷前述第一扣合凸部與前述第二扣合凸部之扣合動作已完成之信號之結構。
5. 如請求項1之靶材安裝機構，其中前述第二扣合凸部形成3個以上，位在前述夾具之內周面方向之同一線上，亦在將前述靶材之旋轉軸看作中心之假想圓上，且對於通過前述中心與前述第二扣合凸部中至少一個之線段，其以外之前述第二扣合凸部係軸對稱地配置。
6. 如請求項1之靶材安裝機構，其中進而具備前述陰極之前述連結部中相對於軸心垂直延伸之部分與前述基體之接觸部分上所設之墊圈。
7. 如請求項1之靶材安裝機構，其中進而具備使前述陰極之前述連結部中相對於軸心垂直延伸之部分與前述基體密接之固定機構。
8. 如請求項1之靶材安裝機構，其中進而具備前述陰極之前述連結部中相對於軸心垂直延伸之部分與前述夾具之間隙上所配置之墊片。
9. 如請求項8之靶材安裝機構，其中對前述墊片實施表面處理。