TWI485370B - 發光元件點測機台 - Google Patents

Description

發光元件點測機台

本發明係一種發光元件點測機台，尤指一種提供了一個形成跨設空間的承載位置，使得發光元件向下散發之光可以在不經過承載體的情形下，進入光收集器的發光元件點測機台。

請參考第十圖，係中華民國發明專利申請案公開號201133695A1之一代表圖式。如圖所示，係一種晶圓盤的承載固定裝置，包含一框體31以及複數個固定單元32；該些固定單元32設置於該框體31一面，且每一固定單元32包含一樞軸321、一樞轉臂322以及一限位部323；該樞轉臂322藉該樞軸321樞接於框體31，並與框體31互相磁性吸附；其中，置於框體31之一晶圓盤2可藉樞轉臂322吸合於框體31，致使限位部323壓制該晶圓盤2而承載固定晶圓盤2。

該承載固定裝置主要是用於承載待測晶圓，並在限位部323壓制晶圓盤2。熟悉該項技藝人士皆知，該晶圓盤2習知方式是採用藍膜方式撐開，在藍膜上放置待測晶圓後，再放置於一承載盤上進行點測動作，或直接放在承載盤上作業，而不管是以上哪一種方式，因為待測物下方均有阻礙物，其僅限制特定向上方發光的待測物形式，而無法用於雙面發光 的待測物點測。

又，請參考第十一圖，係中華民國發明專利申請案公開號201109635A1之一代表圖式，該待測物，即發光二極體21，是置放在一透明承載板20上，然而，測試時之發光二極體21所向下散發的光是透過該透明材質的之透明承載板20，由於經過了透明承載板20這種介質，向下散發之光會偏移其散射角度、承載板透光率因素也將影響收光的效率，尤其該下光偵測裝置40為積分球41的光入口必須準確計算的強況下，受檢測的發光二極體21結果將是不準確的。

因此，如何設計一種發光元件點測機台，使得發光二極體所散發出的光可以完全地進入到光收集器中，以得到最接近於真值的光度，將是熟悉該項技藝之人士一項重要的課題。

關於本發明之優點與精神可以藉由以下的發明詳述及所附圖式得到進一步的瞭解。

本發明之主要目的在於提供一種發光元件點測機台，使得待測光度之發光元件所散發出的光可以完全地進入到光收集器中，以得到最接近於真值的光度。

本發明之一種發光元件點測機台，透過施加電性使一發光元件導通發光，進而收集發光元件之光性資料，包括：一承載平台，具有一個形成跨設空間的承載位置，該承載位置的跨設空間係用於承置至少一發光元件；一組探針，用於接觸發光元件並提供所需施加的電性，使所接觸 的發光元件導通發光；一第一光性收集裝置，對應設置於該承載平台上方，用於收集發光元件經該組探針接觸導通後，由形成跨設空間的承載位置向上方所發出的光；以及一第二光性收集裝置，對應設置於該承載平台下方，用於收集發光元件經探針接觸導通後，經由形成跨設空間的承載位置向下方所發出的光。

本發明另一種發光元件點測機台，透過施加電性使一發光元件導通發光，進而收集發光元件之光性資料，包括：一承載平台，具有一個形成跨設空間的承載位置，該承載位置的跨設空間係用於承置至少一發光元件；一組探針，用於接觸發光元件並提供所需施加的電性，使所接觸的發光元件導通發光；一第一光性收集裝置，對應設置於該承載平台上方，用於收集發光元件經該組探針接觸導通後，由形成跨設空間的承載位置向上方所發出的光；以及一光性反射裝置，對應設置於該承載平台下方，用於反射發光元件A'經探針接觸導通後，經由形成跨設空間的承載位置向下方所發出的光，再將所接收到之光向上反射至該第一光性收集裝置。

習知技術：

31‧‧‧框體

32‧‧‧固定單元

321‧‧‧樞軸

322‧‧‧樞轉臂

323‧‧‧限位部

2‧‧‧晶圓盤

20‧‧‧透明承載板

21‧‧‧發光二極體

40‧‧‧下光偵測裝置

41‧‧‧積分球

本發明：

1‧‧‧發光元件點測機台

A‧‧‧發光元件

11‧‧‧承載平台

111‧‧‧承載位置

1111‧‧‧跨設空間

12‧‧‧探針

121‧‧‧第一探針

122‧‧‧第二探針

A1‧‧‧第一電極

A2‧‧‧第二電極

13‧‧‧第一光性收集裝置

14‧‧‧第二光性收集裝置

1112‧‧‧跨設空間

1113‧‧‧跨設空間

B‧‧‧發光元件

C‧‧‧發光元件

1114‧‧‧跨設空間

1115‧‧‧跨設空間

1116‧‧‧跨設空間

1117‧‧‧跨設空間

D‧‧‧發光元件

E‧‧‧發光元件

F‧‧‧發光元件

G‧‧‧發光元件

15‧‧‧承載盤

B1‧‧‧電極

B2‧‧‧電極

C1‧‧‧電極

C2‧‧‧電極

123‧‧‧探針

D1‧‧‧電極

D2‧‧‧電極

124‧‧‧探針

1'‧‧‧發光元件點測機台

A'‧‧‧發光元件

11'‧‧‧承載平台

111'‧‧‧承載位置

1111'‧‧‧跨設空間

12'‧‧‧探針

13'‧‧‧第一光性收集裝置

14’‧‧‧光性反射裝置

第一圖係本發明之一種發光元件點測機台之一第一較佳實施例之一第一態樣之立體示意圖；第二圖係本發明之發光元件點測機台之該第一較佳實施例之一第二態樣之部分立體示意圖；第三圖係本發明之發光元件點測機台之該第一較佳實施例之一第三態樣之部分立體示意圖； 第四圖係本發明之發光元件點測機台之該第一較佳實施例之一第四態樣之部分立體示意圖；第五圖係本發明之發光元件點測機台之第一較佳實施例之該第四態樣之一承載盤應用立體圖式；第六圖、第七圖與第八圖係本發明之發光元件點測機台之第一較佳實施例之發光元件之三種實施態樣示意圖；第九圖係本發明之發光元件點測機台之一第二較佳實施例之立體示意圖；第十圖係中華民國發明專利申請案公開號201133695A1之一代表圖式；及第十一圖係中華民國發明專利申請案公開號201109635A1之一代表圖式。

請參考第一圖，係本發明之一種發光元件點測機台之一第一較佳實施例之一第一態樣之立體示意圖。發光元件點測機台1，透過施加電性使一發光元件A導通發光，進而收集發光元件A之光性資料，包括：一承載平台11，具有一個形成跨設空間1111的承載位置111，該承載位置111的跨設空間1111係用於承置至少一發光元件A；一組探針12，係包括一第一探針121與一第二探針122，用於接觸發光元件A之一第一電極A1與一第二電極A2，並提供所需施加的電性，使所接觸的發光元件A導通發光；一第一光性收集裝置13，對應設置於該承載平台11上方，用於收集發光元件A經該組探 針12接觸導通後，由形成跨設空間1111的承載位置111向上方所發出的光；以及一第二光性收集裝置14，對應設置於該承載平台11下方，用於收集發光元件A經探針12接觸導通後，經由形成跨設空間的承載位置111向下方所發出的光。

請參考第二圖，係本發明之發光元件點測機台之該第一較佳實施例之一第二態樣之部分立體示意圖。該第二態樣係該承載位置111具有二個跨設空間1112、1113，用以承置兩個發光元件B、C。

請參考第三圖，係本發明之發光元件點測機台之該第一較佳實施例之一第三態樣之部分立體示意圖。該第三態樣係該承載位置111具有四個跨設空間1114、1115、1116、1117，用以承置四個發光元件D、E、F、G。

請參考第四圖與第五圖，係本發明之發光元件點測機台之該第一較佳實施例之一第四態樣之部分立體示意圖與本發明之發光元件點測機台之第一較佳實施例之該第四態樣之一承載盤應用立體圖式。該第四態樣係包括有一個形成四個跨設空間1114、1115、1116與1117，每個跨設空間用於承置複數個發光元件的承載盤15，如第五圖所示，該跨設空間1114承載有複數個發光元件D，該跨設空間1115承載有複數個發光元件E，該跨設空間1116承載有複數個發光元件F，該跨設空間1117承載有複數個發光元件G，該承載盤15跨設於承載平台11的承載位置111，由該組探針(第四圖未示，請參考第一圖)順序施加電性該複數個發光元件D、E、F、G。

以上不同的實施方式均具有一個相同的特徵，使發光元件向下散發之光可以在不透過承載體的情形下，直接進入光收集器的發光元件 點測機台，避免透光率、光行進角度變化等因素影響檢測的結果。

再請參考第一圖，第一光性收集裝置13所採用的是太陽能電池(或稱光伏電池、Solar Cell、Photovoltaic)，由於太陽能電池的特性正是將光性轉換為電性之特點，且接收可涵蓋的角度大，所以應用於空間十分限制的發光元件點測機台相當合適。該太陽能電池藉以接收該發光元件A經該組探針12接觸導通後，由該形成該跨設空間1111的承載位置111向上方所發出的光。第二光性收集裝置14同樣也是使用太陽能電池，藉以接收該發光元件A經該組探針12接觸導通後，經由該形成該跨設空間1111的承載位置111向下方所發出的光。

請參考第六圖、第七圖與第八圖，係本發明之發光元件點測機台之第一較佳實施例之發光元件之三種實施態樣示意圖，對於發光元件的不同電極設計位置均有其實施作法。如第六圖所示，發光元件A之二電極位於同一面時，該組探針12為二支探針121、122，分別接觸該二電極A1、A2提供所需施加的電性，使所接觸的發光元件A導通發光。

如第七圖所示，二發光元件B、C之每一個發光元件之二電極B1與B2、C1與C2位於同一面時，該組探針12為一支探針123，由於第五圖所示之承載盤15上已經設計一個電極共導接機制(圖中未示)，將發光元件B、C放上承載盤15上時，各發光元件B、C之二電極之一，如負極，即共導接，該承載盤15並於該共導接部份連接外部一電性端，實施上就可以透過一支探針點亮發光元件。如，發光元件B之另一電極B2與發光元件C之另一電極C2共導接，故該支探針123接觸其中一電極，如電極B1，所接觸的發光元件B導通發光，於發光元件B點測完之後再將探針123位置與電極C1接觸， 如此依序點測後續的複數個發光元件。

如第八圖所示，發光元件D之二電極D1與D2位於不同面時，該組探針為一支探針124，同樣地，由於承載盤15上已經設計一個電極共導接機制，將發光元件D放上承載盤15上時，發光元件D其中一電極即共導接，承載盤15並於共導接部份連接外部一電性端，所以該支探針124只需接觸該電極D1，即可使所接觸的該發光元件D導通。若為複數個待測發光元件，於發光元件D點測完之後再將探針124位置移至下一個待測發光元件之電極接觸，如此依序點測後續的複數個發光元件。

請參考第九圖，係本發明之發光元件點測機台之一第二較佳實施例之立體示意圖。該發光元件點測機台1'，透過施加電性使一發光元件A，導通發光，進而收集發光元件A'之光性資料，包括：一承載平台11'，具有一個形成跨設空間1111'的承載位置111'，該承載位置111'的跨設空間1111'係用於承置至少一發光元件A'；一組探針12'，用於接觸發光元件A'並提供所需施加的電性，使所接觸的發光元件A，導通發光；一第一光性收集裝置13'，對應設置於該承載平台11'上方，用於收集發光元件A'經該組探針12'接觸導通後，由形成跨設空間1111'的承載位置111'向上方所發出的光；以及一光性反射裝置14'，對應設置於該承載平台11'下方，用於偵測發光元件A'經探針12'接觸導通後，經由形成跨設空間1111'的承載位置111'向下方所發出的光，再將所偵測到之光向上反射至該第一光性收集裝置13'。

第二較佳實施例與第一較佳實施例之其他元件其實施態樣皆為相同。

與習知技術比較後，本發明具備了以下的優點：本發明提供 了一個形成跨設空間的承載位置，使發光元件向下散發之光可以在不透過承載體的情形下，直接進入光收集器。如此，光收集器所收集到的光度是接近於發光元件的真值，因而可避免透光率、光行進角度變化等因素影響檢測的結果。

於是，本發明專利申請案係利用發明人豐富的經驗，以極富創意的構思，設計出簡單卻能充分解決習知技術的問題。因此，本發明專利申請案的功能，確實符合具有新穎性與進步性的專利要件。

唯以上所述者，僅為本發明之較佳實施例，當不能以之限制本發明範圍。即大凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化及修飾，仍將不失本發明之要義所在，亦不脫離本發明之精神和範圍，故都應視為本發明的進一步實施狀況。

1‧‧‧發光元件點測機台

11‧‧‧承載平台

111‧‧‧承載位置

1111‧‧‧跨設空間

12‧‧‧探針

121‧‧‧第一探針

122‧‧‧第二探針

13‧‧‧第一光性收集裝置

14‧‧‧第二光性收集裝置

A‧‧‧發光元件

A1‧‧‧第一電極

A2‧‧‧第二電極

Claims (15)

1. 一種發光元件點測機台，透過施加電性使一發光元件導通發光，進而收集發光元件之光性資料，包括：一承載平台，具有一個形成跨設空間的承載位置，該承載位置的跨設空間係用於承置至少一發光元件；一組探針，用於接觸發光元件並提供所需施加的電性，使所接觸的發光元件導通發光；一第一光性收集裝置，對應設置於該承載平台上方，用於收集發光元件經該組探針接觸導通後，由形成跨設空間的該承載位置向上方所發出的光；以及一第二光性收集裝置，對應設置於該承載平台下方，用於收集發光元件經該組探針接觸導通後，經由形成跨設空間的該承載位置向下方所發出的光。
2. 如申請專利範圍第1項所述之發光元件點測機台，其中，該承載位置具有複數個跨設空間，用以承置兩個以上的發光元件。
3. 如申請專利範圍第1項所述之發光元件點測機台，其中，更包括有一個形成複數個跨設空間、用於承置複數個發光元件的承載盤，該承載盤跨設於該承載平台的該承載位置，由該組探針順序施加電性該複數個發光元件。
4. 如申請專利範圍第1項所述之發光元件點測機台，其中，該第一光性收集裝置是太陽能電池，藉以接收該發光元件經該組探針接觸導通後，由形成該跨設空間的該承載位置向上方所發出的光。
5. 如申請專利範圍第1項所述之發光元件點測機台，其中，該第二光性收集裝置是太陽能電池，藉以接收該發光元件經該組探針接觸導通後，經由形成該跨設空間的該承載位置向下方所發出的光。
6. 如申請專利範圍第3項所述之發光元件點測機台，其中，該些發光元件之二電極位於同一面時，該組探針為二支探針，提供所需施加的電性，分別接觸該二電極使所接觸的該發光元件導通發光。
7. 如申請專利範圍第3項所述之發光元件點測機台，其中，該些發光元件之二電極位於同一面時，該組探針為一支探針，該支探針接觸其中一電極，每個發光元件之另一電極透過該承載盤上之一電極共導接機制相互共同導接，使所接觸的該發光元件導通。
8. 如申請專利範圍第3項所述之發光元件點測機台，其中，該發光元件之二電極位於不同面時，該組探針為一支探針，該支探針接觸一電極，該些發光元件之另一電極透過該承載盤上之一電極共導接機制相互共同導接，使所接觸的該發光元件導通。
9. 一種發光元件點測機台，透過施加電性使一發光元件導通發光，進而收集發光元件之光性資料，包括：一承載平台，具有一個形成跨設空間的承載位置，該承載位置跨設空間係用於承置至少一發光元件；一組探針，用於接觸發光元件並提供所需施加的電性，使所接觸的發光元件導通發光； 一第一光性收集裝置，對應設置於該承載平台上方，用於收集發光元件經該組探針接觸導通後，由形成跨設空間的該承載位置向上方所發出的光；以及一光性反射裝置，對應設置於該承載平台下方，用於反射發光元件經探針接觸導通後，經由形成跨設空間的承載位置向下方所發出的光，再將所接收到之光向上反射至該第一光性收集裝置。
10. 如申請專利範圍第9項所述之發光元件點測機台，其中，該承載位置具有複數個跨設空間，用以承置兩個以上的發光元件。
11. 如申請專利範圍第9項所述之發光元件點測機台，其中，更包括有一個形成複數個跨設空間、用於承置複數個發光元件的承載盤，該承載盤跨設於該承載平台的該承載位置，由該組探針順序施加電性該複數個發光元件。
12. 如申請專利範圍第9項所述之發光元件點測機台，其中，該第一光性收集裝置是太陽能電池，藉以接收該發光元件經該組探針接觸導通後，由形成該跨設空間的該承載位置向上方所發出的光，以及該光性反射裝置所反射之光。
13. 如申請專利範圍第11項所述之發光元件點測機台，其中，該些發光元件之二電極位於同一面時，該組探針為二支探針，分別接觸該二電極，提供所需施加的電性，使所接觸的該發光元件導通發光。
14. 如申請專利範圍第11項所述之發光元件點測機台，其中，該些發光元件之二電極位於同一面時，該組探針為一支探針，該支探針接觸其中 一電極，每個發光元件之另一電極透過該承載盤上之一電極共導接機制相互共同導接，使所接觸的該發光元件導通。
15. 如申請專利範圍第11項所述之發光元件點測機台，其中，該些發光元件之二電極位於不同面時，該組探針為一支探針，該支探針接觸一電極，該些發光元件之另一電極透過該承載盤上之一電極共導接機制相互共同導接，使所接觸的該發光元件導通。