TWI482399B - Variable linear motor armature and its adjustable linear motor and handling device - Google Patents

Description

調變型線性馬達電樞及具備它的調變型線性馬達以及搬運裝置

本發明是例如關於被使用於電氣零件安裝裝置，半導體關連裝置或是工作機械等的各種產業機械，同時適用於其直動機構的驅動用的AC3相的線性馬達電樞，尤其是，關於分離導線部與中性點處理部的調變型線性馬達電樞及具備它的調變型線性馬達以及搬運裝置。

先前，眾知例如被使用於電氣零件安裝裝置，半導體或液晶關連的製造裝置或是工作機械等的各種產業機械，同時適用於其直動機構的驅動用，而且具備組裝複數模組的電樞的調變型線性馬達電樞及線性馬達(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1所述的調變型線性馬達電樞，是至少由基端側模組，及中間模組，及前端側模組所構成，組裝此些複數模組，就成為可提昇裝配等的作業性，及可提昇利用量產效果所作的生產性。

專利文獻1：日本特開2001-275336號公報(專利說明書第5～7頁，第1圖)

然而，先前的調變型線性馬達電樞是未被分離為導線部與電樞之故，因而欲將相同機種的調變型電樞並聯地配置於與線性馬達的推力方向正交的方向之際，則成為從各個電樞端部分別拉出兩條導線之故，因而在結線處理，電纜處理等有麻煩的問題。

又，同樣地，在串聯地多連結連接調變型電樞之際，也有結線處理成為複雜之故，因而整體說來視需要將電樞作成可變，而與可裝卸的調變型電樞不相同地，被要求導線部也可自由地可裝卸的構造。

又，近年來，在以液晶、半導體製造領域為主的所有市場上，提高了線性馬達的大推力化的需求，例如對於線性馬達的必需推力每當進行新穎設計，同時考量變更推力的機種的構造的情形，則僅增加構造的數量的分量，也成為增加線性馬達電樞的機種。所以，在此種狀況下，藉由線性馬達的客戶規格，除了電樞的推力方向長度，電樞線圈的形狀或數量之外，還有電樞的導線長度規格也不同之故，因而尤其是將複數調變型電樞進行串聯地多連結配置，或是並聯地多連結配置的組配，則必須準備更多的製品構造，而有製品費用，甚至於對於客戶製品價格，交貨期等給予影響的問題。

因此，一面串聯或並聯也多連結調變電樞部而維持實現大推力規格，一面被要求製品費用低的調變型電樞。

本發明是鑑於此些問題點而創作者，提供分離線性馬達的調變型電樞構造的導線部與中性點部，而且在增大推力時，不必藉由客戶規格使得電樞的導線長度規格有所變更，在串聯或是並聯亦多連結調變電樞部而可實現大推力規格，而且低成本的調變型線性馬達電樞及具備它的調變型線性馬達以及搬運裝置作為目的。

為了解決上述問題，本發明是如下地構成者。

申請專利範圍第1項的發明是一種調變型線性馬達電樞，是屬於朝推力方向依次連結裝設複數線圈群所成的m相(m是整數)電樞繞線的複數個電樞單元所構成的調變型線性馬達電樞，其特徵為：在上述各個電樞單元的一方端及另一方端，配備連接上述電樞繞線的導線的連接用端子，在位於朝上述推力方向多連結所成的電樞群的最前部的電樞單元，連接該電樞繞線的導線的端子輸出，設置從外部電源供應電源所用的導線部連接單元，而且在位於該電樞群的最後部的電樞單元，設置將該電樞繞線的中性點進行結線處理所用的中性點單元。

又，申請專利範圍第2項的發明，是如申請專利範圍第1項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元是在朝著磁性材料所成的電樞磁心的長度方向以等間距排列的複數齒藉由集中捲繞進行捲繞上述電樞繞線，而且構成固定於電樞底座上所成的具磁心型的電樞構造為其特徵者。

又，申請專利範圍第3項的發明，是如申請專利範圍第1項或第2項所述的調變型線性馬達電樞，其中，相抵在上述電樞單元的兩端部的齒所發生的開齒推力的方式，在被連接於上述各個電樞單元的上述導線部連接單元及上述中性點單元，組裝有輔助齒，為其特徵者。

又，申請專利範圍第4項的發明，是如申請專利範圍第3項所述的調變型線性馬達電樞，其中，在上述導線部連接單元，內設有進行線性馬達的初期磁極的檢測的極性感測器部，為其特徵者。

又，申請專利範圍第5項的發明，是如申請專利範圍第1項所述的調變型線性馬達電樞，其中，將上述電樞單元及上述導線部連接單元以及上述中性點單元作成n個的並聯配置構成(n是2以上的整數)，上述導線部連接單元是設置：將從外部電源供應於該導線部連接單元的電流予以n分割的分配電路，及將藉由該分配電路所分割的電流供應於各電樞單元的方式，與上述各電樞單元連接的端子，上述中性點單元是設置將各個電樞單元的電樞繞線的終端部予以個別地連接的連接電路與端子，為其特徵者。

又，申請專利範圍第6項的發明，是如申請專利範圍第1項或第2項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元是被分割成複數電樞區塊，為其特徵者。

又，申請專利範圍第7項的發明，是如申請專利範圍第1項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元是將朝基板的長度方向等間隔地排列複數線圈群而予以樹脂成形所成的電樞繞線，構成固定於電樞底座上所成的空心型電樞，為其特徵者。

又，申請專利範圍第8項的發明，是如申請專利範圍第7項所述的調變型線性馬達電樞，其中，將上述電樞底座的推力方向長度作成電角360°之整數倍，為其特徵者。

又，申請專利範圍第9項的發明，是如申請專利範圍第7項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元間的電相位配置，是配置成具有電角120°或240°的相位偏差，為其特徵者。

又，申請專利範圍第10項的發明，是如申請專利範圍第7項或第9項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元的結線是藉由串聯連接或是並聯連接的任一所連接者，為其特徵者。

又，申請專利範圍第11項的發明，是如申請專利範圍第1項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述電樞單元的兩端及上述電樞導線部連接單元以及上述中性點單元的端部是作成利用連接器所作的連接構成。

又，申請專利範圍第12項所述的發明，是一種調變型線性馬達，其特徵為：具備：申請專利範圍第1項至11項中任一項所述的調變型電樞；及與上述電樞經由磁性空隙相對配置，而且將極性不相同的複數永久磁鐵交互地相鄰排列配置於固定部的場磁鐵，將上述電樞與上述場磁鐵的任一方作為定子，而將另一方作為活動元件，並將上述場磁鐵與上述電樞作成相對地運轉。

又，申請專利範圍第13項的發明，是一種搬運裝置，其特徵為：使用申請專利範圍第12項所述的調變型線性馬達進行運轉移動台。

依照申請專利範圍第1項、第2項所述的發明，就可以以1種類的調變電樞來實現複數推力規格的電樞。

又，依照申請專利範圍第3項所述的發明，就可以相抵減低發生於線性馬達的前後兩端部的開齒推力。

又，依照申請專利範圍第4項所述的發明，接通線性馬達電源時，可作成可適應驅動之狀態。

又，依照申請專利範圍第5項所述的發明，以一種類的調變電樞可實現朝寬度方向增加推力。

又，依照申請專利範圍第6項所述的發明，可容易地作成多連結配置電樞的磁心區塊，而也可容易進行裝配。

又，依照申請專利範圍第1項、第7項所述的發明，以一種類的調變電樞可實現推力規格的電樞。

又，依照申請專利範圍第8項所述的發明，連結複數個電樞之際，不需要電樞間的微細的相位調整，僅面對面電樞底座就可進行相位對準，而可確保馬達性能之故，因而可縮短馬達裝配至機械時的作業時間。

又，依照申請專利範圍第9項所述的發明，成為可刪減複數個電樞的連結部，亦即可刪減未有助於推力發生的空間。

又，依照申請專利範圍第10項所述的發明，對規格有電流限制時作成串聯結線，而對規格有電壓限制時作成並聯結線等，成為可對應於所有規格。

又，依照申請專利範圍第11項所述的發明，多連結配置電樞時，則對於導線部連接單元及中性點單元的連接構造為調變電樞的連接構造，可得到零件的共用化，提供可裝卸自如各單元、製品費用低的調變型電樞。

又，依照申請專利範圍第12項所述的發明，可得到具有申請專利範圍第1項至第11項所述的調變型電樞的效果的調變型線性馬達。

又，依照申請專利範圍第13項所述的發明，可得到具有申請專利範圍第12項所述的調變型線性馬達的效果的搬運裝置。

以下，針對於本發明的實施形態參照圖式進行說明。

實施例1

第1圖是表示依本發明的第1實施例的調變型的具磁心的線性馬達電樞的全體構成的俯視圖，分解調變電樞單元，導線部連接單元，中性點單元者。

在第1圖中，1是調變電樞單元，在未圖示的電樞磁心裝設複數線圈群所成的m相(m是整數)的電樞繞線(未圖示)，而且該單元的前後端是成為作成可電力通電壓電樞所用的連接器構造。

又，2是導線連接單元，3是中性點單元，4是極性感測器，5是輔助齒，導線部連接單元2與中性點單元3是成為與調變電樞1相同的連接器構造。

本發明的特徵與先前技術不相同之處，是如以下。

亦即，在第1圖中，在電樞單元1的兩端，配置連接電樞繞線的導線的連接用端子(連接器7)，在該電樞單元1的一方端連接電樞繞線的導線的端子輸出，設置從外部電源供應電源所用的導線部連接單元2，而且在電樞單元1的另一方設置結線處理電樞繞線的中性點所用的中性點單元3，而導線部連接單元2及中性點單元3，是成為從電樞單元1被分離的構造之處。又，導線部連接單元2及中性點單元3的端部是成為與電樞單元1的端部同樣地分別具有連接器8、9的連接構成。

在此，第9圖是表示一般的具磁心的調變型線性馬達的側斷面圖。

使用於本實施例(第1圖)的電樞單元1的內部，是與第9圖的線性馬達基本上相同，在第9圖中，分割成複數電樞區塊20而朝推力方向排列，成為構成固定於電樞底座24上所成的具有磁心的電樞構造者。各電樞區塊20的區塊磁心是設有：成為朝著磁性材料所成的電樞磁心的長度方向以等間距排列的相數的整數倍的複數齒20a及集中捲繞於上述齒20a的電樞線圈21。此種電樞單元1是經由磁性空隙，對於軛23，及以等間距排列於軛23上的場磁鐵磁極22所成的定子21，被相對配置。

又，如第1圖所示地，在導線部連接單元2及中性點單元3，考慮藉由連接器(7、8、9)連接電樞單元1使之一體化時的影響，組裝有用以相抵在電樞單元1的兩端部的齒所產生的開齒推力的輔助齒5。

又，在第1圖中，在導線部連接單元2成為內設有進行檢測線性馬達的初期磁極的極性感測器4者。又，在未內設有極性感測器時，則成為需要依軟體的磁極檢測動作。

第2圖是表示串聯地連結第1實施例的兩個調變電樞單元的事例的俯視圖。

在第1圖中，表示1個調變電樞(電樞單元1)的例子加以說明，惟在第2圖中，針對於朝推力方向依次連結複數個(在此為兩個)該電樞單元1所構成的調變型線性馬達電樞加以說明。

亦即，在第2圖中，在各個調變電樞單元1配備連接電樞繞線的導線的連接用端子(連接器7)，而在位於朝推力方向多連結所成的電樞群的最前部的電樞單元1，連接該電樞繞線的導線的端子輸出，設置從外部電源供應電源所用的導線部連接單元2，在位於該電樞群的最後部的電樞單元1，設置結線處理該電樞繞線的中性點所用的中性點單元3，而且成為從調變電樞單元1分離導線部連接單元2及中性點單元3的構造。

作成此種構成，串聯連接兩台調變電樞單元，在前端連接導線部連接單元而在後部連接中性點，就可實現兩倍推力的線性馬達。

以下，依串聯連接第1實施例的兩個調整電樞單元時的推力增加與零件數的關係，是基本上可以以如下的表1的關係。

針對於其動作，在表示於第2圖的電樞單元的電樞繞線的導線以m相交流通電，就可發生移動磁場，惟將該電樞單元與未圖示的永久磁鐵場磁鐵組合，則動作作為同步型馬達，在進行組合代替永久磁鐵場磁鐵而具有導電性材料的場磁鐵，及該電樞單元的情形，可動作作為感應型馬達。

因此，本發明的第1實施例在電樞單元的一方端設置從外部電源供應電源的導線部連接單元2，在電樞單元1的另一端設置結線處理電樞繞線的中性點的中性點單元3，而作成從調變電樞單元1分離的構造，而且藉由連接器來連接電樞單元1，導線部連接單元2及中性點單元3的各端部之故，因而需要多連結配置複數調變型電樞時，則導線部連接單元2及中性點單元3的連接構造對於調變電樞單元1的連接構造可得到零件的共用化之故，因而使用1種類的調變電樞而實現可增加推力變化的複數推力規格的電樞，而且可提供各單元的裝卸自如，又製品費用低的調變型電樞。

又，在導線部連接單元及中性點單元組裝有輔助齒之故，因而可相抵減低發生於線性馬達的前後兩端部的開齒推力。

又，導線部連接單元是內設有進行線性馬達的初期磁極的檢測的極性感測器部之故，因而接通線性馬達電源時，則可作成可適用驅動的狀態。

以下，第3圖是表示第1實施例的導線部連接單元的變形實施例，第3(a)圖的導線朝橫側拉出的情形，第3(b)圖是表示導線朝上方拉出的情形者。

在第3圖中，導線部連接單元2是使用將導線部的取出方向成為線性馬達的推力方向的前出，或是與線性馬達的推力方向正交的方向的橫出或是上出的3種類，可將電樞單元的導線的取出方向變更成可撓性之故，因而不會將結線處理，電纜處理作成複雜化，而可進行省空間化。

實施例2

以下，針對於本發明的第2實施例加以說明。

第4圖是表示依本發明的第2實施例的並聯型導線部連接單元的俯視圖者，而第5圖是表示適用第2實施例的並聯型導線部連接單元的調變型的具磁心的線性馬達電樞的全體構成，第5(a)圖是表示分解此些的俯視圖，第5(b)圖是表示組合此些的俯視圖。

第2實施例與第1實施例不相同之處，是將電樞單元1及導線部連接單元2以及中性點單元3作成n個的並聯配置構成(本例是n=2)，導線部連接單元2是設置將從未圖示的外部電源供應於該導線部連接單元2的電流予以n分割的未圖示的分配電路，及將藉由該分配電路(未圖示)所分割的電流供應於各電樞單元1的方式與各電樞單元1連接的端子，而該中性點單元3是成為設置個別地連接各個電樞單元1的電樞繞線的終端部的未圖示的連接電路與端子的構成之處。

又，第2實施例是與第1實施例同樣地成為導線部，與調變電樞單元被分離的構造，若增大線性馬達推力，則零件的共用化成為可能。

作成此種構成，將兩台調變電樞單元予以並聯連接，在前端連接導線部的並聯單元6而在後部連接中性點單元，就可實現兩倍的推力的線性馬達。

又，依並聯連接第2實施例的兩個調變電樞時的增加調變電樞推力與零件數的關係是

[表2]

因此，本發明的第2實施例是以1種類的調變電樞可實現與推力方向正交的方向，所謂對調變電樞的寬度方向增加推力。

總言之，以1種類的調變電樞單元可採用並聯、串聯的兩種推力擴大方法之故，因而可格外地提高生產性而使得線性馬達的製品庫存管理，零件庫存管理成為容易等。

實施例3

第6圖是表示串聯地連結依本發明的第3實施例的兩個調變型的空心線性馬達電樞的事例，第6(a)圖是表示其概略的前視圖及側面圖，第6(b)圖是表示分解各電樞單元的側面圖，第6(c)圖是表示連接各電樞單元的側面圖。

在第6圖中，11是場磁鐵，在ㄈ形的場磁鐵軛11a的側，經由空隙相對者不相同的極地，且極性交互地變更地等間隔地安裝的磁鐵11所構成。

又，12是電樞單元，而電樞單元12是將朝基板的長度方向排列複數個複數線圈群使之樹脂成形的電樞繞線作為基板組12c，而將該基板組12c固定於電樞底座12d上以構成空心型的調變型線性馬達電樞者。還有，電樞底座12d的前後端是成為具有連接器15的構造，而可用連接器連接複數個電樞單元12。13是導線取出單元，成為具有連接器16的構造，與上述電樞底座12d的前端連接器15相連接。14是中性點單元，成為具有連接器17的構造，而與上述電樞底座12d的後端連接器15相連接，俾進行上述電樞繞線的中性點結線處理。

由此種構造，來依賴電樞2的個數，經由導線取出單元13成為可電流通電於所有電樞，而成為可對應於所有推力規格。

又，如第6圖所示地，以電角來表示電樞2的推力方向長度時，則作成成為360°的整數倍。

藉此，在連結複數個電樞單元12之際，僅面對面電樞底座12d就可成為電樞間的對準相位之故，因而可縮短將馬達組裝於機械的作業時間。又，使用連結複數個以往的電樞時，必須對位於決定電樞間的距離之故，因而雖具有馬達組裝於機械的作業上煩雜之缺點之故，惟本實施例是解決習知技術的課題者。

實施例4

第7圖是表示串聯地連接本發明的第4實施例的兩個調變型空心線性馬達電樞的事例，第7(a)圖是表示其側面圖，第7(b)圖是表示其側面圖。

將電樞作成模組構成時，則在各電樞的連結部未配置電樞線圈之故，因而如第7(a)圖所示地，若將電樞長作成電角360°的整數倍，則未有助於推力發生的空間變大，而在模組全體觀看，會使馬達常數密度變小。一方面，如第7(b)圖所示地，電樞別地將線圈配置偏離電角120°或240°時，則可儘量抑制未助於推力發生的空間之故，因而在模組全體觀看成為可防止降低馬達常數密度。

實施例5

第8圖是表示適用圖示本發明的第5實施例的並聯型的導線部連接單元的調變型空心線性馬達電樞的事例。

第6圖，第7圖是表示串聯結線複數個電樞的例子，惟第8(a)圖是表示分解電樞單元12，導線取出單元13，中性點單元14的側面圖，第8(b)圖是表示第8(a)圖的俯視圖，第8(c)圖是表示連接第8(a)圖的各單元的側面圖，第8(d)圖是表示第8(c)圖的俯視圖。

藉由調整電樞模組數，就可對應於所有推力規格，惟一般，另外地被追加電壓或電流，或是所謂速度的規格較多。例如，對於電流規格(OA以下)則選定串聯結線，而對於電壓規格(OV以下)或是速度規格(最高速度Om/s)作成可選定並聯結線，成為以1種類的模組就可對應於廣範圍的規格。

因此，依照本發明的實施例3～5，具有無磁性吸引力，無開齒的特徵，而與具磁心的線性馬達相比較，在可實施低速脈動驅動的空心線性馬達，對於數千至數萬N的所有推力規格，若串聯或是並聯結線複數個1種類的電樞模組就可予以對應。

又，藉由零件共通化，可抑制在最小限的零件數之故，因而以低成本可製作馬達，而成為低價格可提供給用戶。

依照本發明，藉由分別分離線性馬達的調變型電樞構造的導線部與中性點部而可得到單元化，不必藉由客戶規格使得電樞的導線長度規格有所變更，在串聯或並聯也多連結調變電樞部而可實現大推力規格的組合複數調變型電樞所成的調變型線性馬達電樞之故，因而可適用於可高精度加工的工作母機，需要高速的微小定位或一定移送速度的電氣零件安裝裝置，將半導體或液晶關連的製造裝置或是工作機械等的移動台予以運轉的台移送裝置，搬運裝置等。

1．．．調變電樞單元

2．．．導線部連接單元

2a．．．導線

3．．．中性點單元

4．．．極性感測器

5．．．輔助齒

6．．．並聯齒

7、8、9．．．連接器

11．．．場磁鐵

11a．．．場磁鐵軛

11b．．．磁鐵

12．．．電樞單元

12c．．．基板組

12d．．．電樞底座

13．．．導線取出單元

14．．．中性點單元

15、16、17．．．連接器

20．．．電樞區塊

20a．．．齒

21．．．電樞線圈

22．．．場磁鐵磁極

23．．．軛

24．．．電樞底座

第1圖是表示依本發明的第1實施例的調變型的具磁心的線性馬達電樞的全體構成的俯視圖，分解調變電樞單元、導線部連接單元、中性點單元者。

第2圖是表示串聯地連結第1實施例的兩個調變電樞單元的事例的俯視圖。

第3圖是表示第1實施例的導線部連接單元的變形實施例，第3(a)圖的導線橫出的情形，第3(b)圖是表示導線上出的情形者。

第4圖是表示依本發明的第2實施例的並聯型導線部連接單元的俯視圖。

第5圖適用第2實施例的並聯型導線部連接單元的調變型的具磁心的線性馬達電樞的全體構成，第5(a)圖是表示分解此些的俯視圖，第5(b)圖是表示組合此些的俯視圖。

第6圖是表示串聯地連結依本發明的第3實施例的兩個調變型的空心線性馬達電樞的事例，第6(a)圖是表示其概略的前視圖及側面圖，第6(b)圖是表示分解各電樞單元的側面圖，第6(c)圖是表示連接各電樞單元的側面圖。

第7圖是表示串聯地連結圖示本發明的第4實施例的兩個調變型空心線性馬達電樞的事例，第7(a)圖是表示其側面圖，第7(b)圖是表示其側面圖。

第8圖是表示適用圖示本發明的第5實施例的並聯型的導線部連接單元的調變型空心線性馬達電樞的事例。

第9圖是表示一般的具磁心的調變型線性馬達的側斷面圖。

1‧‧‧調變電樞單元

2‧‧‧導線部連接單元

2a‧‧‧導線

3‧‧‧中性點單元

7、8、9‧‧‧連接器

Claims (12)

1. 一種調變型線性馬達電樞，其特徵為：將裝設由複數線圈群所成的m相(m是整數)電樞繞線而成之彼此略同一構造的複數個電樞單元，朝推力方向依次連結複數個來構成電樞群，在上述電樞群中所具備之各個電樞單元的沿上述推力方向之一方端及另一方端，配備連接用端子，以連接各個電樞單元之上述電樞繞線的導線，構成上述電樞群之上述複數個電樞單元當中，在位於沿著上述推力方向的最前部的電樞單元的沿著該推力方向之前方側端部，連接上述電樞繞線的導線的端子輸出，並裝設導線部連接單元以用來從外部電源供應電源，構成上述電樞群之上述複數個電樞單元當中，在位於沿著上述推力方向的最後部的電樞單元的沿著該推力方向之後方側端部，裝設中性點單元，以用來將上述電樞繞線的中性點進行結線處理。
2. 如申請專利範圍第1項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元是在朝著磁性材料所成的電樞磁心的長度方向以等間距排列的複數齒藉由集中捲繞進行捲繞上述電樞繞線，而且構成固定於電樞底座上所成的具磁心型的電樞構造。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的調變型線性馬達電樞，其中， 相抵在上述電樞單元的沿著上述推力方向之兩端部的齒所發生的頓轉(cogging)推力的方式，在被連接於上述各個電樞單元的上述導線部連接單元及上述中性點單元，組裝有輔助齒。
4. 如申請專利範圍第3項所述的調變型線性馬達電樞，其中，在上述導線部連接單元，內設有進行線性馬達的初期磁極的檢測的極性感測器部。
5. 一種調變型線性馬達電樞，其特徵為：將裝設由複數線圈群所成的m相(m是整數)電樞繞線而成之彼此略同一構造的複數個電樞單元，朝與推力方向正交之推力正交方向依次連結複數個來構成電樞群，在上述電樞群中所具備之各個電樞單元的沿上述推力方向之一方端及另一方端，配備連接用端子，以連接各個電樞單元之上述電樞繞線的導線，在構成上述電樞群之上述複數個電樞單元的沿著上述推力方向之前方側端部，分別連接各個電樞單元的上述電樞繞線的導線的端子輸出，並裝設上述複數個電樞單元所共用之一個導線部連接單元，以用來從外部電源供應電源，在構成上述電樞群之上述複數個電樞單元的沿著上述推力方向之後方側端部，裝設上述複數個電樞單元所共用之一個中性點單元，或是裝設與上述複數個電樞單元的各個各自對應之複數個中性點單元，以用來將上述電樞繞線 的中性點進行結線處理。
6. 如申請專利範圍第1項或第5項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元是具備被分割成複數電樞區塊之構成。
7. 如申請專利範圍第1項或第5項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元構成為空心型電樞，以取代具磁心型的電樞。
8. 如申請專利範圍第7項所述的調變型線性馬達電樞，其中，將上述電樞單元的推力方向長度作成電角360°之整數倍。
9. 如申請專利範圍第7項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述各個電樞單元間的電相位配置，是配置成具有電角120°或240°的相位偏差。
10. 如申請專利範圍第1項或第5項所述的調變型線性馬達電樞，其中，上述電樞單元的兩端及上述電樞導線部連接單元以及上述中性點單元的端部是作成利用連接器所作的連接構成。
11. 一種調變型線性馬達，其特徵為：具備： 申請專利範圍第1項至10項中任一項所述的調變型電樞；及與上述電樞經由磁性空隙相對配置，而且將極性不相同的複數永久磁鐵交互地相鄰排列配置於固定部的場磁鐵，將上述電樞與上述場磁鐵的任一方作為定子，而將另一方作為活動元件，並將上述場磁鐵與上述電樞作成相對地運轉。
12. 一種搬運裝置，其特徵為：使用申請專利範圍第11項所述的調變型線性馬達進行運轉移動台。