TWI479039B - 蒸鍍隔離元件及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置 - Google Patents

Description

蒸鍍隔離元件及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置

本發明是有關於一種蒸鍍設備，特別是指一種蒸鍍隔離元件及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置。

以往的一種蒸鍍隔離元件是將一坩鍋置於一銅製爐床中，並將蒸鍍材料置於該坩鍋內，將電子束打向蒸鍍材料使蒸鍍材料蒸發進行蒸鍍作業，在此同時，由於蒸鍍材料呈現溶融狀態，因此容易與該坩鍋產生共金銲接的現象，進而造成蒸鍍功率變高、膜值純度降低、蒸發速率不穩、坩鍋壽命降低等等問題，雖然將蒸鍍材料直接放置於該爐床中可以避免共金銲接的問題，但由於該爐床與冷卻系統相連，將會使得蒸鍍材料溫度冷卻，大幅增加蒸鍍時所需要的功率。

因此，一種可以避免共金銲接且可避免蒸鍍功率大幅增加的蒸鍍隔離元件，為目前相關業者的研發目標之一。

因此，本發明之目的，即在提供一種可以避免共金銲接且可避免蒸鍍功率大幅增加的蒸鍍隔離元件，及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置。

於是，本發明蒸鍍隔離元件用於一爐床內承載蒸鍍材料，該蒸鍍隔離元件包含一耐熱本體、一形成於該耐熱本體頂部的頂面，及一形成於該耐熱本體且抵接於該爐床內側面的防溢緣，該耐熱本體包括一形成於底部的凹室，該頂面周緣高度不高於該頂面的中心部。

而本發明具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置，包含一爐床、一蒸鍍源、一冷卻裝置，及一蒸鍍隔離元件，該冷卻裝置裝設於該爐床，該蒸鍍隔離元件包括一耐熱本體、一形成於該耐熱本體頂部的頂面，及一形成於該耐熱本體且抵接於該爐床內側面的防溢緣，該耐熱本體具有一形成於底部的凹室，該頂面周緣高度不高於該頂面的中心部。

又，本發明蒸鍍隔離元件用於一爐床內承載蒸鍍材料，該蒸鍍隔離元件包含一耐熱本體、一形成於該耐熱本體頂部的頂面，及一形成於該耐熱本體且抵接於該爐床內側面的防溢緣。

本發明之功效在於，透過該耐熱本體的材質選擇，達到避免與蒸鍍材料共金銲接的功效，且透過該耐熱本體隔絕蒸鍍材料與該爐床，達到避免蒸鍍材料溫度冷卻、避免蒸鍍功率大幅增加的功效。

有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之數個較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。

在本發明被詳細描述之前，要注意的是，在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1，本發明蒸鍍隔離元件1及具有蒸鍍隔離元件1的蒸鍍裝置之第一較佳實施例，該蒸鍍裝置包含一爐床A、一蒸鍍源、一冷卻裝置C，及一蒸鍍隔離元件1，該冷卻裝置C裝設於該爐床A底部，該蒸鍍隔離元件1用於一爐床A內承載蒸鍍材料B，該蒸鍍隔離元件1包含一耐熱本體11、一頂面12，及一防溢緣13。

該耐熱本體11是由石墨、陶瓷、Al₂ O₃ 、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂ -BN、SiC、ThO₂ ，及ZrO₂ 等材料製成，前述材料具有不易與蒸鍍材料B共金銲接的特性，且可以承受蒸鍍過程中的高溫，此外，該耐熱本體11的導熱特性不佳，因此可以避免該爐床A的冷卻系統降低蒸鍍材料B的溫度，進而避免了蒸鍍功率大幅增加的缺失。

在本第一較佳實施例中，該耐熱本體11呈T字型，該蒸鍍隔離元件1還包括一立柱部112，該立柱部112自該耐熱本體11底部中心向下延伸，該凹室114繞該立柱部112呈環狀空間。

該頂面12形成於該耐熱本體11頂部，該頂面12周緣高度不高於該頂面12的中心部，在本第一較佳實施例中，該頂面12周緣高度與該頂面12的中心部高度相同。

該防溢緣13形成於該耐熱本體11且抵接於該爐床A內側面A1，用於避免蒸鍍材料B溢出，在本第一較佳實施例中，該防溢緣13形成於該耐熱本體11的底緣。

參閱圖2，本發明蒸鍍隔離元件1的第二較佳實施例與該第一較佳實施例構件與組裝方式大致相同，不同處在於該第二較佳實施例中，該蒸鍍隔離元件1還包括一立環部113，該立環部113自該耐熱本體11底面周緣向下延伸，該凹室114呈圓盤狀，且該防溢緣13形成於該耐熱本體11與該立環部113外周緣。

參閱圖3，本發明蒸鍍隔離元件1的第三較佳實施例與該第一較佳實施例構件與組裝方式大致相同，不同處在於該第三較佳實施例中，該耐熱本體11截面呈弧狀拱起，該頂面12周緣高度低於該頂面12的中心部，且該防溢緣13形成於該耐熱本體底緣，該凹室114呈弧凸狀。

參閱圖4，本發明蒸鍍隔離元件1的第四較佳實施例與該第一較佳實施例構件與組裝方式大致相同，不同處在於該第四較佳實施例中，該凹室114呈弧凸狀，且該頂面12周緣高度與該頂面12的中心部高度相同，該防溢緣13形成於該頂面12周緣。

參閱圖5，本發明蒸鍍隔離元件1的第五較佳實施例與該第一較佳實施例構件與組裝方式大致相同，不同處在於該第五較佳實施例中，該蒸鍍隔離元件1不包含該凹室114，且該頂面12周緣高度高於該頂面12的中心部高度。

綜上所述，透過該耐熱本體11的材質選擇，達到避免與蒸鍍材料B共金銲接的功效，且透過該耐熱本體11隔絕蒸鍍材料B與該爐床A，達到避免蒸鍍材料B溫度冷卻、避免蒸鍍功率大幅增加的功效，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

1．．．蒸鍍隔離元件

11．．．耐熱本體

112．．．立柱部

113．．．立環部

114．．．凹室

12．．．頂面

13．．．防溢緣

A．．．爐床

A1．．．內側面

B．．．蒸鍍材料

C．．．冷卻裝置

圖1是剖視圖，說明本發明一種蒸鍍隔離元件的第一較佳實施例；

圖2是剖視圖，說明本發明一種蒸鍍隔離元件的第二較佳實施例；

圖3是剖視圖，說明本發明一種蒸鍍隔離元件的第三較佳實施例；

圖4是剖視圖，說明本發明一種蒸鍍隔離元件的第四較佳實施例；及

圖5是剖視圖，說明本發明一種蒸鍍隔離元件的第五較佳實施例。

1．．．蒸鍍隔離元件

11．．．耐熱本體

112．．．立柱部

114．．．凹室

12．．．頂面

13．．．防溢緣

A．．．爐床

A1．．．內側面

B．．．蒸鍍材料

C．．．冷卻裝置

Claims (11)

1. 一種蒸鍍隔離元件，用於一爐床內承載蒸鍍材料，包含：一耐熱本體、一形成於該耐熱本體頂部的頂面，及一形成於該耐熱本體且抵接於該爐床內側面的防溢緣，該耐熱本體包括一形成於底部的凹室，該頂面周緣高度不高於該頂面的中心部。
2. 根據申請專利範圍第1項所述之蒸鍍隔離元件，其中，該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、Al₂ O₃ 、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂ -BN、SiC、ThO₂ ，及ZrO₂ 所構成之群組製成。
3. 根據申請專利範圍第1項所述之蒸鍍隔離元件，還包括一立柱部，該立柱部自該耐熱本體底部中心向下延伸，該凹室繞該立柱部呈環狀空間。
4. 根據申請專利範圍第3項所述之蒸鍍隔離元件，其中，該防溢緣形成於該耐熱本體的底緣。
5. 根據申請專利範圍第1項所述之蒸鍍隔離元件，還包括一立環部，該立環部自該耐熱本體底面周緣向下延伸，該凹室呈圓盤狀。
6. 根據申請專利範圍第5項所述之蒸鍍隔離元件，其中，該防溢緣形成於該承載盤與該立環部外周緣。
7. 根據申請專利範圍第1項所述之蒸鍍隔離元件，其中，該耐熱本體截面呈弧狀拱起，該頂面周緣高度低於該頂面的中心部。
8. 根據申請專利範圍第7項所述之蒸鍍隔離元件，其中，該防溢緣形成於該耐熱本體底緣。
9. 根據申請專利範圍第1項所述之蒸鍍隔離元件，其中，該頂面周緣高度與該頂面的中心部高度相同，該防溢緣形成於該頂面周緣，該凹室呈弧凸狀。
10. 一種具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置，包含：一爐床；一蒸鍍源；一冷卻裝置，裝設於該爐床；一蒸鍍隔離元件，包括一耐熱本體、一形成於該耐熱本體頂部的頂面，及一形成於該耐熱本體且抵接於該爐床內側面的防溢緣，該耐熱本體具有一形成於底部的凹室，該頂面周緣高度不高於該頂面的中心部。
11. 根據申請專利範圍第10項所述之蒸鍍裝置，其中，該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、Al₂ O₃ 、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂ -BN、SiC、ThO₂ ，及ZrO₂ 所構成之群組製成。