TWI459863B - 用於氣體放電源的電極裝置及操作具有該裝置的氣體放電源的方法 - Google Patents
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Description
本發明係關於一種用於至少包括一可圍繞一旋轉軸旋轉的電極輪的氣體放電源的電極裝置，該電極輪具有一在二個側表面間的外輪周表面，及一經配置以限制在該電極輪之旋轉期間施加至該外輪周表面之至少一部分的液態材料膜之厚度的擦拭器單元。本發明進一步係關於一種包括此一電極裝置之氣體放電源及一種操作具有此電極裝置之氣體放電源之方法。
舉例而言，氣體放電源係用作用於EUV輻射(EUV：超紫外線)或軟X射線之光源。EUV微影領域中尤其需要發射EUV輻射及/或軟X射線之輻射源。輻射係由藉由一脈衝電流產生的熱電漿予以發射。迄今為止已知的最強勁的EUV輻射源係利用金屬蒸氣予以操作以產生所需電漿。此一EUV輻射源之一實例係在WO 2005/025280 A2中顯示。在此已知的輻射源中，該金屬蒸氣係產生自施加至該放電空間中的一表面並藉由一能量射束，特定言之係藉由一雷射束予以至少部分地蒸發的金屬熔體。在此輻射源之一較佳實施例中，此二個電極係經可旋轉地安裝形成在該輻射源之操作期間被旋轉的電極輪。該等電極輪在旋轉期間浸入具有該金屬熔體之容器中。一脈衝雷射束係直接導引至該放電區域中的該等電極之一者的表面，以便由該黏附金屬熔體產生該金屬蒸氣並激勵該放電。該金屬蒸氣係藉由一具有數kA至數10kA之電流予以加熱，使得以激發所需的離子化階段並發射具有所需波長的光。形成於該等電極輪之該等外輪周表面上的該液態金屬膜用作該放電中的輻射媒體並作為一再生膜保護該輪免受腐蝕。
對於此一EUV放電燈之穩定的EUV輻射輸出，需要的係連續放電脈衝總是碰撞該等電極表面之一新的平滑部分。該移動電極表面上的連續放電脈衝之距離係為零點幾毫米至幾毫米級。主要藉由提高該放電之重複率可提高該燈之功率。因此，該電極旋轉速度必須相對提高。
實驗上已發現該旋轉電極上的該液態金屬膜之膜厚度係藉由提高由於離心力引起的旋轉頻率而增加。高旋轉頻率時，該膜厚度可達到數百微米，導致噴射開該電極表面之液態金屬液滴之形成。此等液滴可引起該燈中短路且因此導致燈故障。此外，該液態金屬膜之不同膜厚度影響該等電極間的有效距離。這需要最優化用於每個旋轉頻率之該燈之操作參數。WO 2005/025280 A2揭示剝離器或擦拭器之使用以便確保施加至該等電極輪之該外輪周表面的該液態材料膜之受限厚度。然而，該等電極輪之旋轉頻率係由於液滴之形成或該液態金屬膜在較高旋轉速度下的不穩定性而受限制。
本發明之一目的係提供一種用於一氣體放電源中的電極裝置以及一種用於操作一具有此一電極裝置之氣體放電源之方法，其允許在較高旋轉頻率下的穩定操作以實現一較高的輸出功率。
此目的係藉由根據技術方案1、14及16之該電極裝置、該氣體放電源及操作該氣體放電源之方法予以實現。該電極裝置、氣體放電源及方法之有利實施例係相關技術方案之主旨或係在該說明書之隨後部分中予以揭示。
所提出的該電極裝置至少包括一圍繞一旋轉軸旋轉之電極輪，該電極輪具有一在二個側表面間的外輪周表面，及一經配置以限制在該電極輪之旋轉期間施加至該外輪周表面之至少一部分的液態材料膜之厚度的擦拭器單元。該擦拭器單元係經配置及設計以在該外輪周表面與該擦拭器單元之一擦拭邊緣間形成一縫隙，並在該電極輪之旋轉期間抑制或至少降低液態材料自該等側表面遷移至該輪周表面。
已發現與WO 2005/025280 A2中揭示的已知的電極裝置比較，由於抑制或至少降低液態材料自該輪之該等側表面流動至該外輪周表面之該擦拭器單元，此一電極裝置之該電極輪可在較高旋轉速度下旋轉。利用WO 2005/025280 A2之擦拭器無法實現此一方法，該擦拭器僅控制該外輪周表面上的膜厚度。此流動或遷移之降低允許該輪之該外輪周表面上的液體材料之總量的改良控制及其在此表面上的分佈。因此，即使在較高旋轉速度下，該旋轉電極輪上的該液態材料膜之厚度可經有效地限制以形成一在放電區域中維持足夠厚度的穩定膜。與不具有此一抑制或降低液態材料自該等側表面遷移至該外輪周表面並減少該外輪周表面上的液態金屬量之擦拭器單元的電極裝置比較，利用此方法可實現較高的旋轉速度。
在一氣體放電源中，將此一電極裝置用作該等電極之至少一者，該電極輪之較高旋轉速度允許提高用於形成一脈衝氣體放電之脈衝頻率，只要用於蒸發該液態材料之二個連續脈衝不重疊於該電極表面上。此一氣體放電源較佳包括二個經配置以在該放電區域具有一最小距離的電極、一用於在該二個電極間施加高電壓之電源及一用於將液態材料膜施加至該電極輪之該外輪周表面之至少一部分上的裝置。或者，該材料可作為一固態材料被施加至該電極輪之該外輪周表面上且接著經加熱以在此外輪周表面之至少一部分上形成一液態材料膜。在一較佳實施例中，二個電極皆係具有根據所提出的電極裝置之對應的擦拭器單元之電極輪。
該擦拭器單元可由一個單一擦拭器元件或數個一起作用的擦拭器元件予以形成。該單一擦拭器單元或該等擦拭器元件較佳地係經配置及設計以在該電極輪之旋轉期間剝除在相鄰於該輪周表面之該等側表面之部分處的液態材料。為此目的，對應的擦拭器元件可形成為在面向該電極輪之該輪周表面之部分具有一叉狀形狀。該擦拭器元件在該輪周表面與該擦拭器元件之一擦拭邊緣界定一縫隙，該縫隙係藉由接觸或幾乎接觸該電極輪之該等側表面的該擦拭器元件之該等側片而在其兩側皆被閉合。該輪周表面與該擦拭器元件之一擦拭邊緣間的此縫隙為必需，以便將該液態材料膜之厚度限制至一所需高度。藉由特別地塑形該擦拭器元件之該擦拭邊緣及/或毗接此縫隙之該電極輪，可實現該液態材料膜之一所需形狀。舉例而言，該電極輪之該外輪周表面在其寬度上可具有一平面形狀或一曲線形狀。此外，該外輪周表面亦可包括一以該電極輪之輪圓方向延伸之凹槽。在該等較佳實施例之一者中，該外輪周表面在其寬度上具有一平面形狀且同時該擦拭器單元係經設計以在該外輪周表面之此寬度上形成一具有一恆定厚度的縫隙。
雖然在上述該等實例或較佳實施例中該等擦拭器元件之一者係經設計以形成該縫隙且同時自該電極輪之該等側表面剝除液態材料，但亦可能的係使用該等擦拭器元件之一者以形成該縫隙且使用另一或另外數個擦拭器元件以剝除在該電極輪之該等側表面之部分上處的液態材料。此外，數個擦拭器單元可被配置在相對於該旋轉方向的該輪周表面之不同位置以便進一步改良該輪周表面上的該液態材料膜之塑形。較佳地係此另一擦拭器單元係經類似於該主擦拭器單元被設計，其具有限制該輪之該等表面上的該液態材料膜之厚度的一或數個擦拭器元件。此另一擦拭器單元接著係在該主擦拭器單元之前以一旋轉方向被配置。
較佳為採取進一步的措施以減少可在該電極輪之旋轉期間自該等側表面遷移至該輪周表面之液態材料量。此等措施之一種係使用一在該外輪周表面具有一T形橫截面之電極輪。由於此T形形式，該液態材料無法以一直接的方式進入該外輪周表面，而是必須圍繞一突出物移動。另一較佳的措施係在該電極輪之該等側表面上施加一非濕層或塗層。理所當然，另一方面，該外輪周表面必須由一濕材料組成或係藉由此一材料予以塗佈。
在該擦拭器單元與該放電區域之間，該液態材料膜經受動態地影響該膜厚度輪廓並可引起液態材料液滴之形成的離心、黏性及表面張力。為了具有對該液態材料膜進展之最大控制及/或為了實現最高可能的旋轉頻率而不形成液滴，此專利申請案中揭示的所有該等措施可同時被應用。不同的措施亦可個別地被組合。
為了允許用於控制該外輪周表面上的該液態材料之膜厚度的該縫隙之最佳調整，界定該縫隙之該擦拭邊緣與該電極輪之該外輪周表面之距離較佳地係藉由使用一可調整的擦拭器元件予以調整。這允許該縫隙之適當的設定仰賴於當操作該氣體放電源時使用的該液態材料之旋轉頻率及屬性。
已發現，若在垂直於該旋轉方向之平面中的該縫隙之橫截面面積不超過一最大面積Amax
，則可利用穩定的液態材料膜實現最高的旋轉頻率，其中：
Amax
=8σ/(ρω2
R)
其中σ及ρ分別係該液態材料之表面張力及密度，ω=2π‧f係角旋轉頻率且R係該輪半徑。此縫隙在該擦拭器位置界定該液態材料膜輪廓並在放電位置控制液態材料總量及液態材料膜輪廓。對於在高旋轉速度下的該膜之高穩定性，需要一小型縫隙。另一方面，必須選擇足夠大的縫隙，使得可用足夠液態材料以確保在該放電位置之數十微米級的所需膜厚度。在所提出的操作一具有所提出的電極裝置之氣體放電源之方法中，該縫隙之面積係因此受控制以實現上述等式。在所提出的氣體放電源之該等實施例之一者中，該縫隙之恆定厚度係藉由一適當的感測器及一適當的控制單元在該氣體放電源之操作期間予以自動地控制。
在所提出的操作此一氣體放電源之方法中，較佳地係使用一具有一外輪周表面之電極輪，其具有一矩形形狀的橫截面或在該橫截面輪廓之部分至少具有一矩形形狀。該電極輪或其橫截面之至少一矩形部分之寬度D係經選擇為在D*<D<10‧D*之範圍內，其中。已發現利用一電極輪實現上述等式，結合上述進一步方法的一些或所有可實現無液滴形成的最大旋轉頻率。
為了在該擦拭器元件與該輪之該外輪周表面間維持一界定的縫隙厚度，該擦拭器可藉由一如彈簧的彈性元件予以按壓在該輪表面上，導致一如具有一流體力學軸承的效果。在此一情況下，一明確的膜厚度係仰賴於旋轉速度及將該擦拭器元件抵於該表面按壓的該彈力予以實現。或者，該縫隙厚度且因此該液態材料層之厚度可被控制，舉例而言，係藉由滾動該擦拭器單元上的元件，其界定該擦拭器元件至該電極輪之該外輪周表面之距離。
為了實現對該放電區域或位置上的該液態材料膜之厚度的最大控制，該擦拭器單元應經配置為盡可能接近此放電位置。此外，該擦拭器材料必須為機械穩定且對熱液態材料具有化學與熱抗性。在液態錫(Sn)之情況下用於一適當材料的一實例係鎢或鉬。此外，為了實現最高可能的圓周速度v=ω．R且因此實現最高放電重複頻率，該輪半徑應被選擇為盡可能大，一致於其他要求。
本發明之此等及其他態樣可鑑於並參考下文描述的該等實施例予以闡明。
以下藉由結合隨附圖式之實例描述所提出的電極裝置、氣體放電源及操作方法，而不限制由請求項所界定的保護範圍。
圖1顯示一脈衝氣體放電源之示意性的側視圖，其中可實施一根據本發明之電極裝置。該圖中未顯示此電極裝置之細節。該氣體放電源包括配置於可預定氣壓之一放電空間中的該二個電極。該等電極係輪形，以下表示為電極輪1、2。電極輪係經可旋轉安裝，亦即，其等係在操作期間相對於一旋轉軸3旋轉。在旋轉期間，該等電極輪1、2部分地沉浸至對應的容器4、5中。此等容器4、5之每者包含一金屬熔體6，在此情況中為液態錫。該金屬熔體6係保持在一大約300℃的溫度，亦即，略微高於錫230℃的熔點。該等容器4、5中的該金屬熔體係藉由連接至該等容器的一加熱裝置或一冷卻裝置(該圖中未顯示)予以維持在以上的操作溫度。在旋轉期間該等電極輪1、2之該等外輪周
表面係藉由該液態金屬予以濕化使得該等電極上形成一液態金屬膜。該等電極輪1、2之該外輪周表面上的該液態金屬膜之厚度係藉由一僅在圖1中示意性地指示的擦拭器(或擦拭器單元)11予以控制。此擦拭器單元11之實例係在圖3至7中顯示。經由金屬熔體6提供電流至該等電極輪1、2，該電流係經由一絕緣饋送通道8連接至該電容器組合7。
一脈衝雷射束9係在該二個電極間的最窄點處聚焦於該等電極輪1、2之一者上。結果，位於該等電極輪1、2上的該金屬膜之部分蒸發並在該電極縫隙上橋接。這導致此點上的放電之激勵及藉由該電容器組合7供電的十分快速的電流提升。此高電流將該金屬蒸氣或燃料加熱至高溫使得後者經離子化並在一捏縮電漿15中發射所需EUV輻射。
為了防止燃料自該氣體放電源散逸，一碎片緩解單元10係配置在該氣體放電源前方。此碎片緩解單元10允許入射直接穿出該氣體放電源並在其出口上保留高數量的碎片微粒。為了避免該氣體放電源之該機殼受污染，可在該等電極輪1、2與該機殼之間配置一螢幕12。此外，一金屬護罩13係配置在該二個容器4、5間的該縫隙內，以便降低燃料擴散至此縫隙中。
圖2顯示圖1之該電極輪1之一示意性的側視圖。該電極輪1係接觸一藉由圖1中的容器5形成的液態金屬供應器14，其中該輪係經部分的浸沒。在該液態金屬供應器14與藉由捏縮電漿15指示的放電位置之間的路徑上，其中該液態金屬膜之部分將藉由每個雷射脈衝予以消熔，形成於電
極輪1之該外輪周表面上的該液態金屬膜首先係藉由一選用預擦拭器16予以塑形且接著係藉由一主擦拭器予以塑形，如圖2中指示。
電極輪1之該輪周表面及擦拭器11及預擦拭器16之該等擦拭邊緣之形狀係經選擇使得利用該電極輪1之所需旋轉頻率在該放電位置實現最佳的液態金屬膜厚度輪廓。藉由結合一經充分設計的電極輪表面適當地塑形並定位該(等)擦拭器，該液態金屬膜可經控制以在最高旋轉頻率下保持穩定及/或集中在該電極輪之該外輪周表面上的一所需位置。適當的形狀之實例係在圖3至7中顯示。
本發明之一主要特點係擦拭器單元11之設計，其係相對於該電極輪1之旋轉移動而最接近該放電位置之該擦拭器單元。此擦拭器單元11係經設計以抑制或至少降低在該輪之旋轉期間液態金屬自該電極輪之該等側表面流動至該外輪周表面。為此目的，該擦拭器單元11可由一如圖3中顯示的具有一叉狀形狀的單一擦拭器元件形成。由於此一擦拭器單元11，一界定縫隙17係形成在該電極輪1之該外輪周表面18及該擦拭器元件之一相對擦拭邊緣19間。同時該電極輪1之該等側表面26及27上的液態材料係藉由該擦拭器元件之側片20予以剝除且不可流動至該電極輪之該外輪周表面18上。
圖4顯示一進一步的例證性的實施例，其中除了該擦拭器單元11之叉狀形狀外，該電極輪1係形成以具有一延伸在其外輪周表面周圍的凹槽21。在此情況中，擦拭器單元11之該擦拭邊緣19與該電極輪1之該外輪周表面18間的該縫隙17係由該凹槽21之深度界定。
圖4亦指示該電極輪1之該等側表面上的一非濕塗層25，其避免在旋轉期間此等側表面上形成較大量的液態材料。
為了進一步限制液態材料自該電極輪之該等側表面遷移至其外輪周表面，如圖5中顯示，該電極輪在該外輪周表面上可具有一T形橫截面。此T形形式又限制液態材料自該等側表面遷移至該外輪周表面。在圖6之實例中，該擦拭器單元11係由三個擦拭器元件22、23、24組成。第一擦拭器元件22在該外輪周表面18與擦拭邊緣19間界定該縫隙17。第二擦拭器元件23及第三擦拭器元件24自該電極輪之該等側表面剝除液態材料。
圖3至5已顯示該電極輪之該外輪周表面及擦拭器單元11之該對應的擦拭邊緣間的縫隙，其等具有一矩形橫截面。然而，若該放電位置且因此最大膜厚度意為離開該電極輪之該外輪周表面之中間，則可使用與該擦拭器單元之經對應調適的設計連接的該電極輪之該外輪周表面上的其他輪形狀。用於此等幾何之實例係在圖6及7中顯示。由於該電極輪及該擦拭器單元之二種幾何，該液態材料將相對於該電極輪之旋轉平面偏離中心地積聚。在圖6中，該擦拭器單元11係由一單一擦拭器元件予以形成，因此在圖7中，不同的擦拭器元件22、23、24形成擦拭器單元11。
圖8及9顯示在一根據不包括任何擦拭器的先前技術之放電氣體源與根據本發明之放電氣體源間的在該放電位置膜厚度對該電極輪之旋轉速度的相依性比較。本發明之該放電氣體源使用一根據圖3的擦拭器單元。如可從圖8之圖中可見，在一根據先前技術之系統中的該液態金屬膜之膜厚度隨著旋轉速度提高至700μm而顯著提高。液滴係在高於12Hz之旋轉速度下形成。由於該電極輪之相同的幾何，一根據本發明之放電源之該膜厚度係保持在一在旋轉速度直至18Hz之旋轉速度的寬範圍上的處於50與100μm間的厚度範圍內。液滴之形成開始於大於18Hz之頻率下。這意味著可藉由使用一具有根據本發明之適當的擦拭器單元的電極裝置將最大旋轉頻率從12Hz提高至18Hz。因此，實現在穩定燈操作中該放電之重複率的顯著提高，導致該燈之更高的輸出功率。
雖然在該等圖式及前述描述中已詳細繪示並描述本發明，但此繪示與描述應被視為說明性或例證性而非限制性，本發明並不限於所揭示的該等實施例。以上描述及請求項中描述的該等不同的實施例亦可被組合。熟習此項技術者在實作所請求的本發明之請求項、研究圖式、揭示內容與附屬請求項時，可瞭解與達成所揭示之具體實施例的其他變更。舉例而言，亦可使用多於二個擦拭器單元或可使用具有一不同設計的擦拭器單元，如該等圖中所顯示者。此外，在一根據本發明之放電源中，一單一或二個電極可如同所請求的該電極裝置而經設計。
在請求項中，"包括"一詞並不排除其他元件或步驟，且不定冠詞"一"並不排除係複數。互不相同之相關請求項中描述之特定方法並不表明該等方法之結合不具備優點。請求項中的該等參考標記不應解釋成限制此等請求項之範圍。
1‧‧‧電極輪
2‧‧‧電極輪
3‧‧‧旋轉軸
4‧‧‧容器
5‧‧‧容器
6‧‧‧金屬熔體
7‧‧‧電容器組合
8‧‧‧饋送通道
9‧‧‧脈衝雷射束
10‧‧‧碎片緩解單元
11‧‧‧擦拭器
12‧‧‧螢幕
13‧‧‧金屬護罩
14‧‧‧液態金屬供應器
15‧‧‧捏縮電漿
16‧‧‧預擦拭器
17‧‧‧縫隙
18‧‧‧外輪周表面
19‧‧‧擦拭邊緣
20‧‧‧側片
21‧‧‧凹槽
22‧‧‧第一擦拭器元件
23‧‧‧第二擦拭器元件
24‧‧‧第三擦拭器元件
25．．．非濕塗層
26．．．電極輪之側表面
27．．．電極輪之側表面
圖1係一根據本發明之具有一電極裝置之氣體放電源之示意圖；
圖2係一具有一擦拭器單元及一用作一預擦拭器之額外擦拭器元件之電極輪之示意性的側視圖；
圖3係一顯示所提出的該裝置之一擦拭器單元的一第一實例的一橫截面的示意圖；
圖4係一顯示所提出的該裝置之一擦拭器單元的一第二實例的一橫截面的示意圖；
圖5係一顯示所提出的該裝置之一擦拭器單元的一第三實例的一橫截面的示意圖；
圖6係一顯示所提出的該裝置之一擦拭器單元的一第四實例的一橫截面的示意圖；
圖7係一顯示所提出的該裝置之一擦拭器單元的一第五實例的一橫截面的示意圖；
圖8係一顯示該電極輪上的膜厚度對根據先前技術之該電極輪之旋轉速度的相依性的測量圖；及
圖9係一顯示當使用一根據本發明之電極裝置時該電極輪上的膜厚度對根據先前技術之該電極輪之旋轉速度的相依性的測量圖。
1．．．電極輪
3．．．旋轉軸
11．．．擦拭器單元
17．．．縫隙
18．．．外輪周表面
19．．．擦拭邊緣
20．．．側片
26．．．電極輪之側表面
27．．．電極輪之側表面
Claims (15)
- 一種用於氣體放電源之電極裝置，其至少包括：-一可圍繞一旋轉軸(3)旋轉之電極輪(1)，該電極輪(1)具有一在二個側表面(26、27)間的外輪周(outer circumferential)表面(18)，及-一擦拭器(11)，其經配置以限制在該電極輪(1)之旋轉期間施加至該外輪周表面(18)之至少一部分及該等側表面(26、27)的一液態材料膜之厚度，其中該擦拭器(11)係經配置及設計以在該外輪周表面(18)與該擦拭器(11)之一擦拭邊緣(19)間形成一縫隙(17)，並在該電極輪(1)之旋轉期間抑制或至少降低液態材料自該等側表面(26、27)遷移至該外輪周表面(18)。
- 如請求項1之裝置，其中該擦拭器(11)係經配置及設計以在該電極輪(1)之旋轉期間剝除在相鄰於該外輪周表面(18)之該等側表面(26、27)之部分處的液態材料。
- 如請求項2之裝置，其中該擦拭器(11)包括一具有一叉狀形狀的擦拭器元件。
- 如請求項2或3之裝置，其中該擦拭器(11)包括一起作用的數個擦拭器元件(22、23、24)。
- 如請求項4之裝置，其中該等擦拭器元件(22、23、24)之一者係經設計及配置以形成該縫隙(17)且該等擦拭器元件(22、23、24)之另一或另外數者係經配置及設計以剝除在該電極輪(1)之該等側表面(26、27)之部分處的液態材料。
- 如請求項1之裝置，其中該電極輪(1)在該外輪周表面(18)處具有一T形橫截面。
- 如請求項1之裝置，其中該外輪周表面(18)形成一於輪圓方向延伸的凹槽(21)。
- 如請求項1之裝置，其中該擦拭器(11)係經設計以在該外輪周表面(18)之一寬度上形成具有一恆定厚度的該縫隙(17)。
- 如請求項1之裝置，其中該等側表面(26、27)係藉由一非濕材料或塗層(25)予以覆蓋。
- 如請求項1之裝置，其中該擦拭器(11)係經設計以允許對於該電極輪(1)之不同的旋轉頻率，調整藉由該外輪周表面(18)與該擦拭邊緣(19)間的距離界定的該縫隙(17)之一寬度。
- 如請求項1之裝置，其中一預擦拭器(16)係在該擦拭器(11)之前以一旋轉方向經配置，該預擦拭器(16)係經設計以限制該外輪周表面(18)上的該液態材料膜之厚度。
- 一種包括如請求項1之電極裝置的氣體放電源，該電極裝置之該電極輪(1)形成該氣體放電源之二個電極之一第一者，該等電極係經配置以在一放電區域具有一最小距離，其中該氣體放電源進一步包括一用於在該電極輪(1)之該外輪周表面(18)之至少一部分上施加或產生一液態材料膜之裝置(4、5)。
- 如請求項12之氣體放電源，其中二個電極係由一根據請求項1之電極裝置予以形成。
- 一種操作一如請求項12之氣體放電源的方法，其中電極輪(1)係藉由一角旋轉頻率ω=2π．f予以驅動，且其中該擦拭器(11)係經調適為離該電極輪(1)之外輪周表面(18)有一距離以形成具有一縫隙面積A之該縫隙(17)，該縫隙面積A不超過一最大縫隙面積Amax =8σ/(ρω2 R)，其中σ係所施加的液態材料之一表面張力，ρ係該所施加的液態材料之一密度且R係該電極輪(1)之一輪半徑，其係被定義為該輪周表面(18)至該輪之該旋轉軸(3)之距離。
- 如請求項14之方法，其中該電極輪(1)係被製成尺寸為在其外輪周表面(18)處具有一寬度D，其中D*<D<10．D*且
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