TWI432724B - 血液分析微系統 - Google Patents

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Description

血液分析微系統
本發明係關於一種血液分析微系統，詳言之，係關於一種含微型氯化銀參考電極之血液分析微系統。
近年來，隨著生物資訊分析技術在血液學、生物化學與微生物學等領域的快速發展，已使得重點照護檢驗分析系統之需求日益增加。利用現有IC或微機電技術將重點照護檢驗元件微型化具有下列幾項優點：較短的反應時間、較少的取樣需求、較小的尺寸、較低的功率消耗以及較低的成本。
習知技術中缺乏同時能檢測出人體血清中鈉、鉀、氫、鈣與銨等離子濃度的血液分析微系統。該等離子濃度的數據係為提供醫療人員在照護一些重症病患時十分重要的參考資訊。然而，習知離子感測器之體積較大，且一種離子感測器僅能檢測單一離子之濃度。並且，習知微型離子感測器在實際應用時通常須搭配商用參考電極，而習知參考電極的體積大約是微型離子感測器的數百倍大，所以即使將離子感測器微型化，整個系統的尺寸依然無法變小。
因此，有必要提供一種創新且具進步性的血液分析微系統，以解決上述問題。
本發明係提供一種血液分析微系統，其包括：一整合晶片、複數個離子感測薄膜、一封裝晶片及一導電材料。該整合晶片具有一微參考電極、複數個延伸式閘極場效電晶體(EGFET)元件及一線路，每一延伸式閘極場效電晶體元件具有一源極延伸區、一汲極延伸區及一閘極延伸區，該等閘極延伸區設置於該微參考電極周圍且實質上與該微參考電極相隔一相同距離，該線路電性連接該等源極延伸區或該等汲極延伸區。該等離子感測薄膜分別設置於該等閘極延伸區之一表面。該封裝晶片結合該整合晶片，該封裝晶片具有複數個第一貫孔、複數個第二貫孔、一第三貫孔、一第四貫孔及一第五貫孔，該等第一貫孔相對於該等離子感測薄膜，該等第二貫孔相對於該線路未電性連接之該等源極延伸區或該等汲極延伸區，該第三貫孔相對於該線路電性連接之該等源極延伸區或該等汲極延伸區之其中之一延伸區，該第四貫孔及該第五貫孔設置於該微參考電極之上方相對位置。該導電材料設置於該第四貫孔中且接觸該微參考電極。
圖1顯示本發明血液分析微系統之局部剖面圖；圖2顯示本發明血液分析微系統之整合晶片之示意圖；圖3顯示本發明血液分析微系統之俯視圖。配合參考圖1至圖3，本發明之血液分析微系統1包括：一整合晶片11、複數個離子感測薄膜12、一封裝晶片13及一導電材料14。
該整合晶片11可為矽晶片或玻璃晶片。該整合晶片11具有一微參考電極111、複數個延伸式閘極場效電晶體(EGFET)元件112及一線路113。每一延伸式閘極場效電晶體元件112具有一源極延伸區(延伸電極)1121、一汲極延伸區(延伸電極)1122及一閘極延伸區(閘極感測區)1123。該等源極延伸區1121、該等汲極延伸區1122及該等閘極延伸區1123係連接該等延伸式閘極場效電晶體元件112之源極、汲極及閘極。該等閘極延伸區1123設置於該微參考電極111周圍且實質上與該微參考電極111相隔一相同距離，該線路113電性連接該等源極延伸區1121或電性連接該等汲極延伸區1122。
在本實施例中，該整合晶片11之佈局設計係將該參考電極111置於該整合晶片11之中心位置，五種離子感測器(延伸式閘極場效電晶體元件112/離子感測薄膜12)以圓形佈局方式環繞於其外。該參考電極111至各個延伸式閘極場效電晶體元件112之閘極延伸區(閘極感測區)1123之距離相等(如圖2之圓形虛線所示)。如此，除了可以降低因為該參考電極111與延伸式閘極場效電晶體元件112之閘極延伸區1123不等距離所造成的誤差，還可以提高封裝之良率(因為該封裝晶片13之空腔可均勻地分散排列之)。
該源極延伸區1121及該汲極延伸區1122作為延伸電極以電性連接延伸式閘極場效電晶體元件112之源極及汲極，可形成更大的閘極感測區，如此可有效避免待測血液過於接近源極及汲極而產生不必要之訊號干擾及封裝困難，且可降低待測血液滲漏的機率及電化學雜訊的強度。
在本實施例中，該微參考電極111具有一參考電極本體1111及一導接部1112，該導接部1112形成於該參考電極本體1111上。該參考電極本體1111依序包括一鈦層、一鈀層、一銀層及一氯化銀層，該氯化銀層接觸該導接部1112。該等離子感測薄膜12分別設置於該等閘極延伸區1123之一表面。
該離子感測薄膜12係為離子選擇性薄膜(ISM)。在本實施例中，該離子選擇性薄膜係為氫離子(H+ )選擇性薄膜、鈣離子(Ca2+ )選擇性薄膜、鉀離子(K+ )選擇性薄膜、鈉離子(Na+ )選擇性薄膜或銨離子(NH4 + )選擇性薄膜。
在本實施例中，該氫離子選擇性薄膜係為氧化鉭(Ta2 O5 )薄膜，該鈣離子選擇性薄膜、該鉀離子選擇性薄膜、該鈉離子選擇性薄膜或該銨離子選擇性薄膜之成分包括離子選擇性分子(Ionophore)、塑化劑(plasticizer)、離子添加物(additives)、高分子聚合物(polymer)及有機溶劑(organic solvent)。
離子選擇性分子為血液檢測樣本中是否含有判斷重症病患之重要參考離子，其功能為利用材料的結構大小以及帶電量的不同，使單一種的離子可以通過薄膜進行反應而改變離子選擇性薄膜之電性；高分子聚合物為包埋離子選擇性分子，可使離子選擇性薄膜裡面帶有離子選擇性分子；塑化劑的功能則是在調節高分子聚合物的固化程度，若高分子聚合物太軟會無法使離子選擇性分子留在離子選擇性薄膜裡，若高分子聚合物太硬則會使想要分析的離子無法在離子選擇性薄膜中擴散；適當比例之離子添加物可進一步加強離子選擇性薄膜的帶電性，使離子選擇性薄膜更容易捕捉到游離的離子；有機溶劑可使離子選擇性分子、塑化劑、離子添加物及高分子聚合物更均勻地混合。
在本實施例中，該鈣離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為ETH129(Calcium Ionophore II，Fluka公司生產)、塑化劑為NPOE(Alfa Aesar公司生產)、離子添加物為KTpClPB(Alfa Aesar公司生產)、高分子聚合物為PVC(Fluka公司生產)、有機溶劑為四氫呋喃(THF)(Mallinckrodt公司生產)；該鉀離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為valinomycin(Dojindo公司生產)、塑化劑為DOS(Fluka公司生產)、離子添加物為K-TpClPB(Alfa Aesar公司生產)、高分子聚合物為PVC、有機溶劑為四氫夫喃；該鈉離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為Sodium ionophore X(Fluka公司生產)、塑化劑為NPOE、離子添加物為K-TpClPB、高分子聚合物為PVC、有機溶劑為四氫呋喃；該銨離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為TD19C6(Dojindo公司生產)、塑化劑為BBPA(Fluka公司生產)、離子添加物為KTCPB(Alfa Aesar公司生產)、高分子聚合物為PVC、有機溶劑為四氫呋喃。
在本實施例中，該鈣離子選擇性薄膜之離子選擇性分子ETH129之重量百分比(wt%)為1.0、塑化劑NPOE之重量百分比為65.6、離子添加物KTpClPB之重量百分比為0.6、高分子聚合物PVC之重量百分比為32.8、有機溶劑四氫夫喃之含量為1.3 mL；該鉀離子選擇性薄膜之離子選擇性分子valinomycin之重量百分比為1.1、塑化劑DOS之重量百分比為67.6、離子添加物K-TpClPB之重量百分比為0.6、高分子聚合物PVC之重量百分比為30.7、有機溶劑四氫呋喃之含量為1.2 mL；該鈉離子選擇性薄膜之離子選擇性分子Sodium ionophore X之重量百分比為0.7、塑化劑NPOE之重量百分比為66.1、離子添加物K-TpClPB之重量百分比為0.2、高分子聚合物PVC之重量百分比為33.0、有機溶劑四氫呋喃之含量為1.9 mL；該銨離子選擇性薄膜之離子選擇性分子TD19C6之重量百分比為3.0、塑化劑BBPA之重量百分比為67.0、離子添加物KTCPB之含量為0.5 mg、高分子聚合物PVC之重量百分比為30.0、有機溶劑四氫呋喃之含量為0.5 mL。
該封裝晶片13可為矽晶片或玻璃晶片，該封裝晶片13結合該整合晶片11。在本實施例中，該整合晶片11及該封裝晶片13係利用一結合材料15結合。該結合材料15較佳為環氧樹脂(epoxy)。該封裝晶片13具有複數個第一貫孔131、複數個第二貫孔132、一第三貫孔133、一第四貫孔134及一第五貫孔135。
該等第一貫孔131相對於該等離子感測薄膜12；該等第二貫孔132相對於該線路113未電性連接之該等源極延伸區1121或該等汲極延伸區1122；該第三貫孔133相對於該線路113電性連接之該等源極延伸區1121或該等汲極延伸區1122之其中之一延伸區；該第四貫孔134及該第五貫孔135設置於該微參考電極111之上方相對位置。
在本實施例中，該等第二貫孔132係相對於該等源極延伸區1121，圖3中之該第三貫孔133係相對於圖2上方之汲極延伸區1122。因該線路113電性連接該等汲極延伸區1122，在該封裝晶片13所需形成之貫孔較少，故封裝較為簡單、該封裝晶片13較不易碎裂且較容易製作，且每一延伸式閘極場效電晶體元件112只需以導線透過一個第三貫孔133電性連接相應汲極延伸區1122，以及以導線透過每一第二貫孔132電性連接相應源極延伸區1121，即可進行多種離子之檢測。
該第四貫孔134具有一第一空腔1341及一第二空腔1342，該第五貫孔135相對於該導接部1112。在本實施例中，該第二空腔1342大於該第一空腔1341且面對該微參考電極，該第一空腔1341及該第二空腔1342分別由該封裝晶片13二側面向內漸縮而連通。
該導電材料14設置於該第四貫孔134中且接觸該微參考電極111。在本實施例中，該導電材料14係為氯化鉀膠體，該導電材料14設置於該第二空腔1342，該第一空腔1341顯露部分該導電材料14。
較佳地，該封裝晶片13之表面另包括複數個溝槽136。該等溝槽136連接該第四貫孔134(位於該導電材料14之上方相對位置)及該等第一貫孔131(位於該等離子感測薄膜12之上方相對位置)。當待檢測血液滴在該第四貫孔134中，該等溝槽136可將待檢測血液導引至各第一貫孔131(感測區)內，如此可使所需之待檢測血液較少，且可使待檢測血液更順利流至各第一貫孔131(感測區)內。
當該等離子感測薄膜12接觸待檢測血液時，該等離子感測薄膜12感測待檢測血液對該等離子感測薄膜12表面產生之介面電位，藉此感測待檢測血液中之離子濃度。
本實施例中，該血液分析微系統1另包括一導線16，及一包覆該導線16之封膠材料17。該導線16之一端電性連接該微參考電極111，該導線16之另一端可用以連接至一外部電路。在本實施例中，該導線16電性連接該微參考電極111之該導接部1112。該封膠材料17設置於該第五貫孔135，以包覆且固定及保護該導線16。其中，該封膠材料16可為紫外線(UV)凝膠。
本發明係利用微機電系統(MEMS)製程及封裝技術，以製造出具有多種離子(H+ 、Ca2+ 、K+ 、Na+ 及NH4 + )感測薄膜之血液分析微系統1，以感測血液中之H+ 、Ca2+ 、K+ 、Na+ 及NH4 + 離子；並且，本發明之血液分析微系統1具有一積體化微型固態參考電極(該微參考電極111)，故晶片尺寸(chip size)可非常微小化，約為習知離子感測器尺寸之數百分之一。因此，本發明之血液分析微系統1具有以下優點：(i)其為平面式製程技術，因此成品輕薄短小、反應速度快、精密度高；(ii)可批次製造，因此成本較低；(iii)與IC製程相容性高，應用廣泛。
再者，本發明之血液分析微系統1具有優秀之電化學特性：(i)長期電位穩定度極高：三萬秒下所量得電極電位之漂移量低(~5 mV)；(ii)補偏電位極低(-7 mV)；(iii)交流阻抗很小(1.5 KΩ)；(iv)相位移極低(8.98°)；(v)經循環伏安法證明該微參考電極為可逆非極化電極，並可提供穩定動態參考電位；(vi)電化學雜訊低；(vii)電極之再現性很高(±3.1 mV)。
惟上述實施例僅為說明本發明之原理及其功效，而非用以限制本發明。因此，習於此技術之人士對上述實施例進行修改及變化仍不脫本發明之精神。本發明之權利範圍應如後述之申請專利範圍所列。
1．．．本發明之血液分析微系統
11．．．整合晶片
12．．．離子感測薄膜
13．．．封裝晶片
14．．．導電材料
15．．．結合材料
16．．．導線
17．．．封膠材料
111．．．微參考電極
112．．．延伸式閘極場效電晶體元件
113．．．線路
131．．．第一貫孔
132．．．第二貫孔
133．．．第三貫孔
134．．．第四貫孔
135．．．第五貫孔
136．．．溝槽
1111．．．參考電極本體
1112．．．導接部
1121．．．源極延伸區
1122．．．汲極延伸區
1123．．．閘極延伸區
1341．．．第一空腔
1342．．．第二空腔
圖1顯示本發明血液分析微系統之局部剖面圖；
圖2顯示本發明血液分析微系統之整合晶片示意圖；及
圖3顯示本發明血液分析微系統之俯視圖。
11．．．整合晶片
111．．．微參考電極
112．．．延伸式閘極場效電晶體元件
113．．．線路
1121．．．源極延伸區
1122．．．汲極延伸區
1123．．．閘極延伸區

Claims (13)

  1. 一種血液分析微系統，包括：一整合晶片，具有一微參考電極、複數個延伸式閘極場效電晶體(EGFET)元件及一線路，每一延伸式閘極場效電晶體元件具有一源極延伸區、一汲極延伸區及一閘極延伸區，該等閘極延伸區設置於該微參考電極周圍且實質上與該微參考電極相隔一相同距離，該線路電性連接該等源極延伸區或該等汲極延伸區；複數個離子感測薄膜，分別設置於該等閘極延伸區之一表面；一封裝晶片，結合該整合晶片，該封裝晶片具有複數個第一貫孔、複數個第二貫孔、一第三貫孔、一第四貫孔及一第五貫孔，該等第一貫孔相對於該等離子感測薄膜，該等第二貫孔相對於該線路未電性連接之該等源極延伸區或該等汲極延伸區，該第三貫孔相對於該線路電性連接之該等源極延伸區或該等汲極延伸區之其中之一延伸區，該第四貫孔及該第五貫孔設置於該微參考電極之上方相對位置；及一導電材料，設置於該第四貫孔中且接觸該微參考電極。
  2. 如請求項1之血液分析微系統，其中該微參考電極具有一參考電極本體及一導接部，該導接部形成於該參考電極本體上，該導接部相對於該第五貫孔。
  3. 如請求項2之血液分析微系統，其中該參考電極本體依序包括一鈦層、一鈀層、一銀層及一氯化銀層，該氯化銀層接觸該導接部。
  4. 如請求項1之血液分析微系統，其中該導電材料係為氯化鉀膠體。
  5. 如請求項1之血液分析微系統，其中該第四貫孔具有一第一空腔及一第二空腔，該第二空腔面對該微參考電極，該第一空腔及該第二空腔分別由該封裝晶片二側面向內漸縮而連通。
  6. 如請求項5之血液分析微系統，其中該導電材料係設置於該第二空腔，該第一空腔顯露部分該導電材料。
  7. 如請求項1之血液分析微系統，另包括一導線，電性連接該微參考電極。
  8. 如請求項7之血液分析微系統，另包括一封膠材料，設置於該第五貫孔，該封膠材料包覆且固定該導線。
  9. 如請求項1之血液分析微系統，其中該離子感測薄膜係為離子選擇性薄膜(ISM)。
  10. 如請求項9之血液分析微系統，其中該離子選擇性薄膜係為氫離子(H+ )選擇性薄膜、鈣離子(Ca2+ )選擇性薄膜、鉀離子(K+ )選擇性薄膜、鈉離子(Na+ )選擇性薄膜或銨離子(NH4 + )選擇性薄膜。
  11. 如請求項10之血液分析微系統，其中該氫離子選擇性薄膜係為氧化鉭(Ta2 O5 )薄膜，該鈣離子選擇性薄膜、該鉀離子選擇性薄膜、該鈉離子選擇性薄膜或該銨離子選擇性薄膜之成分包括離子選擇性分子(Ionophore)、塑化劑(plasticizer)、離子添加物(additives)、高分子聚合物(polymer)及有機溶劑(organic solvent)。
  12. 如請求項11之血液分析微系統，其中該鈣離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為ETH129、塑化劑為NPOE、離子添加物為KTpClPB、高分子聚合物為PVC、有機溶劑為四氫呋喃(THF)；該鉀離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為valinomycin、塑化劑為DOS、離子添加物為K-TpClPB、高分子聚合物為PVC、有機溶劑為四氫呋喃；該鈉離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為Sodium ionophore X、塑化劑為NPOE、離子添加物為K-TpClPB、高分子聚合物為PVC、有機溶劑為四氫呋喃；該銨離子選擇性薄膜之離子選擇性分子為TD19C6、塑化劑為BBPA、離子添加物為KTCPB、高分子聚合物為PVC、有機溶劑為四氫呋喃。
  13. 如請求項12之血液分析微系統，其中該鈣離子選擇性薄膜之離子選擇性分子ETH129之重量百分比(wt%)為1.0、塑化劑NPOE之重量百分比為65.6、離子添加物KTpClPB之重量百分比為0.6、高分子聚合物PVC之重量百分比為32.8、有機溶劑四氫呋喃之含量為1.3 mL；該鉀離子選擇性薄膜之離子選擇性分子valinomycin之重量百分比為1.1、塑化劑DOS之重量百分比為67.6、離子添加物K-TpClPB之重量百分比為0.6、高分子聚合物PVC之重量百分比為30.7、有機溶劑四氫呋喃之含量為1.2 mL；該鈉離子選擇性薄膜之離子選擇性分子Sodium ionophore X之重量百分比為0.7、塑化劑NPOE之重量百分比為66.1、離子添加物K-TpClPB之重量百分比為0.2、高分子聚合物PVC之重量百分比為33.0、有機溶劑四氫呋喃之含量為1.9 mL；該銨離子選擇性薄膜之離子選擇性分子TD19C6之重量百分比為3.0、塑化劑BBPA之重量百分比為67.0、離子添加物KTCPB之含量為0.5 mg、高分子聚合物PVC之重量百分比為30.0、有機溶劑四氫呋喃之含量為0.5 mL。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3264074B1 (en) * 2016-06-29 2020-10-21 Stichting IMEC Nederland Solid state electrode and method for making solid state electrode
WO2018153919A1 (en) * 2017-02-22 2018-08-30 Roche Diagnostics Gmbh Analyte detector for detecting at least one analyte in at least one fluid sample
CN108931566A (zh) * 2017-05-26 2018-12-04 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 一种传感器件及其制备方法以及测试所述传感器件的方法
CN109813759B (zh) * 2017-11-20 2022-03-22 上海柏中观澈智能科技有限公司 一种特定离子的检测系统
RU2719284C1 (ru) * 2019-10-18 2020-04-17 Александр Евгеньевич Кузнецов Система и способ динамического измерения редокс-потенциала в течение химической реакции

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59206756A (ja) 1983-05-11 1984-11-22 Hitachi Ltd 参照電極を一体化したｆｅｔ化学センサ−
US4592824A (en) 1985-09-13 1986-06-03 Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique S.A. Miniature liquid junction reference electrode and an integrated solid state electrochemical sensor including the same
JPS62250353A (ja) 1986-04-23 1987-10-31 Seitai Kinou Riyou Kagakuhin Shinseizou Gijutsu Kenkyu Kumiai 半導体化学センサ
FR2706616B1 (fr) 1993-06-14 1995-09-01 Lyon Ecole Centrale Capteur de type ISFET dont le substrat est isolé électriquement.
EP1042667B1 (en) 1997-12-22 2009-06-17 Roche Diagnostics Operations, Inc. Meter
GB0322010D0 (en) 2003-09-19 2003-10-22 Univ Cambridge Tech Detection of molecular interactions using field effect transistors
JP4065855B2 (ja) * 2004-01-21 2008-03-26 株式会社日立製作所 生体および化学試料検査装置
TWI302197B (en) 2006-01-04 2008-10-21 Univ Nat Yunlin Sci & Tech Reference ph sensor, the preparation and application thereof
TWI337658B (en) 2007-05-31 2011-02-21 Univ Nat Sun Yat Sen Miniaturized silver chloride reference electrode and method for making the same
MY142676A (en) 2007-11-15 2010-12-15 Mimos Berhad An integrated ion sensitive field effect transistor sensor
TW200944789A (en) 2008-04-28 2009-11-01 Univ Nat Yunlin Sci & Tech Calcium ion sensors and fabrication method thereof, and sensing systems comprising the same
TWI435078B (zh) 2008-12-31 2014-04-21 Univ Nat Sun Yat Sen 離子感測裝置及其製造方法

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