TWI429009B - 導氣管裝置 - Google Patents

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Description

導氣管裝置
本發明係有關於一種導氣管裝置，特別是有關於一種應用於半導體之打線接合(Wire bonder)機台上以供保護氣體流通之導氣管裝置者。
在半導體封裝過程中，晶粒上訊號之傳導可藉由打線(wire bond)製程，將晶粒上之訊號利用銲線傳導至載體(例如：導線架(leadframe)、基板(substrate)...等)上，再透過外部端子(例如：鍚球或導線架之引腳...等)連接至印刷電路板(PCB)上。而銲線之形成主要是利用一銲針內傳輸金屬線，例如：銅線、銀線或金線...等，將其端部熔融形成一銲球(FAB/Free Air Ball)，於此同時，利用一輸氣裝置持續的供應保護氣體，以保護銲球成形，前述之保護氣體較佳的可為氮、氬或氮氫混合氣，其中之氮、氬氣可包覆保護銲球避免氧化，而氮氫混合氣中的氫氣更可還原銲球上已氧化之部份，有助於保護銲球之成型，最後，再將連接有銲線之銲球接合於晶粒或載體之銲墊上。因此可以有效地控制打線製程，以確保半導體封裝高產量。在打線製程中，習知技術中US6234376與US4575602提出以導氣管裝置將保護氣體吹向熔融中的銅線或金線以促進球狀燒結，然而，上述前案皆會因保護氣體均由單一方向供應流動，使得導氣管裝置內之保護氣體流量不穩或紊流，因而造成銲球燒球異常，銲球燒球的異常狀況包括銲球破裂、偏心、壓傷、缺角、結晶異常...等，皆會造成進行打線製程後之品質異常，使晶粒無法使用。
此外，另有習知技術為了讓銲球製作成型之後、打線之前，不會因離開保護氣體而使得銲球氧化，進而使銲球產生異常，因此，會另以一支通有氮氣或氬氣或氮氫混合氣等保護氣體之輸氣管吹向已經成型的銲球，然而，通氣管的設置因需要另外以機器控制，造成成本上的增加與操作上較 不便利。
為了解決上述先前技術不盡理想之處，本發明提供一種導氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向之構型，其中，第一軸向、第二軸向與第三軸向等三者彼此為正交。導氣管裝置包含有本體與尾管。本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側壁。本體的頭端附近沿第一軸向形成有貫穿的第一通孔。本體進一步包含有第一氣孔與旁路氣孔，第一氣孔係沿第二軸向配置，且貫通本體的尾端與第一通孔，旁路氣孔一端連通至第一氣孔，另一端連通至第一通孔。尾管接合至該本體的尾端，沿第二軸向形成有貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。
因此，本發明之主要目的係提供一種導氣管裝置，藉由第一氣孔與旁路氣孔(第二氣孔、第三氣孔以及第四氣孔)之保護氣體導引，可以破壞導氣管裝置中第一通孔內保護氣體的紊亂氣流，進而使得銲球熔融燒結時在銲球外部形成一層較為穩定的保護氣體包覆，而使的銲球熔融燒結成型的球體均勻度更佳。
本發明進一步提供另一種導氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向之構型，第一軸向、第二軸向與第三軸向三者彼此為正交。導氣管裝置包括本體、尾管及氣密包覆件。本體以多孔性陶瓷製作而成，具有外表面，沿第二軸向的兩端為頭端與尾端。本體的頭端附近沿第一軸向形成貫穿的第一通孔，沿第二軸向形成有第一氣孔，第一氣孔貫通本體的尾端與第一通孔。尾管接合至本體的尾端且沿第二軸向形成貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。氣密包覆件包覆於本體上第一通孔以外的外表面。
因此，本發明之又一目的係提供一種導氣管裝置，藉由本體變更材料結構為多孔性陶瓷製作而成，再藉由本體內均勻保護氣體之導引，可以破壞導氣管裝置中第一通孔內的紊亂氣流，進而使得銲球熔融燒結時在銲球外部形成一層較為穩定的保護氣體包覆，而使的銲球熔融燒結成型的球體 均勻度更佳。
本發明進一步提供另一種導氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向之構型，第一軸向、第二軸向與第三軸向三者彼此為正交。導氣管裝置包括本體、尾管及外管。本體中沿第二軸向的兩端為頭端與尾端，沿第三軸向的兩端為兩側壁。本體的頭端附近沿第一軸向形成貫穿的第一通孔。本體進一步包含第一氣孔與旁路氣孔，第一氣孔沿第二軸向配置且貫通本體的尾端與第一通孔，旁路氣孔一端連通至該第一氣孔，另一端連通第一通孔。尾管接合至本體的尾端，且沿第二軸向形成貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。外管具有底管與連接底管兩端的兩個側管，藉此成為一個U形管，使本體洽容置於U形管所形成之區域內。本體的頭端靠近底管。外管進一步包含旁路流道與複數個排氣孔，旁路流道配置於底管與兩個側管的內部，複數個排氣孔一端流通至旁路流道，另一端連通至外管的外部。
因此，本發明之再一目的係提供另一種導氣管裝置，藉由第一氣孔與旁路氣孔(第二氣孔、第三氣孔以及第四氣孔)之保護氣體導引，可以破壞導氣管裝置中第一通孔內保護氣體的紊亂氣流，進而使得銲球熔融燒結時在銲球外部形成一層較為穩定的保護氣體包覆，而使的銲球熔融燒結成型的球體均勻度更佳。
本發明之再一目的係提供另一種導氣管裝置，藉由外管之配置，取代原有的氮氣或氬氣或氮氫混合氣等保護氣體之輸氣管，用以降低成本及提升操作之便利性。
本發明進一步提供另一種導氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向之構型，其中，第一軸向、第二軸向與第三軸向等三者彼此為正交。導氣管裝置包括本體、尾管及外管。本體以多孔性陶瓷製作而成，具有一外表面，且本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端，本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，本體沿第二軸向形成有一第一氣孔， 第一氣孔貫通本體的尾端與第一通孔。尾管接合至本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。氣密包覆件，包覆於本體上第一通孔以外的外表面。外管具有一底管與連接於底管兩端的兩個側管，藉此形成一個U形管，使本體恰容置於U形管所形成之區域內，且本體的頭端靠近底管，外管進一步包含有旁路流道與複數個排氣孔，旁路流道配置於底管與兩個側管的內部，複數個排氣孔一端連通至旁路流道，另一端連通至外管的外部。
本發明之再一目的係提供另一種導氣管裝置，藉由本體變更材料結構為多孔性陶瓷製作而成，再藉由本體內均勻保護氣體之導引，可以破壞導氣管裝置中第一通孔內保護氣體的紊亂氣流，進而使得銲球熔融燒結時在銲球外部形成一層較為穩定的保護氣體包覆，而使的銲球熔融燒結成型的球體均勻度更佳。
本發明之再一目的係提供另一種導氣管裝置，藉由外管之配置，取代原有的氮氣或氬氣或氮氫混合氣等保護氣體之輸氣管，用以降低成本及提升操作之便利性。
本發明進一步提供另一種導氣管裝置，具有沿第一軸向、第二軸向與第三軸向之構型，其中，第一軸向、第二軸向與第三軸向等三者彼此為正交。導氣管裝置包括本體、尾管及外管。本體沿第二軸向的兩端為頭端與尾端、沿第三軸向的兩端為兩側壁，本體的頭端附近沿第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，本體沿第二軸向形成有一第一氣孔，第一氣孔貫通本體的尾端與第一通孔。尾管接合至本體的尾端，沿第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，第二通孔連通至第一氣孔。外管具有一底管與連接於底管兩端的兩個側管，藉此形成一個U形管，使本體恰容置於U形管所形之區域內，且本體的頭端靠近底管，外管進一步包含有旁路流道與複數個排氣孔，旁路流道配置於底管與兩個側管的內部，複數個排氣孔一端連通至旁路流道，另一端連通至外管的外部。
本發明之再一目的係提供另一種導氣管裝置，藉由外管之配置，取代原有習知技術中需另外裝設的氮氣或氬氣或氮氫混合氣等保護氣體之輸氣管，用以降低成本及提升操作之便利性。
由於本發明係揭露一種導氣管裝置，用於半導體元件之打線機台，其中打線技術之製作原理與基本功能，已為相關技術領域具有通常知識者所能明瞭，故以下文中之說明，不再作完整描述。同時，以下文中所對照之圖式，係表達與本發明特徵有關之結構示意，亦不需要依據實際尺寸完整繪製，合先敘明。
首先請先參考第1A圖，係本發明提出之第一較佳實施例，為一種導氣管裝置1，具有沿第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3之構型，其中，第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3等三者彼此為正交。導氣管裝置1主要包含有本體11以及尾管12。
本體11沿第二軸向A2的兩端為頭端112與尾端113、沿第三軸向A3的兩端為兩側壁114，本體11的頭端112附近沿第一軸向A1形成有貫穿的第一通孔115。第一通孔115設置目的係為了讓銲針(Capillary)(未圖示)穿越第一通孔115，銲針內供應有金屬線，例如：銅線、銀線或金線...等，而本體11內另設置有一放電裝置(未圖示)，當此金屬線受到銲針垂直運動至本體11之第一通孔115內時，上述之金屬線尖端部受到放電裝置高熱而被加熱熔融並燒製形成一銲球。
請參考第1B圖，本體11進一步包含有第一氣孔116與旁路氣孔。第一氣孔116係沿第二軸向A2配置，且貫通本體的尾端113與第一通孔115。旁路氣孔包含一對沿第二軸向A2配置的第二氣孔117、一對沿第三軸向A3配置的第三氣孔118與一對沿第三軸向A3配置的第四氣孔119，其中第二氣孔117的兩端為封閉，第三氣孔118靠近本體的側壁114處與第四氣孔119靠近本體的側壁114處亦皆為封閉。同時，第三氣孔118連通第二氣孔 117與第一氣孔116；第四氣孔119連通第二氣孔117與第一通孔115，第一通孔115配置位於兩個第二氣孔117之間。藉此，旁路氣孔的一端連通至第一氣孔116，相對的另一端連通至第一通孔115，因此第一氣孔116內的保護氣體除了可以直接導入第一通孔115之外，同時又藉著旁路氣孔，經由第三氣孔118、第二氣孔117及第四氣孔119導引至第一通孔115。要特別留意的是，第二氣孔117、第三氣孔118與第四氣孔119的孔徑均小於第一通孔115與第一氣孔116。
此外，導氣管裝置1中的尾管12，接合至本體11的尾端113，尾管12沿第二軸向A2形成有貫穿的第二通孔121，且第二通孔121連通至第一氣孔116，該尾管12之設置目的是為了與外部之供氣系統(未圖示)及放電裝置(未圖示)連接。藉此，尾管12第二通孔121所引入的保護氣體經由第一氣孔116與旁路氣孔(第二氣孔117、第三氣孔118以及第四氣孔119)之導引，可以在第一通孔115內產生氣體屏障。上述的結構有其重要的物理意義，依據白努力定理，氣體流速較快時壓力較低，氣體流速較慢時壓力較高，同時，兩個物體之間的相對運動速度會造成兩個物體之間的流體產生流動現象。當銲針內裝之金屬線於進出本體11之第一通孔115熔融燒結成銲球時，因為金屬線本身具有具體的體積，當金屬線進入第一通孔115時，第一通孔115內的氣體容積頓時減少，當金屬線退出第一通孔115時，第一通孔115內的氣體容積又再增加恢復成原狀，因此金屬線快速進出第一通孔115時，金屬線與第一通孔115間的保護氣體產生流動，又因為金屬線進入及退出第一通孔115的運動方向不同，造成保護氣體壓力不同，因此流體的速度也不同而忽快忽慢，最後造成第一通孔115內的紊亂氣流，使得金屬線於熔融燒結成銲球時因為保護氣體紊亂氣流的影響以至於保護氣體包覆的不穩定而造成銲球的球體形狀不平均而容易形成不良品。藉由本發明所提出的第一氣孔116與旁路氣孔(第二氣孔117、第三氣孔118以及第四氣孔119)之保護氣體導引，可以破壞上述第一通孔115內的紊亂氣流， 而在銲球熔融燒結時在銲球外部形成一層較為穩定的保護氣體包覆，而使的銲球熔融燒結成型的球體均勻度更佳。
上述之本體頭端112於第二氣孔117處，可以進一步形成有一對凹陷之肩部14，此對凹陷之肩部14用途在於讓另外的輸氣管(未圖示)得以依靠放置，使得輸氣管可準確地將氮氣、氬氣或氮氫混合氣等保護氣體吹往製作完成之銲球上，用以保護銲球、避免製作完成之銲球快速氧化。
此外，倘若第二氣孔117、第三氣孔118與第四氣孔119係採機械加工製作而成者(例如鑽孔)，為了避免保護氣體流出導氣管裝置1之本體11外、以及達成前述所提：第二氣孔117的兩端為封閉，第三氣孔118靠近本體的側壁114處與第四氣孔119靠近本體的側壁114處亦皆為封閉之效果，可以進一步使用氣密件13，設置於第二氣孔117靠近本體頭端112處、第三氣孔118靠近本體側壁114處、以及第四氣孔119靠近本體側壁114處。此氣密件13可以是不透氣的膠帶、塑膠、橡膠或樹脂等。但是倘若本體11係採模塑成型、而將「第二氣孔117的兩端為封閉，第三氣孔118靠近本體的側壁114處與第四氣孔119靠近本體的側壁114處亦皆為封閉」之特徵在成型時便製作完成者，此時便不需要外加氣密件。
請參考第2A圖，係本發明提出之第二較佳實施例，為另一種導氣管裝置2，具有沿第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3之構型，其中，第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3等三者彼此為正交。導氣管裝置2主要包含有本體21、尾管22以及氣密包覆件23，且本體21的材料為多孔性陶瓷。
請參考第2B圖，本體21包括有外表面211、頭端212與尾端213。頭端212附近沿第一軸向A1形成有貫穿的第一通孔215，第一通孔215設置目的係為了讓銲針(未圖示)穿越第一通孔215，銲針內設有垂向傳輸之金屬線，而此金屬線於本體21內下降至放電高度時將接觸到放電裝置(未圖示) 而被加熱熔融，可於金屬線端部燒製形成一銲球。
請繼續參考第2B圖，本體21進一步包含有第一氣孔216，第一氣孔216係沿第二軸向A2配置，且貫通本體21的尾端213與第一通孔215。此外，尾管22接合至本體21的尾端213，沿第二軸向A2形成有貫穿的第二通孔221，且第二通孔221連通至第一氣孔216。重要的是，由於本體21的材料為多孔性陶瓷，為了避免第一氣孔216內的保護氣體不被控制地流出本體21之外，氣密包覆件23包覆於第一通孔215以外的本體外表面211，使得第一氣孔216內的保護氣體只能流至第一通孔215。同時，又因為本體21的材料為多孔性陶瓷，尾管22第二通孔221所引入第一氣孔216的保護氣體，可以藉由多孔性陶瓷的多孔結構，從第一通孔215的四面八方周緣壁面滲入第一通孔215內而產生保護氣體的氣體屏障。
上述的結構有其重要的物理意義，如前述第一較佳實施例中所提，當銲針內裝之金屬線於快速進出本體之第一通孔熔融燒結成銲球時，因為金屬線進入及退出第一通孔215的運動方向不同，造成保護氣體壓力不同，因此流體的速度也不同而忽快忽慢，最後造成第一通孔215內的紊亂氣流，使得金屬線於熔融燒結成銲球時因為保護氣體的紊亂氣流的影響，以至於保護氣體的包覆不穩定、造成銲球的球體形狀不平均而容易形成不良品。藉由本發明所提出的多孔性陶瓷之本體21，保護氣體從第一通孔215的四面八方周緣壁面滲入第一通孔215內而產生氣體屏障，可以破壞上述第一通孔215內的紊亂氣流，而在銲球熔融燒結時在銲球外部形成一層較為穩定的保護氣體包覆，而使的銲球熔融燒結成型的球體均勻度更佳。
請參考第3圖，係本發明提出之第三較佳實施例，為另一種導氣管裝置3，具有沿第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3之構型，其中，第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3等三者彼此為正交。導氣管裝置3主要包含有本體11、尾管12以及外管34。其中本體11與尾管12的主要 特徵與功效實質相同於如前述第一較佳實施例中之本體11以及尾管12，請參考第1A圖與第1B圖，在此不加贅述。
本實施例中，導氣管裝置3進一步包含一外管34，此外管34與一供應氮氣、氬氣或氮氫混合氣等保護氣體之輸氣管(未圖示)相接，其中，此外管34具有底管341與連接於底管341兩端的側管342，藉此形成一個U形管，使本體11恰容置於U形管所圍繞形成之U形域內並受到外管34包覆於本體11周緣，且本體11的頭端312朝向底管341，此U型區域外管34之設置目的係為了導引保護氣體(例如氮氣、氬氣或氮氫混合氣)吹向已經製作成型的銲球，以保護銲球，使其不致於因銲針垂直上下運動之同時，將外部空氣導引至第一通孔115內，因而造成保護氣體充斥外部空氣而產生銲球異常，藉此可以取代原本需要另外以機器控制的氮氣管或氬氣管等輸氣裝置，可用以降低成本及提升操作之便利性。
請繼續參考第3圖，因為在此較佳實施例中已經具有外管34，不需要另外設置如習知技術中的氮氣管、氬氣管或氮氫混合氣等輸氣管，所以，在此較佳實施例中的本體11便不一定需要另外再增設第一實施例中所述的凹陷肩部14(請參考第1B圖)。
要特別說明的是，外管34進一步包含有旁路流道與複數個排氣孔345。旁路流道配置於底管341與側管342的內部，且旁路流道進一步包含有沿第三軸向A3配置的第五氣孔343與一對沿第二軸向A2配置的第六氣孔344，其中第五氣孔343兩端為封閉，而第六氣孔344一端為封閉，且第六氣孔344均連通至第五氣孔343。因此，複數個排氣孔345的一端連通至旁路流道，另一端則連通至外管34的外部。又，外管34之設置並不限於本發明所揭露之範圍，可隨實際作業上之需求而反向設置。
進一步，請繼續參考第3圖，外管34連接有一個進氣口346，一端用以連接氮氣、氬氣或氮氫混合氣，另一端與第六氣孔344相連接，進氣口346中亦擁有一條流道，此流道可與側管342內之旁路流道相連接，使氮氣、 氬氣或氮氫混合氣自進氣口346進入後得以順著旁路流道流自複數個排氣孔345排出氮氣、氬氣或氮氫混合氣等保護氣體。其中，進氣口346之位置並不限定於本發明所揭露之範圍，進氣口346可朝上或朝下，亦可與尾管12方向相同，可隨實際作業上之需求而設置。
此外，倘若第五氣孔343係採機械加工製作而成者(例如鑽孔)，為了避免保護氣體流出外管34外，可以進一步使用氣密件33，設置於第五氣孔343靠近外管34處。此氣密件33可以是不透氣的膠帶、塑膠、橡膠或樹脂等。但是倘若外管34係採模塑成型，此時便不需要外加氣密件。
請參考第4圖，係本發明提出之第四較佳實施例，為另一種導氣管裝置4，具有沿第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3之構型，其中，第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3等三者彼此為正交。導氣管裝置4主要包含有本體21、尾管22、氣密包覆件23以及外管34。
其中本體21的材料為多孔性陶瓷，為了避免第一氣孔216內的保護氣體不被控制地流出本體21之外，氣密包覆件23包覆於第一通孔215以外的本體外表面211，其本體21與尾管22的主要特徵與功效實質相同於如前述第二較佳實施例中之本體21以及尾管22，請參考第2A圖與第2B圖，在此不加贅述。至於外管34的主要特徵與功效則實質相同於如前述第三較佳實施例中之外管34，在此亦不加贅述。
請參考第5圖，係本發明提出之第五較佳實施例，為另一種導氣管裝置5，具有沿第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3之構型，其中，第一軸向A1、第二軸向A2與第三軸向A3等三者彼此為正交。導氣管裝置5主要包含有本體51、尾管52以及外管54。本體51沿第二軸向A2的兩端為頭端512與尾端513、沿第三軸向A3的兩端為兩側壁514，本體的頭端512附近沿第一軸向A1形成有貫穿的第一通孔515。第一通孔515設置目 的係為了讓銲針(未圖示)穿越第一通孔515，銲針內含有金屬線，而此金屬線接觸到放電裝置(未圖示)而被加熱熔融時，可燒製形成銲球。此外，導氣管裝置5中的尾管52，接合至本體的尾端513，沿第二軸向A2形成有貫穿的第二通孔521，且第二通孔521連通至第一氣孔516。此實施例中，外管34的主要特徵與功效則實質相同於如前述第三較佳實施例中之外管34，在此不加贅述。
以上所述僅為本發明之較佳實施例，並非用以限定本發明之申請專利權利；同時以上的描述，對於熟知本技術領域之專門人士應可明瞭及實施，因此其他未脫離本發明所揭示之精神下所完成的等效改變或修飾，均應包含在申請專利範圍中。
1、2、3、4、5‧‧‧導氣管裝置
11、21、51‧‧‧本體
112、212、512‧‧‧頭端
113、213、513‧‧‧尾端
114、514‧‧‧側壁
115、215、515‧‧‧第一通孔
116、216、516‧‧‧第一氣孔
117‧‧‧第二氣孔
118‧‧‧第三氣孔
119‧‧‧第四氣孔
12、22、52‧‧‧尾管
121、221、521‧‧‧第二通孔
13、33‧‧‧氣密件
14‧‧‧肩部
211‧‧‧外表面
23‧‧‧氣密包覆件
34‧‧‧外管
341‧‧‧底管
342‧‧‧側管
343‧‧‧第五氣孔
344‧‧‧第六氣孔
345‧‧‧排氣孔
346‧‧‧進氣口
A1‧‧‧第一軸向
A2‧‧‧第二軸向
A3‧‧‧第三軸向
第1A圖為一立體示意圖，係根據本發明提供之第一較佳實施例，為一種導氣管裝置。
第1B圖為一俯視圖，係根據本發明提供之第一較佳實施例，為一種導氣管裝置。
第2A圖為一立體示意圖，係根據本發明提供之第二較佳實施例，為另一種導氣管裝置。
第2B圖為一俯視圖，係根據本發明提供之第二較佳實施例，為另一種導氣管裝置。
第3圖為一立體示意圖，係根據本發明提供之第三較佳實施例，為另一種導氣管裝置。
第4圖為一立體示意圖，係根據本發明提供之第四較佳實施例，為另一種導氣管裝置。
第5圖為一立體示意圖，係根據本發明提供之第五較佳實施例，為另一種導氣管裝置。
1‧‧‧導氣管裝置
11‧‧‧本體
112‧‧‧頭端
113‧‧‧尾端
114‧‧‧側壁
115‧‧‧第一通孔
117‧‧‧第二氣孔
118‧‧‧第三氣孔
119‧‧‧第四氣孔
12‧‧‧尾管
13‧‧‧氣密件
121‧‧‧第二通孔
14‧‧‧肩部
A1‧‧‧第一軸向
A2‧‧‧第二軸向
A3‧‧‧第三軸向

Claims (13)

  1. 一種導氣管裝置，具有沿一第一軸向、一第二軸向與一第三軸向之構型，其中，該第一軸向、該第二軸向與該第三軸向等三者彼此為正交，該導氣管裝置包含有：一本體，沿該第二軸向的兩端為一頭端與一尾端、沿該第三軸向的兩端為兩側壁，該本體的該頭端附近沿該第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體進一步包含有一第一氣孔與一旁路氣孔，該第一氣孔係沿該第二軸向配置，且貫通該本體的該尾端與該第一通孔，該旁路氣孔一端連通至該第一氣孔，另一端連通至該第一通孔，該旁路氣孔包含一對第二氣孔、一對第三氣孔與一對第四氣孔，其中該等第二氣孔的兩端為封閉，該等第三氣孔與該等第四氣孔靠近於該本體的一側壁處為封閉，每一該第三氣孔同時連通每一該第二氣孔與該第一氣孔，每一該第四氣孔同時連通每一該第二氣孔與該第一通孔；以及一尾管，接合至該本體的該尾端，沿該第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔。
  2. 依據申請專利範圍第1項的導氣管裝置，其中該等第二氣孔係沿該第二軸向配置，該等第三氣孔與該等第四氣孔係沿該第三軸向配置。
  3. 依據申請專利範圍第2項的導氣管裝置，其中該第一通孔位於該等第二氣孔之間。
  4. 依據申請專利範圍第2項的導氣管裝置，其中該本體之該頭端於該等第二氣孔處，進一步形成有一對凹陷之肩部。
  5. 依據申請專利範圍第1項的導氣管裝置，進一步包含複數個氣密件，設置於該等第二氣孔靠近該本體之該頭端處、該等第三氣孔靠近該本體之該側壁處、以及該等第四氣孔靠近該本體之該側壁處。
  6. 依據申請專利範圍第1項的導氣管裝置，其中該等第二氣孔、該等第三氣孔與該等第四氣孔的一孔徑均小於該第一通孔與該第一氣孔。
  7. 一種導氣管裝置，具有沿一第一軸向、一第二軸向與一第三軸向之構型， 其中，該第一軸向、該第二軸向與該第三軸向等三者彼此為正交，該導氣管裝置包含有：一本體，以多孔性陶瓷製作而成，該本體具有一外表面，且該本體沿該第二軸向的兩端為一頭端與一尾端，該本體的該頭端附近沿該第一軸向形成有一貫穿的第一通孔以供一銲針垂直穿伸其中，該本體沿該第二軸向形成有一第一氣孔，該第一氣孔貫通該本體的該尾端與該第一通孔；一尾管，接合至該本體的該尾端，沿該第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；以及一氣密包覆件，包覆於該第一通孔以外的該本體的外表面。
  8. 一種導氣管裝置，具有沿一第一軸向、一第二軸向與一第三軸向之構型，其中，該第一軸向、該第二軸向與該第三軸向等三者彼此為正交，該導氣管裝置包含有：一本體，沿該第二軸向的兩端為一頭端與一尾端、沿該第三軸向的兩端為兩側壁，該本體的該頭端附近沿該第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體進一步包含有一第一氣孔與一旁路氣孔，該第一氣孔係沿該第二軸向配置，且貫通該本體的該尾端與該第一通孔，該旁路氣孔一端連通至該第一氣孔，另一端連通至該第一通孔；一尾管，接合至該本體的該尾端，沿該第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；以及一外管，具有一底管與連接於該底管兩端的兩個側管，藉此形成一個U形管，使該本體恰容置於該U形管所形成之區域內，且該本體的該頭端靠近該底管，該外管進一步包含有一旁路流道與複數個排氣孔，該旁路流道配置於該底管與該等側管的內部，該等排氣孔一端連通至該旁路流道，另一端連通至該外管的外部。
  9. 依據申請專利範圍第8項的導氣管裝置，其中該旁路流道進一步包含有一第五氣孔與一對第六氣孔，該第五氣孔係沿該第三軸向配置於該底 管，且兩端為封閉，每一該第六氣孔係沿該第二軸向配置於每一該側管，且該等第六氣孔均連通至該第五氣孔。
  10. 一種導氣管裝置，具有沿一第一軸向、一第二軸向與一第三軸向之構型，其中，該第一軸向、該第二軸向與該第三軸向等三者彼此為正交，該導氣管裝置包含有：一本體，以多孔性陶瓷製作而成，該本體具有一外表面，且該本體沿該第二軸向的兩端為一頭端與一尾端，該本體的一頭端附近沿該第一軸向形成有一貫穿的第一通孔，該本體沿該第二軸向形成有一第一氣孔，該第一氣孔貫通該本體的一尾端與該第一通孔；一尾管，接合至該本體的該尾端，沿該第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；一氣密包覆件，包覆於該第一通孔以外的該本體的一外表面；以及一外管，具有一底管與連接於該底管兩端的兩個側管，藉此形成一個U形管，使該本體恰容置於該U形管所形成之區域內，且該本體的該頭端靠近該底管，該外管進一步包含有一旁路流道與複數個排氣孔，該旁路流道配置於該底管與該等側管的內部，該等排氣孔一端連通至該旁路流道，另一端連通至該外管的外部。
  11. 依據申請專利範圍第10項的導氣管裝置，其中該旁路流道進一步包含有一第五氣孔與一對第六氣孔，該第五氣孔係沿該第三軸向配置於該底管，且兩端為封閉，每一該第六氣孔係沿該第二軸向配置於每一該側管，且該等第六氣孔均連通至該第五氣孔。
  12. 一種導氣管裝置，具有沿一第一軸向、一第二軸向與一第三軸向之構型，其中，該第一軸向、該第二軸向與該第三軸向等三者彼此為正交，該導氣管裝置包含有：一本體，沿該第二軸向的兩端為一頭端與一尾端、沿該第三軸向的兩端為兩側壁，該本體的該頭端附近沿該第一軸向形成有一貫穿的第一通 孔，該本體沿該第二軸向形成有一第一氣孔，該第一氣孔貫通該本體的該尾端與該第一通孔；一尾管，接合至該本體的該尾端，沿該第二軸向形成有一貫穿的第二通孔，該第二通孔連通至該第一氣孔；以及一外管，具有一底管與連接於該底管兩端的兩個側管，藉此形成一個U形管，使該本體恰容置於該U形管所形成之區域內，且該本體的該頭端靠近該底管，該外管進一步包含有一旁路流道與複數個排氣孔，該旁路流道配置於該底管與該等側管的內部，該等排氣孔一端連通至該旁路流道，另一端連通至該外管的外部。
  13. 依據申請專利範圍第12項的導氣管裝置，其中該旁路流道進一步包含有一第五氣孔與一對第六氣孔，該第五氣孔係沿該第三軸向配置於該底管，且兩端為封閉，每一該第六氣孔係沿該第二軸向配置於每一該側管，且該等第六氣孔均連通至該第五氣孔。
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