TWI414702B - 閥歧管總成 - Google Patents

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Description

閥歧管總成
本發明係關於閥,且更具體而言,係關於一種用於將次流體混合入一主流體內之閥歧管總成。
在半導體行業中,使用了各種類型的閥來控制流體輸送及對流體混合,包括高純及高腐蝕性的流體。儘管先前技術之閥歧管組合能有效地達成多種流體之輸送及混合,然而其仍存在不利於特定半導體應用之某些缺點。
舉例而言,某些先前技術之歧管會在主流體流動管道中形成靜止點或死點,此可導致流體停滯並劣化,或者可捕獲因流體污染而產生之固體物。通常,混合閥係使用遠離主流體流動管道之閥系,藉由一流入主流體流動管道內之入口管道提供次流體。而該閥系與主流動管道間之管道會形成此種靜止點或死點,並可抑制次流體與主流體之混合。
這在美國第6,192,932號專利案所揭示之裝置中,已得到某種程度上的解決。該等閥歧管具有一閥,該閥具有貫穿主流體流動管道之一閥桿以及一頭部,該頭部承座於閥室相對側上之一閥座上。然而,此種佈局會在主流體流動管道中造成額外之潛在死點,並因閥桿直接貫穿主流體流動管道中間而破壞或阻礙流體流動。此一佈局會在主管道中造成過大之壓降,且無論閥開啟還是關閉,皆使閥之大部分承受主流體流之影響。
因此,在半導體行業中需要一種改良之混合閥歧管總成及相關方法,以消除或使死空間最小化,並消除或使破壞主流體流動管道之障礙物最小化。
本文說明一種改良之閥歧管組合系統及相關方法,其能消除該歧管之一主流體流動管道中之死空間及障礙物,並使閥門之各運作部最少地暴露於主流體管道中。本發明在一實施例中包含一具有一主流體流動管道之歧管以及在一閥區中安裝於該歧管上之至少一閥。該至少一閥具有一閥桿,該閥桿具有較佳係以氣動驅動之一閥部件,該閥部件控制將次流體自一較佳位於該歧管中之次管道提供至該主流體流動管道中之一主流體中。該閥部件承座於一閥座上,該閥座位於該主流體流動管道之周緣區中,其中該閥座相對於該主流體流動管道朝內。該閥桿遠離該主流體流動管道延伸至一閥致動器。
在一實施例中,該主流體流動管道係實質連續而無間斷點,且在該閥區中實質不存在該流體流動管道之擴張。在又一實施例中,在該閥座之區域中可存在一定程度之擴張,而該主流體流動管道之其餘部分在該閥區中則不存在流體流動管道之擴張。
根據一實施例,一種用於混合複數個流體流動流之閥歧管總成包含一歧管本體部,該歧管本體部界定一主流動通道以及至少一次流動通道,該次流動通道係藉由該主流動通道之一壁中的一孔與該主流動通道流體耦合。該孔係由一周緣加以界定,一閥座圍繞該周緣延伸。該閥座呈現出面朝該主流動通道內之一閥座密封面。該總成更包含一閥,該閥具有一流體控制部,該流體控制部具有具一第一直徑尺寸之一頭部以及自該頭部伸出之一桿部。該桿部具有小於該第一直徑尺寸之一第二直徑尺寸。該頭部呈現出靠近並延伸圍繞該桿部之一閥密封面。該流體控制部貫穿該孔,以使該頭部實質上位於該主流動通道中且該桿部貫穿該孔。該閥可選擇性地於一閉合位置與一開啟位置間變換,在該閉合位置上,該閥密封面係密封地與該閥座密封面嚙合,以阻擋該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,而在該開啟位置上,該閥密封面係與該閥座密封面間隔開,以達成該次流動通道與該主流動通道間之流體流動。由於該流體控制部之定位使得僅該頭部位於該主流動通道中,因而該主流動通道實質上不存在由該閥造成之障礙或間斷。
在其他實施例中,該歧管本體部可界定複數個單獨之次流動通道,各該次流動通道係藉由該主流動通道之一壁中的一單獨孔與該主流動通道流體耦合。複數個閥與該歧管本體相耦合,各該閥具有貫穿該等孔中一單獨孔的一流體控制部。
該總成可更包含至少一致動器,該至少一致動器可操作地與該閥耦合,以使該閥選擇性地於該閉合位置與該開啟位置間變換。該致動器可包含可操作地與該閥耦合之一偏置元件,該偏置元件可設置成將該閥朝該閉合位置偏置或設置成將該閥朝該開啟位置偏置。該致動器可更包含一手柄,該手柄可操作地與該閥耦合,以手動地使該閥於該閉合位置與該開啟位置間變換。
在某些實施例中,該致動器包含一外殼及位於該外殼中之一驅動元件,該驅動部件係可操作地與該閥耦合並可選擇性地在該外殼內變換,以使該閥於該閉合位置與該開啟位置間變換。該驅動元件可係為一密封地與該外殼之該壁之一內表面嚙合之活塞,或者係為一隔膜。
在一實施例中,一種用於混合複數個流體流動流之閥歧管總成包含一歧管本體部,該歧管本體部界定一主流動通道以及至少一次流動通道,該次流動通道係藉由該主流動通道之一壁中的一孔與該主流動通道流體耦合,該孔係由一周緣加以界定,一閥座圍繞該周緣延伸。該閥座呈現出面朝該主流動通道內之一閥座密封面。該總成包含至少一閥,該閥包含一流體控制部,該流體控制部具有具一第一直徑尺寸之一頭部以及自該頭部伸出之一桿部,該桿部具有小於該第一直徑尺寸之一第二直徑尺寸。該頭部呈現出靠近並延伸圍繞該桿部之一閥密封面。該流體控制部貫穿該孔,且該閥可選擇性地於一閉合位置與一開啟位置間變換,在該閉合位置上,該閥密封面係密封地與該閥座密封面嚙合,以阻擋該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,而在該開啟位置上,該閥密封面係與該閥座密封面間隔開,以達成該次流動通道與該主流動通道間之流體流動。該總成更包含選擇性變換裝置,用於使該閥選擇性地於該閉合位置與該開啟位置間變換。使該閥選擇性地於該閉合位置與該開啟位置間變換之該裝置可包含至少一致動器。
在一實施例中,一種用於混合複數個流體流動流之閥歧管總成包含:一歧管本體部,該歧管本體部界定一主流動通道以及複數個次流動通道,各該次流動通道係藉由該主流動通道之一壁中的一孔與該主流動通道流體耦合;複數個閥。各該閥包含一流體控制部,該流體控制部具有一頭部以及自該頭部伸出之一桿部。各該閥之該流體控制部貫穿該等孔中之一單獨孔,且各該閥可選擇性地於一閉合位置與一開啟位置間變換,在該閉合位置上,該頭部係密封地嚙合於該孔中,以阻擋該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,而在該開啟位置上,該頭部係與該孔間隔開,以達成該次流動通道與該主流動通道間之流體流動。
某些實施例之一優點及特徵在於,藉由將該閥桿設置成當閥關閉時僅使該流體控制部之頭部延伸入該主流體流動管道內,使所形成之流動障礙及死空間最小化。該閥係藉由使該閥部件向內移動至該主流體流動管道內而開啟,藉以使該閥桿最小限度地暴露於主流體中。
本發明某些實施例之另一優點及特徵在於,由於閥座之位置實質處於該主流動通道之壁中,因而閥座僅最小限度地造成或根本不會造成主流體流動通道之間斷。
在閱讀附圖及本文對本發明之說明後,本發明特定實施例之其他目的及優點對於熟習此項技術者而言將變得一目了然。
一混合閥歧管總成10繪示於第1圖中,其總體上包含一歧管本體部12以及複數個閥總成14。歧管本體部12界定沿縱向軸線A2定向之一主流動通道16以及沿軸線A1定向之複數個次流動通道18,軸線A1大體上橫切主流動通道16延伸。歧管本體部12更在主流動通道16之各端處包含主流動連接器20,以用於耦接管道系統(未顯示),並提供有次流動連接器22,以用於將管道系統24連接至次流動通道18。連接器20、22可為一習知之Flaretek管接頭,其可自本發明之擁有者Entegris公司購得。連接器20、22、歧管本體部12以及任何其他潤濕組件可較佳由例如全氟烷氧基(perfluoroalkoxy,PFA)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene,PTFE)、或改性之PTFE(例如Dupont公司之NXT70)等含氟聚合物製成。
現在參見第2圖,次流動通道18總體上包含入口導管部26、沿軸線A1定向之外側部28、閥腔30以及孔32,此界定了一流動路徑,以達成次流動通道22與沿軸線A2定向之主流動通道16間之流體連通。
孔32界定於主流動通道16之壁33中,並總體上包括上入口部34及閥座36。閥座36包含閥座密封面37,閥座密封面37圍繞孔32之周緣延伸並面朝主流動通路16。
閥38總體上包含閥桿39及流體控制部42。閥桿39總體上包含一潤濕隔膜39.5及一由不銹鋼製成之控制桿44,其中潤濕隔膜39.5構造成一閥桿裙40形式。閥桿裙40具有凹部40.1。閥桿裙40較佳係與流體控制部42形成一體。隔膜39.5密封,以防止受控流體自次流動通道18洩漏至閥室41內。在閥室41中貼近隔膜39.5形成洩漏偵測孔43,以便能夠偵測閥腔30之流體洩漏或者用作一容納隔膜39.5之撓曲運動之孔。閥38及任何其他潤濕組件可較佳由例如PFA、PTFE、或改性之PTFE(例如Dupont公司之NXT70)等含氟聚合物製成。
流體控制部42係為沙漏形狀,且較佳由改性之PTFE(例如Dupont公司之NXT70)模製而成。流體控制部42控制孔32之開啟及關閉,藉以控制閥腔30與主流動通道16間之流體流動。流體控制部42總體上包含提動閥45,提動閥45界定一控制桿容座46以用於接納控制桿44,並包含頭部48以及桿部52。桿部52呈現第一直徑尺寸D1,且頭部48界定小於D1之第二直徑尺寸D2。在一實施例中,流體流動部42可具有至少一額外提動閥47。
在本發明之一實施例中,頭部48界定閥密封面54,閥密封面54靠近並延伸圍繞桿部52,以與閥座36之閥座密封面37嚙合並藉由閥座密封面37進行密封。在本發明之一實施例中,可增加至少一額外結構作為一第二提動閥50,第二提動閥50界定一靠近並延伸圍繞桿部52之第二相對面對之閥密封面56。
提動閥45較佳以壓入配合形式組裝於孔32內,由此將頭部48實質設置於主流動通道16中且使閥密封面54貼近並面對閥座密封面37定位。桿部52穿過孔32延伸入次流動通道18之閥腔30內。在本發明之一實施例中(未顯示),第二提動閥50之閥密封面56可貼近並面對由上入口部34所界定之一朝上之閥座密封面32.1定位。
頭部48之球形部39.1可自閥腔30穿過孔32進行壓入配合。一種適宜之壓入配合製程揭示於美國第6,575,187號專利案中,該美國專利以引用方式倂入本文中。
閥致動器總成57可選擇性地在二位置間沿第三軸線A3往復變換。在一關閉位置上,閥密封面54密封地嚙合閥座密封面37,藉以阻擋次流動通道18中之次流體經過孔32流至主流動通道16中之主流體內。而在開啟位置上,閥密封面54則與閥座密封面37間隔開,藉以使次流動通道18中之次流體能夠經過孔32流至主流動通道16中之主流體內。
閥致動器總成57總體上包含閥致動器室58,閥致動器室58界定包含上方可加壓部60及下方機構室61之一殼體58.1。可加壓部60係藉由一致動器隔膜62(較佳由可自Dupont公司購得之雙塗層Viton及Nomex製成)相對於下方機構室61密封,並具有一可調之內部壓力,該可調之內部壓力可經由一壓力控制端口63在對應於第1圖所示關閉位置與開啟位置的一低壓設定值與一高壓設定值間進行調節。下方機構室61具有基部64、自基部64延伸出之底座66、氣孔65以及開放之內部68。基部64具有用於限制閥桿39向上運動之凹部70。底座66具有尺寸適於接納閥桿39之鑽孔72,且配置沿橫切第一及第二軸線A1、A2之第三軸線A3對閥桿39進行導向。氣孔65用於防止空氣在開放之內部中受到壓縮,從而有利於操作致動器。含納於底座66內之O環74在底座66與閥桿39間形成一密封。
隔膜62總體上包含用於密封可加壓部60之肩部76、可延伸平面部78、用於將肩部76附裝至平面部78之撓性環80以及用於接納閥桿39之一孔(未顯示)。頂部及底部剛性部件82、84分別附裝至可延伸之平面部78之頂部及底部,且將控制桿44之頂部耦合至隔膜62並密封隔膜62中之孔。
閥桿39貫穿下方機構室61、O環74、呈彈簧86形式之一偏置元件、螺帽84以及隔膜62中之孔,並在控制桿44之外露部處耦合至頂部剛性部件82。螺帽84旋於控制桿44上,並緊固頂部及底部剛性部件82、84以及隔膜62之平面部78。美國第6,575,187號專利案揭示各種適宜之附固裝置及方法,並以引用方式全文倂入本文中。含納於下方機構室61之開放內部68內之彈簧86接觸底部剛性部件84,並在閥38上形成一向上之偏置力,以將其朝關閉位置偏置。
閥38沿第三軸線A3之運動範圍通常在向上方向上係藉由閥密封面54嚙合閥座密封面37加以限制,而在向下方向上係藉由底部剛性部件84嚙合上方底座部67加以限制。在本發明之一實施例(未顯示)中,可在向下方向上藉由閥密封面56嚙合閥座密封面32.1來限制閥桿38之運動。
當可加壓部60之內部壓力係處於一非致動性低壓狀態(例如在第1圖中所示)時,彈簧86將閥38朝關閉位置推動,使閥密封面54密封地與閥座密封面37嚙合。將提動閥45及閥座36相對於彼此進行恰當配置,以使彈簧86所提供之偏置力以及任何流體壓力作用於提動閥45上之力皆不足以迫使頭部48穿過孔32返回。當因經由壓力控制端口63接納空氣而使可加壓部60之內部壓力升高時,隔膜62及閥38會反抗彈簧68之偏置力而被推至開啟位置。
在第3、4、及5圖中,繪示本發明之閥歧管之各種替代實施例。在第3圖之實施例中,致動器總成90總體上包含外殼92、活塞94及偏置元件96。外殼92界定殼體98。活塞94可操作地耦合至閥38,並可與閥桿39整體地模製而成,或者可單獨製成並使用耦合桿100進行附連。O環102密封地與外殼92之壁104嚙合。活塞94可在外殼92內往復滑動。偏置元件96設置於外殼92之下表面106與活塞94之下表面108之間,並使活塞94及閥38沿向上之方向朝關閉位置偏置。
活塞94將殼體98劃分成一上方可加壓部110及一下方機構室112。在使用中,當可加壓部110之內部壓力係處於一非致動性低壓狀態(例如在第3圖中所示)時,偏置元件96將閥38朝關閉位置推動,使閥密封面54密封地與閥座密封面37嚙合。而當因經由壓力控制端口114接納空氣而使可加壓部110之內部壓力升高時,活塞94及閥38會反抗偏置元件96之偏置力而被推至開啟位置。
在第4圖之常開閥實施例中,致動器總成116總體上包含外殼118、活塞120、及偏置元件122。外殼118界定殼體124。活塞120可操作地耦合至閥38,並可與閥桿39整體地模製而成,或者可單獨製成並使用耦合桿126進行附連。O環128密封地與外殼118之壁130嚙合。活塞120可在外殼118內往復滑動。偏置元件122設置於外殼118之下表面132與活塞120之上表面134之間,並使活塞120及閥38沿向下之方向朝開啟位置偏置。
活塞120將殼體124劃分成一下方可加壓部136及一上方機構室138。在使用中,當可加壓部136之內部壓力係處於一非致動性低壓狀態(例如在第4圖中所示)時,偏置元件122將閥38朝關閉位置推動,使閥密封面54密封地與閥座密封面37嚙合。而當因經由壓力控制端口140接納空氣而使可加壓部136之內部壓力升高時,活塞120及閥38會反抗偏置元件122之偏置力而被推至開啟位置。
在第5圖之手動操作式實施例中,致動器總成142總體上包含外殼144、驅動總成146及閥偏置總成148。驅動總成146總體上包含手柄總成150、閥耦合總成152、驅動偏置元件154及襯墊螺帽156。手柄總成150總體上包含一具有一桿部160之驅動部件158,桿部160穿過襯墊螺帽156中之一孔向上延伸。手柄162可旋轉地固定至桿部160上,並藉由緊固件164緊固就位。閥耦合總成152總體上包含導圈166,導圈166界定一鑽孔,以穿過該鑽孔接納閥桿39。導圈166係藉由定位件168固定以防止在閥桿39上滑動。
閥偏置總成148總體上包含杯形導圈170及閥偏置元件172。閥偏置元件172係設置於在外殼144之下壁176中所形成之肩174與杯形導圈170間。杯形導圈170係藉由定位件178固定以防止相對於閥桿39滑動。驅動偏置元件154設置於導圈166與杯形導圈170間。
在使用中,在手柄162例如在第5圖中所示處於一第一關閉位置情況下,閥偏置元件172將閥38朝關閉位置推動,使閥密封面54密封地與閥座密封面37嚙合。當旋轉手柄162時,驅動部件158、杯形導圈170及與其可操作地耦合的閥門38會反抗閥偏置元件172之偏置力而被推動至開啟位置。
上述各實施例係旨在例示而非限定本發明。其他實施例亦囊括於申請專利範圍之範疇內。儘管係參照特定實施例來說明本發明,然而熟習此項技術者將知,亦可在形式及細節上作出改動,此並不背離本發明之精神及範疇。為便於解釋本發明之申請專利範圍,明確地打算不援引美國專利法(35 U.S.C.)第112條第6項之規定,除非在請求項中引述特定用語「用於...之裝置(means for)」或「用於...之步驟(step for)」。
10...混合閥歧管總成
12...歧管本體部
14...閥總成
16...主流動通道
18...次流動通道
20...主流動連接器
22...次流動連接器
24...管道系統
26...入口導管部
28...外側部
30...閥腔
32...孔
32.1...閥座密封面
33...壁
34...上入口部
36...閥座
37...閥座密封面
38...閥
39...閥桿
39.1...球形部
39.5...潤濕隔膜
40...閥桿裙
40.1...凹部
41...閥室
42...流體控制部
43...洩漏偵測孔
44...控制桿
45...提動閥
46...控制桿容座
47...提動閥
48...頭部
50...第二提動閥
52...桿部
54...閥密封面
56...閥密封面
57...閥致動器總成
58...閥致動器室
58.1...殼體
60...上方可加壓部
61...下方機構室
62...致動器隔膜
63...壓力控制端口
64...基部
65...氣孔
66...底座
67...上方底座部
68...開放之內部
70...凹部
72...鑽孔
74...O環
76...肩部
78...可延伸平面部
80...撓性環
82...頂部剛性部件
84...底部剛性部件
86...彈簧
90...致動器總成
92...外殼
94...活塞
96...偏置元件
98...殼體
100...耦合桿
102...O環
104...壁
106...下表面
108...下表面
110...上方可加壓部
112...下方機構室
114...壓力控制端口
116...致動器總成
118...外殼
120...活塞
122...偏置元件
124...殼體
126...耦合桿
128...O環
130...壁
132...下表面
134...上表面
136...下方可加壓部
138...上方機構室
140...壓力控制端口
142...致動器總成
144...外殼
146...驅動總成
148...閥偏置總成
150...手柄總成
152...閥耦合總成
154...驅動偏置元件
156...襯墊螺帽
158...驅動部件
160...桿部
162...手柄
164...緊固件
166...導圈
168...定位件
170...杯形導圈
172...閥偏置元件
174...肩
176...下壁
178...定位件
結合以下圖式閱讀上文對本發明各實施例之詳細說明,可更全面地理解本發明,圖式中:第1圖係為根據本發明一實施例之一閥歧管總成之透視圖;第2圖係為第1圖所示閥歧管總成沿第1圖之剖面2-2截取之剖視圖;第3圖係為該閥歧管總成之一替代實施例沿第1圖之剖面2-2截取之剖面圖;第4圖係為該閥歧管總成之另一替代實施例沿第1圖之剖面2-2截取之剖面圖;以及第5圖係為該閥歧管總成之又一替代實施例沿第1圖之剖面2-2截取之剖面圖。
儘管本發明適合具有各種修改及替代形式,但在圖式中以舉例方式顯示並將詳細說明其具體細節。然而,應瞭解,並非意欲將本發明限定為所述的特定實施例。相反,本發明意欲涵蓋所有仍歸屬於隨附申請專利範圍所界定之本發明精神及範圍內之所有修改形式、等效形式及替代形式。
10...混合閥歧管總成
12...歧管本體部
14...閥總成
16...主流動通道
18...次流動通道
20...主流動連接器
22...次流動連接器

Claims (18)

  1. 一種用於混合複數個流體流動流之閥歧管總成,該閥歧管包含:一單件整體式歧管本體部,係由高分子材料模製而成,其具有一長度及一圓形鑽孔且界定一主流動通道,該圓形鑽孔具有延該歧管本體部之整體長度延伸的一對端點,該歧管本體部更具有分開的複數個次流動通道,各該次流動通道係藉由該主流動通道之一壁中的各孔與該主流動通道流體耦合,各該孔係由一周緣加以界定,一閥座圍繞該周緣延伸,該閥座呈現出面朝該主流動通道內之一閥座密封面及以輻射方式延該圓形鑽孔所定義的一柱體輪廓外配置,該閥座與該歧管本體部係為一體;複數個閥,用於各該次流動通道的每一閥包含一由高分子材料模製的流體控制部,該流體控制部具有具一第一直徑尺寸之一頭部以及自該頭部伸出之一桿部,該桿部具有小於該第一直徑尺寸之一第二直徑尺寸,該頭部呈現出靠近並延伸圍繞該桿部之一閥密封面,各該流體控制部貫穿各該孔,以使各該頭部實質上位於各該主流動通道中且該桿部貫穿各該孔,該閥可選擇性地於一閉合位置與一開啟位置間變換,在該閉合位置上,該閥密封面係密封地與該閥座密封面嚙合,以阻擋該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,而在該開啟位置上,該閥密封面係與該閥座密封面間隔開,以達成該次流動通道與該主流動通道間之流體流動;一對連接器,位於該圓形鑽孔之各端點;以及 至少一致動器,可操作地與該閥耦合,以使該閥選擇性地於該閉合位置與該開啟位置間變換。
  2. 如請求項1所述之閥歧管總成,其中該致動器包含可操作地與該閥耦合之一偏置元件。
  3. 如請求項2所述之閥歧管總成,其中該偏置元件係設置成將該閥朝該閉合位置偏置。
  4. 如請求項2所述之閥歧管總成,其中該偏置元件係設置成將該閥朝該開啟位置偏置。
  5. 如請求項1所述之閥歧管總成,其中該致動器包含一手柄,該手柄可操作地與該閥耦合,以手動地使該閥於該閉合位置與該開啟位置間變換。
  6. 如請求項1所述之閥歧管總成,其中該致動器包含一外殼及位於該外殼中之一驅動元件,該驅動部件係可操作地與該閥耦合並可選擇性地在該外殼內變換,以使該閥於該閉合位置與該開啟位置間變換。
  7. 如請求項6所述之閥歧管總成,其中該驅動元件包含一活塞,該活塞密封地與該外殼之壁之一內表面嚙合。
  8. 請求項6所述之閥歧管總成,其中該驅動元件包含一隔膜。
  9. 如請求項1所述之閥歧管總成,其中該次流動通道係大體橫向於該主流動通道定向。
  10. 如請求項1所述之閥歧管總成,其中當該閥處於該閉合位置時,該主流動通道係實質上不受該閥阻塞。
  11. 一種用於混合複數個流體流動流之閥歧管總成,該閥歧管包含: 一單件式歧管本體部,係由高分子材料模製而成,其具有一圓形鑽孔以界定一主流動通道以及複數個次流動通道,各該次流動通道係藉由該主流動通道之一壁中的複數個孔與該主流動通道流體耦合,該等孔係由一周緣加以界定,一閥座圍繞該周緣延伸,該閥座呈現出面朝該主流動通道內之一閥座密封面及以輻射方式延該圓形鑽孔所定義的一柱體輪廓外配置,該閥座與該歧管本體部係為一體;複數個閥,各閥包含一由高分子材料模製而成的流體控制部,該流體控制部具有具一第一直徑尺寸之一球狀頭部以及自該頭部伸出之一桿部,該桿部具有小於該第一直徑尺寸之一第二直徑尺寸,該頭部呈現出靠近並延伸圍繞該桿部之一閥密封面,該流體控制部貫穿該孔,該閥可選擇性地於一閉合位置與一開啟位置間變換,在該閉合位置上,該閥密封面係密封地與該閥座密封面嚙合,以阻擋該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,而在該開啟位置上,該閥密封面係與該閥座密封面間隔開,以達成該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,其中當閥處於一閉合位置時該球狀頭部部份延伸至該圓形鑽孔所定義的一筒狀輪廓,而該桿部於處於開啟位置或閉合位置均未延伸至該筒狀輪廓;以及選擇性變換裝置,用於使該閥選擇性地於該閉合位置與該開啟位置間變換。
  12. 如請求項11所述之閥歧管總成,其中使該閥選擇性地於該閉合位置與該開啟位置間變換之該裝置包含至少一致動器。
  13. 如請求項11所述之閥歧管總成,其中當該閥處於該閉合位置 時,該主流動通道係實質上不受該閥阻塞。
  14. 一種用於混合複數個流體流動流之閥歧管總成,該閥歧管包含:一單件式歧管本體部,係由高分子材料模製而成,其界定一具一圓柱鑽孔的主流動通道以及複數個次流動通道,各該次流動通道係藉由該主流動通道之一壁中的一孔與該主流動通道流體耦合;複數個閥,各該閥包含一由高分子材料模製而成的單件式流體控制部,該流體控制部具有一頭部以及自該頭部伸出之一桿部,各該閥之該流體控制部貫穿該等孔中之一單獨孔,各該閥可選擇性地於一閉合位置與一開啟位置間變換,在該閉合位置上,該頭部係密封地嚙合於該閥座整體之該孔中並與該單件式歧管本體部形成一體,以阻擋各該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,而在該開啟位置上,該頭部係與該閥座間隔開,以達成該次流動通道與該主流動通道間之流體流動,該閥座以輻射方式設置於該圓形鑽孔所定義的一筒狀輪廓外;以及複數個致動器,各該致動器可操作地與該等閥中之一單獨閥耦合。
  15. 如請求項14所述之閥歧管總成,其中該等次流動通道係大體橫向於該主流動通道定向。
  16. 如請求項14所述之閥歧管總成,其中當該等閥處於該閉合位置時,該主流動通道係實質上不受該等閥阻塞。
  17. 如請求項14所述之閥歧管總成,其中各該致動器包含一偏置 元件,該偏置元件係設置成將該閥朝該閉合位置偏置。
  18. 如請求項14所述之閥歧管總成,其中各該致動器包含一偏置元件,該偏置元件係設置成將該閥朝該開啟位置偏置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106415098A (zh) * 2014-02-07 2017-02-15 山特维克知识产权股份有限公司 流体控制阀

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8327864B2 (en) * 2009-10-13 2012-12-11 Coast Pneumatics, Inc. Flow controller
EP2357388A1 (de) * 2010-02-08 2011-08-17 Eugen Seitz AG Ventilblock zum Steuern von Fluiden und Verwendung dieses Ventilblocks
US8333214B2 (en) * 2010-03-10 2012-12-18 Coast Pneumatics, Inc. Modular manifold with quick disconnect valve fittings
US8336573B2 (en) * 2010-03-10 2012-12-25 Coast Pneumatics, Inc. Modular manifold with quick disconnect valve fittings
US8327879B2 (en) * 2010-03-10 2012-12-11 Coast Pneumatics, Inc. Modular manifold with quick disconnect valve fittings
US9188990B2 (en) * 2011-10-05 2015-11-17 Horiba Stec, Co., Ltd. Fluid mechanism, support member constituting fluid mechanism and fluid control system
CN102705537B (zh) * 2012-06-05 2014-02-12 吴瑞昌 多用电磁阀及其构成的纯水机系统
US8714198B1 (en) * 2013-01-23 2014-05-06 Jui-Chien Chen Control valve mechanism for faucets
US9347577B2 (en) * 2013-08-30 2016-05-24 Flextronics Automotive, Inc. Combined thermal management unit
EP3896319A1 (en) * 2015-10-01 2021-10-20 Repligen Corporation Valve assembly with directional flow path
JP6646435B2 (ja) * 2015-12-21 2020-02-14 伸和コントロールズ株式会社 流体混合装置
WO2017176815A1 (en) * 2016-04-04 2017-10-12 Ichor Systems, Inc. Liquid delivery system
TWI644712B (zh) 2016-06-01 2018-12-21 恩特葛瑞斯股份有限公司 具有整合式靜電放電抑制之流體迴路
US11156298B2 (en) 2016-08-11 2021-10-26 Pall Corporation Front-loading valve assembly for manifold for processing fluid sample
JP6653232B2 (ja) * 2016-09-12 2020-02-26 矢崎総業株式会社 コネクタ
US10690289B2 (en) * 2017-11-02 2020-06-23 Lincoln Global, Inc. Modular gas control attachment assembly for cylinders
KR20200119793A (ko) * 2018-02-09 2020-10-20 배트 홀딩 아게 피스톤-실린더 유닛
US11339063B2 (en) 2018-05-07 2022-05-24 Entegris, Inc. Fluid circuit with integrated electrostatic discharge mitigation
JP7202597B2 (ja) * 2018-07-31 2023-01-12 株式会社フジキン アクチュエータおよびこれを用いたバルブ装置
JP7088873B2 (ja) * 2019-04-08 2022-06-21 矢崎総業株式会社 コネクタ
WO2020236454A1 (en) 2019-05-23 2020-11-26 Entegris, Inc. Electrostatic discharge mitigation tubing
TWI808363B (zh) * 2019-12-19 2023-07-11 美商聖高拜塑膠製品公司 提動件、組件及其裝配與使用方法
KR20220113373A (ko) * 2019-12-20 2022-08-12 스웨이지락 캄파니 누출 테스트 통로를 가진 유체 구성요소 바디
DE202020104788U1 (de) 2020-08-18 2020-11-18 Sartorius Stedim Biotech Gmbh Ventilblock zur einmaligen Verwendung in einem Bioprozess
CN112145753B (zh) * 2020-09-28 2022-03-15 东科克诺尔商用车制动技术有限公司 一种汽车气制动abs电磁阀阀芯总成

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3797524A (en) * 1972-06-15 1974-03-19 Reedmer Plastics Inc Fluid metering device
US3857513A (en) * 1967-10-20 1974-12-31 Gyromat Corp Semi-automatic color change system for paint spray installation
US5058624A (en) * 1990-07-19 1991-10-22 Kolze Lawrence A Flow control valve with stable modulation
US6575187B2 (en) * 1999-03-23 2003-06-10 Entergris, Inc. Three-way plastic valve

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1463735A (en) * 1922-03-18 1923-07-31 Varrieur Henry Oza Combined closure and faucet for liquid containers
US3572366A (en) * 1967-10-20 1971-03-23 Gyromat Corp Control valves for supplying paint in paint spray installations
US3561468A (en) 1968-10-18 1971-02-09 Emerson Electric Co Universal control valve
US4290450A (en) * 1979-03-28 1981-09-22 Eaton Corporation Fluid mixing valve
US4276902A (en) 1979-11-05 1981-07-07 Rk Industries Modular fluid pressure regulator valves
US5234032A (en) * 1989-03-17 1993-08-10 Coltec Industries Inc Control module multiple solenoid actuated valves
JP3207782B2 (ja) * 1997-04-16 2001-09-10 アドバンス電気工業株式会社 マニホールドバルブ
DE60018474T2 (de) 1999-12-29 2005-12-29 Entegris, Inc., Chaska Bauteil- gegen-bauteil- dichtungsverfahren
US6715510B2 (en) * 2002-06-10 2004-04-06 Eaton Corporation Electro-hydraulic controller for automatic transmissions
US7726335B2 (en) * 2005-04-29 2010-06-01 Ti Group Automotive Systems, L.L.C. Check valve apparatus for fuel delivery systems

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3857513A (en) * 1967-10-20 1974-12-31 Gyromat Corp Semi-automatic color change system for paint spray installation
US3797524A (en) * 1972-06-15 1974-03-19 Reedmer Plastics Inc Fluid metering device
US5058624A (en) * 1990-07-19 1991-10-22 Kolze Lawrence A Flow control valve with stable modulation
US6575187B2 (en) * 1999-03-23 2003-06-10 Entergris, Inc. Three-way plastic valve

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106415098A (zh) * 2014-02-07 2017-02-15 山特维克知识产权股份有限公司 流体控制阀
CN106415098B (zh) * 2014-02-07 2019-03-08 山特维克知识产权股份有限公司 流体控制阀

Also Published As

Publication number Publication date
AT506019B1 (de) 2011-12-15
KR101386845B1 (ko) 2014-04-17
US8726935B2 (en) 2014-05-20
WO2008008465A3 (en) 2008-09-04
WO2008008465A2 (en) 2008-01-17
AT506019A1 (de) 2009-05-15
JP5221534B2 (ja) 2013-06-26
KR20090052851A (ko) 2009-05-26
WO2008008465B1 (en) 2008-10-30
TW200806909A (en) 2008-02-01
JP2009543983A (ja) 2009-12-10
US20090255596A1 (en) 2009-10-15

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