TWI400795B - 影像感測器 - Google Patents

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TWI400795B
TWI400795B TW099115082A TW99115082A TWI400795B TW I400795 B TWI400795 B TW I400795B TW 099115082 A TW099115082 A TW 099115082A TW 99115082 A TW99115082 A TW 99115082A TW I400795 B TWI400795 B TW I400795B
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    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
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    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
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Description

影像感測器
本發明係有關於一種影像感測器,尤指一種可以提高敏感度並且降低干擾的影像感測器。
請參考第1圖,第1圖所繪示的係為一種傳統的影像感測器100之示意圖。如第1圖所示,影像感測器100包含包含一基底110、三個感光二極體112、114、116、一第一絕緣層120、一抗反射塗佈層130、一第二絕緣層140以及一彩色濾光片陣列150。感光二極體112、114、116係設置於基底110中,且第一絕緣層120係設置於基底110與感光二極體112、114、116上;抗反射塗佈層130係設置於第一絕緣層120上,且第二絕緣層140係設置於抗反射塗佈層130上,以及彩色濾光片陣列150係設置於第二絕緣層140上,且彩色濾光片陣列150包含複數個彩色濾光片,例如一紅色彩色濾光片152、一綠色彩色濾光片154以及一藍色彩色濾光片156。當光從第二絕緣層140進入第一絕緣層120且第一絕緣層120與第二絕緣層140的折射係數很大時,反射的情況會變得很嚴重,所以抗反射塗佈層130是用於降低反射,然而,具有均勻厚度的抗反射塗佈層130對於不同顏色的光無法達到最佳化的效果。
有鑑於此,本發明之目的之一在於提供一種可以提高敏感度並且降低干擾的影像感測器,以解決上述的問題。
依據本發明之申請專利範圍,其係揭露一種影像感測器,該影像感測器包含一基底、複數個光學元件、一第一絕緣層、一抗反射塗佈層、一第二絕緣層以及一彩色濾光片陣列。該些光學元件係設置於該基底中;該第一絕緣層係設置於該基底與該些光學元件上;該抗反射塗佈層係設置於該第一絕緣層上;該第二絕緣層係設置於該抗反射塗佈層上;以及該彩色濾光片陣列係設置於該第二絕緣層上,且包含分別對應於光之複數個顏色的複數個彩色濾光片;其中該抗反射塗佈層包含複數個區段,分別在垂直方向上位於該些彩色濾光片的正下方,並且該些區段具有不同的反射特性。
綜上所述,本發明的影像感測器可以提高敏感度並且降低干擾。
在本說明書以及後續的申請專利範圍當中使用了某些詞彙來指稱特定的元件,而所屬領域中具有通常知識者應可理解,硬體製造商可能會用不同的名詞來稱呼同一個元件,本說明書及後續的申請專利範圍並不以名稱的差異來作為區分元件的方式,而是以元件在功能上的差異來作為區分的準則,在通篇說明書及後續的請求項當中所提及的「包含有」係為一開放式的用語,故應解釋成「包含有但不限定於」。
請參考第2圖,第2圖所繪示的係為依據本發明一實施例的一種影像感測器200之示意圖。如第2圖所示,影像感測器200包含一基底210、三個光學元件212、214、216、一第一絕緣層220、一抗反射塗佈層230、一第二絕緣層240以及一彩色濾光片陣列250。影像感測器200可以是一CMOS影像感測器,以及光學元件212、214、216可以是感光二極體。光學元件212、214、216係設置於基底210中,且第一絕緣層220係設置於基底210與光學元件212、214、216上;抗反射塗佈層230係設置於第一絕緣層220上,且第二絕緣層240係設置於抗反射塗佈層230上,以及彩色濾光片陣列250係設置於第二絕緣層240上,且彩色濾光片陣列250包含複數個彩色濾光片,例如一紅色彩色濾光片252、一綠色彩色濾光片254以及一藍色彩色濾光片256。抗反射塗佈層230包含三個區段232、234、236,分別在垂直方向上位於紅色彩色濾光片252、綠色彩色濾光片254以及藍色彩色濾光片256的正下方,其中區段232、234、236在垂直方向上具有不同的厚度,因此並且區段232、234、236會具有不同的反射特性。換言之,抗反射塗佈層230可以針對不同顏色作個別調整,所以光學元件212、214、216對於每一預期中的顏色可以有很好的色彩判別能力。更具體地來說,抗反射塗佈層230可以降低想要之波長的反射,這表示想要之顏色會有更多的光可以到達對應的光學元件來進行光子收集,亦即抗反射塗佈層230可以增加敏感度。此外,抗反射塗佈層230可以將更多不想要之波長反射出去,這表示不想要之顏色會有更少的光可以到達對應的光學元件來進行光子收集,亦即抗反射塗佈層230可以降低干擾。
在此請注意,上述的實施例僅作為本發明的舉例說明,而不是本發明的限制條件,舉例來說,區段232、234、236的厚度可以依據不同的條件或需求而改變。
綜上所述,本發明的影像感測器200可以提高敏感度並且降低干擾。
以上所述僅為本發明之較佳實施例,凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾,皆應屬本發明之涵蓋範圍。
100、200...影像感測器
110、210...基底
112、114、116...感光二極體
120、220...第一絕緣層
130、230...抗反射塗佈層
140、240...第二絕緣層
150、250...彩色濾光片陣列
152、252...紅色彩色濾光片
154、254...綠色彩色濾光片
156、256...藍色彩色濾光片
212、214、216...光學元件
232、234、236...區段
第1圖所繪示的係為一種傳統的影像感測器之示意圖。
第2圖所繪示的係為依據本發明一實施例的一種影像感測器之示意圖。
200...影像感測器
210...基底
212、214、216...光學元件
220...第一絕緣層
230...抗反射塗佈層
240...第二絕緣層
250...彩色濾光片陣列
252...紅色彩色濾光片
254...綠色彩色濾光片
256...藍色彩色濾光片
232、234、236...區段

Claims (5)

  1. 一種影像感測器,包含:一基底;複數個光學元件,設置於該基底中;一第一絕緣層,設置於該基底與該些光學元件上;一抗反射塗佈層,設置於該第一絕緣層上;一第二絕緣層,設置於該抗反射塗佈層上;以及一彩色濾光片陣列,設置於該第二絕緣層上,包含分別對應於光之複數個顏色的複數個彩色濾光片,其中該些彩色濾光片包含一紅色彩色濾光片、一綠色彩色濾光片以及一藍色彩色濾光片;其中該抗反射塗佈層包含複數個區段,分別在垂直方向上位於該些彩色濾光片的正下方,並且該些區段具有不同的反射特性,其中位於該紅色彩色濾光片正下方之該區段的厚度大於位於該綠色彩色濾光片正下方之該區段的厚度。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之影像感測器,其中位於該綠色彩色濾光片正下方之該區段的厚度大於位於該藍色彩色濾光片正下方之該區段的厚度。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之影像感測器,其係為一CMOS影像感測器。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之影像感測器,其中該些光學元件包含複數個感光二極體。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之影像感測器,其中該紅色彩色濾光片、該綠色彩色濾光片以及該藍色彩色濾光片分別對應於該些感光二極體。
TW099115082A 2009-11-27 2010-05-12 影像感測器 TWI400795B (zh)

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